Экспериментальное исследование микропинчевого разряда в плотном газе тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА, ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ И ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В. ЛОМОНОСОВА

Научно-исследовательский институт ядерной физики

На правах рукописи УДК. 533.952

Калайдзидис Яннис Леонтьевич

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОПИНЧЕВОГО РАЗРЯДА

В ПЛОТНОМ ГАЗЕ

Специальность - 01.04.08 - физика и химия плазмы

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

{ил/^

МОСКВА 1992

Работа выполнена в Научно-исследовательском институте ядерной физики МГУ им. М.В. Ломоносова.

Научный руководитель: кандидат физико-математических наук А.И. Захаров (НИШФ МГУ).

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук Ю.К. Земцов (ТрИнИТИ), кандидат СЕизико-математических наук В.В. Матвеев (Курчатовский институт).

Ведущее предприятие: Физический Институт РАН им. П.Н. Лебедева

Защита состоится 1992 г.

в ч. на заседании специализированного совета Д 053.05.80 в Московском государственном университете им М.В. Ломоносова по адресу: 119899, ГСП, Москва. Ленинские Горы. НИИЯФ МГУ, 19 корп, ауд. 2-15.

С диссертацией модно ознакомиться в НТВ НИШФ МГУ.

Автореферат разослан "¿2." 1992 г.

Ученый секретарь специализированного совета кандидат л''-'/

физико-математических наук В.В. Радченко

I. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы

Тенденция к уменьшению структур микроэлектроники привела к задаче создания литографии с разрешением » 0.1 мкм. Для этого необходимы источники достаточно коротковолнового излучения. Поскольку отсутсвуют прозрачные вещества для окон, фильтров, прозрачных частей маски и пр. в диапазоне длин волн от 1000 до 100 А, го для достижения необходимого разрешения потребовался переход к диапазонам длин волн 5 - 100 А. В связи с этим возникла задача создания источников мягкого рентгеновского излучения (МРИ).

Второй задачей потребовавшей создания источников №11 является рентгеновская микроскопия. При работе с рентгеновскими микроскопаш удается получить разрешение характерное для электронной микроскопии. Однако, при этом открывается возможность работать с живыми влажными образцами не подвергнутыми специальной обработке, необходимой для электронной микроскопии.

Как известно, хорошим источником МРИ является синхротрон. Однако, это сложное и дорогое устройство доступно лишь крупным производителям. Поэтому в настоящее время ведется активный поиск возможности создания более компактных, простых и дешевых источников МРИ.

Одно из направлений этого поиска связано с разработкой газоразрядных плазменных источников МРИ. В настоящее время созданы такие источники на основе 2-пкнчей с импульсным напуском газа и вакуумных искр. К недостаткам первого подхода следует отнести большие размеры излучателя в радиальном направлении наблюдения, тогда как при выводе МРМ вдоль оси

разряда резко падает эффективность источника. Кроме того, такие устройства сложны из-за необходимости формирования импульсной полой предварительно ионизованной струи газа, масса и момент ввода которой в разрядный промежуток должны быть согласованы с параметрами и работой электрической цепи разряда. В случае вакуумной искры размеры излучателя достаточно малы. Однако разрешение такого источника определяется неконтролируемой воспроизводимостью излучаицей области от разряда к разряду. Большая часть энерговклада в искру трансформируется в мощные ионные потоки, что требует серьезной магнитной завиты облучаемого объекта. Вместе с тем и вакуумкче искры и пинчи с импульенкч напуском газа требуют установок с достаточно большой энергетикой (несколько килоджоулей).

В настоящей работе исследовалась возможность создания источника МРИ на основе г-пинча в плотном газе (ППГ). Как покзали пред зрительные расчеты, достоинство такого подхода состоит в том, что в ППГ удается получить необходимые для источника МРИ параметра плазмы на установках с малой энергетикой (до 300 Да).

Экспериментальных исследований возможности создания источника МРИ на основа ППГ ло сих пор произведено не было. Данные о достижимых в ППГ температурах носят противоречивый характер. Кет данных о зависимости параметров плазмы ППГ от атомной массы газа, в котором происходит разряд. Не исследовались способы внесения излучателей МРИ в ППГ исключающие резонансное перепоглощение в буферном газе.

Цель работы состояла в следующем:

1. Создание экспериментальной установки для исследования ППГ, и методик измерения параметров плазмы.

2. Экспериментальное исследование паркетров ППГ в зависи-

мости от атомной массы (водород и азот) и начального давления газа.

3. Экспериментальное исследование способов локального внесения излучающих ионов в ППГ, исключающих резонансное перепоглощение КРИ в буферном газе.

4. Экспериментальное исследование возможности создания искусственной перетяжки в ППГ.

Научная новизна раооты

1. Экспериментально исследована временная зависимость температуры и концентрации плазмы в ППГ при различных начальных давлениях и атомной массе газа в режимах с малой энергетикой (до 300 Дж). Показано, что при токе 40 * 50 кА температура плазмы может достигать »50 эВ в водороде и «100 эВ в азоте и не зависит от начального давления в пределах точности измерения.

2. Показано влияние замагниченности плазмы на динамику параметров в условиях, когда магнитное давление заметно меньше газокинетического.

3. Исследованы методы локального внесения излучателей МРИ в ППГ, исключающие резонансное перепоглощение.

4. Предлокен и экспериментально проверен способ создания искусственной перетяжки в ППГ зз счет ограничения радиуса канала разряда диэлектрической пленкой, приводящий я локальному увеличению удельного зкерговклада, повышении температуры и плотности Ш1031Ш .

5. Измерена доля энергии, которая шладывается в искусственную перетяжку. Показано, что фтзетесккй механизм повышения температуры в перетягав связан с увеличением плотности знерговклада и эффективной термоизоляцией горячей плазмы испарящакся веществом пленки, вытекащим вдоль оси разряда.

- з -

Зарегистрированы линейчатые рентгеновские спектры из искусственной перетяжки в диапазоне длин волн 15 - 25 А.

Научная и практическая значимость раОоты

Результаты проведанных исследований важны как для понимания физических процессов, .происходящих в ППГ, так и при создают источников МРИ. ППГ с искусственной перетяжкой мокет бить полезен в исследованиях по управляемому термоядерному синтезу.

' I. Экспериментально показана воэдаяюсть получения шшш с температурой, необходимой для создания источников МРИ (50 ♦ 100 эВ) в плазма ППГ на установках с малой энергетикой (до 300 Да) . Получек;; временные зависимости температуры п концентрации плазш. Показано, что температура не з; жспт от начального давления и растет с увеличением атомной массы газа.

2. Предложен к экспериментально апробирован способ создания искусственной ператдаси в ППГ за счет ограничения диаметра канала разряда диэлектрической пленкой.

3. Показано, что испаряющаяся стенка, при осевом выносе испаренного вещества, является эффективным термоизолятором горячей плазмы. Продемонстрирована возможность достижения температур »90 эВ при токе 80 кА а искусственной пэретякко.

4. Апробированы способа локального внесения излучающей цриыеси в плазму ППГ. Шказена переспективность способа внесения примеси при помощи диэлектрической пленки расположенной поперек оси разряда.

5. Расчитана и экперкментадьно проверена форма электродов для коаксиальных разрядников, отвечающая максимальному пробойному напряжению. Полученные результаты могут быть полезны при создании импульсных коммутаторов высокого напряжения.

6. Предложена и реализована компактная установка для лазерной двумерной теневой фотографии Оыстропротекающих процессов.

Основные положения выносимые на защиту

1. Разработана методик^ измерения температуры и концентрации плазмы с временным разрешением по току и радиусу пшча.

2.' Разработана и проверена экспериментально методика определения форма электродов, обеспечивающих возможность достижения максимального напряжения в коаксиальном разряднике.

3. Проведены исследования параметров однородного, столба г-пича в плотном газе с энергетикой до 300 Дя в водороде и азоте в зависимости от начального давления (0.7 - 2 атм.). Показано, что температура плазмы- растет с атомным номером элемента и не зависит от начального давления. Продемонстрирована возможность-получения температур - 50 эВ с концентрацией «• 5 10'"см"1 в водороде и « 100 эВ с концентрацией «1.5 10"см'3 в азоте.

4. Проведены исследования возможности локального введения излучающей МРИ примеси в' водородную плазму путем предварительного испарения материала одного из электродов лазерным излучением. Показано, что при таком способе введения концентрация излучателя значительно ниже концентрации буферного газа.

5. Предложен и реализован способ создания искуственной перетяжки в канала г-пинчз в плотном газе, путем помещения диэлектрической пленки с отверстием порядка 100 мкм перпендикулярно оси разряда, обеспечивающей:

- малые размеры и точную пространственную привязку излучающей области,

- значение температуры и концентрации плазмы в перетяжке, достаточные для ее использования в качестве источника МРИ,

- заданный состав плазмы в перетяжке,

- отсутствие резонансного перепоглощения в буферном газе.

6. Экспериментально показано, что при использовании лавсановой пленки толщиной 40 мкм радиус перетяжки не превышает 0.7 ш, и в ней выделяется до 50% анергии, вкладываемой в разряд. Зарегистрированы спектра гелио- и водородоподобных ионов кислорода из области искустввнной перетяжки. Результаты квазп-двумеряого ЫГД моделирования разряда в искуствонной перетяяке да»т температуру разряда 150 эВ, концентрацию 7 I01 'са"3, при полной энергии излученной в области мягкого рентгена 10 Дя.

Апробация результатов и публикации

Результаты работа докладывались на Всесоюзной конференции по физике газевого разряда (Махачкала, 1988), на Всесоюзном симпозиуме по радиационной плазмодинамике (Джан-Туган, 1989), на XIX Меадувародной конференции по процессам в ионизованных газах (Белград 1989), на хх Международной конференции по процессам в ионизованных газах (Пиза, 1991), на сеьшнаре кафедры квантовой радиофизики физического ф-та МГУ (1987), на семинарах отдела микроэлектроники НИИЯФ МГУ, е также опубликовано 10 печатных работ. 2. КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения и списка цитируемой литературы.

Во введении обосновывается актуальность теш и формулируется цель работы.

Первая глава состоит из двух параграфов и посвящена обзору литературы по z-пинчу в плотном газе и

экспериментальным методикам исследования параметров плазмы ППГ.

В §1 рассматриваются работы по исследованию пинма в плотном газе. Проводится сравнительный анализ результатов, описанных в цитируемой литературе и возможных причин расхождения получаемых разными авторами результатов.

В §2 рассматриваются методики, применяемые для экспериментального исследования параметров плотной горячей плазмы ППГ. Приведены основные соотношения, необходимые для вычисления параметров плазмы по экспериментально измеряемым величинам и ограничения на применимость рассматриваемых методов.

Глава 2 состоит из 10 параграфэв. В ней описывается экспериментальная установка и методики.

В §1 сформулированы подходы использованные для изучения возможности создания источника МРИ на основе ППГ.

В §2 приводится функциональная схема экспериментальной установки, описываются осповные узлы и приборы входящие в нее, а так же схема синхронизации аппаратуры и схема автоматизации эксперимента. Пянч в плотном газе создавался следующим образом. В коаксиальную разрядную камеру напускался исследуемый буферный газ при начальном давлении от 400 до 2000 торр. К разрядной камере без промежуточных разрядников были присоеденеш четыре малоиндуктивных конденсатора общей емкостью 0.374 мкФ. Конденсаторы заряжались до напряжения ниже пробойного напряжения при исследуемом давлении буферного газа. Затем гигантским импульсом излучения твердотельного лазера улс.-яа, сфокусированного вдоль оси разрядной камеры, через отверстие в верхнем электроде, производилась инициация разряда. Индуктивность установки была 70 пГн. При рабочем

напряжении 40 кВ Сила получена скорость нарастания тока 5 10" А/с.

В §3 рассматривается проблема электродов однородного поля для коаксиальных разрядников. Для получения максимальных режимов по току при заданном сорте и давлении газа, необходимо было произвести оптимизацию разрядной камеры по величине напряжения пробоя. Как Сало показано экспериментально и теоретически 6 коаксиальных ргзряжжах малой индуктивности нельзя пренс Со гать в/иш~ш обратного токопровода на распределение электр::чоского поля в разрядном промежутке. Это влияние приводит к тому, что классические электрода однородного пол я перестают бг-ь такокаш в коаксиальных рээрядажсэх малой индуктивности. Проведйкшй анализ показал, что глвозможно создать электрода однородного воля в коаксиальных разрядниках при величине разрядного промеаутха более 18* от диаметра обратного токопровода. Шл реализован чнелешшй алгоритм построения ф>рш опташмровашшх электродов однородного поля для коаксиального разрядника, аппроксимированной полиномами ЧеОышава. Получены козфрщиэцта Форш для разрядшх прси-экут-ков длиной от 10 до 24% от дизнзгра обратного токопровода. Получено теоретически и экспериментально подтверждено уЕела-чегае напряжения пробоя для оптимизированных электродов на 15-25% по отношению к электродам Чанга. •

В §4 описаны диагностики пршжненнао на установке для определения электрических характеристик разряда (шунты, делители, пояс роговского) и способы их калибровки.

В §5-описаш методики калибровки стрик-ка«ерц Агат-СО, используемой дяя регистрации динамики радиуса канала Ш1Г, в пространственно« и временном измерениях, и методики калибровки спектрографической аппаратуры, предназначенной для рагист-

- в -

рации спектров 1ШГ в видимом диапазоне.

В §6 описан способ калибровки решеточного рентгеновского спектрографа по длинам воли. Отсутствие достаточно частого калибровочного спектра в области МРИ но позволяет стандартным образом вччислить яеизЕвсткаа параметра в установка дотзктора (открытого ЬШ) на круга Роулавда я определить нелинейности электронной аппаратур!. Поэте ^у для каят-роики споктрогрО решалась система трансцендентных уравнения. В результате уд&лось произвести калибровку спектрографа ко кг.глин воли с точностью, определяемой аппаратной <йункцяоа спгкгрогро^э и регистрпрувдзй аппаратура, по одной известной долга боям от калибровочного источника (К-.тлния углерода 44.7А) и нулевому поряжу спектрографа. Точность калибровки контролировалась по К-линиям кислорода (23.6А) я бора (67.6А)

В §7 описана мэтодака определения концентрации примзеи в водородной плазш с пространственным разрешением. Для этой цели использовалась рогистргцяя видимых спектроз, усродаенных ээ время разряда, с прострэясгвеннш разрешением. Для получения абсолетных значений концентрации использовалась каяодзров-ка интенсивностей Jtranffl принеси по интенсивности водородного континуума. Это позволяло избегать необходимости производить измерения абсолютной кнтенсшюсти спзктрзльшх лккиА я учат геометрии разряда и регистрирующей аппаратур?.

В §8 описана методика получения серии дзумзрннх лазергшх теневых фотографий с временем экспозиции кадра 0.25 не и интервалом 10 не кедяу кадрам!. Для получения шщирупжо излучения использовался лазер с актшгоЯ синхронизацией г.'оя. Для пространственного разделшш на Фзтопяеикз кгсбрзшшя последователь!!!« кадров применялась стрик-кзквра без входной дали. В таком варианте за время экспозиции (0.25 ие) изобрэ-

- <з -

женив на выходном экране стрик-камеры сдвигалось на 0.15 мм, что оцределяло пространственное разрешение метода. За время между последовательными импульсами цуга зондирующего излучения развертка смещалась на 6 мм, позволяя регистрировать кадры размером 5 мм. На экране стрик-камеры Агат-СФ удалось получить до 6 последовательных кадров.

В §9 описана методика определения температуры и концентрации водородной плазмы по линии нд регистрируемой со строби-рованием. Минимальная длительность стробируодего импульса позволила регистрировать линию на усредненную за время нарастания тока, и получать усредненные за этот интервал времени значения концентрации и температуры плазмы.

В §10 описан способ определения временной зависимости концентрации и температуры плазмы по току и радиусу канала ППГ. На основании измерения гокэ и радиуса из уравнения разрядной цепи вычислялась зависимость средней по каналу проводимости плазмы. В случае замэгниченности плазмы в выражение для проводимости явным образом входит концентрация электронов.в плазме. Для определения концентрации использовалось уравнение энергобаланса. Выла решена система уравнений для проводимости и энергобаланса. Показано, что в проводимых экспериментах плазма была сильно замагничена. Это приводило к двузначности решения системы. Произведен анализ решения и выполнено обоснование выбора определенных ветвей решения. Для этого использовались как данные по независимому определению температуры плазмы спектроскопическими методами, так и физические соображения.

, В третьей главе представлен экспериментальный материал по динамике ППГ в водороде и азоте при начальных давлениях от 0.7 до 2 атм. Приведены результаты исследования варианта

внесения примеси в водородную плазму путем медленого (200 мкс) испарения материала нижнего электрода (алюминия) свободной генерацией неодишвого лазера. Описаны эксперименты по созданию искусственной перетяжки в ППГ,

В §1 приведены результаты измерения динамики ППГ в • водороде. Показано, что при энэргоэапасв от 180 до 320 Да удается нагреть водород до 40 ♦ 50 эВ при концентрации Z * 4 Ю1Всм"э. Зависимости температуры плазмы от начального давления обнаружено не было. Концентрация плазмы на горячей стадии разряда росла пропорционально начальному давлению газа. Показано, что плазма ППГ оказывается замагничэнной (иг » 4), хотя магнитное давление всегда существенно ниже газо-кшютического. Теплопроводаостная аккреция приводит к тому, что после быстрого прореживания сразу поело возникновения плазменного канала, на интервале временя от 30 до 150 не концентрация в разряде почти не меняется, хотя диаметр канала линейно растет. Дальнейшее расширение приводит к уменьшении аккреция, к концентрация начинает медленно падать. Влияние звмагпиченности плазмы на проводимость резко замедляет падение удельной мощности вкладываемой в разряд. Последнее приводит к тому, что рост температуры плазмы продолжается в тече-нго* всего регистрируемого интервала времени (200 не). Независимые спектральные измерения температуры и концентрации находятся в хорошем согласии с данными, полученными по проводимости.

В §2 описаны аналогичные измерения для разряда в азоты. Результаты измерения показывают, что увеличение атомной массы газа замедляет расширение канала и, соответственно, увеличивает удельный энерговклад, что приводит к росту температуры. Это обстоятельство зарание на очевидна, поскольку в азоте

валики затрата энергии на ионизацию (« 1кэВ) В разряда в езоте тзмпература достигала 100 эВ при электронной концентрации 3 I019см"3. При такой температуре и концентрации происходит полная ионизация ь-оболочки азота. Однако, на измеряемом интервале времени (200 не), ионизация К-оболочки только начинается.

В §3 описаны результаты опытов по внесению излучающей примеси в водородную плазму ППГ путем испарения материала электрода лазерным излучением. Показано, что при таком способе введения ко:п;знх;.эция примеси ограничена самопробоем и не привышает 10"г от концентрации буферного газа.

В §4 описоиы результаты экспериментов по созданию искусственной перетяжки в ППГ, как способа локального внесения излучающей примеси в разряд. С этой целью поперек разряда помещалась тонкая диэлектрическая пленка (лавсан 40 мкм) с предварительно выполнении отверстием диаметром 200 мкм. Инициация разряда производилась гигантским лазреным импульсом, сфокусированным вдоль оси, проходящей через отверстие в пленке. Был измерен энерговклад в искусственную перетяхжу, вызываемую ограничением диаметра разряда пленкой. Показано, что до 50% вкладываемой в разряд энергии диссипирует в перетяжке. Зарегистрированы спектры МРИ водородо- и гелиоподобных ионов кислорода из перетяжки. По отношению интенсивностей линий была определена средняя (без разрешения по времени) температура плазмы в поретяжко » 90 эВ. Проведен анализ термоизолирующего действия испаряющейся стенки при сильном осевом истечении вещества из области перетяжки. Показано, что наличие испарения приводит к резкому сокращению потока тепловой энергии уходящего из. разряда на стенку. Произведено квази-двумэрное МГД моделирование динамики плазмы в перетяж-

ко. Получены оценки для максимальной температуры 150 эВ при плотности 7 Ю1всм~э. Получено, что при энергозапасв 360 Дж энергия МРИ составляет величину - 10 Дяс. Это свидетельствует о перспективности использования ГШГ с искусственной перетяжкой в качества источника КРИ.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ

1. Создана экспериментальная установка для исследования г-и,с!ча в плотном газе с лазерной инициацией разряда, обеспечивающая возможность измерения следующих параметров плазмы:

- временной зависимости полного тока разряда,

- временной зависимости радиуса канала разряда,

видимых спектров с пространственно-временным разрешением,

- рэнтгеновских спектров плазмы,

- температура с пространственным разрешением, усредненной неполному Еремени разряда,

- температуры с временным разрешением, усредненной по каналу разряда,

концентрации с пространственным разрешением, усредненной пополному времени разряда,

- концентрации с временным разрешением, усредненной по каналу разряда.

2. Разработана методика измерения температуры п концепт- ■ рации плазм с временным разрешением по току и радиусу пинча.

' з. Разработана и проверена экспериментально методика определения формы электродов, обеспечивающих возможность достижения максимального напряжения в коаксиальном разряднике.

4. Проведаны исследования параметров однородного столба z-пича в плотном газа с энергетикой до 300 Дж в водороде и азоте в зависимости от начального давления (0.7 - 2 атм.). Показано, что температура плазмы растет с атомным номером элемента и не зависит от начального давления. Продемонстрирована возможность получения температур « 50 эВ с концентрацией

5 1018см"' в водороде и « 100 эВ с концентрацией 1.5 Ю,8см"3

6 азота.

5. Проведены исследования возможности локального введения излучавдей МРИ примеси в водородную плазму путем предварительного испарения материала одного из электродов лазерным излучением. Показано, что при таком способе введения концентрация излучателя намного ниже концентрации буферного газа.

6. Предложен и реализован способ создания искусственной перетяжки в канале z-пкнчз в плотном газе, путем помещения диэлектрической пленки с отверстием порядка 100 мкм перпендикулярно оси разряда, обеспечивающей:

- малые размеры и точную пространственную привязку излу-чашей области,

- значение температуры н концентрации плазмы в перетяжке, достаточные для ее использования в качестве источника МРИ,'

- заданный состав плазш в перетяжке,

- отсутствие резонансного перепоглощения в буферном газе.

7. Экспериментально показано, что при использовании лавсановой пяашш кшцшой 40 ты радиус перагяжн не превышав® 0.7 до, и в та выделяется до 50% энергии, вкладываемой в разряд. Зарегистрированы спектра гелио- и водородоподобных шиов кислорода из области искусственной перетяжки. По спектрам получена шшшя оценка температуры в аяазш перетяжки -90 зВ. Результата кваэн-двумерного МГД моделирования разряда

в искусственной перетяжке дают температуру разряда 150 эВ, концентрацию 7 10*"см"3, при полной энергии, излученной в области мягкого рентгена, 10 Дж.

Материалы диссертации опубликованы в следующих работах:

1. Демидов А.А., ксаян Г.М., Калайдзидис Я.Л., Низковольтовая система выделения одиночного импульса из цуга пикосекундных импульсов. ПТЭ IS84, N 3, ст.186-7.

2. Захаров А.И., Калайдзидис Я.Л., Лазерная теневая фотосъемка с субнаносекундным временным разрешением. ПТЭ, 1988, N 3, ст. 198-200

3. Захаров А.И., Калайдзидис Я.Л., Титаев А.А., Пробивное напряжение для электродов однородного поля в козксиале при повышенном давлении газа., Тез. Докл. Всесоюзной конференции по физике газового разряда., ч.2, Махачкала,

1988, сг.31-2.

4. Захаров А.И., Калайдзидис Я.Л., Кащеев А., Дорош Ю.И., Методика измерений параметров плазмы по спектрам ее излучения в видимом и рентгеновском диапазонах. Тез. Докл. i Всесоюзного симпозиума по радиационной плазмодинамике., ч.2, Москва, Энергоатомиздат, 1989, ст.23-4.

5. Захаров А.И., Калайдзидис Я.Л., Исследование z-пинча в плотном газе., Тез. Докл. i Всесоюзного симпозиума по радиационной плазмодинамике., ч. I, Москва, Энергоатомиздат,

1989, ст.56-7.

6. Kalaidzidie Ya.L., Zakharov A.I., Experimental investigation o£ the laser initiated gac-erabadded Z-pirich,, Proc. xix icpig, Belgrade, 10-14 July, 1989, v.2, p.500-2.

7. Kalaidzidis Yal.L., Zakharov A.I., Eicctrod torn influence of the coaxial spark gap breakdown voltage., Proc. XIX ICPIG, Belgrade, 10-14 July, 1989, v.I, p.II2-3.

8. Захаров А.И., Калайдзидис Я.Л., Титаев A.A., Устройсво для создания сильноточного разряда в плотном газе., авторское свидетельство N Г486003.

9. Ivanov V.V., Kalaidzidis Ya.L., Zakharov A.I., Formation of Point Source of Soft X-RAY Radiation (SXR) in Channel of Z-Pinch in Dsnse Gas. Proc. XX ICPIG, Pisa, July 1991, v.3, p.254-5.

10. Захаров А.И., Калайдзидис Я.Л., Иванов В.В., Устройство для создания сильноточного разряда в плотном газе. Заявка на изобретение н 490-53-41.

Подп. в печ. 06.05.92 г. Тира* 100 экз. Заказ № 14818

Централизованная типография ГА "Сиюзстройматериалов'1