Инициация и динамика СВЧ разряда высокого давления в пучке электромагнитных волн тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

р С 3 ъ Российская академия наук Институт прикладной физики

На правах рукописи

ЕРЕМЕЕВ Анатолий Георгиевич

ИНИЦИАЦИЯ И ДИНАМИКА СВЧ РАЗРЯДА ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ В ПУЧКЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН

01.04.08. — физика и химия плазмы

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Нижний Новгород — 1993

Работа выполнена и Институте прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород

Научный руководитель: доктор физико-математических наук,

профессор А. Г. Литвак

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук,

профессор Г. А. Марков,

кандидат физико-математических наук А. Л. Гольденберг

Ведущая организация: Институт общей физики РАН

(г. Москва)

Защита состоится 12 апреля 1993 г. в 14 часов на заседании специализированного совета К 003.38.01 по защите диссертаций на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук в Институте прикладной физики РАН (603600, г. Нижний Новгород, ул. Ульянова, 46).

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института прикладной физики РАН.

Автореферат разослан " 5~ " ^¿сд^и-ч 1993 г.

Ученый секретарь специализированного совета кандидат физико-математических наук А. М. БЕЛЯНЦЕВ

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность теш.

Интерес к разрядной плазме, поддерживаемой мощным электромагнитным излучением диапазона СВЧ, связан с возможностью ее использования в различных приложениях: в плазмохикии, в качестве активной среды газовых лазеров, в коммутаторах и детекторах мощного СВЧ излучения а др. Ряд особенностей такой плазмы Снапример, в ней легко достигаются сравнительно высокие ~ 10'* см"3 концентрации электронов при сохранении неравновесности плазмы, она свободна от некоторых типов неустойчивостей и т.п.) свидетельствуют о возможности реализации достаточно эффективных технологий, поэтому исследования динамики и параметров разрядной плазмы представляются актуальными.

С другой стороны, ' в ряде случаев разряд может служить помехой. Одним из примеров такого влияния разряда является СВЧ пробой в передающих трактах. В последнее время качались исследования возможностей высокотемпературной обработки материалов мощным электромагнитным излучением миллиметрового диапазона длин волн. Одно из основных ограничений эффективности и производительности высокотемпературной обработки материалов СВЧ излучением связано с возникновением приповерхностного газового разряда: отражая и поглощая часть падающей мощности, разряд

з

ограничивает величину интенсивности электромагнитной волны, воздействующей на обрабатываемое вещество. Для выяснения возможностей подавления разряда в линиях передачи и при реализации процессов обработки материалов электромагнитным излучением необходимо знать механизмы возникновения и поддержания разряда вблизи поверхностей тел.

Как в процессах высокотемпературной обработки материалов, так и в плазменных технологиях особый интерес представляет электромагнитное излучение, сформированное в виде волнового пучка. В этой случае можно получать разряды, не ииещие контакта со стенками разрядных камер или с электродами, что позволяет надеяться на возможности осуществления особо чистых технологических процессов.

Для получения достаточно высокой производительности технологических систем необходимо обеспечить непрерывный режим работы технологических установок, поэтому исследования особенностей непрерывного режима поддержания разряда представляется также актуальной задачей.

Целью диссертационной работа являлось экспериментальное к теоретическое исследование механизмов возникновения и горения разряда вблизи поверхности диэлектрика, а также механизма распространения разряда навстречу падавшему излучение в условиях, когда разряд поддерживается непрерывным электромагнитны« излучением миллиметрового диапазона длин волн, сформированным в виде волнового пучка, при давлении газа, близком к атмосферному.

Научная новизна.

Проведено экспериментальное исследование возникновения,

динамики и параметров разряда, возникавшего вблизи поверхности твердого диэлектрика, помещенного в волновой пучок электромагнитного излучения диапазона миллиметровых волн. Показано, что определяющим возникновение разряда фактором является испарение материала инициатора. Пары материала инициатора играют существенную роль и при дальнейшей эволюции разряда.

Экспериментально измерена температура газа в разряде в воздухе атмосферного давления при интенсивности электромагнитного излучения ~ 10 кВт/си2, что позволило получить прямое доказательство неравновесности разряда.

Проведено теоретическое исследование двух возможных механизмов распространения неравновесного СВЧ разряда высокого давления навстречу падающему излучению: теплопроводностного и фотоионизационного. Показано, что лишь фотоионизационный механизм соответствует экспериментальным данным. Показано также, что наблюдавшийся в экспериментах быстрый рост скорости движения разряда с ростом интенсивности СВЧ волны может быть связан с изменением удельной теплоемкости газа.

В рамках,фотоионизационного механизма распространения разряда проведено теоретическое исследование условий нарушения стационарного режима движения неравновесного СВЧ разряда высокого давления. Показано, что предложенная модель позволяет описывать скачкообразный режим распространения разряда, наблюдавшийся в экспериментах.

Экспериментально исследован разряд, реализующийся в аргоне технической чистоты среднего давления С~ 0,1 атм.) под действием непрерывного электромагнитного излучения, сформированного в виде

крутосходящегося волнового пучка. Выявлен ряд особенностей такого разряда: его нестационарность (разряд представляет собой регулярную последовательность движущихся волн неравновесной ионизации), наличие фоновой квазиравновесной плазмы, по которой движутся волны неравновесной ионизации, существенное влияние примесей. Определены основные параметры разряда: плотность плазмы и температура газа.

Практическая ценность работы.

Исследования возникновения приповерхностного разряда позволили определить некоторые возможные пути реализации безразряяных регашов обработки материалов электромагнитным излучением диапазона миллиметровых волн.

Результаты исследований динамики неравновесного СВЧ разряда могут быть использоЕаны при расчете и конструировании генераторов неравновесной плазмы Сплазмотронов).

Апробация результатов.

Результаты выполненных исследований докладывались на научных семинарах Института прикладной физики РАН, Всесоюзном совещании "Высокочастотный разряд в волновых полях" СГорький, 1987 г.), 4 Всесоюзной конференции по физике газового разряда (Махачкала, 1989 г.), XIX Международной конференции по явлениям в ионизованных газах (Белград, Югославия, 1989 г.), II Всесоюзном совещании "Высокочастотный разряд в волновых полях" (Куйбышев, 1989 г.), III секции Всесоюзного научно-технического совещания "Получение, исследование и применение плазмы в СВЧ полях" (Иркутск, 1989 г.), III Всесоюзной школе по нелинейным волнам (Горький, 1989 г.), на международном симпозиуме по микроволновой обработке материалов

ССан-Франциско, США, 1990 г.).

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения. Объем диссертации - 115 страниц основного текста, 38 рисунков и 6 фотографий. Библиография включает 114 наименований. Общий объем диссертации - страницы.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении кратко излагается история развития исследований взаимодействия электромагнитного излучения с веществом в оптическом и в СВЧ диапазонах частот, обосновывается актуальность тематики диссертационной работы, сформулированы ее цели, кратко излагается содержание диссертации, формулируются основные положения, выносимые на защиту и приводятся сведения об апробации работы.

Изложение материала в работе построено в том порядке, в каком проявляются различные физические эффекты при увеличении интенсивности электромагнитной волны. Если интенсивность электромагнитного излучения мала по сравнению с пробойной величиной для невозмущенного газа, то для возникновения разряда необходимо какое-либо воздействие на газ или на электромагнитное поле Синициация разряда). В настоящей работе инициация разряда осуществлялась путем помещения диэлектрического образца Синициатора) в волновой пучок электромагнитного излучения. При малой интенсивности электромагнитной болны разряд не отрывается от инициатора. Такой разряд, горящий вблизи поверхности твердого тела, рассматривается в главе 1. При увеличении интенсивности электромагнитной волны разряд отрывается от инициатора и

распространяется навстречу падающему излучению в свободном пространстве. В определенном интервале интенсивностей электромагнитной волны разряд двигается непрерывно, не меняя- своей формы. Исследованию такого режима распространения разряда посвящена глава 2. При дальнейшем увеличении интенсивности электромагнитной волны непрерывное движение разряда нарушается: он переходит в режим скачкообразного распространения, который характеризуется последовательным возникновением все новых и новых плазменных образований перед фронтом разряда на конечном расстоянии от него. Такой режим распространения разряда исследуется в главе 3. При еще большей величине интенсивности электромагнитной волны, когда она сравнивается с пробойной величиной, разряд переходит в режим самостоятельного пробоя. Исследования такого режима горения разряда приведены в главе 4. В ' работе представлены как экспериментальные, так и теоретические результаты.

В первой главе описываются результаты экспериментального исследования разряда, возникающего вблизи поверхности твердого диэлектрика, помещенного в крутосходяишйся волновой пучок электромагнитного излучения миллиметрового диапазона длин волн. Эксперименты выполнялись в воздухе при атмосферном давлении, интенсивность электромагнитного излучения составляла 0,5 - 2 кВт/см2.

В параграфе 1.1 описываются исследования процесса возникновения разряда. Экспериментально показано, что возникновение разряда определяется "испарительным" механизмом: инициирующее разряд тело, поглошая электромагнитное излучение

нагревается до температуры, при которой начинается существенное испарение материала инициатора, после чего разряд развивается в смеси окружающего воздуха с параш материала инициатора. На основании этих результатов сделан вывод о том, что продув газа вдоль поверхности образца должен затруднять инициацию разряда (за счет выноса испаренного вещества из волнового пучка) и, следовательно, может увеличивать эффективность высокотемпературной обработки материалов. Экспериментальное доказательство справедливости этого вывода приведено в параграфе 1.2.

Параграф 1.3 посвящен экспериментальному исследованию развившегося приповерхностного разряда в поле непрерывной СВЧ волны. Показано, что разряд является квазиравновесным, то есть температуры электронов и нейтрального газа в нем близки, а степень ионизации определяется уравнением Саха. Показано, что роль испаренного вещества уменьшается по мере удаления от образца. Измерены температура газа и плотность электронов в разряде. Обнаружено, что в разряде постоянно двигаются волны ионизации и проведено- сравнение с теорией В. Е. Семенова, описывающей подобные эффекты.

Глава 2 посвящена исследованию непрерывного режима распространения разряда в воздухе при атмосферном давлении навстречу падающей электромагнитной волне. Основное внимание уделяется неравновесному разряду, в котором температура электронов значительно выше температуры нейтрального газа, а концентрация электронов существенно превышает равновесную величину, определяемую температурой газа в соответствии с уравнением Саха.

В параграфе 2.1 представлен обзор экспериментов по

о

непрерывному режиму распространения разряда, выполненных другими авторами, а также приведены результаты экспериментального измерения температуры газа в разряде, дающие прямое доказательство его неравновесного характера. Экспериментальные результаты свидетельствуют в пользу реализации так называемого "фотоионизационного" механизма распространения разряда, который обеспечивается нагревом газа перед фронтом разряда за счет поглощения падающей электромагнитной волны в окружающем разряд плазменном ореоле, созданном собственным ионизирущим ультрафиолетовым излучением из основного разряда. Альтернативным механизмом распространения разряда является "теплопроводностный" механизм, который обеспечивается теплопроеодностным прогревом газа перед фронтом разряда за счет потека тепла, идущего из основного разряда. В параграфах 2.2 и 2.3 представлены теоретические модели "теплопроводностного" (2.2) и "фотоионизационного" (2.3) режимов распространения разряда и показано, что только "фотоионизационный" механизм дает качественное согласие с данными эксперимента.

Глава 3 посвящена теоретическому исследованию скачкообразного режима распространения неравновесного СВЧ разряда высокого давления.

Параграф 3.1 носит обзорный характер. В нем представлены результаты экспериментов, в которых наблюдался скачкообразный режим распространения разряда, а также простейшая качественная модель, объясняющая некоторые закономерности такого движения. Модель основана на предположении, что неоднородный нагрев газа в плазменном ореоле Ссвязанный с отражением электромагнитной волны от основного разряда или со структурой ореола) может приводить к

1 о

локальному снижению величины пробойной интенсивности на некотором конечном расстоянии от фронта разряда, а это должно приводить к перескокам фронта ионизации. Характерный масштаб скачка в рамках данной модели определяется либо масштабом плазменного ореола I, когда он достаточно мал, либо длиной электромагнитной волны X, когда масштаб плазменного ореола велик, что качественно согласуется с экспериментом, в котором наблюдались два характерных масштаба скачков.

В параграфе 3. 2 построена теоретическая модель стационарного движения фронта ионизации неравновесного СВЧ разряда высокого давления. Показано, что наличие локального максимума величины энерговыделения в области плазменного ореола не является достаточным условием невозможности стационарного движения разряда. Нарушение стационарного движения разряда происходит лишь при превышении модулем коэффициента отражения электромагнитной волны от разряда некоторого значения, зависящего от фазы коэффициента отражения и размеров плазменного ореола. Стационарное решение в рамках данной модели нарушается, когда перед разрядом появляется области сверхпробойных значений интенсивности электромагнитной волны. Высказано предположение, что в этих случаях должны реализовываться скачки фронта ионизации разряда с характерным масштабом, соответствующим расстоянию от фронта разряда до ближайшей к нему области сверхпробойной интенсивности электромагнитной волны. Показано, что характерный масштаб скачка в рамках данного предположения с точностью 20°/. совпадает с минимальной из двух величин: 2Ь и Х/4.

В параграфе 3.3 представлены результаты численного расчета,

которые показывают, что нарушение условий стационарного движения разряда действительно приводит к скачкам фронта ионизации, а характерный масштаб скачка можно оценивать по аналитической модели, представленной в 3.2.

В главе 4 представлены экспериментальные исследования разряда, поддерживаемого крутосходящимся пучком электромагнитных волн миллиметроього диапазона в аргоне технической чистоты при средних давлениях С~ 0,1 ати.). В экспериментах был реализован непрерывный режим поддержания разряда. СВЧ разряды в инертных газах различного давления исследовались и ранее, однако динамика и параметры разряда в крутосходящемся волновом пучке электромагнитного излучения миллиметрового диапазона длин волн существенно отличаются от описанных ранее. Обнаружено, что разряд представляет собой непрерывную последовательность волн ионизации, зарождающихся в фокальной области волнового пучка, распространяющихся навстречу падающей электромагнитной Еолне, останавливающихся и гаснущих в области слабого поля, и вновь возникающих в фокальной области волнового пучка. Измерены температура газа и плотность электронов в разряде. Показано, что волны ионизации имеют неравновесный характер, а распространяются они по квазиравновесной фоновой плазме. Параметры фоновой плазмы определяются многократным пробегом волн ионизации по одной и той же порции газа. Установлено, что примеси оказывают существенное влияние на динамику и параметры разряда.

В заключении сформулированы основные результаты диссертационной работы.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ

1. Экспериментально установлено, что возникновение разряда вблизи твердого диэлектрика, помещенного в волновой пучок электромагнитного излучения диапазона миллиметровых волн при интенсивности 0,5 - 2 кВт/см2, определяется "испарительным" механизмом: инициирующее разряд тело, поглощая электромагнитное излучение нагревается до температуры, при которой начинается существенное испарение материала инициатора, после чего разряд развивается в смеси окружающего воздуха с парами материала инициатора.

2. Экспериментально исследован разряд, поддерживаемый непрерывным крутосходящимся СВЧ излучением вблизи поверхности твердого диэлектрика в воздухе при атмосферном давлении. Разряд является квазиравновесным, температура газа в разряде составляет 3000 - 4000 К, концентрация электронов 2-10*2 - 4-Ю13 см"3. Влияние паров материала инициатора уменьшается по мере удаления от поверхности инициатора. Обнаружено, что несмотря на непрерывный режим подвода энергии разряд нестационарен: в нем существуют двигающиеся волны ионизации.

3. Измерена температура газа в разряде в воздухе атмосферного давления при интенсивности электромагнитного излучения ~ 10 кВт/см2. Величина температуры (1500 - 1800 К) значительно меньше температуры эффективной термоионизации (~ 5000 К), что является прямым доказательством неравновесности разряда.

4. Построены теоретические модели двух альтернативных механизмов распространения неравновесного СВЧ разряда высокого давления: "теплопроводностнсго" и "фотоионизационного". Показано,

что только "фотоионизационный" механизм соответствует экспериментальным данным. Быстрый рост скорости движения разряда при увеличении мощности СВЧ волны, наблюдавшийся в экспериментах, в рамках модели "фотоионизационного" режима распространения разряда связан, в основном, с изменением удельной теплоемкости газа, происходящим вследствие изменения его температуры.

5. Проведен общий анализ условий реализации стационарного дозвукового движения неравновесного СВЧ разряда высокого давления. Показано, что на плоскости параметров д,К (д - коэффициент поглощения электромагнитного излучения в ореоле, К - модуль коэффициента отражения электромагнитной волны от плазмы разряда!) область существования стационарного движения ограничена сверху некоторой кривой, зависящей от фазы коэффициента отражения и размеров плазменного ореола.

6. Проведен численный расчет динамики фронта ионизации неравновесного СВЧ разряда высокого давления._ Показано, что нарушение стационарного движения разряда проявляется в виде скачков фронта ионизации. Продемонстрирована возможность реализации двух типов скачков, наблюдавшихся в экспериментах. Показано, что длина скачка может быть приближенно определена на основании аналитической модели стационарного движения разряда.

7. Экспериментально исследован разряд, реализующийся в аргоне технической чистоты среднего давления С~ 0.1 атм.) под действием непрерывного электромагнитного излучения, сформированного в виде крутосходящегося волнового пучка. Установлено, что в определенной интервале давлений разряд представляет собой регулярную последовательность волн неравновесной ионизации, зарождающихся в

1'1

фокальной области волнового пучка, распространяющихся навстречу электромагнитной волне, останавливающихся и исчезающих в области слабого поля. Показано, что волны ионизации распространяются по неподвижной фоновой квазиравновесной плазме. Температура фоновой плазмы определяется многократным пробегом волн ионизации по одной и той же порции газа и составляет 3000 - 4000 К. Плотность электронов в волнах неравновесной ионизации порядка 10' 4 см"3, а в фоновой плазме - менее 10'0 см"3. Установлено, что примеси оказывают существенное влияние на динамику и параметры разряда.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ ОПУБЛИКОВАНЫ В РАБОТАХ

1. Еогатов H.A., Быков Ю. В. , Венедиктов Н.П. , Голубев C.B., Зорин

B. Г., Еремеев . А. Г., Семенов В. Е. Газодинамическое распространение неравновесного СВЧ-разряда. // Физика плазмы. -

1986. - Т. 12, в. 6. - С. 725 - 732.

2. Быков Ю. В. , Ерекеев А. Г. Возможности технологического использования мощного электромагнитного излучения миллиметрового диапазона длин волн. // Высокочастотный разряд в волновых полях: Сб. науч. тр. / ИПФ АН СССР.- Горький, 1988.-

C. 265 -289.

3. Еремеев А.Г., Семенов В.Е. 0 нарушении стационарного двигения фронта ионизации неравновесного СВЧ разряда. // Физика плазмы.-

1987. - Т. 13, в. 3. - С. 362-365.

4. Быков Ю. В. , Еремеев А.Г. Испарительная модель возникновения СВЧ разряда вблизи поверхности. // Аннотации докладов Всесоюзного совещ. "Высокочастотный разряд в волновых полях", Горький, 9-11 июня 1987 г. - Горький, 1987,- С. 56.

5. Bykov U. V. , Eremeev A.G., Sorokin A. A. Evaporation model of the near surface microwave discharge. // Abstracts of Symposium L "Microwave processing of materials", San-Francisco, California. - 1990,- P. 291.

6. Bykov Yu. V., Eremeev A. G. , Sorckin A-A. Evaporation model of the near surface microwave discharge.-- Proc. of Symposium L "Microwave processing of materials", San Francisco, California, 1990. // Mat. Res. Proc. - 1991.- Vol. 189.- P. 191 - 193.

7. Быков Ю. В., Еремеев А. Г. , Сорокин А. А. Экспериментальное исследование разряда при воздействии непрерывного СВЧ излучения на диэлектрические материалы. // Физика и химия обработки материалов. - 1991,- N. 6.- С. 107 - 112.

8. Быков Ю. В., Еремеев А. Г. , Зорин В. Г., Семенов В. Е, Нестационарный разряд в аргоне, поддерживаемый непрерывным СВЧ излучением. // Аннотации докладов Всесоюзного совет. "Высокочастотный разряд в волновых полях". Горький, 9-11 июня 1987 г. - Горький, 1987. - С. 39.

9. Быков Ю.В., Еремеев А.Г., Зорин В.Г., Семенов В.Е. Разряд, поддерживаемый непрерывным СВЧ излучением. // Тез. докладов 4 Всесоюзной конференции по физике газового разряда, Махачкала, 31-23 сентября 1988 г. - Махачкала, 1988,- часть I . - С. 74 -75.

10. BykoY Yu. V., Jeremeev A. G. , Zorin V. G. and Semenov V. E. Discharge maintained by continuous millimetre-wave radiation. // Contrib. papers XIX Int. Conf. on Phenomena in Ionized Gases, Belgrad, 10 - 14 July 1989.- Belgrad, 1989,- V.2.- P. 444.

11. Еремеев А.Г., Семенов В.Е. Аналитическая модель неравновесного высокочастотного разряда в допробойных полях. // Тезисы докл. II Всесоюз. совещ. "Высокочастотный разряд в волновых полях". -Куйбышев. - 1989. - С. 30.

12. Еремеев А. Г., Семенов В. Е. Теплопрезодностное распространение неравновесного высокочастотного разряда в газах высокого давления. // Тез. докл. III сессии научно-технического совей,. "Получение, исследование и применение плазмы в СЗЧ полях". -Иркутск. - 1989. - С. 66 - 68.

13. Eremeev A. G. , Semenov V.Е. On one solution of the non!'near problem of electrodynamics. // Proc. of the Gorky School 1989 "Nonlinear waves 3". - Berlin; Heideberg: Springer-Verlag, 1990,- P. 139 - 144.

14. Бородачева Т. В., Голубев C.B., Зорин В. Г., Еремеев А. Г., Семенов В. Е. Плазменный ореол и скачки фронта ионизации неравновесного СВЧ разряда высокого давления. // Физика плазмы. - 1989.- Т. 15, в. 1.- С. 107 - 113.

15. Еремеев А. Г., Жарова H.A., Семенов В. Е. Определение параметров неравновесного инициированного разряда высокого давления на основании электродинамической модели. // Физика плазмы.-1990. - Т. 16, в. 7. - С. 871 - 877.

16. Еремеев А. Г. Электродинамическая модель фотоиониэационного режима распространения неравновесного СВЧ разряда. // Физика плазмы. - 1992. - Т. 18, в. 10. - С. 1334 - 1340.

I

СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ

ВВЕДЕНИЕ....................................................... 3

1. РАЗРЯД, ГОРЯШИИ ВБЛИЗИ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА............ 17

1.1. Инициация разряда...................................... 18

1.2. Продув газа как способ борьбы с возникновением разряда................................................ 31

1.3. Динамика и параметры разряда, горящего вблизи поверхности твердого тела.............................. 37

2. НЕПРЕРЫВНОЕ ДВИЖЕНИЕ РАЗРЯДА................................ 54

2.1. Экспериментальные исследования непрерывно движущегося разряда................................................ 55

2.2. Электродинамическая модель теплопроводностного режима распространения неравновесного СВЧ разряда............. 69

2.3. Электродинамическая модель фотоионизационного режима распространения неравновесного СВЧ разряда............. 87

3. СКАЧКООБРАЗНОЕ ДВИЖЕНИЕ РАЗРЯДА.............................103

3.1. Эксперименты по скачкообразному распространению разряда................................................103

3.2. О нарушении стационарного движения фронта ионизации неравновесного СВЧ разряда высокого давления...........112

3.3. Численное моделирование скачков фронта ионизации.......121

4. НЕСТАЦИОНАРНЫЙ РАЗРЯД. ПОДДЕРЖИВАЕМЫЙ НЕПРЕРЫВНЫМ СВЧ

ИЗЛУЧЕНИЕМ..................................................130

4.1. Эксперимент............................................131

4.2. Обсуждение.............................................147

ЗАКЛЮЧЕНИЕ....................................................У157

ЛИТЕРАТУРА.....................................................160