Методы диагностики сред, основанные на высокоточных СВЧ измерениях тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.01 ВАК РФ

Введение

Глава 1. Задачи диагностики сред, решаемые методами микроволновой газовой спектроскопии и ближнепольной СВЧ радиотермометрии.

1.1. Проблемы достижения чувствительности, близкой к теоретическому 11 пределу в микроволновой газовой спектроскопии

1.2. Задача исследования формирования СВЧ поля вблизи поверхности

Глава 2. Микроволновой спектрометр на основе когерентного спонтанного излучения (КСИ -спектрометр) с переключением частоты воздействующего излучения

2.1. Анализ способов реализации микроволновых нестационарных 26 спектрометров, использующих временное разделение сигнала накачки и молекулярного отклика

2.2. Анализ чувствительности спектрометра с манипуляцией частоты 42 воздействующего излучения

2.3. Описание практической реализации микроволнового КСИ - 49 спектрометра с частотной манипуляцией воздействующего излучения

Глава 3. Результаты применения КСИ - спектрометра в спектроскопических экспериментах

3.1. Аналитические исследования с использованием КСИ - спектрометра 55 3.1.1 Сравнительный анализ аналитических возможностей различных спектроскопических методов 3.1.2. Определение микропримеси метанола в сверхчистом этаноле

3.2. Возможности определения микропримесей галоидалкилов CH3J и 78 СНзВг в летучих органических производных элементов Пв и VIA подгрупп периодической системы элементов.

3.3. Разработка метода измерения времен вращательной релаксации для 85 Фойгтовского контура линии поглощения

3.4. Применение КСИ спектрометра для исследования и контроля 103 технологического процесса при получении алмазных пленок

3.5. Исследование вращательного спектра H2Se

Глава 4. Ближнепольные исследования поглощающих диэлектрических сред

4.1. Радиометрическая система для измерения ближнего поля теплового 118 СВЧ излучения

4.2. Система ближнепольного импедансного зондирования слоистых 130 биологических тканей

Актуальность разработки методов диагностики различных сред, основанных на высокоточных СВЧ измерениях, определяется ценностью информации об измеряемых объектах, которую содержат измеряемые параметры проходящего или формируемого в исследуемых объектах излучения. Естественная логика развития приводит к необходимости всё более точных измерений, достижения предельных чувствительностей, что позволяет расширять область применения микроволновых методов диагностики.

В диссертации рассматриваются принципы и методы достижения высокой чувствительности в СВЧ спектроскопии, разработка и создание на основе этих принципов аппаратуры для осуществления качественного и количественного анализа многокомпонентных газовых смесей в химии высокочистых веществ, контроле высокотехнологичных процессов. Представлены результаты разработки радиометрической системы, реализующей новый одночастотный метод подповерхностного температурного зондирования поглощающих диэлектрических сред, что представляет большой интерес для диагностики в медицине и для неразрушающего контроля технологических процессов. Предложен и апробирован новый метод СВЧ сканирования подповерхностной структуры живых тканей, основанный на регистрации вариаций импеданса контактной антенны, соответствующих этой структуре.

Цели исследования:

• Разработка метода нестационарной микроволновой газовой спектроскопии миллиметрового (ММ) и субмиллиметрового (СБММ) диапазонов длин волн.

• Изучение возможностей применения метода нестационарной микроволновой газовой спектроскопии для аналитических исследований многокомпонентных газовых смесей и контроля технологических процессов

• Разработка методики ближнепольных СВЧ радиометрических измерений диэлектрических сред.

• Развитие метода импедансной СВЧ диагностики подповерхностных неоднородностей диэлектрической структуры.

Научная новизна работы состоит в следующем:

• Разработана теория и создан микроволновый газовый спектрометр на основе когерентного спонтанного излучения (КСИ - спектрометр), обладающий высокой чувствительностью, приближающейся к теоретическому пределу.

• С использованием КСИ-спектрометра были выполнены спектральные и аналитические исследования ряда газовых компонент (H^Se, обнаружение микроконцентраций метанола в сверхчистом этаноле, проведены исследования релаксационных параметров молекул в случае Фойгтовского контура линии).

• Разработана методика высокоточных радиометрических измерений ближнего поля теплового излучения диэлектрических сред, позволившая обнаружить эффект зависимости эффективной толщины слоя формирования принимаемого в ближней зоне теплового излучения от размера апертуры антенны.

• Осуществлено двумерное сканирование подповерхностной диэлектрической структуры живых тканей импедансным методом.

Практическая значимость работы:

На основе развитых методов нестационарной спектроскопии реализован сканирующий спектрометр миллиметрового диапазона длин волн, имеющий наилучшее приближение к теоретическому пределу чувствительности при доплеровской разрешающей способности. Его применение позволило идентифицировать малые примеси в исследуемом объёме, и наблюдать их быструю динамику в различных процессах, что может иметь широкие приложениях, включая мониторинг атмосферы и моделирование её процессов (стратосферная динамика озона и других малых газовых составляющих), контроль химических и производственных процессов, а также медицинские приложения (анализ выдыхаемого воздуха). Методы ближнепольной радиометрии могут применяться для подповерхностной температурной диагностики в различных технических приложениях и в медицине для диагностики патологических процессов, связанных с локальным повышением температуры а также для контроля степени разогрева тканей при лечении опухолей методом СВЧ гипертермии. Метод импеданеной диагностики подповерхностных диэлектрических неоднородностей может иметь применение в технологии и медицине.

Степень обоснованности научных положений диссертации:

Обоснованность представленных в диссертационной работе результатов определяется последовательным экспериментальным подходом при разработке новых методов диагностики. Физическое содержание предложенных методов обосновано использованием известных законов электродинамики и распространения электромагнитных волн.

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях и симпозиумах:

1) VI Симпозиуме по молекулярной спектроскопии высокого и сверхвысокого разрешения. Томск. — 1982;

2) XIX Всесоюзном съезде по спектроскопии. Томск. - 1983;

3) VIII Int. Conference on High Resolution Infrared Spectroscopy. Prague. -1984;

4) VII Всесоюзном Симпозиуме по молекулярной спектроскопии высокого и сверхвысокого разрешения и VIII Всесоюзного симпозиума по распространению лазерного излучения. Томск. -1985;

5) XX Int. Conf. On High Resolution Infrared Spectroscopy. Prague. - 1986;

6) X Colloquium on High Resolution Molecular Spectroscopy. Dijon. -1987;

7) VIII Симпозиуме по спектроскопии высокого разрешения, Красноярск. -1988;

8) XX Всесоюзном съезде по спектроскопии. Киев. - 1988;

9) школе "Физика и применение микроволн" МГУ. -1991;

10) 9-th Int. Conference on Fourier Transform Spectroscopy. Canada. - 1993;

11) Int. Conf. on Millimeter and Submillimeter waves and appl. 10-14 Jan. 1994 San-Diego, USA. - 1994 ;

12) XI Symposium School 28 June - 7 Jule, Tomsk. - 1994

13) 18-th Int. Conference on Infrared and Millimeter Waves. University of Essex Colchester, UK. -1994

14) Proceedings of 2000 International Conference on Mathematical Methods in Electromagnetic Theory MMET*2000 (Kharkov, Ukraine, 12-15 September 2000);

15) 11-я Международной конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо'2001). Севастополь, 10-14 сентября 2001 г;

16) Scanning Probe Microscopy - 2002 (Nizhny Novgorod, Russia March 3 -6. 2002);

17) 4d International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2002, Warsaw, Poland, April 21-25, 2002);

18) Всероссийской школе-конференции по дифракции и распространению радиоволн (Москва, 19-23 декабря 2001 г., Российский новый университет)2002 4d International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2002, Warsaw, Poland, April 2125,2002), National Institute of telecommunications;

19) 12-й Международной Крымской конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (Крым, Украина, 9-13 сент. 2002, Севастополь);

20) Scanning Probe Microscopy - 2003 (Nizhny Novgorod, Russia March 2 -5. 2003);

Публикации

Результаты диссертации опубликованы в 38 научных работах (16 - статьи, 18 -труды конференций, 4 - тезисы докладов).

Личный вклад автора в совместных публикациях

В работах по разработке микроволнового спектрометра и его применению [18, 21, 25, 27, 28, 40, 41, 61, 70, 99, 105], а также в разработке системы ближнепольного зондирования живых тканей вклад автора диссертации является определяющим. В работах по подповерхностной радиотермометрии автору диссертации принадлежит разработка измерительной системы, участие в экспериментах и обсуждение полученных результатов; научный руководитель диссертации К.П.Гайкович и А.Н.Резник принимали участие в постановке этой задачи, разработки теории ближнепольных измерений и измерениях. Н.В.Юрасова выполнила расчёты КПД ближнепольных антенн и показала, что принимаемое ближнепольное излучение не может превосходить уровень планковского излучения.

Автор выражает благодарность своему научному руководителю д.ф.-м.н. К.П.Гайковичу, а также соавторам своих работ.

Заключение

1. Развит метод анализа чувствительности микроволновых спектрометров, имеющих электромагнитный канал приема.

2. Разработан принцип построения микроволновых газовых спектрометров на основе когерентного спонтанного излучения в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн с чувствительностью, близкой к теоретическому пределу при доплеровской разрешающей способности.

3. С использованием КСИ-спектрометра были выполнены спектральные и аналитические исследования ряда газовых компонент (HaSe, обнаружение микроконцентраций метанола в сверхчистом этаноле, разработан алгоритм и проведены исследования релаксационных параметров молекул в случае Фойгтовского контура линии).

4. Разработана методика высокоточных радиометрических измерений ближнего поля теплового излучения диэлектрических сред, позволившая обнаружить эффект зависимости эффективной толщины слоя формирования принимаемого в ближней зоне теплового излучения от размера апертуры антенны.

5. Осуществлено двумерное сканирование подповерхностной диэлектрической структуры живых тканей импедансным методом.

1. Bardaty F., Solimini D. Radiometric sensing of biological layered media // Radio Science, 1983, v.18, No.6, p.1393-1401.

2. Leroy I., Bocquet В., Mamouni A. Non-invasive microwave radiometry thermometry. Physiol. Meas., 1998, v.19, pp.127-148.

3. Nikita K.S., Stamatakos G.S., Uzunoglu N.K., Karafotias A. Analysis of the interaction between a layered spherical human head model and finite-length dipole. IEEE Trans. On Microwave Theory and Techniques, 2000, v.48, No.l 1, pp.2003-2013.

4. Троицкий B.C., Аранжереев B.A., Густов A.B. и др. Измерение глубинного температурного профиля биообъектов по их собственному тепловому радиоизлучению // Изв. ВУЗов. Радиофизика, 1986, т.5, №.1, с.62-68.

5. Шмаленюк А.С. О возможности диагностики параметров неоднородных сред по модовым характеристикам их тепловых шумов. Препринт ИРЭ АН СССР № 2(357). М., 1983.

6. Маречек С.В., Муськин Ю.Н., Поляков В.М., Шмаленюк B.C. Способ определения глубинных температур объекта. Авторское свидетельство № 1396730 СССР, G 01 J 5/50.

7. Гайкович К.П., Сумин М.И., Троицкий Р.В. Определение глубинного профиля температуры методом многочастотной радиотермографии в медицинских приложениях // Изв. ВУЗов. Радиофизика, 1988, т.31, № 9, с. 1104-1112.

8. Гайкович К.П., Резник А.Н. Эффект ближнего поля теплового радиоизлучения. Письма в ЖЭТФ, 2000, т.12, вып. 11, с.792-796.

9. Gaikovich К.Р., Reznik A.N., Vaks V.L., Yurasova N.V. New effect in near-field thermal emission. Physical Review Letters, 11 March 2002, v.88, No.10, pp.104302-1 -104302-4.

10. Вакс В.JI., Гайкович К.П., Резник А.Н. Ближнее тепловое поле и возможности его использования для глубинной диагностики сред. Известия вузов. Радиофизика, 2002, т.45, №1, с.8-25.

11. Маречек С.В., Поляков В.М. Влияние структуры биоткани на результаты СВЧ радиометрических измерений. Успехи современной электроники. Зарубежная радиоэлектроника.-2001, №11, с.21-30.

12. Гайкович К.П., Резник А.Н., Сумин М.И., Троицкий Р.В. Определение профиля температуры поверхностного слоя воды по его радиоизлучению в СВЧ диапазоне// Изв. АН СССР, Физика атмосферы и океана, 1987, т.23, № 7, с. 761-768.

13. Гайкович К.П., Резник А.Н., Троицкий Р.В. Радиометрический метод определения подповерхностного профиля температуры и глубины промерзания грунта // Изв. ВУЗов. Радиофизика, 1989, т.ЗЗ, № 12, с. 1467-1474.

14. K.P.Gaikovich. Simultaneous solution of emission transfer and thermal conductivity equations in the problems of atmosphere and subsurface radiothermometry. IEEE Trans. Geosci. Remote Sensing, 1994, v.32, № 4, pp.885-889.

15. K.P.Gaikovich, R.V.Troitsky. Dynamics of temperature profile, heat, and mass exchange through air-water interface by measurements of thermal radio emission evolution at 60 GHz. IEEE Trans. Geosci. Remote Sensing, 1998, vol.36, No.l, pp.341-344.

16. Резник A.H. Квазистационарное поле теплового излучения в теории контактной радиотермометрии // Изв вузов. Радиофизика, 1991, №5, с.512-518.

17. Герштейн Л.И., Масловский А.В., Вакс В.Л. Субмиллиметровый синтезатор частот. // ПТЭ, 1984, № б, с. 201-202.

18. Крупное А.Ф., Буренин А.В. К теории микроволновых спектрометров. // Изв. ВУЗов. Радиофизика. 1979. Т. 22, № 3, с. 305 313.

19. Крупнов А.Ф. // Вестник АН СССР. 1978. № 6, с. 18.

20. Вакс В.Л., Герштейн Л.И., Герштейн М.Л. О чувствительности спектрометров, использующих когерентное спонтанное излучение. // Изв. ВУЗов. Радиофизика. 1984. Т. 27, с. 1344-1346.

21. Крауфорд Ф. Волны. М.: Наука, 1976.

22. У.Флайгер. Строение и динамика молекул. Т. 2. М.: «Мир». 1982. 872 с.

23. Таунс Ч., Шавлов А. Радиоспектроскопия. М. 1959.

24. Л.И.Герштейн, В.Л.Вакс. Анализ технических ограничений чувствительности микроволновых спектрометров. // В кн. Спектроскопия высокого разрешения малых молекул. Научный Совет по спектроскопии. М. 1988. С. 246 256.

25. Dicke R.H., Romer R.H. Pulse techniques in niicrowave spectroscopy // Rev. Sci. Instrum. 1955. V. 26, p. 915.

26. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн, М.Л.Герштейн. Новая реализация спектрометра, использующего эффект когерентного спонтанного излучения. // Оптика и спектроскопия. 1985, т. 59, в. 2, с. 243-245.

27. Gaikovich К.Р. Evolution equation for near-field thermal radio emission. Proceedings of 2002 International Conference on Mathematical Methods in Electromagnetic Theory MMET*02 (Kiev, Ukraine, 10-13 September 2002), v.l,pp. 183-185.

28. Smirnov A.I., Permitin G.V.,Sobchakov L.A., at al. ULF Electromagnetic Waves. Review. Russian Academy of Sciences. Nizhny Novgorod-St.Petersburg, 2002.

29. Ekkers J., Flygare W.H. Pulsed microwave Fourier transform spectrometer. // Rev. Sci. Instr. 1976. V. 47, N 4. P. 448.

30. H.Bomsdorf, H.Dreizler, H.Maeder. // Z.Naturforsch. 1980. V.35a. P.723.

31. Шумейкер P. "Когерентная инфракрасная спектроскопия нестационарных процессов". В кн. "Лазерная когерентная спектроскопия". М.:Мир, 1982. С.235.

32. Hall J.L. Saturated Absorption Spectroscopy with Applications to the 3.39 |im Methane Transition. В сб.: Atomic Physics 3, eds. Smith S.J., Walters G.K., Plenum Publishing Corporation, NY. 1973. P.615-646.

33. Brewer R.G., Genack A.Z. // Phys. Rev. Lett. V. 36. P. 959 (1976).

34. Файн B.M., Ханин Я.И. Квантовая радиофизика. М.: «Советское радио». 1965. 608 с.

35. Л.Аллен, Дж.Эберли. Оптический резонанс и двухуровневые атомы. М.: «Мир». 1978. 222 с.

36. Cook С.Е., Bernfeld М. "Radar signals. An introduction to theory and application". New-York London.: Academic Press, 1967.

37. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. Микроволновый спектрометр. // А.С. СССР № 1231446. -1986.-Бюлл. 18.

38. Л.И.Герштейн, А.В.Масловский, В.Л.Вакс. Применение субмиллиметрового синтезатора частот в спектроскопических аппаратурных комплексах. // В кн.

39. Микроволновая спектроскопия и ее применение. Научный Совет по спектроскопии. М. 1985. С.236 -234.

40. H.Inaba, in Topics in Applied Physics, edited by E.D.Hinkley (Springer, Berlin, 1976), Vol.14, p.p.153-256.

41. S.I.Lamb et oI.,J. Air Poll. Contr. Ass. 30, 1098 (1980)

42. W.M.Tolles et ol., Appl. Spectrosc. (1977), 31, 253.

43. T.J.McIlrath, Opt. Eng. 19, 494 (1980).

44. V.P.Zharov and V.S.Letokhov, "Laser Optoaoustic Spectroscopy", Springer Series in Optical Sciences (Springer, Berlin, 1986), Vol.73. K.N.Patel and A.C.Tarn, Rev. Mod. Phys. 53,517(1981).

45. M.W.Sigrist, in Photoacoustic and Phototennal Phenomena, Springer Series in, Optical Sciences, Edited by P.Hess and J.Pelzl (Springer, Berlin, 1988), Vol.58.

46. S.Bernegger and M.W.Sigrist, Appl. Phys. В 44,125 (1987)

47. E.Kritchman, S.Shtrikman, and M.Slatkine, J. Opt. Soc. Am. 68, 1257 (1978).

48. L.B.Kreuzer, Anal Chem. (1978), 50, 597A.

49. H.J.Kimble, IEEE J. Quantum Electron QE-16, 455 (1980).

50. R.S.Eng, J.F.Butler, and K.J.Linden, Opt. Eng. 19, 945 (1980).

51. E.D.Hincley, K.W.Nill, and F.A.Blum, in "Laser Spectroscopy of Atom and Molecules", Topyc in Applied Physics, edited by H.Walther (Springer, Berlin, (1976), Vol. 2, p.p. 125-196.

52. E.D.Hinkley, Phys. Rev. Lett. (1969), 23, 277.

53. J.Reit, J.Shevchin et ol., Appl. Optic, 17 (1978), 30.

54. Девятых Г.Г. // Высокочистые вещества. 1988. № 4. C.5.

55. Крылов В.А., Немец В.М. // В кн. «Проблемы аналитической химии». М.: Наука, 1987. С. 206.

56. Девятых Г.Г., Крылов В.А. // Высокочистые вещества. 1987. № 3. С.35 49.

57. Krupnov A.F., Burenin A.V. // In "Molecular Spectroscopy: Modern Research. V.2". Acad. Press. N.Y., 1976. P.93.

58. Лазерная аналитическая спектроскопия. // Под ред. Летохова B.C. М.: Наука, 1986, с. 120-173.

59. Л.И.Герштейн, В.Л.Вакс, С.И.Приползин. Новые результаты в разработке и исследовании спектрометров на основе эффекта когерентного спонтанного излучения. // Оптика и спектроскопия, Т.64, No.l, с.3-5, 1988.

60. Косичкин Ю.В., Надеждинский А.И., Степанов Е.В. // Вращательные спектры молекул. М.: Наука, с. 6.

61. Девятых Г.Г., Андреев Б.А., Казаков В.П., Крупное А.Ф., Крылов В.А. // Ж. аналит. химии. 1986. Т.41. № 10. С. 1812.

62. Буренин А.В., Щапин С.М. // Опт. и спектрокопия. 1985. Т.59. № 3. С. 673.

63. Соловьев Ю.А., Хопин В.А., Хоршев В.А., Щапин С.М. // VIII Всесоюзная конференция по методам получения и анализа высокочистых веществ. Тезисы докладов, ч. 2. Горький, 1988. С. 5.

64. Кадыкова Г. Н., Фонарев Г. С., Хвостикова В. Д. и др. Материалы для производства изделий электронной техники. М.: Высш. шк., 1987. 247 с.

65. Девятых Г, Г., Мурский Г. JL, Логинов А. В. и др. // Высокочистые вещества, 1988. № 6. С. 129.

66. Lees R. М., Lovas F. J., Kirchhaff W. H„ Johnson D. R. // J. Phys. Chem. Ref. Data, 1973. V. 2. P. 205.

67. Pearson E. F„ Kim H. // J. Chem. Phys. 1972. V. 57. P. 4230.

68. Gram М., IEEE Trans. МТТ, v. 16, p. 1965.

69. Gordy W. Microwave Molecular Spectra. J. Wiley, N 4, 1976, p. 367.

70. R.H.Schwendeman. Transient effects in microwave spectroscopy. Ann. Rev. Phys. Chem. V.29. P. 537 558 (1978).

71. Farrar Т.Е., Becker E.D. Pulse and FT NMR. Acad. Press, Inc. NY. 1971.

72. Shimoda K., Shimizu T. Nonlinear spectroscopy of molecules. In "Progress in quantum Electronics" Ed. J.H.Sanders, J.Stenholm. V.2. P.2. 139 pp.

73. Amano Т., Shimizu T. // J. Phys. Soc. Jpn. V.35. P.237 241 (1973).

74. Tanaka K., Hirota E. // J. Mol. Spectr. V. 59. P. 286 298 (1976).

75. Bloch F. // Phys. Rev. V. 70. P. 460 474 (1946).

76. Pickett H.M. // J. Chem. Phys. V. 61. P. 1923 1933 (1974).

77. W-K.Liu, R.A.Marcus. On the theory of the relaxation matrix and its application to microwave transient phenomena. // J. Chem. Phys. V. 63. N 1. P. 272 288 (1975).

78. W-K.Liu, R.A.Marcus. Theory of the relaxation matrix and its relation to microwave transient phenomena. П. Semiclassical calculations for systems of OCS and nonpolar collision partners. // J. Chem. Phys. V. 63. N 1. P. 290 297 (1975).

79. Bottcher C. // Chem. Phys. Lett. V. 34. P. 143 146 (1975).

80. A.H.Brittain, P.J.Manor, and R.H.Schwendeman. // J. Chem. Phys. V. 58. P. 12 (1973).

81. H.Dreizler, E.Fliege, H.Maeder, W.Stahl. Microwave Fourier Transform Double Resonance Experiment and Theory. // Z. Naturforsch. V. 37a. P. 1266 (1982).

82. J.P.M. de Vreede, M.P.W.Gillis, H.A.Dijkerman. Linewidth, lineshift and lineshape measurements on rotational transitions of OCS using frequency modulation. // J. Mol. Spectr. V. 128. P. 509 520 (1988).

83. В.С.Бугылкин, А.Е.Каплан, Ю.Г.Хронопуло, Е.ИЛкубович. Резонансные взаимодействия света с веществом. М.: «Наука». 1977. 351 с.

84. G.Cazzoli, L.Dore. Lineshape measurements of rotational lines in the millimetre wave region by second harmonic detection. // J. Mol. Spectr. V. 141. P. 49 - 58 (1990).

85. P.Hanggi, P.Talkner, M.Borkovec. Rev. of Mod. Phys.,Vol.62, N 2, pp.261-342,1990.

86. G.Hemmnis et.al. The methods of fast reactions investigation. Moscow, 1977.

87. J.C.McGurk, T.G.Schmalz, and W.H.Flygare, Adv.Chem.Phys.25,1 (1974).

88. G.T.Fraser, E.C.Benck, G.Yu.Golubiatnikov, D.F.Plusquellic, E.N.Grossman. Terahertz Chemical Diagnostics of Semiconductor Etching Plasmas.9th International Conference on Terahertz Electronics, U. Va, Charlottesville, VA, Oct. 15-16, 2001.

89. E.Benck, G.Golubyatnikov, G.Fraser. Submillimeter Absorption Spectroscopy of the ICP-GEC Reference Cell. 54th Annual Gaseous Electronics Conference, Penn. State. U., State College, PA, Oct. 9-12, 2001.

90. E.Benck, G.Golubyatnikov, G.Fraser. Submillimeter Absorption Spectroscopy of an Inductively Coupled Plasma. American Vacuum Society 48th International Symposium, San Francisco, CA, Oct. 28-Nov. 2, 2001.

91. J.C.McGurk, H.Mader, RT.Hoffinan, T.G.Schmalz, W.H.Flygare. Journ.Chem.Phys., 61, 9, (1974).

92. FJ.Lovas, "Recommended rest frequencies for observed interstellar molecular microwave transitions 1985 revision," J. Phys. Chem, Ref. Data, Vol. 15, No.l, pp.251-303, 1986.

93. FJ.Lovas and R.D.Suenram, "Microwave spectral tables III. Hydrocarbons, CH to Сю Нш J. Phys. Chem, Ref. Data, Vol.18, No.3, pp.1245-1524, 1989.

94. M.Yu.Tretyakov, S.P.Belov, I.N.Kozin, O.L.Polyansky. // J. Mol. Spectr. V. 154. P. 163-168 (1992).1021.M.Pavlichenkov, B.I.Zhilinskii. //Ann. Phys. (NY). V. 184. P. 1-32 (1988).

95. A.W.Jache, P.W.Moser, W.Gordy. //J. Chem. Phys. V. 25. P.209-210 (1956).

96. I.N. Kozin, S.Klee, P.Jensen, O.L.Polyansky, I.M.Pavlichenkov. // J. Mol. Spectr.

97. Kozin I.N., Polyansky O.L., Pripolsin S.I., Vaks V.L. Millimeter Wave Transition of H2Se. //J.MoI. Spectr. 1992. N. 156. P. 504-506.

98. Резник A.H. Квазистационарное поле теплового излучения в теории контактной радиотермометрии. //Изв. вузов. Радиофизика, 1991, т.34, N5, с.512-517.

99. Абрамов В.И., Резник А.Н. Миниатюризация вибраторной сверхпроводниковой антенны. //Изв. вузов. Радиофизика, 1999, т.42, N2, с.158-167.

100. Гайкович К.П., Резник A.H. Эффект ближнего поля теплового радиоизлучения. Письма в ЖЭТФ, 2000, т.72, вып. 11, с.792-796.

101. Gaikovich К.Р., Yu.N.Nozdrin, A.N.Reznik, and V.L.Vaks. Reconstruction of the subsurface dielectric structure by microwave near-field measurements. // Physics of Low-Dimensional Structures, 2002, v.5/6, pp.99-104.

102. E.A.Ash, G.Nicholls. Nature, June 1972, v. 237, p.510.

103. T.Nozokido et al. IEEE Trans. MTT, 2001, v.49, N3 p.491.1. Список трудов В.Л.Вакса

104. A.V.Burenin, V.L.Vaks, I.A.Malinskiy. A new approach to obtaining sum rules. // J. Mol.Spectroscopy. 1979. - N77. - P. 11-20.

105. А.В.Буренин, В.Л.Вакс, В.Н.Марков. Качественное построение вращательных операторов физических величин в теории молекулярных спектров. // Изв. ВУЗов. Радиофизика. 1980. - Т.23. - С.1406 - 1415.

106. А.В.Буренин, В.Л.Вакс, В.Н.Марков. Качественное построение вращательных операторов физических величин в теории молекулярных спектров. // V Симпозиум по молекулярной спектроскопии высокого и сверхвысокого разрешения. Г. Новосибирск. 1980.

107. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. Особенности построения спектрометра миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов на основе эффектов сверхизлучения. // Тезисы XIX Всесоюзного съезда по спектроскопии. Томск. 1983. - Ч. VI. - С. 74-76.

108. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн, М.Л.Герштейн. О чувствительности спектрометров, использующих когерентное спонтанное излучение. // Изв. ВУЗов. Радиофизика. 1984. - Вып. XXVII. - № 10. С. 1344-1346.

109. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн, А.В.Масловский. Субмиллиметровый синтезатор частот. // ПТЭ. 1984. - №6. - С. 201-202.

110. L.I.Gerstein, M.L.Gerstein, A.V.Maslovsky, V.L.Vaks. Theory and Technical Realization of Spectrometers using a Coherent Spontaneous Radiation. // Proc. Of the VIII Int. Conference on High Resolution Infrared Spectroscopy. Prague. 1984. -P.82.

111. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн, М.Л.Герштейн. Новая реализация спектрометра, использующего эффект когерентного спонтанного излучения. // Оптика и спектроскопия. 1985. - Вып. 2. - Т. 59. - С. 243245.

112. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн, М.Л.Герштейн, А.В.Масловский. КСИ-спектрометр с переключением частоты возбуждающего излучения. // Тезисы докладов Ш Всесоюзного симпозиума по световому эху и когерентной спектроскопии. Харьков. -1985.-С. 82.

113. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. Микроволновый спектрометр. // А.С. СССР № 1231446. 1986.-Бюлл. 18.

114. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн, А.В.Масловский. Применение субмиллиметрового синтезатора частоты в аппаратурных спектроскопических комплексах. // В кн. «Микроволновая спектроскопия и ее применение». Научный Совет по спектроскопии. М. - 1986.

115. L.I.Gerstein, S.I.Pripolzin, V.L.Vaks. Microwave scanning CSR spectrometer with near limited sensitivity. // Proc. The XX Int. Conf. On High Resolution Infrared Spectroscopy. Prague. 1986. - P. 69.

116. L.I.Gerstein, S.I.Pripolzin, V.L.Vaks, A.N.Val'dov. A new millimeter wave scanning spectrometer of high resolution and some ways of its application. // Proc. Of X Colloquium on High Resolution Molecular Spectroscopy. Dijon. -1987.

117. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн, С.И.Приползин. Новые результаты в разработке и исследовании спектрометров на основе когерентного спонтанного излучения. // Оптика и спектроскопия. 1988. - Вып. 1. - Т. 64.- С. 3-4.

118. В.Л.Вакс, А.Н.Вальдов, Л.И.Герштейн, С.И.Приползин. Сканирующий миллиметровый КСИ спектрометр с близкой к предельной чувствительностью. // Труды УШ Симпозиума по спектроскопии высокого разрешения, Красноярск. 1988.

119. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. К единой теории микроволновых спектрометров. // Труды УШ Симпозиума по спектроскопии высокого разрешения, Красноярск. 1988.

120. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. Общая теория и выбор оптимального микроволнового спектрометра. // Тезисы XX Всесоюзного съезда по спектроскопии. Киев. 1988. - Ч. П. - С.407.

121. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. Анализ технических ограничений чувствительности микроволновых спектрометров. // В кн. «Спектроскопия высокого разрешения малых молекул». Научный Совет по спектроскопии. М. 1988. С. 246.

122. ВЛ.Вакс, Л.И.Герштейн. Изобретение «Способ микроволновой газовой спектроскопии».//А.С.№ 1589166.

123. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. Изобретение «Перестраиваемый генератор». // А.С.№ 1584103.

124. В.Л.Вакс, Л.И.Герштейн. Анализ некоторых характеристик КСИ-спектрометра. // Тезисы XX Всесоюзного съезда по спектроскопии. Киев. 1988. - Ч. П.-С.408.

125. Вакс В.Л., Приползин С.И. Стабилизация частоты генераторов мм и сбм диапазонов длин волн с помощью линий поглощения газов. // Труды школы "Физика и применение микроволн" МГУ. -1991.

126. Вакс B.JI., Приползин С.И. Спектрометры микроволнового диапазона длин волн на основе нестационарных эффектов и некоторые их применения. // Труды школы "Физика и применение микроволн" МГУ. -1991.

127. Вакс В.Л., Сморгонский А.В. Получение широкополосного шумового сигнала в миллиметровом диапазоне длин волн. // Труды школы "Физика и применение микроволн" МГУ. 1991.

128. Вакс В.Л., Приползин С.И. Высокостабильные микроволновые генераторы. // Всесоюзная школа по распространению мм и субмм волн в атмосфере. Тезисы докладов. Н.Новгород. 1991. - С. 206.

129. Вакс В.Л., Приползин С.И. Микроволновый спектрометр с твердотельным источником излучения. // Тезисы докладов Всесоюзного совещания: малошумящие генераторы СВЧ, перспективы, разработки и применение в метрологии. Иркутск. -1991.

130. Gudkov А.А., Pripolsin S.I., Vaks V.L. Миллиметровые спектрометры для аналитических исследований. II5 Exhibition and Conference for Industrial Measurement Sept. -1991.

131. Kozin I.N., Polyansky O.L., Pripolsin S.I., Vaks V.L. Millimeter Wave Transition of H2Se. // J.Mol. Spectr. 1992. -N. 156. - P. 504-506.

132. Вакс В.Л., Сморгонский А.В. Шулешов А.О. Источники шума миллиметрового диапазона длин волн на основе электронного усилителя. // Радиотехника и электроника. 1992. - № 3. - С. 521.

133. A.B.Brailovsky, V.V.Khodos, V.L.Vaks. Microwave time-resolved Fourier Transform spectrometer. // Proc. Of 9-th Int. Conference on Fourier Transform Spectroscopy. Canada. 1993.

134. Вакс B.JI., Сморгонский А.В., Ходос В.В., Шулешов А.О. Использование модуляции в СВЧ генераторах для получения стохастического выходного сигнала. // Радиотехника и электроника. 1994. - Т. 39. - № 6.

135. Brailovsky A.B., Khodos V.V., Shulieshov A.O., Smorgonsky A.V., Vaks V.L. Microwave Fourier Transform Spectrometer. // Proc. Int. Conf. on Millimeter and Submillimeter waves and appl. 10-14 Jan. 1994 San-Diego, USA. 1994.-P. 104-105.

136. Brailovsky A.B., Khodos V.V., Shuleshov A.O., Smorgonsky A.V., Vaks V.L. A noise generator millimeter wave length range. // Proc. Int. Conf. on Millimeter and Submillimeter waves and appl. 10-14 Jan. 1994 San-Diego, USA.-1994.-P. 129-103.

137. S.I.Pripolsin, E.V. Spivak, V.L.Vaks. BWO frequency stabilization using gas absorption line. // Proc. Int. Conf. on Millimeter and Submillimeter waves and appl. 10-14 Jan. 1994 San-Diego, USA. 1994. - P. 196-197.

138. Gorshenkov A.V., Vaks V.L., Yakubovich E.I. A new approach to measurements of Relax. Times inhomogenieosly broadened absorption lines in gas molecules. // Proc. of XI Symposium School 28 June 7 Jule, Tomsk.1994.-P. 95.

139. Vaks V.L., Khodos V.V., Brailovsky A.B. The methods of reaching top sensitivity in microwave spectroscopy. // Preprint of Institute of Appl. Phys.1995.

140. Вакс B.JI., Шейнфельд И.В. Измеритель фазового инварианта. // Решение о выдаче патента от 10 апреля 1995 г.

141. Brailovsky А.В., Khodos V.V., Motov M.S., Vaks V.L. The methods of reaching sensitivity in microwave spectroscopy. // Physics en Herbe 1995. Proceedings of European Conference for PhD Students in Physical Sciences Montpellier France. 1995. - P. CPB5/0.

142. В.Л.Вакс, А.Б.Брайловский, М.С.Мотов, В.В.Ходос. Микроволновый газовый спектрометр с фазовой манипуляцией воздействующего излучения. // XXI съезд по спектроскопии. Тезисы докладов. 1995. - С. 223.

143. В.Л.Вакс, А.Б.Брайловский, М.С.Мотов, В.В.Ходос. Метод микроволновой Фурье-спектроскопии на основе быстрого сканирования воздействующего излучения. // XXI съезд по спектроскопии. Тезисы докладов. 1995. - С. 223.

144. Вакс В.Л., Брайловский А.Б., Митюгов В.В. Квантовые модели релаксации. // Препринт ИПФ РАН. 1995.

145. Вакс В.Л., Кисляков А.Г, Шкелев Е.И., Савельев Д.В. Наблюдение теллурических линий в 3-х миллиметровом диапазоне длин волн. // Современные проблемы радиофизики. Сборник научных трудов. 1996. - С. 62-67.

146. Вакс В.Л., Брайловский А.Б., Митюгов В.В. Квантовые модели релаксации. // УФН. 1996. - Т. 166. - № 7. - С. 795-800.

147. Вакс В.Л., Ходос В.В. Способ микроволновой спектроскопии и спектрометр для его осуществления. // Патент № 2084874. -Зарегистрирован в Гос. реестре изобретений: 20 июля 1997 г.

148. Kislyakov A.G., Savel'ev D.V., Shkelev E.I., Vaks V.L. et al. Observations of optically thin ozone lines in the 3-mm wavelength range. // J. Commun. Technol. El. 1998. - V. 43. -N 6. - P.616-621.

149. V.L.Vaks, V.V.Khodos, E.V.Spivak. A nonstationary microwave spectrometer. // Review of Scientific Instruments. 1999. - V. 70. - № 8. -P. 3447-3453.

150. V.L.Vaks, A.B.Brailovsky, V.V.Khodos. Millimeter Range Spectrometer with Phase Switching Novel Method for Reaching of the Top Sensitivity. // Infrared & Millimeter Waves. - 1999. - V. 20. - № 5. - P. 883-896.

151. Antonov A.V., Erofeeva I.V., Gavrilenko V.I., Vaks V.L. et al. Cyclotron resonance quantum Hall effect detector. // Mater Sci Forum. 1999. - N. 297-2.-P. 353-356.

152. Koshelets V.P., Shitov S.V., Shchukin A.V., Vaks V.L. et al. Flux Flow Oscillators for sub-mm waves integrated receivers. // IEEE T Appl. Supercon. 1999. - V. 9 - N. 2. - P. 4133-4136. - Part 3.

153. Вакс В.Л., Митюгов B.B. О временах релаксации. // УФН. 1999. - V. 169.-№10.-С. 1163-1164.

154. Antonov А.V., Erofeeva I.V., Gavrilenko V.I., Vaks V.L. et al. Spectral response of cyclotron resonance quantum Hall effect detector. // Inst. Phys. Conf. Ser. 1999. - N 162. - P. 111-116.

155. Mygind J., Koshelets V.P., Shitov S.V., Vaks V.L. et al. Phase locking of270-440 GHz Josephson flux flow oscillator. // Supercond Sci Tech. 1999. - V. 12-N. 11. P. 720-722.

156. V.L.Vaks, V.V.Mityugov. Quantum approach to the rotation states relaxation theory. //. Phys Rev A. 2000. - V. 6105. - N. 5. - P. 2715.

157. Koshelets V.P., Shitov S.V., Filippenko L.V., Vaks V.L. et al. Phase locked 270-440 GHz local oscillator based on flux flow in long Josephson tunnel junctions. // Rev. Sci. Instrum. 2000. - V. 71. - N. 1. - P. 289-293.

158. Aleshkin V.Y., Vaks V.L., Veksler D.B., et al. Cyclotron resonance of two-dimensional holes in strained multi quantum-well heterostructures Ge/Gei.xSix in quantizing magnetic fields. // Izv. Akad. Nauk. Fiz. 2000. - V. 64. - N. 2. -P. 308-312.

159. Mygind J., Koshelets V.P., Shitov S.V., Vaks V.L., et al. Linewidth and phase locking of Josephson flux flow oscillators. // Physica C. 2000. V. 332 - N. 1-4.-P. 302-307.

160. V.L.Vaks, N.V.Yurasova, K.P.Gaikovich, A.N.Reznik. Antennas for near-field radiothermometry. // Mathematical Methods in Electromagnetic Theory. (MMET'2000). Conference Proceedings. Kharkov. Ukraine. Sept. 12-15, 2000.

161. V.L.Vaks, K.P.Gaikovich, A.N.Reznik. Near-field effects in thermal radio emission. // Mathematical Methods in Electromagnetic Theory. (MMET'2000). Conference Proceedings. Kharkov. Ukraine. Sept. 12-15, 2000.

162. Vaks V.L., Koshelets V.P., Shitov S.V., Fillipenko L.V., Mygind J., Baryshev A.B., Luinge W. and Whyborn N. Phase locking of 270-440 GHz Josephson flux flow oscillator. //Rev. Sci. Instrum. -2001. -N. 71. P.289.

163. Koshelets V.P., Ermakov A.B., Shitov S.V., Vaks V.L., et al. Superfine resonant structure on IV-curves of long Josephson junction and its influence on flux flow oscillator linewidth. // IEEE T Appl. Supercon. 2001. - V. 11-N. l.-P. 1211-1214.-Part 1.

164. Gaikovich K.P., Reznik A.N., Vaks V.L., et al. Microwave near-field subsurface radiothermometry. // Phys. Low-Dimens. Str. 2001. -N. 3-4. - P. 263-270.

165. Вакс B.JL, Ходос В.В. Высокоскоростной и высокоточный свип -генератор. // 11я Международная конференция «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии». Материалы конференции. 10 14 сентября 2001 г. Севастополь, Крым, Украина. -2001. - С.564.

166. V.L.Vaks, N.V.Klyueva. Microwave spectroscopy of nitric oxide in exhaled air. // The 17th International Conference on High Resolution Molecular Spectroscopy. Conference Proceedings. Prague, Czech Republic. September 1-5, 2002.-D22.

167. V.L.Vaks, V.V.Khodos. Fast scan Fourier-transform spectrometer.}} The 17th International Conference on High Resolution Molecular Spectroscopy. Conference Proceedings. Prague, Czech Republic. September 1-5, 2002. -F4.

168. Gaikovich K.P., Yu.N.Nozdrin, A.N.Reznik, V.L.Vaks. Reconstruction of the subsurface dielectric structure by microwave near-field measurements. // Physics of Low-Dimensional Structures. 2002. - v.5/6. - P.99-104.

169. V.P.Koshelets, P.N.Dmitriev, V.L.Vaks, A.S.Sobolev, A.L.Pankratov, V.V.Khodos, A.M.Baryshev, P.R.Wesselius, J.Mygind. Line width of Josephson Flux Flow Oscillators. // Physica C. 2002. N 372. - P. 316-321.

170. Gaikovich K.P., Vaks V.L., Reznik A.N., Yurasova N.V. New effect in near-field thermal emission. // Phys. Rev. Lett. 2002. - V.88. - N.10. - P. 1043021 -104302-4.

171. Вакс B.JI., Гайкович К.П., Резник А.Н. Ближнее тепловое поле и возможности его использования для глубинной диагностики сред. // Известия вузов. Радиофизика. 2002. - Т.45. - №1. - С.8-25.

172. Вакс В.Л., Кисляков А.Г., Шкелев Е.И., Миронов В.Н. Атмосферный озон: Одновременное наблюдение линий 1=2ц—>20г и J=4n—>4о4- // Труды 20й Всероссийской конференции по распространению радиоволн. Н.Новгород. 2 - 4 июля 2002 г.

173. Mygind J., Mahaini С., Dmitriev P.N., Vaks V.L., et al. Phase-locked Josephson flux flow local oscillator for sub-mm integrated receivers. // Supercond. Sci. Tech. 2002. - V. 15-N12-P. 1701-1705.