Магнитооптическое исследование магнитных свойств тонких неоднородных потолщине CoNi пленок тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.11 ВАК РФ

УД \ Л НОЯ

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ имени М.Я.ЛОМОНОСОВА

ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ

На правах рукописи УДК 538.61

Дун Инби

МАГНИТООПТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ МАГНИТНЫХ СВОЙСТВ ТОНКИХ НЕОДНОРОДНЫХ ПО ТОЛЩИНЕ Со№ ПЛЕНОК

01.04.11 - физика магнитных явлений

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Л1осква - 1995

Работа выполнена на кафедре магнетизма физического факультета -МГУ им. М.В. Ломоносова, г.Москва

Научный руководитель: доктор физико-математических наук,

ведущий научный сотрудник В.Е.Зубов.

Официальные оппоненты', доктор физико-математических наук,

A.C. Андреенко, доктор технических наук, П.П.Олефиренко.

Ведущая организация: Институт проблем управления РАН.

Защита диссертации состоится "16" ноября 1995 года в 17 часов 30 минут на заседании диссертационного совета №3 ОФТТ (К.053.05.7?) в МГУ им. Ломоносова па адресу: 119899, Москва, Воробьевы горы, МГУ, физический факультет, аудитория СФА.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке физическогс факультета МП' им. М.В. Ломоносова.

Автореферат разослан " октября 1995 года.

Ученый секреталь диссертационного совета №3 ОФТТ в МГУ им. М.В. Ломоносова кандитат физико-математических наук

О.А.Котельникова

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ.

Актуальность темы. Изучение свойств тонких магнитных пленок является одним из важных направлений физики магнитных явлений. В последнее время тонкие металлизированные магнитные пленки (ТММП) широко применяются в устройствах современной магнитной электроники. Одним из важнейших применений ТММП является использование их в качестве носителя информации. Преимуществом тонкопленоченных носителей записи перед традиционными порошковыми является возможность получения более высоких уровней воспроизводимых сигналов и, как следствие, повышение продольной и поперечной плотностей записи.

Перспективными носителями информации для высокоплотной продольной магнитной записи в настоящее время считаются металлизированные пленки СоКЧ, приготовленные напылением под углом на движущуюся подложку [1]. Непрерывное изменение угла напыления при движении подложки приводит к изгибанию кристаллитов в процессе роста пленок [2]. Изменение кристаллической структуры пленок по их толщине должно приводить также к изменению по толщине магнитных свойств (коэрцитивной силы, магнитной анизотропии и др.), которые определяются, в частности, формой и ориентацией кристаллитов. Поэтому актуальной задачей является исследование распределения магнитных свойств по толщине и выяснение природы магнитной анизотропии в тонких магнитных пленках Со№, напыленных под углом.

В общем случае магнитные свойства ферромагнетиков в объеме и на поверхности отличаются друг от друга. Число ближайших соседей и симметрия окружения поверхностных и объемных атомов различны. Особое положение поверхностных атомов приводит к особенностям их свойств, включая магнитные свойства. Влияние поверхности на магнитные свойства распространяется вглубь кристалла. Толщина приповерхностного слоя с особыми свойствами зависит от многих обстоятельств — кристаллической и магнитной структуры, внешних воздействий — и может изменяться от единиц до сотен и тысяч атомных слоев. Хотя первые работы, посвященные исследованию влияния поверхности на магнитные свойства, появились более пятидесяти лет назад, большинство научных публикаций на эту тему появилось в последнее десятилетие. С научной точки зрения интерес к исследованию магнитных свойств поверхности обусловлен тем, что поверхность кристалла представляет собой объект пониженной размерности и магнитные взаимодействия в приповерхностной области изменяются по

сравнению с объемом [3]. С практической точки зрения необходимость исследования магнитных свойств поверхности диктуется потребностями современной магнитной микроэлектроники, одной из основных тенденций которой является миниатюризация элементной базы и устройств. Прогресс в этой области в значительной степени связан с успехами в технологии синтеза тонких магнитных пленок. Уменьшение толщины пленок приводит к возрастанию роли поверхности в формировании их рабочих характеристик. В изделиях магнитной электроники особые магнитные свойства поверхности могут быть связаны как с физическими механизмами, так и с технологическими факторами.

Существует ряд методов исследования магнитных свойств на поверхности образца. Наиболее эффективными методами исследования магнитных свойств поверхности являются магнитооптические методы в отраженном свете [3,4]. Из-за малой величины эффектов Керра исследования с их использованием обычно проводятся модуляционным методом, при котором образец помещают в переменное магнитное поле, что позволяет повысить чувствительность измерений на 2-3 порядка. С помощью модуляционного метода производится селективное выделение первой гармоники измеряемого сигнала и это позволяет измерять начальную кривую намагничивания образца (в относительных единицах) и оценить величину ряда важных параметров магнетиков (коэрцитивную силу, поле насыщения и др.). Более полную информацию о магнитных характеристках поверхности дает измерение петель гистерезиса.

Актуальной задачей является магнитооптическое исследование магнитных свойств ферромагнетика в приповерхностных слоях разной толщины путем изменения длины волны света (X). Толщина исследуемого магнитооптическим методом приповерхностного слоя магнетика определяется глубиной формирования отражательных магнитооптических эффектов {£) и составляет несколько сотен ангстрем [5-7].

В результате компьютерных экспериментов, проведенных в работе [8], был сделан вывод о том, что значение I определяется либо глубиной проникновения света в кристалле Ь =Л/ 4 тк (к - показатель поглощения света) - в случае сильного поглощения, либо параметром Ъ0 / 8п, (п -показатель преломления света.) - в случае слабого поглощения. Этот вывод предполагает возможность магнитооптического исследования магнитных свойств в приповерхностных слоях ферромагнетика разной толщины путем изменения длины волны света.

Целью настоящей работы является следующее:

1. Разработка метода измерения петель гистерезиса на поверхности ферромагнетиков, основанного на использовании меридианального и полярного интенсивностных эффектов.

2. Исследование статических магнитных свойств на разных сторонах и в объеме тонких неоднородных по толщине Со№ пленок.

3. Магнитооптическое исследование магнитных свойств приповерхностных слоев разной толщины и оценка глубины формирования отражательных магнитооптических эффектов в Со№ пленках.

Научная новизна и практическая ценность:

1. Создан метод измерения петель гистерезиса в тонком приповерхностном слое ферромагнетиков (толщиной 100 -5- 300 А), основанный на использовании меридианального (МИЭ) и полярного (ПИЭ) интенсивностных магнитооптических эффектов. Измерение МИЭ и ПИЭ проводится модуляционным методом путем качания плоскости поляризации света с помощью магнитооптического модулятора. Чувствительность измерений МИЭ и ПИЭ Ю-5 0_ = .1 - Л0; .1, .10 - интенсивности света, отраженного от намагниченного и ненамагниченного кристалла, соответственно). Метод позволяет изучать три компоненты намагниченности на поверхности магнетиков.

2. Магнитооптическим методом исследованы петли гистерезиса на разных сторонах тонких Со№ пленок, напыленных под изменяющимся углом на подложку из полиэтилентерефталата при изменении угла напыления как от большего к меньшему, так и от меньшего к большему. Путем сравнения магнитных свойств пленок на их разных сторонах и в объеме установлено, что эти свойства непрерывно изменяются по толщине. Коэрцитивная сила всегда выше на той стороне пленок, на которой угол напыления больше.

3. Обнаружено, что кривые намагничивания приповерхностных слоев Со№ пленок, измеренные с помощью экваториального эффекта Керра (ЭЭК), зависят от длины волны света (X). Наблюдающийся эффект объяснен зависимостью глубины формирования ЭЭК (¿) в пленках от X. Поскольку магнитные свойства исследованных пленок неоднородны по толщине, то изменение I приводит к изменению кривых намагничивания приповерхностного слоя пленок.

4. С помощью измерения угловых зависимостей ЭЭК определены оптические константы Со№ пленок и с их использованием рассчитаны Ь

и Z0. Сделан вывод о том, что величина L определяется параметром L, который увеличивается с ростом X. 5. Полученные результаты имеют важное практическое значение при разработке и совершенствовании тонкопленочных металлизированных носителей высокоплотной магнитной записи. Положения, выносимые на защиту:

1. Метод измерения петель гистерезиса в тонком приповерхностном слое ферромагнетика, основанный на использовании меридианального и полярного интенсивностных магнитооптических эффектов.

2. CoNi металлизированные пленки, приготовленные вакуумным напылением под углом, характеризуются неоднородным распределением магнитных свойств по толщине, что обусловлено формой кристаллитов, формирующих пленки.

3. Экспериментальные результаты, в которых установлено, что кривые намагничивания приповерхностных слоев пленок, измеренные с помощью ЭЭК, зависят от длины волны света. Объяснение наблюдающегося эффекта зависимостью глубины формирования ЭЭК от длины волны света и неоднородностью магнитных свойств CoNi пленок по толщине.

4. Вывод о том, что глубина формирования отражательных магнитооптических эффектов CoNi пленок в ближней инфракрасной, видимой и ультрафиолетовой областях спектра определяется глубиной проникновения света.

Апробация работы:

Результаты диссертационной работы докладывались на международной конференции студентов и аспирантов по фундаментальным наукам "Ленинские горы-95" (Москва, МГУ, 1995); Научно-практическом семинаре "Проблемы записи и хранения информации в телерадиовещании" (Москва, 1995); Международной конференции SMM12 (Soft Magnetic Materials, Cracow, 1995).

Публикации:

По теме диссертации из опубликовано 6 печатных научных работ [1-6]. Объем и структура диссертации:

Диссертация состоит из введения, четырех глав, выводов и списка цитируемой литературы, содержащего 90 названий. Диссертация изложена на 94 страницах и содержит 18 рисунков.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, сформулированы цель работы и основные положения, выносимые на защиту.

Глава I представляет собой обзор литературы.

В §1.1 описаны современные методы изготовления и представления о структуре и свойствах тонких металлизированных магнитных пленок. Особое внимание уделено Со№ пленкам, приготовленным вакуумным напылением под углом на движущуюся подложку из полиэтилентерефталата. Напыление под углом приводит к одноосной магнитной анизотропии, которая является следствием столбчатой структуры пленок. Направление оси легкого намагничивания (ОЛН) (которая может быть как параллельна, так и перпендикулярна плоскости напыления) и величина константы анизотропии и коэрцитивной силы определяются составом и условиями напыления пленок. Непрерывное изменение угла напыления приводит к изгибанию кристаллитов в процессе роста пленок [2]. При углах падения пучка (а) меньших 60° ОЛН направлена перпендикулярно плоскости падения. При больших углах падения пучка (а> 60°) происходит переориентация ОЛН в направлении продольной оси пучка. Влияние изменения формы кристаллитов на свойства пленок, распределение магнитных свойств по толщине мало изучены.

В §1.2 описаны современные методы исследования поверхностных магнитных свойств ферромагнетика. Эффективным средством исследования магнитных свойств поверхности являются магнитооптические эффекты Керра. Из-за малой величины эффектов Керра исследования с их использованием обычно проводятся модуляционным методом, при котором образец помещают в переменное магнитное поле, что позволяет повысить чувствительность измерений на 2-3 порядка. Использование модуляционного метода позволяет измерять начальную кривую намагничивния образца (в относительных единицах) и оценить величину ряда важных параметров магнетиков (коэрцитивную силу, поле насыщения и др.). Для получения более полной информации необходимо измерять петли гистерезиса.

§1.3 посвящен обсуждению проблем, связанных с глубиной формирования отражательных магнитооптических эффектов.

Глава II посвящена методическим вопросам.

В §2.1 кратко изложена феноменологическая теория магнитооптических эффектов. Особое внимание уделено новым линейным магнитооптическим эффектам в отраженном свете - меридианальному и полярному интенсивностным магнитооптическим эффектам.

В §2.2 описана спектральная магнитооптическая установка, собранная на базе двойного монохроматора ДМР-4. Установка позволяет измерять различные магнитооптические эффекты модуляционным методом регистрации магнитооптических сигналов в переменном магнитном поле. Чувствительность установки составляет 10~s —Ю-6.

В §2.3 описан метод измерения петель гистерезиса в тонком приповерхностном слое ферромагнетиков (толщиной 100 ч- 300 Ä), основанный на использовании меридианального и полярного интенсивностных магнитооптических эффектов, впервые описанных в работах [9]. Измерение МИЭ и ПИЭ проводится модуляционным методом путем качания плоскости поляризации света с помощью магнитооптического модулятора. Достигнутая чувствительность измерений МИЭ и ПИЭ составила J_/J0 « Ю-5. Метод позволяет изучать три компоненты намагниченности на поверхности магнетиков.

В §2.4 описан метод измерения петель гистерезиса на локальных участках ферромагнетиков, в котором используются меридианальный и полярный интенсивностные магнитооптические эффекты. Достигнутая чуствительность измерений составила ö ~ 3-Ю-5. Минимальный размер исследуемого участка поверхности магнетика составил ~ 10 мкм^.

В §2.5 проанализированы погрешности измерения. Точность определения коэрцитивной силы (Нс) в данной работе определялась точностью измерения магнитного поля, которое измеряется датчиком Холла и составила 1%, точность измерения кривых намагничивания ~1%.

§2.6 посвящен описанию исследованных в работе образцов, приготовленных в НИИ Химфотопроект вакуумным напылением под углом на движущуюся подложку из полиэтилентерефталата, состава Со-30% Ni толщиной от 300 до 3300 Ä. Образцы № 1 - 5 были приготовлены при изменении угла напыления от большего к меньшему (способ I), № 6 - 8 от меньшего к большему (способ 2). Кроме того, исследована используемая в магнитной записи пленка "Ангром", состоящая из трех слоев CoNi по 1000 Ä, разделенных пленками алюминия.

Глава III посвящена результатам исследования петель гистерезиса на поверхности CoNi пленок с помощью МИЭ.

В §3.1 изложены результаты измерения петель гистерезиса на двух сторонах Со№ пленок. Измерение проводилось в двух направлениях: в

магнитном поле, параллельном (Н| ) и перпендикулярном плоскости

напыления пленок. ОЛН в исследованных пленках была направлена параллельно плоскости напыления. Обнаружено, что для пленок, приготовленных способом 1, Нс на поверхности, прилегающей к подложке, выше, чем на свободной поверхности как вдоль ОЛН, так и вдоль оси трудного намагничивания (ОТН). Значения Нс в объеме лежит между значениями на поверхностях пленок (см. рис.1). Для пленок, приготовленных способом 2, ситуация обратная: на свободной поверхности пленок Нс больше, чем на поверхности, прилегающей к подложке (см. рис.2).

Для оценки величины нормальной составляющей намагниченности в пленках Со№ был измерен полярный эффект Керра, который не превышал

Ю-5 рад. Величина полярного эффекта Керра в насыщении (аЗ), согласно расчетам, составляет а^ =3-10~3 рад. Следовательно, величина нормальной составляющей в пленках не превышает 0.003 15, т.е. практически отсутствует. Объемные петли гистерезиса пленок были измерены с помощью вибрационного анизометра.

Величина Нс верхнего слоя Со№ в пленке "Ангром" на поверхности больше ее среднего значения в объеме.

В §3.2 обсуждается наблюдающееся различие магнитных свойств на разных сторонах Со№ пленок, которое можно объяснить наличием особенностей в кристаллической структуре пленок, обусловленных различием методов получения пленок из указанных групп. Рассчитанный в работе 1101 профиль кристаллитов для пленок, приготовленных способом 1, при разных величинах минимального угла а показан на рис. 1 в. Из рис. 1 в видно, что угол наклона кристаллитов, отсчитываемый от нормали к пленке, вблизи подложки больше, чем на свободной поверхности. В пленках, приготовленных способом 2, предполагаемая зависимость угла наклона кристаллитов по толщине должна быть обратной - вблизи подложки угол наклона кристаллитов меньше, чем на свободной поверхности.

В пленках Со№, напыленных под углом, при а > 60° ОЛН лежит в плоскости напыления и величина эффективного поля одноосной магнитной анизотропии (Нк), а вместе с ним и величина Нс при намагничивании в

поле Н| растут при увеличении а [1]. При увеличении а растет угол между

длинной осью кристаллитов и нормалью к плоскости пленки. Таким образом, установлено, что распределение магнитных свойств Со№ пленок неоднородно по толщине.

Глава IV посвящена исследованию магнитоптическим методом приповерхностных магнитных свойств Со№ пленок, напыленных под углом на подложку из полиэтилентерефталанта, при различных значенях X (0.33 мкм ¿X ¿0.83 мкм).

В §4.1 представлены результаты измерения кривых намагничивания приповерхностных слоев Со№ пленок, измеренных с помощью ЭЭК при различных X. Установлено, что при изменении X кривые намагничивания на

свободной поверхности пленок изменяются как в Н| , так и в Н_|_. Кривые

намагничивания на поверхности, прилегающей к подложке, от X практически не зависят. Изменение кривых намагничивания при возрастании X в пленках, напыленных способам и 1 и 2, качественно различается. А именно, в пленке № 1 с ростом X кривые намагничивания становятся более пологими (см. рис. 3 а, б), т.е. намагничивание исследуемых приповерхностных слоев протекает в полях большей величины. В пленке № 7, напротив, при возрастании X кривые намагничивания становятся круче (см. рис. 4 а, б). Для пленок № 6 и № 8 результаты аналогичны тем, которые получены для пленки № 7. В пленке № 2 изменение кривых намагничивания с ростом X не наблюдалось.

В §4.2 представлены результаты определения оптических констант (л, к) Со№ пленки толщиной 300 X (№ 2) двумя методами: магнитооптическим - с помощью измерения угловых зависимостей ЭЭК и оптическим - путем измерения нахождения минимума на угловой зависимости коэффициента отражения света на р- компоненте.

В §4.3 обсуждаются экспериментальные результаты, полученные в §4.1. Наблюдающийся эффект можно объяснить с учетом двух факторов. 1. Кристаллическая структура и магнитные свойства различных слоев иследованных пленок зависят от глубины их залегания, что обусловлено методом приготовления этих пленок. 2. Глубина формирования отражательных магнитооптических эффектов меняется при изменении X.

Как показано выше, намагниченность пленок неоднородна по толщине (§3.2), Нк и Нс зависит от угла наклона кристаллитов и это должно

приводить к зависимости величины Нк и Нс для различных слоев от их расстояния до поверхности.

Соглано работе Хуберта со авторами [8|, глубина формирования отражательных магнитооптических эффектов (¿) определяется либо параметром Ь = Х/ 47гк, либо 20 —\/8п, который при данном X имеет минимальное значение. В результате расчетов Ь и Zo с использованием определенных в данной работе значений пик сделан вывод о том, что величина I в исследованных СоЫ! пленках определяется параметром Ь, который увеличивается с ростом X. Поскольку магнитные свойства исследованных пленок неоднородны по толщине, то изменение I приводит к изменению кривых намагничивания приповерхностного слоя, измеряемых с помощью ЭЭК.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Описан метод измерения петель гистерезиса в тонком приповерхностном слое ферромагнетика (толщиной 100 300 А), основанный на использовании меридианального и полярного интенсивностных магнитооптических эффектов. Измерение МИЭ и ПИЭ проводится модуляционным методом путем качания плоскости поляризации света с помощью магнитооптического модулятора. Чувствительность измерений МИЭ и ПИЭ .1~/Л0 « 10~5. Метод позволяет изучать три компоненты намагниченности на поверхности магнетиков.

Измерены петли гистерезиса на локальных участках ферромагнетиков с помощью меридианального интенсивностного магнитооптического эффекта. Достигнутая чуствительность измерения составила 5 ~ 3-Ю~5 при минимальном размере исследуемого участка поверхности магнетика — 10 мкм2.

2. С помощью метода, основанного на использовании меридианального интенсивностного эффекта, исследованы петли гистерезиса на разных сторонах тонких Со№ пленок, напыленных под изменяющимся углом на подложку из полиэтилентерефталата. Путем сравнения магнитных свойств пленок на их разных сторонах и в объеме установлено, что эти свойства непрерывно изменяются по толщине. Коэрцитивная сила всегда выше на той стороне пленок, на которой угол напыления больше.

3. Обнаружено, что кривые намагничивания приповерхностных слоев CoNi

пленок, измеренные с помощью ЭЭК, зависят от длины волны света.

4. В отраженном свете двумя методами - оптическим и магнитооптическим - определены оптические константы CoNi пленок. На основе полученных значений оптических констант сделан вывод о том, что глубина формирования отражательных магнитооптических эффектов в CoNi пленках определяется глубиной проникновения света, которая увеличивается с ростом X.

5. Изменение приповерхностных кривых намагничивания, измеренных с помощью ЭЭК, при изменении длины волны света объяснено зависимостью глубины формирования ЭЭК в пленках от X. Поскольку магнитные свойства исследованных пленок неоднородны по толщине, то изменение С приводит к изменению кривых намагничивания приповерхностного слоя пленок.

СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ

1. Дун Инби, Зеленина Л.И., Зубов В.Е., Субботин С.С. Исследование поверхностных петель гистерезиса косонапыленных пленок CoNi. // Тезисы докладов научно-практического семирара "Проблемы записи и хранения информации в телерадиовещании". Москва, АО ВНИИТР, 1995. С.24.

2. Дун Инби, Зубов В.Е. Магнитооптическое исследование магнитных свойств приверхностных слоев разной толщины в CoNi пленках. // Тезисы докладов научно-практического семирара "Проблемы записи и хранения информации в телерадиовещании". Москва, АО ВНИИТР, 1995. С.24 -25.

3. Дун Инби, Зубов В.Е., Кулаков А.Д. Измерение петель гистерезиса на локальных участках ферромагнетиков с помощью интенсивностных магнитооптических эффектов. // Тезисы докладов научно-практического семирара "Проблемы записи и хранения информации в телерадиовещании". Москва, АО ВНИИТР, 1995. С.23.

4. Dong Ying Bi, Zubov V.E., Kudakov A.D. New method oi hysteresis loops measuring on local areas of ferromagnet's surface. // Abstracts of Soft Magnetic Materials Conference (SMM12), Cracow, 1995. P.75.

5. Дун Инби, Зубов В.Е. Новый метод измерения петель гистерезиса в

поверхностном слое ферромагнетиков. // ПТЭ. №1 1996. (в печати).

6. Дун Инби, Зубов В.Е. Магнитооптическое исследование приповерхностных слоев ферромагнетика разной толщины. // ФТТ. 1996. (в печати).

ЦИТИРУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА

1. Васильева Н.П., Касаткин С.И., Плотникова Н.В., Фиошкина О.М. Вакуумно-напыленные магнитные ленты для продольной записи.// Зарубежная электронная техника. 1992. N7-8. С.3-38.

2. Nakamura K.,Ohta Y., Itoh A., Hayashi C. Magnetic properties of thin film prepared by continuous vapor deposition. II IEEE Trans, on Magn. 1982. V.MAG-18. N 6. P.1077-1079.

3. Зубов В.Е. Магнитооптическое исследование приповерхностных магнитных структур. // Дисс. на соиск. уч. степ. докт. физ.-мат. наук. М.: МГУ, 1992. 319 с.

4. Кринчик Г.С. Физика магнитных явлений. // М.: Изд-во Моск. ун-та, 1985. 336 с.

5. Кизель В.А. Отражение света. // М.: Наука, 1973. 352 с.

6. Кринчик Г.С., Зубов В.Е., Лысков В.А. Проявление области формирования отраженной световой волны в магнитооптическом эксперименте. // Опт. и спектр. 1983. Т.55. N1. С.204-206.

7. Чепурова Е.Е., Козловский Л.В., Ду Сяньбо, Ливенцов A.M. Магнитооптическое исследование ультратонких пленок железа. // Письма в ЖТФ. 1994. Т.20. Вып.20. С.42-46.

8. Traeger G., Wenzel L., Hubert A. Computer experiments on the information depth and the figure of merit in magnetooptics. // Phys. Stat.Sol.(a).1992. V.131. P.201-227.

9. Кринчик Г.С., Чепурова E.E. Новые магнитооптические эффекты при полярном и меридианальном намагничивании ферромагнетика. // Труды междунар.конф. по магнетизму. М., 1973. С. 134-137.

10. Feuerstein A., Mayr М. High vacuum evaporation of ferromagnetic materials - a new production technology for magnetic tapes. // IEEE Trans, on Magn. 1984. V.20. N 1. P.51-56.

-400

/

/

1/1 5

/

400 н , э

90°- 0° 90°- 30° 90°- 60°

В

'г<1 Д 800

- 400

~777777777777777777777Т

Рис. 1. а - петли гистерезиса, измеренные в поле Н || ОЛН, в Со№ пленке толщиной 700 X, приготовленной при изменении угла напыления от большего к меньшему (90° - 55°); сплошные кривые - на свободной поверхности, пунктирные - на поверхности, прилегающей к подложке; точками представлена петля гистерезиса в объеме; б - то же в поле Н 1 ОЛН; в - предполагаемый профиль кристаллитов в пленке, приготовленной при изменении угла напыления от большего к меньшему, подложка обозначена заштрихованной областью ( из работы |10|).

Рис. 2 Петли гистерезиса в Со№ пленке толщиной 500 X, приготовленной при изменении угла напыления от меньшего к большему (55° - 90°); сплошные кривые - на свободной поверхности, пунктирные - на поверхности, прилегающей к подложке, точками - в объеме, а - при Н || ОЛН, б - Н ± ОЛН.

Рис. 3. Кривые намагничивания на поверхности пленки Со№ толщиной 700 А, напыленной при изменении угла напыления от большего к меньшему, измеренные с помощью ЭЭК (б) при различных X: 1 - X = 0.33; 2 - 0.50; 3 - 0.83 мкм; а, б - на свободной поверхности пленки в поле

Н 1 ОЛН и Н | ОЛН, соответственно; в, г - на поверхности, прилегающей к подложке при Н 1 ОЛН и Н [| ОЛН.

Рис. 4 Кривые намагничивания на поверхности пленки Со№ толщиной >50 К, напыленной при изменении угла напыления от меньшего к большему, измеренные с помощью ЭЭК (5) при различных X: 1 - Х= 0.33; ! - 0.35; 3 - 0.41; 4 - 0.50; 5 - 0.62; 6 - 0.83 мкм; а, б - на свободной юверхности при Н X ОЛН и Н | ОЛН; в, г - на поверхности, прилегающей с подложке при Н 1 ОЛН и Н || ОЛН.

ООП Физического факультета МГУ. Заказ 95 Тираж 100 экз. 1995 г.