Эмиссионные и инжекционные свойства низкоразмерных углеродных материалов и гетероструктур на их основе

Стрелецкий, Олег Андреевич

Эмиссионные и инжекционные свойства низкоразмерных углеродных материалов и гетероструктур на их основе тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

Стрелецкий, Олег Андреевич АВТОР

кандидата физико-математических наук УЧЕНАЯ СТЕПЕНЬ

Москва МЕСТО ЗАЩИТЫ

2012 ГОД ЗАЩИТЫ

01.04.04 КОД ВАК РФ

Диссертация по физике на тему «Эмиссионные и инжекционные свойства низкоразмерных углеродных материалов и гетероструктур на их основе»

Автореферат диссертации на тему "Эмиссионные и инжекционные свойства низкоразмерных углеродных материалов и гетероструктур на их основе"

Стрелецкий Олег Андреевич

На правах рукописи

ЭМИССИОННЫЕ И ИНЖЕКЦИОННЫЕ СВОЙСТВА НИЗКОРАЗМЕРНЫХ УГЛЕРОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ИХ ОСНОВЕ

Специальность 01.04.04 — физическая электроника

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени »

кандидата физико-математических наук

5 А ^ 0 Ш1

Москва 2012

005020015

Работа выполнена в Московском государственном университете им. М. В. Ломоносова на кафедре физической электроники Физического факультета.

Научный руководитель:

к.ф.-м.н., доцент Хвостов Валерий Владимирович Официальные оппоненты:

Мордкович Виктор Наумович, д.ф.-м.н., профессор, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, заведующий лабораторией Красовский Виталий Иванович, к.ф.-м.н., ИОФ РАН, ст. научный сотрудник

Ведущая организация:

Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт"

Защита состоится «19» апреля 2012 года в 17-00 на заседании диссертационного совета Д 501.001.66 при Московском государственном университете имени М.В.Ломоносова по адресу: 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр.2, Физический факультет МГУ, ауд. СФА.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке физического факультета МГУ имени М.В .Ломоносова.

Автореферат разослан «ІІ.» 20/2-года

Ученый секретарь

диссертационного совета Д 501.001.66, к.ф.-м.н.

И.Н.Карташов

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ Актуальность работы

Приоритетным направлением развития науки и техники в настоящее время является твердотельная электроника, лежащая в основе разнообразных направлений техники (энергетика, приборостроение, видеотехника, светотехника и другие).

Твердотельная электроника основывается, на свойствах традиционных полупроводников и гетерострукгур на их основе. В результате возрастающих требований к миниатюризации элементной базы, размеры МОП (металл-окисел-полупроводник) структур (например, длина канала проводимости) приблизились к предельным минимальным значениям - порядка 30 нм. Дальнейшее уменьшение размеров приводит к квантовым эффектам, нарушающим принципы работы традиционной полупроводниковой электроники. Существуют фундаментальные ограничения, связанные с физикой работы полупроводниковых приборов. Размер полупроводникового элемента не может быть меньше длины свободного пробега электрона и радиуса экранирования Дебая в полупроводнике (десятки нанометров). Используемые в настоящее время технологии и материалы уже дошли до своего технологического предела.

Логика развития физики низкоразмерных систем ставит фундаментальные задачи поиска новых материалов и структур на их основе и детального изучения их электрофизических свойств с целью создания приборов нового поколения на новых принципах работы. В связи с этим представляются чрезвычайно актуальными исследования, направленные на создание альтернативных материалов и устройств, способных обеспечить дальнейший рост производительности интегральных микросхем, как за счет собственных нетривиальных электрофизических свойств, так и за счет возможности изготовления на их основе приборов, работающих на принципиально новых физических эффектах. Одним из подходов решения этой задачи - формирование логических устройств на основе одноэлектронных устройств. Однако анализ работы одноэлектронных устройств выявил ряд проблем. Линейный размер элемента работающего при комнатной температуре не должен превышать 5 нм, что не позволяет создание устройств на его основе в рамках существующих промышленных технологий. Более того, обеспечение воспроизводимости размеров и формы таких элементов в настоящее время не представляется возможным.

урядными эмиссионными свойствами. Поэтому требуется поиск новых наноматериалов с уникальной электронной структурой, обеспечивающей высокий коэффициент вторничной электронной эмиссии (ВЭЭ) сравнимой или превышающей коэффициент вторичной эмиссии диэлектриков (= 10). Линейно-цепочечный углерод (ЛЦУ) идеально подходит для этих

целей из-за особенностей его электронной структуры.

Структура ЛЦУ представляет собой параллельные цепочки атомов углерода с эр1 - гибридизацией валентных связей, образующих гексагональные плотно упакованные слои. Углеродные цепочки ориентированы нормально по отношению к подложке и поверхности пленки. Одномерный характер структуры ЛЦУ определяет высокую анизотропию электрической проводимости (вдоль и поперек цепочек). Электрическая проводимость вдоль цепочек на шесть порядков выше, чем в перпендикулярном направлении.

Анизотропия проводимости пленок ЛЦУ, их баллистическая проводимость вдоль цепочек дают основание ожидать аномально высокие транспортные свойства электронов и, соответственно высокую вторично-электронную эмиссию, что позволит проектировать такие электронные устройства как электронно-чувствительные фотоэлектрические преобразова-

Цель работы

Целью данной работы является:

1. Синтез и сравнительный анализ исследован«^ структурных свойств различных форм ЛЦУ полученного следующими методами: импульсяо-плазмённого осаждения (двумерно-упорядоченный (ДУ) ЛЦУ), ионно-стимулированной конденсации (поликристалический ЛЦУ) и методом дегидрогалогеиирования поливинилиденхлоридоого волокна с последующей термической обработкой в вакууме (аморфный ЛЦУ).

2. Исследование вторично-эмиссионных свойств ДУ ЛЦУ и анализ механизма эмиссии отвечающего за высокий коэффициент ВЭЭ по сравнению с другими углеродными материалами.

3. Исследование инжекционных и транспортных свойств гетероструктур типа металл -ЛЦУ - металл, с целью создания базовых элементов устройств углеродной электроники на

основе ДУ ЛЦУ и поликристашшческого ЛЦУ.

4. Исследование эмиссионных свойств аморфного ЛЦУ с целью создания эффективных

холодных эмиттеров.

Научная новизна и научно-практическая значимость работы

заключается в том, что:

1. Получены низкоразмерные материалы на основе ЛЦУ методами ионно-плазменного, ионно-стимулированного осаждения и методом химического дегидрогалогенирования.

2. Впервые получены и исследованы поликристаллические пленки углерода на основе sp1 - связей с высокой анизотропией проводимости.

3. Созданы гетероструктуры типа металл - ЛЦУ, металл - диэлектрик - ЛЦУ п исследованы их функциональные свойства.

4. Проведено комплексное исследование эмиссионных и инжекционных свойств гетероструктур (металл - ЛЦУ, металл - диэлектрик - ЛЦУ) на основании которых определены оптимальные характеристики технологических процессов для обеспечения их высоких функциональных свойств: высокий потенциал открывания (от 3 В), высокая крутизна вольтамперной характеристики.

5. Обнаружена аномально высокая вторичная эмиссия (коэффициент вторичной эмиссии я 50) электронов пленок ДУ ЛЦУ на просвет, что позволяет использовать их в качестве твердотельных умножителей электронов для создания приборов твердотельной эмиссионной электроники.

6. Разработан лабораторный образец холодного эмиттера на основе структуры металл-диэлектрик - ДУ ЛЦУ - металл.

7. Изготовлен холодный катод на основе аморфного ЛЦУ, с механизмом эмиссии по Шоттки.

8. Создан макет нового наноэлектронного устройства - полевого транзистора на основе пленки ДУ ЛЦУ.

Личный вклад автора

Все приведенные результаты получены автором лично или с его определяющим непосредственным участием. Существенным вкладом автора являются: создание измерительных стендов, разработка методик измерений и обработка полученных результатов, на основании чего, автором сформулированы и обоснованы выводы диссертации

Апробация работы

Основные результаты работы были опубликованы в виде статей и тезисов докладов конференций, перечень которых приведен в конце автореферата. Результаты работы докладывались на научной конференциях: Ломоносовские чтения (Москва, 2009), XI International Conference Hydrogen Materials Science & Chemistry of Carbon Nanomaterials (Yalta-Crimea-Ukraine 2009), на инновационной выставке в рамках «Российского молодежного инновационного Конвента» (Москва, 2008), Конференция по физике плазмы и управляемому термо-

ядерному синтезу (Звенигород, 2012). Результаты исследований были опубликованы в виде отчетов и финансировались в рамках: федеральной целевой программы по теме «Разработка технологии получения линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) и разработка опытных образцов термоэлектрических преобразователей и источников света с применением нового яано-материала на основе ЛЦУ», (государственный контракт №5980р/8130 от 31.03.2008), научно-исследовательских работ по теме: «Линейно-цепочечный углерод как материал для создания покрытия коллектора высокоэффективного термоэмиссионного преобразователя» (Соисполнители Заказчика по выполнению государственного контракта № 02.516.12.6004 «Высокоэффективный термоэмиссионный модуль с газовым нагревом для когенерацион-ных энергетических установок нового поколения»), государственного контракта № 02.740.11.0229 на выполнение НИР по теме: «Исследование процессов в новых устройствах электроники на основе квантования переноса заряда и магнитного потока» в рамках федеральной целевой программы «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы.

Объем и структура диссертации

Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения и списка литературы. Диссертация содержит 147 стр., включая 77 рисунков, 5 таблиц и 105 библиографических наименований.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Введение

Во введении обоснована актуальность темы диссертации, сформулированы цель работы, научная новизна, научно-практическая значимость, приводится список публикаций по теме диссертаций.

Глава 1. Эмиссионные и инжекционные свойства поверхности и гетеропереходов.

В данной главе приводится обзор как основных типов эмиссии с поверхности твердого тела, так и изучения ишкекционных и транспортных свойств.

1.1 Обзор различных типов электронной эмиссии

В данном параграфе содержится обзор литературных данных по изучению электронной эмиссии с поверхности различных углеродных материалов.

Приведены результаты исследований холодной эмиссии с нано- и микрокристаллических материалов - аморфного и нанокристаллического алмаза [1-10,11], микро- и нанографита

[10-13], нанотрубок [9.10,13.14], а также углеродных волокон на основе 5р2-связей [15,16, 17].

Углеродные материалы имеют сравнительно высокую работу выхода (4-5 эВ). Поэтому электронная эмиссия из таких материалов, как правило, происходит по механизму тунне-лирования сквозь потенциальный барьер твердое тело-вакуум» и хорошо описывается теорией автоэлектронной эмиссии Фаулера-Нордгейма [18]:

1(Е) = АЕ2 ехр(-5/Е) О

где 1 - автоэлектронный ток, Е - напряженность поля на поверхности катода,

ЫЪ<р?(Е,<р)' 3 Ы К '

ф. работа выхода, А - постоянная Планка, е - заряд электрона, т - масса электрона, / (Е, <р) и в (Е,<р)- специальные функции, которые определяются формой потенциального барьера.

Как видно из (1), автоэлектронная эмиссия не зависит от температуры катода и определяется только напряженностью внешнего электрического поля, которое уменьшает ширину потенциального барьера на границе «твердое тело-вакуум». Автоэлектронная эмиссия наблюдается в электрическом поле высокой напряженности Е > 107 В/см.

Совершенно другой вариант эмиссии электронов наблюдался, к примеру, на пленках аморфного алмаза [9], где имеет место механизм эмиссии по Шотпш, т.е. термоэлектронная эмиссия, усиленная электрическим нолем. Это классический механизм надбарьерной эмиссии через потенциальный барьер на границе «твердое тело-вакуум». В этом случае эмиссионный ток определяется работой выхода материала катода IV, температурой Т и приложенным полем Е по формуле Дэшмана - Шоттки:

(2)

где А- постоянная Ридчардсона, / - квантовомеханический коэффициент прохождения электронов над барьером, Е - приложенное внешнее поле, е - заряд электрона. При этом наблюдавшаяся работа выхода в [9] была около 1 эВ, а ток эмиссии сильно зависел от температуры. Крутизна ВАХ в этом случае была 0,3 мА/кВмм'1 при напряженности электрического поля 8,5 кВ/мм.

Кроме холодной эмиссии, как показали последние исследования наноструктурирован-ные углеродные пленки имеют высокий коэффициент вторичной эмиссии [19].

Процесс вторичной эмиссии электронов можно подразделить на три этапа [20], связанных с:

1. Потерями энергии электронов при движении в твердом теле - первичный электрон теряет энергию за счет одночастичных взаимодействий (образование электронно-дырочных пар, за счет ионизации атомов решетки), а также за счет потерь на возбуждения коллективных электронных колебаний (плазмонов).

2. Транспортом возбужденных горячих электронов к эмитирующей поверхности, который также связан с диссипацией энергии горячих электронов, как за счет электрон-электронных взаимодействий (ионизация) так и за счет электрон-фононного взаимодействия (термолизация) и возбуждения плазмонов. Данный этап, определяется исключительно структурными свойствами материала.

3. Эмиссией электронов в вакуум через потенциальный барьер на границе раздела поверхность-вакуум.

Исследования холодной эмиссии алмазных пленок показали, что при легировании поверхности водородом, работа выхода понижалась на 1,45эВ, а выход вторичных электронов увеличивался на порядок. Дальнейший анализ указал причины столь высокого коэффициента вторичной эмиссии на просвет (до 10) для алмаза, это: 1) широкая запрещенная зона (больше 5эВ), которая исключает потери энергии возбужденных электронов на генерацию электронно-дырочных пар, что позволяет низкоэнергетичным вторичным электронам выходить с больших глубин, 2) очень низкая или даже отрицательная энергия сродства поверхности, которая обеспечивает высокую вероятность выхода вторичных электронов.

Отсюда следует, что высокие значения коэффициента вторичной эмиссии имеют материалы либо с большой длиной свободного пробега электронов в зоне проводимости (глубина выхода электронов) или низкую энергией сродства (работа выхода). Например, диэлектрики типа 1^0 и АЬОз, имеют достаточно большую длину свободного пробега электрона (сравнимую с глубиной выхода возбужденных электронов) в зоне проводимости, низкую энергию сродства (меньше 1 эВ) и соответственно имеют самые высокие значения коэффициента вторичной эмиссии (свыше 10) [21].

Таким образом, коэффициент вторичной эмиссии, который определяется выше перечисленными факторами, можно существенно увеличить за счет создания оптимальных условий для вторичной эмиссии:

1) эффективный перенос возбужденных электронов к эмитирующей поверхности,

2) высокий выход возбужденных электронов с поверхности материала в вакуум.

Первый этап зависит только от подвижности электронов - проводимости материала.

Второй этап зависит от величины работы выхода. Высокий коэффициент вторичной электронной эмиссии алмазных пленок, обусловлен только низкой работой выхода (благодаря

отрицательному электронному сродству^) так как подвижность электронов в алмазе (транс)

порт электронов) очень низкая. В случае пленок ДУ ЛЦУ, высокий коэффициент вторичной электронной эмиссии может быть обусловлен чрезвычайно высокой подвижностью электронов в одномерных углеродных цепочках.

1.2 Обзор ипжскциониых свойств низкоразмерных гетероструктур

При рассмотрении проводимости структуры металл-пленочный диэлектрик-металл важно знать, что представляет собой контакт металл-диэлектрик. В данной главе характеризуются основные виды контактов: нейтральные, омические и выпрямляющие. Диэлектрики, к которым относятся многие окислы переходных металлов, рассматриваются как широкозонные полупроводники с низкой концентрацией элекгронов при нормальных условиях.

Одним из современных методов исследования электронной структуры и транспортных свойств тонких пленок является сканирующая туннельная спектроскопия (СТО), которая позволяет изучать локальную электронную структуру. В основе спектроскопии лежит зависимость туннельного тока от числа состояний N, образующих туннельный контакт поверхности и зонда в интервале энергий от уровня Ферми ц до ц-eV. Туннельная вольтамперная характеристика отражает число электронных состояний и их распределение в энергетическом спектре электродов, образующих туннельный контакт. Это дает возможность изучать плотность состояний как в валентной, так и в зоне проводимости материала. Кроме этого в дифференциальной проводимости (dl/dU) проявляются электронные состояния в запрещенной зоне, связанные с дефектными и примесными состояниями.

Таким образом, туннельная вольт-амперная характеристика гетероструктур определяется следующими факторами:

-электронной структурой валентной зоны и зоны проводимости исследуемых плёнок,

дефектными уровнями в запрещенной зоне;

-транспортными свойствами исследуемой плёнки, которые в свою очередь определяются структурой и проводящими свойствами среды;

-барьерными свойствами границы раздела металла подложки и плёнки.

В заключении главы конкретизированы основные задачи диссертационной работы.

Глава 2. Описание экспериментальной части

В этой главе описаны использовавшиеся в экспериментах приборы. Описана методика приготовления исследуемых образцов и методики их аттестации. Анализ и аттестация полученных образцов проводилась методами электронной микроскопии, KP-, ИК-, фурье-спектроскопии, спектроскопии характеристических потерь электронов, просвечивающей микроскопия, атомносиловой микроскопией и сканирующей туннельной спектроскопией.

2.1 Описание методики приготовления и измерения образцов аморфного ЛЦУ.

Образцы аморфного линейно-цепочечного углерода приготавливались методом де-гидрогалогенирования поливинилиденхлоридного (ПВДХ) волокна с последующей термическим вакуумным отжигом при различных температурах. В качестве прекурсора использовалось волокно из сополимера ПВДХ:ПВХ диаметром 10 мкм.

Отжиг проводился в муфельной печи, в атмосферных условиях до температуры порядка 300°С, затем материал отжигался в диапазоне от 400 - 700°С в высоком вакууме (10"6 Тор, установка ВУП-5). Вакуумный отжиг проводился в кварцевой трубке, с вольфрамовым нагревателем и установленной термопарой, по которой производился контроль за температурой отжига.

Полученные образцы эмиттера из аморфного ЛЦУ наносились на металлическую подложку, которая помещалась в рабочий объем вакуумного универсального поста (ВУП-5) для проведения измерений вольтамперных (ВАХ) характеристик тока эмиссии на специальном стенде. Измерения ВАХ производились при помощи внешнего высоковольтного блока питания в диапазоне напряжений от 0 до 5000 В. Для проведения исследований влияния ионного облучения на эмиссионные характеристики аморфного ЛЦУ, использовалась стандартная приставка для ионного травления в ВУП-5. Травление осуществлялось ионами аргона с энергией 1 - 2 кВ и плотности тока от до 1 - 5 мА/см2.

2.2 Описание методов приготовления и измерения пленок ДУ ЛЦУ

Пленки ДУ ЛЦУ различной толщиной (10 - 500 нм), получались методом импульсно-плазменного осаждения [22,23], на поверхности металлов и диэлектриков.

Вторично-эмиссионные свойства пленок ДУ ЛЦУ исследовались в сверхвысоковакуум-ной установке фирмы ИЬег (10'9 Тор). Величина первичного тока электронов в проведенных измерениях не превышала 10 нА, что обеспечивало минимальное влияние электронного облучения на структуру пленок ДУ ЛЦУ. Измерения токов вторичных электронов проводились с использованием аналого-цифрового преобразователя со временем накопления, при котором отношение сигнала к шуму составляло не менее 20. Соответственно погрешность

измерения тока не превышала 5%.

Измерения проводились в диапазоне энергий первичных электронов огг 0.2 - 2.5 кэВ. Расстояние между образцом и первой вытягивающей сеткой составляло 1 мм, соответственно напряженность вытягивающего поля для вторичных электронов варьировалась от 0 до 2 кВ/см.

2.3 Описание метода приготовления и аттестации пленок поликристаллического ЛЦУ

Напыление пленок поликристаллического ЛЦУ проводилось в специальной модифицированной вакуумной камере. Камера была снабжена четырьмя установочными фланцами, на которых крепились: источник ионов, работающий на разряде постоянного тока [24,25], электрические вводы диагностического оборудования, цилиндр Фарадея, служащего для измерения плотности ионного тока, энергоанализатор, служащего для измерения энергетического распределения ионов и измерителя толщины пленок. На отдельном фланце в ряде экспериментов крепится ВЧ индуктивный источник ионов [26]. Мишенью служила графитовая мишень 10 (марки МПГ-6) находящаяся под углом 45° к оси камеры. При напылении пленок использовалась ионная стимуляция ионами аргона. Энергия ионов аргона составляла 0 - 200 эВ, плотность пучка ионов - изменялась в диапазоне 0.5-5 мА/см2. Пленки напылялись на подложки металлов и диэлектриков.

2.4 Методика измерений инжекциопных и транспортных свойств углеродных ге-тероструюур

Полученные гетерострукгуры на основе ЛЦУ типа металл - углерод - металл исследовались контактным методом на стенде, схематически представленном на рис.1 и методом туннельной спектроскопии с использованием туннельного микроскопа СТМ-ФЕМТОСКАН.

ПК

ЦАП А V

Рис.1 Схема установки для измерения ВАХ пленок. Ях-сопротивление покрытия, Яу - измерительное сопротивление, V-входное напряжение, которое подается на сопротивления, Уу - измеряемое напряжение

Глава 3. Результаты проведенных исследований и их обсуждение

В данной главе приводятся результаты проведенных исследований структурных, эмиссионных и инжекционных свойств гетероструктур на основе ЛЦУ.

3.1 Структурные и эмиссионные свойства аморфного ЛЦУ

В данном параграфе приведены результаты исследований структурных и эмиссионных свойств аморфного ЛЦУ и влияние на них термической обработки. На рис.2 показано влияние термической обработки на эмиссионные свойства аморфного ЛЦУ. Из полученных результатов следует, что температурная обработка радикально влияет на основные эмиссионные характеристики - порог эмиссии и крутизну ВАХ.

Анализ ВАХ показал идеальное спрямление в координатах Шоттки, что свидетельствует о надбарьерном механизме эмиссии, которая, в свою очередь, определяется работой выхода. Как было показано в [27], значение эффективной работы выхода напрямую связано с длиной линейного фрагмента цепочки: чем меньше его длина, тем выше напряженность встроенного поля и соответственно меньше эффективная работа выхода. Таким образом, термическая обработка приводит к формированию линейно-цепочечных фрагментов с низкой работой выхода.

При больших плотностях эмиссионного тока (порядка 1А/см2) происходила термическая графитизация эмитирующей поверхности (пробои), после которой эмиссионные характеристики резко ухудшались. Ухудшение эмиссионных характеристик связано с перегревом и соответственно графитизацией отдельных эмитирующих элементов в результате которой,

работа выхода возрастает на порядок.

В связи с этим были проведены исследования влияния ионного травления на эмиссионные характеристики эмиттеров на основе ЛЦУ. Травление проводилось ионами аргона с энергией 1 кэВ и плотностью тока 3 мА/см2, оценочная глубина травления составила примерно 1 мкм. Результаты этих исследований представлены на рис.3, где хорошо видно, что после травления аргоном, эмиссионные характеристики в значительной мере восстанавливаются. Иными словами, графитизированный поверхностный слой в результате травления удаляется.

Э 'З

400 600 Є00 1000 1200 400 1600

Напряженность электрического поля (В/мм)

Рис.2. ВАХ образцов ЛЦУ для различных температур обработки

0,0035-

0,0030-

"s 0,0025-

се 0.0020-

А 0.0015-

£ 0.00)0 -

С 0,0005-

0,0000-

-0.0005-

-ДО ПробоЯ • После пробоя

- После пробоя и травления /

300 400 500 600 700 000 900 1000 1100 1200 Напряженность электрического поля (В/мм)

Рис.3. ВАХисходного образца ЛЦУ, образца после пробоя (термическая графитизация) до и после его травления аргоном

В таблице 1 приведены значения эффективной работы выхода в зависимости от температуры вакуумного отжига. Определена оптимальная температура отжига аморфного ЛЦУ при которой формируется структура с минимальной работой выхода.

Таблица 1

Температура отжига, °С 550 600 500

Работа выхода, эВ 0.53 0.59 0.62

3.2 Вторичная электронная эмиссия и транспортные свойства ДУ ЛЦУ

3.2.1 Вторично-эмиссионные свойства пленок ДУ ЛЦУ

В этом параграфе представлены результаты исследований вторичной-электронной

эмиссии пленок ДУ ЛЦУ.

Энергия первичных электронов изменялась от 100 до 2000 эВ. Вторично-электронная эмиссия измерялась при различных вытягивающих напряжениях от 0 до 2000 В. При нулевом вытягивающем напряжении в исследуемом диапазоне энергий первичных электронов максимальное значение тока вторичных электронов составляло = 2 от тока первичных электронов. При напряженности вытягивающего поля 10 кВ/см это значение равнялось = 30, а при 20 кВ/см = 50. Зависимость коэффициента вторичной эмиссии от энергии первичных электронов, имеет максимум (=50) при энергии первичных электронов 400 эВ. При более высоких энергиях первичных электронов коэффициент вторичной эмиссии уменьшается на 20-25% и практически не зависит от энергии.

Для выяснения причин столь высокого коэффициента вторичной эмиссии на просвет пленок ДУ ЛЦУ были измерены энергетические спектры вторичных электронов. Энергетические спектры вторичных электронов имеют аномально большую ширину (0 - 25 эВ). Это означает, что вторично-электронная эмиссия определяется выходом электронов с возбужденных уровней, лежащих выше уровня вакуума.

Таким образом вторичную электронную эмиссию на просвет в пленках ДУ ЛЦУ можно

объяснить следующими процессами:

- возбуждением плазменных колебаний при движении первичных электронов вдоль цепочек (энергия плазмонов в ЛЦУ составляет 22 эВ),

- генерацией возбужденных электронов в результате релаксации плазмонов,

- заполнением возбужденными электронами высоколежащих состояний в зоне проводимости,

- транспортом возбужденных электронов к эмитирующей поверхности и выходом вторичных электронов в вакуум.

3.2.2 Транспортные и инжекционные свойства гетеросгруктур на основе ЛЦУ

Эксперимент проводился на микроскопе СТМ-ФЕМТОСКАН, в работе исследовались гетероструктуры типа: металл-поликристаллический ЛЦУ и метшш-двумерноупорадоченный ЛЦУ. На рис.4, представлены результаты исследования плёнки поликристаллического ЛЦУ. Дифференциальная проводимость данной структуры имеет максимумы при напряжениях 40.7,+1 В и -1, -1.2 В. Кроме этого на полученной кривой видно, что проводимость в диапазоне -0.2 до 40.2 В равна нулю. Это означает наличие запрещенной зоны в поликристаллическом ЛЦУ шириной =0.5 эВ. Полученное значение ширины запрещённой зоны согласуется с данными по оптическому поглощению. Максимумы на кривой соответствуют пикам плотности состояний в валентной зоне и в зоне проводимости ЛЦУ. Следует отметить что, при напряжениях больше, чем 1.2 В наблюдается резкое увеличение туннельного тока, которое видимо, связано с началом полевой эмиссии.

На рис. 5 представлены результэты, полученные на плёнке двумерно-упорядоченного ЛЦУ толщиной 100 нм, напыленной на Ag контактную поверхность.

Для этой структуры характерно наличие периодических ярко выраженные осцилляций на кривой дифференциальной проводимости с периодом примерно 100 мВ. Подобные осцилляции наблюдались в туннельных спектрах углеродных плёнок с нанокластерами металла [30] и связывались с туннельными одноэлектронными переходами между отдельными металлическими кластерами, разделёнными диэлектрическим слоем углеродной плёнки (эффект кулоновской блокады).

Рис. 4 Дифференциальная проводимость структуры П-поликристаллический ЛЦУ-

зонд

Рис.5. Дифференциальная проводимость структуры Ag-ДУЛЦУ- зонд

В нашем случае плёнка ДУ-ЛЦУ на 98 % является углеродной и имеет очень высокую проводимость вдоль цепочек и кулоновская блокада возникнуть не может. Кроме этого в структурах нанометровых размеров, образуемых упорядоченными мономолекулярными

слоями, периодические осцилляции можно объяснить существованием волн зарядовой плотности (ВЗП), соизмеримых с периодом молекулярных решеток. В результате туннельный ток в значительной степени может определяться энергетическими характеристиками этих состояний. Такая ситуация возможна в результате наличия регулярных дефектов (изгибов) в линейной цепочке. Тогда в ЛЦУ возможно возникновение волны зарядовой плотности, в которой на концах линейного фрагмента волновая функции электрона имеет нулевое значение. Такая ситуация соответствует равенству длины линейного фрагмента половине длины волны де Бройля. Тогда, если считать среднее расстояние между атомами углерода 1.3 А, линейный фрагмент в ЛЦУ содержит 16 атомов.

3.2.3. Создание прототипов гвердотельных эмиссионных устройств на основе ЛЦУ

Проведенные исследования явились основой для создания активных элементов твердотельной электроники, механизмы работы которых основываются на инжекционных (эмиссионных) свойствах исследованных гетеросггруктур на основе ЛЦУ.

Были изготовлены макеты гетеросггруктур, являющиеся прототипами твердотельных эмиссионных устройств: лабораторный образец холодного эмиттера, лавинного диода, полевого и инжекционного транзистора.

Образец холодного эмиттера представляет собой пленочную структуру металл - диэлектрик - ЛЦУ - металл. В качестве катода использовались пленки следующих металлов -иттрий, титан, серебро. Диэлектриком являлась пленка алмазоподобного углерода (1аС) с шириной запрещенной зоны порядка ЗэВ. Пленки ЛЦУ имеют ширину запрещенной зоны в диапазоне 1-1.5 эВ. Исследовались структуры с толщиной диэлектрической пленки от 2 нм до 100 нм, пленки ЛЦУ с толщинами от 10 нм до 100 нм. Наиболее высокие инжекдионные характеристики были получены на следующей структуре - иттрий (катод) - 50 нм Ха£ (диэлектрик) - 50 нм ЛЦУ.

1.5x10"8 -і

Рис. 6. Вольт-амперная характеристика твердотельного инжекционного эмиттера

Типичная вольтамперная характеристика данной структуре изображена на рис.6. Из рисунка видно, что пороговое напряжение (порог открывания) эмиссии данной структуры составляет примерно 3.5 В. При напряжении свыше 7 В вольтамперная характеристика имеет вид, типичный для режима пробоя полупроводникового диода. При меньших напряжениях вольтамперная характеристика имеет экспоненциальный вид, характерный для надбарьерной эмиссии по Шотгки (расчетная кривая приведена пунктирной линией на рис.6).

Для интерпретации данных выводов экспериментальная вольтамперная характеристика была построена в соответствующих координатах (Шотки и Фаулера-Нордгейма). Данные измеренные ВАХ показали превосходное спрямление в координатах Шотгки. Вычисленное значение высоты потенциального барьера на границе иттрий - 1аС, полученное при экстраполяции ВАХ до нулевого значения напряжения смещения, составило 0.85 эВ. Используя это значение барьера и диэлектрическую проницаемость 1аС была рассчитана зависимость тока надбарьерной эмиссии от величины приложенного напряжения. Расчетная кривая приведена на рис.6 пунктирной линией. Сравнение показывает, что до напряжения смещения 6.5 эВ теоретическая кривая идеально совпадает с экспериментальной вольтамперной характеристикой эмиттера, а начиная с 7 эВ экспериментальная зависимость имеет вид, соответствующий режиму пробоя. Это означает, что при низких напряжениях смещения ток через структуру определяется током надбарьерной эмиссии на границе раздела металл- ШС. В результате электроны, инжектируемые в пленку ЛЦУ через 1аС, имеют энергию (3.5эВ) достаточную для генерации в ЛЦУ (ширина запрещенной зоны 1эВ) электрон - дырочных

пар. При этом возможно лавинообразное увеличение числа электронов в зоне проводимости ЛЦУ, что приводит к усилению тока инжекции.

С целью создания полевого транзистора проводились исследования полевого эффекта в пленках ДУ ЛЦУ как в продольном, так и в поперечном направлении. На рис.7а показано схематическое изображение структуры для изучения полевого эффекта в поперечном направлении.

Толщина пленки составляла 500 А. Пленка напылялась на поверхность подложки из сапфира. Электрическое поле создавалось двумя затворами из алюминия, осажденного по обоим сторонам пленки и отделенными от нее диэлектрическими зазорами. В качестве истока и стока использовались алюминиевые контакты.

ВАХ изготовленной структуры для различных значений потенциала затвора представлены на рис.76. Из рисунка видно, что проводимость пленки зависит от приложенного напряжения на затворе, что свидетельствует о наличии эффекта поля.

Следующая гетерострукгура была создана на основе пленки ЛЦУ, в которой управление током вдоль цепочек осуществлялось с помощью электрического поля подаваемого в перпендикулярном цепочкам направлении. На рис.8 представлены фотография макета (а) и структура, состоящего из 5 триодов, которая представлена на рис. 8 (б). Толщина пленки ЛЦУ составляет 300 нм. В качестве эмиттера и коллектора использовались тонкие пленки А1. Пленка ЛЦУ-напылялась между двумя диэлектрическими слоями из пленок аморфного тетраэдрического углерода 1аС. Потенциал на пленку ЛЦУ подавался с управляющего электрода. При приложении разности потенциалов между коллектором и эмиттером через данную структуру возникал ток (рис.9 черная линия), типичный для такого рода структур. При подачи на управляющий электрод отрицательного потенциала инжекционный ток уменьшался в несколько раз (рис.9 пунктирная кривая).

Полученные результаты свидетельствуют о том, что на инжекционные свойства структуры металл - диэлектрик - ЛЦУ зависят от величины электрического поля, приложенного перпендикулярно цепочкам. При подаче отрицательного потенциала относительно катода, возрастает барьер на границе металл - диэлектрик, что и приводит к уменьшению инжекци-онного тока.

На основе исследования различных гетероструктур на основе ЛЦУ созданы так же лабораторные макеты резонансного, лавинного диодов и трехэлекгродных устройств с транспортом электронов поперек цепочек (полевой транзистор) и транспортом вдоль цепочек (инжекционный транзистор).

Рис. 7. Структурная схема макета полевого транзистора (а), Вольт-амперные характеристики при различных значениях напряжения смещения (б)

ситалл

Рис. 8. Фотография макета из пяти триодов (к - коллектор, у трод, э - эмиттер) а) ига структура б) 19

-управляющий элек-

Рис. 9. ВАХ триода при нулевом напряжении на базе (сплошная кривая) и-3 В (пунк- \

тирная кривая)

3.3 Структурные и инжекционные свойства поликристаллических пленок ЛЦУ

Приведены результаты исследования пленки поликристаллического ЛЦУ в просвечивающем электронном микроскопе с высоким разрешением. Из рис. 10 видно, что пленка имеет высокоразвитую поверхность, состоящую из нанокристаллов с характерным размером 20 нм.

Дифракционные картины (рис. 10) отчетливо показали семь колец, что свидетельствует о поликристаллической структуре полученных углеродных пленок. Рассчитанные межплоскостные расстояния не соответствуют структурам как графита, гак и алмаза. С другой стороны полученные результаты превосходно совпадают с результатами работы [31], что свидетельствует о карбиноподобной структуре пленок. 1

Дополнительная информация о структуре образца получена методом КР-спектроскопии. Характерной особенностью КР-спектра исследуемой пленки является наличие интенсивного пика в диапазоне частот 2000-2100 см"1, который соответствует колеба- 1 ниям эр1 связей в кумуленовых и полииновых цепочек [32]. Данная пленка является поликристаллической формой ЛЦУ.

Исследовались инжекционные и транспортные свойства в структуре металл - ЛЦУ -металл, как вдоль, так и поперек пленки. Измерения показали, что удельное сопротивление вдоль структуры определяется контактом металл - ЛЦУ - металл и составляет 102 Ом см, а удельное сопротивление поперек структуры составляет 105 Ом см. Таким образом, анизо-

тропия проводимости пленки поликристаллического ЛЦУ составило 103. Для сравнения анизотропия проводимости ДУ ЛЦУ составляет 106.

Рис.10, а), б), в) изображение пленки в просвечивающем микроскопе при различном увеличении и с) картина электронной дифракции пленки.

В заключении перечислены основные результаты и выводы диссертационной работы:

1. Проведено комплексное исследование наноструктурированных углеродных пленок синтезированных методами ионно-плазменного и ионно-стимулированного осаждения на поверхности металлов, полупроводников и диэлектриков, методами электронной микроскопии, рамановской спектроскопии и туннельной спектроскопии, которое показало, что структура полученных пленок основана на одномерных эр' - связях.

2. Контактным методом и методом туннельной спектроскопии исследованы инжекци-онные и транспортные свойства полученных структур. Изучение электропроводности показали анизотропию проводимости (отношение проводимости вдоль и поперек структуры) пленок ЛЦУ: от 103 (для поликристаллического ЛЦУ) до 10б (двумерно-упорядоченный ЛЦУ).

3. Эмиссионные свойства аморфного ЛЦУ объяснены с использованием механизма эмиссии по Шоттки. Полученное низкое значение эффективной работы выхода объяснено наличием встроенного электрического поля в одномерных цепочках, обусловленного наличием оборванных или деформированных связей на концах цепочек.

4. Показано, что вторично - эмиссионные свойства пленок ДУ ЛЦУ определяются высокими транспортными свойствами (высокой подвижностью связанной с баллистическим механизмом проводимости) линейных цепочек и коэффициент вторичной эмиссии достигает максимального значения 50 (при напряженности поля = 2 кВ/см).

5. На основе установленных в работе электрофизических и структурных свойств изученных структур, смоделированы и изготовлены макеты гетероструктур на основе ЛЦУ (холодный эмиттер, лавинный диод, полевой и инжекционный транзисторы) и исследованы их функциональные свойства: порог открывания, крутизна вольтамперной характеристики и т.д. На основания исследования транспортных и инжекционных свойств определены оптимальные параметры данных гетероструктур.

Публикации по теме диссертации

Результаты проведенных исследований опубликованы в виде следующих статей и тезисов докладов конференций:

1. Хвостов В. В., Гусева М. Б., Александров А. Ф., Тагаченков А. М., Стрелецкий О. А. // Структурные и эмиссионные свойства аморфного линейно-цепочечного углерода И Краткие сообщения по физике ФИАН, 2012, Т. 39, №2, с. 40-49

2. Хвостов В. В., Стрелецкий О. А., Якунин В. В., Иваненко И. П., Кралькина Е. А., Павлов В. Б. // Свойства углеродных пленок с высокой анизотропией проводимости // Вестник московского университета, серия 3, Физика. Астрономия, 2012, Xsl, с. 78-82

3. Стрелецкий О. А., Хвостов В. В., Новиков Н. Д., Гусева М. Б., Александров А. Ф. // Вторично-эмиссионные свойства плёнок двумерно-упорядоченного линейно-цепочечного углерода, Радиотехника и электроника, 2012, т. 57, №4, с. 1-6

4. Александров А.Ф., Новиков Н.Д., Хвостов В.В., Савченко Н.Ф., Стрелецкий O.A. Исследования вторичной эмиссии ориентированных пленок ЛЦУ. - Сборник тезисов докладов научной конференции Ломоносовские чтения, секция физики, Москва, физический ф-т МГУ, 16-25 апреля 2009 г., с.76-77.

5. Александров А.Ф., Коробов Ю.А., Хвостов В.В., Савченко Н.Ф., Стрелецкий O.A. Вторично-эмиссионные свойства ГЦК-углерода. - Сборник тезисов докладов научной конференции Ломоносовские чтения, секция физики, Москва, физический ф-т МГУ, 16-25 апреля 2009 г., с.104-105.

6. {ВаЬаеу Khvostov V.V., Streletskiy О.A. Linear-Chain nanocarbon cold cathode. Abstract book of the XI International Conference Hydrogen Materials Science & Chemistry of Carbon Nanomaterials, August 25-31,2009, Yalta-Crimea-Ukraine, p.720-723

7. ІБабаев В. Г.|, Гусева М. Б., Коробова Ю.Г., Савченко Н. Ф., О. А. Стрелецкий, Хвостов В. В., Эмиссионные характеристики линейно-цепочечного углерода, Нанотехнологии: разработка, применение, 2010, №1, с. 80-87.

8. Александров А.Ф., Хвостов В.В., Стрелецкий О .А., Якунин В.В., Иваненко И.П., Кралькина Е.А., Павлов В.Б. // Свойства углеродных пленок, полученных распылением графитовой мишени пучком ускоренных ионов аргона // Сборник тезисов докладов научной конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, б - 10 февраля 2012 года, Звенигород.

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

1. Kan М.С., Huang J.L., Sung J.C. et al. // J. Mater Res.2003. V. 18. n.7. P.. 1594.

2. Zhu W., Bower C„ Kochanski G.P., Jin S. // Diamond Relat Mater. 2001. V. 10. P. 1709.

3. Wang S.G., Zhang Q., Yoon S.F. et al. // Diamond RelatMater. 2003. V. 12. P. 8.

4. GroningO., Kuttel O.M., Groning P., SchlapbachL. //Appl. Surf. Sci. 1997. V. 111.P.

135.

5. Кап M.C., Huang J.L., Sung J.C., Lii D.F.// J. Vac. Sci.Technol. B. 2003. V. 21. n. 4. P. 1216.

6. Zhu W„ Kochanski G.P., Jin S. // Science. 1998. V. 282.<20. P. 1471.

7. May P. W„ Stefan H„ Michael N. R. et al. // J. Appl.Phys. 1998. V. 84. n. 3. P. 1618.

8. Wang S.G., Zhang Q., Yoon S.F.et al. // Surface Coatings Technology. 2003. V. 167. P. 143.

9. Ming-Chi Kan, Jow-Lay Huang, SungJ.C. et al. II Carbon. 2003. V. 41. P. 2839.

10. Chen K.H., Wu J.J., Chen L.C. et al. II Diamond Relat Mater. 2000. V. 9. P. 1249.

U. Образцов A.H., Павловский И.Ю., Волков А.П.,// ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 11. С. 89-95

12.Рахимов А. Т.. //УФН. 2000. Т. 70. № 9. С. 996

13. Yoshimoto G.T, Iwata Т., Minesawa R. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2001. V. 40. P. 983.

14. Tarntair F.G., Chen L.C., Wei S.L. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2000. V. 18. n. 3. P. 1207.

15. ShershinE.P. // Appl. Surf. Sci. 2003. V. 215. P. 191.

16. Шешин Е.П. // Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов. М.: Изд-во МФТИ: Физматкнига, 2001,287 с.

,17.Hsieh С. Т., Chen J.-M., Kuo R.-R. Huang Y.-H. // Rev. Adv. Mater Sci. 2003. V. 5. P.

18. Модянос А. // Авто-термо- и вторично-электронная эмиссионная спектроскопия.

М.: Наука, 1990. с. 319

19.Xiangyun С., Ilan Ben-Zvi., Andrew В., and et. al. // Particle Accelerator Conference. Knoxville. Tennessee, 2005. p. 2251.

20. Shih A., Yater J., Hor C„ Abrams R. // App. Surf. Science, 1997. №111. p.251.

21. Бронштейн И.М., Б.С. Фрайман II Вторичная электронная эмиссия. М. Наука, 1969.

22.Бабаев В.Г., Гусева М.Б., Савченко Н.Ф. и др. И Поверхность, 2004. № 3. с.16.

23.Babaev V.G., Guseva М.В., Novikov N.D., and et. al. // Polyynes Synthesis, Properties, and Applications edited by Franco Cataldo. Taylor & Francis. Boca Raton London. New York, 2006.

24. G.E. Bugrov, S.G. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, D.V. Savinov, K.V.Vavilin, Heon-Ju Lee // Current Applied Physics. 2003.3. P. 485.

25. Вавилин K.B., Кралысина E.A., Павлов В.Б., и др. // Плазменный источник ионов. Патент RU 2371803,. 2008.

26. Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., и др. // Наукоемкие технологии. 2005. 6, № 1.С. 5.

27. Wang S.G., Zhang Q., Yoon S.F. et al. // Diamond RelatMater. 2003. V. 12. P. 8.

28. Бабаев В.Г., Гусева М.Б., Савченко H. Ф. и др. // Поверхность. Рентген., синхр. и нейтрон, исслед. 2004. №3,с.16.

29. JI.H. Добрецов, М.В. Гомоюнова. Эмиссионная электроника // М.: Наука, 1966.

30. F.Y. Chuang, C.Y. Sun, Т.Т. Chen, I.N. Lin. Appl. Phys. Lett., 69 (23), 3504 (1996).

31. Ravagnan L., Siviero F., Salis E., and et. al. // Polyynes Synthesis, Properties, and Applications edited by Franco Cataldo. 2006. P. 15.

32. Ravagnan L., Piseri P., Bruzzi M. // Pys. Rev. Lett. 2007. 98,216103.

Подписано к печати ¿З.РЪ. ЪрщМЭаоэ Ц—

Отпечатано н отделе ОПСр^ТКЗЫОН ПсЧЯТЧ

фнзнческага факультета МГУ

Текст научной работы диссертации и автореферата по физике, кандидата физико-математических наук, Стрелецкий, Олег Андреевич, Москва

61 12-1/772

Московский Государственный Университет им. М. В. Ломоносова

На правах рукописи

Стрелецкий Олег Андреевич

ЭМИССИОННЫЕ И ИНЖЕКЦИОННЫЕ СВОЙСТВА НИЗКОРАЗМЕРНЫХ УГЛЕРОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ГЕТЕРОСТРУКТУР

НА ИХ ОСНОВЕ

Специальность 01.04.04 — физическая электроника

Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Научный руководитель -к. ф.-м. н., доцент Хвостов В. В.

Москва - 2012

Содержание

ВВЕДЕНИЕ....................................................................................................4

ГЛАВА 1. ЭМИССИОННЫЕ И ИНЖЕКЦИОННЫЕ СВОЙСТВА ПОВЕРХНОСТИ И ГЕТЕРОПЕРЕХОДОВ.....................................................9

1.1. Обзор различных типов электронной эмиссии.............................9

1.2. Обзор инжекционных свойств низкоразмерных углеродных

гетероструктур..................................................................................................31

ГЛАВА 2. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ЧАСТИ..............60

2.1. Описание методики приготовления и измерения образцов аморфного ЛЦУ.................................................................................................60

2.2. Описание методов приготовления и измерения пленок ДУ ЛЦУ......................................................................................................................62

2.3. Описание способа приготовления и аттестации пленок поликристаллического ЛЦУ..........................................................................70

2.4. Методика измерений инжекционных и транспортных свойств углеродных гетероструктур...........................................................................72

ГЛАВА 3. РЕЗУЛЬ ТА ТЫ ПРОВЕДЕННЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ..................................................................................................80

3.1. Структурный и эмиссионные свойства аморфного ЛЦУ........80

3.2. В торичная электронная эмиссия и транспортные свойства ДУЛЦУ................................................................................................................99

3.2.1. Вторично-эмиссионные свойства пленок ДУ ЛЦУ..................99

3.2.2. Транспортные и инжекционные свойства гетероструктур на основе ЛЦУ........................................................................................................108

3.2.3. Создание прототипов твердотельных эмиссионных

устройств на основе ЛЦУ..............................................................................117

3.3. Структурные и инжекционные войства поликристаллических пленок ЛЦУ......................................................................................................128

ЗАКЛЮ ЧЕНИЕ........................................................................................138

СПИСОК ЛИТЕРА ТУРЫ.......................................................................139

Введение

Твердотельная электроника основывается, на свойствах традиционных полупроводников и гетероструктур на их основе. В результате возрастающих требований к миниатюризации элементной базы, размеры МОП (металл-окисел-полупроводник) структур (например, длина канала проводимости) приблизились к предельным минимальным значениям - порядка ЗОнм. Дальнейшее уменьшение размеров приводит к квантовым эффектам, нарушающим принципы работы традиционной полупроводниковой электроники. Существуют фундаментальные ограничения, связанные с физикой работы полупроводниковых приборов. Размер полупроводникового элемента не может быть меньше длины свободного пробега электрона и радиуса экранирования Дебая в полупроводнике (десятки нанометров). Используемые в настоящее время технологии и материалы уже дошли до своего технологического предела.

анализ работы одноэлектронных устройств выявил ряд проблем. Линейный размер элемента работающего при комнатной температуре не должен превышать 5 нм, что не позволяет создание устройств на его основе в рамках существующих промышленных технологий. Более того, обеспечение воспроизводимости размеров и формы таких элементов в настоящее время не представляется возможным.

Альтернативой твердотельной электронике является эмиссионная электроника. Вакуумные эмиссионные устройства имеют ряд преимуществ перед твердотельными: низкий уровень шума (дробовой шум), высокое быстродействие (баллистическая проводимость) и др. Прогресс в этом направлении сдерживается отсутствием эффективных электронных эмиттеров. Для создания таких эмиттеров требуется новый материал, обладающий незаурядными эмиссионными свойствами. Поэтому требуется поиск новых на-номатериалов с уникальной электронной структурой, обеспечивающей высокие эмиссионные свойства. Линейно-цепочечный углерод (ЛЦУ) идеально подходит для этих целей из-за особенностей его электронной структуры.

ройства как электронно-чувствительные фотоэлектрические преобразователи.

Целью данной работы является:

1. Исследование структурных свойств ЛЦУ полученного различными методами: импульсно-плазменного осаждения двумерно упорядоченный ЛЦУ (ДУ ЛЦУ), ионно-стимулированной конденсации (поликристаличе-ский ЛЦУ) и методом дегидрогалогенирования поливинилиденхлоридного волокна с последующей термической обработкой в вакууме (аморфный ЛЦУ).

2. Исследование вторично-эмиссионных свойств ДУ ЛЦУ и анализ механизма эмиссии отвечающего за аномально высокую ВЭЭ.

3. Исследование инжекционных и транспортных свойств гетерострук-тур типа металл - ЛЦУ - металл, на основе: ДУ ЛЦУ и поликристаллического ЛЦУ с целью создания основных элементов углеродной электроники.

4. Исследование эмиссионных свойств аморфного ЛЦУ с целью создания эффективных холодных эмиттеров.

Научная новизна и научно-практическая значимость работы

заключается в том, что:

2. Впервые получены и исследованы поликристаллические пленки углерода на основе Бр1 - связей с высокой анизотропией проводимости.

3. Созданы гетероструктуры типа металл - ЛЦУ, металл - диэлектрик -ЛЦУ и исследованы их функциональные свойства.

технологических процессов для обеспечения их высоких функциональных свойств: высокий потенциал открывания (от 3 В), высокая крутизна вольтамперной характеристики.

5. Обнаружена аномально высокая вторичная эмиссия (коэффициент вторичной эмиссии ~ 50) электронов пленок ДУ ЛЦУ на просвет, что позволяет использовать их в качестве твердотельных умножителей электронов для создания приборов твердотельной эмиссионной электроники.

7. Изготовлен холодный катод на основе аморфного ЛЦУ, с механизмом эмиссии по Шоттки.

8. Создан макет нового наноэлектронного устройства - полевого транзистора на основе пленки ДУ ЛЦУ.

Все приведенные результаты получены автором лично или с его непосредственным участием. Существенным вкладом автора является: создание измерительных стендов, разработка методик измерений, обработка полученных результатов. На основании обработки полученных данных, автором сформулированы и обоснованы выводы диссертации

лучения линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) и разработка опытных образцов термоэлектрических преобразователей и источников света с применением нового наноматериала на основе ЛЦУ», (государственный контракт №5980р/8130 от 31.03.2008) , научно-исследовательских работ по теме: «Линейно-цепочечный углерод как материал для создания покрытия коллектора высокоэффективного термоэмиссионного преобразователя» (Соисполнители Заказчика по выполнению государственного контракта № 02.516.12.6004 «Высокоэффективный термоэмиссионный модуль с газовым нагревом для когенерационных энергетических установок нового поколения»), государственного контракта № 02.740.11.0229 на выполнение НИР по теме: «Исследование процессов в новых устройствах электроники на основе квантования переноса заряда и магнитного потока» в рамках федеральной целевой программы «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы.

Глава 1. Эмиссионные и инспекционные свойства поверхности и гетеропереходов

1.1. Обзор различных типов электронной эмиссии

За последние 15 лет в среде исследователей во многих научных центрах возрос интерес к углеродным материалам. Появилось большое число исследований и публикаций, связанных с эмиссионными свойствами различных углеродных модификаций. Это в первую очередь связано с тем, что такие углеродные формы как нанотрубки, пленки нанографита, ультрадисперсного алмаза показали полевую автоэлектронную эмиссию с низким пороговым напряжением приложенного поля.

Полевая эмиссия. В статье [1] приведены результаты по исследованию полевой эмиссии для трех различных форм углерода: гладких аморфных углеродных (а-С) слоев с высоким и низким содержанием ер3 фазы (изготовленных с помощью импульсного лазера), наноструктурированного углерода и вертикально расположенных нановолокон (рис. 1).

В исследуемых углеродных материалах эмиссия осуществляется по механизму Фаулера-Нортгейма, который обеспечивается высокими напря-

женностями поля. Высокая напряженность поля, порядка 10 В/см, создается за счет локального усиления поля (локальные острия образуют - усиление поля). В случае идеально гладкой поверхности требуемое пороговое поле было бы порядка 107В/см, но, имея острие, оно снижается до 104 В/см. Прикладывая пороговое напряжение в 1000 раз меньше, получаем эмиссию за счет структуры отдельного острия (радиуса округления). Это «снижение» поля дает возможность использовать такие структуры в качестве эффективных эмиттеров.

Рис. 1, Изображение вертикально расположенных нановолокон.

Угол наклона картинки 50".

\ кследования выявили, что слои аморфного углерода являются слабым полевым эмиттером, независимо от содержания ир' фазы, Нанструктурированный углерод, в свою очередь, показал достаточно высокие значения для полевой эмиссии, низкую эмиссию при приложенных полях и хорошую стабильность самой эмиссии.

Полевая электронная эмиссия является процессом, способным создавать и удерживать генерацию высоких и сверхвысоких электронных пучков [2] с помощью эффекта взрывной эмиссии (возможна генерация сверхмощных электронных пучков от Ю3 до 10'' ампер), который основывается на эффектах сильноточной электроники.

Полевая электронная эмиссия - это уникальный кваи то механически й процесс электронного туннелирования с поверхности твердого тела в вакуум. Полевая эмиссия способна обеспечивать высокие плотности тока (до 10

А/см ) при низких (комнатной) температуре. Поэтому полевая эмиссия является одним из направленбий для создания вакуумной микроэлектроники.

Вакуумная микроэлектроника (ВМЭ) является новой областью для микро- и наноэлектроники, которая активно развивается в последнее время. ВМ') основана на холодной эмиссии электронов в вакуум при размерах ак-

тивного элемента порядка 10-100 мкм. В таких устройствах можно управлять электрическим полем в десятки вольт. ВМЭ включает устройства и активные системные элементы с размером в несколько микрометров, соизмеримых с нанометровым масштабом. Также она представляет альтернативу твердотельной электроники, используя эффект баллистического переноса электронов в вакууме.

Малые размеры полевого эмиттера позволяют достичь высокой плотности активных элементов до 108 - Ю10см~2 и даже 1012 см"2.

Преимущества ВМЭ по сравнению с твердотельной электроникой:

1. Транспорт электронов в вакууме происходит без потери энергии (без выделения тепла).

2. Быстродействие приборов эмиссионной электроники максимально.

3. Приборы эмиссионной электроники обладают радиационной стойкостью по сравнению с элементами традиционной электроники.

Полевая эмиссия реализуется при высоких электрических полях порядка 10 В/см. Такие высокие напряженности электрического поля обеспечивают острийные автоэлектронные эмиттеры. Эффективность и стабильность полевой эмиссии таких катодов определяется временем разрушения острия. Поэтому высокоэффективные холодные катоды в микроскопах сверхвысокого разрешения требуют высоковакуумных условий. При использовании наноструктурированных материалов типа углеродных обеспечит более стабильную работу таких эмиттеров за счет усиления поля на на-нокластеров. Полевой эффект иллюстрируется на рис.2. Внешнее электрическое поле уменьшает величину барьера на границе раздела поверхность -вакуум по линейному закону.

Рис. 2. Зависимость потенциальной энергии электронов 1/(х) (эщ от

координат (в ангстремах). Эмиссия электронов изметаллической поверх-

2 . ^ ^ ноши. -е'/4х - потенциал поля; -еРх - внешний потенциал: 0(х) - общий

потенциал: Г - напряжение электрического поля.

Количественное описание данного процесса дает интерпретация Фау-лера-Нортгейма при приложенном электрическом поле ¥. Потенциальная функция будет выражаться следующим образом:

и(х) = -е2/4х - еРх (I)

Плотность эл ёктр ич|е ко г Ц тока полевой эмиссии при "1" - 0 следует из формулы Фаулера-Нортгёйма:

/„ 1.54 х 10 х-у-

ехр

7 (Р

-6.83 х !0 х '

2/3

!Н V}

(2)

где у - 3.79*10""'*К|/2/ф, 1(у) = У(у) (2у/3). У(у) и 1(у) являются табличными значениями.

Формула (2) дает прекрасное описание экспериментально наблюдаемых экспоненциальных зависимостей эмиссионного тока от приложенного поля F и рабочей функции j. В так называемых координатах Фаулера-Нортгейма функциональная зависимость Inj = /(1/F) или lnl = /(1/U) будет прямой в широком диапазоне эмиссионного тока, здесь I = jS — электрический ток эмиссии с эмитирующей области S и F = ßU, где ß - геометрический коэффициент, описывающий геометрию области на границе с вакуумом.

Высокой полевой эмиссией могут обладать материалы с низкой работой выхода, например алмазные поверхности. В таких случаях механизм холодной эмиссии происходит по механизму надбарьерной эмиссии (Шотт-ки). Поверхность алмаза может иметь даже отрицательное электронное сродство, что обеспечивает эмиссию высокой плотности даже при малых напряженностей вытягивающего поля (104 В/см). Однако использование алмаза в качестве холодного эмиттера требует достаточно высокой концентрации свободных электронов в зоне проводимости, что до сих пор остается нерешенной проблемой из-за технологических проблем получения алмаза с n-типом проводимости.

В этой связи стали наиболее активно проводиться исследования поликристаллических алмазных пленок, получаемых CVD методом, для изготовления катодов, работающих на полевой эмиссии. Многочисленные экспериментальные результаты показали, что электронная эмиссия с таких пленок заметн�