Исследование процессов образования и разлета плазмы, возникающей на поверхности металлов под действием лазерного излучения ультрафиолетового и видимого диапазона тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

ад — ? 93

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ' ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

На правах рукописи

Гайдаренко Дмитрий Владимирович

УДК 633.9:537.84

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ОБРАЗОВАНИЯ И РАЗЛЕТА ПЛАЗМЫ, ВОЗНЗКАЩЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО И ВИДИМОГО ДИАПАЗОНА

(01.04.08 - физика и химия плазмы)

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата {изико-магематических наук

Москва-!993

Работа выполнена на кафедре прикладной физики факультета проблем физики и энергетики Московского физико-технического института.

Научный руководитель: кандидат физико-математических наук, доцент Леонов А.Г.

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук Ковальский Н.Г.

кандидат физико-математических наук Попов A.M.

Ведущая организация Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам РАН (ШЦТЛ)

Защита состоится " ^С^^ЛМЛ 1993 г.

в _ часов на заседании специализированного совета

К 063.91.09 Московского физикогтехнического института по адресу: Москва, ул. Профсоюзная, д.84/32, к. В-2.

Отзывы направлять по адресу: I4I700, г.Долгопрудный, /

Моск.обл., Институтский пер., д.9, МФТИ, специализированный совет К 063.91.09.

О диссертацией можно ознакомиться в библиотеке института. Автореферат разослан "_" _ 1993г.

Ученый секретарь специализированного совета К 063.91.09 кандидат технических наук ^_. Н.П. Чубинский

-з-

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность теш.

Лазеры находят все более широкое применение в прикладных и исследовательских целях. Обработка материалов, напыление пленок и покрытий из различных материалов, в том числе тугоплавких, напыление высокотемпературных оверхпроводящих пленок, создание ма* сок для изготовления микросхем, атомных пучков высокой плотности из материалов с низким давлением парой, ионных пучков для последующей их инжекции в ускорители элементарных частиц, дистанционная диагностика состава твердых кизений, атонизация и спектральный анализ микрообразцов - лишь некоторые конкретные области применений лазеров.

Опрвдвляпцую роль в этих приложениях занимает процесс взаимодействия мощного светового излучения с' поверхностью твердых тел. Однако, в настоящее время отсутствует полное понимание многих этапов указанного процесса. Существующие модели дают лшць качественное описание эмпирического материала, причем, как правило, в достаточно узком диапазоне параметров. Это связано со сложностью явления, для описания которого необходимо учитывать множество процессов - нагрев и плавление вещества в динамическом режиме, испарение и образование плазмы, взаимодействующей о излучением и окружающим газом, неодномерность и нестационарность многопараметрической задачи и т. д.

Необходимо отметить, что наименее изучены процессы взаимодействия с веществом излучения ультрафиолетового диапазона , что отчасти объясняется относительно недавним появлением мощных УФ лазеров. Вместе с тем, ультрафиолетовое излучение характеризуется целым рядом специфических свойств: большая энергия кванта приводит к возможности двухфотонной фотоионизации атомов и прямой фотоионнза!щп с нлзколекащих возбукденншс состоятся; малая

- ч~

длина волны определяет предельно малые области воздействия; коэффициенты отражения металлов существенно меньше, чем в инфракрасной области - эффективность воздействия больше; эрозионная плазма практически прозрачна для создапцего ее УФ излучения (при умеренной интенсивности), тогда как для СО2 - лазера плазма становится непрозрачной уже на фронте светового импульса, полностью поглощая и отражая падающую волну. Эти особенности приводят, например, к существенному отличию таких важных параметров эрозионной плазмы, как температура и энергия направленного разлета. Важно отметить, что при переходе от инфракрасного к ультрафиолетовому диапазону появляются принципиально иные физические механизмы возникновения заряженных частиц и первоначальной ионизации (например, фотоаффект и т. д.), "нагрева" электронов, ведущего к образованию плазмы (наряду с обратным тормозным поглощением значительную роль могут играть неупругие столкновения электронов с возбужденными лазерным пучком атомами), взаимодействия разлетающейся плазмы с окружающей атмосферой и лазерным излучением. Описанные отличия, приводят к тому, что в ряде технологических процессов применение ультрафиолетовых лазеров является более эффективным, чем инфракрасных С02 и неодимовых, а в ряде случаев и единственно возможным.

Поскольку во многих приложениях, связанных с использованием лазерного излучения умеренной (Ю6 + Ю9 Вт/см2) интенсивности, определяющую роль играет эрозионная плазма, на основные ее параметры (концентрация, скорость и направленность разлета, степень ионизации и ионный состав, температура, общее количество частиц) зачастую накладываются весьма жесткие ограничения (к примеру, в случае напыления однородных пленок кинетическая энергия частиц не должна превышать величины пороговой энергии испарения материала плэнки и генерации дефектов в подложке). В связи с этим, су-

-У -

шествует необходимость в накоплении экспериментальных данных о параметрах плазмы и динамике ее разлета в зависимости от параметров излучения и оптических и теплофизических свойств обрабатываемых, материалов и их паров я т. д. Подобные данные необходимы и для построения теоретических моделей, адекватно описывающих процессы взаимодействия достаточно коротковолнового дозорного излучения с поверхностями твердых тел.

Ванной характеристикой процесса взаимодействия лазерного излучения с поверхностью твердых тел является пороговая интенсивность плазмообразовшшя, однако для УФ лазеров известны лишь единичные эксперименты по определению этой величины, а имеющиеся данные получены в разных условиях взаимодействия, что затрудняет их анализ и интерпретацию, и часто значительно отличаются при близких условиях эксперимента. Необходимо отметить, что в настоящее время не существует достаточно четкого, общепринятого подхода к определению порога плазмообразования и методов его измерения. По-видимому, этим, в частности, и объясняется значительный разброс в данных, полученных различными авторами. Немногочисленные же теоретические модели а численные расчеты порогов зачастую плохо согласуются с экспериментальными данными и имеют ограниченную обла'сть применения.

На величину пороговой интенсивности образования плазмы при использовании лазеров видимого и УГ диапазонов могут влиять резонансные процессы и, в частности, эффект резонансной ионизации, который наблюдается в стационарных парах металлов и проявляется в резком снижении порога пробоя при совпадении длины волны лазера с длиной волны резонансного перехода в атймо паров. Однако данные о влиянии резонансных процессов на плазмообразование в эрозионных парах отсутствуют.

Целы» настоящей работы явилось всестороннее изучение характеристик эрозионной плазмы,, возник андей на поверхности металлов под действием излучения ультрафиолетового и видимого диапазона, динамики ее расширения, получение данных о порогах шшзмообразо-вания для различных металлов в вакууме и влиянии на их величину процессов резонансной ионизации и фотоиониэации.

Для достижения поставленных целей необходимо решение следующих основных задач:

- измерение основных параметров эрозионной плазмы, таких как электронная и ионная температура, концентрация, скорость и диаграмма разлета, их пространственных и временных зависимостей.

- выработка критерия порога пробоя и методов прямого измерения пороговых интенсивностей плазмообразования на поверхности металлов в вакууме; экспериментальное измерение порогов плазмообразования на поверхности различных металлов под действием ультрафиолетового излучения ХеС1-лазера;

- изучение влияния резонансных процессов на плазмообразова-ние и пороги пробоя на поверхности металлов в вакууме в ультрафиолетовом и видимом диапазонах длин волн, получение резонансных зависимостей порогов пробоя и основных параметров плазмы от длины волны лазерного излучения в окрестностях резонансных переходов, выяснение влияния на пороги пробоя процессов фотоионизации.

Научная новизна проведенных исследован^ постоит и следующем:.

13 данной рабою впервые систематически измерены параметры плазмы эрозионного факела, возникающего на поверхности алюминия под действием ультрафиолетового излучения ХеСХ лазера в вакууме.

Предложена и обоснована методика измерения порогов образования плазын на поверхности металлов под действием лазерного излучения. ВпорЕые прямым способом измерены величины порогов в вакууме под действием излучения ХеС1 - лазера наносекундной длитель-

-}

поста на поверхности ряда металлов.

Впервые экспериментально обнарукено резонансное снижение порога образования лазерной плазмы на поверхности твердого тела при совпадении длины волны излучения с длиной волны перехода в атоме вещества мишени, измерены величины порогов и плотности эрозионной плазмы в зависимости от отстройки частоты лазерного излучения от резонанса. Показано, что именно резонансные процессы определяют величину порога пробоя на поверхности алюминия под действием излучения ХеС1 лазера.

Практическая ценность работы.

Полученные экспериментальные результаты по изучению порогов пробоя, параметров и динамики разлета эрозионной плазм, создаваемой коротковолновым лазерным излучением на поверхности металлов, дают исходный материал для построения теоретических моделей взаимодействия излучения УФ - диапазона с веществом, позволяют прогнозировать результаты взаимодействия в условиях практического применения, являются важными для решения задач лазерного напыления, лазерной масс-спектрометрии, дистанционной диагностики, создания лазерных источников ионов и др.

Предложенный в работе способ определения порогов плазмообра-зования способствует выработке единого подхода к указанной проблеме, выявлению закономерностей, присущих явлению и позволяет сравнивать результаты, полученные разными авторами. Кроме того, знание порогов и закономерностей плазмообразования необходимо для оптимизации условий взаимодействия и получения плазмы с заданными параметрами. С этой точки зрения, при решении прикладных задач особенно важным представляется эффект резонансного снижения порога плазмообразования в эрозионных парах, обнаруженный в данной работе, который может проявиться при случайном совпадении длины волны излучения и длины волны перехода в атоме вещества минета.

-

На защиту выносятся следующие положения:

1. Результаты измерения порогов плазмообразования на поверхности ряда металлов под действием ультрафиолетового излучения (АХ, Т1, VI, Си, В1, Сй) и видимого излучения (АХ, На) в вакууме, обоснование методики их определения.

2. Результаты детального исследования параметров (температуры, плотности, скорости направленного движения) и динамики расширения эрозионного факела, создаваемого ультрафиолетовым излучением наносекундной длительности интенсивностью 108+109 Вт/см2 на поверхности металла в вакууме. Результаты экспериментов, показывающие, что разлет плазменного облака происходит в виде расширяющейся с течением времени оболочки.

3. Результаты экспериментального исследования резонансного пробоя на поверхности твердого тела (алюминия, натрия) в вакууме под действием излучения ультрафиолетового и видимого диапазона при совпадении длины волны лазера и длины волны резонансного перехода в атоме вещества мишени; результаты измерений резонансных зависимостей пороговых интенсивностей плазмообразования и параметров плазмы от величины отстройки от резонанса, зарегистрированное снижение пороговых интенсивностей в 2 + 2.5 раза при ширине резонансных кривых 3 + 8 нм.

4. Экспериментальное доказательство резонансного характера образования плазмы на поверхности алюминия под действием излучения ХеСХ лазера.

Апробация работы. Результаты диссертации докладывались и обсуждались на Всесоюзной школе "Лазеры и атмосфера", Обнинск, 1990; VIII Всесоюзной конференции по взаимодействию оптического излучения с веществом, Ленинград, 1990; IV Всесоюзной конференции "Взаимодействие излучения, плазменных и электронных потоков с веществом", Фрунзе, 1990; 14й международной конференции по когерен-

тной и. нелинейной опт:жв (КкНо'91), Ленинград, 1991; международной конференции по передовым и лазерным технологиям (ALT 92), Москва, 1992; на конференциях и семинарах МФТИ.

Публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в 13 печатных работах, в т.ч., в 8 статьях и 5 тезисах докладов.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав и заключения. Общий объем диссертации страниц, из них страниц текста и рисунка. Библиография включает названий на страницах.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во Введешги приводится обоснование актуальности тени, указаны основные цели работы, излагается краткое содержание диссертации и формулируются завдщаемые положения.

В первой главе содержится краткий обзор литературы по проблеме взаимодействия ультрафиолетового излучения с поверхностью твердых тел, образованию эрозионной плазмы и пороговых условий плазмообразования. Кроме того, приводится краткий обзор работ по резонансной лазерной ионизации в стационарных парах металлов. В заключение представлен круг вопросов, недостаточно изученных к настоящему времени и обоснован выбор направлений исследований.

Во второй главе описываются основные узлы экспериментальной установки, система сбора данных и гггределения параметров лазерного излучения. В разделе 2.2 приведено описание эксимерного лазера и лазера на красителях, а в разделе 2.3 - рассмотрена система измерения параметров лазерного излучения (энергии, временной формы импульса, длины волны, спектральной ширины линиии и пространственного распределения интенсивности). Описание камеры взаимодействия, приготовления мишени и очистки ее поверхности содержится в разделе 2.4.

--/о -

В раздала 2.5 приводится описание оптических методов диагностики плазменного факела. Конструкция и характеристики плаз-легшого зонда, оОсуздаш:-:. условий корректного применения зондо-выя измерений представлено в разделе 2.6.

В третьей главе приведены результаты экспериментов по исследованию образования и динамики разлета эрозионной плазмы, созда-ваамой излучением ХеС! лазера интенсивностью 108 + ю9 Вт/см2 на поверхности алюминия в вакууме, обсуждаются спектроскопические и корпускулярные методы измерения параметров плазмы.

Раздел 3.2 посвящен измерениям температуры электронов плазмы А! по относительным интенсивностям спектральных линий, рассматриваются ■ границы применимости данного метода .и приводятся экспериментальные данные, полученные с его помощью. Эксперименты показали, что Т0 слабо зависит от интенсивности лазерного излучения I и ее характерная величина составляет 2 эВ. В этом же разделе приведены результаты изморения электронной Ы6 концентрации по штарковскому уширешю спектральных линий иона алюминия. Как оказалось, величина И0 существенно быстрее возрастает с увеличением 1, при этом вблизи порога пробоя ее значение на расстоянии от мишени г <* 0.2 мм составляет <* 3-Ю17 см-3. В этом ке разделе приводятся результаты измерения электронной концентрации в различные моменты времени по поглощению в плазме излучения вспомогательного лазера на красителе.

Измерение параметров плазмы на поздней стадии разлета с помощью плазменного зонда описано в разделе 3.3. Для интерпретация сигналов зонда использовались расчеты, ешюлнэнвыо в предположении мгновенного н точечного взрыва II]. В рамках этой модели по временной форме импульса иошого тока определялась ионная температура и исправленная скорость движения плазменного облака. В том зге раздело обсуждается влияние параметров зонда на результа-

та измерения, приводятся диаграммы направленности разлета.

В разделе 3.4 на основе полученных в работе экспериментальных результатов обсуждается динамика разлета эрозионного факела. Данные экспериментов свидетельствуют о том, что плазменное облако разлетается в виде расширяющейся по мере движения плазменной, оболочки. Обсуздается также отличив найденных зависимостей от динамики расширения плазмы, образованной на поверхности металлов излучением более длинноволновых лазеров, производится сравнение опытных данных с теоретическими моделями [2]. На рис Л представлены результаты измерения температуры и концентрации плазмы, создаваемой на поверхности алюминия излучением XeCl-лазера, в зависимости от расстояния до мишени. На близких расстояниях ( г < 2 мм ) параметры плазмы измерялись спектроскопическими методами; на более поздней стадии разлета (г > 50 мм) измерения проводи-.' лись с помощью зонда.

В четвертой главе приводятся результаты экспериментов по определению порогов образования эрозионной лазерной плазмы на поверхности рятч 'металлических мишеней ттл.л лваствпом получения XeCl лазера. L раздоло i.i обсуждается методика спроделения пороговой интенсивности плазмообразования по возникновению свечения спектральных линий однозарядных ионов материала мишени и тормозного и фоторекомбинационного континуума. Далее (в разделе 4.2) приводятся экспериментальные зависимости сигналов свечешя для разных металлов, а также данные об иошюп компоненте эрозионной плазмы и околопороговой области интенсивностой излучения ХеСХ лазера. Здось представлены результаты измерений пороговой интенсивности образования плазмы на поверхности алюминия под действием излучения перестраиваемого в диапазоне 590+680 нм лазера на красителе. На основании этих результатов сделан вывод о том, что процессы фотоионизецяя с 3d уровней атома Al при воз-

действии излучения с длиной волны в указанном диапазоне не влияют на пороговую интенсивность пробоя. В разделе 4.3 обсуждаются юлученные величины порогов, механизмов образования плазмы и роль фотоионизации с возбужденных уровней атома АХ, выдвигается предположение о резонансном снижении порога пробоя на алюминиевой мишени.

В пятой главе содержатся результаты экспериментов по исследованию резонансного пробоя в парах мишени в вакууме под действием перестраиваемого излучения лазера на красителе. Измерения проведены как для ультрафиолетового диапазона длин волн лазерного излучения (в окрестности перехода ЗР-ЗБ атома алюминия), так и для видимого диапазона (переход ЗЗ-ЗР в атоме натрия). В данной главе приводятся экспериментально полученные резонансные зависимости порогов пробоя от величины отстройки от резонанса, а также зависимости основных параметров плазмы от отстройки и интенсивности лазерного излучения, измеренные с временным и пространственным разрешением. Показано, что найденные в экспериментах относительно небольшие величины снижения порогов пробоя (в 2+2.5 раза) в отличие от пробоя стационарных паров объясняются специфическим характером резонансной ионизации в парах мишени, связанным с сильной зависимостью плотности паров от интенсивности лазерного излучения. Сделан вывод о том, что большая ширина резонансных кривых (3*8 нм) вызвана полевым уширением вследствие насыщения резонансного перехода, что подтверждается теоретическими расчетами-[3]. На рис.2 представлена зависимость порогов пробоя на поверхности алюминия от длины волны лазера в окрестностях резонансного перехода ЗР-ЗБ АX I.

В Заключении приводятся основные результаты работы, которые можно сформулировать следующим образом:

I. Создан автоматизированный экспериментальный комплекс,

-1Ъ-

позволяющий производить исследование процессов взаимодействия лазерного излучения ультрафиолетового и видимого диапазона с металлами и измерять характеристики эрозионной плазмы с пространственным и временным разрешением.

2. Измерены параметры плазмы, создаваемой на поверхности алюминиевой мишени излучением ХеС1 лазера и их пространственно-временные зависимости; исследована динамика разлета плазменного облака.

3. Температура плазмы, создаваемой излучением ультрафиолетового лазера, имеет значительно меньшую (почти на порядок) величину, чем в случае применения С02 и Ш лазеров с близкими параметрами. Однако, скорость направленного движения отличается при этом не столь резко (в 1.5 - 2 раза).

4. Показано, что эрозионный факел разлетается в виде плазменной оболочки, расширяющейся с течением времени, с преобладанием на ее фронте ионов высокой кратности. Основные закономерности разлета плазмы, создаваемой излучением УФ лазера, близки к закономерностям разлета плазменного облака, образованного в результате воздействия лазеров видимого и ИК диапазона. Однако, в отличие от случая взаимодействия с мишенью ИК лазера, в энергетическом спектре ионного сигнала существует лишь один максимум, что объясняется, по-видимому, более низкой температурой плазмы. В работе также показано,_что энергии, выделяемой в процессе рекомбинации, достаточно для существенного уменьшения скорости охлаждения расширяющейся плазмы (Т « ТТ* и г-*).

5. Создана и обоснована методика измерения порогов плазмо-образования по зависимостям интенсивностей свечения ионных линий и тормозного и фоторекомбинационного континуума от интенсивности лазерного излучения. Измерены пороги пробоя на поверхности ряда металлов в вакууме под действием УФ излучения ХеС1 лазера.

Экспериментально обнаружено, что фотоионизация с ЗБ-уровней атома AI не влияет на порог пробоя при нерезонансном облучении.

6. Показано, что при совпадении длины волны лазера с длиной волны резонансного перехода в атоме эрозионных паров происходит снижение порога пробоя. Величина снижения порога определяется конкуренцией резонансных и нерезонансных процессов плазмообразования. Ширина резонансной криво» (зависимости пороговой интенсивности от отстройки) определяется полевым уширением вследствие насыщения резонансного перехода. Показано, что величина пороговой интенсивности плазмообразования на поверхности алюминия в вакууме под действием излучения KeCI лазера определяется резонансными процессами.

?. измерены зависимости параметров плазмы от величины отстройки от резонанса в УФ (алюминий) и видимой области (натрий). Указанные зависимости для концентрации плазмы имеют резонансный характер. При повышении интенсивности лазерного излучения ширины резонансных кривых увеличиваются, что является следствием резкого увеличения скорости нерезонансных столкновительных процессов. Обнаруженные в эксперименте закономерности резонансного пробоя в эрозионных парах качественно согласуются с результатами численных расчетов, выполненных для условий настоящего эксперимента.

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах:

1. О характере развития плазменного факела при воздействии импульсного излучения ХеС1-лазера на поверхность металла. Ани-симов В.П., Большов Л.А., Гайдаренко Д.В., Деркач О.Н., Каневский М.Ф., Леонов А.Г., Малюта Д.Д., Новобранцев И.В., Се-брант А.Ю. Письма в КТФ, 1987, т.13, №13, с.808-811.

2. О порогах плазмообразования на поверхности металлов под действием ультрафиолетового излучения. Гайдаренко. Д.В., Леонов

А.Г., Новобранцев И.В. Письма в ЖТФ, 1989, т.15, ЖЗ, с.75-ч78.

3. Динамика расширения лазерной плазмы, образованной излучением ХеС1-лазера. Гайдаренко Д.В., Леонов А.Г., Чехов Д.И. Письма В ЖТФ, 1990, Т.16, *15, с.19-23.

4. Исследование характеристик эрозионной плазмы, образованной излучением ХеС1-лазера, на больших расстояниях. Гайдаренко Д.В., Леонов А.Г., Чехов Д.И. Тезисы докладов на 8й Всесоюзной конференции по взаимодействию оптического излучения с веществом. Ленинград, 1990, т.2, с.57.

Б. Динамика образования и разлета эрозионной плазмы под действием УФ излучения ХеС* лазера. Гайдаренко Д.В., Леонов А.Г., Чехов Д.И. Тезисы докладов на 8я Всесоюзной конференции по взаимодействию оптического излучения с веществом. Ленинград, 1990, т.2, С.Б5-Б6.

6. Исследование плазменного факела, образованного излучением Хесг лазера на поверхности алюминия. Гайдаренко Д.В., Леонов А.Г., Чехов Д.И. Тезисы докладов на 4я Всесоюзной конференции "Взаимодействие излучения, плазменных и электронных потоков с веществом." Фрунзе, 1990, с.37-38.

7. Измерения порогов образования плазмы на поверхности металлов под действием-УФ излучения ХеС1 лазера спектральными и зондо-выми методами. Гайдаренко Д.В., Леонов АЛ'., Новобранцев И.В. В сборнике "Лазоры и атмосфера", часть 2, с.165-157, Обнинск, 1990.

8. Резонансный лазерный пробой на поверхности металла. Гайдаренко Д.В., Леонов А.Г. Тезисы докладов на 14й Международной конференции по когерентной и нелинейной оптико (К и Но'э1), Ленинград, 1991, т.1, с.136-137.

9. Характеристики и динамика разлета эрозионной плазмы, образованной УФ излучением ХеС! лазера. Гайдаренко Д.В., Леонов

А.Г., Чехов Д.И. Физика плазмы. 1991, т.17, *в, с.918-923.

10. Резонансный лазерный пробой на поверхности металла. Гвйда-ренко Д.В., Леонов А.Г. Письма в ЖЭТФ, 1991, т.БЗ, Мб, о.290-293.

11. The study of parameters and expansion dynamics of the plasma plume created by the XeCl laser pulses at the surface of an aluminium target. Galdarenko D.T., Leonov A.G., Chechov O.I. Laser physlce, 1991, y.1, n.2, p.180-187.

12. The resonant breakdown on the aluminum target surface under UV laser action. Galdarenko D.V., Leonov A.G. Book on вишпа-rles of International conference on advanced and laser technologies, part 4, p.5-8, Moscow, 1992.

13. Снижение порога образования плазмы на поверхности алюминия под действием резонансного лазерного излучения. Гайдаренко Д.В., Леонов А.Г. Письма в ЖТФ, 1992, т.18, JH8, с.21-24.

ЛИТЕРАТУРА

1. Utterback H.G., Tang S.P., Fruchtenlcht J.Г. Phya.Fluids, 1976, v 19, 900.

2. Быковский D.A., Дегтяренко H.H., Елесин В.Ф., Кондратов В.Е., Ловецкий Е.Е., Поляничев А.Н., Фетисов B.C. жт*, ТЯ74, т.44. 73.

3. Попей; A.M., ПопоЕичева О.В., Рахимова Т.В. Физика плазмы, 1992, т.18, G43.

« П|—- -1—»14 1 иг---г-- г » Гг>м| ■

m о

2 н

о

■г-г гггтр— 1 I- г I I »ii»ï ■ I 1 0.01 0.1 1 г, см

о

Рис.1. Зависимость плотности электронов (1), ионов (2), и их температуры (4,6) от расстояния до мишени. (3)-экстраполяция в область малых г зависимость!) И{(г)=Мо1-г~3. 1=620 Мвт/см2.

ado......¿05.......ilô......ils.......Но lis

Длина волны, нм

Рис.2. Зависимость пороговых интенсивностей плазмообразования на поверхности алюминия от длины волны лазерного излучения.