Модифицирование поверхности металлов и осаждение тонкопленочных покрытий импульсными лазерными пучками в среде повышенного давления тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Введение.

Глава 1.ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ И МЕТОДЫ ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРИ ПОВЕРХНОСТНОМ ЛАЗЕРНОМ ЛЕГИРОВАНИИ МАТЕРИАЛОВ И ОСАЖДЕНИИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА (Обзор литературы. Постановка задачи исследований.).

1.1. Поверхностное легирование импульсными лазерными пучками: транспортные процессы в поверхностных слоях, структурообра-зование метастабильных сплавов, модели процесса.

1.2. Импульсное лазерное испарение материалов: формирование, разлет и конденсация факела.

1.3. Постановка задачи исследований.

Глава 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ЛАЗЕРНО-ИНИЦИИРОВАННЫХ ПРОЦЕССОВ И МОДИФИЦИРОВАННЫХ ИМИ МАТЕРИАЛОВ.

2.1. Экспериментальная установка для исследования динамики лазерного факела методом импульсной голографической интерферометрии.

2.2. Экспериментальная методика лазерного легирования материалов облучением через прозрачные слои и оптико-акустический мониторинг лазерно-инициированных процессов.

2.3. Осаждение покрытий из лазерного факела в газах.

2.4. Методы исследования модифицированных материалов и осажденных покрытий.

Глава 3. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА И МОДИФИЦИРОВАНИЕ МАТЕРИАЛОВ В ГАЗАХ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ.

3.1. Приповерхностные процессы в газе на ранней стадии импульсного лазерного воздействия на мишень.

3.2.Формирование автоструктуры в области пятна фокусировки лазерного излучения.

3.3. Испарение материала мишени и формирование эрозионного факела.

3.4. Формирование оптического пробоя при лазерной обработке материалов в камере повышенного давления.

3.5. Особенности поверхностной обработки металлов при импульсном лазерном облучении в газах повышенного давления.

Глава 4. ОСОБЕННОСТИ ЛАЗЕРНО-ИНИЦИИРОВАННЫХ ПРОЦЕССОВ

ПРИ ПОВЕРХНОСТНОМ ЛЕГИРОВАНИИ МАТЕРИАЛОВ С

ПРИМЕНЕНИЕМ ПРОЗРАЧНЫХ ДЛЯ ИЗЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ.

4.1. Глубинное распределение элементов и формирование топографии поверхности при наносекундном лазерном легировании.

4.2. Оптико-акустический мониторинг импульсного лазерного воздействия на систему пленка-подложка.

4.3. Микроструктура поверхностных сплавов.

4.4. Особенности транспортных процессов и структурообразования метастабильных сплавов при лазерном легировании с использованием прозрачного покрытия.

Глава. 5. ДИНАМИКА КОНДЕНСАЦИИ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА И

ФОРМИРОВАНИЕ МИКРО- И НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ

ПОКРЫТИЙ В ГАЗАХ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ.

5Л. Динамика фронта конденсации при лазерном восстановлении и окислении металлов в газах повышенного давления.

5.2. Структура слоев, формирующихся при осаждении из лазерного факела при восстановлении и окислении материалов.

5.3. Импульсное лазерное осаждение наноструктурированных покрытий Мо8ех в буферном газе.

Современные технологии, среди которых особое место занимает лазерная технология, стали в последнее время высокоэффективными средствами производства [1, 2]. Одно и перспективных направлений лазерной технологии связано с разработкой новых процессов модифицирования поверхности материалов и синтеза новых материалов. Следует выделить такие важные процессы как поверхностное легирование и осаждение тонкопленочных покрытий на основе известных и вновь синтезируемых соединений [3, 4].

При поверхностном лазерном легировании в поверхностный слой материала вводятся атомы требуемого вещества, которые изменяют структурное и химическое состояние этого слоя. Для легирования применяют такие методики, как облучение поверхности материала, на которую предварительно наносится слой внедряемого вещества [5], а также облучение поверхности в газе повышенного давления [6] или под слоем жидкости [7]. Во всех этих случаях при воздействии лазерного излучения на материал развивается комплекс сложных физических и химических процессов, которые и определяют эффективность поверхностного модифицирования. Для широкого внедрения такой технологии в реальное производство требуется всестороннее исследование картины таких процессов, установление основных механизмов, обуславливающих изменение свойств материалов. Проведение фундаментальных физических исследований взаимодействия лазерных пучков с материалами в необычных условиях необходимо для разработки новых оригинальных процессов модифицирования, которые обеспечат получение материалов с улучшенными свойствами.

Лазерное легирование реализуется через инициирование фазовых превращений (плавление, кипение, плазмообразование), которые развиваются в приповерхностной зоне, которая захватывает как поверхностный слой материала, так и окружающую его среду (воздух, газ, жидкости). Построение целостной картины лазерного модифицирования возможно только при проведении комплексного исследования процессов, протекающих в таких слоях.

К настоящему времени достаточно глубоко исследованы процессы лазерно-плазменного синтеза нитридов, карбидов и других химических соединений при воздействии на материал в среде (газе, жидкости) лазерными пучками достаточно высокой интенсивности [например, 6-8]. Основной эффект модифицирования достигается за счет инициирования химических реакций поверхности с окружающей средой, активируемой процессами плазмо-образования в поле лазерного излучения. Особенности лазерно-инициируемых процессов при воздействии на материалы более умеренных по интенсивности световых импульсов и влияние среды на динамику этих процессов исследованы в меньшей степени. Однако эти процессы играют важную роль в таких направлениях лазерной технологии, как импульсное лазерное легирование из предварительно нанесенного слоя легирующего вещества, а также импульсное лазерное осаждение покрытий.

Одна из основных проблем лазерного легирования из конденсированной фазы заключается в подавлении процессов интенсивного распыления легирующего вещества. Представляется важным исследование возможностей воздействия на кинетику фазового перехода при лазерном испарении в газе повышенного давления и снижение за счет этого потерь легирующего вещества. С этой точки зрения определенный интерес представляют результаты работы [9]. В ней сообщается, что при наносекундном лазерном облучении системы пленка-подложка через прозрачный для излучения слой существенно уменьшаются потери легирующего вещества, и увеличивается глубина внедрения. Авторы [9] предположили, что прозрачный слой оказывает влияние на кинетику испарения вещества пленки, однако всестороннее исследование механизма лазерного легирования в таких нетрадиционных условиях проведено не было.

Варьирование интенсивности лазерного облучения при испарении материалов позволяет изменять определенным образом параметры плазменно-парового потока частиц и воздействовать на процессы формирования тонкопленочных покрытий при конденсации такого пучка на поверхности подложки (например, [10-12]). Однако данный метод имеет существенные ограничения, что заставляет исследователей искать новые способы управления параметрами пучка частиц из лазерного факела. Другой метод состоит в торможении (охлаждении) потока частиц буферным или реактивным газом [13, 14]. При разлете лазерного факела в газах различного химического состава и давления возможно не только изменение энергетических и угловых характеристик пучка, но и изменение его химического и компонентного состава. Особый интерес представляет трансформация атомарного потока в поток частиц (кластеров) с субмикро- и нанометровыми размерами, что существенно изменяет структурообразование осаждаемых тонких пленок. О получении наноструктурированных пленок кремния с размерами кластеров до 10 нм сообщалось в [15]. Авторы провели математическое моделирование разлета факела и показали, что формирование кластеров может быть обусловлено развитием процессов конденсации в лазерном факеле. Однако в [16] предложен механизм роста нанокластеров на поверхности пленки при осаждении атомарного пучка.

Для выяснения полной картины физических процессов, протекающих при разлете лазерного факела в газе, требуются дополнительные исследования, включающие как непосредственное изучение динамики лазерного факела в газах, так и расширение круга материалов, используемых для формирования покрытий. Особый научный и практический интерес представляет проблема синтеза таких материалов (например, наноструктурированных покрытий), которые невозможно создать традиционными методами.

Цель данной работы заключалась в экспериментальном исследовании комплекса процессов, развивающихся в приповерхностном слое материал-среда при воздействии импульсного лазерного излучения умеренной интенсивности на твердые тела в среде повышенного давления, и выявлении особенностей транспортных процессов в конденсированной и газовой фазе, обуславливающих формирование поверхностных сплавов и тонкопленочных покрытий.

Для достижения данной цели решались следующие задачи: - разработка экспериментальной методики импульсной голографической интерферометрии для мониторинга приповерхностных процессов в газах повышенного давления;

- исследование динамики факела и кинетики испарения материалов при воздействии лазерных импульсов в газах повышенного давления и через прозрачные покрытия;

- исследование процессов массопереноса, структуро- и фазообразования поверхностных сплавов, формируемых лазерными импульсами в газах повышенного давления и под прозрачными покрытиями; исследование особенностей формирования тонкопленочных покрытий при разлете лазерного факела в газовой среде повышенного давления.

Научная новизна работы состоит в следующем:

- впервые проведено комплексное исследование процессов, протекающих в газовой и конденсированной фазах при импульсном лазерном облучении металлов в газовой среде повышенного давления; обнаружены новые плазменные образования и установлено их влияние, а также влияние аэрозольной фракции на развитие процессов модифицирования металлов; впервые изучен механизм поверхностного легирования металлов наносекундными лазерными импульсами при воздействии через прозрачные покрытия, установлены особенности транспортных процессов и структурообразования метастабильных сплавов; впервые исследовано влияние процессов конденсации лазерного факела (при разлете в буферный и реактивный газ) на структурообразование ультрадисперсных (микро- и наноструктурированных) покрытий.

Практическая ценность работы заключается в разработке методов, позволяющих проводить мониторинг лазерного факела и контролировать режимы лазерной обработки в газовой среде повышенного давления; в совершенствовании метода лазерного легирования и существенном снижении потерь легирующего вещества в процессах распыления; в установлении режимов формирования новых ультрадисперсных материалов путем импульсного лазерного осаждения в газах заданного давления.

На защиту выносятся следующие основные положения:

- Развитие методики импульсной голографической интерферометрии позволило изучить комплекс важных физических явлений, инициированных лазерным излучением миллисекундной длительности над поверхностью материалов в газах повышенного (до 5 МПа) давления, а именно: формирование плазменных объектов, накопление и испарение аэрозоля, разлет эрозионного факела, исследовать их характеристики и установить их роль в механизме поверхностного лазерного легирования из газовой фазы.

- Экспериментально установлено, что при облучении системы пленка-подложка через прозрачное покрытие лазерными импульсами наносекундной длительности над поверхностью системы образуется область высокого давления (до 100 МПа), которая оказывает существенное влияние на развитие транспортных процессов и структурообразование метастабильных сплавов, а также вызывает дефектообразование на относительно больших глубинах. Выявлены условия, при которых реализуется эффективный массоперенос легирующего вещества и увеличивается глубина легирования.

- Развита физическая модель лазерного легирования, которая учитывает влияние давления на динамику лазерного распыления поверхности и предполагает увеличение энерговклада в поверхностный слой мишени в оптимальных условиях облучения. При этом изменяется динамика нагрева и охлаждения этого слоя, и, как следствие, увеличивается скорость и время развития температурно-зависимых процессов массопереноса и снижается скорость «закалки» поверхностных сплавов.

- Экспериментально установлена возможность инициирования процессов конденсации и формирования микро- и нано-размерных частиц при разлете лазерного факела в газах повышенного давления. Данные процессы изменяют условия роста тонкопленочных покрытий при их осаждении из лазерного факела и позволяют (при оптимальных давлениях газа) формировать новые структуры с улучшенными свойствами.

Основные результаты работы опубликованы в [93-107].

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В работе проведено комплексное исследование процессов, протекающих как в приповерхностном слое газовой (или жидкой) среды, так и конденсированном веществе при воздействии умеренных по интенсивности лазерных импульсов милли-и наносекундной длительности. Получены новые данные о параметрах процессов плазмообразования, тепло- и массопереноса, конденсации и др., которые развиваются в приграничных слоях среда-твердое тело и которые во многом определяют эффективность процессов модифицирования материалов при импульсном лазерном облучении в нетрадиционных условиях (средах повышенного давления).

Для проведения комплексных исследований разработана оригинальная методика анализа лазерно-индуцированных процессов в газовой фазе, а также всесторонне применялись стандартные высокоинформативные физические методики исследования твердых тел. Разработка методики голографической интерферометрии позволила обнаружить ряд новых физических явлений, протекающих в приповерхностном слое газовой среды, которые играют важную роль в развитии процессов лазерного модифицирования поверхности.

Проведены исследования процессов лазерного распыления поверхности материалов, окруженных средой (газом, жидкостью) повышенного давления и получены новые данные о динамике лазерного испарения и параметрах эрозионного лазерного факела, разлетающегося в среду. Такие результаты позволяют глубже понять механизмы поверхностного лазерного легирования, проводимого как из газовой фазы, так и из твердого слоя, если его облучение проводится через прозрачные покрытия.

При исследовании динамики лазерного факела в газах (инертных и химически активных) методом голографической интерферометрии обнаружены признаки конденсации, которая обуславливала изменение состава пучка, используемого для формирования тонкопленочных покрытий. Возможны превращения моноатомного парового потока в поток частиц, содержащий кластеры определенного размера и состава. Одновременно с исследованием динамики фронта конденсации изучены морфология и микроструктура образующихся покрытий. Показано, что варьирование параметров лазерного факела и условий его разлета (путем варьирования состава и давления газов) позволяет направленно воздействовать на структурообразование осаждаемых из факела покрытий. Установлены условия образования микро- и наноструктурированных покрытий на основе металлов, а также их соединений (оксидов и дихалькогенидов металлов). Применение разработанной методики импульсного лазерного осаждения в газах повышенного давления открывает широкие возможности по синтезу принципиально новых тонкопленочных материалов. В качестве примера в работе созданы тонкопленочные покрытия Мо8е2 с нано-дисперсной микроструктурой, проявляющей высокие трибологические свойства.

1. Рыкалин H.H., Углов A.A., Зуев Н.В. и др. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов/ М.: Машиностроение. 1985.

2. Промышленное применение лазеров / Под ред. Г.Кебнера. Перевод с английского А.Смирнова// М.: Машиностроение. 1988.

3. Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов/ М. : Энергоатомиздат.1991.

4. Singh R.K., Narayan J. Pulsed-laser evaporation technique for deposition of thin films: Physics and theoretical model/Phys. Rev. B. 1990. V.41.No.l3. P.8843-8859.

5. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками/ Под ред. Дж.М.Поута, Г.Фоти, Д.К.Джекобсона// М.: Машиностроение. 1987.

6. Рыкалин H.H., Углов A.A. Лазерно-плазменная обработка металлов при высоких давлениях газов/ Квантовая электроника. 1981. Т.8.№ 6. С.1198.

7. Арутюнян Р.В., Баранов В.Ю., Большое Л.А. и др. Легирование поверхности твердых тел из плазмы лазерного пробоя в жидкостях/ Поверхность. 1984. №4. С. 149-151.

8. Мажукин В.И., Углов A.A., Четверушкин Б.Н. Численное исследование динамики лазерной плазмы вблизи твердой поверхности при высоком давлении окружающей среды / Доклады АН СССР. 1981.Т.256. № 5.1. С. 1100.

9. Маркеев A.M., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Наносекундное лазерное легирование металлических материалов/ ФХОМ. 1987. № 5. С. 14-23.

10. Riet Е., Kools J.C.S., Dielcman J. Incongrucnt transfer in laser deposition of FeSiGaRu thin films/J. Appl. Phys. 1993. V.73. P.8290-8296.

11. Неволин B.H., Фоминский В.Ю., Романов Р.И. Импульсное лазерное осаждение пленок MoSx в вакууме/ Поверхность. 1999. № 9. С. 17-22.

12. Fominski V.Yu., Nevolin Y.N., Romanov R.I., Smurov I. Ion-assisted deposition of MoSx films from laser-generated plume under pulsed electric field/ J. Appl. Phys. 2001. V.89. No 2. P.537-543.

13. Fominski V.Yu., Markeev A.M., Nevolin V.N. et al. Pulsed laser deposition of MoSx films in a buffer gas atmosphere/ Thin Solid Films. 1994. No. 248. P.240-246.

14. Болыпов Л.А., Деркач O.H., Каневский М.Ф. и др. Динамика разлета плазмы металлов, создаваемой импульсами ХеС1 лазера/ Известия АН СССР. Серия физическая. 1988. Т.52. №9. С. 1852-1856.

15. Luk'yanchuk B.S., Marine W., Anisimov S.I. Condensation of vapor and nanoclusters formation within the vapor plume, produced by ns-laser ablation of Si/Laser Physics. 1998. V.8. P.291-302.

16. Murakami K., Makimura Т., Ono N. et al. Dynamics of Si plume produced by laser ablation in ambient inert gas and formation of Si nanoclusters/ Appl. Surface Science. 1998. V. 127-129. P.368-372.

17. Jain A.K., Kulkarni V.N., Nambiar K.B. ct al. Pulsed laser treatment of lead films on aluminium/Radiation Effects. 1982. Vol.63. P.175-181.

18. Draper C.W., Meyer L.S., Buene L. et al. Laser surface alloying gold films on nickel/Appl. Surface Science. 1981. Vol.7. P.276-280.

19. Draper C.W., Braeder F.J.A., Jacobson D.C. et al. Studies of laser-alloyed Zr-containing surface layers/ in: Laser and el.-beam interaction with solids // North-Holland. 1982. P.419-422.

20. Wang Z.L., Westendorp J.F.M., Saris F. W. Laser and ion-beam mixing of Cu-Au-Cu and Cu-W-Cu thin films/Nucl. Instr. Meth. 1983. VoI.209/210. P.l 15124.

21. SoodD.K. Mctastablc surfacc alloys produced by ion implantation, laser and electron beam treatment/ Radiation Effects. 1982. Vol.63. P. 141-167.

22. Brouder F.J.A., Vandenberg J.M., Draper C.W. Microstructures of Cu-Zr phases formed by laser surface treatment/ Thin Solid Films. 1984. Vol. 111. P.43-51.

23. Titov V., Smurov I., Igiiatiev M. Erosion plume dynamics during pulsed laser alloying/ Appl. Surfacc Scicncc. 1996. V.96-98. P.3 87-392.

24. Ignatiev M., Smurov I., Martino V. et al. New phases formed by laser pulse irradiation/J. Phys. (Paris). 1994. C4-4. P.39-44.

25. Bennett T.D., Grigoropoulos C.S., Krajnovich D.J. Near-threshold laser sputtering of gold/J. Appl. Phys. 1995. V.77. P.849-864.

26. Pronko P.P., Wiedersich H., Seshan K. et al. Pulsed laser mixing of Ni-Au surface films on nickel substrates / in Laser and Electron-Beam Solid Interactions and Material Processing, ed. by Gibbons, Hess, Sigmon //North-Holland, 1981). P.599-606.

27. Мажукин В.PL, Самохин A.A. Кинетика фазового перехода при лазерном испарении/ Квантовая электроника. 1984. T.l 1. № 2. С.2432-2437.

28. Gusarov A.V., Gnedovets A.G., Smurov I. Gas-dynamics of laser ablation. Influence of ambient atmosphere/ J. Appl. Phys. 2000. V.88. P.4352-4364.

29. Углов A.A., Гнедовец А.Г., Портнов O.M. Кинетическая модель лазерного поверхностного легирования металлов в газовой среде/ Поверхность. 1990. № 10. С. 120-127.

30. Анисимов В.Н., Арутюнян Р.В., Баранов В.Ю. и др. Легирование поверхности твердых тел из плазмы оптического пробоя в жидкости и газе/ Препринт ИАЭ №3931/9 (1984).

31. BerjezaN.A., Misuchenko N.I. Computational modeling of heat/mass transfer near the liqued-solid interface during rapid solidification under laser treatment/ Canadian Metallurgical Quarterly. 1998. V.37.No 3-4. P.313-321.

32. Jain A.K., Kulkarni V.N., Sood D.K. Pulsed laser heating calculations incorporating vaporization / Appl. Phys.1981. V.25. P. 127-133.

33. Boulmer-Leborgne С., Hermann J., Dubreuil B. et al. Direct carbidation of Ti as a result of multipulse U V-laser irradiation of Ti samples in an ambient methane gas/Appl. Surface Science. 1992. Y.54. P.349-352.

34. Nashitani S.R., Yoshimura S., Kawata H. et al. Deposition of nitrides and oxides of Al and Ti by pulsed laser irradiation/ J. Matcr.Rcs. 1992. V.7. No 3. P.725-733.

35. Зенкевич А.В., Неволин B.H., .Хабелашвили И.Д. Физические особенности импульсного лазерного осаждения металлов/ Известия вузов. Электроника. 1997. № 2. С.3-24.

36. Elam J.W., Levy D.H./J. Appl. Phys. 1997. V.81. P.539-543.

37. Lee I., CallcottT.A., ArakawaE.T. /Phys.Rev. B. 1993. V.47. P.6661-6673.

38. Быковский Ю.А., Неволин B.H. Лазерная масс-спектрометрия. М.: Энергоатомиздат. 1985.

39. Быковский Ю.А., Сильнов С.М., Сотниченко Е.А., Шестаков Б.А. Масс-спсктромстричсскос исследование нейтральных частиц лазерной плазмы./ ЖТФ. 1987. Т. 93. № 2. С.500-507.

40. Pinho G.P., Schittenhelm Н., Duley W.W. et al. Energy distributions in the laser ablation of metals and polymers/ Appl. Surface Science. 1998. V. 127-129. P. 983-987.

41. Chen K.R., Leboeuf J.N., Wood R.F. et al. Mechanisms affecting kinetic energy of laser-ablated materials/J. Vac.Sci.Technol. A. 1996. V. 14. No. 3. P. 1111-1114.

42. Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие излучения большой мощности на металлы/ М.: Наука. 1970.

43. Marine W., Patrone L., Luk'yanchuk В., Setis M. Strategy of nanocluster and nunostructure synthesis by conventional pulsed laser ablation/ Appl. Surface Science. 2000. V. 154-155. P.345-352.

44. Gnedovets A.G., Gusarov A. V., Smurov I. et al. Hydrodynamics of laser erosive jet generating nanoscale particles/ Appl. Surface Science. 1997. V. 109110. P.74-79.

45. Gusarov A.V., Gnedovets A.G., Smurov I. et al. Simulation of nanoscale particlcs elaboration in lascr-produccd erosive flow/ Appl. Surfacc Scicncc. 2000.154-155. P.331-336.

46. Heath J.R., Liu Y., CTBrien S.C. et al. / J. Chem. Phys. 1985. V.83. P.5520.

47. Geohegan D.B., Puretzky A.A., Duscher G. et al. / Appl. Phys. Lett. 1998. V.72. P.2987-2990.

48. Okano A., Takayanagi K. / Appl. Surface Science. 1998. V. 127-129. P.362.

49. Makimura T., Kunii Y., Murakami K./ Jpn. J. Appl. Phys. 1996. Part 1. P.35.

50. Gibson J.K. / J. Appl. Phys. 1995. V.78. P.1274.

51. Afonso C.N., Serna R., Ballesteros J.M. et al. Synthesis by pulsed laser deposition of metallic nanoclustcrs embedded in an amorphous host / Appl. Surface Science. 1998. V.127-129. P.339-343.

52. Wood R.F., Leboeuf J.N., Chen K.R. et al. Dynamics of plume propagation, splitting, and nanoparticle formation during pulsed-laser ablation/ Appl. Surface Science. 1998. V.127-129. P.151-158.

53. Itina T.E., Katassonov A.A., Marine W. et al. Numerical study of the role of a background gas and system geometry in pulsed laser deposition/ J. Appl. Phys. 1998. V.83. P.6050-6054.

54. Itina T.E., Marine W., Autric M. Moute Carlo simulation of pulsed laser ablation from two-componcnt target into diluted ambient gas/ J.Appl.Phys. 1997. V.82. P.3536-3548.

55. Fuenzalida V.M. Pulsed deposition: model for the cluster distribution after the first pulse/ J. Crystal Growth. 1998. V. 183. P.497-503.

56. Bernéde J.C., Li S.J., Pouzet J., Marie A.M. Properties of WS2 thin films obtained by solid-state reaction, induced by annealing, between W and Sconstituents sequentially deposited in thin film form/ Thin Solid Films. 1997. No.292. P.69-74.

57. Вест Ч. Голографическая интерферометрия. VI.: Мир. 1982.

58. Аллен К. Астрофизические величины. М.: ИЛ. 1960.

59. Ogalc S.B., Polman A., Qucntin F.O.P. ct al. Pulsed laser oxidation and nitridation of metal surface immersed in liquid media/ Appl. Phys. Lett. 1987. V.50. P. 138-140.

60. Усманский Я.С., Скаков Ю.А., Иванов A.H., Расторгуев Л.Н. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия. М. Металлургия. 1982.

61. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир. 1989.

62. Pathak А.Р. The effects of defects on charged particle propagation in crystalline solids/ Radiation Effects. 1982. V.61. P. 1-46.

63. Батанов В. А., Бункин Ф.В., Прохоров A.M. Испарение металлических мишеней мощным оптическим излучением/ ЖЭТФ. 1974. Т.77.С.965.

64. Мажукин В.И., Углов А.А., Четверушкин Б.Н./ Квантовая электроника. 1983. Т. 10. №4. С.679-684.

65. Углов А.А., Селищев С.В. Автоколебательные процессы при воздействии концентрированных потоков энергии. М.: Наука. 1987.

66. Бункин Ф.В., Конов В.И., Прохоров A.M., Федоров В.Б. /Письма в ЖЭТФ. 1969. Т.9. С.609-612.

67. Конов В.И. Пробой воздуха вблизи мишени излучением С02-лазера/ Известия АН СССР. Сер.физ. 1982. Т.46. №6. С. 1044-1049.

68. Захарченко С.В., Семенов А.П., Скрипкин A.M. Низкопороговый оптический разряд в аэродисперсной среде/ Квантовая электроника. 1984. Т.П. №2. С.2487-2493.

69. Пряхин С.С., Роянов А. А., Селищев С.В. Динамика приповерхностной лазерной плазмы в газах повышенного давления/ ФХОМ. 1987. №4. С.36.

70. Бункин Ф.В., Савранский В.В. Оптический пробой газов, инициируемый взрывом взвешенных микроскопических частиц/ЖЭТФ. 1973. Т.65.1. С.2185-2193.

71. Белов Н.Н. Влияние флуктуаций параметров лазерного луча на вероятность оптического пробоя в аэрозоле/ ЖТФ. 1987. Т.57. Вып. 11. С.2147.

72. Dona dalle Rose L.F. Ultrashort heat transient in metals under laser irradiation / Journal De Physique. 1983. V.44. P. C5-469.

73. T.Chande, and J.Mazunder/J. Appl. Phys. 1985. V.57. P. 2226-2235.

74. Коротченко А.И., Самохин А.А./ Препринт ФИАН СССР. № 223.1981.

75. Mazhukin V.I., Nosov V. V., Smurov I./ in Proceedings of the Laser Materials Processing Conference (ICALEO'94), Orlando, USA, 1994// Published by Laser Institute of America, Vol. 79, p.713

76. Носов В.В., Мажукин В.И. Влияние процессов плавления и кристаллизации на форму оптоакустического сигнала при лазерном воздействии на сильнопоглощающис конденсированные срсды/ Матсм. моделирование. 1994. Т.6. №1. С.3-53.

77. Mazzoldi P., Dona Dalle Rose L.F., Sood D.K. Pulsed laser treatment of А1/ Radiation Effects. 1982. V.63. P. 105.

78. Судьенков Ю.В., Филиппов H.M., Воробьев Б.Ф., Недбай А.И. Исследование механизмов взаимодействия наносекундного лазерного излучения с металлами/ Письма в ЖТФ. 1983. Т.9. Вып.7. С.395-398.

79. Санадзе В.В., Гуляев Г.В. Распад твердых растворов в системе никель -золота/ Кристаллография. 1959. Т.4. Вып.4. С.526-533.

80. Buene L., Poate J.M., Jacobson D.C. et al. Pulsed laser treatment of Ni/ Appl. Phys. Lett. 1980. V.37. P.385-389.

81. Таблицы физических величин/ Справочник. М.: Атом из дат. 1976.

82. Rozniakowski К., Dolny A. On the possibility of laser irradiation for the determination of diffusion coefficients in metals/ Thin Solid Films. 1984. V.121. P. 121-126.

83. Jonson W.L., Cheng Y.-T., M. Van Rossum et al./ Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. 1985. V. B7/8. P.657-665.

84. Kim S.-J., Nicolet M.-A., Averback R.S., Peak D./ Phys.Rev. 1988. V.B37 (1). P.38.

85. Nicsscn A.K., Micdcma A.R., F.R. dc Boer and Boom R. Heats of alloys formation/Physica B. 1988. V.152. P.303-329.

86. Ibe E. Picosecond diffusion in a thermal spike during ion mixing/ Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. 1989. V.B39. P. 148-152.

87. Weise G., Mattern N., Hermann H. et al. Preparation, structure and properties of MoSx films/ Thin Solid Films. 1997. V.298. P.98-106.

88. Gilmore R., Baker M.A., Gibson P.N. et al. Low-friction TiN-MoS2 coatings produced by dc magnetron co-deposition/ Surface and Coatings Technology. 1998. V.108-109. P.345-351.

89. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. M. Высшая школа. 1982.

90. Bicrsack J.P., HaggmarkL.G.A. /Nucl. Instrum. And Methods in Phys. Res. 1980. No. 174. P.257-263.

91. Mozer J., Levy F. Random stacking in MoS2-x sputtered thin films/ Thin Solid Films. 1994. V.240.P.56-69.

92. Fleischauer P.D. Fundamental aspects of the electronic structure, materials properties and lubrication performance of sputtered MoS2 films/ Thin Solid Films. 1987. V.154. P.309-322.

93. Uglov A.A., Smurov I.J., Selischev S. V., Gnedovets A.G., Smirnov A.L. Laser plasma surfacc modification of rcfractory metals/ Journal of Elcctrochcmical Society. 1986. No 8. P.312-313.

94. Селищев С.В., Белый А.В., Колбеко А.В., Смирнов А.Л., Степанов А.П. Диагностика процессов лазерной и лазерно-плазменной обработки материалов/ В сб. Современные проблемы физики и ее приложений. 1987. ч. И. С. 107.

95. Селищев C.B., Смирнов А.Л., Токер Г.Р., Углов A.A. Формирование струи эрозионной плазмы при воздействии лазерного излучения на титан/ Сб. Физ. проблемы импульсной обработки металлов и сплавов. Куйбышев. 1988. С.71.

96. Гнсдовсц А.Г., Кульбацкий Е.В., Селищев C.B., Смирнов А.Л. Голографическая интерферометрия гомогенной конденсации паров металлов в лазерном факеле/Лазерная технология. Вып.6. ИФИАН ЛитССР. Вильнюс. 1988. С. 151-152.

97. Углов A.A., Селищев C.B., Смирнов А.Л. Голографическая интерферометрия плазмообразования новой формы в газах повышенного давления вблизи металлических мишеней/ Сб. Оптические методы исследования потоков. Новосибирск. 1989. С.74.

98. Сслтцсв C.B., Смирнов А.Л., Токср Г.Р. Особенности формирования приповерхностной лазерной плазмы в газах повышенного давления/ Теплофизика высоких температур. 1989. №3. С.449-455.

99. Селищев C.B., Смирнов А.Л., Токер Г.Р., Углов A.A. Формирование приповерхностной стелящейся плазмы в газах повышенного давления/ ФХОМ. 1989. №5. С. 97-100.

100. Селищев C.B., Смирнов А.Л., Токер Г.Р., Углов A.A. Формирование оптического пробоя на аэрозоле в газах повышенного давления/ Квантовая электроника. 1989. №3. С.538 540.

101. Uglov A.A., Smurov I. Yu., Smirnov V.P., Smirnov A.L. An effect of nonmonotone spatial distribution of laser irradiation on optimizing laser treatment parameters / Metal Science and Thermal Treatment of Metals. 1989. No. 11. P.9-13.

102. Гнедовец А.Г., Кульбацкий Е.Б., Селищев C.B., Смирнов A.Л., Углов A.A. Динамика фронта конденсации при лазерном восстановлении металлов в газах повышенного давления// ПМТФ. 1990. № 4. С.34-41.131

103. Smurov I., Smirnov A., Ferier A., Flamant G. Surface laser plasma in the processes of laser treatment of materials in high pressure gases/ Proceedings of the 10th International Symposium on Plasma Chemistry // Bochum, Germany. 1991. 1.3-7. P. 1-6.

104. Фоминский В.Ю., Смирнов А.Л., Тимофеев A.A., Марцснюк H.О. Особенности структурообразования метастабильных сплавов Au-Ni при наносекундном лазерном легировании. Сборник научных трудов МИФИ-2001. Т.4.С.173-174.

105. Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Смирнов А.Л., Ковешников A.B. Разлет лазерного факела и осаждение пленок MoSx в буферном газе. Сборник научных трудов МИФИ-2001. Т.4.С. 175-176.

106. Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Смирнов А.Л., Ковешников A.B. Особенности разлета эрозионного факела и формирование пленок MoSx при импульсном лазерном осаждении в буферном газе. Перспективные материалы. 2001. №1. С.82-86.

107. Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Смирнов А.Л. Транспортные процессы и структурообразование метастабильных сплавов Au-Ni при наносекундном лазерном легировании с применением прозрачных слоев. ФХОМ. 2001. №2