Электронномикроскопическое исследование поля магнитных головок тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.3

ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ И ПОСТАНОВКА ПРОБЛЕМЫ.8

ГЛАВА П. ЭЛЖТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКИЙ МЕТОД ВИЗУАЛИЗАЦИИ

МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ ГОЛОВОК.16

§ I.Аппаратура и методика исследования

§ 2.Измерение амплитудного значения полей нх на поверхности магнитных головок вблизи зазора

§ 3.Выбор методики исследования.

§ 4. Конфигурация компонент полей нх и ну вблизи зазора головки.

ГЛАВА Ш. ЗАКОНОМЕРНОСТИ Л0РЕНЩИКР0СК01ШЕСЮГ0 ИЗОБРАЖЕНИЯ ПОЛЕЙ МАГНИТНЫХ ГОЛОВОК.40

§ I.Явление фокусирования электронов полей магнитной головки.

§ 2.Влияние ширины зазора головки на положение фокуса конвергентного изображения

§ 3.Конфигурация поля над зазором магнитной головки в муаровом представлении.

ГЛАВА 1У. ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОГШЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ

МАГНИТНЫХ ГОЛОВОК.65

§ 1.Электронномикроскопическое исследование смещения и скоса отдельных дорожек многодорожных головок

§ 2.Электронномикроскопическое исследование неоднородностей магнитных головок по длине зазора.

§. 3.Моделирование неоднородностей полей магнитных головок в конхоидном представлении.

§ 4.Конфигурации полей пленочной магнитной головки. ТОО вывода. 107

Запоминающее устройство (ЗУ), являющееся основным узлом электронно вычислительных машин (ЭВМ), определяет их функциональные возможности. В этой связи, одной из главных проблем повышения производительности современных ЭВМ является разработка принципиально новых типов ЗУ, которые смогли бы заполнить существующий разрыв мевду временем доступа [ I J современных оперативных запоминающих

5 —7 —I устройств (10~ -10 сек.) и временем доступа внешних ЗУ (10 р

10" сек.) [ I - 5 /, осуществляемых традиционным методом магнитной записи. Большое время доступа внешних ЗУ на магнитной основе обусловлено рядом причин, в частности: а) применяемые объемные магнитные головки не в состоянии записывать на носителе области обратной намагниченности субмикронных размеров и соответственно их считывать [ 6 - 8 /; б) по понятным причинам объемные головки пригодны только для работы в диапазоне низких частот f7 - 9 /.

Если к этоь^у прибавить еще и то обстоятельство, что бит информации от места записи до места считывания переходит механическим перемещением, что в свою очередь также ограничивает быстродействие рассматриваемых накопителей информации, то становится понятной проблема, стоящая перед исследователями по созданию новых внешних запоминающих устройств.

Исследования в этой области проводились по нескольким направлениям:

I. создание принципиально новых носителей информации, представляющих собой монокристаллические пленки с перпендикулярной анизотропией, где имеется возможность формирования цилиндрических магнитных доменов ДЗ - 16/;

2. создание продвигающих каналов для продвижения плоских низкокоэрцитивных магнитных доменов на базе обычных магнитомягких пленок /16 - 19/;

3» усовершенствование традиционных методов магнитной записи, создание высокоточных лентопротяжных механизмов [ 3 - 20/, новой магнитной среды как для обычной записи, так и перпеедикулярной (компонент поля Ну ) и, наконец, головок для записи и считывания в тонкопленочном исполнении [ 6 - 12\]. Последние представляют собой многослойные магнитостатически связанные одноосноанизот-ропные пленки, в которых ось легкого намагничивания расположена параллельно длине зазора и под действием внешних полей вектор намагниченности устанавливается в направлении оси трудного намагничивания, или, что одно и то же, запись информации осуществляется однородным вращением вектора намагниченности /21 - 25/.

Отметим, что первые два способа имеют большие потенциальные возможности, ибо здесь перемещение бит информации с места записи до места считывания осуществляется передвижением домена обратной намагниченности с помощью внешних управляемых магнитных полей. Тем не менее, хотя и преимущество методов I и 2 неоспоримо и занимаются этими проблемами вот уже более 15 лет, на сегодня, из-за отсутствия совершенной технологии получения однородных пленок на большой поверхности, они пока не нашли серийного применения.

С другой стороны, определенные успехи в создании тонкопленочных головок и серийный выпуск на их базе накопителей информации многими зарубежными фирмами /26 - 28/ вселяют уверенность, что традиционный метод магнитной записи в тонкопленочном исполнении будет применен по крайней мере до конца этого века [ 3 - 4 ].

В этой связи, как было отмечено выше, за последнее время все больше и больше растет интерес к технике магнитной записи и воспроизведения информации традиционным методом, начиная от накопителей информации и кончая видео- и звукозаписью. Естественно, в зависимости от конкретных проблем, к магнитным головкам предъявляются различные требования, но одно из основных требований к качеству магнитных головок (вне зависимости от назначения) заключается в обеспечении высокой плотности записи магнитной информации или, что то же самое, возможности создания локальных магнитных полей, способных перемагнитить области микронных и субмикронных размеров в носителе информации, представляющем собой магнито-твердые ферромагнитные слои, а также произвести последующее их воспроизведение /29-32/.

Предложенное в диссертационной работе исследование охватывает следующий круг вопросов:

1. исследование закономерностей формирования лоренцмикроско-пических изображений полей магнитных головок и изучение связи параметров этих изображений с характеристиками магнитных головок;

2. исследование влияния неоднородности магнитных головок на формирование лоренцмикроскопического изображения;

3. привлечение лоренцмикроскопии для контроля качества магнитных головок.

Результаты проведенных исследований дали возможность с микроскопической точностью установить закономерности изменения конфигурации полей реальных магнитных голсюк с изменением их параметров, что в свою очередь позволило разработать электронномикроскоические способы контроля качества магнитных головок.

Автором выносятся на защиту следующие основные научные положения:

1. Лоренцмикроскопическое изображение поверхности магнитной головки вблизи зазора описывается конхоидой Никомеда:

Одна из ветвей этой конхоиды представляет дивергентное изображение, а другая - конвергентное. Переход от одной ветви конхоиды Никомеда к другой можно осуществлять как изменением полярности поля головки, так и изменением способа наблюдения (не-дофокус лг перефокус).

2. Параметры " <2 " и " £> " уравнения конхоиды Никомеда в случае лоренцмикроскопического изображения характеризует магнитную головку: величина " а " - геометрию зазора головки, " £ " - величину и направление поля на поверхности головки вблизи зазора.

3. Характер распределения компонент полей Н„ ml Ну магнитной головки на конвергентном лоренцмикроскопическом изображении задается ординатой фокуса ( а ).

4. Для обычных магнитных головок всегда выполняется условие » где t - расстояние от фокуса конвергентного лоренцмикроскопического изображения до координаты рассматриваемой точки над зазором.

5. Привлечением "муарового" эффекта можно с высокой точностью воссоздать топографию компонент полей Их и /% над зазором головки.

6. Лоренцэлектронномикроскопия обеспечивает высокую точность в определении величины угла скоса и смещения параллельных дорожек в многодорожечных магнитных головках.

7. Характер формировавшегося астигматизма фокуса конвергентного лоренцмикроскопического изображения однозначно определяет степень неоднородностей поля магнитной головки по ее длине, обусловленной дефектами (крошение зазоров, наличие немагнитного включения, клинообразность зазора и т.д.).

Материалы диссертации отражены в статьях /79,52,87,86,105,108 ] и в изобретениях [ 85 97 кк ].

ВЫВОДЫ

1. Экспериментально установлено, что обычные просвечивающие электронные микроскопы и электронографы без существенных перестроек дают возможность с высокой точностью разрешить конфигурацию поля магнитных головок.

2. Показано, что использование конвергентного лоренцмикро-скопического изображения позволяет более детально исследовать поля магнитных головок.

3. При исследовании лоренцмиьфоскопического изображения полей головок показано, что полученное изображение полей, действующих на поверхности магнитной головки вблизи зазора описывается уравнением конхоиды Никомеда: ty-a иь - ?У

4. Показано, что параметры " a " и " 2 " уравнение конхоиды Никомеда в случае лоренцмикроскопического изображения характеризует магнитную головку: величина " a " - геометрию зазора головки, " £ " - величину и направления действия поля на поверхности головки вблизи зазора.

5. При исследовании распределения компонент полей Нх и Ну магнитной головки показано, что это распределение задается ординатой фокуса а конвергентного лоренцмикроскопического изображения.

6. Исследование формирования муаровой картины над зазором магнитной головки показало, что здесь можно провести аналогию между муаровой картиной и многолучевой интерферометрией - полосами равного хроматического порядка: с отходом от фокуса конвергентного изображения порядки интерференции" муаровых полос убывают на единицу.

7. Изучение муаровых картин показало, что привлечение муарового эффекта дает возможность воссоздать с высокой точностью топографии компонент полей н и н над зазором го

X у ловки.

8. Показано, что лоренцмикроскопия обеспечивает высокую точность в определении величины угла скоса и смещения параллельных дорожек в многодорожечных магнитных головках.

9. Показано, что обнаруженный астигматизм фокуса конвергентного лоренцмикроскопического изображения однозначно определяет степень неоднородностей поля магнитной головки по ее протяженности, обусловленной дефектами (следы крошения краев зазоров, наличие немагнитного включения, клинообразность зазора и т.д.).

10. В зависимости от характера неоднородностей математически моделируется реальная конхоидоподобная фигура конвергентного изображения поля головки (в зависимости от характера неоднородностей), что позволяет по лоренцмикроскопическим изображениям оценить степень несовершенства исследуемой магнитной головки.

11. Показано, что лоренцмикроскопия незаменима в исследовании распределения полей тонкопленочных магнитных головок.

Примечание. Приведенные в статьях /"52 , 79 , 86 , 87, 105, 108] и в заявках /"85, 97, 104 J на изобретения результаты исследования полностью принадлежат А.К.Овсепяну.

В статьях /52, 79, 105/ и заявках на изобретения /§5, 97, I04/T .А.Погосян принимала участие в разработке методики лоренц-электронномикроскопического метода визуализации магнитных полей и их расшифровки; в статье /87/ Арутюнян А.Р. принимал участие в расшифровке полос; в статье /108/ Оликян З.А. принимал участие в систематизации лоренцэлектронномикроскопических изображений различных магнитных головок в аспекте возможного моделирования их неоднородностей.

Постановку задач осуществлял Я.М.Погосян.>Обсуждение полученных результатов и вывода из вышеуказанных работ проводились совместно с научным руководителем Я.М.Погосяном. (Выписка из протокола заседания кафедры и проблемной лаборатории ФТТ Ереванского государственного университета за № II от 19 ноября 1984 г.).

Считаю своим приятным долгом выразить искреннюю благодарность доктору физико-математических наук, профессору Я.М.Погосяну за руководство и за повседневную помощь при выполнении данной работы.

Приношу свою благодарность Т.А.Погосян, А.Р.Арутюняну и З.А.Оликяну за участие в работе при разработке методики лоренцмикроскопического исследования полей головки.

За всестороннюю помощь приношу свою благодарность также сотрудникам кафедры физики твердого тела и лично заведующему кафедрой профессору П.А.Безирганяну.

- но.

1. Гуральник А.К., Мелик-Оганджанян П.Б. Устройства памяти ЦВМ. - М.: Советское радио, 1976, с. 344.

2. Внешние запоминающие устройства ЭВМ. Радиоэлектроника, - М.: НИИЭИР, 1978, вып. I.

3. Макурочкин В.Г., Филатов О.И., Ахмедов Э.Г., Шаматов У.Н. О некоторях направлениях развития внешней памяти ЭВМ. Вопросы радиоэлектроники, 1982, сер. ЭВТ, вып. 5, с. 3-9.

4. Пржиялковский В.В., Сравнительная оценка ЭВМ общего назначения по критерию стоимость/производительность. Вопросы радиоэлектроники, 1981, сер. ЭВТ, вып. I, с. 3-14.

5. Рыжов В.А., Сергеев Н.П., Рыков Б.М. Внешние ЗУ на магнитном носителе. М.: Энергия, 1978.

6. Карпенков С.Х. Вопросы конструирования, расчета и приме- -нения тонкопленочных магнитных головок для запоминающих устроствс подвижным носителем. Зарубежная радиоэлектроника, 1976, № 10, с. 23-44.

7. Роскэмп Р., Френк П. Тонкопленочные магнитные головки увеличивают плотности записи и повышают пропускную способность. -Электроника, 1977, №5, 50, с. 33-43.

8. Карпенков С.Х., Самойлов Г.Н. Характеристики воспроизведения тонкопленочных магнитных головок. Зарубежняа радиоэлектроника, 1978, № 7, с. 19-35.

9. Thin film magnetic heads. Electronics, 1979, 49, N 13, p. 31-32.

10. Potter R.I. Digital magnetic recording theory. IEEE Trans. Magn., 1974, 10, p. 502-508.

11. Чиновет P., Джордан П., Кайзер P. Тонкопленочные магнитные головки. Электроника, 1974, 47, № 15, с. 435.

12. The film integr. Magn. Head for Electronic File Memory

13. Hitachi). JEE Jap. Electr. Eng., 1974, N 9?, p. 58.

14. Раев В.К., Хаденков Г.Е. Цилиндрические магнитные домены в элементах вычислительной техники. М.: Энергоиздат, 1981.

15. Малоземов А., Слонзуски Дж. Доменные стенки в материалах с цилиндрическими магнитными доменами. М.: Мир, 1982.

16. Бобек Э., Делла Торрс Э. Цилиндрические магнитные домены. М.: Мир, 1977.

17. Боярченков М.А., Прохоров Н.Л., Раев В.К., Розенталь Ю.Д. Магнитные доменные логические и запоминающие устройства. М.: Энергия, 1974.

18. Малютин В.И., Гал Ф.А. Запоминающие матрицы ПМД с управляемым закреплением доменных границ. В. кн. Тезисы докл.

19. I Всес. школы по доменным и магнитооптическим запоминающим устройствам. Астрахань, 1980, с. 59-60.

20. Гал Ф.А., Куликов Ю.С., Малютин В.И. Пороговые характеристики плоских магнитных доменов. Автоматика и телемеханика, 1975, If 4, с. 148-153.

21. Травников Е.М. Механизмы аппаратура магнитной записи. -Киев-.: Техника, 1976.

22. Lazzari J.P. and Melnick I.P. Integrated Magnetic Recording Heads. IEEE Trans. Magn., 1971, 8, p. 146-150.

23. Brownlow b.W. and King C.C. Write Fied Analysis for Integrated Heads of the Finite-Pole-Tip Configuration. IEEE Trans. Magn., 1972, 8, p. 539-541.

24. Monson J.E. , Olson D.J., Valstyn E.,P. Scale-modelling the read process for a film head. IEEE Titans. Magn., 1975, IT, p. 1Г82-1Г84.

25. Valstyn E.P., Shew b.F. Performance of single-turn film heads. IEEE Trans. Magn., 1973, 9>, p. 317-322.

26. Walraven A. Analytic results for finite pole-tip length recording heads. IEEE Trans. Magn., 1976, 12, p. 722.

27. Лаззари П. Универсальная тонкопленочная магнитная головка для НМД с высокой плотностью записи. Электроника, 1978, 51, №11, с. 19-20.

28. Гош Д. Тонкоплшочная магниторезистивная звуковая головка Электроника, 1980, 53, Р I, с. 17-18.

29. U.S. Patent N 4353Ю2. Thin film magnetic head. Kanai et al. Oct. 5, 1982.

30. Карпенков C.X. Совершенствование тонкопленочных магнит-норе зистивных головок. Зарубежная радиоэлектроника, 1980, № 2, с. 59-81.

31. Карпенков С.X., Раков Б.М. Магниторезистивное считывание информации. Зарубежная радиоэлектроника, 1977, Р 7, с. 71-82.

32. Hunt R*R. A magnetoresistive readout transducer. IEEE Trans. Magn., 1971, 1, p. 150-Г54.

33. Mallinson С. Maximum signal-to noise ratio of a tape recorder. IEEE Trans. Magn., 1969, 5, p. 182-186.

34. Wallace R.L. The reproduction of magnetically recorded signals. Bell Syst. Tech. J., 1951, 3, p. 1145.

35. Кронес Ф. Техника магнитной записи. М.: ИЛ, 1962, с. 329-411.

36. Хогленд А. Цифровая магнитная запись. М.: Сов. радио, 1967, с. 279.

37. Стреттон Д.А. Теория электромагнетизма. Гостехиздат, 1948.

38. Бургов В.А. Физика магнитной звукозаписи. М.: Искусство, 1973.

39. Schmidbayer 0. Technik der magnetschpeicfter. Berlin: Springer-Verlag, I960.

40. Зоммерфельд А. Электродинамика. M.: ИЛ, 1957.

41. Тамм И. Основы теории электричества. Гостехиздат,1956.

42. Вестмайзе В.К. Исследования процесса магнитной записи. В кн. Магнитная запис электрических сигналов. - М.: Энергия, 1967, с. 5-98.

43. Кареквист 0. Расчет магнитного поля в ферромагнитной слое магнитного барабана.- В кн. Магнитная запись электрических сигналов. М.: Энергия, 1967, с. I3I-I54.

44. Osborn J.A. Demagnetizing factors of the general ellipsoid. Phys. rev., 1945, 67, p. 351-357.

45. Шакарян Г.Г. Парадное движение доменных границ в тонких пермаллоевых пленках. Дис. канд. физ-мат наук. - Ереван, ЕГУ, 1980.

46. Curland N., Speliotis D. Transition regions in recording magnetisation pattern.-J.Appl.Phys„1970,41,N 3,p.I099-II0I.

47. Brown W.J?. Magnetostatic principles in ferromagnetism. The Netherlands, 1962, p. 18-28.

48. Speliotis D. Correlation between magnetic and recording properties in thin surf aces.-IEEE Trans .Magn.,1966,2, p. 2 08-212.

49. Speliotis D. A theoretical analysis of suturation magnetic recording.- IBM J.Res.Develop., 1966, 10, p. 233-243.

50. Auger D., Lazzari P. Write-Process study on integratedmagnetic heads.- IEEE Trans. Magn., 1971, 2, p. 679-683.

51. Htelle M., Lazzari P. Experimental study of the externalfield on integrated head.-IEEE Trans.Magn.,1975,II,p.II2I-II23.

52. Lazzari P. Rapport CER-R-4I64, (1972). Исследованиеи изготовление новой головки записи: интегральная тонкопленочная магнитная головка. Перевод 75/48452 ВЦП № Ц-50143 .

53. Погосян Я.М., Овсепян А.К., Погосян Т.А. Конфигурация магнитного поля на поверхности магнитной головки. Ереван, 1983, -17с.- Рукопись представлена Ер.Гос.ун-том, Деп. № 295 СВ-Д83, ЦНТИ Информсвязь.

54. Авторское свидетельство № 7696II (СССР). Электроннозон-довое устройства для контроля полей рассеяния магнитных головок/ Pay Э.И., Текин В.В., Халецкий М.Б. 07.10.80 г.

55. Кринчик Г.С., и др. Магнитооптическое исследование кон-бинированных магнитных головок. Москва, 1983. -18с.- Рукопись представлена МГУ. Деп. № 214 СВ-Д89, ЦНТИ Информсвязь.

56. Авторское свидетельство № 593241 (СССР). Устройство для контроля рабочего зазора магнитной головки/ Чеканов В.В., Скибин Ю.Н., Шаукий В.П. 15.02.78 г.

57. Авторское свидетельство № 431544 (СССР). Устройство для контроля рабочего зазора магнитной головки / Палатник Л.С., Лубяный Л.З., Лукашенко Л.И. 05.06.74 г.

58. Marton L., bachebruch S. Electron-optical image of electromagnetic field. J.Appl.Phys., 1949, 20, p. II7I.

59. Соболева Л.П. О возможности исследования микрополей магнитных материалов при помощи электронного микроскопа. Изв. АН СССР, сер. физ., 1954, 18, № 4, с. 5II-5I9.

60. Thornley R.,Hutchison J. Magnetic field measurements in the scanning electron microscope. IEEE Trans. Magn., 1969, J5, p. 271-277.

61. Fisher R., Blades I. Recording gap fields by borentz shadowgraphs and characteristics of single crystal MnZn ferrite&.- IEEE Trans. Magn., 1972, 8, p. 232-238.

62. Lazzari P., Wade H. Electron probe measurements of field distributions near magnetic recording heads. IEEE Trans.Magn., 1971, 7, P. 700-706.

63. Pay Э.И., Лукьянов A.E., Спивак Г.В., Жукова Е.Н. Электронно-микроскопическое устройство для измерения магнитных полей рассеяния. Проборы и техника эксперимента, 1975, 4,с. 209-212.

64. Pay Э.И., Иванников В.П. Растровый теневой метод исследования магнитных полей рассеяния. Изв. АН СССР сер. физ., 1977, 41, № 5, с. 928-932.

65. Иванников В.П., Лукьянов А.Е. Автоматизация измерения полей рассеяния с помощью РЭМ. Изв. АН СССР сер. физ., 1977,41, № 7, с. I468-1477.

66. Pay Э.И., Спивак Г.В., Голубков В.В., Назаров В.В. Электронная микроскопия двумерных магнитных микрополей. Радиотехника и электроника, 1977, №11, с. 2365-2375.

67. Pay Э.И., Лукьянов П.В., Мелик-Огонджанян П.Б. Измерение частотно-фазовых переходных характеристик локальных магнитных полей рассеяния. Изв. АН СССР сер. физ., 1974, 38, № 7, с. I4I7-I423.

68. Хоккс Ф. Электронная оптика и электронная микроскопия. -М.: Наука, 1974.

69. Петров В.Н., Спивак Г.В., Павлюченко О.П. Электронная микроскопия магнитной структуры тонких пленок. Успехи физических наук, 1972, 106, с. 229-279.

70. Погосян Я.М. Электронномикроскопическое исследование механизма перемагничивания и явления сползания доменных границ в тонких пленках. Дис. док. физ-мат. наук Свердловск НФМ УНЦ АН СССР 1974.

71. Шпольский Э.В. Атомная физика. T.I, М.: Наука, 1974.

72. Tiromas G. Transmission electron microscope of metals. -N.Y.: John Wiley, 1962.

73. Michalak I.Т., Clenn R.C. Transmission electron microscope observations of magnetic Domain walls. J. Appl. Phys., 1961, 32, p. I26I-I265.

74. Wade R.H!. The determination of domain wall thickness in ferromagnetic films by electron microscopy. Proc. Phys. Soc., 1962, 2%, p. 1237-1244.

75. Хйрш П., Хови А., и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов. М.: Мир, 1968.

76. Хейдерпах Р. Основы просвечивающей электронной микроскопии. М.: Мир, 1966.

77. Шиммель Р. Методика электронной микроскопии. М.: Мир, 1972.

78. Томас Г., Гориндж М. Просвечивающая электронная микроскопия материалов. М.: Наука, 1983.

79. Погосян Я.М., Овсепян А.К., Погосян Т.А. Конфигурация магнитного поля на поверхности магнитной головки. Радиотехника 1984, № 6, с. 55.

80. Бронштейн И.Н., Семендяев К.А. Справочник по математике. -- М.: Наука, 1980, с. 178.

81. Берман Г.Н. Циклоида. М.: Наука, 1980.

82. Feth Ch.C. Analysis of magnetic recording field. AIEE

83. Trans., 1962, 81, p. 267-279.83. bee J.E. Calculation of the output pulse shape for digital recording process.- IEEE Trans. Magn., 1970, 6, p. 652-653.

84. Aharoni A. Theory of NRZ recording. IEEE Trans. Magn., 1966, 2, p. 100-109.

85. Авторское свидетельство P 1045265 (СССР). Способ контроля ширины рабочего зазора магнитной головки / Погосян Я.М., Погосян Т.А., Овсепян А.К., Вермишян Г.А. 01.06.83 г.

86. Погосян Я.М., Овсепян А.К. Распределение полей рассеяния магнитных головошвблизи зазора. Изв. АН Арм.ССР сер. физ., 1984, 19, вып. 5, с. 271-275.

87. Погосян Я.М., Овсепян А.К., Арутюнян А.Р. Конфигурация поля магнитной головки над зазором; Изв. АН Арм.ССР сер. физ., 1984, 19, вып. 6, с. 323-329.

88. Гусев Б.Н., Красток Б.А., Лунев В.А., Стратонов В.М. Применение муаровых картин для исследования магнитных полей рассеяния теневым электронно-оптическим-методом; Изв. АН СССР сер. физ., 1970, 34, № 7, с. 1560-1566.

89. Авторское свидетельство № 555128 (СССР). Способ контроля качества магнитных головок-/ Халецкий М.Б., Лукьянов А.Б.,1. Pay Э.И. 02.06.77 г.

90. Халецкий М.Б., Pay Э.И. Анализ полей рассеяния магнитных головок по муаровым и теневым электронно-микроскопическим картинам. Радиотехника, 1978, 33, № 4, с. 35-39.

91. Валюс Н.А. Растровая оптика. М.: Гостехиздат, 1940.

92. Лейзеганг 3. Электронная микроскопия. М.: ИЛ, I960.

93. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970.

94. Толанский С. Новые интерферометрические методы и их применение к изучению кристаллов. Успехи физических наук, 1946, 30, с. I03-II8.

95. Шкляровский И.Н., Верховцева Э.Т., Полякова Г.Н.

96. К вопросу о"нониусном эфекте", возникающее при измерений тольщин толстых слоев интерферометрическим методом. Опт. и спектр., 1959, 7, с. 566-567.

97. Погосян Я.М., Безирганян П.А., Погосян Т.А. К вопросу об определении толщины толстых пленок. Опт. и спектр., 1969, 34, с. 613-617.

98. Авторское свидетельство № 1035644 (СССР). Способ контроля многоэлементных магнитных головок для записи-i и воспроизведения информации / Погосян Я.М., Погосян Т.А., Овсепян А.К. 15.04.83 г.

99. Фрицш Г. Фазовые искажения вызываемые несимметрией вос^-производящей магнитной головки. В кн. Проблемы магнитной записи. М.: Энергия, 1975, с. 14-21.

100. Малхинсон Р. Влияние нелинейности рабочего зазора~ магнитной головки. В кн. Проблемы магнитной записи. М.: Энергия 1975, с. 21-22.

101. Geurst J.A. Theoretical analysis of tfte influence of track width on the harmonic response of magnetic reproducing heads. Philips Research Reports, 1965, 20, p. 623-657.

102. Ми Ч. Физика магнитной записи. М.: Энергия, 1967.

103. Патент Великобритании № I49II76 МКИ GIIB 5/46 опублик., 09.11.77 г.

104. ЮЗ. Сборник под ред. Д.Кэя. Техника электронной микроскопии. М.: Мир, 1965.

105. Авторское свидетельство № 1056272 (СССР) . Способ контроля?1 однородности магнитного поля в зазоре магнитной головки для записи информации / Погосян Я.М., Погосян Т.А., Овсепян А.К. 22.07.83.

106. Поголян Я.М., Овсепян А.К., Погосян Т.А. Электронномик-росжшическое исследование качества магнитных головок. Ереван, 1983. -13 е.- Ружшись представлена Ер.Гос.ун-том. Деп. в ВИНИТИ 10 июля 1984, № 4923-84.

107. Ю6. Кельман В.М., Яров С.Я. Электронная оптика. Ленинград: Наука, 1968.

108. Hashimoto Н., Uyeda R. Detection of dislocation by the pattern in electron micrographs.- Acta Cryst., 1957, 10, p. 143.

109. Погосян Я.М., Овсепян А.К., Оликян З.А. Неоднородные магнитные поля головок в лоренцмикроскопическом изображении. Изв. АН Арм.ССР сер. физ.