Многослойная рентгеновская оптика в спектроскопии неоднородной лазерной плазмы тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.21 ВАК РФ

Оглавление.

Введение.

Глава 1. Широкополосные спектрографы для мягкого рентгеновского диапазона спектра.

§1.1. Экспериментальная установка.

§1.2. Спектрограф на основе тороидального зеркала скользящего падения

§1.3. Спектрограф на основе многослойного зеркала с сильным изменением периода по апертуре.

§ 1.4. Основные результаты Главы 1.

Глава 2. Апериодические многослойные рентгеновские зеркала.

§2.1. Метод решения обратной задачи многослойной оптики.

§2.2. Широкополосные апериодические зеркала.

§2.3. Апериодические зеркала с максимальным пиковым коэффициентом отражения.

§2.4. Отражение ультракоротких рентгеновских импульсов от многослойного зеркала.

§2.5. Влияние случайного разброса толщин.

§2.6. Основные результаты Главы 2.

Глава 3. Спектрограф на основе апериодического многослойного зеркала

§3.1. Апериодическое зеркало на диапазон 125-250 А.

§3.2. Стигматический широкополосный рентгеновский спектрограф на основе апериодического многослойного зеркала нормального падения.

§3.3. Основные результаты Главы 3.

Глава 4. Взаимодействие импульсной газовой мишени с лазерной плазмой и лазерным излучением.

§4.1. Импульсная газовая мишень.

§4.2. Безосколочный источник мягкого рентгеновского излучения на основе импульсной струи ксенона.

§4.3. Первые результаты по исследованию взаимодействия твердотельной лазерной плазмы с облаком нейтрального газа.

§4.4. Основные результаты Главы 4.

Мягкий рентгеновский (MP) диапазон спектра (условно 10-300 А) остается одним из наиболее трудных с точки зрения техники эксперимента. Сильное поглощение в воздухе ограничивает экспериментальный объем вакуумной камерой. Отсутствие прозрачных материалов и незначительный коэффициент отражения при нормальном падении от одиночной поверхности долгое время вынуждали применять только оптику скользящего падения. Приходилось мириться с низкой светосилой и малым полем зрения приборов из-за аберраций, присущих скользящему падению [1-4]. Относительно недавно появились многослойные рентгеновские зеркала [5, 6], позволившие создавать в этой области спектра приборы нормального падения.

Несмотря на принципиальные трудности, мягкий рентгеновский диапазон спектра вызывает постоянный интерес. Использование MP излучения в микроскопии позволяет получить более высокое пространственное разрешение и лучший контраст по сравнению с излучением видимого и ультрафиолетового диапазонов. В отличие от электронного микроскопа, требующего предварительной обработки образцов, рентгеновский микроскоп позволяет изучать образцы в их естественном виде, в том числе живые биологические объекты. Высокое разрешение изображающей оптики MP диапазона используется в рентгеновской литографии, которая, по-видимому, скоро станет промышленным стандартом. Значительные усилия направлены на создание рентгеновских лазеров. Создана установка на длине волны 469 А, работающая в импульсно-периодическом режиме (переход 3s 1Р\-Зр ^о в Ar IX, столкновительное возбуждение в быстром капиллярном разряде) [7]. Продемонстрировано усиление на переходах 3s-3p большого числа неоноподобных и в ряде никелеподобных ионов (3cf <\p-3cP Ad) в столкновительной схеме возбуждения в лазерной плазме (например, А,=212 А в Zn XXI [8], Х.=100 А Хе XXVII [9] и др.). В [10] достигнута 4 значительная энергия лазерного импульса (5 мДж, Х=155А, Y XXX). В астрофизике MP излучение дополняет другие спектральные диапазоны, используется для получения информации о Солнце, звездах и других объектах. В спектроскопии и материаловедении MP излучение зачастую предоставляет единственную возможность получения информации об уровнях энергии многозарядных ионов и краях поглощения элементов.

Спектроскопия MP диапазона является одним из самых мощных способов диагностики плазмы. Она незаменима в исследованиях термоядерной плазмы, активной среды рентгеновских лазеров, астрофизической плазмы. В последние несколько лет интерес к спектроскопии MP диапазона обострился в связи с разработкой источника MP излучения для проекционной рентгеновской литографии. Предлагаются источники на основе лазерной плазмы [11-14], различные схемы электроразрядных источников [15-17].

Эффективность спектроскопических методов напрямую зависит от возможностей спектрального прибора. Возможности прибора определяются, в основном, следующими параметрами: спектральное разрешение 8Л, 9? = Л/ЙЯ, спектральный рабочий диапазон АЛ = Атах - Лт{п, светосила 0 = , где Q - телесный приемный угол, Rt i эффективность /-го элемента (коэффициент отражения зеркала, коэффициент пропускания фильтра и т.д.), пространственное разрешение в направлении, перпендикулярном дисперсии ("по высоте") 5h, поле зрения по высоте АН.

Каждая конкретная задача предъявляет различные требования к этим параметрам. В некоторых задачах может отсутствовать требование на тот или иной параметр, например, на пространственное разрешение. В идеале, спектрограф должен иметь высокое разрешение в широком спектральном диапазоне, большую светосилу, обладать хорошим пространственным разрешением и большим полем зрения. До недавнего времени такие спектрографы существовали только в оптическом диапазоне спектра (видимом, инфракрасном и ближнем ультрафиолетовом).

Эволюция спектральных приборов MP диапазона показана в Таблице 0-1 (приведены наиболее распространенные схемы). Знаком "+" отмечены достоинства данного типа приборов, знаком - недостатки.

Таблица 0-1. Эволюция спектральных приборов MP диапазона

Спектральный прибор Спектральное разрешение Спектр. Рабочий диапазон Светосила Пространственное разрешение Поле зрения

Скользящее падение Сферическая решетка + + - — —

Тороидальная решетка + + — + —

С многослойным зеркалом нормального падения + — + + +

В MP диапазоне используется несколько схем спектрографов со сферической решеткой, впервые предложенной Роуландом для приборов оптического диапазона [18]. Достоинства спектрографов со сферической решеткой - широкий спектральный диапазон и возможность достижения высокого спектрального разрешения, особенно у приборов больших размеров [4]. Из-за малого коэффициента отражения вблизи нормального падения в MP диапазоне приходится использовать скользящее падение. Оптимальная апертура решетки ограничена геометрическими аберрациями. Вдали от нормального падения угловой размер оптимального участка решетки мал, соответственно, мала и светосила приборов. Вследствие скользящего падения практически отсутствует фокусировка в направлении, перпендикулярном дисперсии. Таким образом, спектрографы на основе сферической решетки обладают астигматизмом и низкой светосилой [1-4].

На фокальной поверхности формируется набор практически бесконечных по высоте линий, что приводит к ослаблению освещенности детектора. Для получения пространственного разрешения приходится ставить дополнительную щель, перпендикулярную к спектральной, что еще более ослабляет интенсивность детектируемого излучения. Тем не менее, спектрографы со сферической решеткой до сих пор с успехом используются в задачах, не требующих одновременно пространственного разрешения и высокой светосилы.

Для компенсации астигматизма можно использовать одну асферическую отражательную поверхность, либо две и более сферических [1]. Широкое распространение получили приборы с тороидальной решеткой [3]. В отличие от сферической, тороидальная решетка дает квазистигматическое спектральное изображение точечного источника: можно добиться стигматизма на двух определенных длинах волн и достаточно малого астигматизма в некоторой их окрестности. Таким образом, спектрограф с тороидальной решеткой позволяет добиться пространственного разрешения по высоте. Но для реализации высокого спектрального разрешения апертура решетки должна быть очень мала [19].

Принципиальный недостаток всех приборов скользящего падения -малое поле зрения. При выведении источника из главной плоскости (Н=0) быстро растут геометрические аберрации, что заставляет сильно ограничивать апертуру решетки и соответственно уменьшать светосилу прибора. Аберрации тороида скользящего падения для случая протяженного источнике рассмотрены в Главе 1 ([20,21]) методом трассировки лучей. Показано, что при увеличении высоты источника от 0 до 1 мм допустимая апертура уменьшается в 12-16 раз.

Появление многослойных рентгеновских зеркал совершило революцию в MP области спектра [22]. Современные МЗ представляют собой подложку заданной формы с нанесенным на нее многослойным покрытием. Многослойное покрытие обычно состоит из нескольких десятков или сотен периодов, составленных из двух чередующихся веществ

А/В с толщинами dA и dB, постоянными по всей глубине структуры. Период структуры d=dA+dB должен удовлетворять известному условию Брэгга:

0-1) 2dncos0 ~квЛ.

Здесь п - средний по периоду показатель преломления, в - угол падения, считая от нормали, кв - брэгговский порядок отражения. Для уменьшения рассеяния рентгеновского излучения шероховатости подложки и покрытия должны быть минимальными. Обычно удается добиться величины среднеквадратичной шероховатости сг~1.5А [23]. В MP диапазоне периодические МЗ обладают узким спектром отражения с относительной шириной АЛ./А ~0.01 .0.1 и пиковым коэффициентом отражения вблизи нормального падения i?(^)~0.1.0.7 [24].

Многослойные рентгеновские зеркала позволили создать спектрографы [25-31], микроскопы [32,33] и телескопы [34-38] нормального падения, ранее существовавшие только в оптическом диапазоне спектра. Изображающие МЗ позволили сфокусировать MP излучение лазерной плазмы до интенсивности ~1010 Вт/см2 [39], а излучение рентгеновского лазера (А,=469А) - до -1011 Вт/см2 [41]. Появление МЗ делает возможной проекционную рентгеновскую литографию, требующую высокого пространственного разрешения и большой светосилы для передачи изображения большой площади [42-44]. Технологические достижения и обзор применений многослойных рентгеновских зеркал дан в [39, 40].

Существует ряд схем спектрографов, основанных на фокусирующих многослойных зеркалах нормального падения. В [27,29] описан стигматический спектрограф с МЗ и дифракционной решеткой, работающей на пропускание. Спектрограф имел спектральное разрешение несколько сотен и использовался для исследования характеристик многослойной оптики. В [30, 31] описан стигматический спектрограф очень высокого разрешения (9? >24000) с парой МЗ и плоской отражающей решеткой, работающей в параллельном пучке. Существуют спектрографы с многослойной решеткой [45], обладающие умеренным спектральным разрешением ~300.

Как уже отмечалось, характерной особенностью приборов на основе МЗ является узкий рабочий диапазон, определяемый спектральной зависимостью коэффициента отражения зеркал Для задач, требующих монохроматизации пучка, это свойство может оказаться полезным. В спектроскопии, однако, чаще желателен широкий рабочий диапазон. Вопрос о создании спектрографов MP диапазона, обладающих одновременно спектральным и пространственным разрешением, широким рабочим диапазоном и большим полем зрения, до недавнего времени оставался открытым. Реализация такого спектрографа на основе апериодического многослойного зеркала явилась одним из основных результатов данной работы [46, 47].

Появление прибора с новой совокупностью свойств всегда является шагом вперед, позволяет провести новые исследования. С помощью созданного спектрографа проведены комплексные исследования безосколочного источника MP излучения - лазерной плазмы газовой мишени [48], получена картина взаимодействия лазерной плазмы твердой мишени с облаком нейтрального газа [49]. Последний эксперимент являлся особенно требовательным к спектрографу, поскольку область взаимодействия имела размеры порядка сантиметра, была неоднородна по высоте и излучала в широком спектральном диапазоне.

Изложенные в работе подходы могут быть применены и при разработке рентгеновских микроскопов, телескопов и спектрогелиографов.

В Главе 1 описана экспериментальная установка: вакуумная камера "Икар" и лазерно-плазменный источник излучения (§1.1). В §1.2 приведены результаты расчета аберраций тороидального зеркала скользящего падения методом трассировки лучей. Показано, что увеличение поля зрения тороида достигается ценой существенного уменьшения светосилы. В §1.3 представлен широкополосный спектрограф на область 110-300 А, состоящий из пропускающей дифракционной решетки и многослойного зеркала нормального падения с сильным изменением периода по апертуре. В отличие от приборов скользящего падения, представленный спектрограф обладает большим полем зрения (18 мм).

В Главе 2 представлен метод решения обратной задачи многослойной оптики - метод нахождения апериодической многослойной структуры с заданными свойствами (§2.1). Приведены результаты расчетов апериодических МЗ (АМЗ) с широким спектром отражения (§2.2), с увеличенным пиковым коэффициентом отражения (§2.3). В §2.4 проведено исследование возможностей многослойных зеркал по отражению ультракоротких рентгеновских импульсов, содержащих небольшое число периодов волны (few-cycle pulses).

Глава 3 посвящена разработке и испытанию первых в MP диапазоне широкополосных апериодических зеркал на область 125-250 А (§3.1). В §3.2 представлен стигматический спектрограф, включающий фокусирующее апериодическое зеркало и пропускающую дифракционную решетку.

В Главе 4 представлен безосколочный источник MP излучения на основе лазерной плазмы, возбуждаемой в облаке ксенона импульсами неодимового лазера (§4.2). Приведены результаты спектроскопического исследования источника, проведенного с помощью спектрографа на основе АМЗ. В §4.3 приведены первые результаты исследований взаимодействия лазерной плазмы твердой мишени с облаком нейтрального газа.

В заключении диссертации формулируются основные результаты работы и положения, выносимые на защиту.

Основные результаты Главы 4 опубликованы в работе [48] и доложены на конференции [49].

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Проведен полный цикл работ по созданию стигматического широкополосного светосильного рентгеновского спектрографа с большим полем зрения. На этом пути создано два спектрографа с уникальными характеристиками, проведен анализ их схем. Спектрографы использовались для регистрации спектров лазерной плазмы.

В Главе 1 (§1.2) показано, что спектрограф с большим полем зрения нельзя создать на основе оптики скользящего падения из-за быстро растущих аберраций при выходе из главной плоскости. В §1.3 описан оригинальный спектрограф, включающий многослойное зеркало нормального падения с сильным изменением периода по апертуре и пропускающую дифракционную решетку. За счет применения зеркала нормального падения спектрограф обладал на порядок большим полем зрения, чем спектрограф скользящего падения, при практически равной светосиле. Спектральное разрешение спектрографа составляло -500 и определялось неоднородностью пропускающей дифракционной решетки.

Дальнейшее увеличение светосилы без существенного сокращения ширины рабочего диапазона могло быть достигнуто за счет применения апериодического многослойного зеркала. Для реализации этой идеи был разработан метод решения обратной задачи многослойной оптики - метод нахождения апериодических структур с заданными свойствами (Глава 2). Созданный метод применялся не только для расчета широкополосных многослойных зеркал для спектроскопии MP диапазона, но и для ряда других задач (расчет зеркал для жесткого рентгеновского излучения, зеркал с максимальным коэффициентом отражения на заданной длине волны, восстановления коэффициента отражения в MP диапазоне спектра по измерениям R(S) на 1=1.54 А и др.). Предложенный метод отличался от опубликованных аналогов высокой сложностью решаемых задач (число слоев могло достигать ~10 ), возможностью решения обратной задачи с учетом требований к фазовой характеристике зеркала. Впервые было рассмотрено влияние многослойного зеркала на форму и длительность ультракоротких (фемто- и аттосекундных) рентгеновских импульсов. Рассчитаны апериодические многослойные зеркала для сжатия чирпированных рентгеновских импульсов и увеличения их пиковой интенсивности.

С помощью предложенного метода был проведен расчет зеркал для широкополосного спектрографа. Впервые в MP диапазоне спектра были разработаны и испытаны апериодические многослойные зеркала, обладающие почти постоянным коэффициентом отражения (-13%) в спектральной октаве 125-250 А (Глава 3). На основе одного из апериодических зеркал был собран широкополосный рентгеновский спектрограф, по светосиле на порядок превосходивший спектрографы, описанные в Главе 1. Как и в случае со спектрографом с неоднородным зеркалом, спектральное разрешение прибора (-300-500) определялось качеством пропускающих дифракционных решеток. По совокупности характеристик созданный спектрограф приближался к приборам видимого и ближнего УФ диапазонов спектра.

В Главе 4 описан чистый (безосколочный) источник MP излучения на основе лазерной плазмы импульсной газовой мишени. В качестве газа использовался ксенон. С помощью абсолютно калиброванного рентгеновского фотодиода AXUV-5 измерен абсолютный выход рентгеновского излучения на длине волны 180 А. Получены изображения источника, определены размеры светящейся области. Спектрограф с апериодическим зеркалом использовался для исследования спектральных характеристик источника. Измерено распределение энергии по спектру в диапазоне 125-250 А. По спектрам с пространственным разрешением установлена роль фотопоглощения в формировании спектра излучения в диапазоне 125-145 А.

Сформулируем положения, выносимые на защиту:

1. Создан широкополосный рентгеновский спектрограф нормального падения на основе пропускающей дифракционной решетки и многослойного зеркала с сильным изменением периода по апертуре.

2. Создан метод решения обратной задачи многослойной оптики (нахождение апериодической многослойной структуры с заданными свойствами). Проведен расчет апериодических многослойных зеркал, обладающих широким равномерным спектром отражения в MP диапазоне.

3. Разработаны и испытаны апериодические многослойные зеркала с равномерным отражением -13% в диапазоне 125-250 А.

4. Создан светосильный широкополосный рентгеновский спектрограф нормального падения на основе пропускающей дифракционной решетки и апериодического многослойного зеркала.

5. Рассмотрено отражение ультракоротких рентгеновских импульсов от многослойных зеркал. Определены пределы применимости периодических зеркал. Проведен расчет апериодических зеркал для уменьшения длительности и увеличения пиковой интенсивности чирпированных импульсов рентгеновского излучения.

6. Создан и исследован компактный лазерно-плазменный безосколочный источник MP излучения, возбуждаемый в импульсной струе ксенона при фокусировке пучка Nd лазера. Проведено абсолютное измерение выхода рентгеновского излучения на длине волны 180 А ((1.1±0.2)-10~5 Дж/(А-ср)). Измерены размеры светящейся области (0.22 мм х 0.65 мм).

В заключение автор считает своим приятным долгом выразить глубокую благодарность своим соавторам: С. С. Андрееву, И. JI. Бейгману, Ф. Бийкерку, И. Н. Букреевой, С. Ю. Зуеву, В. Г. Капралову, И. В. Кожевникову, Н. Н. Колачевскому, В. В Кондратенко, Р. Корде, В.Е.Левашову, Е.Льюису, К. Н. Медникову, М. М. Митропольскому, Ю. П. Першину, Н. Н. Салащенко, П. В. Сасорову, Э. Циглеру, а также всем сотрудникам Кафедры квантовой радиофизики и Отделения оптики ФИАН за поддержку и интерес к работе.

Особую благодарность автор выражает научному руководителю Евгению Николаевичу Рагозину и Заведующему Кафедрой квантовой радиофизики МФТИ Леониду Петровичу Преснякову.

1. Мишетт. Оптика мягкого рентгеновского излучения. Москва "Мир", 1989.

2. F. Е. Mack, J. R.Stehn, В. Edlen. On the concave grating spectrograph, especially at large angles of incidence. J. Opt. Soc. Am., 22 245-264, 1932.

3. Heinz Haber. The torus grating. J. Opt. Soc. Am., 40 (3) 153-165, 1950.

4. A. H. Зайдель, E. Я. Шрейдер. Вакуумная спектроскопия и ее применение. "Наука" Москва, 1976.

5. А. В. Виноградов, Б. Я. Зельдович. О многослойных зеркалах для рентгеновского и далекого ультрафиолетового диапазона. Оптика и Спектроскопия, 42 (4) 709-714, 1977.

6. Е. Spiller. Reflective multilayer coatings for the far UV region. Appl. Optics, 15 (10) 2333-2338, 1976.

7. P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnik, P. Zietoun, B. Rus, F. Albert, D. Ros. X-ray laser progress and applications experiments at LULI. In: X-Ray Lasers 1996, 1-8 (Bristol: IOP Publ, 1996).

8. В. A. M. Hansson, M. Berglund, O. Hemberg, and H. M. Hertz. Xenon liquid-jet laser-plasma source for EUV lithography. Proc. SPIE "Emerging Lithographic Technologies IV" 3997 729, 2000.

9. R. H. Moyer, H. Shields, A. Martos, S. W. Fornaca, R. J. St. Pierre, M. B. Petach. Laser-produced plasma (LPP) scale-up and commercialization. Proc. SPIE "Emerging Lithographic Technologies V" 4343 249, 2001.

10. R. de Bruijn, A. Bartnik, H. F. Fledderus, H. Fiedorowicz, P. Hegeman, R. C. Constantinescu, F. Bijkerk. Characterization of a novel double-gas-jet laser plasma EUV source. Proc. SPIE 3997 157— 161,2000.

11. M. A. Klosner and W. T. SilfVast. Intense xenon capillary discharge extreme-ultraviolet source in the 10-16-nm-wavelength region. Opt. Lett. 23 (20) 1609, 1998.

12. K.Bergman, G. Schrieverm O. Rosier, M. Muller, W. Neff, and R. Lebert. Highly repetitive, extreme-ultraviolet radiation source based on a gas-discharge plasma. Appl. Opt. 38 (25) 5413, 1999.

13. A. P. Shevelko, L. V. Knight, and O. F. Yakushev. Capillary discharge plasmas as a source of EUV and soft x-ray radiation. Proc. SPIE 4144 68-75,2000.

14. H. A. Rowland. The concave diffraction grating. Philos. Mag. Ser. 5 (13)469-474, 1882.

15. M. C. Hettrick and J. H. Underwood. Stigmatic high throughput monochromator for soft x rays. Applied Optics 25 (23) 4228-4231, 1986.

16. H. H. Колачевский, А. С. Пирожков, E. H. Рагозин. Широкополосный стигматический спектрограф для мягкого рентгеновского диапазона. Квант, электрон. 25 (9) 843-848,1998.

17. Дж. X. Андервуд, Д. Т. Аттвуд. Возрождение рентгеновской оптики. УФН151 (1) 105,1987.

18. А. В. Виноградов, И. В. Кожевников. Многослойные рентгеновские зеркала. Труды ФИАН, 196, 62-102, 1989.

19. E. N. Ragozin, N. N. Kolachevsky, M. M. Mitropolsky, and V. A. Slemzin. Characterization of imaging normal-incidence multilayer mirrors for the 40-300 A range by spectroscopic technique using a laser-plasma radiation source. Proc. SPIE 2012 209, 1993.

20. E. N. Ragozin, N. N. Kolachevsky, M. M. Mitropolsky, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, and S. A. Yulin. Stigmatic high-resolution high-throughput narrow-band spectrograph employing multilayer mirrors. Proc. SPIE 2012 219, 1993.

21. E. N. Ragozin, N. N. Kolachevsky, M. M. Mitropolsky, and Yu. Yu. Pokropvsy. Stigmatic high-resolution high-throughput XUV spectroscopic instruments employing unconventional optical components. Proc. SPIE 2520 297-308, 1995.

22. И. JI. Бейгман, Ю. Ю. Покровский, E. H. Рагозин. Наблюдение штарковского сдвига в лазерной плазме с помощью стигматического светосильного рентгеновского спектрографа высокого разрешения. ЖЭТФ 110 1783-1796, 1996.

23. Е. Н. Рагозин. Исследование спектров многозарядных ионов в лазерной плазме. Диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. Москва, ФИАН, 1996.

24. I. A. Artyukov, А. V. Vinogradov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, and S. A. Yulin. Soft X-ray submicron imaging experiments with nanosecond exposure. Proc. SPIE 2012 190, 1993.

25. А. В. Андреев, В. E. Асадчиков, И. А. Артюков,

26. A. В. Виноградов, Ю. С. Касьянов, В. В. Кондратенко,

27. B. Е. Левашов, Б. В. Мчедлишвили, Ю. В. Пономарев,

28. К. D. Joensen, P. Gorenstein, J. Wood, F. E. Christensen, P. Hoghoj. Preliminary results of a feasibility study for a hard x-ray Kirkpatrik-Baez telescope. Proc. SPIE 2279 180-189, 1994.

29. V. A. Slemzin, I. A. Zhitnik, E. N. Ragozin, E. A. Andreev. Aspherical imaging multilayer mirrors with subarcsecond resolution for solar XUV telescopes. Proc. SPIE 2279 234, 1994.

30. I. A. Zhitnik et al. Instruments for imaging XUV spectroscopy of the sun on board the CORONAS-I satellite. Proc. SPIElWb 1-19, 1998.

31. И. А. Житник, С. В. Кузин, В. А. Слемзин. Многослойная и кристаллическая рентгеновская оптика для солнечной рентгеновской астрономии. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования (1) 19-27, 1999.

32. И. А. Житник и др. Применение рентгеновской оптики для исследования Солнца в области 1.85-335 А на спутнике "Коронас-ф". Рентгеновская оптика (Материалы всероссийского совещания, 18-21 марта 2002 г., Н. Новгород), 85.

33. S. S. Andreev, S. V. Gaponov, N. N. Salashchenko, Е. A. Shamov, L. A. Shmaenok, S. V. Bobashev, D. M. Simanovskii, E. N. Ragozin. Multilayer optics for x-ray and gamma radiation. Proc. SPIE 3406 4569, 1998.

34. H. H. Салащенко. Исследования в области многослойной рентгеновской оптики в институте физики микроструктур. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования (1) 50-60, 1999.

35. И. Я. Артюков, Б. Р. Бенвер, А. В. Виноградов, Ю. С. Касьянов,

36. Н. Kinoshita, Т. Watanabe, М. Koike, N. Namioka. Design of imaging system for EUVL. Proc. SPIE 3152 211-220, 1997.

37. Y. Li, T. Watanabe, H. Kinoshita. Design of EUVL camera with large numerical aperture. Proc. SPIE 3997 759-764, 2000.

38. R. Soufli, E. A. Spiller, M. A. Schmidt, C. Davidson, R. F. Grabner, E. M. Gullikson, В. B. Kaufmann, S. Mrowka, S. L. Baker, H.N. Chapman, R. M. Hudyma, J.S.Taylor, C.C.Walton,

39. C. Montcalm, J. A. Folta. Multilayer optics for an extreme-ultraviolet lithography tool with 70-nm resolution. Proc. SPIE 4343 51-59, 2001.

40. Ф. Труссель, С. Бак, H. Н. Колачевский, М. М. Митропольский, Е. Н. Рагозин. Спектральные характеристики плоских многослойных амплитудных дифракционных решеток мягкого рентгеновского диапазона. Квант, электрон. 23 (10) 923-926, 1996.

41. В. В Кондратенко, В. Е. Левашов, Ю. П. Першин, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин. Апериодические широкополосные многослойные зеркала на область 125-250 А. Кратк. Сообщ. Физ. ФИАН (7) 32-38, 2001.

42. В. Г. Капралов, Р. Корде, В. Е. Левашов, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин. Безосколочный источник мягкого рентгеновского излучения на основе импульсной струи ксенона, возбуждаемый излучением неодимового лазера. Квантовая электроника 32 (2), 149-154, 2002.

43. М. М. Митропольский, В. А. Слемзин, Н. К. Суходрев. Автоматизированный испытательный стенд Икар для исследования рентгеновской оптики и детекторов излучения в области спектра 0.5-120 нм. Приборы и техника эксперимента (3) 188, 1990.

44. Н. Н. Колачевский. Исследование многослойной рентгеновской оптики. Диссертация на соискание степени кандидата физико-математических наук. Москва, МФТИ, 1997.

45. R. Soufli and Е. М. Gullikson. Optical constants of materials for multilayer mirror applications in the EUV/soft x-ray region. Proc. SPIE 3113 222-229, 1997 (http://cindy.lbl.gov/optical constants/).

46. R. L. Kelly. Atomic and ionic spectrum lines below 2000 Angstroms: Hydrogen through Krypton. Journal of Physical and Chemical Reference Data 16 Supplement No. 1, 1987.

47. С. С. Андреев, H. H. Колачевский, А. С. Пирожков, E. H. Рагозин, H. H. Салащенко. Регистрация спектров многозарядных ионов в диапазоне 110-300 А с высоким спектральным ипространственным разрешением. Кратк. Сообщ. Физ. ФИАН (3) 32-41, 1998.

48. P. van Loevezijn, R. Schlatmann, J. Verhoeven, B. A. van Tiggelen, and E. M. Gullikson. Numerical and experimental study of disordered multilayers for broadband x-ray reflection. Appl. Optics 35 (19) 3614-3619, 1996.

49. B. L. Henke, E. M. Gullikson, J. C. Davis. At. Data and Nucl. Data Tables, 54 835, 1993.

50. F. Schaefers, H. C. Mertins, M. Mertin, I. Packe, F. Schmolla, S. di Fonzo, G. Soullie, W. Jark, H. Grimmer, P. Boeni, D. Clemens, M. Horisberger, N. N. Salashchenko, E. A. Shamov. Experimental multilayer survey in the VUV. SPIE 3152 222-230, 1997.

51. И. А. Артюков, В. В. Зеленцов, К. М. Крымский. Таблицы пар материалов для использования в качестве компонентов многослойных рентгеновских зеркал нормального падения в диапазоне 3 нм< Л < 30 нм. Препринт ФИАН 14 Москва, 2000.

52. Р. П. Федоренко. Введение в вычислительную физику. Москва, издательство МФТИ, 1994.

53. J. F. Meekins, R. G. Cruddace, and Н Gursky. Optimization of layered synthetic microstructures for broadband reflectivity at soft x-ray and EUV wavelengths. Appl Opt. 26 990, 1987.

54. K. D. Joensen. Design of grazing incidence broad-band multilayer mirrors for conventional sources. Proc. SPIE 3113 500-508, 1997.

55. I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, E. Ziegler. Theoretical study of multilayer x-ray mirrors with a wide spectral band of reflection. Рентгеновская оптика (Материалы всероссийского совещания, 1-4 марта 1999 г., Н. Новгород), 106.

56. И. Н. Букреева. Теоретические исследования широкополосных рентгенооптических элементов и систем. Диссертация насоискание степени кандидата физико-математических наук. Москва, МИФИ, 2001.

57. Е. Ziegler, I. N. Bukreeva, I. V. Kozhevnikov, A. S. Pirozhkov, and E. N. Ragozin. Deep-graded multilayer mirrors for the hard x-ray spectral region: theory, inverse and direct problems. Proc. SPIE 3737 386-395, 1999.

58. M. Yanagihara, T. Maehara, H. Nomura, M. Yamamoto, T. Namioka, H. Kimura. Performance of a wideband multilayer polarizer for soft x-rays. Rev. Sci. Instrum. 63 (1) 1516-1518, 1992.

59. S. P. Vernon, D. G. Stearns, R. S. Rosen. Chirped multilayer coatings for increased x-ray throughput. Opt. Lett. 18 (9) 672, 1993.

60. M. Singh, and J. J. M. Braat. Improved theoretical reflectivities of extreme ultraviolet mirrors. Proc. SPIE 3997 412, 2000.

61. H. Г. Басов, A. H. Ораевский, Б. H. Чичков. Резонансное преобразование света релятивистскими пучками ионов. ЖЭТФ 89 (1) 66-70, 1985.

62. В. Т. Платоненко, В.В.Стрелков, Ф.В.Игнатович. Получение одиночного аттосекундного рентгеновского импульса пригенерации гармоник высокого порядка лазерным УКИ. Квант, электрон. 28 (1) 43-48, 1999.

63. A. Rundquist, С. G. Durfee III, Z. Chang, С. Heme, S. Backus, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn. Phase-Matched Generation of Coherent Soft X-rays. Science 280 1412-1415, 1998.

64. R. Fitzgerald. Pulse shaping improves efficiency of soft x-ray harmonic generation. Phys. Today 53 (9) 24, 2000.74 "Shortcut for X-ray pulses," Physics World 14 (3) 3, 2001.

65. F. Krausz. From femtochemistry to attophysics. Phys. World 14 (9) 41,2001.

66. M. Hentschel, R. Kienberger, Ch. Spielmann, G. A. Reider, N. Milosevic, T. Brabec, P. Corkum, U. Heinzmann, M. Drescher and F. Krausz. Attosecond metrology. Nature 414 509, 2001.

67. P.M.Paul, E. S. Toma, P. Breger, G. Mullot, F. Auge, Ph. Balcou, H. G. Muller, P. Agostini. Observation of a train of attosecond pulses from high harmonic generation. Science 292 1689, 2001.

68. T. Brabec, F. Krausz. Intense few-cycle laser fields: Frontiers of nonlinear optics. Rev. Modern Phys. 72 (2) 545, 2000.

69. R. Szipocs, K. Ferencz, C. Spielmann, F. Krausz. Chirped multilayer coatings for broadband dispersion control in femtosecond lasers. Opt. Lett. 19(3)201, 1994.

70. H. H. Колачевский, А. С. Пирожков, E. H. Рагозин. Апериодические многослойные зеркала для спектроскопии в мягком рентгеновском диапазоне. Кратк. Сообщ. Физ. ФИАН (12) 55-65,1998.

71. Н. Н. Колачевский, А. С. Пирожков, Е.Н.Рагозин. Широкополосные рентгенооптические элементы на основе апериодических многослойных структур. Квант, электрон. 30 (5) 428-434, 2000.

72. И. JI. Бейгман, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин. Отражение атто- и фемтоеекундных импульсов рентгеновского излучения от апериодического многослойного зеркала. Письма в ЖЭТФ 74 (3) 167-171,2001.

73. I. L. Beigman, A. S. Pirozhkov and Е. N. Ragozin. Reflection of few-cycle x-ray pulses by aperiodic multilayer structures. J. Opt. A 4, 433439 2002.

74. H. H. Колачевский, А. С. Пирожков, E. H. Рагозин. О широкополосных рентгеновских зеркалах на основе апериодических многослойных структур. Рентгеновская оптика (Материалы всероссийского совещания, 1-4 марта 1999г., Н. Новгород), 204-210.

75. N. N. Kolachevsky, A. S. Pirozhkov, Е. N. Ragozin. High-resolution x-ray spectroscopy employing multilayer mirrors. EGAS-31st (тезисы докладов конференции, 6-9 July 1999, Marseille (France), 32-33).

76. N. N. Kolachevsky, A. S. Pirozhkov, E. N. Ragozin. XUV spectroscopy of laser-plasma interactions employing multilayer mirrors. Proc. SPIE "High-Power Laser Ablation IIF 4065 227, 2000.

77. Е. М. Gullikson, J. Н. Underwood, Р. С. Batson, and V. Nikitin. A soft x-ray reflectometer based on a laser produced plasma source. J. X-Ray Sci. Techno I. 3 283, 1992.

78. T. Namioka. Theory of the concave grating. I. J. Opt. Soc. Amer. 49 (5) 446—460, 1959.

79. Г. А. Аскарьян, Н. М. Тарасова. Плазма световой искры в облачке газа. Направленный выброс плазмы и ускорение огненного шара световой искры. Письма ЖЭТФ 14 (2) 89-93, 1971.

80. Р. С. Filbert, D. A. Kohler, R. A. Walton. The effect of high-Z atomic radiators on the X-ray emission rate from a laser-produced nitrogen plasma. J. Appl. Phys. 75 2332-2338, 1994.

81. C. Altucci, R. Bruzzese, C. de Lisio, et al. Features of high-order harmonic generation in the 30 fs and the sub-10 fs regimes. J. Opt. A: Pure Appl. Opt. 2 289-293, 2000.

82. V. Kaufman and J. Sugar. Ag I Isoelectronic Sequence: Wavelengths and Energy Levels for IVII Through La XI. Phys. Scr. 24 738-741, 1981.

83. V. Kaufman, J. Sugar, and J. L. Tech. Analysis of the 4cf 4(f5p transitions in nine-times ionized xenon (Xe X). J. Opt. Soc. Am. 73 691-693, 1983.

84. N. A. Bobrova, S. V. Bulanov, D. Farina, R. Pozzoli., T. L. Razinkova, J. I. Sakai, P. V. Sasorov, I. V. Sokolov. MHD simulations of plasma dynamics in pinch discharges in capillary plasmas. Laser Part. Beams 18 623-638, 2000.

85. Н. А. Боброва, С. В. Буланов, Т. JI. Разинкова, П. В. Сасоров. Динамика пинчевого разряда в тонком канале. Физ. Плазмы 22 (5) 387-402, 1996.

86. N. A. Bobrova, A. A. Esaulov, J.-I. Sakai, P. V. Sasorov, D. J. Spence,

87. A. Butler, S. M. Hooker, S. V. Bulanov. Simulations of a hydrogen-filled capillary discharge waveguide. Phys. Rev. E 65 016407, 2002.

88. Н.А.Боброва, Т. JI. Разинкова, П. В. Сасоров. Электрический взрыв замороженных дейтериевых нитей. Физ. плазмы 18 (4) 517— 528, 1992.

89. И. А. Житник, С. В. Кузин, М. М. Митропольский, Е. Н. Рагозин,

90. B. А. Слемзин, В. А. Сухановский. Исследование характеристик многослойных рентгеновских зеркал для диапазона 1-19 нм с помощью лазерно-плазменного источника. Квант. Электрон. 20 (1) 89-94, 1993.

91. Е. N. Ragozin, N. N. Kolachevsky, М. М. Mitropolsky, Yu. Yu. Pokrovsky. Spectroscopic characterization of soft x-ray multilayer optics using a broadband laser-plasma source. Proc. SPIE 3113 230-241, 1997.

92. V. Banine, R.Moors. Extreme ultraviolet sources for lithography applications. Proc. SPIE 4343 203-214, 2001.

93. G. C. Idzorex and R. J. Bartlett. Silicon photodiode characterization from 1 eV to 10 keV. Proc. SPIE 3114 349-356, 1997.

94. А. П. Шевелько. Абсолютные измерения в ВУФ области спектра с помощью люминесцентного детектора. Квант. Электрон. 23 (8) 748-750,1996.

95. А. П. Шевелько, Л. Найт, К. Ванг. Структура и интенсивность рентгеновского излучения при взаимодействии лазерной плазмы со стенкой. XXII съезд по спектроскопии, 8-12 октября 2001г., Звенигород (тезисы докладов, с. 241).

96. R. К. Janev, L. P. Presnyakov, and V. P. Shevelko. Physics of Highly Charged Ions. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, Tokyo, 1984.российскаягосударстве:;;!^ библиотекх- ч ехь