Экспериментальное исследование катодной области разряда активных элементов гелий-неоновых ОКГ тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ . 15 I.I. Постановка задачи

1.2 Обоснование постановки задачи

1.3 Методы исследований.

1.3.1 Методика исследования эмиссионных свойств и теплот испарения эффективных термокатодов

1.3.2 Методика исследования устойчивости прессованных катодов к ионной бомбардировке в условиях вакуума и газового разряда

1.3.3 Определение параметров плазмы с помощью метода зондов

1.3.4 Масс-спектрометрический метод контроля изменения состава смеси и газовых примем-сей в разрядных трубках гелий-неоновых лазеров.

1.3.5 Методы контроля активности плазменной среды гелий-неоновых ОКГ.

ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ШЗДЧЕСКИХ СВОЙСТВ НОВЫХ ТИПОВ

ЭФФЕКТИВНЫХ ТЕРМОКАТОДОВ

2.1 Исследование эмиссионных свойств и теплот испарения прессованных термокатодов

2.2 Влияние нейтрального и ионизованного водорода на электронную эмиссию прессованных катодов

2.3 Исследование устойчивости прессованных катодов к ионной бомбардировке в условиях вакуума

2.4 Исследование работы прессованных катодов в условиях газового разряда

2.5 Исследование работы прессованных скандатных катодов в макетах гелий-неоновых лазеров

2.6 Обсуждение результатов

Выводы.

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ТЛЕЩЕГО РАЗРЯДА С ПОЛЫМИ ХОЛОДНЫМИ КАТОДАМИ.

3.1 Исследование катодного падения потенциала тлепцего разряда с полыми цилиндрическими катодами.

3.2 Исследование токораспределения в полых цилиндрических катодах при изменении их геометрических размеров

3.3 Исследование плазмы внутри полых цилиндрических катодов диаметром 20 мм при изменении их длины

3.4 Исследование параметров плазмы в полых катодах различных диаметров

3.5 Выбор оптимальной формы полых катодов для гелий-неоновых лазеров

3.6 Обсуждение результатов

Выводы.

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ НА ОСНОВЕ ТОНКИХ Ш ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК.

4.1 Выбор метода создания окисной пленки

4.2 Исследование параметров линейного тлеющего разряда с холодными катодами, покрытыми диэлектрическими пленками

4.2.1 Методика определения нормального катодного падения и потенциала зажигания разряда. Экспериментальные лампы

4.2.2 Параметры тлекхцего разряда с катодами на основе пленок .ЛР2О3 , МдО и Be О

4.2.3 Расчет обобщенного коэффициента вторичной ионно-электронной эмиссии (ОКВИЭЭ) для диэлектрических пленок

4.3 Исследование тлекхцего разряда с полыми холодными катодами, покрытыми диэлектрическими пленками.

4.4 Токораспределение в полых цилиндрических катодах с переменной толщиной окисной пленки

4.5 Сравнительные исследования монолитных алкъ миниевых катодов и новых типов холодных катодов в активных элементах гелий-неоновых

4.6 Обсуждение результатов

Выводы.

Гелий-неоновые лазеры находят самое широкое применение в целом ряде отраслей науки и техники, например, связи, метрологии, голографии, в интерферометрии для прецезионных измерений длины и перемещений, в устройствах выдачи опорного напряжения, для физических исследовании и целей обучения и т.д.

В гелий-неоновых оптических квантовых генераторах (ОКГ) активной средой является плазма газового разряда, для создания и поддержания которого используются накливаемые и холодные катоды. Физические процессы на катоде, в катодной области разряда, а также тип и свойства катодов определяют такие важные параметры лазеров как режим горения, мощность, к.п.д., надежность и долговечность.

Среди накаливаемых катодов наибольшее распространение получили оксидные катоды. Однако долговечность активных элементов Не -Afa ОКГ с оксидными катодами ограничена, в основном, низкой устойчивостью к ионной бомбардировке и потерей эмиссии последних, они имеют большой разброс параметров и малый срок службы ( — 500 часов). Как наиболее перспективные среди термоэлектронных катодов в сильноточных гелий-неоновых лазерах использовались некоторые типы металлопористых катодов (МПК: прессованные, импрегнированные). Основным недостатком МПК по сравнению с оксидным катодом является более высокое значение рабочей температуры.

Холодные катоды (ХК) имеют ряд несомненных преимуществ перед накаливаемыми, поскольку отсутствие подогревателя позволяет упростить конструкцию прибора, повысить его надежность и экономичность. Однако они уступают накаливаемым катодам в отбираемой плотности тока с поверхности. Замена накаливаемых катодов холодными связана с переходом от газотронного разряда к тлеющему, который характеризуется большим катодным падением я / потенциала и малой плотностью тока на катоде ( для режима, используемого в гелий-неоновых лазерах, необходимо обеспечить плотности тока, превышающие нормальную плотность тока на катоде ), что накладывает ряд требований на выбор материала, форму и геометрию холодного катода. Особый интерес представляет использование тлеющего разряда с полыми цилиндрическими катодами. Следует отметить, что срок службы полых холодных катодов из алюминиевых сплавов, тантала, магния, бериллия, на поверхности которых создана защитная окисная пленка, значительно больше накаливаемых. Средняя долговечность отпаянных гелий-неоновых лазеров с ХК в настоящее время по литературным данным составляет ~ 10 тыс. часов при токе 0,05-0,1 мк/ся? [2,4-6].

Несмотря на достигнутые успехи, главный недостаток ХК -большие габариты. Уменьшение же размеров полых холодных катодов приводит к возрастанию величины токовой нагрузки и ее неравномерности, что вызывает распыление материала и заметное снижение долговечности катода и всего прибора. Поэтому актуальным является повышение надежности и долговечности малогабаритных гелий-неоновых квантовых генераторов, где плотности тока на катоде составляют больше 0,5 мА/см2. Успех в этом направлении связан, прежде всего, с комплексным решением целого ряда физических задач, относящихся к исследованию плазмы в катодной области разряда и свойств новых катодных материалов.

В настоящее время имеются сведения о выборе оптимальной геометрии полых цилиндрических катодов[45,48,52,53 ], материала £2,3,5,68-70] и методов создания защитной окисной пленки на поверхности монолитных холодных катодов £4,5,6,72,76-79^ , на объем физических данных, на основе которых можно было бы целенаправленно разрабатывать конструкцию малогабартных, надежных и долговечных катодов для квантовых генераторов недостаточен.

Целью данной работы является экспериментальное исследование катодной области разряда гелий-неоновых лазеров с различными типами катодов, включающее:

- исследование устойчивости новых типов эффективных термокатодов (прессованных) к ионной бомбардировке;

- исследование электрических характеристик тлеющего разряда с полыми цилиндрическими и другими типами холодных катодов, структуры плазмы в них и закономерностей распределения тока по их внутренней поверхности при изменении геометрических размеров катодов;

- исследование холодных катодов на основе ди электр ческих пленок для гелий-неоновых ОКГ;

- разработка малогабартных холодных катодов и выдача рекомендаций для повышения их надежности и долговечности.

Краткое содержание работы.

Работа состоит из введения, четырех глав и заключения,

В первой главе сформулирована постановка задачи, ее обоснование и описаны основные методы исследований, В обосновании дан краткий анализ литературных данных, касающихся характерс-тик и механизма работы различных типов катодов, используемых в гелий-неоновых лазерах. Рассмотрены недостатки оксидных катодов, кратко описаны новые типы распределительных катодов (прессованные, импрегнированные), состояние проблемы холодных катодов. Отмечаются неиследованные вопросы.

Оригинальной частью работы являются следующие три главы.

Во второй главе приведены результаты экспериментального исследования физических свойств пяти типов прессованных катодов на основе новых солеобразующих окислов бария. В качестве ак -тивного вещества использовались карбонаты, алюминаты, иттраты, танталаты и скандаты бария.

Измерены эмиссионные константы прессованных катодов (П.К.) (эмиссионная способность, работа выхода, теплота испарения) и проведены исследования их устойчивости к ионной бомбардировке в условиях вакуума и непосредственно в газовом разряде в атмосфере гелия, неона, гелий-неоновой и криптон-ксеноновой смесей.

Для сравнительной оценки влияния ионной бомбардировки на различные типы катодов использован параметр <76 , характеризующий скорость распыления активных центров на поверхности П.К., когда реактивация еще практически отсутствует и зависимость этого параметра от величины ионного тока, бомбардирующего катод.

Показано,что под влиянием ионной бомбардировки изменяются как работа выхода, так и константа Ричардсона А прессованных катодов. Исследовано также влияние энергии ионов и температуры катода на временные изменения эмиссии П.К. Проведена оценка параметров ионного тока, бомбардирующего катод в условиях разряда.

Изучены режимы и условия, приводящие к повышению эмиссионной способности катодов. Исследовано активирующее действие нейтрального водорода и ионов водорода и гелия на малоактивные катоды. Экспериментально обнаружено, что в разряде в гелии имеет место эффект дополнительного активирования прес сованных катодов, благодаря этому малоактивные катоды могут быть наактивированы до уровня эмиссии ^ 10 А/см • Обсуждаются возможные механизмы активирования катодов в гелии.

Изложены результаты комплексного исследования активных элементов с прессованными скандатными катодами.

Третья глава диссертации посвящена исследованию тлеющего разряда с полыми холодными катодами. В ней приводятся результаты экспериментального исследования влияния геометрических размеров, материала катода и рода газа на величину катодного падения потенциала и распределение тока по внутренней поверхности полых цилиндрических катодов.

Основное внимание в третьей главе уделяется установлению закономерностей в характере токораспределения ПЦК различных диаметров при изменении их длины, определению оптимальных условий для повышения равномерности токовой нагрузки и объяснению этих закономерностей, что можно было выявить в корреляции с исследованиями плазмы в катодной полости.

В результате исследований плазмы в ПЦК с помощью подвижного одиночного зовда, а также методом двойного зонда, установлено наличие зональной неоднородной структуры плазмы в полом катоде и зависимость ее от длины катода.

На основании анализа экспериментальных результатов установлено наличие корреляции между закономерностями токораспределения по внутренней поверхности полых цилиндрических катодов и пространственным распределением параметров плазмы в катодной ролости. Обоснован выбор оптимальных размеров ПЦК для гелий-неоновых лазеров^

Рассмотрены результаты исследования тлеющего разряда с предложенными полыми катодами других форм (резонаторный, коакспальный, конический ) и их преимущества по сравнению с цилиндрическим полым катодом.

Четвертая глава диссертации посвящена исследованию пленочных холодных катодов, в качестве активной поверхности которых

ВеО , нанесенных различными методами ( электроннолучевым испарением, методом катодного распыления в высокочастотном разряде и ионно-плазменннм методом ) на молибденовые или ситалловые металлизированные подложки.

Изучены зависимости нормального катодного падения потенциала зажигания тлеющего разряда для различных пар материал катода-газ от толщины окисной пленки и установлен немонотонный характер этих зависимостей; проведена оценка обобщенного коэффициента вторичной ионно-электронной эмиссии дан различных окисных покрытий и величины падения напряжения в окисном слое от его толщины; исследовано изменение напряжения горения тлеющего разряда с полыми пленочными цилиндрическими катодами в области рабочих давлений гелий-неоновых лазеров; экспериментально обоснованы выбор оптимальной толщины окисного покрытия и целесообразность применения ПЦК с переменной толщиной окисной пленки, в которых можно получить равномерную токовую нагрузку с меньшей величиной плотности тока.

На основании качественных исследований полых катодов с пленками , нанесенных различными методами, показано, что наибольшую устойчивость к распылению в условиях тлеющего разряда имеют пленки, осажденные ионно-плазменным методом. Обсуждаются полученные экспериментальные результаты.

Приведены результаты комплексного исследования алюминиеиспользуются тонкие диэлектрические слои окислов вых монолитных и пленочных катодов в макетах гелий-неоновых ОКР, в которых одновременно контролировались параметры разряда, активность плазменной среды и с помощью масс-спектрометри-ческого анализа состав газа.

В заключении кратко суммируются основные полученные ре -зультаты.

Научная новизна работы:

В диссертационной работе впервые:

1. Установлена зависимость продольной неоднородной структуры шхазмы в полых цилиндрических катодах от их длины и диаметра, а также связь неравномерного характера токораспределения по внутренней поверхности полого катода со структурой плазмы в катодной полости.

2. Получен критерий выбора оптимальных размеров полых ци -линдрических катодов для гелий-неоновых лазеров.

3. При исследовании электрических характеристик линейного тлеющего разряда с пленочными холодными катодами ( диэлектри -чеокие слои ЛР^ Оа , МдО на поверхности тугоплавких метал -лов ) установлена немонотонная зависимость нормального катодного падения потенциала от толщины окисной пленки.

4» Обнаружен эффект увеличения эмиссионной способности прессованных скандатных катодов при тренировке в разряде в среде гелия.

5. Показано,что прессованные скандатные катоды обладают повышенной устойчивостью к ионной бомбардировке в среде инертных газов и имеют более высокую теплоту испарения активных веществ по сравнению с оксидным и другими типами эффективных термокатодов ( алюминатными, Л-катодами, оксидно- никелевыми).

Практическая ценность работы:

1. Исследования новых типов прессованных катодов позволили создать катод на основе скандата бария, обладающий по сравнению с оксидным и другими типами эффективных термокатодов повышенной устойчивостью к ионной бомбардировке и химическому отравлению. Обнаружены и исследованы режимы и условия,приводящие к стабилизации и улучшению эмиссионных характеристик катодов. Малоактивные катоды могут быть наактивированы до уровня эмиссии 2-3 А/см^ под воздействием нейтрального и ионизованного водорода и до

I ^ 10 А/оы? под действием ионной бомбардировки в разряде в о . . . . гелии. Разработаны рекомендации по увеличению и стабилизации теплоты испарения и эмиссии прессованных скандатных катодов, позволяющие снизить рабочую температуру этих катодов в гелий-неоновых лазерах.

2. На основании исследования тлеющего разряда с холодными катодами предложены и защищены 4 авторскими свидетельствами три варианта полых холодных катодов ( резонаторный, конический, пленочный катод с переменной толщиной окисной пленки ), а также конструкция активного элемента с коаксиальным полым катодом, позволяющие уменьшить распыление материала катода и тем самым повысить надежность и долговечность гелий-неоновых лазеров.

3. Результаты исследования тлеющего разряда с различными типами полых холодных:, катодов и устойчивости прессованных термокатодов к ионной бомбардировке могут быть использованы на предприятиях электронной промышленности при разработке новых конструкций активных элементов гелий-неоновых ОКГ, а также разработчиками прессованных катодов.

Основные положения и результаты,выносимые на защиту :

I .Характер токораспределения по внутренней поверхности полых цилиндрических катодов определяется неоднородной зональной структурой плазмы, зависящей от геометрических размеров катода ( отношения длины к диаметру ); повышение равномерности токовой нагрузки в катоде достигается в случае более однородного распределения параметров плазмы ( концентрации, продольного хода потенциала ), которое реализуется цри наличии в катодной полости двух областей плазмы - переходной и отрицательного тлеющего свечения,

2. В процессы эмиссии электронов из полого холодного катода в гелий-неоновых лазерах существенный вклад вносит потенциальное выбивание*

3. Нормальное катодное падение потенциала тлеющего разряда холодным катодом на основе окисных пленок , МдО зависит от толщины диэлектрической пленки немонотонным образом.

4. Тренировка прессованных термокатодов в разряде в гелии является эффективным методом достижения стабильных эмиссионных свойств металлопористых катодов, позволяющих повысить их эмиссионную способность и устойчивость к ионной бомбардировке.

5. Предложены новые типы полых холодных катодов ( резона -горный, конический и пленочный катод с клинообразной окисной пленкой ) и конструкция активного элемента с коаксиальным полым хатодом для гелий-неоновых лазеров.

Апробация.

Основные результаты, полученные в диссертации были представ-юны на Международной конференции по газовому разряду ( Лондон, '.970 г.), 5-ой Чехословацкой конференции по электронике и ва куумной физике ( Брно, 1972 г.); докладывались и обсуждались на 3-ей Всесоюзной конференции по низкотемпературной плазме ( Москва, 1971 г.); на 2-ой Всесоюзной конференции по масс-спектрометрии ( Ленинград, 1974 г.); на Х,Х1У,Ш1 и ХУТП-ой Всесоюзных конференциях по эмиссионной электронике ( Ташкент, 1962 г., 1970 г., Ленинград, 1979 г., Москва, 1981 г.); на XXI Украинской республиканской научно-технической конференции, посвященной 50-летию образования СССР ( Киев, 1972 г#).

Публикации.

По материалам диссертации опубликовано 20 печатных работ. Три конструкции полых холодных катодов ( резпнаторный, конический и пленочный ) и конструкция активного элемента гелий-неонового лазера с коаксиальным полым катодом, разработанные при выполнении диссертационной работы , защищены авторскими сви -детельствами.

Структура и объем. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, изложенных на 142 страницах основного машинописного текста ; содержит 93 рисунка на 62 страницах, 10 таблиц , список использованной литературы из 184 наименований.

Основные результаты, полученные в настоящей работе, кратко состоят в следующем:

I. Исследованы структурные особенности плазмы в полых цилиндрических катодах ( ПЦК ) при изменении их геометрических размеров. Впервые показано, что плазма в ПЦК имеет неоднород -ную зональную структуру, зависящую от геометрических размеров катода (отношения длины к диаметру ). Плазма в длинных полых катодах ( ^ ;> 4 ) диаметром 15-20 мм в области давлений Р = I - 3 мм рт.ст. состоит из трех областей : положительного столба, переходной области и отрицательного тлеющего свечения. Каждая область имеет самостоятельное значение в поддержании тока в полом катоде. В первой области, как и в положительном столбе разряда, существует продольное электрическое поле, ускоряющее электроны к аноду, а также радиальное электрическое поле, которое способствует уходу ионов на стенки катода. В этой области плазмы ионизация может совершаться электронами, вышедшими не только из катодных участков, но и продольным направленным током. С этим связана перегрузка начальной части катода. Разряд как бы поддерживается процессами, происходящими в начальной части катода и плазма не проникает вглубь полости. Во второй и третьей областях радиальное распределение потенциала имеет сложную форму с минимумом на оси и ионы, находящиеся вблизи оси катодной полости не могут попасть на катод.

С уменьшением длины ПЦК происходит постепенное вытеснение положительного столба разряда и при условии, когда в катодной полости имеются две области плазмы - переходная и отрицательное тлеющее свечение - в ней реализуется более однородное распределение параметров плазмы ( продольного распределения концентрации и потенциала ) •

При дальнейшем уменьшении длины катода, когда ^ ^ 3, в его полости остается только третья область- отрицательное тлеющее свечение. Этот случай соответствует "короткому" катоду с резко выраженной неоднородностью плазмы, в котором для поддержания разрядного тока той же величины возрастают, как потенциал шгазмы на оси катода, так ж концентрация заряженных частиц по сравнению с длинным катодом. Концентрация на оси возрастает более, чем в два раза,

2, Исследованы общие закономерности распределения тока в ПЦК различных диаметров при изменении их длины. Показано, что с уменьшением длины катода происходит повышение равномерности распределения токовой нагрузки в катодной полости. Впервые установлено, что характер токораспределения по внутренней поверхности ПЦК определяется структурой плазмы в полом катоде. Корреляция между ними существует не только в полых цилиндрических катодах, но и в полых катодах конической формы.

Неравномерный характер токораспределения в длинном ПЦК связан с неоднородностью структуры плазмы в нем. Повышение равномерности распределения токовой нагрузки по внутренней поверхности ПЦК достигается при определенной структуре плазмы в катодной полости, характеризующейся более однородным распределением ее параметров, и реализуется при условии, когда в катоде имеются две области плазмы - переходная и отрицательное тлеющее свечение. Это является критерием выбора оптимальной длины ПЦК для гелий-неоновых лазеров.

3, Установлено, что потенциальное выбивание вносит существенный вклад в процессы эмиссии электронов из полого катода гелий-неоновых лазеров.

4. Величина катодного падения потенциала тлеющего разряда с полыми цилиндрическими катодами зависит от геометрических размеров катода. Одной из причин, приводящей к снижению катодного падения потенциала в разряде с полыми катодами с широкоразвитой поверхностью ( резонаторный, коаксиальный ) является больший вклад в f- эмиссию потенциального выбивания.

Уменьшение длины ПЦК от значений, соответствующих макси -мальной глубине проникновения плазмы в катод при фиксированных разрядных условиях, приводит к возрастанию катодного падения потенциала. При некоторой критической длине ( ^ ^ I ) эффект полого катода исчезает и тлеющий разряд переходит в аномальный режим горения.

С уменьшением поперечных размеров полого цилиндрического катода наблюдается снижение величины катодного падения потенциала, связанное с увеличением эффективности ионизации в катодной полости за счет возрастания числа быстрых электронов в катодах меньшего диаметра.

5. Исследованы характеристики разряда с пленочными холодными катодами ( диэлектрические слои на по -верхности тугоплавких металлов ). Впервые установлено, что нормальное катодное падение потенциала и потенциал зажигания Vs тлеющего разряда с плоскими катодами на основе диэлектрических пленок * а также обобщенный коэффициент вторичной ионно-электронной эмиссии этих покрытий немонотонным образом зависят от толщины пленки. Минимальные значения

V/i и и соответственно максимальные значения f для пленок Щ03шет место в области толщины-200 X, а для пленок тонкопленочных систем металл-диэлектрик-металл, в которых объясняется в рамках механизма эмиссии нижним электродом является металлическая подложка, на которую нанесена диэлектрическая пленка, а роль верхнего положительного электрода играет плазма разряда.

Установлено, что величина нормального катодного падения потенциала тлеющего разряда для пленочных покрытий одинаковой толщины и обобщенный коэффициент вторичной ионно-электронной эмиссии для различных диэлектрических покрытий изменяются следующим образом :

Уплег03 ^ VnMgO > Vfl ВеО ,

Я^гО*, ^ f^ У ВеО Самые высокие значения у* имеют пленки окиси бериллия, причем в отличие от и , спад jf* для ВеО не наблюдается вплоть до толщины 1000 А.

Обнаружено, что для холодных катодов, покрытых диэлектрическими пленками ЛВ^ ^ и МдО имеет место потенциальная ионно-электронная эмиссия.

Обоснован выбор оптимальной толщины защитного окисного покрытия для пленочных холодных катодов. Показано, что оптимальной толщиной окисного покрытия являются пленки толщиной ~ 200о

600 А, Увеличение толщины окисла приводит к росту падения напряжения на пленке и в пленках cL ^ 1000 А напряженность электрического поля близка к пробойному значению ( 4,5-10^ В/см ), поэтому после работы их в разряде на поверхности пленок появляются дефекты ( места пробоя ), размеры которых достигают нескольких десятков микрон.

Результатами исследований электрических параметров тлеющего разряда с пленочными холодными катодами констатируется,что по сравнению с пленками, полученными электронно-лучевым методом, диэлектрические пленки, нанесенные методом катодного распыле зия в высокочастотном разряде и ионно-плазменным методом более устойчивы к ионной бомбардировке.

6. Исследование эмиссионных свойств и устойчивости к ионной бомбардировке новых типов прессованных катодов показало, что прессованные катоды на основе скандата бария (3BaO-2£cg(Q обладают повышенной устойчивостью к ионной бомбардировке и имеют более высокую теплоту испарения активных веществ по сравнению с оксидным и другими типами эффективных термокатодов.

Впервые обнаружен эффект аномального активирования прессованных катодов в разряде в гелии, позволяющий получить катоды с эмиссией ~ 10 A/cn?. Экспериментально установлено,что наблю -даемый эффект дополнительного активирования в результате тренировки катодов в разряде в гелии не связан с термическим разогревом катода, а обусловлен удалением загрязнений с поверхности катода и изменением соотношения компонентов бария и кислорода на поверхности в сторону обогащения ее кислородом,

7. Изучены характеристики тлеющего разряда с предложенными в работе новыми типами полых холодных катодов: резонаторным, коническим , коаксиальным и пленочным ПЦК с клинообразной по тшг -щине окисной пленкой. В резонаторном катоде, образованном свя -зэнными между собой полостями, снижается катодное падение потенциала за счет большего вклада потенциального выбивания в меха -низм вторичной ионно-электронной эмиссии. В полом катоде конической формы реализуется более равномерное распределение тока по поверхности катода с меньшей плотностью по сравнению с равновеликим по площади цилиндрическим полым катодом. В коаксиальном полом катоде, образованном двумя электрически связанными цилиндрами, сохраняется эффект полого катода и неоднородный характер продольного распределения тока на внешнем и внутреннем цилиндрах. как и в обычном полом цилиндрическом катоде. В коаксиальном ПЦК при изолированном внутреннем проводящем цилиндре эффект полого катода не сохраняется, однако улучшается равномерность токорасп-ределения.

Впервые показано, что в полом цилиндрическом катоде с окисной пленкой переменной толщины можно повысить равномерность распределения токовой нагрузки при меньшей плотности тока по поверхности.

8. На основании результатов исследований разряда с холодными катодами и новыми типами эффективных термокатодов составлены рекомендации по использованию катодов в гелий-неоновых лазерах и предложены три варианта полых холодных катодов (резонаторный, конический, пленочный катод с переменной толщиной окисной пленки ), а также конструкция активного элемента с коаксиальным ПЦК для гелий-неоновых ОКГ, защищенных 4 авторскими свидетельствами.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Пат. 3369145 (Ш А) .Катод, обладающий термоэлектронной эмиссией/

2. Герман Г.,Вагенер С. Оксидный катод.-М.-Л. :Гостехиздат,1949.-508с,

3. Мойжес Б.Я. Физические процессы в оксидном катоде.- М.:Наука, 1968.- 479с.

4. Оксидный катод / Под общ.ред.Б.И.Царева.- М.:Иностр.лит.,1971.-308с.

5. Кулик А.Е. .Находкин Н.Г. Влияние кислорода при низких давлениях на эмиссию оксидного катода.- Изв. АН СССР,Сер.физ. ,1956, т.20, M0,c.I096-II04.

6. Мишаева В.А. К вопросу применения термоэлектронных катодов в активных элементах газовых ОКГ.- Электронная техника,Сер.Газоразрядные приборы,1971,в.3(23),с.127-130.

7. Huchital D.A., Rigden J.D. Functional Ion Laser Based upon Termionic Hollow Cathode Discharge.- Rev. Sci. Instr., 1968, v. 39, И 3D, p. 1472-1477.

8. Kasel S.F. Microwave Tube Technology Review.- Microwave J., 1977, v. 20 , IT 7, p. 23.

9. J9. Набоков Ю.Н. ,Свинцов В.В.,Ефимова И.М. .Андреев А.А. Эмиссионные свойства металлопористых катодов на основе барий-стронциевого вольфрамата.- Электронная техника,Се р. Электроника СВЧ, в. 12,с.95-97.

10. Ю. Персиянинова С.Н. .Соловейчик А.И. ,Юдинская И.В. Прессованный катод на основе скандата бария.- Электронная техника,Сер.Электроника СВЧ,1968, в.2,Ш2, с.125-128.

11. Я. Бахтияров Р.С.,Шишкин Б.Б. Электронномикроскопическое исследование прессованных катодов на основе скандатов бария.- Радиотехника и электроника,1971,т.16,в.2,с.450-451.

12. J2. Oostrom A. van., Augustus L. Activation and early Life a pressed Barium scandate Cathode.- Appl. Surface Science, 1979, v. 2, IT 2, p.173-173.

13. J3. Пат. 4007393 ( США. ). Barium-aluminium Scandate Dispenser Cathode / A.J.A. Stratum, J.G. Os, J.R.Blatter, P. Zalm—B' КН.:

14. Изобретения в СССР и за рубежом",1978,№ 3,с.37. 34. Пат. 4078900 (США). Method of Maning a High Current Density1.ng Life Cathode / B. Smith, A.T. Newman.- В KH.J"Изобретения в СССР и за рубежом", 1978, № 10,с.53.

15. Пат. 3242439 (США). "Visible output gasbous optical maser withmode pattern selection / J.D.Riiden, A.D.White.-Опубл.22.03. 1966.

16. Пат. 394403 (Швейцария). Entladungsgeheizte Sinterkathodefiir gasgefillte Entladungsrohren / G.Purt, H.E.Scifert.- Опубл. 30.II.1965.

17. Птушинский Ю.Г. Влияние ионной бомбардировки на электронную эмиссию металлодористого катода.- Радиотехника и электроника, 1957, Щ2, с. 1502-1511. 3. Грановский В.Л. Электрический ток в газе.Установившийся ток.

18. М.:Наука,1971,с.292-333. Э. Москалев Б.И. Разряд с полым катодом.- М. :Энергия,1969.-184с.

19. D. Hochuli Н., Haldemann P. Cold Cathode for Possible use inо6J28 A single mode He-rNe Gas Lasers.- ES I, 1965, v. 36, N 3D, p. 1493-1494.

20. Энгель А. Ионизованные газы.- M.:Физматгиз,1959.-235с. В. Плешивцев Н.В. Катодное распыление.- М. :Атомиздат,1968.-343с.

21. Обзоры по электронной технике: Поглощение ионов инертных газов твердыми телами и их десорбция/ А.Е.Гродштейн,Н.Д.Назаров.

22. М.,1968.-Вып.64,Сер.Газоразрядные приборы.-57с.

23. Парфентьев А.И. Отступление от закона Геля для некоторых форм тлеющего разряда.- ДАН СССР,1940,т.26,гё8,с.762-764.

24. Боярчиков А.,Соболев В.Д. ,Шипалов А.С. Выбор оптимальной длины полого цилиндрического катода тлеющего раз ряда.-Электронная техника,Сер.Газоразрядные приборы, 1971,в.3(23),с.18-21.

25. Кириченко В.И. ,Ткаченко В.М. Исследование продольного распределения тока в тлеющем разряде с цилиндрическим полым катодом в гелии.- Изв. вузов,Сер.Радиофизика,1975,18,с.1206-1210.

26. Корясавый А.П.,Писачев Н.Е.,Редега К.П. Исследование влияния неоднородности плазмы на работоспособность полого холодного катода.- Электронная техника,Сер.Материалы,1977,в.10,с.16-22.

27. Maiасага D., Berriel L.R. , Rizo I. Construction of Heliumo

28. Neon Gasers operating at 6328 A.- J. Amer. Phys., I960, v. 37, P. 276-284.

29. Громов В.А.,Ершов А.Г. Распределение тока в полом катоде.-В кн.: Материалы 10 Совещания по спектроскопии(г.Львов,4-14 июля 1956г.).Львов,1958,ч.2,с.80-83.

30. V.'achter F., Hutaim G. Hohlkathodenentladung mit Kugelsymmet-rischer Konfiguration in Helium.- Rev. Roum. Phys., 1969, v.14, N 9, p. 937-943.

31. Moskalev V.I. The Structure of Plasmen Inside the Hollow Catho4 de of the Glow Discharge.- 9th Int. Conf. Phenimene Ioniz. Gases, Bucharest, 1969, p. 164-166.

32. Мартынов В.Ф.,Рязанцева E.H. Оптимизация геометрических размеров холодного катода для гелий-неонового лазера.- Квантовая электроника,1973,$6(18),с.48-52.

33. Шипалов А.С. Исследование путей создания долговечного холодного катода для газоразрядных приборов,работающих в диапазоне давлений 1-5 мм рт.ст.- Дисс.канд.тех.наук.-М. ,1972.-156с.

34. Тютюнник В.Б. Исследование разряда с цилиндрическим полым катодом.-Дисс. . .канд.физ.-мат.наук.-Харьков,1975.-135с.

35. Кириченко В.И. ,Ткаченко В.М.,Тютюнник В.Б. Влияние геометрических размеров,материала катода и рода газа на область оптимальных давлений тлеющего разряда с цилиндрическим полым като-дом.-ЖТФ,1976,т.46,в.9,с.1857-1867.

36. Бородин B.C.,Каган Ю.М. Исследование разряда в полом катоде.-Опт.и спектр.,1965,18,в.6,с.966-967.

37. Бородин В.С.,Каган Ю.М. Исследование разряда в полом катоде.I.■ ЖТФ,1966,т.36,в.I,c.I8I-I85.

38. Бородин B.C.,Каган Ю.М. ,Лягущенко В.И. Исследование разряда в полом катоде.- ЖТФ,т.36,в.7,с.П98-1201.

39. Москалев Б.И. Основные виды структуры плазменных образований в тлеющем разряде с полым катодом.-Электронная техника,Сер. Электроника СВЧ,1979 ,№6 ,с.3-6.

40. Пат. 3899750 (США). Long Life Gas Laser System and method/

41. H. Hochuli.- Опубл.12.08.1975.

42. Пат.49-45200 (Япония).Стеклянная разрядная трубка с полым катодом/ Н.В.Филипс Глуйлампенфабрикен.-В кн. :Изобретения за рубежом, 1975 ,№12, с. 172.

43. Пат. 1397608 (Великобритания).Газовый лазер/Асахи Кодаки Ко-дуо.-В кн. :Изобретения за рубежом,1975,М2,с.29.

44. Пат. 3936767 (США). Cold Cathode Gas Lasers / Andre Besson, Gacques Becrelle.-Опубл.3.02.1976.

45. Пат. 50-37119 (Япония).Газовый лазер / Мипубуси дэнки К.К.-В кн. :Изобретения за рубежом,1976,№10,с.214.

46. Пат. 230III5 (Франция).Трубчатый газовый лазер.-В кн.:Изобре-тения за рубежом,1976,Ж9,с.96.

47. Белик В.А. ,Коржавый А.П. .Лазарева Л.В.,Сигов Д.Н. Особенности конструкции холодных катодов миниатюрных газовых лазеров.-Электронная техника,Сер.Материалы,1977,в.4,с.29-35.

48. Коржавый А.П. ,Файфер С.И. и др.Распыляемоеть некоторых материалов в газовом разряде низкого давления.-Электронная техника, Сер.Материалы,1974,в.4,с.18-23.

49. Коржавый А.П. ,Файфер С.И.,Петров B.C. и др.Некоторые свойства активных окисных пленок холодных катодов.-Электронная техника,- 213

50. Ананьин В.С.,Бабурин А.А.,Беляев В.А.,Покосовский JI.C.Исследование пористости окисных пленок и ее влияние на защитные свойства. -Электронная техника,Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы,1973,в.2,с.95-100.

51. Назарова Р.Н. Исследование окисления металлов в условиях тлеющего разряда в кислороде.- ЖФХ,1958,т.32,ЖЕ,с.79-86.

52. Ананьин B.C.,Беляев В.А.,Покосовский 1.Н. Поведение окисных пленок алюминия в тлеющем разряде.-Электронная техника,Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы,1972,в.2,с.78-83.

53. Ч. Ананьин В.С.,Беляев В.А. ,Покосовский Л.Н. Исследование структуры окисных пленок на алюминии в их связи с распылением в тлеющем разряде.-Электронная техника,Сер.Газоразрядные приборы, I97I.b.IC2I),с.II3-I2I.

54. Данков П.Д. Структура и механизм образования оксидных пленок на алюминии. -ЖТФ,1942, т. 12,J&6, с. 251-272.

55. Юнг Л. Анодные окисные пленки.-М.:Энергия,1967.-232с.

56. Белецкий М.С. О структуре окиси,образующейся на поверхности алюминия.- ДАН СССР, 1950,т.75,М,с.551-553.

57. A.c. 375709 (СССР).Способ изготовления холодного металлического катода / А.П.Коржавый,С.И.Файфер.-Опубл.в Б.И. ,1973,Мб, с.130-131.

58. Эспе В. Технология электровакуумных мате риалов,-Л. :Госэнерго-издат,1962,т,I.-296с.

59. Пат. 3242373 (США),Холодный катод на никелевой подложке с внутренним покрытием окисью кальция и слоем окиси магния / Г.Бер-нард.-В кн.:Официальная газета, 1966,т.824,М,с.32.

60. Chance D.A., Chastang J.C.A., Crowford V.S., Horstmann R.E. and Lusson R.O. I-Ie-Ne parrallel Laser Development.- IBM J. of Res. and. Developm., Ю.У., 1979, v. 25, Iff 2, p. 308-118.

61. Лябин А.А, .Шариков Г.А, ,Корницкий Е.У.,Волков В.В. Диэлектрические свойства пленок при различных способах их получения.

62. Царев Б.И. Контактная разность потенциалов.-М. :Гостехиздат, 1955,280с.

63. Кучеренко Е.Т. ,Назаренко O.K.Особенности разряда с колебанием электронов в магнитном поле.-Радиотехника и электроника. ,1959, 4,в.8,0.1253-1256.

64. Кучеренко Е.Т.,Демьяненко В.П.,Тальнова Г.Н. Влияние ионной бомбардировки на электронную эмиссию оксидного катода.-Изв .вузов, Сер. физика, 1959 , с. 160-168.

65. Кучеренко Е.Т.,Яворский И.А. Исследование работы прессованных катодов в условиях газового разряда.-Радиотехника и электроника, 1965,10,С.741-748.

66. Русанов В.Д. Современные методы исследования плазмы.- М.: Госатомиздат, 1962,182с.

67. Козлов О.Б. Электрический зонд в плазме.- М. :Атомиздат, 1966,-291с.

68. Каган Ю.М. ,Перель В.И.,Рипатти И.О. Об определении параметров плазмы с помощью цилиндрического зонда.-Вестник ЛГУ,Сер. мат.физ.и хим., 1965,в.3,№,6.129-135.

69. Каган Ю.М.,Перель В.И. Зондовые методы исследования плазмы.-УШ, 1963,с.409-450.

70. Jonson Е.О., MalterL. A floating double probe method for measurements in gas discharges.- Phys'. Rev., 1950, 80, N I, p. 58-68.

71. Haworka F., Pahl M. Exsperimentelle bestimung Лппегвг und auBerer parameter des negativen glimmlichtplasmas einer zylindrischen hohlkathodentladung in argon.- Z.Naturforsch., 1972, 27 A, p.I425-I455.

72. Von Zahn U. Monopole spectrometer a new electric field mass spectrometer.- ESI, 1965, p. 1-4.

73. Рик Г.Р. Масс-спектрометрия.-М.:Госиздат тех.-теop.лит., 1953,0.223-261.

74. Левитский C.M. Сборник задач и расчетов по физической электронике. -Киев: Изд.КГУ,1964,с.50.ill. Каминский M. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла.-М. :Мир, 1967 .-506с.

75. Молчанов М.И, ,Мазанько И.П. ,0гурок Н.Д. и др. Измерение распределения усиления в кюветах гелий-неоновых лазеров.-Опт.и спектр., 1971,30,в.5,с.927-931.

76. Труханенко Э.М. ,Ищенко П.И. Метод прямого измерения контура усиления гелий-неоновой смеси.-ЖПС,1969,т.П,в.5,с.940-944.

77. Петрова Т. С., Разумовский А.Н. Измерение коэффициента усиления газовых ОКГ ,генерирующего на 0,63 и 1,15 мкм.-Вестник ЛГУ,1968,МО,с.56-66.

78. Ярив А. Квантовая электроника и нелинейная оптика.-М.:Сов. радио,1968,с.469.

79. Мельников А.И.,Морозов А.В.,Попов Б.Н. и др. Прессованные катоды на основе алюминатов и вольфраматов бария-кальция.-Изв.АН СССР, Сер.физ.,I958,22,$5,c.6I3-62I.

80. Бондаренко Б.В. ,Остапченко Е.П.,Царев Б.М.Синтез,структура и терлоэлектронные свойства вольфраматов щелочно-земельных металлов.-Вопросы радиоэлектроники,Сер,Электроника СВЧ, I959,3,c.I03-I27.

81. Жмудь Е.С.,Остапченко Е.П. Изучение системы BsO-TO^ .Вопросы радиоэлектроники,Сер.Электроника СВЧ, 1959,3,с. 137-147.

82. Дмитриева В.Н.,Жмудь Е.С. ,Марычева Э.С. и др. Исследование свойств алюминатов бария-кальция и их взаимодействия с вольфрамом.-Электронная техника,Сер.Электроника СВЧ, 1968,12, с.135-148.

83. А.с. 134775(СССР). Термоэлектронный катод/ А.И.Фигнер,

84. Е .С .Жмудь ,Е .П. Остапченко, А.И. Соловейчик,И.В .Юдинская. -Опубл. в Б.И. ,1961,ЖЕ.

85. А.с.148456(СССР).Прессованный катод/ А.И.Фигнер,Е.С.Емудь и др. -Опубл.в Б.И.,1962,№13.

86. А.с.201549(СССР).Металлопористый катод/А.И.Соловейчик, И.В.Юдинская, А.И.Фигнер.-Опубл.в Б.И.,1967,№18,0.77.

87. Зингерман Я.П. ,Солтык В.Я. Химическое взаимодействие кислорода на электронную эмиссию пористого металло-пленочного катода.-Радиотехника и электроника,1957,в.12,с.I5I2-I5I8.

88. Moore G.E., Allison H.W. Emmision of oxide cathodes supported on a ceramic.- J.Appl. Phys., 1956, v.27, p.1316-1321.

89. Чистякова M.A. ,Подкопавва H.H. ,Першина Л.Н. Применение водорода для повышения отбора тока с оксидного катода.-Электронная техника,Сер.Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1977,в.7,c.I23-I3I.

90. Кучеренко Е.Т. ,Назаренко O.K. Натекатель водорода.-ПТЭ, 1959, в.6,с.124-125.

91. А.с.287494(СССР). Способ получения электропроводящих диэлектрических тонких пленок / Е.Т.Кучеренко,В.А.Саенко.-Опубл, в Б.И. ,1970,№ 35.

92. Лемковский А.Ф.,Мешковский И.К.,Радченко Л.А. ,Сибаков Е.П. Влияние атомарного водорода на эмиссионную способность оксидного катода при пониженных температурах,-Электронная техника, Сер.Электровакуумные и газоразрядные цриборы,1973,в.1, с.89-92.

93. Обзоры по электронной технике: Кинетика проникновения водорода сквозь металлы/ Т.Н.Компаниец,А.А.Курдюмов,В.Н.Лясников.-М., 1980.- Вып. 1(694),Сер.Электроника CB4.-c.75.

94. Добрецов Л.Н. ,Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника.- М.: Наука, 1966.-563с.

95. Мичурина А. ,Дубинина Е.М.,Спивак Г.В. Электронно-микроскопическое исследование эмиссии прессованных термокатодов.-Радиотехника и электроника, 1959,12,с.2072-2076.

96. Кондратюк И.И.,Кучеренко Е.Т. Спектроскопические исследования состава смеси газов и электронной температуры в плазме гелий-неоновых лазеров.-Вестник КГУ,Сер.физ. ,J£I4,c.77-79.

97. Д&кенкинс P.O.,Тродцен В.Д. Испарение тория с карбидированных катодов из торированного вольфрама.- В кн.: Эффективные термокатоды, т.4, M.-JI., 1961,0.283-294.

98. Добуа Б.И,,Попов Б.И, Некоторые эмиссионные и адсорбционные свойства систем барий-торий,барий-вольфрам.-Вопросы радиоэлектроники, Сер. Электроника СВЧ, I960,в.9,с.96^102.

99. Дружинин А.В. Миграция бария по поверхности вольфрама,молибдена, рения, покрытым адсорбционной газовой пленкой.- Радиотехника и электроника, 1965,т.3,№10,с.498-504.

100. Леб Л.Б. Основные процессы электрического разряда в газах. -М.-Л. :Гостехиздат, 1950,672с.

101. Пей Н. Theori der strom-spanmmgs charakteristik der statio-naren glimmentladung.- Zs.f.Physik, 1959, v.155, К I, p.77 -- 3DO .

102. Lumpe W., Seeliger R. Uber die wanderung von edelgasen durch metal Zs.f.Phys., 1943, v.121, p.546-559.

103. Король Л.Н. ,Коржавый А.П.,Сергеев Е.А.,Фаифер С.И. Поглощение инертных газов в аномальном тлеющем разряде с полым катодом.-Электронная техника, Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1972,в.2,с.70-77.

104. Раджабов Т.Б. Прочность связи атомов при ионной бомбардировке чистых поверхностей,- В кн: Вторично-эмиссионные и структурные свойства твердых тел.-Ташкент:ФАН УзССР,1970,с.70-76.

105. И. Ливанов В.А. и др. Водород в титане .- М. :Металлургиздат, 1962.-253с.

106. Зыков Г.А.,Матвеев В.Т. Исследование ионных компонентов твердых веществ при локальном лазерном зондировании.-Изв.АН СССР,

107. Сер.физ., 1982, т.46,М2,с.2324-2327.

108. Sturges D.J.,Oscam H.J. Hollow Cathode glow discharge im hydrogen and nohle gases.- J.Appl.Phys., 1966,v.37» H 6,p.2408--2412.

109. Жаке П. Электролитическое и химическое полирование.-М.:Метал-лургиздат, 1959.-139с.

110. Ткаченко В.М. ,Тготгонник В.Б. Исследование параметров плазмы в с цилиндрическим полым катодом в гелии.-ЖТФ, 1976,46, с. 14491458.

111. Ткаченко В.М. ,Тютюнник В.Б. Некоторые характеристики тлеющего разряда с цилиндрическим полым катодом в гелии.- Изв.ву -зов,Сер.Радиофизика, 1973,т.16,М1,с.Г759-1766.

112. Чистяков H.H. Некоторые зависимости нормального катодного падения потенциала в инертных газах.- ЖТФ, 1970,т.40,в.2, с.303-304.

113. Чистяков П.Н. О нормальном катодном падении потенциала в инертных газах. Труды МИФИ, 1955, в.9, с.5-15.

114. Айвазов В.Я., Бертуш Б.О. Формирование пленок стехиометри-ческого состава при электроннолучевом испарении AlgOg в вакууме.- Изв. АН СССР,Неорганические материалы, 19Г72,т.8, № 12,0.259-262.

115. Pavidse D., Maissel J• Dielectric thin film through rf sputtering.- J.Appl.Phys., 1966, v.37, H 2, p.574-579.

116. Турчанинов Г.М. 0 механизме пробоя тонких оксидных пленок на алюминии,- Изв.вузов, Сер.физ., 1969, №3, с.144-146.

117. Косцов Э.Г. Влияние особенностей микрорельефа поверхности электродов на характер нарушения электрической прочности диэлектрических пленок.-Изв.вузов, Сер.физ., 1970,W,с.32-36.

118. Корзо В.Ф. Зависимость напряженности пробоя от толщины плазменно-активированных пленок окиси алюминия.- ФТТ, 1969, II, в.10, с.3038-3041.

119. Васильковская Е.А. Пленочные холодные катоды типа "сэндвич Обзоры по электронной технике, Сер.Микроэлектроника,- 1970, Вып. 7(277),с.5-11.

120. Новиков В.В. Теоретические основы микроэлектроники.- М.: Высшая школа, 1976, с.352.

121. Дирнлей Д.,Стоунхэм А.,Морган Д. Электрические явления в аморфных пленках окислов,- УФН, 1974, 112, в,1, с.83-128,

122. Кучеренко Е.Т.,Ахтырская E.B. (Зыкова E.B.) ДемяяенкоВ.П. Влияние бомбардировки ионами инертных газов и водорода на электронную эмиссию прессованных катодов.-Радиотехника и электроника ,1963,8,в.2,с.279-287.

123. Кучеренко Е.Т.,Ахтырская Е.В. (Зыкова Е.В). Сравнительная устойчивость различных типов прессованных катодов к ионной бомбардировке.-Вопросы радиоэлектроники,Сер.Электроника СВЧ, 1965,в.9,с.148-152.

124. Кучеренко Е.Т.,Зыкова Е.В. Исследование тлеющего разряда с полыми катодами.-В кн. :Третья Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы.-М. :М1У,1971,с.11-14.

125. Кучеренко Е.Т.,Зыкова Е.В. Дшценко Е.Д. Холодный алюминиевый катод для гелий-неоновых лазеров .-Вестник КГУ,Сер.физА 1971 ,.№12,с ,122-127.

126. Кучеренко Е.Т.,Зыкова Е.В.,Макосевская Л.Н. Исследование тлеющего разряда с секционированными катодами.-УФК ,1972,17* 12,с.2063-2065.

127. Зыкова Е.В.,Кучеренко Е.Т.,Юдинская И.В. Работа прессованных катодов в гелий-неоновых лазерах.-Квантовая электроника,1972, 2(8) ,с.П5-И7.

128. Зыкова Е.В.,Кучеренко Е.Т.,Юдинская И.В. Исследование работы металлопористых катодов в условиях ионной бомбардировки и газового разряда.-Электронная техника, С ер. Электровакуумныеи газоразрядные приборы,1972,в.9,с.56-63.

129. Зыкова Е.В.,Кучеренко Е.Т. Исследование полых катодов разных диаметров.-Вестник КГУ,Сер.физ.,1975 ДЕ6,с.55-57.

130. Зыкова Е.В.,Кучеренко Е.Т. Полый холодный катод конической формы.- Радиотехника и электроника,1975,2,с.438-439.

131. Deryugin I.A. ,Zykova E.V. ,Kucherenko Е.Т, The effect of hollow cathode;.configuration on glow discharge parsmetres.-Internat.Conf, on Gas Discharge, London, 1973, p.95-97»

132. Kucherenko Б.Т. ,Zykova E.V. Filmy cold cathode for glow discharge.- 5-thCzechoslovac Conference on Electronics and Vacuum Phys., Brno, Okt., 1972 ,p.I7.

133. Зыкова Е.В. .Кучеренко Е.Т. Исследование структуры разряда в полом катоде.-Радиотехника и электроника.1976,с.I549-1552.

134. Зыкова Е.В. .Кучеренко Е.Т. Масс-спектрометрический анализ состава газовой смеси промышленных гелий-неоновых 0КГ.~ Вестник КГУ,Сер,физ.с.Ю5-108, Я7, 1976.

135. Зыкова Е.В. .Кучеренко Е.Т. Исследование холодных катодов на основе диэлектрических пленок Я.ф j, иВД .--В кн. :Тез. докл. на 17 Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике .Ленинград.январь 1979.с.364-365.

136. Зыкова Е.В.,Кучеренко Е.Т. ,Брыкайло И.Н. Коаксиальный полый катод для гелий-неоновыя лазеров.-Вестнж К1У,Сер.физ. 1983,№24.с.85-89.

137. А.с.338165(СССР).Полый холодный катод/Е.Т.Кучеренко,Е.В. Зыкова,И.А.Дерюгин.-Опубл. в Б.И.э1976,№28,с.198.

138. А.с.380236(СССР).Разрядная трубка газового лазера/Е.Т.Кучеренко,Е.В. Зыкова, Опубл. в Б.И. Д979,Н9,с.250.

139. А.с. 584661 (СССР).Полый холодный катод./Е.Т.Кучеренко,Е.В. Зыкова.-Заявл.1.06.1976,№2366022.,Опубл. в Б.И. Д979.Щ9, с.249.

140. А.с.654018(СССР).Холодный катод./Е.Т.Кучеренко,Е.В.Зыкова.-Завл.8.06.1976,№2370288.,Опубл. в Б.И.,1982,№48,с.54.