Эмиссия фотонов и люминесценция при ионной бомбардировке поверхности твердых тел тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА I

ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ

1.1. Источники формирования оптического излучения при ионной бомбардировке твердых тел

1.2. Выход оптического излучения при взаимодействии ионов с поверхностью твердого тела

1.3. Возбуждение люминесценции твердых тел при ионной бомбардировке

1.4. Механизм образования возбужденных частиц при ионной бомбардировке твердых тел; проблема непрерывного излу -чения

1.5. Общая постановка задачи

ГЛАВА П

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА

2.1. Аппаратура для исследования ионолюминесценции

2.2. Измерительная камера и держатель образцов

2.3. Оптика и электроника

2.4. Калибровка аппаратуры

2.5. Образцы для измерений

2.6. Методика измерения пробегов ионов и концентрации

Г - центров в щелочно-галоидных кристаллах

2.7. Методика измерения энергии атомов, отлетающих от поверхности в возбужденном состоянии

4.2. Влияние адсорбции активных газов на интенсивность и спектральный состав ионно-фотонной эмиссии .140

4.3. Влияние параметров ионной бомбардировки на интенсивность континуума оптического излучения металлов и их окислов .148

4.4. Масс-спектрометрическое исследование широких полос и континуума оптического излучения твердых тел при ионной бомбардировке .166

4.5. Молекулярная модель широких полос и непрерывного излучения при ионной бомбардировке твердых тел .175

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ .212

ГЛАВА У

ЭМИССИЯ ФОТОНОВ ПРИ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКЕ ТВЕРДЫХ ТЕЛ

5.1. Введение .215

5.2. Анализ формы спектральных линий рассеянных атомов (теоретический расчет) .216

5.3. Результаты измерений и теоретического расчета формы спектральных линий рассеянных атомов . 223

5.4. Квантовый выход ИФЭ и ионолюминесценции твердых тел 227

5.5. Исследование пространственного распределения интенсивности линейчатого спектра ИФЭ . 238

5.6. Исследование кинетического механизма ионно-фотонной эмиссии

5.6.1. Энергетическая зависимость выхода ИФЭ .248

5.6.2. Модель и методика расчета .252

5.6.3. Результаты и их обсуждение .257

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ .261

ГЛАВА У1

ПРИМЕНЕНИЕ ИФЭ И ИОНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ДЛЯ АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ

6.1. Применение ионолюминесценции для анализа продуктов, адсорбированных на поверхности твердых тел, и собственных радиационных дефектов решетки .263

6.2. Применение ИФЭ для элементного анализа поверхности твердых тел

6.2.1. Обоснование методики .270

6.2.2. Применение ИФС для анализа диэлектриков и полупроводников .273

6.2.3. Применение ИФС для анализа металлов .277

6.3. Использование вторичноэмиссионных явлений для диагностики и контроля поверхности .280

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ .285

ЗАКЛЮЧЕНИЕ .286

ПРИЛОЖЕНИЕ .290

ЛИТЕРАТУРА .291

ВВЕДЕНИЕ

Накопленная к настоящему времени научно-техническая информация свидетельствует о том, что излучения являются мощным средством изменений свойств вещества и как новый вид воздействия ини имеют определенные преимущества перед механическими,электрическими и тепловыми воздействиями. В связи с разработкой ряда приборов, работающих в поле низкоэнергетического корпускулярного излучения большой интенсивности, развитием технологии ионного легирования, задачами физической электроники и эмиссионной техники возникла необходимость исследования физических процессов и характера взаимодействия ионов с поверхностью твердых тел.В настоящее время физика вступила в новый этап - этап учета поверхностных явлений. Энергия быстрой первичной частицы (иона) цри бомбардировке поверхности идет на протекание ряда вторичных процессов: часть энергии расходуется на распыление решетки мишени, эмиссию электронов, ионов, фотонов, быстрых нейтральных частиц-эта энергия выносится из твердого тела; другая часть энергии остается в твердом теле и идет на образование радиационных дефектов, различных электронных и фононных возбуждений решетки, люминесценцию, структурные превращения.

Все вторично-эмиссионные явления энергетически тесно взаимосвязаны друг с другом и для исследования влияния ионной бомбардировки на твердое тела желательно выбирать явление,которое является достаточно чувствительным для получения необходимой информации С этой целью использовалось оптическое излучение,которое одновременно несет информацию как о цроцессах, протекающих внутри твердого тела (при регистрации люминесценции), так и вне его (при регистрации ионно-фотонной эмиссии выбитых и рассеянных атомов).Для изучения радиационного дефектообразования использовались щелочно-галоидные 1фисталлы (щгк). Щгк являются модельными структурами, на которых хорошо изучены процессы образования дефектов при взаимодействии с рентгеновским излучением,УФ-светом, электронами. К настоящему времени нет систематических исследований накопления радиационных дефектов в щгк при ионной бомбардировке.

Оптическое излучение рассеянных и выбитых атомов (ионно-фо-тонная эмиссия) несет информацию о процессах, протекающих в первых нескольких монослоях твердых тел. Изучение закономерностей этого излучения позволяет разработать механизм образования возбужденных атомов (который в настоящее время не установлен) и на базе этого разработать метод элементного и послойного анализа поверхности. Наряду с этим уже в течение более десяти лет существует проблема непрерывного оптического излучения переходных и редкоземельных металлов с незаполненной с1 и ^ -электронной оболочкой. Решение этой проблемы позволит применить это излучение для исследования характеристик поверхности и разработать на этой основе практические приложения.

Таким образом, актуальность, научная и практическая значимость исследования одновременно ионно-фотонной эмиссии и ионо-люминесценции поверхности твердого тела не вызывает сомнений.

КРАТКАЯ АННОТАЦИЯ

Задачей настоящей работы явилось экспериментальное и теоретическое изучение процессов и механизмов оптического излучения на поверхности, над поверхностью и в приповерхностной области твердых тел при ионной бомбардировке.

Подобная задача поставлена впервые,что обуславливает новизну полученных результатов и отбывает новое научное направление в физике твердого тела-оптической спектрометрии поверхности твердого тела на базе методов ИЛ и ИФЭ.

Работа начата в 1969 году в Донецком государственном университете. Тема исследования включена в Координационный план НИР АН СССР и УССР по проблеме "Радиационная физика твердого тела"на

1980-1985гг (шифр 1.3.8.3 пост. Президиума АН УССР №251 от 20.05.81г), а также в Программу комплексных исследований вузов Минвуза УССР по проблеме "Физико-химические, структурные и эмиссионные свойства тонких пленок и поверхности твердого тела" на

1981-85 гг (приказ МВССО УССР №376 от 24.7.81г.).

В качестве объектов исследования выбраны сверхчистые щелоч-но-галоидные монокристаллы, чистые металлы и их окислы.

В результате проедланной работы исследованы процессы и механизмы формирования оптического излучения, сопровождающего ионную бомбардировку твердого тела. Разработаны механизмы этих явлений. Изучено образование собственных радиационных дефектов в щгк при ионной бомбардировке, измерены пробеги ионов, исследовано пространственное и энергетическое распределение рассеянных и выбитых атомов, определен абсолютный квантовый выход излучения. Развит кинетический механизм ионно-фотонной эмиссии. Обоснована модель формирования непрерывного оптического излучения при ионной бомбардировке поверхности твердых тел.

Впервые обнаружена и исследована стационарная высокотемпературная люминесценция при ионной бомбардировке щгк и установлен ее конкретный механизм.

Научные положения, которые выносятся на защиту:

1. При ионной бомбардировке щгк существует высокотемпературная стационарная люминесценция, обусловленная рекомбинацией свободных электронов с дырочными центрами N4 - типа.

2. Кинетика накопления собственных радиационных дефектов ( р и \ - центров) в щгк, как и кинетика ИЛ, связаны с параметрами ионной бомбардировка и протекают в три этапа: роста, насыщения и спада.

3. Непрерывное оптическое излучение при ионной бомбардировке поверхности твердых тел формируется в медленных атомных столкновениях в присутствии атомов-окислителей по молекулярной модели с образованием предиссоциативного состояния молекулы окисла.

4. При больших энергиях сталкивающихся частиц (сотни эВ) ИФЭ протекает по кинетическому механизму при возбуждении внешних электронов оболочки выбиваемого атома за счет неупругой передачи энергии при столкновении. В зависимости от энергии, сорта налетающего иона, угла бомбардировки и типа мишени возникает одна или несколько групп скоростей отлетающих возбужденных атомов и столько же энергетических порогов возбуждения ИФЭ.

5. Метод ионно-оптической спектроскопии для элементного анализа поверхности твердых тел.

Кроме вышеизложенных основных научных положений, в диссертации обоснован ряд частных результатов,а именно:

1. Определены максимальные концентрации дефектов в щгк, создаваемых при ионной бомбардировке в зависимости от типа кристалла, энергии пучка ионов и рода ионов. Получены кинетические уравнения, описывающие эти процессы.

2. Определены пробеги ионов в щгк в зависимости от энергии первичного пучка.

3. Найдена связь между ИФЭ и ИЛ щгк и с концентрацией образуемых радиационных дефектов при ионной бомбардировке.

4.Измерен абсолютный квантовый выход ИФЭ и ИЛ.

5.Разработана аппаратура и методики для изучения образования радиационных дефектов, определения профилей ионного легирования, для контроля состояния поверхности, определения пробегов ионов, для анализа молекулярных продуктов,образующихся на поверхности твердых тел.

6. Проведен анализ влияния каскадных оптических переходов на характеристики ИФЭ (квантовый выход, пространственное распреде ление).

7. Предложен метод "мягкой" очистки поверхности диэлектриков и полупроводников за счет энергии рекомбинации атомов активных газов.

Практическая ценность работы и реализация результатов исследований« В результате проведенных исследований автором были установлены количественные связи наблюдаемых ИФЭ и ионолюминес-ценции (ИЛ) со свойствами поверхности и приповерхностного слоя твердых тел. Научные положения и результаты диссертации были внедрены. Была разработана аппаратура и новые методики для комплексного исследования эмиссионно-оптических характеристик твер' дого тела, определения элементного состава и профилей легирующих примесей, для анализа толщины пленочных покрытий и определения концентрации дефектов и т.д.

Полезность разработанных методов анализа подтверждена актами о внедрении на предприятиях страны с общим экономическим эффектом 2 миллиона 948 тысяч рублей.

Личный вклад автора. Диссертация автора является результатом многолетней самостоятельной работы, обобщающей результаты лично его, а также выполненные в соавторстве с сотрудниками. В цитируемых в диссертации работах автором ставилась задача, обсуждались полученные результаты, делались выводы, было совместное с сотрудниками участие в эксперименте и обработке результатов на ЭВМ. В совместных работах автору принадлежат изложенные в заключении диссертации выводы и их обоснование.

Несколько слов о структуре диссертационной работы.

Так как в диссертации рассматривается довольно разнообразный круг вопросов, так или иначе связанных с разрабатываемой темой, то краткий анализ состояния исследований и постановка задачи даны в отдельной главе (гл.П. Из главы I видно, что несмотря на широкий круг исследуемых материалов, разрабатываемые вопросы весьма тесно связаны друг с другом как в плане методик, протекающих явлений, так и механизмов, описывающих элементарные энергетические процессы.

Всаедствие этого ограничены по объеодг параграфы "введение" к каждой главе. В конце каждой главы даны основные результаты и выводы, которые затем обобщены в заключении.

Основные результаты и выводы изложены в конце каждой главы соответственно ее содержанию и в обобщенном виде сформулированы во введении (защищаемые положения). Кратко они могут быть сведены к следующему:

I. При ионной бомбардировке неактивированных щгк обнаружена стационарная люминесценция в широком интервале температур (774-400К). Установлена прямая связь ИЛ с образованием собственных радиационных дефектов. Построена общая для щгк аналитическая модель накопления радиационных дефектов при ионной бомбардировее поверхности. Установлен конкретный механизм ИЛ неактивированных щгк.

6. Разработана аппаратура и новые методики для комплексного иссле

2. Установлена связь характеристик непрерывного оптического излучения металлов с параметрами бомбардировки, состоянием и эмиссионными свойствами поверхности. Показано, что непрерывное оптическое излучение металлов формируется в медленных атомных столкновениях в ариеутствии атомов-окислителей. При этом образуются молекулы окислов металлов в состоянии предиссоциации с последующим излучением непрерывного спектра. Ери больших заполнениях поверхности твердых тел кислородом непрерывное оптическое излучение формируется благо-царя протеканию хемшпоминесцентных реакций

3. Измерен абсолютный квантовый выход ЙФЭ и ИЛ в зависимости от энергии, сорта налетающего иона, угла бомбардировки и природы милени. Квантовый выход ИФЭ распыленных атомов для различных пар яон-мишень в зависимости от параметров ионной бомбардировки измене к о аяется в пределах Ю"4** 10 , квантовый выход ИЛ в 10 раз выше. Учтено влияние на квантовый выход ИФЭ каскадных оптических переходов возбужденных атомов отлетающих от поверхности мишени.

1. Проведен теоретический расчет формы спектральных линий и энергии отлетающих атомов для случая произвольного угла падения ионов I трехмерного пространственного распределения отлетающих от нищета атомов первичного щучка. Получено хорошее согласие между экспериментально измеренной и полученной в расчете формой спектральных шний рассеянных атомов водорода и гелия на поверхности металлов. Развит кинетический механизм возбуждения ИФЭ на базе получен-шх экспериментальных данных. Впервые на его основе объяснены наблюдаемые в эксперименте две группы скоростей отлетающих от повер-сности возбужденных атомов, большие абсолютные значения этих скоростей. Установлено несколько порогов возбуждения ИФЭ и дано тео-)етическое истолкование этого в рамках кинетического механизма. Разработана аппаратура и новые методики для комплексного исследования эмиссионно-оптических и ионолюминесцентных характеристик взаимодействия ускоренных ионов с поверхностью твердых тел,а именно: методика измерения пробегов ионов в твердом теле, методика измерения концентрации собственных радиационных дефектов в приповерхностной области образца, методика измерения энергетического расцределения отлетающих возбужденных атомов как по форме их линии излучения, так и пространственному распределению. Разработаны аппаратура и методы Ш1 и ШБЭ как база спектроскопии для определения элементного состава поверхности твердых тел, профилей расцределения примесей, изучения радиационного дефекте-образования, реакций радикалов на поверхности,радиационной стойкости и т.д.

Часть разработанной аппаратуры и ряд методов и методик настоящей работы был внедрен на предприятиях электронной промышленности СССР.

Продолжение исследований может идти в следующих направлениях:

1. Теоретическое и экспериментальное исследование энергетической структуры поверхности, состоящей из 1-2 монослоев.

2. Создание новой аппаратуры на базе подученных теоретических и экспериментальных результатов: например, для анализа профилей легирования, элементного анализа, исследования образования радиационных дефектов, анализа энергетического распределения рассеянных атомов.

3. Исследование реакций между атомами и радикалами на поверхности, которые нельзя осуществить другими методами (например,реакции тугоплавких металлов с окислителями).

4. Изучение характеристик взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом для первой стенки термоядерного реактора (распределение энергии, выход атомов отдачи, образование радикалов и т.д.).

Итогом этих исследований должно быть получение новых фундаментальных сведений о явлениях, происходящих на поверхности твердого тела, выявление новых возможностей для практического использования.

В заключение считаю своим приятным долгом выразить глубокую благодарность сотрудникам Лаборатории "Взаимодействия атомных частиц с твердым телом" кафедры рентгенометаллофизики ДонГУ за помощь в решении многочисленных задач, возникавших в ходе выполнения настоящей работы. црилсяение

С Д Р А Е К А

Но хоздоговорной теме "йсследовекие эмиссионных к теплофизических свойств вторичных шгектрошшх шиттеров", заключенной с Н1Ш ЫсИ г «Калуга, .шучнш руководителем которой является доцент кафедры рештеиоглеталлофиэшш, к,ф-м.н. Баш АЛЬ, в течение 1975-.Т983хт. были внедрена результаты работы во ВШ ИНГ (г .Калуга) и на предприятиях электронной промыштниоеги СССР*

Были внедрены методики и рекомендации яо контролю активных покрытий лазерных катодов, элементно^ анализу поверхности легирующего слоя методом ионно-фотонной ошссии и масс-спектрометрии, контролю диф^зиокшх характеристик методом ионно-фотонной эмиссий, сроков активирования и долговечности, Вт изготовлен и внедрен прибор УКГ-1 для контроля толн^шы шшночдах катодов.

Реальный экономический эффект, полученный в результате внедрения прибора, рекомендаций и методик за 1976-1963 гг составляет 2 миллиона 94В тысяч рублей*

Проректор по научной работ ДсшУ, д,т.н.

Ст.инженер по внедрению

Д .Жемчугова/

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В дисеертации отражены материалы первого систематического изучения эмиссионно-оптических явлений, протекающих при ионной бомбардировке поверхности твердых тел.

Главным результатом проделанной работы явилось обнаружение ряда новых явлений и закономерностей оптического излучения твердых тел при ионной бомбардировке, изучение их качественных и количественных характеристик. В частности, обнаружено и исследовано рекомбинационное излучение собственных радиационных дефектов в высокотемпературной области, исследовано накопление наиболее массовых радиационных дефектов £ - центров, У2-и У5 - центров при ионной бомбардировке щгк, исследованы механизмы формирования линейчатого и непрерывного спектра оптического излучения металлов, изучены радиационные процессы, протекающие на поверхности твердого тела.

Совокупность полученных результатов и развитых на их основе положений представляет новое перспективное научное направление в физике твердого тела-оптическая спектроскопия поверхности твердого тела на базе методов ионолюминесценции и ионно-фотонной эмиссии.

Полученные результаты имеют также большое практическое применение в области диагностики твердого тела.

1. White C.W., Thomas E.W., Van der Weg W.F. and Tolk N.H. Optical emission from low-energy ion surface collisions -1.elastic ion surface collisions. North Holland Pub.Co.,N.Y., 1977, 176 p.

2. White C.W. and Tolk N.H. Optikal radiation from low-energy ion surface collisions.- Phys.Rev.Lotters, 1971, vol.26,p.486-489.

3. White C.W., Simms D.L. and Tolk M.H. Surface composition determinece by analysis of impact radiation.- Science,1972, vol.177, p. 481-486.

4. Fluit Y.M., Friedman L., Van Eck Y., Snoek C. and Kistemaker Y.P. Ion bombardment light emission from metals.-Proc. of the fifth international conf. on ionisation phenomena in gases.ed. by Maecker H., North Holland, Amsterdam, 1962.

5. Snoek C., Van der Weg W.F., Rol P.K. Photon emission by ion ically bombarded copper surface.- Physica, 1964, vol.30,p.341-348.

6. Terzic I., Perovic B. The spectral analysis of light emitted by metallic targets during bombardment of high energy ions.-Surf.Sci, 1970, vol.21,p.86-92.

7. Kerkow H., Photon emission during bombardment of solid with alkali ion in the energy range between 2-10 keV.- Phys.Stat. Solide, 1972, vol.10A, p.501-518.

8. White C.W., Simms D.L., Tolk N.H. Characterisation of solid surfaces.- Ed by Kane P.F. and Larrabce G.R., Phenum Press, New York, 1974, chap. 23.

9. Van der Weg W.E., Luguiyo E. Atomic collision in solid. Eds. S.Datz., New York, 1975, vol.2, p. 511.

10. Kiyan T.S., Gritsyna V.V., Fogel Ya. M. On the continuosspectrum emitted by particles ejected from surface of solid targets by an ion beams.- Hucl. Instrum and Meth., 1976, vol. 132, p. 41 5-417.

11. Gritsyna V.V., Kijan T.S., Koval A.G., Pogel Ya.M.Luminescence of particles produced in the process of scattering of hydrogen ions at the surface.- Phys.Lett., 1968, V.27A, N5,p292-293.

12. Mc Cracken G.M. The behaviour of surfaces under ion bombardment .-Rep.Progr.Phus., 1975, vol.38, p.241-327.

13. Tomas G.E., Bomberdrnent-induced light emission.-Surf.Sci., 1979, v.90, p.381-416.

14. Kerkdij'k C.B., Thomas E.W. Photon emission induced by impact of fast ions on metal surfaces.- Rad.Eff., 1973, v.18,p.241-347.

15. Baird W.E. Optical investigation of ion-metal collisions.-Thesis, Atlanta, 1975.

16. Baird W.E., ZivitzIE., Thomas E.W. Exited-state formation as H+ and He+ ions scatter metal surfaces.- Phys.Rev.A., 1975, v.12, p.876-882.

17. Optical radiation from low-energy hydragen atomic and molecular ion surface collisions. S.Y.Leung, N.H.Tolk, W.Heiland and oth.- Phys.Rev.A. 1978, v.18, p.447-451.

18. Bazhin A.I., Rausch E.O., Thomas E.W. Luminescence induced by ion impact on alkali halide crystal at high temperatures (-160° to 200°C) Phys.Rev.B, 1976,v.4, N6,p.2583-2591.

19. Bazhin A.I., Rausch E.O., Thomas E.W. Ion induced luminescence of alkali halides with CII impurity.- J.Chem Phys., 1976, v.65, N10, p.3897-3900.

20. Шехтер Ш.Ш. Нейтрализация положительных ионов и электронов вторичными электронами.- ЖЗТФ, 1937, т.7,№6,с.750-753.

21. Cobas A., Lamb W.E. The elektron emission of metal surface under ion and metastsbile atoms bombardment.- Phys.Rev., 1944, v.65, p.327-331.

22. Каминский M. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла.- Мир, М., 1967, 506с.

23. Мак-Даниель И. Процессы столкновений в ионизованных газах.-Мир, М., 1967, 832с.

24. Атомные и молекулярные процессы.- Ред.Д.Бейтс, Мир,М., 1964, 386с.

25. Dzioba S., Kelly R., On the kinetic energies of sputtered exited particles 11. Theory and applications to group 11A fluorides.- Surf.Sci., 1980, v.100, p.119-134.

26. Scirroer T.M., Rhodin Т.К., Bradley R.C. A quantum mechanical model for the ionisation and exitation of atom during sputtering - Surf.Sci., 1973, v.35, p.485.

27. Mac Donald R.Y. and Martin P.Y. The spectroscopy of ion-induced photon emission and its appliaation to guantitative surface analysis.- Surf.Sci, 1977, v.62, p.551-558.

28. Jurela Z. Comparision of secondary ion yields from condac-tind, simicondactind and non condacting targets bombarded . ions. Sad Eff., 1972, v.13, p.167-170.

29. Van der Weg W.F., Bierman D.Y. Excitation of Cu atoms by \.r+ ions and subseguent radiationless deexcitation of scattered particles near a Cu surface,- Physica, 1969,v.44,p.206-218.

30. Ю. Kelly R. Theory of thermal sputtering by 40 IceV argon ions, lad. Effects, 1977, v.32, p.91-100.

31. Щк Аброян Й.А., Петров H.H. Диагностика поверхности твердого тела.- JL., 1976, 159с.

32. Sigmund P. Theory of sputtering yield of amorphous and po-lycrystalline targets.-Phys,Rev., 1969, v.184»N2, p.383-416.

33. Rausch 1.0», Inouye H., Senol E.Y. and Thomas E.W. Excited H formation by 2-200 keV Hij", Hj, Hjjj, ion impact on metal surfaces. Phys.Rev.A, v. 17, 1978, p.473-480.

34. Грицина В.В. Свечение возбужденных частиц, отлетающих от поверхности твердых мишеней при ионной бомбардировке.-В кн.: Диагностика поверхности ионными цучкаш. Ужгород, 1977,с.200-215.

35. Аброян И.А., Еремеев М.А., Петров Н.Н. Возбуждение электронов в твердых телах сравнительно медленными атомными частицами. -УШ, 1967, т.92, в Л, с .187-203.

36. Luntz И., Bertram R.H. Stopping power and luminescent-response calculation for channeling in laJ(Tl) and CsJ (Tl).- Phys. -Rev., 1968,v. 175, Ж2, p.468~476.

37. Murray R.B., Meyer A Scintillation response of activated -inorganic cristals to various charged particles.- Phys.Rev., -1961, v.122, 13, p.815-826.

38. Luntz S., Figuerva Y„ Account of scintillation efficiency -for low velocity heavy ions.- Phys.Rev.B, 1974,v.9,p.87-94.

39. Lindhard Y., Scharff M. and Schiott H. Range conorpts andheavy ion ranges.- Danske Videnskab,Mat-fur Medd., 1963, vi.33, Hi'4, p.143-169.

40. Lindhard J., Scharff Ш. Stopping power of keV-ions.-Phys. Rev., 1961, v.124, Ж 1, p.128-136.

41. Л5. Gombas P. Die statistische Theorie des Atoms,Springer, Yienna, 1949.

42. Schiftt H.E. Approximation and interpolation rules for rages and range stragglings.- Rad.Effects,1970,v.6,p.107-113.

43. Палмер Д. Успехи ионной имплантации.-В кн.: Новости физики твердого тела. М., 1980, в.10, 330с.

44. Широков Ю.М., Юдин Н.Т. Ядерная физика, Наука, М., 1972, 671с.

45. Юрков Б.Я. Ионизационные потери энергии тяжелыми заряженными частицами.-Вестник МГУ, Физ. астр., 1973,№2,с.239-242.

46. Бор Н. Прохождение атомных частиц через вещество.

47. Томпсон М. Дефекты и радиационные повреждения в металлах, М., Мир, 1971, 367с.

48. Широков Ю.М., Юдин H Л. Ядерная физика, Наука, M., 1972,

49. Алексеев В.Й., Бажин А.И., Шульга В.Г. Излучение света при взаимодействии ионов водорода с монокристаллами.-Изв. вузов, Физика, 1975, »3, с.81-84.

50. Bazhin A.I., Rausch 1.0., Thomas E.W. Luminescence of alkali halide monocrystals induced by ion beam exitation.- Bull.of the Am.Phys.Soc., 1976, larch, meting in Atlanta,Ga,p.438.

51. Teegarden K. Halide lattice chap in goldberg "Luminescence" of inorganic solids", -Academic press,lew York,1966,p.112-133.

52. Williams F.E., Jonson P.D. Configuration coordinate model for KC1-T1 including spin-orbit interaction.-Phys.Rev., 1959,v. 113, p.97-101.

53. Williams F.E. Theory of the energy levels of donor-acceptor pairs.- Phys.Stat.Sol., 1968, v.25, p.493-512.

54. Kabler M.N. Low-temperature recombination luminescence in alkali halide crystals.- Phys.Rev., 1964,v.136,N5A, p. 12961302.

55. Hersh H.N., Yarlca R.N. Paired and enhanced production of complex elektron and Xg- centers in X-rayed, plastically deformed KC1 and KBr.- Bull.Am.Phys.Soc, 1964,v.9, p.543-550.

56. Витол U.K. Современные представления о механизмах рекомби-надионной люминесценции щелочно-галоидных кристаллофосфоров.-Изв. АН СССР, сер.физ., 1966, т.30, с.564-569.

57. Ilorsh IT. Proposed excitonic mechanism of color-center formation in alkalli halides.-Phys.Rev.,1966,v.148,p.928-932.

58. Лущик Ч.Б., Вале Г.К., Эланго M.А. Электронные возбуждения ионных кристаллов и элементарные механизмы создания центров окраски.-Язв. АН СССР, сер.физ., 1967,т.31,с.820-828.

59. Лущик Ч.Б., Витол И.К., Эланго М.А. Экситонный механизм создания F -центров в бездефектных участках ионных кристаллов.-ШТ, 1968, т.10, с.2753-2759.

60. Лущик Ч.Б., Витол И.К., Эланго М.А. Распад электронных возбуждений на радиационные дефекты в ионных кристалл ах.-УФН, 1977, №2, с.223-251.

61. Hersh H.N. Connection between colour center phenomena and luminescence phenomena in general.-J.Electroch.Soc.,1971,v.118,1. N 6, p.1440-1490.

62. Pooly D. and Runciman W.A. Recombination luminescence in alkali halides.- J.Phys.C: Solid St.Phys.,1970,v.3,p.1815-1824.

63. Pinard P., Davoine £ The cathodoluminescence of alkali ha-lides observed with a scanning e'lektron microscope. Acta Physica Polonica, 1964, v.26, p.9-10.

64. Uouailhat A. and Pinard 3?. Cat о do luminescence of KC1 singl crystals at room temperature.-J. of solid state Chem.,1970, v.2, p.525-527.

65. Danoine P., Pinard P., IJouailhat Л. Etude an microscope electronigue a lalayage, de la catodoluminescence de l'iodure de potasium.- J.Microscipic, 1962, v.1,p.93-106.

66. Ikeya M., Crawford J.H. Perturbation of intrinsic luminescence by lattice defects in ITaCL.- Phys.Letters, 1973,v.45A,1. К 3, p.213-214.

67. Куусманн ИД., Лийдья Г.Г., Лущик Ч.Б. Люминесценция свободных и автолокализованных экситонов в ионных кристаллах.-Труды института физики АН ЭстССР, 1976, т.46, с.5-80.

68. Лущик Ч.Б. Свободные электронные возбуждения и дефекты ионных кристаллов.-Труды института физики АН ЭССР,1978,т.48, с. 2463.

69. Lushchik Ch. Survey of luminescence in alkali halide crystals.- J.Luminescenc, 1970, v.1-2, p.594-609.

70. Eby J., Teegarden R., Duutton D The luminescence and adsorption spectra of alkali halide crystals.- Phys. Rev., 1959, v.116,p.Ю99-1Ю7.

71. Onaka R., Pujita J., Fulenda A. P centres in alkali halide crystals.- J. Phys.Soc.Japan, 1963,v.18, К 2B, p.263-267.

72. Martienssen w. Photochemical processes in alkaliions andexcited neutral atoms sputtered from metal surfaces, -Surf.Sci,, 1973, v.35, p.485-486.33. a-.» Аброян И.А., Петров H.H. Диагностика поверхности твердого тела.- Д., 1976, 159с.

73. Sigmund P. Theory of sputtering yield of amorphous and po-lycrystalline targets.-Phys.Rev., 1969, v.184,N2, p.383-416.

74. Rausch E.O., Inouye H., Senol E.Y. and Thomas E.W. Excited H formation by 2-200 keV Hg, H^, ion impact on metal surfaces. Phys.Rev.A, v. 17, 1978, p.473-480.

75. Грицина В.В. Свечение возбужденных частиц, отлетающих от поверхности твердых мишеней при ионной бомбардировке.-В кн.: Диагностика поверхности ионными пучками. Ужгород,1977,с.200-215.

76. Аброян И.А., Еремеев М.А., Петров Н.Н. Возбуждение электронов в твердых телах сравнительно медленными атомными частицами.-УФН, 1967, т.92, в.1, с.187-203.

77. Luntz М., Bartram R.H. Stopping power and luminescent-response calculation for channeling in IfeJ(Tl) and CsJ (Tl).- Phys. Rev., 1968,v.175, N2, p.468-476.

78. Murray R.E. Meyer A Scintillation response of activated inorganic cristals to various charged particles.- Phys.Rev., 1961, v.122, N3, p.815-826.

79. Katz R., Kobetich Y. Response of UaY (Tl) to energetic heavy ions.- Phys. Rev., 1968, v.170, p.397-405.

80. Luntz M., Heymafield G.M. Track-effect account of scintillat tion efficiency for random and channeled heavy ions of intermediate velocities.- Phys.Rev.B, 1973, v.6, p.2530-2536.

81. Luntz M., Figuerva Y. Account of scintillation afficiency for low velocity heavy ions.- Phys.Rev.B, 1974,v.9,p.87-94.

82. Lindhard Y., Scharff M. and Schiott H. Range conorpts andheavy ion ranges.- Danske Videnskab,Mat-fur Medd. 1963, v.33, N14, p.143-169.

83. Lindhard J., Scharff M. Stopping power of keV-ions.-Phys. Rev., 1961, v.124, N 1, p.128-136.

84. Gombas P. Die statistische Theorie des Atoms,Springer, Vienna, 1949.

85. Schiftt H.E. Approximation and interpolation rules for rages and range stragglings.- Rad.Effects,1970,v.6,p.107-113.

86. Палмер Д. Успехи ионной имплантации.-В кн.: Новости физики твердого тела. М., 1980, в.10, 330с.

87. Широков Ю.М., Юдин Н.Т. Ядерная физика, Наука, М., 1972, 671 с.

88. Юрков Б.Я. Ионизационные потери энергии тяжелыми заряженными частицами.-Вестник МГУ, Физ. астр., 1973,№2,с.239-242.

89. Бор Н. Прохождение атомных частиц через вещество. М.,ИЛ, 1950, 320с.

90. Томпсон М. Дефекты и радиационные повреждения в металлах, М., Мир, 1971, 367с.

91. Широков Ю.М., Юдин Н.П. Ядерная физика, Наука, М., 1972, 671с.

92. Алексеев В.И., Бажин А.И., Шульга В.Г. Излучение света при взаимодействии ионов водорода с монокристаллами.-Изв. вузов, Физика, 1975, №3, с.81-84.

93. Bazhin A.I., Rausch Е.О., Thomas E.W. Luminescence of alkali halide monocrystals induced by ion beam exitation.- Bull.of the Am.Phys.Soc., 1976, March meting in Atlanta,Ga,p.438.

94. Teegarden K. Halide lattice chap in goldberg "Luminescence" of inorganic solids", -Academic press,New York,1966,p.112-133.

95. Sporn Ы. Leuchtzonen vor glimment ladungslcathoden.-Z.Physik, 1939, Б112, s.278-304.

96. Gritsyna V.V., Kijan T,S., Koval A. G., Fogel Ya.M. Luminescence of particales produced in the process of scattering of hydrogen ions a-^bhe surface.- Phys.Lett., 1968, v.27A,N5,p.292-293.

97. Грицина B.B. Исследование спектра и свойств свечения, возникающего при бомбардировке твердого тела ионами средних энергий. Дисс.канд.физ.-мат. наук, Харьков,1972г.

98. Грицина В.В., Киян Т.С., Коваль А.Г., Фогель Я.М. Выбивание, возбужденных медленных атомов и молекул из углеродной пленки, образованной при бомбардировке твердых мишеней пучком быстрых ионов гелия.-ЖЗГФ,1970,т.58,с.I49I-I496.

99. Kiyan T.S., Gritsyna V.V., Pogel Ya.M. On the continuos spectrum emitted by particles ejected from surface of solid targets by an ion beams.- ITucl. Inst rum. and Meth. ,1976, v. 132, p.415-417.

100. Грицина B.B. Электромагнитные излучения частиц, отлетающих от поверхности твердых мишеней при ионной бомбардировке.-Радио-техника и электроника, 1981,т.26,№9,с.1969-84.

101. Киян Т.С., Грицина В.В., Фогель Я.М. 0 непрерывных спектрах, излучаемых частицами, выбитыми ионным пучком из металлических мишеней.- ЖЯГФ, 1978,т.74,№4,с.1394-140I.

102. Белых С.Ф., Векслер В.И. 0 природе образования непрерывного спектра фотонов, испускаемых продуктами катодного распыления.-Изв.АН СССР,сер.Физ.,1979, т.43,№3, с.589-594.

103. Белых С.Ф., Векслер В.И. Эмиссия фотонов продуктами распыления Mo, Re и сплава Mo-Re. В кн.: Симпозиум по взаимодействию атомных частиц с поверхностью твердого тела. Ташкент, 1979, с. 219-220.

104. Векслер В.И. Двухфотонный механизм образования непрерывного спектра оптического излучения, испускаемого продуктами распыления металлов.- ФТТ, I960, т.22, №9, с.2620-2626.

105. Некоторые характеристики объемного свечения при бомбардировке тантала ионами цезия./ С.Ф.Белых, В.И.Векслер, Р.Н.Евтухов и др.- В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Харьков, 1976г., ч.2, с.198-201.

106. Исследование сплошного спектра излучения при взаимодействии ионов инертных газов с поверхностью вольфрама и молибдена.

107. С.С.Поп, А.И.Имре, И.П.Запесочный и др.- Письма в ЖТФ, 1976, т.2, в.8, с.421-425.

108. Исследование свечения, возникающего при бомбардировке ионами поверхности алюминия./ С.А.Евдокимов, С.С.Поп, В.Г.Дробнич и др.- Письма в ЖТФ, 1975, т.1, в.17, с.1027-1030.

109. ПО. Непрерывное излучение при ионной бомбардировке некоторых переходных металлов./ С.С.Поп, И.П.Запесочный, А.И.Имре и др. -ЖЗГФ, 1977, т.73, в.№7, с.90-98.

110. Дробнич В.Г., Поп С.С., Евдокимов С.А. Исследование закономерностей непрерывного излучения, возникающего при бомбардировке ионами атмосферных газов молибденовой мишени.- УФЖ, 1979, т.24, №8, с.1213-1219.

111. A study of photon emission during bombardment of aluminium surface by hélium ions in 1-12 keV energy range/ S.A.Jevdokimov, S.S.Pop, V.G.Drobnich and oth.- Atomic collisions in solids,1975, Amsterdam, pp.243-244.

112. ИЗ. Бажин А.И., Лабзин В.Г., Рыжов В.Н. Каскадные оптические переходы атомов, распыленных при ионной бомбардировке металлов.-Письма в ЖТФ, 1980, т.6, в.15, с.944-947.

113. Бажин А.И. 0 природе широких полос люминесценции при ионной бомбардировке металлов.- В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом, Минск, 1978, ч.2, с.3-5.

114. Бажин А.И., Ступак В.А. Природа широких полос оптического излучения при бомбардировке ионами. Физика твердого тела, Донецк-Киев, 1978, в.8, с.27-30.

115. Bazhin A.I., Rausch Е.О», Thomas E.W. Liminescence induced by ion impact on alkali-halide crystals at high temperatures (-160 to 200°C). Phys.Rev.,B, 1976,v.14,No 6, pp.2583-2591.

116. Бажин А.И., Лабзин В.Г. Каскадные процессы девозбуждения атомов, отлетающих от поверхности в процессе бомбардировки твердых тел ионами.- В кн.: Труды УП Международной конференции по атомным столкновениям в твердых телах, МГУ,1981,тЛ,с.300-302.

117. Chandri R.M., Khan M.Y. and Taseer A.L. Emission of photo radiation by the impact of positiv ions of helium on nickel.-Nature, 1956, vol.177, pp.1226-1227.

118. Chandri R.IvI. and Khan M.Y. Emission of soft electromagnetic radiation from metals by the impact of high energy pi-otons and positive ion Nature, 1961, v.189, pp.996-997.

119. Van der Weg I'V.P., Luguijo E. Atomic Collision in Solid3 -New York; eds. S Datz, 1975, vol.2, 511p.

120. Thomas G*E., de Iiluizenaar E.E. The effects of adsorbtion of Cs and coadsorption of Cs and 02 on bombardment-induced light emission from Cu and AL surfaces.-Nucl.Instrum. and Meth., 1976, vol.132, p.449-452.

121. Continuum photon emission by some metals under heavy ion bombardment /C.B.Kerkdijk, K.H. Schartner, R,Kelly and oth.1.ucl. Instrum. & Meth., 1976, vol.132, p.427-434.

122. Iiistemaker, G. Snoek. Le bombardment ionique.- C.W.R.S., Paris, 1961, 52p.

123. Tomas G.E. Bombardment-induced light emission. Surf.Sei., 1979, vol.90, p.381-416.

124. Kerkdijk G.B., Thomas E.W. Photon emission induced by impact of fast ions on metal surfaces.- Rad.Eff,, 1973, vol.18, p. 241-247.

125. Thomas G.E., de Kluisenaar E.E.T. A chemical effects on- n 'light emission from ion bombardJed copper and Al surfeces.-Int. J. Mass. Spectrum and ion Phys., 1974,vol.15, p.165-179.

126. Tolk H.H., White C.W., Sigmund P. Broad-band optical radiation from iow energy ion metal collisions.- Bull. Am. Phys. Soc., 1973, vol.18, p.686-690.

127. White G.W., Tolk H.H. Photon emission produced by particle-surface collisions.-J.ITucl.Mater., 1976, vol.63, No 1,p.506-511.

128. White G.W., Tolk H.H., Kraus J. and Van der Weg. Continuum optical radiation produced by iow-energy heavy particle bombardment of metal targets.- Hue1.Instrum. &Meth., 1976, vol.132,p. 419-425.

129. White G.W., Tolk H.H. Optical radiation from low-energy ion surface collisions.- Phys.Rev.Lett., 1971, vol.26, No 9, p.486-489.

130. White C.W. Ion induced optical emission from surface and depth profile analysis.- Hue1.Instrum.& Meth., 1978, vol.149, p.497-506.

131. White C.W., Simms D.L., Tolk II.II. Surface composition determined by analysis of impact radiation.- Science, 1972, vol.177, Ho 4048, p.481-486.

132. Mac Donald R.J. and Martin P.J. A study of the interection of oxygen with chromium using ion bombardment induced photon and secondary ion emission.- Surf.Sci., 1977, vol.67,p.237-250.

133. Mac Donald R.J., Martin P.J. Quantitative surface analysis using ion induced secondary ion and photon emission.-Surf.Sci.,1977, vol.66, No 2, p.423-435.

134. Martin P.J. and Loxton G.M. Photon studies of ion induced Та continuum emission.- Rad.Effects Lett., 1980, vol.50,p.161-167.

135. Martin P.J. Mac Donald R.J. The spectroscopy of ion-induced photon emission and its application to quantative surface analysis. Surf.Sci., 1977, vol.62, Ho 2, p. 551-566.

136. Tsong I.S.T. and Mc Laren A.C. An ion beem' spectrochemical analyser with application to the analysis of silicate minerals.-Spectrochim. Acta, 1975, vol. ЗОВ, p.343-351.

137. Tsong I.S.T. The excitation efficiency of atomic ejected during ion-beam sputtering.- Surf.Sci., 1977, vol.69,p.609-618.

138. Tsong I.S.T. The use of sputter-induced emission spectroscopy for the analysis of hidrogen in solids.- liucl.Instr. & Meth., 1978, vol.149, p.523-527.

139. Kelly R., Good-Zamin G.J., Sheahata M.T. An attempt to understand secondary photon emission.-Nucl. Inst rum. & Meth.,1978, vol.149, Ho1-3, p.563-566.

140. Kelly R., Kerkdijk G.B. Bombardment-induced photon emission A1 and A1203 targets.- Surf.Sci., 1974, vol.46, p.537-557.

141. Kelly R., Dsioba S., Tolk II.M. Atomic, molecular and continuum radiation from ion bombarded B and B20^.- Surf.Sci., 1981, vol.102, p.486-595.

142. Dzioba S., Kelly R. On the kinetic energies of sputtered exsited particles.- Hue1.Instrum. & Meth., 1981, vol.182-183, p.207-213.

143. On the problem of whether exited states amon^at sputtered particles are of thermal origin.- C.J.Good-Zamin, M.T.Shehata, R.Kelly and oth.- Rad. Effects, 1978, vol.35, p.139-149.

144. Shimizu, Okutani T. Simultaneous measuremente of photon and ion emissions from ion bombarded A1 en oxygen atmosphere.-Surf.Sci., 1977, vol.69, p.349-353.

145. Okutani T., Shimizu R. Fundamental studies of the LTE model using secondary ion and ion-induced photon emission.- Surf.Sci., 1979, vol.88, L51-L58.

146. Snowdon K.J. Relation of the photon yield from a sputtering source to the population distribution and excitation function.-Rad. Effects, 1979, vol.42, p.185-190.

147. Carter G., Armour D.G., Snowdon K.J. Cascade and quasi-thermal processes in exited atom sputtering.- Rad.Effects, 1978, vol.35, p.175-187.

148. Snowdon K.Y. A comparison of experimental secondary ion energy spectra of polycrystalline metals with theory.- Rad.Eff., 1978, vol.38, p.141-149.

149. Snowdon K.J., Andersen B., Veje E. An evaluation of the methods of determining exited state population distribution from sputtering sources.- Rad.Effects, 1979, vol.40,p.19-22.

150. Blaise G. Similarities in photon and ion emission inducedby sputtering.- Surf.Sci., 1976, vol.60, p.65-75.

151. Meriaux J.P., Goutte R., Guilland C. The influence of chemically active gas on the light emission of metallic targets bombarded by positive ions.- Appl.Phys., 1975, vol.7,p.313-320.

152. Blaise G., Secondary ion emission of alloys in relation with their electronic structure.- Rad.Effects. 1973,vol.18, p.235-240.

153. Gabla L., Pedrys R., Szymonsky M. The dependence of radiative emission from atoms sputtering from solid surface by ion bombardment of the geometry of experiment.- Acta Phys.Polonica, 1977, vol.A51, No 2, p.311-318.

154. Kerkow H. Photon emission during bombardment of solids with alkali ions in the energy range betv/een 2-10 keV.- Phys. State Sol., 1972, vol.10A, p.501-518.

155. Terzic I., Perovic B. The snectral analysis of light emitted by metallic targets during bombardment of high energy ions.-Surf.Sci., 1970, vol.21, p.86-92.

156. Ivlladenov G.M., Braun 1,1. Ion bombardment induced line radiation from sputtered beryllium.- Phys.Stat.Sol.(a), 1979,vol.53, p.631-640.

157. Braun M., Emmoth B. Molecular emission observed during keV ion bombardment of solids.- Hucl.Instr. & Meth., 1980, vol.170, p.585-589.

158. Braun M., Emmoth B., Buchta R. Concentration profiles and sputtering yields measured by optical radiation of sputteredparticles, Rad.Eff«, 1976, vol.28, p.77-83.

159. Andersen C.A., Hinthome J.R. Thermodynamic approach to the quantitative interpretation of sputtered iom mass spectra.- Annal. Chem., 1973, vol.45, p.1421-1438.

160. Andersen C.A. Progress in analytic methdds for the ion microprobe mass analyser.- Int. J.Mass.Spectr. Ion. Phys., 1969,vol.2, p.61-74.

161. Jurela Z. Comparision of secondary ion yields from conducting semiconducting and nonconducting targets bombarded in H.

162. Rad. Effects, 1972, vol.13, p.167-170.

163. Kelly R. Theory of thermal sruttering by 40 keV argon ions.-Rad.Effects, 1977, vol.32, p.91-100.166. ltforshow J.K., Lundqwist B.J. Secondary ion emission probability in sputtering.- Phys.Rev.B, 1979, vol.19, p.5661-5665.

164. Sigmund P. Theory of sputtering yield of amorphous and poly-crystalline targets.-Phys.Rev., 1969,vol.184, No2,p.383-416.

165. Thompson M.W. The energy spectrum of ejected atoms during the high energy sputtering of gold.- Phil.Mag., 1968, vol.18, p.377-414.

166. Rol P.K., Fieit J.M., Kistemaker J. Theoretical aspects of catode sputtering in the energy range of 5-25 keV.- Physica,1960, vol.26, p.1009-1011,

167. Bloch E. Thermoionic Phenomena, Hew York, 1928, 374p.

168. On the continuous spectrum emitted by particles ejected from the surface of solid target by ion beam./ T.S.Kijan, V.V.Gritsyna, Ya.E.Logachev and oth.-Atomic collision in solids, 1975, L.4, Amsterdam.

169. White G.W. and Tolk N.H. Continuum optical radiation produced by low-energy heavy particle bombardment of metal target.- Atomic collision in solids, 1975, L.5, Amsterdam.

170. Спектральное исследование вторичной эмиссии возбужденных атомов при бомбардировке тантала и молибдена ионами цезия. /С.Ф.Белых, В.И.Векслер, Р.Н.Евтухов и др. ФГТ, 1975, т.17, №6, с.1852-1853.

171. Continuum optical radiation produced by low-energy heavy particle bombardment of metal targets./C.W.White, IT.H.Tolk, J.Kraus and oth.-Nucl.Instrum © Meth., 1976, vol. 132,p.419-425.

172. Непрерывное излучение при ионной бомбардировке некоторых переходных металлов. / С.С.Поп, И.П.Запесочный, А.И.Имре.-ЖсТФ, 1977, т.72, вып.1(7), с.90-98.

173. Парилис Э.С., Ферлегер В.Х. Непрерывный спектр излучения света при бомбардировке поверхности твердого тела тяжелыми ионами.- В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом: Тез. докл. 1У Всесоюзн конф.(Харьков, 7-9 июня, 1976г.),

174. Харьков: Изд-во Харьковского ун-та, 1976, ч.2, с.202-205.180. white C.W., Tolk N.H., Kraus J. Continuum optical radiation produced by low-energy heavy particle bombardment of metal targets.- Kucl.Instrum.&Meth., 1976,v.132, p.419-425.

175. Können G.P., Tip А., de Vries А.Е. On the energy distribution of sputtered dimers.- Rad.Eff., 1974, vol.21, p.269-274.

176. Können G.P., Tip A., de Vries A.E. On the energy distribution of sputtered clusters.- Rad.Eff., 1975, vol.26,p.23-29.

177. Rausch E.O., Bazhin A.I., Thomas E.W. On the origin of broad band optical emission from Mo, Hb and W bombarded by heavy ions. J.Cheni. Phys., 1976, vol.65, No 65, l'lo 11, p. 44474454.

178. Векслер В.И.Двухфотонныймеханизм образования непрерывного спектра оптического излучения, испускаемого продуктами распыления металлов. ФТТ, 1980, т.22, №9, с.2620-2626.

179. Photon emission from rare gas ion bombardment of metal surfaces./ W.Heiland, J.Kraus, S.Leung and oth.- Surf.Sci., 1977, vol.67, p.437-450.

180. Бажин А.И. Применение ионно-фотонной эмиссии для анализа твердых тел. В кн.: Диагностика поверхности ионными пучками. Донецк, 1980, с.25-34.

181. Габович М.Д. Плазменные источники ионов. Наукова думка, К., 1964, 223с.

182. Tsong I.T.S,, Mc Laren A.C. An ion beam spectrochemical analyser with application to the analysis of silicate minerals.-Spectr.Acta., 1975, vol.ЗОВ, p.343-351.

183. Барбашев C.B. Вторичная ионная эмиссия. Автореферат диссертации кандидата физ-мат.наук, Ташкент, 1981, 26с.

184. Meriaux J.P. Etude du phenomene d1ionoluminescence atomique et application a la microanalyse.- These, Lion, 1971, p.105.

185. Алексеев В.И., Бажин А.И., Ступак В.А., Тур В.А. Установка для изучения образования центров окраски в щелочногалоидных кристаллах при облучении их ионами с энергией 1-30 кэВ. В кн.: Физика твердого тела, Киев-Донецк, 1975, в.5, с.32-35.

186. Бажин А.И., Белая Т.Д., Брик О.Г., Свирская А.Н. Влияние электронного облучения на радикалорекомбинационную люминесценцию кристаллофосфора ZnSCdS -Cu , в кн.: Физика твердого тела. Донецк-Киев, 1975, с.43-46.

187. Образование и стабилизация свободных радикалов. Под ред. А.Бааса и Г.Бройда. М.: ИЛ, 1962, 622с.196. 1уеУ H.F. Catodoluminescence and radicap excited luminescence.- J. Luminescence, 1974, No.8, p.271-307.

188. Стыров B.B. Гетерогенная хемилюминесценция на границе газ-твердое тело и родственные явления: Диссертация доктора физмат. наук, Томск, 1978, 320 с.

189. Лавренко В.А. Рекомбинация атомов водорода на поверхности твердых тел. Наукова Думка, Киев; 1973, 202 с.

190. A.C. №819857 (СССР). Способ очистки поверхности полупроводников. Бажин А.И., Малиненко Е.М.: Донецкий государственный университет.- Заявл. 21.10.77.(№2 535 831/18-21), опубл. 07.04.81., бюлл.МЗ.

191. Mc Conkey Y.W., Burns D.Y., Simpson F.R. Absolute cross section for electron exitation of the second positiv bands of nitrogen.- J.Opt.Soc.Am., 1969, vol.59, p.110.

192. Aarts J.F.IT., de Heer F.J. Production of Lyman irradiation .- J. Opt. Soc. Am.,1968, v.58, p.1666.

193. Thomas E.W., Bent G, D., Edwards.Excitation induced by 0,15 1,0 MeV protons in molecular oxygen .

194. Phys. Rev., 1968, v.165, p.32.

195. Burns D.J., Simpson F.R., Mc Conkey J.W. Absolute cross section for electron exitation of the second positive bands.-J.Phys.1969, v.2, p.52-64.

196. Казанкин O.H., Марковский Л.Я. и др. Неорганические люминофоры.- Л., Химия, 1975, 268с.

197. Бажин А.И., Алексеев В.И. Пробеги протонов с энергией 300100 кэВ в монокристаллах KCI и hlaCL .- В кн.: Физика твердого тела. Киев-Донецк, 1976, вып.6, с.15-18.

198. Палатник Л.С., Папиров И.И. Эпитаксиальные пленки.- М, Наука, 1971, 383с.

199. Томсон Т. Дефекты и радиационные повреждения в металлах.-М., Мир, 197I, 421с.

200. Tompson P. Radiative damage in alkali halide crystals.-These, University of Delaware, Ph.D, 1975, 1б5р.

201. Loxton C.M., Mc Donald R.J. The measurement of energy parameters for atoms sputtered in excited states.- Surf.Sci., 1981, v.110, p.339-355.

202. Carter G., Fischer G., Webb R., Dzioba S., Kelly R., Auciello 0. On the surface-normal energy distribution of sputtered recoils.- Rad.Eff., 1979,v.45, p.45-48.

203. Бажин А.И., Стыров В.В., Соколов В.А. Возбуждение радикало-рекомбинационной люминесценции некоторых щелочно-галоидных кристалл офосфоров. Изв. вузов Физика, 1968, №5, с.140-142.

204. Бажин А.И., Соколов В.А., Стыров В.В. Радикалорекомбинацион-ная люминесценция твердых тел с широкой запрещенной зоной.

205. Изв. АН СССР, сер. Физ., 1969, т.33, №5, с.919-921.

206. Бажин А.И., Алексеев В.И. Люминесценция на поверхности чистых щелочно-галоидных кристаллов при бомбардировке ионами водорода. В кн.: Активная поверхность твердых тел. Москва, 1976, с.146-148.

207. Бажин А.И., Дузельзак А.И. Создание радиационных дефектов в KCI высокочастотным разрядом в водороде.- В кн.: Физические процессы в кристаллах с дефектами.- Киев, 1972, с.203-206.

208. Бажин А.И. Исследование высокотемпературной люминесценции чистых щелочно-галоидных монокристаллов при ионной бомбардировке.-В кн.: Радиационные дефекты в твердых телах: Тез.докл.Всесоюзн. конференции. Ашхабад, 1977, с.86.

209. Bazhin А. I., Rausch Е.О., Thomas E.W. Luminescence of alkali halid monocrystals induced by ion beam exitation.-Bull. of the american physical society, 1976, Atlanta, p.438.

210. Bazhin A•I•, Rausch E.O., Thomas E.W. Luminescence induced by ion impact on alkali halide crystals at high tenperatures (-160 to 200°C). Phys.Rev.Abstracts, 1976,v.7,111 б.р. 17.

211. Бажин А.И. Ионолюминесценция щелочно-галоидных монокристаллов. В кн.: Симпозиум по взаимодействию атомных частиц с поверхностью твердого тела, Ташкент, ФАН, 1979, с.227-228.

212. Бажин А.И., Конопелько Е.И. Высокотемпературная люминесценция чистых щелочно-галоидных кристаллов при высокой плотности возбуждений. В кн.: XXI Совещание по люминесценции (Кристалло-фосфоры): Тез. докл.Всесоюзной конференции. Львов, 1978, с.56.

213. Бажин А.И., Конопелько Е.И. Влияние радиационных дефектов на фотонную эмиссию щгк при ионной бомбардировке. В кн.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия, Харьков, 1980,с.95-97.

214. Стриганов А.Р., Свентицкий Н.С. Таблицы спектральных линий нейтральных и ионизированных атомов. Атомиздат, 1966, 899с.

215. Барбашев С.Б. Вторичная ионная эмиссия щелочно-галоидных соединений.-Диссертация канд.физ-мат,наук.-Одесса,1980,148с.

216. Sigmund P. Theory of sputtering.Sputtering yield of amorhous and polycrystalline targets.- Phys.Rev.,1969, v.184, N.2, p.383-416.

217. Havinsek Б. Sputtering yields of alkali halide single crystals bombarded" by 2 to 10 keV ions.- J.Appl.Phys., 1965, v.36, 115, p.1678-1679.

218. Акишин А.И., Исаев Jl.H., Тютрин Ю.И. Распыление щелочно-галоидных монокристаллов ионами аргона.- Радиотехника и электроника, 1964, т.9, №11, с.2065-2067.

219. Bazhin Л.I., Rausch О.Е., Thomas E.V7. Ion induced luminescence of alkali halides with C1J impurity.- J.Chem.Phys., 1976, v.65,N10, p.3897-3900.

220. Rolfe J., Lipsett F.R., King 17. J. Optical absorbtion and fluorescence of oxygen in alkali halide crystals.- Phys.Rev., 1961, v.123, N 2, p.447-453.

221. Crawford J.H. Slifkin L.M. Point defects in solids.-v.1, 1972, Hew.York London, 556 p.

222. Лущик И.Б., Витол И.К., Эланго М.А. Распад электронных возбуждений на радиационные дефекты в ионных кристаллах.- Усп. физ. наук, 1977, т.22, в.2, с.223-251.

223. Clark C.D., ïlewman D.H. V-centres produced in KBr and KC1 at 290K by electron irradiation.-J.Phys.C.; Solid.St.Phys., 1971, vol.4, p. 1130-1144.

224. Wardle I.I.W. Color-center and radiation damage effects in alkali halides irradiation to high particle fluence.-Dissertation of PhD. University of Delaware, 1975, 124p.

225. Дине Дж., Виньярд Дж. Радиационные дефекты в твердых телах.-М., ИЛ, I960, 243с.

226. Конобеевский С.Т. Действие облучения на материалы.- М., Атомиздат, 1967, с.

227. Будылин Б.В., Воробьев А.А. Действие излучений на ионные структуры.- М., Госатомиздат, 1962, 167с.

228. Воробьев А.А. Центры окраски в щелочно-галоидных кристаллах.- Изд. ТГУ, Томск, 1968, 234с.

229. Лущик Ч.Б., Витол И.К., Эланго М.А. Распад электронных возбуждений на радиационные дефекты в ЩГК.- УВД, 1977, т. 122, в.2, с.223-241.

230. Hersh H.И. Colour centers in x-reyed or ultraviolet-radiated alkali halides

231. Phys.Rev., 1966, v.148, p.928-934.

232. Витол И.К. Современные представления .о механизме рекомбина-ционной люминесценции щелочногалоидных кристаллофосфоров,- Изв. АН СССР, сер.физ., 1966, т.30, с.564-573.

233. Pooley D. F-centre production in alkali halides by radia-tionless electron-hole recombination.- Solid St.Comm.,1965, v.3, p.241-243.

234. Лущик Ч.Б., Лийдья Г.Г., Эланго М.А. Электронно-дырочный механизм создания центров окраски в ионных кристаллах.1. ИТ, 1964, т.6, с.2256-62.

235. Лущик Ч.Б., Вале Т.К., Эланго М.А. Электронные возбуждения ионных кристаллов и элементарные механизмы создания центров окраски.- Изв. АН СССР,сер.физ.,1967,т.31,с.820-828.

236. Лущик Ч.Б. Элементарные механизмы создания радиационных дефектов в ионных кристаллах.-Труды ИФА АН ЭССР, 1972, №39,с.81-99.

237. Hersh НЛ\Г. The common relation between luminescence phenomena and color centers.- J.Elictrochem. Soc., 1971,v.118, p.144-153.

238. Mitchell P., Wiegand D., Smoluchowski R. Formation of P-cen-ters in KC1 by x-rays.-Phys.Rev.,v.121, H2, 1961, 484-493.

239. Fischer P., Zur kinetik der P-zentrenbilung bei electronen-bestralung.- Zeitschrift fur Physik,1959,Б.154, p.534-546.

240. Hughes A.E., Pooley D. High dose proton irradiation of alkali halides.- J.Phys.C,;Solid. St.Phys., 1971, v.4, p.1963-1971.

241. Ikeya M., Crawford J.H. Perturbation of intrinsic luminescence by lattice defects in UaCl.- Physics batters, 1973, v.45a, N.3, p.213-226.

242. Мелик-Гайказян И.Я., Дерябин II.Е. Накопление носителей тока в нитевидных кристаллах КВг" и KCI под действием рентгеновских лучей.- ИЗв.АН ССР, серия физическая, 1974, т.38, №6,с.156-161.

243. Parsons J.R. Conversion of crystalline germanium to amorphous germanium by ion bombardment.- Phyl.Magazine, 1965, v. 12, II 120, p.138-145.

244. Durand P., Parge Y., Lambert M. The formation P-centrars in LiP at temperatures 77-600 K.-J.Phys.Chem.Solids, 1969, v.30, p. 1353-1374.

245. Зельдович Я.Б., Мышкис А.Д. Элементы математической физики.-M., 1973, с.304.

246. Бажин А.И., Алексеев В.И., Рыжов В.Н. Эффективность образования Г -центров при бомбардировке KCI протонами с энергией 30-100 кэВ.- В кн.: ФГГ, Киев-Донецк, 1976, в.6,с.12-15.

247. Clarc C.D., lîewman D.iï. V centres produced in ICBr and KCI at 290 К Ъу elektron irradiation.- J.Phys.C: Solid St. Phys.,1971, v.4, p.1130-1144.

248. Миллере Д.К., Тале И.А., Котомин Е.А. Единый подход к описанию процессов накопления и отжига радиационных дефектов в щелочно-галоидных кристаллах.- Ученые записки Латвийского университета, 1975, т.245, №4, с.24-95.

249. Herrman P., Pinard P. The séparation of V^-center formation in KCI under electron irradiation at RT.- Solid State Communs, 1970, v.8, N 10, p.791-793.

250. Dorendori> Ultraviolette absorbtion banden an photochemisch veraerten KCI and KBr kristallen.-Z.Physik., 1951, Bd 129, S. 317-326,

251. Раухвергер А.Э., Дзелме Ю.Р., Тиликс Ю.Е. Вероятная модель центра, ответственного за поглощение в v^ полосе поглощения спектра облученных кристаллов КВг . - ИзвЛатв.ССР, сер. физ. и теннич.наук, 1978, №6, с.115-117.

252. Раухвергер А.Э., Дзелме Ю.Р., Тиликс Ю.Е., Бугаенко Л.Т. Взаимная связь v2 и у-центров в облученных кристаллах КВг . Изв. АН Латв.ССР, серия физ. и техн. наук, 1979, №1, с.72-82.

253. Раухвергер А.Э. Физико-химические свойства и образование дырочных центров окраски в щелочно-галоидных кристаллах. -Автореферат кандидатской диссертации, Рига, 1979г.

254. Лущик Ч.Б., Витол И.К., Эланго М.А. Распад электронных возбуждений на радиационные дефекты в ЩГК,- Успехи физических наук, 1977, т.122, вып.2, с.

255. Christy R.W., Phelps D.H. Production of V^-centers in KC1 Ъу x-rays, -Phys.Rev., 1961, v.124.,lT4, p.1053-1060.

256. Winter E.M., Wolfe D.R., Christy R.ÏÏ. Dichroism of V Bands in Potassium and Rubidium Halides.-Phys.Rev., 1969, v. 186,1. 3, p.949-952.

257. Pooley D., Runciman V/.A. Recombination luminescence in alkali halides.- J.Phys.C: Solid St. Phys.,1970, v.3, IT 5, p.1815-1924.

258. Fujita I., Yano S., Onaka R. Decay tame and quantum yield of luminescence of L-centers.- Science of light, 1968, v.17,1. 2, p.

259. Куусманн И.Л., Лущик Ч.Б. Люминесценция свободных и авто-локализованных экситонов в ионных кристаллах.- Труды ин-та физики АН ЭстССР, 1976, Мб, с.28-46.

260. Раджабов Е.А., Непомнящих А.И. Температурная зависимость рентгенолюминесценции в Li F .-Оптика и спектроскопия, 1980, т.49, №1, с.184-188.

261. Ikezawa M. The luminescence induced by illumination in the F-band in KBr and KC1.- Sci. Repts. Tohoku Uhiver.(Japan),

262. Ser 1, v. L11, IT 3, 129, 1969.

263. Fujita J., Yano S., Onaka R, Decay tame and quantum yeild of luminescence from P-centers.- Science of Light, 1968, v.17, p.89-95.

264. Бажин А.И., Конопелько Е.И. О природе оптической вспышки при ионной бомбардировке щгк.-В кн.: Физика ввердого тела, Киев-Донецк, 1980, в.Ю, с.29-33.

265. Куусманн И.Л., Либлик Д. Спектрально-кинетическое исследование катодолюминесценции нитевидных и ма1фокристаллов А Д.-Труды т АН Эст.ССР, 1975, 44, с.114-131.

266. Галанов Ю.И., Яковлев В.Ю. Рекомбинационная люминесценция в ЩГК, обусловленная накоплением х^-центров.- Тез.докл. 1У Всесоюзного совещания по радиационной физике и химии ионных кристаллов. Рига, 3-5 окт. 1978г., Саласпилс,1978, ч.П,с.257-258.

267. Jensen К., Veje Е. An experimental study of optical radiation from sputtered species.-Z.fur Physik, 1974,v. 13269, p.293-300.

268. Kerkdijk С.Б., Kelly R. Oxigen-dependent photon emission from Ne+ bombardment Mg.- Rad. Eff., 1978, v.38, p.73-81.

269. Loxton C.M, Mac Donald R.J., Martin P.J. The influance of non-radiation transitions on bombardment induced photon emission from Ti and Ti oxide.- Surf.Sci., 1980, v.93, p.84-106.

270. Martel J.G., Olson II.T. Ion bombardment induced photon and secondary elektron emission.- ITucl. Inst rum. &Meth., 1972, v. 105, p.269-275.

271. Thomas G.E., de Klmizenaar E.E. Chemical effects on light emission from ion-bombardment copper and aluminium surfaces.-Int. J.Mass.Spectrom.Ion.Phys., 1974, v.15, p. 165-179.

272. Tsong J.S.T., Liebert R.B. The use о ^sputter-induced spectroscopy for the analysis of hydrogen in solids.- Hud. Inst rum and Meth., 1978, v. 148., p.523-527.

273. Коваль А.Г., Логачев Ю.Е. Исследование излучения возбужденных частиц, выбитых пучком аргона с поверхности железа.- В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом: Матер. У Всесоюзн. конф., Минск, 1978, ч.2, с.48-51.

274. Киян Т.С., Грицына В.В., Исследование влияния безызлучатель-ных процессов на отлет возбужденных атомов Ва, выбитых ионами аргона с поверхности ВаСОд.- Изв. АН СССР, сер.физ., 1979, т.43, №3, с.595-600.

275. Белых С.Ф., Вениаминов А.Г., Векслер В.И. Эмиссия фотонов продуктами распыления ванадия и циркония.- В кн.: Диагностика поверхности ионными пучками: Тез. докл. Всесоюзного совещания-семинара, Донецк, 1980, с.56-57.

276. Дробнич В.Г., Поп С.С., Евдокимов С.А. Исследование закономерностей непрерывного излучения, возникающего при бомбардировке ионами атмосферных газов молибденовой мишени.-Укр.физ.ж., 1979, т.24, №8, с.1213-1218

277. Tsong J.S.T. Photon emission from sputtered particles during ion "bombardment.- Phys.Stat. Sol., 1971, v.7A, p.451-458.

278. Киян Т.С., Грицына В.В., Фогель Я.М. О непрерывном спектре, испускаемом частицами, выбитыми ионным цучком с поверхности редкоземельных металлов.- В кн.: Взаимод. атомных частиц с твердым телом.: Тез.докл. У Всесоюзн. конф., Харьков,1976, с.176-177.

279. Бажин А.И., Катальников B.B. Моделирование кинетики накопления Р -центров в щелочно-галоидных !фисталлах при ионной бомбардировке.- В кн.: Физика твердого тела, Киев-Донецк,1979, в.9, с.26-33.

280. Бажин А.И., Козель В.В., Ступак В.А. Влияние условий ионной бомбардировки на вторичную ионную и фотонноую эмиссию Mo, W ,Та.-В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом: Материалы У1 Всесоюзной конф., Минск, 1981, ч.1, с.235-237.

281. Straudenmier G. Clusters sputteres from tungsten.- Rad.Eff., 1972, v.13, p.87-91.

282. Wittmaack K. On the mechanism of cluster emission in sputtering.- Phys.Lett., 1979, V.69A, Ii 5, p.322-325.

283. Können G.P., Tip Л., de Vries A.E. On the energy distribution of sputtered dimers.- Rad.Eff., 1974, v.21, p.269-274.

284. Können G.P., Tip A., de Vries A.E. On the energy distribution of sputtered clusters.- Rad.Eff., 1975, v.26,p.23-29.

285. Gerhard W. A model calculation of the neutral molecule emission by sputtering processes.- Z. für Physik, 1975, V.B22, IT 1, p.31-40.

286. Gerhard 7/., Oechsner M. Mass-cpectrometry of neutral molecules sputtered from poly-crystallins metals by Br+-ions of 100-1000 eV.- Z.für Physik, 1975,v.B22, N 1, p.41-48.

287. Benninghoven A., Plog C. and Treitz N.- Int.J.Mass Spectrom.-Ion Phys., 1974, v. 13, p.415-423.

288. Окисление металлов./Под ред.Ж.Бенара.-М.: Металлургия, 1969, т.2, 256с.

289. Хансен М., Андерко К.О. Структуры двойных сплавов.-М., Металлургия, 1962, т.2, 281с.

290. Шалаев A.M., Адаменко А.А. Радиационно-стимулированное изменение электронной структуры.- Атомиздат, М., 1977, 178с.

291. Kelly R., Lam 1T.Q, The sputtering of oxiges, part 1: Л survey of the experimental results.-Rad.Eff., 1973; v.19,p.39-47.

292. Бажин А.И. Ионолюминесценция щелочно-галоидных ьфисталлов.-В кн.: Симпозиум по взаимодействию атомных частиц с поверхностью твердого тела, посвященный памяти академика АН УзССР У.А.Арифова. Ташкент, ФАН, 1979, с.227-228.

293. Бажин А.И., Малиненко Е.М. Ионная эмиссия и распыление при рекомбинации радикалов на поверхности твердого тела.-ЖФХ, 1976, т.50, №7, с.1732-1735.

294. Фогель Я.М. Вторичная ионная эмиссия.-УФН,1967,в.I,с.75-112.

295. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла.-М.: Мир, 1967, 506с.

296. Gibbons J., Johnson И., Mylroie St. Projected range statistics- J. Wiley Son.Inc. II,Y„, 1975, 308p.

297. Вероятности электронных переходов и времена жизни электрон-новозбужденных состояний молекул./Н.Е.Кузьменко, Л.А.Кузнецова, А.П.Моньякин и др.- УФН,1979,т.127,в.З,с.451-478.

298. Rudat M.A,, Morrison G.H, Energy spectra of ions sputtered from elements by i Bd 82, p.549-576.from elements by Og: a comprehensive study,- Surface Sci,, 1979,

299. Киян T.C., Грицына В.В. Сопоставление спектров свечения, возникающего при ионной бомбардировке некоторых переходных металлов и их соединений.-В кн.: Взаимодействие атомных частицс твердым телом. Минск, 1978, с.14-17.

300. Белых С.Ф., Вениаминов А.Г., Векслер В.И. Эмиссия фотонов продуктами распыления ванадия и циркония.-Диагностика поверхности ионными пучками, Донецк, 1980, с.56-57.

301. Белых С.Ф. Автореферат кандидатской диссертации, Ташкент, 1983.

302. Бажин А.И., Конопелько Б.И., Рыжов В.Н. Квантовый выход ионолюминесценции твердых тел .-Материалы симпозиума по взаимодействию атомных частиц с поверхностью твердого тела, посвященного памяти акад. АН УзССР У.А.Арифова,1979, Ташкент, с.225-226.

303. Козель В.В., Лабзин В.Г. Корреляция в угловых зависимостях ионно-электронной и фотонной эмиссий.-В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Минск, 1978, т.2,с.33-36.

304. Вероятности оптических переходов двухатомных молекул/Под ред. Р.В.Хохлова, М., Наука, 1980,319с.

305. Кондратьев В.Н., Никитин Е.Е. Кинетика и механизм газофазных реакций.-М., Наука, 1974.

306. Saxon R.P. and Idu Б. Absolut total cross section for pho-todissotiation of Ar,Kr, Xe, KrN, KrIT from 565 to 695 nm.-J.Chem.Phys., 1977, 67, p.5432.

307. Broida II.P. and Gaydon A.G. The Herzberg bands of 0 in an oxygen aftarglow and in the night-sky spactrum.-Proc.R.Soc. London, 1954,v.222, p.181.

308. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме.- М., Атомиздат, 1968, 416с.

309. Никитин Е.Е. Теория элементарных атомно-молекулярных цроцес-сов в газах.-М., Химия, 1970, 280с.

310. Palmer H.B., Garrabetta R.A. Transition-state rate theory and the radiative recombination of atoms.- J.Chem.Phys., 1967, v.46, p. 1438-1539.

311. Бажин А.И., Ступак B.A., Суханьска M., Шестов В.П. Хемилюми-несцентная модель непрерывного излучения твердых тел при ионной бомбардировке.-Поверхность.Физика.Химия.Механика., 1983, №3,с.51-55.

312. Карпузов Д.С., Шульга В.И., Юрасова В.Е. Потенциалы взаимодействия и модели решетки в расчетах отражения ионов.- Изв. АН СССР, сер.физ., 1969, т.33, №5, с.819-930.

313. Фирсов О.Б. Качественная трактовка средней энергии возбуждения электронов при атомных столкновениях.-ЖЭГФ,1959,т.36,№5,с.1517-1523.

314. Машкова Е.С., Молчанов В.А. Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел.-М., Атомиздат, 1980, 255с.

315. Лейман К. Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов.-М., Атомиздат, 1979, 295с.

316. Berrondo И., Flores-riveros A. A simplified model for the predissiciation of diatomic molecules.- Int. J.Qant.Chemistry, 1978, v.1X, p.391-410.

317. Филиппенко Л.Г. Особенности процесса ионизации у тяжелых атомов и ионов.-ЗВТФ, 1962, т.32, №3, с.356-359.

318. Бажин А.И., Суханьска М. Формирование непрерывного излучения при ионной бомбардировке твердых тел.-Донецкий госуниверситет, Донецк, 1981, ^ук.деп. ВИНИТИ, № 548-82, 61с.

319. Johnson S.E., Scott Р.В. Watson G. Visible chemiluminescence from supersonic mixing metal-oxidant flames.-J.Chem.Phys.,1974,v.61, IT 7, p.283-2839.

320. КоГо G.E., Gersh M.E., Herschbach D.R. Suggested mechanism for the visible chemiluminescence obsorved in gas phase aluminium oxidation.- Combastinn and flame, 1975, v.25, p.31-41.

321. Gole J.L., Zare R.H. Determination of D8(A10) from crossed beam chemiluminescence of A1 + .- J.Chem.Phys., 1972, v.57, IT 12, p.533-5338.

322. Edelstein S.A., Perry B.E., Echstron D.Y. Chemiluminescence from three-body reactions in the Ba + 02 flame.-Chem.Phys.Lett., 1977, v.49, IT 2, p.293-302.

323. Irvin J.A., Dagligian P.J. Chemiluminescence from 0ei(4S 3d D2 + o2) reaction. Absolute cross section. Photon yield and CaO dissotiation energy.- J.Chem.Phys.,1980, v.73, If 1, p. 176-191.

324. Бажин А.И., Рыжов B.H., Суханьска M. Ионно-фотонная эмиссия редкоземельных элементов и их окислов.-Диагностика поверхности ионными пучками, Донецк, 1980, с.70-71.

325. Полуэктов Н.С., Кононенко Л.И. Спектрометрические методы определения индивидуальных редкоземельных элементов.-М,1968,с.138.

326. Кучеренко Ю.М., Хиновский В.З., Шелудченко В.Т. Спектры излучения атомных комплексов, возникающих при ионной бомбардировке милибдена.-В кн.: Вторичная ионная и фотонная эмиссия: Тез.докл. ХГУ, Харьков, 1983, с.84-87.

327. Барлтроп Дж, Койл Дж. Возбужденные состояния в органическ-кой химии.-М.: Мир, 1978, 446с.

328. Birks J.B. Photophysics of aromatic molecules.-Wiley-Intersceince, London, 1970, p.489.

329. Бажин А.И., Рыжов B.H., Суханьска M. Ионно-фотонная эмиссия редкоземельных элементов и их окислов.-В кн.: Диагностика поверхности ионными пучками. Тез.докл., Донецк, 1980, с.70-71.

330. Суханьска М. Формирование непрерывного излучения при ионной бомбардировке металлов.- Дисс. канд.физ.-мат. наук, ДонГУ, Донецк, 1982, 152с.

331. Мс Cracken G.I.I., Préeman If. J.Back-scattering of keV hydrogen ions in solids.-J.Phys.B, 1969, v.2, ser.2,661-668.

332. Kerkdijk С. Doctoral dissertation, University of Leiden, the Motherland, 1975.350 •Kerlcdijk C. and Thomas E,V/. Light emission induced by H and He+ impact on a clean copper surface.- Physica, 1973, v.63, IT 3, p.577-598.

333. Thomas E.W. Exitation in heavy particle collisions, Wiley Interscience, IT.Y., 1972, 134p.

334. Wiese W.L., Smith Lï.ïï. and Miles B.M. Atomic transition probabilities, ITational Bureau of Standards USA, Washington D.C., 1969, 346 p.

335. Грицина В.В., Киян Т.С., 1Угт Р., Коваль А.Г., Фогель Я.М. Влияние безызлучательных переходов на спектр свечения возбужденных частиц, выбитых из твердых мишеней быстрыми ионами аргона.-Изв. АН СССР, сер.физ., 1971, т.35, с.578-584.

336. Бажин А.И., Козель В.В., Лабзин В.Г., Филиппов Е.И. Образование высоковозбужденных атомов в процессе ионной бомбардировки металлов.-ЖТФ,1979,т.49,в.2,с.446-448.

337. Корлисс Ч., Бозман У. Вероятности переходов и силы осцилляторов 70 элементов.-Мир,М.,1968, 324с.

338. Касабов Г.А., Елисеев В.В. Спектроскопические таблицы для низкотемпературной плазмы. Справочник. М.( Атомиздат, 1973,160с.

339. Snoek С., Van der \7eg W.P., Rol P.K. Photon emission ionical-ly bombarded copper surfaces.-Physica,1964,v.30, p.341-344.

340. Braun Emmoth В., Martinson Y. Optical radiation emitted at heavy-ion bombardment of solids.- Physica Scripta,1974,v.10, N 3, p.133-133.

341. Бажин А.И., Теплов С.В., Шестов В.П. О кинетическом механизме ионно-фотонной эмиссии.- В кн.: Вторичная ионная и ионно-фо-тонная эмиссия. Харьков, 1983, с.116-118.

342. Векслер В.И. Вторичная ионная эмиссия металлов.- М.:Наука, 1978, 240с.

343. Дробнич В.Г. Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов эмиссии возбужденных распыленных частиц при бомбардировке металлов (AI и Мо) ионами киловольтных энергий.- Дисс. канд.физ.-мат.наук, Ужгород , 1982, 181с.

344. Kelly R. Statistical model for the formation of excited atoms in the sputtering process.- Phys.Rev. B, 1982, v.25, p.700-709.

345. Васильев M.A. Теоретические модели механизма вторичной ион-но-ионной эмиссии.-Металлофизика,1978,вып.72,с.3-1I.

346. Дорожкин А.А. Ионная оже-спектроскопия.-В кн.:Диагностика поверхности ионными пучками. Тез. лекций Всесоюзного совещания-семинара, Ужгород,1977,с.133-142.

347. Veksler V.I. The energy spectra of the secondary ion emission for transition metals of the fourth period.- Vacuum, 1983, v.33, p.159-163.one

348. Bayly A.R., Mac Donald R.J. The energy spectra of secondary ion emitted during ion bombardment.- Radiation Effects, 1977,v.34, p.169-175.

349. Dzioba S., Auciello 0., Kelly R. On the kinetic energies of sputtered exited particles.- I.- Rad Eff., 1980, v. 45, II 2,p.235-246.

350. Hagstrum H.D. Theory of Anger ejection of electrons from metals by ions.-Phys.Rev.,1954, v.96, p.336-342.

351. Sehroeer J.M., Rhodin Т.Н., Bradly R.C. A quantum-mechanical model for tha ionisation and excitation of atoms during sputtering.-Surf.Sci., 1973,v»34, p.571-580,

352. Paedzersky ?.A, Tsipinyuk B.A. Excited atom emission from metals under ion bombardment.- Vacuum, 1982, v.32, p.723-729.

353. Robinson Torrens I.M. Computer simulation of atomic displacement cascades in solids in the binary-collision approximation.« Phys.Rev, B, 1974, v.9, p.5008-5013»

354. Jackson D.P. Biding energies in cubic metal surfaces.-Rad. Eff., 1973, v,18, p.185-193.

355. Карпу зов Д.С., Шульга В.И., Врасова В.Е. Потенциалы взаимодействий и модели решетки в расчетах отражения ионов.-Изв.АН СССР, сер.физ., 1969, т.33,»5, с.818-825.

356. Herzbery G. Spectra of diatomic molecule©,- D,Van H&strand Co, Inc.H.Y,, 1950, 520 p.

357. Yon der Heyden E., Fisher P. Ultraviolet luminescence ClT -molecules.- Phys.Stat.Solidi B, 1975, v.69,p.63-67.

358. Gray D,E, American Institute of Physics Hand book,- Mc Gray Hill Book Co, Inc.Few York, 1963, 568 p.

359. Черепин B.T., Васильев M.A. Справочник. Методы и приборы для анализа поверхности материалов.-Наукова думка,Киев,1982,399с.

360. Elliott W.G., US-Patents, 3.658,423 and 3.658.424, 1970,

361. Carter G,, Colligon J.S, Ion bombardment of solids,-Heine

362. Tsong I.S.T., McLaren A.C. Quantitative spectrochemical analyses of feldspars by ion bombardment.-Nature, 1974,v,248, p.4345.

363. Бажин А.И., Буравлев Ю.М., Теплов C.B., Шестов В.П. Основные закономерности ионно-фотонной эмиссии и её применение для спектрального анализа поверхности твердых тел.-Тезисы докладов XIX Всесоюзного съезда по спектроскопии, Томск, 1983, ч.5, с.46-48.

364. Бажин А.И., Коржавый А.П., Ступак В.А. Применение метода ионолюминесценции для изучения профилей распределения активных компонентов холодных катодов.-В кн.: Физика твердого тела,Киев-Донецк, 1980, в.10, с.33-36.

365. A.c. №947644 (СССР) Устройство для измерения толщины пленок на металлических подложках. Бажин А.И., Коржавый А.П., Белик В.А. и др. Заявка №2905528 от 4 апреля 1980.

366. Бронштейн И.М., Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия. Наука, M., 1969, 407с.

367. Бажин А.И., Коржавый А.П., Файфер С.И. Исследование некоторых свойств холодных катодов.-Электронная техника,1974,сер.6, вып.5, с.3-9.