Импульсный разряд при высоких перенапряжениях тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

1 ВВЕДЕНИЕ

2 ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

2.1 Возникновение волн ионизации в различных типах разрядов

2.1.1 Волны ионизации при таундсендовском механизме пробоя

2.1.2 Волны ионизации при стримерном механизме пробоя газа

2.2 Высокоскоростная волна ионизации как разновидность импульсного разряда при высоком перенапряжении. Исследуемые параметры.

2.2.1 Принципы и методы измерений.

2.2.2 Скорость распространения фронта пробоя

2.2.3 Пространственная однородность плазмы.

2.2.4 Высокоэнергичные электроны во фронте пробоя

2.2.5 Энергия, вложенная в газ при распространении пробоя.

2.2.6 Возбуждение внутренних степеней свободы газа

2.3 Преимущества и недостатки методик измерения электрического поля и ФРЭЭ в импульсных разрядах

2.3.1 Измерение электрического поля.

2.3.2 Измерение энергетического распределения электронов.

2.4 Численное моделирование разрядов при высоком перенапряжении

2.4.1 Численное моделирование стримерного пробоя

2.4.2 Особенности релаксации функции распределения электронов по энергиям в быстро меняющемся поле

2.4.3 Теоретическое описание высокоскоростных волн ионизации.

2.5 Исследование возбуждения внутренних степеней свободы в различных типах газовых разрядов. Эксперимент и численное моделирование.

2.5.1 Тлеющий разряд.

2.5.2 ВЧ-разряд

2.5.3 Барьерный разряд.

2.5.4 Стримерный пробой.

Применение низкотемпературной плазмы в технологических процессах началось в 70-х годах нынешнего столетия. В последние 10-15 лет широкое распространение плазмохимических технологий, развитие новых экспериментальных методов исследования и резкий рост возможностей вычислительной техники привели к переосмыслению подхода к описанию газовых разрядов. Развитие плазмохимических технологий во многом определяется степенью понимания процессов, происходящих в плазме. Особенно важную роль с точки зрения приложений играют процессы производства в разряде активных частиц, тесно связанные с распределением электрических полей и кинетикой электронов. Именно детальное исследование элементарных процессов, происходящих в газовом разряде, способно как улучшить понимание фундаментальных проблем физики низкотемпературной плазмы, так и привести к оптимальному решению технологических проблем.

Физика низкотемпературной плазмы охватывает широкий спектр газоразрядных явлений: от квазистационарных (тлеющий разряд) до быстропротекающих (ВЧ, СВЧ - разряды) процессов, от однородной до резко изменяющейся в пространстве (стримерный пробой) структуры.

Импульсные разряды занимают особое место в изучении свойств низкотемпературной плазмы. С одной стороны, их исследование требует более совершенной и, соответственно, более дорогой экспериментальной техники. С другой, в импульсных разрядах легче разделить влияние различных процессов на возбуждение и дезактивацию активных частиц, исключить влияние процессов на стенках разрядной камеры, получить информацию in situ об изменении состава и свойств плазмы при изменении электрического поля.

Особое место среди импульсных разрядов занимает высоковольт

ВВЕДЕНИЕ ный наносекундный разряд, развивающийся в виде высокоскоростной волны ионизации (ВВИ) и создающий высоковозбужденную пространственно однородную плазму в разрядном промежутке на характерных временных масштабах в десятки наносекунд.

Полного описания данного типа разряда - как развития с высоковольтного электрода, так и распространения - в настоящее время не существует. Экспериментальные данные, полученные разными авторами, дают следующую картину: при подаче импульса напряжения на высоковольтный электрод длинной - до нескольких метров - диэлектрической разрядной трубки, окруженной металлическим экраном, через определенное время задержки (единицы - десятки наносекунд) с высоковольтного электрода стартует фронт потенциала. Скорость распространения, имея типичные значения ~ 109 см/с, определяется амплитудой и формой импульса высокого напряжения, геометрией разрядного устройства, родом газа. При изменении давления значение скорости проходит через максимум. Для типичных величин напряжения 15-30 кВ, крутизны переднего фронта импульса 3-5 кВ/нс, диаметра разрядной трубки несколько сантиметров диапазон давлений, оптимальных для распространения волны ионизации, составляет от долей до сотен Тор.

Перемещение фронта потенциала вдоль разрядной трубки сопровождается распространением фронта свечения. Исследования однородности разряда с использованием времяразрещенной эмиссионной спектроскопии короткоживущих состояний показали, что высокоскоростная волна ионизации может развиваться однородно по объему в разрядных устройствах с характерным диаметром, во всяком случае, в десятки сантиметров.

Значения приведенного электрического поля во фронте пробоя могут достигать нескольких кВ/(см Topp), спадая за фронтом до сотен В/(см Topp). При этом происходит активная ионизация, возбуждение и диссоциация газа. Изменение параметра E/N дает возможность селективно возбуждать те или иные степени свободы газа. Образующаяся плазма характеризуется существенным отрывом температуры электронов от температуры газа, однородностью по объему в широком диапазоне давлений. Перечисленные выше свойства высоковольтного наносекунд-ного пробоя делают его привлекательным с точки зрения исследования элементарных процессов в неравновесной распадающейся плазме,

ВВЕДЕНИЕ а также позволяют надеяться на возможность применения данного типа разряда в качестве эффективного генератора химически активных атомов, радикалов и возбужденных частиц.

К моменту начала диссертационной работы были хорошо изучены электродинамические характеристики развития высоковольтного на-носекундного импульсного разряда при напряжениях от 3 до 250 кВ в длинных трубках. Теоретические и расчетные модели, как правило, ограничивались расчетом и сопоставлением с экспериментальными данными характеристик интегрального характера (ток, скорость волны). Крайне малое количество работ было посвящено исследованию элементарных процессов в плазме наносекундного разряда. Не исследовалась корреляция во времени профиля электрического поля, концентрации электронов и возбужденных частиц. Поведение функции распределения электронов по энергиям обсуждалось в нескольких работах, основанным на численном моделировании, и только в области высоких энергий. Практически отсутствовал детальный анализ распределения энергии по внутренним степеням свободы газа в данном типе разряда.

В связи с этим основной целью настоящей диссертационной работы является экспериментальное изучение детальной структуры фронта высокоскоростной волны ионизации, распределения энергии по внутренним степеням свободы газа в наносекундном разряде; построение модели развития, распространения ВВИ и ее воздействия на газ с учетом детальной кинетики процессов.

Диссертация состоит из девяти глав. Во введении обоснована актуальность темы и приведено краткое содержание работы. Во второй главе представлен краткий обзор экспериментальных и теоретических работ по изучению волн ионизации в различных типах разрядов, новейшим экспериментальным методикам изучения плазмы импульсных разрядов, исследованию возбуждения внутренних степеней свободы газа, численным моделям развития пробоя при различном перенапряжении. Краткое резюме проведенного анализа сводится к следующему:

1. Выполненные к моменту начала диссертационной работы экспериментальные исследования говорят о том, что высоковольтный наносекундный разряд может быть уникальным инструментом по созданию сильновозбужденной неравновесной плазмы. В то же время практически полное отсутствие работ по высоковольтному на-носекундному пробою газа, в которых бы проводилось одновремен

ВВЕДЕНИЕ ное детальное изучение электродинамических характеристик разряда и кинетических процессов в плазме не позволяло построить согласованное описание развития данного типа пробоя и возбуждения внутренних степеней свободы газа.

2. Выполняемые до сих пор расчеты развития пробоя газа при различных перенапряжениях (как стримера, так и высокоскоростной волны ионизации) сопоставлялись преимущественно с электродинамическими экспериментальными данными - ток, скорость развития и т.д. По-видимому, только расчет электродинамики совместно с детальной кинетической схемой, согласованный с кинетическими же экспериментами, позволяет установить характерные особенности развития того или иного типа пробоя и выделить роль нестационарных и нелокальных процессов в распространении фронта пробоя.

3. Существующие в настоящее время методы экспериментального исследования быстропротекающих процессов и развитые численные методы и подходы позволяют решить самосогласованную задачу о развитии, распространении импульсного наносекундного разряда при высоких перенапряжениях и распределения энергии по внутренним степеням свободы газа под действием данного типа разряда.

В третьей главе приводится постановка задачи и кратко излагается логика работы. Глава IV посвящена описанию используемой в экспериментах аппаратуры и методики измерений. Приведены схемы используемых в работе экспериментальных стендов; обоснованы методы контроля электродинамических параметров разряда - тока и напряжения, энерговклада, скорости, плотности избыточного заряда, напряженности электрического поля, концентрации электронов; описаны используемые методы измерения концентрации возбужденных молекул и озона. Обсуждаются погрешности измерений и достоверность полученных данных. Глава V содержит описание исследования электродинамических характеристик импульсного наносекундного разряда в различных молекулярных газах. Исследован процесс старта пробоя с высоковольтного электрода. Определены скорость распространения фронта волны ионизации, суммарный энерговклад в газ. Выявлена область параметров, в которой разряд развивается однородно в пространстве. Измерена

ВВЕДЕНИЕ пространственно- временная динамика избыточного заряда в разрядной трубке; на основе экспериментальных данных восстановлена продольная составляющая напряженности электрического поля. Глава VI посвящена изучению распределения энергии по внутренним степеням свободы газа. Отдельно рассматривается детальный анализ возбуждения электронных состояний в различных газах. Обоснована необходимость знания скоростей тушения и радиационных времен жизни изучаемых электронно- возбужденных уровней. Описано применение данного типа разряда для измерения констант скорости тушения ко-роткоживущих состояний и приведены результаты измерения скорости тушения М2(С3Щ, ^=0,1,2) , , П2(а3Е+) и 0 различными молекулами. Проанализировано поведение функции распределения электронов по энергиям в высокоскоростной волне ионизации. На основе экспериментальных данных вычислено распределение энергии по внутренним степеням свободы в воздухе, азоте и водороде. Показано, что во всей исследуемой области параметров максимальная доля энергии приходится на возбуждение электронных состояний. Глава VII описывает изучение активных частиц в высокоскоростной волне ионизации: возбуждение континуума водорода в разряде в Н2 и образование озона в воздухе, кислороде и кислородо-азотных смесях различного процентного состава. Обсуждаются доли вкладываемой в газ энергии и энергетическая цена диссоциации кислорода в наносекунд-ном разряде; анализируется вопрос об наиболее эффективных режимах использования ВВИ в качестве генератора активных частиц. В главе VIII представлены результаты численного моделирования высокоскоростной волны ионизации. Модель, представленная в данной главе, основана на решении уравнения Больцмана для функции распределения электронов по энергиям в высокоскоростной волне ионизации отрицательной полярности методом прямого статистического моделирования при известном из эксперимента поведении электрического поля На основе сопоставления результатов численных расчетов и самосогласованных экспериментальных данных доказывается, что детальное описание возбуждения газа в высокоскоростной волне ионизации требует учета нестационарных и нелокальных эффектов.

ВВЕДЕНИЕ

Автор защищает:

1. Результаты комплексных экспериментальных исследований основных электродинамических характеристик распространения и развития высоковольтного импульсно-периодического наносекундно-го разряда - динамики напряженности электрического поля, концентрации электронов одновременно с кинетическими кривыми наработки возбужденных молекулярных состояний с наносекунд-ным временным разрешением. Детальный анализ фронта высокоскоростной волны ионизации.

2. Применение электродинамических методов для анализа селективности возбуждения различных внутренних степеней свободы газа в наносекундном разряде. Результаты экспериментального исследования оптимальной наработки активных частиц в наносекундном разряде на примере излучения континуума водорода и синтеза озона в ВВИ.

3. Анализ роли нестационарных и нелокальных эффектов в формировании функции распределения электронов по энергиям в разрядах при высоких перенапряжениях на примере результатов экспериментальных исследований и численного моделирования высокоскоростной волны ионизации.

4. Применение разряда в виде высокоскоростной волны ионизации для исследования элементарных процессов. Измерение тушения короткоживущих состояний азота, моноксида углерода и водорода молекулами N2, О2, СО, Н2, Н2О.

Глава 2

ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1. Асиновский Э.И., Василяк J1.M., Марковец В.В. Волновой пробой газовых промежутков. I. Быстрые стадии пробоя. //ТВТ, 1983, т.21, N2, с.371.

2. Асиновский Э.И., Василяк JI.M., Марковец В.В. Волновой пробой газовых промежутков. II. Волновой пробой в распределенных системах. //ТВТ, 1983, т.22, N3, с.577.

3. Недоспасов A.B., Новик А.Е. Скорость распространения фронта ионизации при пробое длинных трубок. // ЖТФ, 1960, Т.ЗО, N 11, С.1329.

4. Ретер Г. Электронные лавины и пробой в газах. // М.: Изд-во "Мир", 1968. 390 с.

5. Базелян Э.М., Райзер Ю.П. // Физика искрового пробоя. Изд-во МФТИ. 1997. 320 с.

6. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов. // М.: Наука, 1991 224 с.

7. Doran A.A. The development of a Townsend discharge in N2 up to breakdown investigated by image Converter, intensifier and photomultiplier technique. // Z. Phys. 1960. Bd. 208. N 2. S.427.

8. Köhrmann W. Die zeitliche Entwicklung der Townsend Entladung bis zum Durchschlag. // Z. Naturforsch. 1964. Bd. 19A, h.7. S.926.

9. Tholl H., Sander I., Martinen H. Eine automatische Apparatur zur örlich und zeilich aufgelösten Spectroscopic an Funkenentladungen. // Z. Naturforsch. 1970. Bd. 25A, h.3. S.412.

10. Tholl H. Thermalisierung und zeitliche Entwicklung der Elektronendichte und Temperatur von Punkenkanalen in Wasserstoff. // Z. Naturforsch. 1970. Bd. 25A, h.3. S.420.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

11. Koppitz J. Die radiale und axiale Entwicklung des Leuchtens im Funkenkanal untersucht mit Wischkamera. // Z. Naturforsch. 1967. Bd. 22A, h.ll. S.1089.

12. Ю.П.Райзер. Физика газового разряда // М.: Наука, 1992. 536 с.

13. Allen K.R., Phillips К. Mechanism of spark breakdown. // Electrical Rev. 1963. Y.173. N3. P.779.

14. Бабич Л.П., Лойко Т.В., Цукерман В.А. Высоковольтный наносе-кундный разряд в плотных газах при больших перенапряжениях, развивающийся в режиме убегания электронов. // УФН. 1990. Т.160. N 7. С.49.

15. Мотт Н., Месси Г. Теория атомных столкновений // М.: Мир, 1969. 756 с.

16. Бабич Л.П., Станкевич Ю.Л. Критерий перехода от стримерного механизма газового разряда к непрерывному ускорению электронов. // ЖТФ. 1972. Т.42. N 8. С.1669.

17. Thomson J.J. Recent Researches in Electricity and Magnetism. Oxford, Clarendon, 1893, p.115.

18. Snoddy L.M., Dietrich J.R., Beams J.W.// Phys. Rev., 1937, v.52, p.739.

19. Mitchel A., Snody L.M. // Phys. Rev. 1947. V.72. P.1202.

20. Loeb L.B. // Science. 1965. V.148. P.1417.

21. Fowler R.G. Advan. Electron, and Electron. Phys. 1974, V.35, P.l

22. Fowler R.G. Advan. Electron, and Electron. Phys. 1976, V.41, P.l

23. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Автоэмиссионные и взрывные проессы в газовом разряде. // Новосибирск: Наука, 1982 255 с.

24. Tsendin L.D. Electron kinetics in non-uniform glow discharge plasmas. //Plasma Souces Sci. & Technol. 1995. V.4. P.200.

25. Kolobov V.I., Godyak V.A. Nonlocal electron kinetics in collisional gas discharge plasma. // IEEE Trans, on Plasma Science. 1995. V.23 P. 503

26. Василяк JT.M., Костюченко С.В., Кудрявцев Н.Н., Филюгин И.В. // Успехи физ. наук. 1994. Т.163. С.263.

27. А.Г.Абрамов, Э.И.Асиновский, Л.М.Василяк, В.В.Марковец, И.С.Самойлов. Емкостной делитель напряжения.-Авторское свидетельство N1038887,G OIR, 27/06, Бюлл. изобр., 1983, N32, с,181.

28. Асиновский Э.И., Василяк Л.М., Кириллин А.В., Марковец В.В. Наносекундный разряд в слобоионизированной плазме. //ТВТ, 1975, т.13, N1, стр.40-44.

29. Василяк Л.М., Дойников В.А. Влияние высокоэнергетичных электронов на динамику высоковольтных волн ионизации в газах. Препринт ИВТАН N 1-324, -М.: ИВТАН, 1991.

30. Абрамов А.Г., Асиновский Э.И., Василяк Л.М. // Физ. плазмы, 1988. Т.14. С.979.

31. Асиновский Э.И., Марковец В.В., Поляков Д.Н., Ульянов A.M., Филюгин И.В. О происхождении рентгеновского излучения при волновом пробое. //ТВТ, 1985, т.23. стр.606-608.

32. P.Charles, M.Lamoureux, M.Nistor, N.B.Mandache and A.M.Pointu. // Proc. of XXIV ICPIG Int.Conf. on Phenomena in Ionised Gases. 1999, Warsaw, Poland. Vol.11. P.l.

33. G.Modreanu, M.Nistor, N.B.Mandache, A.M.Pointu, E.Dewald, M.Ganciu, I.I.Popescu. // Proc. of XIV ESCAMPIG EuropeanОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫSect. Conf. on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases. Malahide, Ireland, 1998. Vol. 22H, P.154.

34. Красночуб А.В. Исследование излучательных характеристик им-пульсно периодического разряда в виде высокоскоростной волны ионизации. Дисс. на соиск. уч. степ, к.ф.-м.н. М. - 1998.

35. S.V. Pancheshnyi, S.M. Starikovskaia, A.Yu. Starikovskii Population of nitrogen molecule electron states and structure of the fast ionization wave. // J.Phys.D.: Appl.Phys. 1999. V.32 P.2219.

36. Омарова H.O. Кинетика формирования оптического излучения при запаздывающем возбуждении гелия в длинных трубках. // Дисс. на соиск. ученой степени канд. физ.-мат. наук. Махачкала, ДГУ, 1997.

37. С.В.Костюченко, Н.Н.Кудрявцев, С.М.Стариковская, И.В.Филюгин. Образование озона в смесях N2-O2 под действием высоковольтного наносекундного импульсно-периодического разряда. //Химическая физика, 1993, т.12, N8, с.1058.

38. Amirov R.H., Asinovsky E.I., Samoilov I.S. Ozone synthesis in nanosecond discharge at cryogenic temperatures. // Proc. International Conf. on Gas Discharges and their Applications. 1997. Greifswald. V.l. P.322.

39. Асиновский Э.И., Марковец B.B., Ульянов A.M. //TBT, 1984, т.22, N4,ctP.667-671.

40. Асиновский Э.И., Василяк JT.M., Марковец В.В., Токунов Ю.М. // ДАН СССР. 1982, т.263, с.1364.

41. Асиновский Э.И., Костюченко С.В., Марковец В.В., Маценко А.Б. //Известия СО АН СССР. Сер.техн.наук. 1985., т.4, с.З.

42. С.В.Костюченко, Г.А.Куркин, Н.Н.Кудрявцев, И.В.Филюгин. Волновой побой паров воды с жидким неметаллическим электродом. //ДАН СССР, 1989, т.320, N5, с.1101-1102.

43. И.С.Самойлов. Высокоскоростные волны пробоя в длинных экранированных трубках. // Дисс. на соиск. уч. степени канд.физ.-мат.наук. М.: ИВТАН, 1985.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

44. Асиновский Э.И., Лагарьков А.Н., Марковец В.В., Руткевич И.М. Критерий подобия для скорости волн электрического пробоя в экранированных трубках разного диаметра. // Препринт ИВТАН N 3-350. М.: 1992. 16 с.

45. Asinovsky E.I., Lagarkov A.N., Markovets V.V., Rutkevich I.M. On the similarity of electric breakdown waves propagating im shielded discharge tubes. // Plasma Sources Sci. Technol. 1994. V.3. P.556.

46. Asinovsky E.I., Kirillin A.V., Markovets V.V., Vasiljak L.M. // VII Intern. Simposium on discharqes and elektrikal insulation in vacuum. Novosibirsk, USSR, 1976-P.336.

47. Василяк JI.M., Дойников В.А. Влияние высокоэнергетичных электронов на динамику высоковольтных волн ионизации в газах. Препринт ИВТАН N 1-324, -М.: ИВТАН, 1991.

48. Токунов Ю.М., Асиновский Э.И., Василяк JI.M. Динамика развития наносекундного разряда в азоте и генерация лазерного излучения. //ТВТ, 1981, т.19, N3. С.491.

49. Асиновский Э.И., Марковец В.В., Ульянов A.M. //ТВТ, 1984, т.22, N4, С.667.

50. Абрамов А.Г., Асиновский Э.И., Василяк Л.М. //ТВТ, 1984, т.23, С.177.

51. Асиновский Э.И., Марковец В.В., Поляков Д.Н., Ульянов A.M., Фи-люгин И.В. О происхождении рентгеновского излучения при вол-ном пробое. // ТВТ. 1985. Т.23. N 3. С.606.

52. Амиров Р.Х., Асиновский Э.И., Марковец В.В., Панфилов А.С., Филюгин И.В. Генерация и поддержание ионизации при волновом пробое длинных разрядных трубок. //Препринт ИВТАН N 3-183 (М.: ИВТАН,1986).

53. Асиновский Э.И., Марковец В.В., Самойлов И.С. Формирование ударной волны градиента потенциала при пробое регулярного промежутка. Препринт ИВТАН N 6-067, 1981, 16 с.

54. Амиров Р.Х., Асиновский Э.И., Марковец В.В. Дисссоциация водорода в наносекундном разряде. // ТВТ, 1984, т.22, с.1002.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

55. Голант В.Е., Жилиновский А.П., Сахаров С.А. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1977.

56. Асиновский Э.И., Амиров Р.Х., Василяк Л.М.> Марковец В.В. К вопросу об измерении коэффициента диффузии атомарного водорода. // ТВТ, 1979, т.17, N 5, С.912.

57. Асиновский Э.И., Василяк Л.М., Токунов Ю.М. Измерение эффективного времени жизни уровня С3ПМ N2 в азоте и воздухе. // ТВТ, 1979, т.17, N 4, С.858.

58. P.Millet // J.Chem. Phys., 1973. V.58. Р.5839.

59. H.Anton. Zur Lumineszenz einiger Molekulgase bei Anregung durch schnelle Elektronen. // Ann. Phys., 1966, B.18, h.3-4, S.178.

60. Асиновский Э.И., Василяк Л.М., Токунов Ю.М. Влияние кислорода на генерацию азотного лазера. // ТВТ, 1981, т.19, N 4, С.873.

61. Асиновский Э.И., Василяк Л.М., Кириллин A.B., Марковец В.В. Исследование скоростей распада уровня 3XD гелия, возбуждаемого наносекундным разрядом. // ТВТ, 1980, т.18, N 4, С.668.

62. Амиров Р.Х., Асиновский Э.И., Марковец В.В. Пауза свечения плазмы после возбуждения разряда наносекундным импульсом. //ТВТ, 1981, т.19, N 1, С.47.

63. Амиров Р.Х., Асиновский Э.И., Марковец В.В. Метод диагностики динамики ионизации в наносекундном разряде. // ТВТ, 1981, т.19, С.424.

64. Амиров Р.Х., Асиновский Э.И., Костюченко С.В., Марковец В.В. Распад плазмы фтора после наносекундного разряда. // ТВТ, 1987, т.25, С.793.

65. Амиров Р.Х., Асиновский Э.И., Костюченко С.В. Распад плазмы SF6 после наносекундного пробоя. // ТВТ, 1991, т.29, N 4, С.671.

66. Morgan W.L., Whitten B.L., Bardsley J.N. // Phys. Rev. Lett., 1980, V.45, N 25, P.2021.

67. Alberta M.P., Debontride H., Derouard J., Sadeghi N. // J.Phys. III. France N3. 1993. P.105.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

68. Booth J.P., Derouard J., Fadlallah M., Sadeghi N. // J.Appl.Phys. 74(2) 1993. P.862.

69. Hidaka K., Kouno Т., Hayashi I. // Rev.Sci.Instrum. 60(7), July 1989. 1252.

70. Петров Н.И., Аванский B.P., Бомбенкова H.B. // ЖТФ 1994 Т.64. N6. С.50.

71. Akamine Y., Matsuoka S., Hidaka К., Kouno Т., // Proc. of XI Int. Conf. on Gas Discharges and Their Application, Tokyo,11-15 September 1995. P.210.

72. Druyvesteyn M. // Z. Phys. 1930. Bd.64. S.781.

73. Демидов В.И., Колоколов Н.Б., Кудрявцев А.А. Зондовые методы исследования низкотемпературной плазмы. // М.: Энергоатомиз-дат. 1996. 240 с.

74. S.Dali and P.F.Williams // J. Appl. Phys. 1987. V.62. P.4696.

75. Babaeva N.Yu., Naidis G.V. Two-dimensional modelling of positive streamer dynamics in non-uniform electric field in air // J.Phys.D.: Appl.Phys. 1996. V.29. N 9. P.2423.

76. Kinetics Investigations of Avalanche and Streamer Development. E.E.Kunhardt, Y.Tzeng // In: Gaseous Dielectrics IV. Editors: L.G.Christophorou and M.O.Pace. Pergamon Press. NY. 1984. P.146.

77. L.E.Kline // J.App.Phys. 1985. V.58. P.3715.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

78. K.Satoh, H.Tagashira, S.Sakamoto // J.App.Phys.D. 1988. V.21. P.922.

79. J.-M.Guo and C.-H. Wu. Comparisons of Multidimensional Fluid Models for Streamers. // Non-Thermal Plasma Techniques for Pollution Control. V.34A of NATO ASI. Series G. Edited by M.Penetrante and E.Shultheis Springer, Berlin, 1993. P. 287.

80. S.Dali and P.F.Williams //J. Appl. Phys. 1987. V.62. P.4696.

81. C.Wu and E.E.Kunhardt // Phys.Rev.A. V.37. 1988. P.4396.

82. E.E.Kunhardt and Y.Tseng // Phys.Rev.A. 1988. V.38. P.4396.

83. P.A.Vitello, B.M.Penetrante and J.N.Bardsley // Phys.Rev.E. 1994. V.49. P. 5574.

84. A.A.Kulikovsky // J.Phys.D. 1997. V.30. P.441.

85. A.A.Kulikovsky // Phys.Rev.E. 1998. V.57. P.7066.

86. A.J.Davies, C.J.Evans // Proc. IEEE. 1967. V.114. P.1547.

87. P.Bayle and B.Cornebois // Phys.Rev.A. 1985. V.31. P.1046.

88. R.Morrow and J.J.Lowke // J.Phys.D. 1997. V.30. P.614.

89. N.L.Alexandrov, E.M.Bazelyan // J.Phys.D. 1996. V.29. P.740.

90. J.M.Guo and J.Wu // IEEE Trans. Plasma Sci. 1996. V.24 P. 1348.

91. Н.Ю.Бабаева, Г.В.Найдис. К расчету плазмохимической эффективности импульсных коронных разрядов. // Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98. Петрозаводск, 1998. С.637.

92. Амиров Р.Х., Железняк М.Б., Филимонова Е.А. Препринт ИВТАН N 1-403. М., 1997. 61 с.

93. ЛифшицЕ.М., Питаевский Л.П. // Физическая кинетика. М.: 1989.

94. Fano U. Degradation and range stragging of high energy radiations. // Phys. Rev. 1953. V.92. N 2. P.328.

95. Spencer L.V., Fano U. Energy spectrum resulting from electron slowing down. // Phys. Rev. 1954. V.93. N 6, P.1172.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

96. Никеров В.А., Шомин Т.В. Кинетика деградационных процессов. М.: Энергоатомиздат, 1985.

97. Коновалов В.П., Сон Э.Е. Деградационные спектры электронов в газах. // В кн. "Химия плазмы", вып.14. Ред. Б.М.Смирнова. М.: Энергоатомиздат, 1987. С.196.

98. Коновалов В.П., Сон Э.В. Функция распределения электронов и состав молекулярной плазмы, возбуждаемой пучком электронов. // ЖТФ. 1980. Т.50. N 2. С.ЗОО.

99. Александров H.JL, Сон Э.Е. Энергетическое распределение и кинетические коэффициенты электронов в газах в электрическом поле. // В сб.: Химия плазмы. Под ред. Смирнова Б.М. М.: Атомиз-дат. 1980. Т.7. С.35

100. Megill L.R., Cahn J.H. The calculation of electron energy distribution functions in the ionosphere. // J. Geophys. Res., 1964. V.69. N 23. P.5041.

101. Lukas J., Price D.A., Moruzzi J.L. The calculation of electron energy distributions and attachment coefficient for electron swarms in oxygen. // J. Phys. D. 1973. V.6. N 12. P.1503.

102. Masek K., Laska L., Ruzicka T. Dissociative attachment coefficient in oxygen. // J. Phys. D. 1977. V.10. N 11. P.L25.

103. Исламов P.III., Кочетов И.В., Певгов В.Г. Анализ процессов взаимодействия электронов с молекулой кислорода. // Препринт ФИ-АН. N 169. 1977.

104. Коновалов В.П., Скорик М.А., Сон Э.В. Нестационарный дегра-дационный спектр электронов в молекулярном азоте. // Физика плазмы. 1992. Т.18. N 6. С.778.

105. Славин Б.Б., Сопин П.И. Пробой нейтрального газа ионизующими волнами градиента потенциала отрицательной полярности. // ТВТ. 1992. Т.ЗО. N 1. С.1.

106. Синкевич O.A., Трофимов Ю.В. О механизме распространения волны пробоя по слабоионизованной плазме в наносекундных разрядах. // ДАН СССР. 1979. Т.249. С.597.

107. Синкевич O.A., Трофимов Ю.В. О быстрой ионизации длинного столба плазмы вторичной волной пробоя. // ТВТ. 1980. Т.18. N 5. С.1088.

108. Лагарьков А.Н., Руткевич И.М. Волны электрического пробоя в ограниченной плазме. М.: Наука. 1989.

109. Лагарьков А.Н., Руткевич И.М. Ионизующие волны пространственного заряда. // ДАН СССР, 1979. Т.249. С.593.

110. Славин Б.Б., Сопин П.И. Волновой пробой в длинных газонаполненных трубках с предварительной ионизацией. // ТВТ. 1990. Т.28. N 2. С.243.

111. Бабич Л.П., Куцык И.М. Численное моделирование наносекунд-ного разряда в гелии при атмосферном давлении, развивающегося в режиме убегания электронов. // ТВТ. 1995. Т.ЗЗ. N 2. С.191.

112. E.E.Kunhardt, W.W.Buszewski. Development of overvoltage breakdown at high gas pressure. // Phys. Rev. Ser. A. 1980. V.21. P.2069.

113. Бутин О.В., Василяк Л.М. Распространение высокоскоростной волны ионизации в длинных разрядных трубках с предыонизаци-ей. // Физика плазмы. 1999. Т.25. N 8. С.725.

114. Александров Н.Л., Высикайло Ф.И., Исламов Р.Ш., Кочетов И.В., Напартович А.П., Певгов В.Г. Фукция распределения электронов в смеси N2:02=4:l // ТВТ. 1981. Т.19. С.22.

115. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М.: Наука, 1980. 311 с.

116. Неравновесная колебательная кинетика. М.Капителли, ред. М.: Мир, 1989. 392 с.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

117. В.Ю.Баженов, А.В.Рябцев, И.А.Солошенко, В.В.Циолко, А.И.Щедрин. Особенности физической кинетики в тлеющем разряде с полым катодом. // Труды IX конференции по физике газового разряда. Рязань, 1998. Часть 2. С.29.

118. V.I.Kolobov, V.A.Godiak. Nonlocal Electron Kinetics in Collisional Gas Discharge Plasmas. // IEEE Trans, on Plasma Science. 1995. V.23. N 4. P.503.

119. V.Guerra and J.Loureiro. Electron and heavy particle kinetics in a low-pressure nitrogen glow discharge. // Plasma Sources Sci. Technol. 1997. V.6. P.361.

120. J.Nahorny, C.M.Ferreira, B.F.Gordiets, D.Pagnon, M.Touzeau, M.Vialle. Experimental and theoretical investigation of a N2-O2 DC flowing glow discharge. // J.Phys.D: Appl.Phys. 1995. V.28. P.738.

121. Bogaerts A. Mathematical modelling of a direct current glow discharge in argon. // PhD thesis. Antwerpen, 1996.

122. Райзер Ю.П., Шнейдер M.H., Яценко H.A. Высокочастотный емкостный разряд. М.: Изд-во МФТИ, 1995. 320 с.

123. Kortshagen U. Modelling and diagnostics of low pressure inductively coupled plasmas. // Electron kinetics and applications of glow discharges. Kortshagen U., Tsendin L.D., ed. NATO ASI Series. Series B: Physics. V.367. P.329.

124. Филиппов Ю.В. Электросинтез азона. // Вестник МГУ, сер.Химия. 1959. N 4, С.153.

125. D.Bersis and D.Katakis.Surface Effects in the Production of Ozone in the Silent Discharge.// J. Chem. Phys. 1964. V.40. N 7. P.1997.

126. James J.Carlins and Richard G. Clark. Ozone generation by corona discharge // From the Handbook of Ozone Technology and Applications. 1982. V.l Ch.2. P.41.

127. Самойлович В.Г., Гибалов В.И., Козлов К.В. Физическая химия барьерного разряда. М.:МГУ. 1989. 176 с.

128. Suzuki М., Naito Y. // Pros. Jap.Acad. 1952. V.28. P.469.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

129. Багиров М.А., Нуралиев Н.Э., Курбаков М.А. // ЖТФ. 1972. Т.43, N 3. С.629.

130. Багиров М.А,, Бурзшев К.С., Курбаков М.А. // ЖТФ. 1979. Т.49. N 2. С.339.

131. Masaaki Tanaka, Shigenori Yagi, Norikazu Tabata. Observations of Silent Discharge in Air, Oxigen and Nitrogen by Super High Sensitivity Camera. // Jeans, of the Institute of Electrical Engineers of Japan. 1982. V.102A. N 10. P.533.

132. Kline L.E. // J. Appl. Phys. 1974. V.45. N 5. P.2046.

133. Kline L.E. // J. Appl. Phys. 1975. V.46. N 5. P.1994.

134. Г. Ретер // Электронные лавины и пробой в газах / М.: Мир, 1968.

135. A. Gilbert, F. Bastien // J.Phys.D:Appl.Phys. 1989. V.22. Р.1078.

136. R.S. Sigmond // J.Appl.Phys. 1984. V.56. N.5. P.1355.

137. P. Stritzke, I. Sander, H. Raether // J.Phys.D:Appl.Phys. 1977. V.10. P.2285.

138. M. Simek, V. Babicky, M. Clupek, S. DeBenedictis, G. Dilecce, P. Sunka // J.Phys.D.-Appl.Phys. 1998. V.31. P.2591.

139. N. Spyrou, C. Manassis // J.Phys.D:Appl.Phys. 1989. V.22. P.120.146.

140. L.M.L.F.Hosselet. Increased efficiency ov ozone production by electric discharges // Electrochim. Acta. 1973. V.18, P.1033.ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

141. Измерение скорости перемещения потенциала с помощью емкостных делителей (как узкополосных, так и широкополосных) (4., [5], [6],7., И).

142. Измерение скорости перемещения светового фронта (как правило, без монохроматизации излучения) с помощью высокоскоростных фотоэлектронных умножителей (ФЭУ) и электронно- оптических преобразователей (ЭОП) (9., [10], [11]).

143. Измерение скорости перемещения фронта импульса тока с помощью пояса Роговского или шунтов обратного тока (11., [12]).