Импульсные газовые лазеры с полупроводниковыми прерывателями тока тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.13 ВАК РФ

Введение.

ГЛАВА 1.0Б30Р ЛИТЕРАТУРЫ И МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ.

1.1. Принцип действия лазера с накачкой от ГИНЭ. Основные режимы накачки. Роль индуктивного накопителя в генераторе накачки.

1.2. Первые газовые лазеры с прямой накачкой от ИНЭ.

1.3. Газовые лазеры с накачкой от генератора с ИНЭ и плазмоэрозионным прерывателем тока.

1.3.1. Экспериментальная аппаратура и методики измерений.

1.3.2. Азотный УФ лазер.

1.3.3. Эксиплексный ХеС1-лазер.

1.3.4. Пеннинговский плазменный Ne-лазер.

1.3.5. Выводы.

1.4. Газовые лазеры с накачкой от генератора с ИНЭ и газоразрядным прерывателем тока.

1.5. Газовые лазеры с накачкой от генератора с ИНЭ и ППТ.

1.6. Сравнение с другими генераторами накачки.

1.7. Выводы. Характерные особенности работы ГИНЭ.

ГЛАВА 2 .ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ.

2.1. Лазеры с продольным разрядом.

2.2. Лазеры с накачкой от ГИНЭ на основе промышленных диодов типа СДЛ.

2.3. Лазеры с накачкой от ГИНЭ на основе SOS-диодов.

2.4. Диагностическая аппаратура и экспериментальные методики.

ГЛАВА 3.НАКАЧКА ГАЗОВЫХ ЛАЗЕРОВ С ПРОДОЛЬНЫМ РАЗРЯДОМ ОТ ГЕНЕРАТОРА С ИНЭ И ППТ.

3.1. Работа ГИНЭ на резистивнуго и емкостную нагрузку.

3.2. Расчетная модель.

3.3. Характеристики ^-лазера.

3.4. Характеристики С02-лазера с накачкой продольным разрядом.

3.5. Выводы.

ГЛАВА 4.НАКАЧКА ГАЗОВЫХ ЛАЗЕРОВ С БОЛЬШИМ СОПРОТИВЛЕНИЕМ ПЛАЗМЫ РАЗРЯДА (> 1 ОМ).

4.1. Введение.

4.2. Нецепной HF-лазер.

4.3. С02-лазер.

4.4. Выводы.

ГЛАВА 5.НАКАЧКА ГАЗОВЫХ ЛАЗЕРОВ С МАЛЫМ СОПРОТИВЛЕНИЕМ ПЛАЗМЫ РАЗРЯДА (< 1 ОМ).

5.1. Генерация на молекуле ХеС1.

5.1.1. Экспериментальные результаты.

5.1.2. Модель ХеС1-лазера.

5.1.3. Результаты численных расчетов.

5.1.4. Обсуждение результатов эксперимента и расчета.

5.2. Генерация на молекулах KrF и XeF.

5.2.1. Экспериментальные результаты.

5.3. Выводы.

Актуальность работы. В настоящее время для накачки импульсных электроразрядных лазеров широко используются генераторы, основанные на емкостных накопителях энергии (ЕНЭ). Применение генераторов накачки с ЕНЭ позволило создавать лазеры с высокой импульсной и средней мощностью излучения [1-10]. В процессе создания мощных эффективных лазеров приходится решать ряд сложных проблем, связанных с повышением мощности накачки, формированием однородного объемного разряда и эффективной передачей в него энергии, накопленной в генераторе накачки. К внешней электрической цепи предъявляются жесткие и зачастую противоречивые требования: минимизировать индуктивность; обеспечить высокое напряжение на разрядном промежутке на стадии формирования разряда и значительно более низкое напряжение на стадии ввода основной энергии в разряд и т.п.

Применение генераторов с ЕНЭ для решения этих проблем в ряде случаев сопряжено с серьезными трудностями. Вместе с тем уже достаточно давно известны методы формирования импульсов высокого напряжения с помощью прерывателей тока и индуктивных накопителей энергии (ИНЭ), когда определенная часть энергии первичного емкостного накопителя передается в индуктивность разрядного контура, а затем в нагрузку. В генераторе накачки прерыватель выполняет (совместно с ИНЭ) функции усилителя мощности, умножителя напряжения, а также обострителя фронта импульсов тока и мощности. Таким образом, применение прерывателя тока позволяет использовать все потенциальные возможности LC-генератора накачки, а перечисленные свойства делают ИНЭ и прерыватель важными инструментами при решении проблем, связанных с формированием объемного разряда и передачей в него энергии.

В 1975 году ИНЭ впервые был применен для накачки лазера - азотного УФ лазера с поперечным разрядом. Дальнейшие исследования показали, что генераторы с индуктивными накопителями энергии (ГИНЭ) позволяют легко изменять режимы накачки и осуществлять возбуждение лазеров различного типа в оптимальных условиях. Широкое применение подобных генераторов накачки долгое время сдерживалось из-за отсутствия простых и надежных прерывателей тока, способных работать в импульсно-периодическом режиме. Однако ситуация изменилась после открытия эффекта наносекундного обрыва тока в промышленных силовых диодах типа СДЛ и КЦ и создания на основе этого эффекта специального прерывателя тока -SOS-диода (от англ. Semiconductor Opening Switch). SOS-диоды позволяют переключать на нагрузку токи в десятки килоампер за единицы наносекунд с частотой повторения в несколько килогерц. При этом они компактны, способны выдерживать многократные перегрузки по току и напряжению, имеют практически неограниченный срок службы.

Широкие возможности, которые открывает применение прерывателя в генераторах накачки, в сочетании с уникальными качествами современных полупроводниковых прерывателей тока (ППТ) делают генераторы с ИНЭ и ППТ весьма привлекательными, если речь идет о возбуждении импульсных газовых лазеров. Появилась реальная возможность создания импульсных и импульсно-периодических газовых лазеров с накачкой от генераторов с ИНЭ и прерывателем тока, созданных на основе твердотельных коммутаторов. Поэтому исследования импульсных газовых лазеров с накачкой от генераторов с ИНЭ и ППТ являются актуальными.

К началу диссертационной работы были проведены отдельные демонстрационные эксперименты по накачке лазеров от генераторов с ИНЭ и ППТ, причем в качестве ППТ использовались только промышленные диоды типа СДЛ и КЦ. В данной работе впервые в генераторах накачки были использованы SOS-диоды.

В диссертационной работе было продолжено исследование генераторов с ИНЭ и ППТ, а затем эти генераторы были применены для накачки лазеров различного типа. При этом особое внимание уделялось решению проблем, связанных с формированием объемного разряда и передачей в него энергии.

Целью диссертационной работы является экспериментальное исследование перспективности применения генераторов с ИНЭ и ППТ для накачки импульсных газовых лазеров различного типа, как в импульсном, так и в импульсно-периодическом режимах. В рамках поставленной цели решались следующие задачи:

1. Исследование различных режимов накачки XeCl-, XeF-, KrF-, HF-, С02- и азотного лазеров от генератора с ИНЭ и ППТ, обеспечивающих достижение максимальных параметров излучения.

2. Анализ режимов работы генератора с ИНЭ и ППТ на различные нагрузки.

3. Создание длинноимпульсного ХеС1-лазера с накачкой от генератора с ИНЭ и ППТ.

Методы исследований. Основным методом исследований является физический эксперимент. Для определения характеристик разряда использовались стандартные методики измерения и регистрации осциллограмм импульсов тока разряда, напряжения на плазме, свечения разряда. Для интерпретации полученных экспериментальных данных использовалось математическое моделирование на компьютере и оценочные расчеты.

Достоверность результатов исследований обусловлена применением общепринятых методик электрических и лазерных параметров, современной регистрационной аппаратуры, совпадением экспериментальных и расчетных результатов, согласием результатов с данными, полученными другими авторами.

Защищаемые положения:

1. Экспериментально продемонстрирована перспективность применения генераторов с ИНЭ и ППТ для накачки электроразрядных эксиплексных лазеров (XeCl, XeF и KrF) с искровой УФ предыонизацией и поперечным разрядом. В частности, для ХеС1-лазера получены уникальные для лазера такого класса параметры излучения: плотность энергии излучения >150 мДж/см2 (энергия излучения 1 Дж) при длительности импульса излучения на полувысоте 300 не (полная длительность импульса излучения 550 не).

2. Использование генератора с ИНЭ и ППТ позволяет осуществить эффективную накачку в электроразрядном С02-лазере с поперечным разрядом при значении приведенной напряженности электрического поля Е/р, близком к оптимальному, и достичь КПД -15% относительно всей энергии, запасенной в генераторе накачки. При этом лазер отличается от других лазеров такого класса относительной простотой конструкции и отсутствием специального генератора высоковольтного предымпульса для пробоя разрядного промежутка.

3. Для электроразрядного нецепного HF-лазера с накачкой от генератора с ИНЭ и

ППТ, в отличие от других лазеров такого класса, реализуется высокая эффективность генерации (до 5.5 % от вложенной энергии) при значительных удельных энергиях излучения (~50 Дж/л-атм). 4. При использовании генератора с ИНЭ и ППТ для накачки лазеров установлено, что в ряде случаев подключение специально подобранной емкости параллельно ППТ позволяет оптимизировать работу прерывателя, существенно снижая энергопотери в нем и повышая эффективность лазера в целом. Научная новизна работы:

1. Экспериментально показано, что применение генераторов накачки с ИНЭ и ППТ позволяет успешно решать характерные для мощных эффективных электроразрядных лазеров проблемы формирования однородного объемного разряда и эффективной передачи в него энергии, и имеет ряд преимуществ по сравнению с применением традиционных генераторов на основе ЕНЭ.

2. Проведенные исследования доказывают перспективность применения генераторов с ИНЭ и ППТ для накачки импульсных газовых лазеров различного типа.

3. Впервые экспериментально показано, что:

• При накачке от генератора с ИНЭ и ППТ в HF-лазере достигается высокая эффективность генерации (5.5 % относительно вложенной энергии) при высоких удельных энергиях излучения (-50 Дж/(л-атм)).

• Для электроразрядного ХеС1-лазера, накачиваемого от генератора с ИНЭ и ППТ, при использовании искровой УФ предыонизации достигается длительность л импульса излучения 550 не при плотности энергии излучения >150 мДж/см .

4. Применение ИНЭ для накачки азотного лазера с продольным разрядом уменьшает влияние неустранимой индуктивности газоразрядной трубки, которая ограничивает мощность излучения лазеров на самоограниченных переходах при накачке от емкостных накопителей энергии.

Практическая ценность работы: 1. Созданы длинноимпульсные ХеС1-лазеры с накачкой от генератора с ИНЭ и ППТ и искровой УФ предыонизацией с длительностью импульса генерации на полувысоте 300 не при энергии излучения 1 Дж, 200 не на полувысоте при энергии излучения 1.5 Дж, а также 210 не на полувысоте при энергии излучения 0.8 Дж и КПД 2.2 %.

2. Созданы эффективные HF- и С02- лазеры с накачкой поперечным разрядом от генератора с ИНЭ и ППТ.

3. Созданы импульсно-периодические азотный и CCV лазеры с накачкой продольным разрядом от генератора с ИНЭ и ППТ.

4. Показано, что в ряде случаев при использовании генератора с ИНЭ и ППТ для накачки лазеров подключение специально подобранной емкости параллельно ППТ позволяет оптимизировать работу прерывателя, существенно снижая энергопотери в нем и повышая эффективность лазера в целом.

5. Показано, что полученная на основе экспериментальных данных линейная зависимость скорости роста сопротивления SOS-диода от величины емкости конденсатора, подключенного параллельно диоду, позволяет в ряде случаев прогнозировать поведение генератора накачки с ИНЭ и ППТ без привлечения специальных математических моделей SOS-диода.

Личный вклад автора заключается в активном участии в постановке задач и целей исследований, создании экспериментальных установок и проведении на них комплекса экспериментов по накачке газовых лазеров с помощью генераторов с ИНЭ и ППТ, математическом моделировании работы генератора накачки с ИНЭ и ППТ на газоразрядную нагрузку, анализе результатов и формулировке выводов. Все результаты диссертационной работы получены автором лично или совместно с соавторами при его непосредственном участии.

Апробация работы

Результаты работы докладывались на следующих конференциях: 3rd, 4th, 5th International Conference "Atomic and Molecular Pulsed Lasers", Tomsk, Russia, 1997, 1999, 2001; International Conference on High-Power Laser Ablation, Santa Fe, NM, USA, 1998; 1st, 2nd International Conference "Gas and Chemical Lasers and Intense Beam Application", San Jose, California USA, 1998, 1999; 12th Symposium on High Current Electronics, Tomsk, Russia, 2000; 13th International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, Florence, Italy, 2000; LASERS'97, New Orleans, LA, 1977; LASERS'98, Tucson, Arizona, USA, 1998; LASERS'99; LASERS 2000, Albuquerque, NM, USA, 2000.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, приложения и библиографического списка. Диссертационная работа

5.3. Выводы

1. Генератор накачки с ИНЭ и ППТ может с успехом применяться для получения импульсов излучения большой длительности в эксиплексных электроразрядных лазерах. При этом длинноимпульсный лазер с накачкой от генератора с ИНЭ и ППТ отличается от других лазеров такого класса относительной простотой конструкции и отсутствием специального генератора высоковольтного предымпульса для пробоя разрядного промежутка.

2. Благодаря применению генератора с ИНЭ и ППТ для накачки электроразрядного ХеС1-лазера получены уникальные для лазера такого класса параметры излучения: плотность энергии излучения >150 мДж/см2 (энергия излучения составляла 1 Дж) при длительности импульса излучения на полу высоте 300 не (полная длительность импульса излучения 550 не). Данные параметры получены с использованием надежной искровой системы УФ предыонизации.

3. При оптимизации схемы генератора накачки с ИНЭ и ППТ и увеличении числа SOS-диодов в прерывателе можно ожидать существенного увеличения полного КПД исследованных эксиплексных XeF-, KrF- и XeCl- лазеров.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В настоящей работе представлены результаты экспериментального исследования перспективности применения генераторов с ИНЭ и ППТ для накачки импульсных газовых лазеров. Продемонстрированы возможности генератора с ИНЭ и ППТ при накачке лазеров различного типа. Перечислим основные результаты работы:

1. Экспериментально показано, что применение генераторов накачки с ИНЭ и ППТ позволяет успешно решать характерные для мощных эффективных электроразрядных лазеров проблемы формирования однородного объемного разряда и эффективной передачи в него энергии, и имеет ряд преимуществ по сравнению с применением традиционных генераторов на основе ЕНЭ.

2. Создан ряд лазеров (длинноимпульсные эксиплексные XeCl-, XeF- и KrF-лазеры, эффективные HF- и С02-лазеры с поперечным разрядом, импульсно-периодические N2- и С02-лазеры с продольным разрядом) с накачкой от генератора с ИНЭ и ППТ.

3. Экспериментально продемонстрирована перспективность применения генераторов с ИНЭ и ППТ для накачки эксиплексных лазеров (XeCl, XeF и KrF) с искровой УФ предыонизацией и поперечным разрядом. В частности, для ХеС1-лазера получены уникальные для лазера такого класса параметры излучения: плотность энергии излучения >150 мДж/см2 (энергия излучения 1 Дж) при длительности импульса излучения на полувысоте 300 не (полная длительность импульса излучения 550 не).

4. Показано, что использование генератора с ИНЭ и ППТ позволяет осуществить эффективную накачку в электроразрядном С02-лазере с поперечным разрядом при значении приведенной напряженности электрического поля Е/р, близком к оптимальному, и достичь КПД относительно полной энергии, запасенной в генераторе накачки -15%. При этом лазер отличается от других лазеров такого класса относительной простотой конструкции и отсутствием специального генератора высоковольтного предымпульса для пробоя разрядного промежутка.

5. Показано, что для электроразрядного нецепного HF-лазера с накачкой от генератора с ИНЭ и ППТ, в отличие от других лазеров такого класса, реализуется высокая эффективность генерации (до 5.5% от вложенной энергии) при значительных удельных энергиях излучения (~50 Дж/л-атм), в том числе в смесях с водородом.

6. При использовании генератора с ИНЭ и ППТ для накачки лазеров установлено, что в ряде случаев подключение специально подобранной емкости параллельно ППТ позволяет оптимизировать работу прерывателя, существенно снижая энергопотери в нем и повышая эффективность лазера в целом.

Полученные результаты позволяют считать перспективным применение генераторов с ИНЭ и ППТ для накачки импульсных газовых лазеров различного типа.

Благодарности:

Автор выражает глубокую признательность научному руководителю В. Ф. Тарасенко и А. Н. Панченко за внимание к работе, творческое обсуждение результатов и ценные советы при проведении исследований; В. М. Орловскому и В. А. Визирю — за предоставленные консультации, поддержку работы и помощь в проведении экспериментов; С. Н. Рукину - за консультации, поддержку работы и предоставленные SOS-диоды; Ю. И. Бычкову и А. Г. Ястремскому - за полезные обсуждения экспериментов с ХеС1-лазером и проведение расчетов, моделирующих работу этого лазера; И. Н. Коновалову и А. И. Суслову - за консультации; И. Д. Костыре, С. Э. Кунцу, М. И. Ломаеву, Э. А. Соснину, В. В. Феденеву, В. В. Червякову

- за помощь в проведении экспериментов и обсуждение результатов; В. В. Синицыну

- за помощь в создании экспериментальных установок.

1. Оришич А. М., Пономаренко А. Г., Солоухин Р. И. Газовые лазеры. Новосибирск: Наука, 1977. 360 с.

2. Excimer Lasers. / Ed. by Rhodes C.K. Springer-Verlag: Berlin, 1979.

3. Little C.E., Metal Vapour Lasers: Physics, Engineering & Applications. Chichester, UK, John Wiley & Sons Ltd., 1998.

4. Газовые лазеры. / под ред. Мак-Даниеля И. и Нигена У. М.: Мир, 1986. 548 с.

5. Веденов А. А. Физика электроразрядных С02-лазеров. М.: Энергоатомиздат, 1982. 111 с.

6. Солдатов А. Н., Соломонов В. И. Газоразрядные лазеры на самоограниченных переходах в парах металлов. Новосибирск: Наука, 1985. 548 с.

7. Виттеман В. Дж. С02-лазер. М.: Мир, 1990. 360 с.

8. Баранов В. Ю., Борисов В. М., Степанов Ю. Ю. Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов. М.: Энергоатомиздат, 1988. 216 с.

9. Месяц Г. А., Осипов В. В., Тарасенко В. Ф. Импульсные газовые лазеры. М.: Наука, 1991. 272 с.

10. Газовые лазеры: сб. научн. Трудов. / под ред. Арутюняна В. М. Ереван: издательство Ереванского университета, 1989. 200 с.

11. Физика и техника мощных импульсных систем: Сб. ст. / под ред. Велихова Е. П. М.: Энергоатомиздат, 1987. 352 с.

12. Накопители энергии. / Бут А. Д., Алиевский Ю. Л., Мизюрин С. Р., Васюкевич П. В. М.: Энергоатомиздат, 1991. 400 с.

13. Кремнев В. В., Месяц Г. А. Методы умножения и трансформации импульсов в сильноточной электронике. Новосибирск: Наука, 1987. 226 с.

14. Бурцев В. А., Калинин Н. В., Лучинский А. В. Электрический взрыв проводников и его применение в электрических установках. М.: Энергоатомиздат, 1990. 288 с.

15. Fyodorov A. I., Tarasenko V. F. Transverse discharge excitation copper vapor laser with pulsed vapor generation. // Proc. SPIE 1993.V. 2110. P. 100-103.

16. Бычков Ю. И., Коновалов И. Н., Тарасенко В. Ф. Лазер на смеси Ar:Xe:NF3 с разрядом, стабилизированным короткоимпульсным пучком электронов. // Квантовая электроника. 1979. Т. 6, № 5. С. 1004-1009.

17. Lakdawala V. К., Moruzzi J. Y. Measurements of attachment coefficients in NF3-N2 and NF3- rare mixtures using swarm techniques. // J. Phys. D. Appl. Phys. 1980. V. 68. P. 76-78.

18. Бычков Ю. И., Иванов Н. Г., Лосев В. Ф. Ускоритель электронов с индуктивным накопителем энергии и плазменным прерывателем тока как источник накачки газовых лазеров. // Журнал технической физики. 1989. Т.59, Вып. 8. С. 75-77.

19. Schoenbach К. Н., Kristiansen М., Schaefer G. A review of opening switch technology for inductive energy storage. // Proc. IEEE 1984. V. 72. P. 1019-1040.

20. Месяц Г. А., Панченко A. H., Тарасенко В. Ф. Лазеры на смеси Ne-Xe-HCl и азоте при накачке генератором с плазменным прерывателем. // ДАН СССР, 1989. Т. 307, №4. С.869-872.

21. Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Стабильная работа плазменного прерывателя с током переключения до 10 кА. // Физика плазмы. 1990. Т. 16, В. 9. С.1061-1067.

22. Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Накачка газовых лазеров от генератора с индуктивным накопителем. // Квантовая электроника. 1990. Т. 17, № 1. С. 32-34.

23. Плазменный фокус как коммутатор тока для капиллярного разряда. / Хаутиев Э. Ю., Анциферов П. С., Дорохин Л. А., Кошелев К. Н., Сидельников Ю. В. // Журнал технической физики. 1998. Т. 68, № Ц. с. 110-113.

24. Котов Ю. А., Месяц Г. А., Рукин С. Н., Филатов А. Л. Твердотельный прерыватель тока для генерирования мощных наносекундных импульсов. // Доклады Академии Наук. 1993. Т. 330, № 3. с. 315-317.

25. Рукин С. Н. Генераторы мощных наносекундных импульсов с полупроводниковыми прерывателями тока. // Приборы и техника эксперимента. 1999. №4. с. 5-36.

26. Ottinger P. F., Goldstein S. A., Meger R. A. Theoretical modelling of the plasma erosion opening switch for inductive storage applications. // J. Appl. Phys. 1984. V. 56, No 3. P. 774-784.

27. Бычков Ю. И., Лосев В. Ф., Савин В. В., Тарасенко В. Ф. Повышение эффективности ^-лазера // Квантовая электроника. 1975. Т. 2, № 2. С. 2047-2053.

28. Application of an inductive energy storage pulsed-power generation with POS for a laser system. Kamatani M., Ihara S., Satoch S., Yamabe C. // Proc. SPIE 2000. V. 3889. P. 793-800.

29. Панченко А. Н. Создание и применение электроразрядных эксиплексных XeCl- и KrCl-лазеров. Дисс. канд. физ.-мат. наук. Томск, 1989. 151 с.

30. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Книга IX. / Под ред. Фортова В. Е. М.:Наука, МАИК Наука/Интерпериодика, 2000.

31. Тарасенко В. Ф. Эффективность азотного УФ лазера с накачкой самостоятельным разрядом. // Квантовая электроника. 2001. Т. 31, № 6. С. 489-494.

32. Levatter J. I., Lin S. С. X-ray preionization for electric discharge lasers. // Appl Phys. Lett. 1979. V. 34. No.8. P. 505-508.

33. Levatter J. I., Lin S. C. Necessary condition for the homogeneous formation of pulsed avalanche discharges at high gas pressures. // J. Appl Phys. Lett. 1980. V. 51. No. 1. P. 210-222.

34. Long W.H., Plummer M.J., Stappaerts E.A. Efficient discharge pumping of an XeCl-laser using a high-voltage prepulse. // Appl. Phys. Lett. 1983. V. 43, No. 8. P. 735-737.

35. Гудзенко JI. И., Яковленко С. И. Плазменные лазеры. М.: Атомиздат, 1978. 256 с.

36. Ломаев М. И., Тарасенко В. Ф. Генерация на длинах волн 585.3, 540.1 нм и на 428 нм иона азота при накачке поперечным разрядом // Оптика и спектроскопия. 1986. Т. 61, Вып. 5. С. 1102-1105.

37. Ломаев М. И., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Исследование генерации в неоне при накачке самостоятельным разрядом с УФ предыонизацией. // Квантовая электроника. 1987. Т. 14, № 5. С. 993-996.

38. Мощная широкоапертурная эксиплексная лампа. / Коваль Б. А., Скакун В. С., Тарасенко В. Ф., Фомин Е. А., Янкелевич Е. Б. // Приборы и техника эксперимента. 1992. № 4. С. 244-245.

39. Эксимерная электроразрядная лампа с X = 126, 146 или 172 нм. / Кузнецов А. А., Скакун В. С., Тарасенко В. Ф., Фомин Е. А. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19, Вып. 5. С.1-5.

40. Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Накачка газовых лазеров от генератора с индуктивным накопителем. // Квантовая электроника. 1990. Т. 17, № 1. С. 32-34.

41. SOS-эффект: наносекундный обрыв сверхплотных токов в полупроводниках. / Дарзнек С. А., Котов Ю. А., Месяц Г. А., Рукин С. Н. // Доклады Академии Наук. 1984. Т. 334, №3. С. 304-306.

42. Theoretical model of the SOS effect. / Darznek S. A., Mesyats G. A., Rukin S. N., Tsiranov S. N. // XI Int Conf. On High Power Particle Beams., Prague, Czech Republic, 1996. V. 2. P. 1241-1244.

43. Дарзнек С. А., Месяц Г. А., Рукин С. Н. Динамика электронно-дырочной плазмы в полупроводниковых прерывателях сверхплотных токов. // Журнал технической физики. 1997. Т.67, № 10. С. 64-70.

44. Grekhov I. V., Mesyats G. A. Physical basis for high-power semiconductor nanosecond opening switches. // IEEE Transactions on plasma science. 2000. V. 28, No. 5. P. 15401544.

45. Ломаев M. И., Тарасенко В. Ф. ^-лазер с накачкой от генератора с индуктивным накопителем энергии и полупроводниковым прерывателем тока. // Квантовая электроника. 1995. т. 22, №5. с. 441-442.

46. Ломаев М. И., Панченко А. Н., В. Ф. Тарасенко. HF-лазер с накачкой от генератора с индуктивным накопителем энергии. // Квантовая электроника. 1997. Т. 24. № 6. С. 499-500.

47. Taylor R. S., Leopold К. Е. Magnetic-spiker excitation of gas-discharge lasers. // Appl. Phys. B. 1994. Vol. 95. P. 479-508.

48. High repetition rate spiker-sustainer XeCl laser. / Bernard N., Hofmann Th., Fontaine B. L., Delaporte Ph. C., Sentis M. L., Forestier В. M. // Appl. Phys. B. 1996. Vol. 62. P. 431-435.

49. High repetition rate operation of a long pulse excimer laser. / Sato Y., Inoue M., Haruta K., Nagai H., Murai Y. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 64, No. 6. P. 679-680.

50. High-efficiency operation of a gas discharge XeCl laser using a magnetically induced resonant voltage overshoot circuit. / Gerritsen J. W., Keet A. L., Ernst G. J., Witteman W. J. //J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67, No. 7. P. 3517-3519.

51. Bhadani P. K., Sylvan A., Harrison R. G. Efficient helium-free multi-joule TE-CO2 laser using spiker-sustainer excitation // Rev. Sci. Instrum. 1992. Vol. 63. P. 71-74.

52. Taylor R. S., Leopold К. E. Microsecond duration optical pulses from UV-preionized XeCl laser. // Appl. Phys. Lett. 1985. Vol. 47, No. 2. P. 81-83.

53. Long pulse KrCl exeimer laser at 222 nm. / Hueber J.-M., Fontaine B. L., Bernard N., Forestier В. M., Sentis M. L., Delaporte Ph. C. // Appl. Phys. Lett. 1992. Vol. 61. P. 2269-2271.

54. Taylor R. S., Leopold К. E. Ultralong optical-pulse corona preionized XeCl laser. // J. Appl. Phys. 1989. Vol. 65, No. 1. P. 22-29.

55. Эксимерный ХеС1-лазер с длительностью импульса генерации 0,5 мкс. / Ефимовский С. В., Жигалкин А. К., Карев Ю. И., Курбасов С. В. // Препринт ФИАН. № 79. Троицк, 1991.

56. Импульсно-периодический эксимерный лазер с магнитным звеном сжатия. / Агеев В. П., Атежев В. В., Букреев В. С., Вартапетов С. К., Жуков А. Н., Конов В. И., Савельев А. Д. // Журнал технической физики. 1986. Т.56, № 7. С. 1387-1389.

57. Natanaka Н., Obara М. High efficiency operation of the high repetition rate magnetic pulse compressor for KrF exeimer lasers. // Proc. of the 7th IEEE Int. Pulsed Power Conference, Monterey, California, USA, 1989. P. 671-674.

58. New high-repetition rate magnetic pulse compressor with multiple-current-pulse charging for gas lasers. / Akiyama J., Obara M, Midorikawa K., Tashiro H. // Proc. of the 7th IEEE Int. Pulsed Power Conference, Monterey, California, USA, 1989. P. 675677.

59. Observation of multi-pulse soft x-ray lasing in a fast capillary discharge. / Niimi G., Hayashi Y., Nakajima M., Watanabe M., Okino A., Horioka K., Hotta E. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. Vol. 34. P.2123-2126.

60. Repetitive nanosecond all-solid-state pulsers based on SOS diodes. / Lyubutin S. K., Mesyats G. A., Rukin S. N., Slovikovskii B. G. // Proc. of the 11th IEEE Int. Pulsed Power Conference, Baltimore, Maryland, USA, 1997. V. 2. P. 992-998.

61. Dickens J. C., Bridges J., Kristiansen M. Compact modulator using inductive energy storage and a solid state opening switch. // Proc. of the 22th IEEE Int. Power Modulator Symposium, Boca Raton, Florida, 1996. P. 55-58.

62. Evaluation of a Russian SOS Diode for use in a Compact Modulator System. / Dickens J. C., Kristiansen M., Giesselmann M., Kim J. G. // // Proc. of the 11th IEEE Int. Pulsed Power Conference, Baltimore, Maryland, USA, 1997. V. 1. P. 414-419.

63. All-solid-state triggerless repetitive pulsed power generator utilizing a semiconductor opening switch. / Teramoto Y., Deguchi D., Lisitsyn I., Namihira Т., Katsuki S., Akiyama H. // Review of scientific instruments. 2000. Vol. 72, No 12. P. 4464-4468.

64. Лазеры на самоограниченных переходах металлов. / Батенин В. М., Бучанов В. В., Казарян М. А., Климовский И. И., Молодых Э. И. М: «Научная книга», 1998. 544 с.

65. Технологические лазеры. Справочник в 2 т. Т. 1: Расчет, проектирование и эксплуатация. / Под ред. Абильсиитова Г. А. М: Машиностроение, 1991. 432 с.

66. Райзер Ю. П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с.

67. Плазмохимические процессы в неравновесной азотно-кислородной смеси. / Коссый П. А., Костинский А. Ю., Матвеев А. А., Силаков В. П. // Труды ИОФ АН. 1994. т. 47. с. 37-57.

68. Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Накачка газовых лазеров от генератора с индуктивным накопителем. // Квантовая электроника. 1990. т. 17, №1. с. 32-34.

69. Импульсные лазеры с накачкой продольным разрядом от индуктивного накопителя энергии. / Бакшт Е.Х., Визирь В.А., Панченко А.Н., Тарасенко В. Ф., Червяков В. В. // Оптика атмосферы и океана. 1998. т. 10, №11. с.1285-1289.

70. Бакшт Е.Х., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Азотный лазер с накачкой продольным разрядом от емкостного и индуктивного накопителей. // Квантовая электроника. 1998. т. 25, №12. с. 1087-1090.

71. Baksht Е. Н., Panchenko A. N., Tarasenko V. F. Discharge lasers pumped by generators with inductive energy storage. // IEEE J. Quant. Electron. 1999. vol. 35, No.3. p. 261266.

72. Pumping of discharg gas lasers by generators with inductive energy storage and semiconducting opening switch. / Tarasenko V. F., Baksht E. H., Kunts S. E., Panchenko A. N. // Int. Conf. Ph. West-99. Proc. SPIE 1999. V. 3612. P. 22-31.

73. Теория линейных электрических цепей. / Афанасьев Б. П., Гольдин О. Е., Кляцкин И. Г., Пинес Г. Я. // М.: «Высшая школа», 1973. 592 с.

74. Королев Ю. Д., Месяц Г. А. Физика импульсного пробоя газа. М.: Наука, 1991. 224 с.

75. Импульсный химический электроразрядный лазер на смеси SF6 Н2 / Горюнов Ф. Г., Гурков К. В., Ломаев М. И., Соснин Э. А., Тарасенко В. Ф. // Квантовая электроника. 1994. Т. 21, № 12. С. 1148-1150.

76. Великанов С. Д., Запольский А. Ф., Фролов Ю. Н. Физические аспекты работы HF-и DF-лазеров с замкнутым циклом смены рабочей среды. // Квантовая электроника. 1997. Т.24. №1. С11-14.

77. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. Н. Возможности увеличения выходной энергии нецепного HF(DF)^a3epa. // Квантовая электроника. 1997. Т.24. №3. С. 213-215.

78. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. Н. Нецепной электроразрядный HF(DF)-na3ep с высокой энергией излучения. // Квантовая электроника. 1998. Т. 25, № 2. С. 123-125.

79. Самоинициирующийся объемный разряд в нецепных HF-лазерах на смесях SF6 с углеводородами. / Аполлонов В. В., Белевцев А. А., Казанцев С. Ю., Сайфулин А. В., Фирсов К. Н. // Квантовая электроника. 2000. Т. 30, № 3. С. 207-214.

80. Бычков Ю. И., Горчаков С. JL, Ястремский А. Г. Однородность и устойчивость объемных электрических разрядов в смесях газов на основе SF6. // Квантовая электроника. 2000. Т. 30, № 8. 733-737.

81. Экспериментальное исследование нецепного HF-лазера на тяжелых углеводородах. / Булаев В. Д., Куликов В. В., Петин В. Н., Югов В. И. // Квантовая электроника. 2001. Т. 31, №3 218-220.

82. Novak J.P., Frechette M.F. J. Transport coefficient of SF6 and helium gas mixtures from revised data. // J. Appl. Phys. 1984. Vol. 55, No 107. p. 107-119.

83. Бортник И.М. Физические свойства и электрическая прочность элегаза. (М., Энергоатомиздат, 1988).

84. Phelps А.V., Van Brunt R.J. Electron-transport, ionization, attachment, and dissociation coefficients in SF6 and its mixtures. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 64, No 9. p. 4269-4277.

85. Xiao D.M., Zhu L.L. and Chen Y.Z. Electron swarm parameters in SF6 and helium gas mixtures. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1999. Vol. L18-L19.

86. Modeling and diagnostic of an SF6 RF plasma at low pressure. / Riccardi C., Barni R., De Colle F., and Fontanesi M. // IEEE Tr. PI. Sc. 2000. Vol. 28, No 1. p. 278-287.

87. Manke II G.C., Hager G.D. A review of recent experiments and calculations relevant of the kinetics of the HF laser. // J. Phys. Chem. Ref. Data. 2001. Vol. 30, No 3. p. 713733.

88. Рекомбинация в SF6 ив смесях SF6-C2H6 при высоких отношениях E/N. / 98Аполлонов В. В., Белевцев А. А., Казанцев С. Ю., Сайфулин А. В., Фирсов К.Н. // Квантовая электроника. 2001. Т. 31, № 7. 629-633.

89. Химические лазеры. / Под ред. Басова Н. Г. М.: Наука, 1982. 400 с.

90. Бычков Ю. И., Горчаков С. Л., Ястремский А. Г. Объемный электрический разряд в газовой смеси Ne/SF6/C6Hi4 и в чистом SF6. // Изв. ВУЗов. Физика. 1999. № 8. С. 43-49.

91. Особенности накачки лазера на смеси SH6-H2(C3H8) от генератора с индуктивным накопителем энергии. / Бакшт Е. X., Ломаев М. И., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. // Оптика атмосферы и океана. 1997. Т. 10, № 11. С. 1290-1295.

92. Тарасенко В. Ф, Орловский В. М., Панченко А. Н. Энергетические характеристики и устойчивость разряда нецепного HF-лазера с накачкой самостоятельным разрядом. // Квантовая электроника. 2000. Т. 31. № 12. С. 1-3.

93. Dynamics and correlated performance of a photo-triggered discharge-pumped HF laser using SF6 with hydrogen or ethane. / Richeboeuf L., Pasquiers S., Doussiet F., Legentil M„ Postel C., Puech V. // Appl. Phys. B. 1999. Vol. 68. P. 45-53.

94. The influence of H2 and C2H6 mjlecules on discharge equilibrium and F-atom production in a phototriggered HF laser using SF6. / Richeboeuf L., Pasquiers S., Legentil M., Puech V. // J. Phys. D. 1998. Vol. 31. P. 373-389.

95. Anderson N., Bearpark Т., Scott S. J. An X-ray preionised self sustained discharge HF/DF laser. // Appl. Phys. B. 1996. Vol. 63, No 6. P. 565-573

96. Brink D. J., Hasson V. Compact megawatt helium-free TEA HF/DF lasers // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1980. Vol. 13. p. 553-556.

97. Serafetinides A. A., Rickwood K. R. Improved performance of small and compact TEA pulsed HF lasers employing semiconductor preionisers. // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1989. Vol. 22. p. 103-107.

98. Лобанов A. H., Сучков А. Ф. Функция распределения и баланс энергии электронов в электроионизационном лазере на двуокиси углерода. // Квантовая электроника. 1974. Т. 1, № 7. С. 1527-1535.

99. A long-pulse high-energy С02 laser pumped by an ultraviolet-sustained electric discharge. / Lind R. C., Wada J. Y., Dunning G. J., Clark W. M. // IEEE J. Quant. Elect. 1974. V. 10, No. 10. P. 818-821.

100. Levin J. S., Javan A. Observation of laser oscillation in 1-atm C02-N2-He laser pumped by an electrically heated plasma generated via photoionization. // Appl. Phys. Lett. 1973. Vol. 22, No. 2. P. 55-57.

101. Morikava E. Effects of low-ionization gas additive along with UV photopreionization on C02 TEA laser operation // Appl. Phys. 1977. Vol. 48, No. 3. P. 1229-1239.

102. Parametric studies of uv preionization in TEA C02 laser / Yamabe Ch., Matsushita Т., Sato S„ Horii K. // J. Appl. Phys. 1980. V. 51, No. 2. P. 898-903.

103. Ковальчук Б. М., Кремнев В. В., Месяц Г. А. Лавинный разряд в газе и генерирование нано- и субнаносекундных импульсов больших токов. // Доклады АН СССР. 1970. Т. 191, № 1. С. 76-78.

104. Бычков Ю. И., Осипов В. В., Тельнов В. А. Схема возбуждения комбинированного разряда в газовых смесях. // Приборы и техника эксперимента. 1981, № 1. С.165-167.

105. Эффективный электроразрядный С02-лазер с предымпульсом, формируемым генератором с индуктивным накопителем энергии / Бакшт Е. X., Орловский В. М., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24, № 4. С. 57-61.

106. Levatter J. I., Robertson К. L., Lin S.-C. Long pulse behavior of the avalanche/self-sustained discharge pumped XeCl laser. // Appl. Phys. Lett. 1981 V. 39, No. 4. P. 297299.

107. Мельченко С. В., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Электроразрядный ХеС1-лазер с длительностью импульса излучения 1 мкс. // Квантовая электроника. 1984. Т. 11, №7.-С. 1490-1492.

108. Объемный разряд в смесях инертных газов с галогенами. / Литвинов Е. А., Мельченко С. В., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. // ТВТ. 1985. Т.23, № 2. С. 392394.

109. Makarov М. Effect of electrode processes on the spatial uniformity of the XeCl laser dischaege. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1995. V. 28, No. 6. P. 1083-1093.

110. Makarov M., Bychkov Yu. The dynamics of XeCl discharge contraction. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1996. Vol. 29, No. 2. P.350-363.

111. Нестационарный режим возбуждения электроразрядных эксимерных лазеров. / Ломаев М.И., Мельченко С. В., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. // Изв. АН СССР. Серия физическая. 1984. Т 48, № 7. С. 1385-1388.

112. Taylor R. S., Leopold К. Е. Ultralong optical-pulse corona preionized XC1 laser. // J. Appl. Phys. 1989. V. 65, No. 1. P. 22-83.

113. Бакшт Е. X., Панченко А. Н., Тарасенко В. Ф. Эффективный длинноимиульсный ХеС1-лазер с предымпульсом, формируемым индуктивным накопителем энергии. // Квантовая электроника. 2000. Т. 30, № 6. С. 506-508.

114. Tarasenko V. F., Panchenko A. N., Baksht Е. Н. Long-pulse efficient XeCl laser with pre-pulse formed by an inductive energy storage. // LASERS'2000, Albuquerque, NM, STS PRESS, McLEAN, VA, 2001. P. 330-333.

115. Tarasenko V. F., Panchenko A. N., Baksht E. H. Long-pulse efficient XeCl laser with pre-pulse formed by an inductive energy storage. // Proc. SPIE 2001. V. 4184. P. 357360.

116. XeCl master oscillator with 300 ns pulse duration. / Baksht E. H., Losev V. F., Panchenko A. N., Panchenko Y. N ., Tarasenko V. F. // Proc. SPIE 2002. V. 4747. P. 8892.

117. Formation of pumping discgarge of XeCl laser by means of semiconductor opening switch. / Bychkov Yu. I., Baksht E. H., Panchenko A. N, Tarasenko V. F., Yampolscaya S. A., Yastremsky A. G. // Proc. SPIE 2002. V. 4747. P. 99-105.

118. Long-pulse discharge XeF- and KrF-lasers pumped by a generator with inductive energy storage. / Baksht E. H.,. Panchenko A. N., Tarasenko V. F., Matsunaga Т., Goto T. // Jpn. J. Appl. Phys. 2002. V. 41, No. 6A. P. 3701-3703.

119. Watanabe S., Endoh A. Wide aperture discharge KrF and XeCl lasers. // Appl. Phys. Lett. 1982. V. 41. P. 799-801.

120. Spatially resolved gain measurements in UV preionized homogenous discharge XeCl and KrF lasers / Watanabe S., Acock A. J., Leopold К. E., Taylor R. S. // Appl. Phys. Lett. 1981. V. 38. P. 3-6.

121. Efficient amplification of a discharge-pumped KrF laser. / Watanabe S., Shiratori S., Sato Т., Kashivagi H. // Appl. Phys. Lett. 1978. V. 33. P. 141-143.1. POJJCiii'CMAflгосуд , ■1. БИВЛИО№*/- У.