Спектрально-временные и структурные свойства многослойных интерференционных систем тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ

Глава I. ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МНОГОСЛОЙНЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ СТРУКТУР.

§1.1. Методы анализа и синтеза многослойных интерференционных структур.4.

§1.2. Одночастотный синтез неотражающих многослойных структур

§1.3. Распределение волновых полей в резонанснослоистых системах.

Глава II. СПЕКТРАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МНОГОСЛОЙНЫХ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ СИСТЕМ

§2.1. Спектральные характеристики многослойных интерференционных поглотителей в окрестности основного резонанса

§2.2. Спектральные характеристики многослойных периодических структур при наклонном падении излучения.

§2.3. Многослойный интерференционный поглотитель на основе высокоотражающей металлической подложки.

§2.4. Многослойный интерференционный поглотитель с тонким слабопоглощающим слоем.

Глава III. СИСТЕМЫ С НАРУШЕННЫМ ПОЛНЫМ ВНУТРЕННИЙ

ОТРАЖЕНИЕМ.

§3.1. Анализ и синтез слоистых структур с нарушенным полным внутренним отражением

§3.2, Слоистые диэлектрические структуры в запредельных металлических волноводах

§3.3. Тонкопленочные электронные интерферометры

Глава 1У. НЕСТАЦИОНАРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СЛОШТЫХ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ СТРУКТУР

§4.1. Методы анализа нестационарных характеристик слоистых систем.

§4.2. Нестационарные характеристики многослойных интерференционных систем резонансного типа

§4.3. Нестационарные характеристики нерезонансных слоистых структур.

§4.4. Экспериментальное исследование нестационарных режимов слоистых структур

Глава У. НЕКОТОРЫЕ ПРИМЕНЕНИЯ РЕЗОНАНСНО-СЛОИСТЫХ

СТРУКТУР В РАДИОФИЗИКЕ И ОПТИКЕ

§5.1. Фотоуправляемые устройства СВЧ

§5.2. Селективные приемники инфракрасных излучений на основе МИП и их применение в ИК-радиометрии.

Область применения многослойных интерференционных систем (МИС) охватывает широкий диапазон электромагнитных волн в радиофизике (от СВЧ до рентгеновских), акустику, физику твердого тела, физику плазмы и др.; явление интерференции волн различной физической природы лежит в основе работы ряда твердотельных и плазменных устройств, систем с электронными потоками и т.п. Широкое применение МИС обусловлено, прежде всего, исключительно большими возможностями формирования их спектральных характеристик, сочетающимися с конструктивной простотой МИС -достаточно подобрать соответствующие материалы слоев, задать их толщину, порядок следования и общее количество слоев в структуре.

Вместе с тем определение указанных параметров многослойных систем, обладающих необходимыми спектральными характеристиками, является сложной задачей, решение которой в общем случае требует привлечения ЭВМ. Принимая во внимание естественную взаимосвязь спектральных характеристик МИС со структурными свойствами последних, решение задачи синтеза в целом ряде случаев можно существенно упростить.

В настоящей диссертации основное внимание уделяется исследованию многослойных структур резонансного типа, на спектральной характеристике которых имеется один или несколько ярко выраженных экстремумов (пропускания Т, поглощения или отражения А ). Благодаря этому свойству резонансные МИС широко применяются в качестве полосовых фильтров, селективных поглощающих и отражающих систем и т.д. В некотором роде они представляют собой своеобразную модификацию интерферометра Фабри-Перо, в качестве зеркал которого используются периодические многослойные структуры или металлические покрытия. Как известно, спектральные характеристики таких систем (в частности, ширина резонансных пиков) определяются отражательной:.способ-ностью зеркал - таким образом, задача формирования необходимых спектральных характеристик системы сводится в основном к анализу и синтезу спектральных характеристик зеркал.

Резонансные свойства МИС связаны с накоплением волновой энергии в системе и, следовательно, с возрастанием амплитуд полей в слоях - их величина в том или ином слое возрастает с увеличением коэффициента отражения подсистем, обрамляющих данный слой. Использование этого свойства является одним из методов увеличения эффективности взаимодействия падающего излучения со слабопоглощающими слоями. В этом случае даже малое изменение волновых параметров слоев приводит к значительному изменению интегральных характеристик слоистой системы - на этом основано действие различного рода устройств, управляющих параметрами волны (амплитудой, частотой или фазой). Включение чувствительного к внешнему воздействию элемента (полупроводниковой вставки, сегнетоэлектрика и т.п.) позволяет существенно уменьшить уровень мощности управляющего сигнала, и поскольку система при этом обладает высокой селективностью к частоте излучения, эти достоинства делают МИС весьма перспективными для использования, например, в интегральной СВЧ-электронике.

С возрастанием полей увеличивается поглощаемая.каждым слоем волновая энергия, а следовательно, и коэффициент поглощения \У системы в целом - это используется в многослойных интерференционных поглотителях (МИП) волновой энергии с тонким слабопоглощающим слоем. Если к резонансному слою примыкает металлическое зеркало, то поглощение в последнем также будет возрастать при увеличении амплитуды стоячей волны в слое, что и происходит в МИП на основе высокоотражающей подложки. Поглощенная энергия может преобразовываться в другие виды (тепловую, энергию возбужденных неравновесных носителей и т.д.) и регистрироваться каким-либо способом - такие детекторы излучений являются селективными устройствами и могут обеспечивать практически полное преобразование волновой энергии в полезный отклик.

Свойства многослойных структур существенно зависят от угла падения волны, так как при этом изменяются френелевские коэффициенты отражения от границ слоев и эффективные оптические толщины. Вследствие этих причин резонансные структуры проявляют ярко выраженное свойство пространственной селекции принимаемых излучений. Зависимость положения резонансных пйков поглощения (в МИП) и пропускания (в фильтрах) от угла падения волны позволяет, кроме того, производить плавную перестройку МИП или фильтров по частоте. Некоторые особенности на спектральных характеристиках структур проявляются вблизи брюстеровских углов падения р-поляризованной волны. Исследование этих и других вопросов также представляет значительный практический интерес.

При достаточно больших углах падения волны на структуру в некоторых слоях могут наблюдаться режимы полного внутреннего отражения. Спектральные характеристики такого рода систем имеют ряд примечательных особенностей: высокая добротность резонансных пиков может быть достигнута при малом.количестве слоев; отсутствуют побочные максимумы пропускания (в случае фильтров) или поглощения (в МИП) в значительно более широкой полосе частот, нежели для систем обычного типа.

В СВЧ-диапазоне слоистые диэлектрические структуры располагаются, как правило, в металлическом волноводе. Однако физические процессы, происходящие в этих и плоскопараллельных неограниченных в поперечном направлении слоистых системах, и их свойства эквивалентны, так как согласно концепции парциальных волн любая волноводная мода может быть представлена в виде суперпозиции плоских волн, наклонно падающих на диэлектрическую слоистую структуру с бесконечными в поперечном направлении размерами. В частности, системами с полным внутренним отражением являются диэлектрические структуры с запредельным режимом работы волновода в отдельных слоях. Они также широко применяются в СВЧ-диапазоне.

Глубокая физическая аналогия наблюдается между проникновением электромагнитных волн через слои с полным внутренним отражением и квантовым туннелированием свободных электронов через потенциальные барьеры. Более того, система из нескольких близко расположенных потенциальных барьеров может проявлять резонансные свойства, обусловленные эффектами резонансного возрастания плотности вероятности нахождения электронов в отдельных слоях. На вольт-амперной характеристике таких систем появляются участки с отрицательным сопротивлением, что может быть использовано (и такие попытки предпринимаются) для создания усилительных и генераторных устройств. Анализ и синтез такого рода электронно-волновых слоистых систем может проводиться на основе методики, разработанной для МИС электромагнитного диапазона; для этого достаточно установить соответствие между характеристическими волновыми параметрами обоих типов систем.

За последнее время в связи с быстрым развитием физики сверхкоротких лазерных импульсов, СВЧ-радиолокации с повышенной разрешающей способностью и т.д. актуальное значение приобретает вопрос о нестационарных характеристиках многослойных интерференционных систем. Естественно, временные свойства МИС однозначно определяются их стационарными спектральными характеристиками, что позволяет использовать методы Фурье-анализа. Однако эти методы, как правило, требуют проведения значительных по объему расчетов на ЭВМ, что усложняет анализ и, тем более, синтез МИС с оптимальными временными характеристиками. Для этого более эффективными оказываются методы исследования нестационарных характеристик непосредственно во временной области.

Отметим, что с целью последовательного изложения материала актуальность и современный уровень развития рассматриваемых проблем более подробно раскрывается в соответствующих главах и параграфах диссертации.

Исходя из вышесказанного, сформулируем основные задачи, рассмотренные в данной диссертации:

1. Проведение анализа интерференционных явлений в электродинамических слоистых структурах, расположенных в свободном пространстве или волноведущей линии, и процессов интерференции электронных волн де-Бройля в слоистых металло-диэлек-трических слоистых структурах. Исследование спектрально-угловых характеристик электродинамических многослойных систем, в том числе систем с полным внутренним отражением, и электрических характеристик металло-диэлектрических структур. Определение волновых полей в слоях МИС.

2. Разработка методов синтеза (как одночастотного, так и в широком спектральном диапазоне) многослойных интерферен-. ционных систем резонансного типа.

3. Разработка методов анализа и исследование нестационарных характеристик многослойных структур резонансного и нерезонансного типа. Синтез структур с оптимальными временными свойствами.

Применение разработанных методов к решению ряда прикладных задач.

Все отмеченные проблемы рассмотрены в настоящей диссертации. Целью исследования являлось проведение теоретического анализа, ЭВМ-моделирования и экспериментального исследования в различных диапазонах электромагнитных волн (инфракрасном, СВЧ и радиодиапазоне) спектрально-временных характеристик многослойных структур, слои которых обладают, вообще говоря, малым поглощением, а внешнее излучение падает под произвольным углом к направлению стратификации структуры.

В ходе диссертационного исследования были предложены и развиты эффективные методы анализа и синтеза многослойных структур, получен ряд новых теоретических и экспериментальных результатов, представляющих научный и практический интерес. На защиту выносятся следующие основные положения:

1. Разработан единый метод анализа интерференционных явлений как в электродинамических слоистых структурах, расположенных в свободном пространстве или волноведущей линии, так и процессов интерференции электронных волн де-Бройля в слоистых металло-диэлектрических структурах.

2. Установлен ряд локальных и интегральных структурных инвариантов многослойных интерференционных систем и разработан метод структурных инвариантов, позволяющий эффективно решать задачи синтеза (как одночастотного, так и в широком спектральном диапазоне) МИС резонансного типа, а также позволяющий простым образом находить распределение волновых полей в резонансно-слоистых системах.

3. Развит рекуррентный метод анализа нестационарных режимов в слоистых структурах, позволяющий эффективным образом исследовать переходные процессы в системах резонансного и нерезонансного типа. Разработан метод заданного распределения поля для анализа и синтеза систем резонансного типа с оптимальными временными свойствами.

Предложены и исследованы волноводные фотоуправляемые амплитудные модуляторы СВЧ-излучения резонансного типа со значительно повышенной эффективностью за счет включения управляющего элемента в резонаноный промежуток многослойного фильтра.

5. Предложены и исследованы многочастотные (гребенчатые) СВЧ-фильтры на основе слоистых диэлектрических структур в запредельном металлическом волноводе.

6. Теоретически и экспериментально решена задача синтеза многоволнового (многоэлементного) многослойного интерференци- ' онного поглотителя инфракрасных волновых излучений на основе единого пироэлектрического детектора и о;»-применением его разработан вариант ИК-радиометра с повышенной (за счет применения вибрационного модулятора) точностью измерений.

7. Теоретически синтезированы согласующие многослойные структуры, обеспечивающие минимальное искажение фронтов импульсов излучений; предложен новый тип структур - формирователей сверхкоротких импульсов.

Материал диссертации содержится в 5 главах, введении, заключении и приложении.

Во введении раскрывается цель исследования, его актуальность и дается краткая характеристика исследуемых проблем.

В 1-й главе изучаются некоторые общие характеристики многослойных интерференционных систем произвольного вида, слои которых могут обладать малым поглощением. Устанавливается взаимосвязь между интегральными характеристиками МИС и ее локальными параметрами, найдены некоторые локальные структурные инварианты МИС. Решается задача одночастотного синтеза резонансных систем и описана эффективная методика расчета распределения полей по слоям структуры.

Во 2-й главе исследуются спектральные характеристики пе- • риодических многослойных структур и многослойных интерференционных поглотителей двух типов в широком спектральном диапазоне при наклонном падении излучения (угол падения вплоть до 5П/2). Определены интегральные структурные инварианты периодических МИС, даются рекомендации по синтезу МИП с подавлением побочных максимумов поглощения.

В' 3-й главе производится обобщение методики анализа слоистых систем на случай систем с нарушенным полным внутренним отражением, в том числе, диэлектрических структур, расположенных б запредельном металлическом волноводе, а также твердотельных тонкопленочных металло-диэлектрических структур с распространяющимися в них электронными волнами де-Бройля. Определяются структурные инварианты для полноотражающих слоев, метод структурных инвариантов полагается в основу синтеза рассматриваемых систем и позволяет достаточно простым путем найти распределения полей в полноотражающих слоях. Исследуются спектральные характеристики периодических диэлектрических структур в запредельном металлическом волноводе с учетом диссипативных потерь в диэлектрике и стенках волновода, рассматриваются вольт-амперные характеристики тонкопленочных электронных интерферометров.

1У глава посвящена исследованию нестационарных режимов в многослойных структурах. Обсуждаются достоинства и недостатки спектрального метода анализа нестационарных характеристик МИС, развивается эффективный рекуррентный метод, с применением которого исследованы характеристики систем резонансного и нерезонансного типа; разработан метод заданного рапреде-ления поля для анализа и синтеза систем резонансного типа с оптимальными временными свойствами. На основе полученных аналитических выражений для амплитуд отраженного и прошедшего через структуру импульса в начальные моменты времени его взаимодействия с МИС решается задача синтеза нерезонансных слоистых систем - согласующих устройств и формирователей сверхкоротких импульсов.

В У главе обсуждаются некоторые прикладные задачи, связанные с применением периодических многослойных структур: исследуются фотоуправляемые резонансные СВЧ-устройства; описывается экспериментальная методика синтеза многоэлементных пироэлектрических МИП и обсуждаются некоторые вопросы их применения в ИК-радиометрии.

В заключении подводятся итоги исследований и формулируются рекомендации по применению полученных результатов и разработанных методик.

В приложение вынесено доказательство существования интегральных структурных инвариантов периодических многослойных структур общего вида и приводятся явные выражения для некоторых из них.

В список цитированной литературы включено 137 работ советских и зарубежных авторов.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В настоящей работе проведено комплексное теоретическое и экспериментальное исследование спектральных и временных характеристик многослойных интерференционных структур резонансного и нерезонансного типа при наличии и отсутствии режимов полного внутреннего отражения, на основе взаимосвязи указанных характеристик со структурными свойствами слоистых систем предложены и разработаны эффективные методы их анализа и синтеза.

1. Разработана единая методика анализа интерференционных явлений как в электродинамических слоистых структурах, расположенных в свободном пространстве, так и процессов интерференции электронных волн де-Бройля в слоистых металло-диэлектри-ческих твердотельных структурах.

2. Установлен ряд локальных структурных инвариантов для преломляющих и полноотражающих слоев структур. На их основе разработан метод одночастотного синтеза неотражающих МИС, предложен простой и эффективный способ нахождения распределения волновых полей в слоях резонансных слоистых структур.

3. Определены интегральные структурные инварианты периодических многослойных интерференционных структур и даны рекомендации по применению их для синтеза резонансных систем с подавленными побочными спектральными максимумами.

Моделированием на ЭВМ исследованы спектральные характеристики периодических многослойных структур и многослойных интерференционных поглотителей волновой энергии в широком спек--тральном диапазоне и при наклонном падении излучения (угол падения волны вплоть до 71 /2). Показано, что резонансные структуры обладают высокой пространственной селекцией падающих на них излучений за счет смещения главного (резонансного) максимума по спектру при изменении угла падения 60 излучения, при этом до значений углов б0€ 5с/4 различием между характеристиками систем для 5- и р-поляризаций волны можно пренебречь. При больших углах падения на характеристиках для р-поляризации появляются особенности, обусловленные брюсте-робскими режимами.

5. Теоретически и экспериментально исследованы спектральные характеристики диэлектрических структур в запредельном металлическом волноводе. Даны рекомендации по синтезу такого рода систем со спектральными характеристиками типа многочастотного (гребенчатого) фильтра.

6. С применением матричной методики анализа интерференционных явлений в слоистых структурах разработан простой алгоритм расчета электрических характеристик тонкопленочных электронных интерферометров. Проведено теоретическое исследование характеристик конкретных структур.

7. Развит эффективный рекуррентный метод анализа нестационарных режимов в слоистых структурах, с помощью которого исследованы переходные процессы в системах резонансного и нерезонансного типа, выявлен ряд особенностей на нестационарных характеристиках МИС, наблюдающихся в моменты включения и выключения внешнего возбуждения системы (начала и конца падающего импульса излучения). Разработан метод заданного распределения поля для анализа и синтеза систем резонансного типа с оптимальными временными свойствами. Решена задача синтеза нерезонансных систем специального вида - согласующих устройств с минимальным искажением фронтов импульсов и формирователей сверхкоротких импульсов.

Создана экспериментальная установка для исследования нестационарных режимов в МИС, на которой в диапазоне 30 МГц исследованы характеристики периодических слоистых структур и подтверждены теоретически ожидаемые результаты.

8. Теоретически (с применением развитых методик) и экспериментально исследованы волноводные фотоуправляемые амплитудные модуляторы СВЧ-излучения нерезонансного и резонансного типа. Даны рекомендации по их синтезу и практическому применению.

9. Теоретически и экспериментально в инфракрасном диапазоне исследованы многоволновые (многоэлементные) многослойные интерференционные поглотители (МИП) на основе пироэлектрических детекторов. Показано, что изменением хода технологического процесса изготовления МИП и варьированием числа диэлектрических пленок в многослойной структуре можно экспериментально, синтезировать МИП с добротностью 10 - 100 и малыми побочными максимумами поглощения (не более 0,1\У/пах чувствительность ИК-приемников с применением МИП такого рода достигает уровня БГ8 г ИГ9 Вт/Гц1/2.

С применением двухэлементного МИП и разработанного нами вибрационного модулятора ИК-излучения создан макет малогабаритного и экономичного ИК-радиометра с повышенной точностью измерений.

В заключение считаю своим приятным долгом выразить глубокую благодарность моему научному руководителю кандидату физ,-мат. наук старшему научному сотруднику Ю.А.Пирогову за общее руководство работой, постоянное внимание и помощь при проведении всех научных исследований, за ценные советы и замечания при анализе полученных результатов; кандидату физ.-мат. наук младшему научному сотруднику В.С.Колесникову и инженеру В.В.Гладуну за плодотворное творческое участие в совместной деятельности; аспиранту В.В.Борщевскому за дружеское внимание и полезные консультации по энспериментальной части работы; студентам кафедры, принимавшим участие в работе.

Хочется выразить большую признательность всем сотрудникам кафедры радиофизики СВЧ, которые содействовали успешному проведению намеченных исследований.

1. Бриллюэн Л., Пароди М. Распространение волн в периодических структурах. - М.: Изд-во иностр. литературы, 1959, 460с.

2. Abeles 1?. Ann. de Physique, Paris, 1950,

3. Борн M., Вольф Э. Основы оптики. M.: Наука, 1970, 856 с.

4. Бернинг П.Х. Теория и методы расчета оптических свойств тонких пленок. В сб.: Физика тонких пленок, т.1 (под ред. Г.Хасса). - М.: Мир, 1967, е.91-151.

5. Розенберг Г.В. Оптика тонкослойных покрытий. М.: ГИТТЛ, 1958, 572 с.

6. Демьянов В.В. К теории прохождения электромагнитных волн через диэлектрические слои. Радиотехн. и электроника, 1976, т.21, №4, с.850-853.

7. Демьянов В.В. К теории прохождения электромагнитных волн через диэлектрические слои (II экспериментальная часть).-Радиотехн. и электроника, 1976, т.21, №11, с.2401-2405.

8. Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М.: Наука, 1973, 344 с.

9. Козарь А.В., Колесников B.C., Пирогов Ю.А. О применении метода импедансных характеристик для анализа распространения волн в многослойных структурах с поглощением. Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1978, т. 19, К22, с.76-83.

10. Гребенщиков И.В., Власов А.Г., Непорент B.C., Суйков-ская Н.В. Просветление оптики. М.: Гостехиздат, 1946, 212 с.

11. Smith S.D. Disign of millimeter filters by considering two effective interfaces. Journ. of the Opt. Soc. of Amer., 1958, v.48, N1, p.43-50.

12. Topical Meetings of tke Optical Society of America (24-26 febr. 1976). Abstracts of papers on optical interference coatings. Journ. of the O.S. of Amer., 1976, v.66, N2, p.160.

13. Баскаков A.H. Исследование многослойных интерференционных поглотителей коротковолновых электромагнитных излучений. Кандидатская диссертация. М.: МГУ, 1979.

14. Тихонравов A.B. О синтезе многослойных оптических систем. Кандидатская диссертация. М.: МГУ, 1973.

15. Виноградов C.B., Пирогов Ю.А. Структурные инварианты слоистых интерференционных систем. Препр. физич. ф-та МГУ, №17, 1983 г., 5 с.

16. Пирогов Ю.А., Тихонравов A.B. Многослойный интерференционный поглотитель с произвольной толщиной рабочего слоя.-Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1978, т.19, №6, с.42-48.

17. Пирогов Ю.А., Тихонравов A.B. Многослойный интерференционный поглотитель с учетом потерь в нерабочих слоях. -ЖТФ, 1980, т.50, в.4, с.673-679.

18. Лебедев И.В. Техника и приборы СВЧ. М.: Высшая школа, 1970, T.I, 440 с.

19. Клепиков Й.Н., Колесников B.C., Пирогов Ю.А., Хапин Ю.Б. Вопросы построения входных устройств спектральных радиометрических систем. Препринт ИКИ АН СССР, №692, 1982 г.,54 с.

20. Ахапкин Г.И. Исследование селективных способов приема инфракрасных излучений. Кандидатская диссертация. М.: МГУ, 1982, 150 с.

21. Баскаков А.Н., Козарь A.B., Колесников B.C., Пирогов Ю.А., Тихонравов A.B. Резонансные эффекты полного интерференционного поглощения волновой энергии в тонких слабопоглощающих слоях. Письма в ЖТФ, 1976, т.2, №19, с.891-893.

22. Пирогов Ю.А., Тихонравов А.Б. Резонансное поглощение волновой энергии в несимметричных многослойных структурах. -Изв. вузов, радиоэлектр., 1978, т.21, №3, с.15-20.

23. Park К,С. The extreme values of reflectivity and the conditions for zero reflection from thin dielectric films onmetal. Appl. Opt., 1964, v.5, N7, p.877-881.

24. Лукьянец В.Г. Согласование поглощающей среды со свободным пространством с помощью диэлектрического слоя. Изв. вузов, радиоэлектр., 1980, т.23, №9, с.83-85.

25. Арсаев И.Е. К вопросу о малоотражающих тонких покрытиях. Труды Моск. энерг. ин-та, 1974, вып.194, с.76-80.

26. Farrer W.A., Kruse P.W., Sour W.D. Improvements in infrared detector performance through use of antireflection film. Journ.Opt.Soc.Amer., 1961, v.51, N1, p.115.

27. Wood M.A. Tunable low-reflection waveguide termination. Electr. Letts., 1982, v.18, N4, p.174-175.

28. Колесников B.C., Кулик O.B., Пирогов Ю.А. Согласование проводящего слоя произвольной толщины в задачах диагностики свойств вещества. Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1979, т.20, №2, с.65-68.

29. Колесников B.C., Пирогов Ю.А. Оптимальные условия эффективной генерации второй гармоники в тонкослойном внешнем резонаторе. Письма в ЖТФ, 1978, т.4, в.6, с.321-325.

30. Laser induced damage in optical materials. Proc. Symp., Boulder, Colo, 1980. - U.S. Dep. Commer. Nat. Bur. Stand. Spec. Publ., 1981, N620.

31. Веремей В.В., Минков И.М. Распределение интенсивности света внутри диэлектрического зеркала.- Оптика и спектр., 1972, т.33, №6, с.1175-1178.

32. Sparks M., Flannery M. Simplified description of multilayer dielectric reflectors. Journ.Opt.Soc.Amer., 1979* v.69, N7, p.993-Ю06.

33. Баскаков A.H., Корниенко Л.С. О распределении напряженности поля и энергии стоячей волны внутри диэлектрического зеркала в широкой области спектра. Квант, электроника, 1980, т.7, Кз9, с.2009-2011.

34. Joseph H.Apfel. Electric fields in multilayers at oblique incidence. Appl. Opt., 1976, v.15, N10, p.2339-2343.

35. Козарь А.В., Колесников B.C., Пирогов Ю.А. Распределение напряженности электрического поля в многослойных структурах резонансного типа. Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1978, т.19, Щ, с.78-86.

36. Виноградов С.В., Пирогов Ю.А. Расчет распределения напряженности электрического поля в многослойных системах резонансного типа. Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1983, т.24, №4, с.50-52.

37. Алексеев Ю.К., Пирогов Ю.А. Коэффициенты отражения и прохождения гауссовой волны, падающей на плоскослоистую среду.-ЖТФ, 1983, т.53, в.4, с.616-619.

38. Pidgeon C.R., Smith S.D. Resolving power of multilayer filters in nonparallel light. Journ.Opt.Soc.Amer., 1964,v.54, N12, p.1459-1466.

39. Клементьева А.Ю., Тихонравов А.В. Исследование амплитуды о-фазовых характеристик диэлектрических зеркал с учетом поглощения в слоях. Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1978, т.19, №3, с.75-81.

40. Тихонравов A.B. Многослойные диэлектрические зеркала при наклонном падении света. Оптика и спектр., 1983, т.54, в.2, с.366-371.

41. Баскаков А.Н.,.Тихонравов A.B. Свойства многослойного интерференционного поглотителя при наклонном падении излучения.-Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1983, т.24, №1, с.8-11.

42. Антонов В.В., Войцеховский A.B., Дунаевский Г.Е., Петров A.C. Исследование примесного фоторезистора в интерферометре, настроенном на длину волны принимаемого излучения. -Радиотехн. и электроника, 1978, т.23, 110, с.2189-2193.

43. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л«: Машиностроение, 1973, 224 с.

44. Королев Ф.А., Клементьева А.Ю. Об угловых свойствах интерференционных многослойных зеркал и их применении. -Вестн. Моск. ун-та, сер.З, 1980, т.21, №5, с.42-49.

45. Виноградов C.B., Пирогов Ю.А. Спектральные характеристики многослойных интерференционных поглотителей при наклонном падении излучения. Депонир. в ВИНИТИ, №2394-83Деп., 1983, 21 с.

46. Абелес Ф. Оптические свойства металлических пленок. -В сб.: Физика тонких пленок, т.6 (под ред. М.Х.Франкомба, Р.У. Гофмана). М.: Мир, 1977, с.171-227.

47. Иогансен Л.В. Резонансная дифракция волн в слоисто-неоднородных средах. ЖЭТФ, 1961, т.40, в.б, с.1838-1843.

48. Кард П.Г. Анализ и синтез многослойных интерференционных пленок. Таллин: Валгус, 1971, 236 с.

49. Малов В.В., Иогансен Л.В. Пространственно-ограниченный многослойный фильтр нарушенного полного внутреннего отражения. Оптика и спектр., 1980, т.48, в.1, с.146-154.

50. Иогансен Л.В., Малов В.В., Славнова С.С. Пространственно- ограниченный анизотропный фильтр нарушенного полного внутреннего отражения. Оптика и спектр., 1980, т.48, в.2, с.382-389.

51. Пегов A.A., Завьялов A.C., Лавров В.И. Полосовые фильтры на основе слоистых структур. Изв. вузов, физика, 1974,т.17, №8, с.36-39.

52. Клепиков И.Н., Колесников B.C., Кузьмичев В.К., Пирогов Ю.А., Хапин Ю.Б. Полосовые фильтры на основе многослойных диэлектрических структур. Радиотехника, 1983, №5, с.59-62.

53. Бабе Г.Д., Гусев Е.Л. Оптимизация многослойных структур при прохождении волн. Доклады АН СССР, 1983, т.268,6, с.1354-1358.

54. Виноградов С.В., Колесников B.C. Многослойные интерференционные системы в СВЧ-волноводах. Тезисы докладов Всесоюзного научного семинара "Методы синтеза и применение многослойных интерференционных систем". - Москва, 1984, c.III-112.

55. Виноградова М.Б., Руденко О.В., Сухоруков А.П. Теория .волн. М.: Наука, 1979, 384 с.

56. Graven G. Slimguide microwave components. Electr. Commun., 1972, v.47, N4, p.245-258.

57. Кириллова JI.Г., Двоскина Ю.И. СВЧ-устройства на запредельных волноводах. Заруб, радиоэлектроника, 1974, ЮЗ, с.93-120.

58. Капилевич Б.Ю. Диэлектрические фильтры СВЧ-диапазона.-Заруб. радиоэлектроника, 1980, N55, с.60-78.

59. Капилевич Б.Ю. Волноводные диэлектрические фильтры. -М.: Связь, 1980, 136 с.

60. Германов В.А. и др. Использование миниатюрных волноводов в трактах СВЧ. Физика ферритов: Электрические и магнитные явления. - Куйбышев, 1982, с.29-36.

61. Афромеев В.И., Афромеева И.А., Трухачев А.В. Интегральные устройства СВЧ на базе запредельного волновода. -Тезисы докладов X Всесоюзной конференции по электронике СВЧ.1. Минск, 1983, т.2, с.93.

62. Виноградов С.В., Пирогов Ю.А. Многоволновые фильтры на основе слоистых структур в запредельном волноводе. Депо-нир. в ВИНИТИ АН СССР, 1983, й2393-83Деп., 14 с.

63. Мигулин В.В., Медведев В.И., Мустель Е.Р., Парыгин В.Н. Основы теории колебаний. М.: Наука, 1978, 392 с.

64. Будурис Я., Шеванье П. Цепи сверхвысоких частот. -М.: Сов. радио, 1979, 288 с.

65. Davis R.K«,- Hosack H.H. Double barrier in thin-film triodes. Journ. Appl. Pbys., 1963, v.34, N4 (part 1),p.864-866.

66. Kirk С.T. Solid State Res. Mass. Inst. Teohnol., 1963, v. 62, N1, p.

67. Иогансен Л.В. О резонансном туннелировании электронов в кристаллах. ЖЭТФ, 1964, т.47, в.1, с.270-277.

68. Иогансен JI.B. Тонкопленочные электронные интерферометры. Успехи физич. наук, 1965, т.86, в.1, с.175-179.

69. Sadao Takabe, Kanji Yasui, Shigeo Kaneda. Negative resistance in a triple-barrier structure of Al-Al^O^ . -Appl.Phys.Letts., 1977, 31, Юз Р»636-637.

70. Алексанян А.Г., Беленов Э.М., Полуэктов И.Л., Рома-ненко В.И., Усков A.B. О возможности создания перестраиваемого по частоте генератора на основе системы переходов металл-барьер-металл-барьер-металл. -Квантовая электроника, 1981,т.8, №5, с.1069-1072.

71. Алексанян А.Г., Беленов Э.М., Компанец И.Н. и др. Отрицательное сопротивление в многослойных структурах металл-барьер-металл. Препринт ФИАН, №132, 1981, 16 с.

72. Алексанян А.Г., Беленов Э.М., Компанец И.Н. и др. Исследование структур металл-барьер-металл-барьер-металл. -ЖЭТФ, 1982, т.83, №4, с.1389-1397.

73. Hupert I.I., Gary 0. Electromagnetic analog of the quantum mechanical tunnel effect. Amer. Journal of Phys., 1966, v.J4, NJ,p.260-265.

74. Hupert I.I. Evanescent mode guide filter and tunnel-effect analogy. ГШ2 Trans., 1968, v.CT-15, N5, p.279-280.

75. Hupert I.I. Circuit model of the quantum-mechanical tunnel effect. IRE Trans., 1967, v.CT-9, N4, p.425-427.

76. Виноградов С.В., Пирогов Ю.А. Анализ тонкопленочных электронных интерференционных структур. Тезисы докладов Всесоюзного научного семинара "Методы синтеза и применение многослойных интерференционных систем". - Москва, 1984, с.105.

77. Wassel G.N. Multiple reflections on pulse signal transmission lines model for computer solution. - IEEE Trans., 1964, v.EG-16, N2, p.195-202.

78. Horna 0. Anthony. Pulse reflections in transmission lines. IEEE Trans., 1971, v.C-20, N12, p.1558-1565»

79. Boerner Wolfgang M., Antar Xahia M. Aspects of electromagnetic pulse scattering from a grounded dielectric slab. -AEU, 1972, v.26, N1, p.14-21.

80. Suzuki Т., Ogava F., Fujioka H. Reflection of a pulse by multiple dielectric layers. Opt. and Quant. Electron., 1975, v.7, N1, p.47-57.

81. Бова H.T., Толстиков Ю.В. Нестационарные волновые процессы в системах с многократными отражениями. Изв. вузов,радиоэлектр., 1972, т.15, №10, с.1253-1262.

82. Сверхкороткие импульсы света (под ред. С.Шапиро). -М.: Мир, 198I, 480 с.

83. Данелюс Р., Пискарскас А., Сируткайтис В. Пикосекунд-ные параметрические генераторы света и их применения в абсорбционной спектроскопии. Квант, эл-ка, 1982, т.9, №12, с.-24-91.

84. Shank C.V., Pork R.L., Yen R., Stolen R.H., Tomlinson W.J. Compression of femtosecond optical pulses. Appl. Phys. Letts., 1982, v.40, N9, p.761-76?.

85. Dietel W., Fontain J.J., Diels J.C. Intracavity pulse compression with glass: a new method of generating pulses shorter than 60 fsec. Opt. Letts., 1983, v.8, N1, p.4-6.

86. Horton James A. Laser pulse shaping.- Патент США №4288691.

87. Виноградов С.В., Екжанов А.Е., Пирогов Ю.А. Рекуррентный метод анализа нестационарных характеристик многослойных систем. Вестник моек, ун-та, сер. физика-астрономия, 1984,т.25, №3, с.62-64.

88. Mourou G., Stancampiano C.V., Blumental D. Picosecond microwave pulse generation. Appl. Phys. Letts., 1981, v.38, N6, p.470-471.

89. Беннет К.Л. Численное решение нестационарных задач электромагнитной дифракции. В кн.: Численные методы теории дифракции (под ред. Боровикова В.А.). - М.:Мир, 1982, с.47-78.

90. Харкевич А.А. Основы радиотехники. М.: Гос. изд-во лит. по вопр. св. и радио, 1962, 560 с.

91. Харкевич А.А. Спектры и анализ. М.: Гос. изд-во техн.-теор. лит-ры, 1957, 236 с.

92. Бова Н.Т., Толстиков Ю.В. Применение метода многократных отражений к расчету узлов СВЧ диапазона с помощью электронных вычислительных машин. Изв. вузов, радиоэлектр., 1970,т.13, №11, с.1297-1304.

93. Глебович Г.В., Ковалев И.П. Широкополосные линии передачи импульсных сигналов. М.: Сов. радио, 1973, 223 с.

94. Колик Л.В., Раевский И.М. Простой формирователь радиоимпульсов. ПТЭ, 1981, йб, c.III-II2.

95. Бова Н.Т., Стукало П.А., Храмов В.А. Управляющие устройства СВЧ. Киев: Техника, 1973, 164 с.

96. Johnson A.M., AustonD.H. Microwave switching Ъу picosecond photoconductivity. IEEE Journ. of Quant. Electr., 1975, QE-11, p.283-287.

97. Piatt W., Appehans G. Optoelectronic gating of microwave signals using a silicon microstrip shunt modulator. -Electr. Letts., 1976, v.12, N11, p.270-271.

98. Platte W. High-speed optoelectronic switching in s silicon gap-shunt microstrip structures. Electr. Letts., 1976, v.12, N17, p.437-438.

99. Castaque R., Laval S., Laval R. Picosecond 1-wave-lenght optoelectronic gate. Electr. Letts., 1976, v.12, N17, p.438-439.

100. Козарь А.В., Пирогов Ю.А. Фоторезисторные СВЧ-элемен-ты микрополосковых волноводов ММВ-диапазона волн. II Всесоюзный симпоз. по мм и субмм волнам: Тезисы докладов. - Харьков, 1978, т.1, C.III-II2.

101. Солганик Б.Д., Невгасимый А.Ф., Скорик Е.Т. Оптоэлек-тронные СВЧ управляющие устройства. Изв. вузов, радиоэлектр., 1978, т.21, {¿12, с.88-91.

102. Усанов Д.А., Вагарин Ю.А., Вениг С.Б. Полупроводниковые волноводные модуляторы СВЧ-излучения. Электр, техника, сер.1, Электр. СВЧ, 1980, в.9, с.56-57.

103. Мериакри В.В., Мурмужев Б.А., Ушаткин Е.Ф. Влияние освещенности на затухание волн в диэлектрическом полосковом волноводе из фотопроводящего германия. ЖТФ, 1981, т.51,в.II, с.2395-2396.

104. Li M.G., Cao Vv.L., Mathur V.X., Lee С.Н. Wide bandwidth high-repetition rate optoelectronic modulation of millimeter waves in GaAs waveguide. Electr. Letters, 1982, v.18, p.454-456.

105. Ogusu K. New dielectric waveguide structure for millimeter-wave optical-control. Electr. Letters, 1983, v.19, U7, p.253-255.

106. Vaucher A.M., Striffler C.D., Lee C.H. Theory of optically controlled millimeter-wave phase shifters. IEEE Trans, on MTT, 1983, v.MTT-31, N2, p.209-216.

107. Weidner G.G., Levin B.J. A distributed PIN-diode phaser for millimeter wavelengths. The Microwave ¿journal, 1973, v.16, N11, p.42-44,70.

108. Виноградов С.В., Гладун В.В., Колесников B.C., Пирогов Ю.А. Резонансные фотоуправляемые СВЧ-устройства. X Всесоюз. науч. конф. по электронике СВЧ: Тезисы докладов. - Минск, 1983, т.2, с.303-304.

109. Вавилов B.C. Действие излучений на полупроводники. -М.: ГЙФМЛ, 1963, 264 с.

110. Иоффе А.Ф. Полупроводники в современной физике. -М.-Л.: АН СССР, 1954, 356 с.

111. Hammond C.R., Stanley C.R. Non-linear photoconductive response of room temperature InSb to high intensity 5,3 Jdmradiation. Optoelectronics, 1973> v.5, N3, p.249-254.

112. Моаттаза Абд эль Хамид Хенди. Метод смещения стоячейволны в СВЧ-диагностике неоднородных сред. Кандидатская диссертация. М.: МГУ, 1982, 151 с.

113. Кременчугский Л.С. Пироэлектрические приемники излучения (обзор). ПТЭ, 1976, №3, с.7-23.

114. Liu S.T., Long D. Pyroelectric detectors and materials.-Proc. of the IEEE, 1978, v.66, N1, p.14-26.

115. Виноградов С.В., Пирогов Ю.А. Пироэлектрический приемник субмиллиметровых волн, согласованный в широкой полосе частот. 2 Всесоюзный симпоз. по мм и субмм волнам: Тезисы докладов. - Харьков, 1978, т.1, с.ПЗ-114.

116. Logan R.M., Moore К. Calculations of temperature distribution and temperature noise in a pyroelectric detector.-1. Gas-filled tube. Infr. Physics, 1973, v.13, N1, p.37-47.

117. Берндт К.Г. Методы контроля и измерения толщины пленок и способы получения пленок, однородных по толщине. В Кн.: Физика тонких пленок, т.З (под ред. Г.Хасса и Р.Э.Туна).1. М.: Мир, 1968, с.7-50.

118. Инфракрасные методы в космических исследованиях (Сб. под ред. В.Манно и Дж.Ринга). М.: Мир, 1977, 384 с.

119. Вечкасов И.А., Крушнин Н.А., Поляков А.И., Резинкин В.Ф. Приборы и методы анализа в ближней инфракрасной области.-М.: Химия, 1977, 280 с.

120. Ehrfeld W., Kring С. A far-infrared gas analyser. -III submillimeter waves and theirs applications (Conference). -London, 1978.

121. McAlister E.D, Infrared-optical techniques applied to oceanography. Appl. Opt., 1964-, v.3, р.609-Ь12.

122. Красавцев B.M., Синков А.А. „Радиометрическая установка для измерения вертикального градиента температуры в поверхностном слое воды. Труды ГГО, в.275, 1972.

123. Игнатов А.В., Бергин А.Б. Селективный усилитель с синхронным интегратором. ПТЭ, 1973, М, с.118-120.

124. Скорохватов Н.А. Натурные исследования эффективного излучения и температуры поверхности моря. Кандидатская диссертация. М.: МГУ, 1977.

125. Пирогов Ю.А. Вибрационные модуляторы для приемников инфракрасных и субмиллиметровых волн. 2 Всесоюзн. симпоз. по мм и субмм волнам: Тезисы докладов. - Харьков, 1978, т.2, с.192.

126. Козлов Б. Составные транзисторы. Радио, 1974, №1, с.34-37.

127. Шестов Н.С. Выделение оптических сигналов на фоне случайных помех. М.: Сов. радио, 1967, 374 с.

128. Виноградов С.В., Екжанов А.Е. Нестационарные процессы в многослойных интерференционных системах. Тезисы докладов Всесоюзного научного семинара "Методы синтеза и применение многослойных интерференционных систем". - Москва, 1984, с.39-40.

129. Виноградов С.В., Пирогов Ю.А. Анализ и синтез многослойных интерференционных систем методом структурных инвариантов. Тезисы докладов Всесоюзного научного семинара "Методы синтеза и применение МИС". - Москва, 1984, с.37-38.