Динамика излучения многоэлементных фазированных инжекционных лазеров тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА, ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ И ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ им. М. В. ЛОМОНОСОВА

Физический факультет

На правах рукописи

УДК 537.862:621.373.826

ВИНОГРАДОВ Имант Имантович

ДИНАМИКА ИЗЛУЧЕНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ФАЗИРОВАННЫХ ИНЖЕКЦИОННЫХ ЛАЗЕРОВ

01.04.03 — радиофизика

Автореферат

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

, Москва —1991

Работа выполнена на кафедре физики колебания физического факультета МГУ.

Научный руководитель: доктор физико-математических наук,

проф. Логгшюв A.C.

Официальные оппоненты: доктор физшю-ыатематических наук,

проф. Елисеев П.Г. i

i

кандидат физико-математических наук Семенов A.C.

Ведущая организация: Московский юшжерно-физическия

институт.

Защита состоится " УОЙ^ир^Ук 1991 г. в ~~ часов на заседании специализированного совета К 053.05.92 физического факультета МГУ по адресу:

119899, Москва, Ленинские горы, физический факультет МГУ им. М.В.Ломоносова, ауд.р^

С диссертацией моено ознакомиться в библиотеке физического факультете МГУ.

)

Автореферат разослан " _1991 г.

Ученый секретарь специализированного совета, < ¿f^^v ^ кандидат физико-математических наук Лебедева И.В.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Диссертационная работа посвящен; экспериментальному исследованию динамических характеристик излучения многоэлементных инфекционных лазеров (ИЛ) различных конструкций, раз-личавдихся числом активных элементов и способами их взаимной синхронизации. Тема диссертации связана с выполнением на кафедре научно-исследовательских работ по теме "Исследование Оыстропротекавдих процессов в приборах и материалах твердотельной электроники", а также ряда хоздоговорных работ, совместных с НПО "Полис".

Актуальность теш. Интерес к изучению многоэлементных фазированных инжекционны. лазеров (МФИЛ) (рис. I) обусловлен возможностью создания на их основе экономичных мощных остронаправленных излучателей, перспективных для таких приложения, как локация и оптическая связь, голография, накачка твердотельных лазеров, ИК спектроскопия и т.д. Постоянное совершенствование технологии изготовления полупроводниковых ыкогоэле-ментных лазерных структур стимулирует изучение физических принципов их работы, презде всего, поиска возможности установления устойчивой синфазной генерации излучателей, формирующей остронаправленный пучок излучения. Поэтому детальное изучение процессов- установления генерации и динамических характеристик МИЛ представляет несомненный научный и практический интерес.

Цель и задачи работы.

1. Разработка радиофизических методов комплексного исследования динамических характеристик излучения МШГ.

2. Детальное экспериментальное изучение динамики излуче-

ния МФНЛ различных конструкций и их базовых элементов.

3. Оценка на основе полученных результатов свойств полупроводниковых гетероструктур и выработка рекомендаций по их дальнейшему совершенствованию.

Научная новизна.

1. На основе электронно-оптической хронографии, спектроскопии ближнего ИК диапазона разработаны специальные методы регистрации разрешенных во времени (до Ю-11 с) пространственных и спектральных распределений интенсивности излучения применительно к наблюдении многоэлементных ШТ.

2. Исследована динамика многоканального режима импульсной генерации ШГ с широким контактом в условиях присутствия технологической неоднородности активного слоя, характерной для структур, изготовленных методом жидкофазной эпьтаксии (ЖФЭ) в системе АЮаАз/СаАз. Исследован способ улучшения динамических спектральных характеристик отдельного канала генерации (одноэлементного Ш1) на основе использования боковой изоляции за счет встречных р-п переходов .

3. Проведено комплексное экспериментальное исследование динамики излучения различных типов А1СаАз/СаАз МФИЛ на основе ШЭ в условиях прямой импульсной токовой модуляции с целью анализа возможностей контроля модового состава излучения. Рассмотрена возможность реализации синфазного режима генерации МФИЛ как в волноводных структурах с параллельным расположением однородных по оси резонатора излучателей, так и на основе более сложных структур, в частности, использующих симметричные У-разветвители для связи излучателей (У-лазеры).

Практическая ценность работы заключается в том, что разработанные методы исследования и полученные результаты

могут быть использованы при создании новых структур МФИЛ, обладающих близкой к дифракционному пределу расходимостью излучения при высоких уровнях оптическ я мощности, а также служить основой методов оценки их динамических характеристик.

На защиту выносятся следующие основные положения:

1. Создан радиофизический исследовательский комплекс для изучения динамических характеристик излучения ИЛ, позволяющий на основе метода электронно-оптической хронографии и спектральных методов регистрировать статические и динамические характеристики излучения с временным- разрешением * Ю-11 с, пространственным ~ 0,75 мкм, спектральным ~ 0,13 А.

2. Модифицированы традиционные методики регистрации динамических характерно лк излучения применительно к наблюдению многоэлементных Ю1 на основе возможности одновременного наблюдения распределений интенсивности излучения с двух зеркал резонатора, а также способа регистрации пространственно разрешенных спектрохронограмм излучения, позволяющего наблюдать мгновенную пространственную структуру каждой генерируемой моды МФИЛ при непрерывной развертке во времени его спектра излучения.

3. Особенности нерегулярного многоканального многомодо-вого режима генерации инфекционных лазеров с широким контактом на основе ЖФЭ не позволяют реализовать стационарный режим генерации, а также, формировать остронаправленную диаграмму направленности (ДН) излучения без введения в их. структуру специальных методов контроля генерации в каналах. С другой стороны, формирование оптического ограничения для отдельного канала генерации (полоскового ИЛ) позволило удержать одномо-довую генерацию при прямой модуляции мощности излучения со

скоростью до I ГСит/с в широком диапазоне токов накачки.

4. Реализация синфазного режима генерации ШЩ и достижение дифракционного предела расходимости излучения требует использования волноводных структур с более слшноя геометрией по сравнении с параллельным расположением однородных по оси резонатора излучателей, в частности, положительный результат дает использование в качестве элементов, связуицих излучатели, симметричных У-разветвителей.

5. Наблюдение разрешенных во времени пространственноя и спектральной структур излучения позволило детально изучить причины'невозможности реализации остронаправленной генерации МФИЛ с параллельными однородными волноводами, одномодовоя стационарной генерации ряда структур с разветвленной геометрией волновода; определить причины ухудшения при высоких уровнях накачки присущей У-лазераы селективности синфазного типа колебаний, в результате чего происходило уширение ДН в плоскости гетероперехода с 2е до 40".

Личный вклад автора заключается в совершенствовании экспериментальной методами и исследовании методом электронно-оптической хронограф™ процессов установления рекима генерации связанных излучателей и динамических характеристик различных структур многоэлементных ИЛ.

Апробация работы. Основные результаты диссертации докладывались на научных семинара кафедры физики колебаний физического факультета МГУ, МИФИ, ФИАН, а также на мездународноп, республиканской конференциях, конференции МГУ "Ломоносовские чтения".

Публикации. Основные результаты диссертационной работы опубликованы в 8 печатных работах, список которых приводится

в конце автореферата.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четыре:: глав, заключения и спис_.а цитируемой литературы, содержит 192 страниц, включая 69 рисунков и список литературы из 153 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность исследования динамических характеристик излучения МФИЛ, показана научная новизна и практическая ценность этих исследований. Сформулированы основные цели работы.

Первая глава содержи'*, литературный обзор возможностей создания мощных остронаправленных излучателей на базе ИЛ. Отмечены препятствия, возникающие при решении данной задачи с использованием ИЛ со сплошным широким контактом (рис. 1а). Наиболее распространенный метод изготовления гетероструктур -ШЭ не позволяет в достаточной мере избавиться от влияния технологических иеоднородностей параметров активной области шириной в десятки и сотни микрон, в частности, неоднородности ее показателя преломления. Другую проблему представляет само-фокусировочная неустойчивость, выражающаяся в самоиндуцирова-нш множества нерегулярно взаимодействующих друг с другом каналов (нитей) генерации излучения, существенно усложняющих пространственную, спектральную и временную структуру излучения (рис. 2). Частичное решение этих проблем возможно на 'основе более совершенных технологий при вырашватга слоев гетероструктур из газовой фазы или с использованием молеку-."фных пучков.

- е -

Дан обзор способов реализации синфазного режима генерации МФИЛ (рис. 1б) и получения узкой (в плоскости гетероперехода) одаолепестковой ДН излучения. Определение наилучших условий для этого требует учета специфической модовой структуры излучения, устанавливающейся при взаимодействии излучателей. Приведены основные теоретические положения, позволяющие адекватно ее анализировать. Теория связанных мод дает возможность получить некоторые представления о результатах синхронизации излучателей, в частности, о спектральном расщеплении, о так называемых супермодах, но не позволяет точно описать многие экспериментальные факты. Более строгий подход представлен в самосогласованной модели, учитывающей локальное взаимодействие поля и активной среда. Учет динамических характеристик на основе скоростных уравнений возможен при использовании как теории связанных мод, так и самосогласованной модели. В конечном итоге, самая ценная информация о пригодности новых технологий дается экспериментальными исследованиями. В обзоре приводятся данные о таких способах селекции синфазной мода, как модуляция поперечного профиля усиления за счет изменения по заданному закону шага решетки, чередование в плоскости активного слоя максимумов усиления и встроенных оптических волноводов, введение в структуру активного слоя сплошной поперечной накачиваемой области, позволяющей полю излучателей достигать соседей з^ счет дифракции, использование разветвленных волноводов, применение различных конфигурации внешних пространственно-селективных устройств и т. д. Наиболее интересные и действенные среди методов, предасматри-вавдих интеграцию селективного механизма в пределах монолитного кристалла, используют дифракционную связь излучателей

решетки или их связь через симметричные Y-разветвители.

Главу завершает рассмотрение требований, предъявляемых к базовым элементам МФИЛ - одноэлементны^ полосковым ИЛ и постановка возможных задач комплексного исследования динамики излучения МФИЛ и их базовых элементов.

Во второй главе рассмотрены радиофизические методы исследования динамики излучения МФИЛ, воплощенные в экспериментальной установке: электронно-оптическая хронография, спектральные и фотометрические методы. Рассматривается блок-схема времяанализирукщего комплекса на основе электронно-оптического преобразователя УМИ-93Ш с возможностью линейной развертки изображения во времени с разрешением Ю-11 с. Указанное разрешение во времени, определяющееся предельными возможностями УМИ-93Ш, по всей видимости, является недостаточным для прямого наблюдения процессов фазировки (синхронизации) излучателей, имевдих, по различным оценкам, характерные времена порядка нескольких пролетных времен фотонов в резонаторе (единицы и десятки пикосекунд). Однако используемая методика позволяет достаточно полно исследовать более медленные по сравнению с пролетными временами фотонов изменения состояния генерации излучателей многоэлементного ИЛ. обусловленные вариациями концентрации носителей активной области, ее температуры и т. д.

При исследованиях многоэлементных ИЛ использовался импульсный режим накачки. Генератор тока накачки формировал на нагрузке 50 Ом прямоугольный импульс, имеющий время нарастания менее I не, длительность 200 не, плавно регулируемую амплитуду. Для имитации режима кодово-импульсной модуляции предусмотрено формирование пар« наносекундных импульсов тока

с регулируемой длительностью и задержкой. Использование генераторов СВЧ диапазона позьоляло подавать на ШГ вместе с импульсом тока накачки, задававшим в данном случае рабочую точку, гармонический сигнал частотой 400 МГц - 2 ГГц регулируемой амплитуда.

Приведена оптическая схема эксперимента по одновременной регистрации распределений интенсивности в ближнем поле сразу на двух зеркалах резонатора многоэлементного ИЛ. Подобная эксперимент, выполненный впервые, представляет особенный интерес при исследовании структуры поля излучения 1ШД с неоднородным по оси резонатора волноводом.

Спектральные исследования проводились с использованием специально изготовленного стигматического линзового спектрографа. Описана оптическая схема эксперимента, способ регистрации пространственно разрешенных спектрохронограмм излучения ИМИ, позволяющий регистрировать мгновенную пространственную структуру каздой моды излучения МФШ1 (рис. 3). Такой способ позволяет детально исследовать динамику как продольных, так и поперечных типов колебаний МФИЛ.

Приведены характеристики структур исследованных образцов ИЛ, изготовленных методом ЖФЭ в системе АЮаАв/СаАз, различавшихся наличием и способами осуществления бокового электрического и оптического ограничения.

В третьей главе рассмотре»л особенности динамических характеристик ИЛ с широким контактом и ряда полосковых ИЛ. Исследованные структуры рассматривались как базовые для многоэлементных ИЛ.

Нерегулярный многоканальный многомодовьт режим генерации моечных ИЛ с широким контактом (рис. 2) был обусловлен некон-

тролируемым взаимодействием самоиндуцированных каналов генерации при неоднородности оптических свойств активной области. Измеренная величина технологических вариаций поперечного профиля показателя преломления активной области составила Ю-3. В результате динамические характеристики подобных ИЛ оказались невысокими, достижение дифракционного предела ДН излучения весьма проблематично.

Исследования полосковых ИЛ проводились с целью анализа различных методов целенаправленного формирования каналов генерации. Полосковые ИЛ, локализованные путем формирования неглубокой ме'заструктуры, содержали перетяжки и расширения контактов в плоскости активного слоя для селекции поперечной моды нулевого порядка, „днако минимальная ширина контакта в области перетяжек, выбранная равной я = б мкм, оказалась недостаточно малой для этого в отсутствие бокового оптического ограничения. Для полосковых ИЛ с боковым электрическим и оптическим ограничением на основе встречных р-п переходов зарегистрированы стационарный одномодовый и ' динамический одномодовыя реки/л генерации. Модуляция излучения осуществлялась импульсами тока длительностью Ю-9 с или гармоническим сигналом частотой до 2 ГГц. •

В четвертой главе представлены экспериментальные результаты исследования динамики излучения ШШ с параллельными полосковыми контактами, с сужениями и расширениями полосковых контактов, с полосковым контактом Ш-образной формы, со связью через симметричные У-разветвители.

Показано, что использование структур МФНЛ с параллельным расположением однородных связанных излучателей не является перспективным для получения однолелестковоя ДН излучения.

Ыодовыя состав излучения таких МФИЯ в отсутствие оптического ограничения формировался ь условиях конкуренции двух механизмов: волноводного механизма, образованного усилением и волно-водного механизма, образованного присутствием индуцированных максимумов показателя преломления в менэлементных областях в силу характера локальной зависимости поперечного профиля показателя активной области от концентрации носителей тока п(М). В результате поле излучения, распространявшееся меяду излучателями, фокусировалось такими индуцированными максимумами п, формировались поперечные моды высокого порядка V: наблюдались динамически неустойчивые моды с поперечным индексом V = 10-15 при числе полосковых контактов структуры М=5, в то время как теория связанных мод предсказывает возможные

значения V = 1,2.....Ы. ДН излучения при генерации таких мод

имела угловую ширину в плоскости гетероперехода 9^20°, что на порядок больше величины, предсказываемой теорией связанных мод, но вполне объяснимо с точки зрения самосогласованной модели.

Исследованные структуры МФИЛ с сужениями и расширениями полосковых контактов, с полосковым контактом Ш-образной Форш демонстрировали, как правило, многомодовый нестационарный репам генерации. О селективных свойствах этих структур в отношении синфазной моды генерации излучателей трудно говорить, так как сами излучатели ь отсутствие бокового оптического ограничения не обеспечивали строгую волноводную локализацию поля излучения. В результате наблюдалось несколько максимумов поля для каздого канала генерации, главные макси-муж поля могли быть смещены в межэлементные области, пульсации излучения нередко солровоздались мгновенными поперечными

"выхлопами" поля излучения из пределов накачиваемой области, было возможно распространение шля излучения по нерегулярной зигзагообразной траектории.

Характеристики излучения МФИЛ на основе симметричных У-разветвителей подтвердили принципиальную возможность реализации синфазного режима генерации излучателей решетки У-лазеров и формирования остронаправленноя в плоскости гетероперехода ДН. Зарегистрирована ширина центрального лепестка ДН У-лазера с пятью излучателями 2° (рис. 4). Однако при отсутствии бокового электрического и оптического ограничения чисто синфазный режим генерации У-лазеров существовал линь при небольших превышениях (до 20%) порогового уровня накачки. При повышении уровня накачки генерировались динамически неустойчивые типы колебаний (рис. 5а,б), траектории распространения поля излучения в разветвленной структуре "спрямлялись", приводя в конечном итоге к сквозному прямому прохождению излучения через ненакачиваемые межэлементные области (рис. 50). Подобные процессы сопровоадались появлением интенсивных боковых лепестков излучения ДН, расположенных вблизи (20-40)°. Введение бокового электрического ограничения формированием неглубокой зарощенной диэлектриком мезаструктуры позволило подавить пульсации излучения (рис. 5в) и существенно снизить интенсивность боковых лепестков ДН при уровнях накачки вплоть до 60% превышения порогового.

Наиболее значительные результаты, полученные в диссертационной работе, состоят в следующем:

I. На основе метода электронно-оптической хронографии, спектральных и фотометрических методов разработан и воплощен в экспериментальной установке радиофизический исследователь-

ский комплекс для изучения характеристик излучения ИЛ на основе АЮаАз/СаАз, позволяющий регистрировать статические и динамические распределения интенсивности излучения в ближней и дальней зонах излучения, в спектре излучения. Временное разрешение установки достигает * Ю-11 с, пространственное <» 0,75 мкм, спектральное м 0,13 А.

2. Предложен и реализован способ регистрации пространственно разрешенных спектрохронограмм излучения Ш>ШГ, позволяющий детально исследовать динамику продольных и поперечных типов колебаний на основе регистрации мгновенной пространственной структуры каждой моды излучения при непрерывной развертке во времени спектра излучения.

3. Экспериментально исследованы структуры ИЛ, изготовленные на основе метода ЖФЭ, базовые для многоэлементных: ИЛ с широким контактом, полосковые лазеры со слабым электрическим ограничением и лазеры с боковым оптическим ограничением.

При этом установлено, что особенности нерегулярного многоканального многомодового режима генерации Ш с широким контактом определяются, наряду с присутствием технологических неоднородностей показателя преломления величиной ~ 10~3, неконтролируемым взаимодействием самоиндуцируемых каналов генерации.

Зарегистрирован стационарный одномодовый по продольному и по поперечному индексам режим генерации одноэлементных ИЛ, имеющих боковую электрическую и оптическую изоляцию за счет встречных р-п переходов, устойчивый по отношению к быстрой прямой модуляции мощности излучения со скоростью до I Гбит/с в диапазоне токов накачки величиной = 1,1 1порог при динамической ширине спектра не более 2 А и пиковой мощности полез-

ного сигнала до 40 мВт.

4. Экспериментально исследованы статические и динамические характеристики излучения МФИЛ как с параллельным расположением однородных по оси резонатора излучателей, так и со сложной разветвленной геометрией контактной области, изготовленных на основе метода КТО и различных методов локализации излучателей.

Установлено, что для структур однородных параллельно расположенных излучателей числом М=2-5 в отсутствие бокового оптического ограничения характерно возбуждение динамически неустойчивых поперечных мод высокого порядка v > М, формирующих ДН излучения в плоскости активной области шириной 0 « 20°. Это соответствует результатам анализа модовоя структуры излучения подобных лазеров на основе самосогласованной модели, учитыванцей локальное взаимодействие поля излучения и активной среды.

Зарегистрирован стационарный одномодовыя режим генерации двухэлементных ИЛ с боковой электрической изоляцией протонной бомбардировкой, неустойчивый по отношению к быстрой токовой модуляции излучения: динамическая ширина спектра превышала 100 А.

Показано, что наиболее удачными среди исследованных многоэлементных структур для реализации синфазного режима генерации и формирования остронаправленного в плоскости активной области пучка излучения явились лазеры со связью через симметричные У-разЕетвители.

Для Y-лазеров без бокового электрического и оптического ограничения определена область существования чисто синфазной генерации, лежащая в пределах I = (1,0 - 1,2) 1порог- При

- -

этом угловая ширина пучка излучения составляла 6 = 2*.

На основе регистрации разрешенных во времени пространственной и спектральной структур излучения установлено, что ухудшение селективности У-разветвителей при 1>1,2 1шрог. приводящее к возбуждению отличных от синфазных поперечных мод и уширению ДН излучения до в^-(20-40)°, происходило в результате:

- динамической неустойчивости генерируемых типов колебаний;

- возбуждения неаксиальных типов колебаний;

- сквозного прохождения излучения через ненакачиваемые мекэлементные области.

Оптимизация структур У-лазеров должна предусматривать:

- использование сильной боковой электрической и оптической изоляции элементарных активных оптических волноводов при их ширине не более те = (2-4) мкм;

- выбор длины области У-разветвителея, на порядок меньшей по отношению к полной длине резонатора.

СПИСОК ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. И.И.Виноградов, А.С.Логгинов. О роли динамической неоднородности резонатора импульсного инжекционного лазера в формировании остронаправленных световых пучков / ХШ Ыеад. конф. по когерентной и нелинейной оптике. Тезисы докладов. -Минск. 1988, часть Ш. - С.38-39.

2. В.А.Боховкин, Н.В.Брагин, И.И.Виноградов, А.С.Логгинов, С.В.Москвин. О причинах нестабильности импульсного светового отклика инжекционных лазеров с широким контактом. - ■

Деп. в ВИНИТИ, * 3294-В89.

3. Виноградов И.И., Косых А.Е., Логгинов A.C. Анализ решетки дифракционно связанных полупроводниковых лазеров. Тезисы докладов Республиканской научной конференции. Вильнюс, 1989. - С.60-61.

4. Виноградов И.И., Косых А.Е., Логгинов A.C. Анализ решетки дифракционно связанных инжекционных лазеров// Квантовая электроника. - 1990. - Т.17. - С.584-586.

5. Виноградов И.И., Логгинов A.C., Пак Г.Т., Рканов А.Г., Сенаторов К.Я. Переходные процессы в двухэлементных инжекционных лазерах на основе двойной гетероструктуры '/ Полупроводники и гетеропереходы. Сб. статей. - Таллин: Валгус, 1987. - C.I9-20.

6. Виноградов И.И., Логгинов A.C., Петракова Т.В., Ржа-нов А.Г., Сенаторов К.Я. Экспериментальное исследование динамики излучения многоэлементных инжекционных лазеров с гетеропереходами / Полупроводники и гетеропереходы. Сб. статей. Таллинн: Валгус, 1987. - С.22-24.

7. Виноградов И.И., Логгинов A.C., Пак Г.Т., Петракова Т.В., Сенаторов К.Я. Экспериментальное исследование динамики излучения инжекционных лазеров на гетеропереходах с волноводом Y - образной формы / Полупроводники и гетероперехода. Сб. статей. Таллинн: Валгус, 1987. - С.20-22.

8. Логгинов A.C., Виноградов И.И. Установка для исследования модуляционных характеристик инжекционных лазеров // Вестн. МГУ, физ., астроном. - 1985. - Т.26, Я 5. - С.29-33.

К

ета »А. Контакт

6а {^¡актЖо»-

КМШ*

б.

V

Рис.1. Ш1 с широким контактом на основе двусторонней гегеро-структуры (а). Возможная структура ШИЛ, содержащая полосковые контакты (заштрихованы) и волноводную структуру в подложке для локализации элементарных излучателей (б).

г- -г':.- "> •* ■

1-' а/— с • ~ ш!«!

I

У

I

о <?

-г

а -и

Рис.2. Примеры нестационарной многоканальной многомодовой генерации ИЛ с широким контактом )' 3 при]>1 ог (а) и I* I при ■

Ы'О^порог (б'В)-

% Пи."

Аоокс -{_

Рис.3. Примеры пространственно разрешенных спектрохронограмм излучения двухэлементного ИЛ яри I =1,5 1порог (е) и 1=1,2 1пор(б).

6.

в.

г .

и

а

3*

о ©„ -Л' ©„ -20 о ао* о,

Рис.4. Примеры распределений интенсивности излучения в дальней зоне дляУ-лазеров № 2(5+6) при X — Xпорог (а), >" 3(5+6) при ^--Тпорог (б)' * 18(5+6)-»«зчпри 1=1,61 г (в), )?23(5+6)-»лаА пр 1 = 1,2 1порог (г), » 23(5+6)при 1=1,5 1шрог (д).

О '¿ис ' ±.

Рис.5. Примеры хронограмм ближнего поля излучения исследозан-ных"У-лазеров ),' 3(5+6) при 1=1.5 1порог (а), ?? 4(2+3) при 1 = 1,5 ^порог 23(5+6)при1=1,15 1порог(в).