Импульсно-периодические СО2-лазеры, накачиваемые мощным комбинированным разрядом тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.05 ВАК РФ

РГБ ОД 3 1 МАЙ Ш

Российская Академия Наук

Уральское отделение Институт электрофизики

На правах рукописи

Иванов Максим Геннадьевич

Импульсно-периодические СОг-лазеры, накачиваемые мощным комбинированным разрядом

(специальность 01.04.05 - оптика, 01.04.13 - электрофизика)

АВТОРЕФЕРАТ Диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Екатеринбург - 1999

Работа выполнена в Институте электрофизики Уральского отделения РАН

Научный руководитель:

- доктор физико-математических наук, профессор Осипов В.В.

Официальные оппоненты:

- доктор физико-математических наук, профессор Бычков Ю.И.,

- кандидат физико-математических наук Комаров В.Т.

Ведущая организация: Институт общей физики РАН (ИОФАН), г.Москва

Защита состоится 18 января 2000г. в 13~ часов на заседании диссертационного Совета Д.200.7601 в Институте электрофизики УрО РАН (620049, г.Екатеринбург, ул.Комсомольская, 34)

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке ИЭФ УрО РАН

Автореферат разослан 30 ноября 1999г. Ученый секретарь

диссертационного Совет" /""" 44

доктор физ.-мат. наук

Н.Н. Сюткин

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы.

СОг-лазеры являются одним из типов газовых лазеров наиболее широко применяемых в различных областях науки, техники и технологии в настоящее время. Разработаны разнообразные методы возбуждения С02 лазеров: возбуждение электрическим самостоятельным, несамостоятельным, ВЧ разрядами; а так же химический и газодинамический методы возбуждения. Известно, что сочетание таких параметров как: высокие пиковая, средняя мощность и удельная энергетика, КПД, возможность работы в непрерывном и импульсно-периодическом режиме, наиболее полно отвечающие требованиям различных технологических процессов, реализованы при возбуждении С02-лазера несамостоятельным разрядом, поддерживаемым электронным пучком

(электроионизационный метод возбуждения). При таком методе возбуждения создание плазмы в разрядном промежутке осуществляется пучком высокоэнергетичных электронов, а энергия вводится в газовую среду на стадии несамостоятельного разряда при напряженности поля оптимальной для передачи энергии на верхний лазерный уровень молекул С02. Однако, такие ССЬ-лазеры не нашли широкого применения и используются лишь как экспериментальные исследовательские установки. Причиной этого является наличие в составе лазера ускорителя электронов, что приводит к появлению у него ряда недостатков: сложность конструкции и эксплуатации (радиационная опасность), небольшой срок службы из-за разрушения фольги, разделяющей вакуумный и газовый тракт ускорителя (порядка 10ч. в безостановочном

режиме). Поэтому разработка методов возбуждения С02-лазеров несамостоятельным разрядом, сочетающих достоинства электроионизационного с долговечностью и надежностью в работе, отсутствием радиационной опасности остается актуальной задачей.

Одним из возможных путей решения данной задачи является использование для создания плазмы вместо электронного пучка самостоятельного разряда малой длительности. Такие разряды получили название комбинированных, и для их осуществления предложен ряд методов, отличающихся развязкой электрических цепей самостоятельного и несамостоятельного разрядов.

В 1972 г. Рейли [1], а в 1973 г. Хиллом [2] был предложен метод возбуждения комбинированного разряда, в котором развязка цепей питания самостоятельного и несамостоятельного разрядов осуществлялась при помощи индуктивности (в 1989 г. Сегуином [3] была показала возможность получения таких разрядов в больших ~40л объемах активной среды). Однако, принципиальным недостатком предложенного метода стало то, что индуктивность, установленная в цепи питания несамостоятельного разряда, ухудшает его однородность, устойчивость и, следовательно, снижает предельную энергетику. Использование индуктивности требует резистивной стабилизации разряда, что значительно снижает КПД и удельную энергию излучения лазера (менее 200 Вт/л).

В 1977 г. Генераловым с сотрудниками [4] был предложен пространственно-емкостной метод развязки цепей питания. В данном методе для увеличения удельной энергетики разряда необходимо увеличивать емкость, развязывающую цепи питания, а это требует использования диэлектриков с высокой относительной диэлектрической проницаемостью (е). Как показали исследования, разряд в промежутках с электродами, изготовленными из материалов с высоким е (например титанид бария £«2000)

имеет резко неоднородную структуру и контрагируется при удельных энерговкладах менее 0,1 Дж/см3.

Общим недостатком обоих методов является то, что для развязки цепей питания вынужденно используются элементы, существенно ограничивающие ток и удельную энергетику несамостоятельного разряда. Сняв эти ограничения, возможности метода комбинированного возбуждения разряда можно было бы раскрыть в полной мере.

Основываясь на изложенном выше, в работе была поставлена следующая цель:

Создать высокоэффективные импульсно-периодические СО2 лазеры, возбуждаемые комбинированным разрядом, с высокой удельной мощностью, изменяемой формой и длительностью импульса излучения.

Для достижения этой цели необходимо решить следующие основные задачи исследований:

Разработать надежные в работе системы возбуждения комбинированного разряда, обеспечивающие высокую удельную энергетику разряда.

Исследовать влияние на предельные энергетические характеристики комбинированного разряда параметров газовой среды, режимов ввода энергии в газ, элементов электрических цепей питания и пространственных параметров разрядного промежутка.

Исследовать генерационные характеристики активной среды СО2 лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом, и влияние на эти характеристики параметров газовой среды, режимов ввода энергии.

Научная новизна.

1. Предложены и экспериментально обоснованы системы возбуждения комбинированного разряда для

импульсно-периодических СОг-лазеров, где впервые реализована совокупность следующих параметров:

в импульсно-периодическом режиме энергия, затрачиваемая на возбуждение самостоятельного разряда, составляет 1^-3% от энергии, введенной в газовую среду на стадии несамостоятельного разряда;

- удельная энергия импульса несамостоятельного разряда достигает 0,15 Дж/(см3*атм.);

- удельная средняя мощность несамостоятельного разряда-150 Вт/(см3*атм.);

- пиковая мощность импульсов излучения превышает

среднюю мощность излучения в 10 раз;

- удельная пиковая мощность импульса излучения -

100 Вт/(см3*атм.);

удельная средняя мощность излучения 10 Вт/(см3*атм.).

2. Показано, что КПД С02 лазера при импульсно-периодическом комбинированном возбуждении активной среды достигает:

- 22% в режиме полной замены газа;

- 10% при работе в отпаянном (~3*107 включений) режиме.

3. Впервые для импульсно-периодического электроразрядного лазера с комбинированной системой возбуждения разработана методика расчета параметров накопителя, питающего несамостоятельный разряд, с учетом параметров возбуждаемой среды и процессов, ведущих к контракции разряда.

4. Установлено, что небольшие добавки водорода в рабочую смесь газов импульсно-периодического С02 лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом, повышают энергию, рассеянную в активном объеме, и

энергию излучения, предложено объяснение причин повышения энергетики несамостоятельного разряда.

5. Продемонстрирована возможность изменения формы импульса излучения за счет изменения режимов ввода энергии в газ. <

6. Найдены оптимальные для получения максимальной энергии накачки и излучения составы и давления рабочих смесей газов, режимы возбуждения активной среды.

7. Разработана методика получения нанодисперсных порошков сложных соединений и смесевых составов материалов при их испарении излучением импульсно-периодического С02 лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом, и последующей конденсации в потоке воздуха; в экспериментах получены порошки Zт02, стабилизированные У203, и смеси таких порошков с порошками А1203, со средним размером частиц 15 нм и удельной поверхностью 65-75 м2/г; показано, что импульсный режим излучения в 3-6 раз более эффективен для получения таких нанопорошков, чем непрерывный при той же средней мощности излучения.

Научная и практическая значимость работы.

1. Результаты, полученные в настоящей работе, могут быть использованы при создании мощных газовых лазеров с высокими удельными энергетическими характеристиками, перестраиваемой формой, длительностью и частотой следования импульсов излучения, высоким ресурсом работы.

2. Предложенные системы возбуждения позволяют модернизировать уже существующие лазерные установки для перевода их в режим импульсно-периодического излучения большей мощности (что продемонстрировано при модернизации лазера "ХЕБР-1А", проводимой на ПО "УОМЗ", г.Екатеринбург)

3. Предложенная методика расчета параметров накопителя, питающего несамостоятельный разряд, с учетом параметров возбуждаемой среды и процессов, ведущих к контракции разряда, используется при расчете элементов импульсно-периодических лазеров, возбуждаемых комбинированным разрядом.

4. Разработанная методика получения нанопорошков с помощью импульсно-периодического ССЬ лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом, используется при производстве наноразмерных порошков сложных соединений и смесевых составов различных материалов с узким диапазоном дисперсии.

Защищаемые положения:

1. Предложены и экспериментально обоснованы системы возбуждения импульсно-периодического комбинированного разряда, обеспечивающие его высокие удельные энергетические характеристики при напряженно стях электрического поля оптимальных для накачки С02 лазеров.

2. Методика расчета оптимальных параметров накопителя, питающего несамостоятельный разряд, с учетом характеристик возбуждаемой среды и процессов, ведущих к контракции разряда.

3. Результаты исследований предельных энергетических характеристик импульсно-периодического С02 лазера, накачиваемого комбинированным разрядом, позволившие установить условия, при которых достигается:

- удельная средняя мощность несамостоятельного

разряда -150 Вт/(см3*атм.);

- удельная энергия импульса несамостоятельного

разряда ~0,15 Дж/(см3*атм.);

- КПД в режиме полной замены газа 22%, при работе в отпаянном (~3* 107 включений) режиме 10%. 4. Результаты исследований по влиянию добавок водорода и СО в рабочую смесь газов на энергетику импульсно-периодического СО2 лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом.

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались на следующих конференциях: VII конференция по физике газового разряда (Самара, 1994); П Международная конференция "Импульсные газовые лазеры на переходах атомов и молекул" (Томск, 1995); VIII конференция по физике газового разряда (Рязань, 1996); International Symposium PLASMA'97 "Research and Applications of Plasmas" (Poland, Jarnoltowek near Opole, 1997); 11-th IEEE International Pulsed Power Conference (Maryland USA, Baltimore, 1997); П1 Международная конференция "Импульсные газовые лазеры на переходах атомов и молекул" (Томск, 1997); International Conference on LASERS'97 (New Orleans, Louisiana, USA, 1997); 12-th International Conference on High-Power Particle Beams BEAMS'98 (Haifa, Israel, 1998); Fourth International Conference on Nanostructured Materials NANO'98 (Stockholm, Sweden, 1998) VI Международная конференция ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ'98 (Шатура, 1998); Всероссийская конференция по физике

низкотемпературной плазмы ФНТП-98, ПЛАЗМА ХХ-ый ВЕК (Петрозаводск, 1998); IX конференция по физике газового разряда (Рязань, 1998); 4-th International Conference on Atomic and Molecular Pulsed Lasers AMPL'99 (Tomsk, 1999).

Публикации.

Результаты работы полностью опубликованы в 8 статьях, 10 сборниках докладов и их тезисов, защищены тремя патентами Российской Федерации. Общее количество работ, опубликованных по теме диссертации, составляет 21 наименование.

Структура и объем диссертации.

Работа состоит из введения, четырех глав, приложения и заключения. Полный ее объем составляет 112 страниц, включая 41 рисунок, 1 таблицу и список литературы, насчитывающий 110 наименований.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы исследований, сформулированы цель работы и задачи исследований, основные положения, выносимые на защиту, отмечены научная новизна и практическая значимость полученных результатов, кратко изложено содержание работы.

В первой главе представлен обзор литературы, где рассматривается состояние вопроса по разработке и созданию мощных С02 лазеров, возбуждаемых комбинированным разрядом.

В конце главы на основании анализа литературных данных определены цель работы и основные задачи исследований.

Во второй главе сообщается о создании экспериментального комплекса для исследования различных модификаций импульсно-периодических С02 лазеров, отличающихся системами возбуждения комбинированного разряда, осуществляющего накачку активной среды. Подробно излагаются принципиальные отличия, параметры и принципы работы предложенных модификаций, предназначенных для создания лазеров с малыми, средними и большими объемами активной среды

(и, соответственно, уровнем мощности), а также лазеров для технологического использования.

В исследуемой конструкции, предназначенной для возбуждения комбинированного разряда в малых и средних объемах активной среды, разрядный промежуток был образован двумя электродами, которые подключались к генератору высоковольтных импульсов, а также через элемент, развязывающий цепи питания самостоятельного и несамостоятельного разрядов, к источнику постоянного напряжения. Генератор высоковольтных импульсов, собранный по схеме Блюмлейна, возбуждал самостоятельный разряд короткой длительности (-100 не) с концентрацией электронов в плазме ~1012см"3. Источник постоянного напряжения обеспечивал поддержание несамостоятельного разряда и ввод в газ основной доли энергии (~97ч-99%) на стадии распада плазмы (~100-г200 мке) при полях оптимальных для возбуждения молекул газа на верхний лазерный уровень, как и в случае инициирования разряда электронным пучком, что обеспечивало получение высоких удельных энергетических характеристик и КПД ССЬ-лазера.

В системе, предложенной для возбуждения комбинированного разряда в больших объемах активной среды, развязка цепей питания самостоятельного и несамостоятельного разрядов достигалась размещением между двумя основными электродами дополнительного промежуточного электрода. При этом источник постоянного напряжения для питания несамостоятельного разряда подключался к основным электродам, а дополнительный электрод соединялся с высоковольтным генератором импульсного напряжения. Самостоятельные разряды, обеспечивающие создание в активном объеме необходимой концентрации электронов, зажигались между промежуточным и основными электродами при подаче импульса от высоковольтного генератора. Основная же доля энергии как и в предыдущем случае поступала от

источника питания несамостоятельного разряда, подключенного к основным электродам.

Так как данная система возбуждения комбинированного разряда содержит два параллельных разрядных промежутка, образованных профилированными и промежуточным электродами (в каждом из промежутков во время горения разряда образуется зона катодного падения, которое, как известно, составляет на стадии несамостоятельного разряда порядка 200-^600 В для различных условий), то чтобы избежать снижения КПД С02-лазера, связанное с высокой долей энергии, приходящейся на зону катодного падения, целесообразно использование в данной системе больших межэлектродные расстояния ~10-г20см, когда катодное падение потенциала составляет менее 10% от приложенного напряжения несамостоятельного разряда.

Показано, что в технологических лазерах, когда нет необходимости изменения параметров излучения в широком диапазоне, возможно использование импульсного генератора на обрыве тока с полупроводниковым коммутатором, имеющим высокий ресурс работы.

В третьей главе приводятся результаты исследований влияния на предельные энергетические характеристики комбинированного разряда параметров газовой среды, элементов цепей питания самостоятельного и несамостоятельного разрядов, местоположения вспомогательных разрядов относительно основной разрядной зоны, режимов ввода энергии в газ.

Было установлено, что для возбуждения однородного комбинированного разряда необходимо разместить вспомогательный разряд, производящий предварительную ионизацию активного объема, вверх по потоку газа от основного разрядного промежутка, со стороны анода на расстоянии 3-г5мм от него. Важно также этот разряд

максимально распределить вдоль электродов и возбуждать его в многоканальной диффузной форме.

Продемонстрирована возможность ввода энергии в комбинированном разряде в режиме пакетов импульсов. При этом число импульсов в пакете накачки могло меняться от 1 до 7, время между импульсами в пакете от 50 до 300 мкс, а частота пакетов от 10 до 1500 Гц.

Показано, что одним из наиболее важных параметров, влияющих на энергию, вводимую в газ на стадии несамостоятельного разряда, является емкость конденсаторной батареи, питающей несамостоятельный разряд. Была рассмотрена система дифференциальных уравнений, учитывающая разряд конденсаторной батареи вследствие протекания тока несамостоятельного разряда и уменьшения концентрации электронов из-за процессов прилипания и рекомбинации, и с учетом процессов, ведущих к контракции разряда, получены аналитические выражения для определения оптимальной емкости накопительного конденсатора несамостоятельного разряда.

В работе экспериментально показано, что удельная средняя мощность несамостоятельного разряда достигает 150 Вт/(см3*атм.), удельная энергия импульса несамостоятельного разряда - 0,15 Дж/(см3*атм.).

Установлено, что при энерговкладах в активную среду:

менее 0,1 Дж/(см3*атм) (-0,6 кВт/(см3*атм.)) существует граничная частота повторения импульсов комбинированного разряда, превышение которой ведет к снижению предельной энергии, вводимой в газ на стадии несамостоятельного разряда, что качественно согласуется с существующей теорией импульсно-периодического разряда;

- выше 0,1 Дж/(см3*атм) (-0,8 кВт/(см3*атм.)) с повышением частоты повторения импульсов

комбинированного разряда происходит непрерывное снижение предельных энерговкладов в активную среду.

В четвертой главе приводятся результаты исследований генерационных характеристик активной среды С02-лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом, и влияние на эти характеристики параметров газовой среды и режимов ввода энергии.

Показано, что в зависимости от числа импульсов в пакете накачки форма и длительность импульса излучения изменяется, а также то, что удельная пиковая мощность импульса излучения достигает 100 Вт/(см3*атм.) при средней удельной мощности излучения 10 Вт/(см3*атм.).

Проведены экспериментальные исследования и численные расчеты по оптимизации соотношения компонент газовой смеси С02-К2-Не. Установлено, что оптимальное соотношение С02/(С02+М2) « 0,1-н0,15, Не/(С02+М2) ~ 1,5-2.

Исследовано влияние добавок водорода на предельную энергию, вводимую в газ в процессе комбинированного разряда, и энергию излучения С02-лазера. Установлено, что повышение парциального давления водорода до 20 мм.рт.ст. независимо от состава смеси ведет к повышению предельной энергии, вводимой в газ, которая достигает 0,15 Дж/(см3*атм.) .

Рост энерговкладов обусловлен тем, что при увеличении концентрации Н2 происходит снижение скоростей возбуждения высокоэнергетичных состояний молекул и, следовательно, скоростей ионизационных процессов, в том числе ступенчатой ионизации, ведущих, как известно, к контракции разряда. Для проверки этого предположения выполнены расчеты функции распределения электронов по энергиям. Показано, что большое сечение возбуждения водорода в области 6-9 эВ ведет к снижению доли высокоэнергетичных электронов,

уменьшению скоростей ионизационных процессов, что, повышает устойчивость разряда.

В ходе экспериментов по определению максимального КПД была найдена смесь газов С02:М2:Не=1:4:8 давлением 80 мм.рт.ст., где при первых включениях зарегистрирован КПД 22% (а если вычесть долю энергии, приходящуюся на катодное падение - 26%). Однако, для данной смеси газов в процессе работы КПД лазера быстро падал вследствие диссоциации С02 и появления в смеси газов новых компонент СО и 02. Причем появление в смеси газов 02 вело при прочих равных условиях к уменьшению мощности накачки из-за увеличения скорости прилипания электронов к 02 и уменьшению тока несамостоятельного разряда.

Для исследования долговременных режимов работы лазера были использованы смеси газов, содержащие СО, в которых за счет обратных процессов С0*+0—>С02 возможно поддержание начального газового состава.

Так для смеси С02:С0:М2:Не=1,5:1:8,5:19 давлением 60 мм.рт.ст. спад мощности излучения не превышал 10% за время работы порядка 3* 107 включений.

Показано, что до соотношение С02/С0 ~ 1ч-2 с ростом парциального давления СО повышается мощность несамостоятельного разряда и мощность излучения лазера.

В приложении сообщается об исследовании возможности применения импульсно-периодического С02-лазера с высоким КПД, созданного на основе представленного в диссертации способа комбинированного возбуждения разряда, для получения наноразмерных порошков керамик 2г02, стабилизированного У20з. Представлены результаты методики испарения и последующей конденсации в потоке воздуха порошков ZЮ2, стабилизированных У2Оз, и смеси таких порошков с порошками А12Оз. Приводятся режимы, обеспечивающие получение нанопорошков со средним размером частиц

15нм и удельной поверхностью 65-75 м2/г. Показано, что импульсный режим излучения в 3-6 раз более эффективен для получения нанопорошков, чем непрерывный при той же средней мощности излучения.

В заключении перечисляются основные результаты работы.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

В ходе работы создан экспериментальный макет импульсно-периодического газового лазера, разработаны системы возбуждения комбинированного разряда, где в цепях питания которого отсутствуют элементы, специально ограничивающие ток разряда (и, таким образом, позволяющие возбуждать активную среду лазера с высокими удельными энергиями).

Исследовано влияние на предельные энергетические характеристики комбинированного разряда параметров среды, элементов цепей питания, местоположения вспомогательных разрядов относительно основной разрядной зоны, режимов ввода энергии в газ. Разработана методика расчета параметров накопителя, питающего несамостоятельный разряд, с учетом параметров возбуждаемой среды и процессов, ведущих к контракции разряда.

Исследованы генерационные характеристики активной среды С02-лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом, и влияние на эти характеристики параметров газовой среды, режимов ввода энергии.

В реализованном импульсно-периодический режиме возбуждения активной среды СОг-лазера:

энергия, затрачиваемая на возбуждение самостоятельного разряда, составляет 1-^-3% от энергии, введенной на стадии несамостоятельного разряда;

- удельная средняя мощность несамостоятельного разряда достигает 150 Вт/(см3*атм.);

- удельная энергия импульса несамостоятельного разряда - 0,15 Дж/(см3*атм.);

- пиковая мощность импульсов излучения превышает

среднюю мощность в 10 раз; удельная средняя мощность излучения 10 Вт/(см3*атм.);

- удельная пиковая мощность импульса излучения -

100 Вт/(см3*атм.).

Найдены условия возбуждения активной среды, при которых обеспечивается достижение КПД С02-лазера:

- 22% в режиме полной замены газа;

- 10% при работе в отпаянном (-3*107 включений) режиме.

Разработана методика получения нанодисперсных порошков сложных соединений и смесевых составов материалов при их испарении излучением импульсно-периодического С02 лазера, возбуждаемого комбинированным разрядом, и последующей конденсации в потоке воздуха. В экспериментах получены порошки Zт02, стабилизированные У203, и смесь таких порошков с порошками А120з со средним размером частиц 15нм и удельной поверхностью 65-75 м2/г; показано, что импульсный режим излучения в 3-6 раз более эффективен для получения нанопорошков, чем непрерывный при той же средней мощности излучения.

Список работ, опубликованных по теме диссертации:

1. Мощный объемный разряд в С02-средах среднего давления / Беляков И.И., Иванов М.Г., Осипов В.В. // VII конференция по физике газового разряда, Россия, Самара, 1994, тезисы докладов, часть 1, с.66-67.

2. Мощный С02-лазер с комбинированной системой

возбуждения / Иванов М.Г., Мухачев С.В., Осипов В.В. // Оптика атмосферы и океана, 1995,t.8,N 11, с.1616-1621.

3. Исследование предельных энергетических характеристик комбинированного разряда в потоке газа / Иванов М.Г., Мехряков В.Н., Осипов В.В. // УШ конференция по физике газового разряда, Россия, Рязань,

1996, тезисы докладов, часть 1, с.20-21.

4. Схема возбуждения комбинированного разряда в газовом лазере / Осипов В.В., Никифоров А.В., Иванов М.Г. // Приборы и техника эксперимента, 1997, N 5, с.43-46.

5. Импульсно-периодический СОг-лазер, накачиваемый комбинированным разрядом / Осипов В.В., Иванов М.Г., Лисенков В.В. // Оптика атмосферы и океана,

1997, t.10,N 11, с. 1266-1270.

6. ffige Power Combined Discharge in Gas Flow / V.V. Osipov, M.G. Ivanov, V.V. Lisenkov // International Simposium PLASMA'97 "Research and Applications of Plasmas", Poland, Jarnoltowek near Opole, 1997, June 10-12, Contributed Papers Vol.2, -p.221-224.

7. High-Efficient Pulsed Repetitive C02 Laser for Technologic Using / V.V. Osipov, M.G. Ivanov, V.V. Lisenkov, A.L. Filatov //Proceedings of 11-th IEEE International Pulsed Power Conference, Maryland USA, Baltimore, 1997,29 June - 2 July, v 2, pp. 13-28.

8. Pulsed Repetitive CO2 Laser with Combined Sistem of Discharge Excitation / V.V. Osipov, M.G. Ivanov, V.V. Lisenkov // International Conference on LASERS'97, New Orleans, Louisiana, USA, 1997, December 15-19. Contributed Papers Vol.2,-p.121-125.

9. Влияние водорода на характеристики активной среды СОг-лазера / Осипов В.В., Иванов М.Г., Лисенков В.В., Беляков И.И. // Оптика атмосферы и океана, 1998, т.11,№ 2-3, с.116-118.

10. Исследование предельных энергетических характеристик комбинированного разряда в потоке газов /

Осипов В.В., Иванов М.Г., Лисенков В.В. // ЖТФ, 1998, т.69, N 5, с.33-38.

11. Электроразрядный лазер / Осипов В.В., Иванов М.Г., Мехряков В.Н. // Патент РФ № 2107366, приоритет 01.04.96, дата выдачи патента 20.03.98.

12. Электроразрядный лазер / Осипов В.В., Иванов М.Г., Мехряков В.Н. // Патент РФ № 2124255, приоритет 24.10.96, дата выдачи патента 27.12.98.

13. Pulsed repetitive C02-laser pumped by combined discharge / V.V.Osipov, M.G.Ivanov, V.V.Lisenkov, P.B.Smirnov // SPIE, 1998, Vol.3304, -p. 101 -107.

14. Nanometer-sized powders production by means of target evaporation using high-efficient pulsed-repetitive C02 laser / V.V.Osipov, Y.A.Kotov, M.G.Ivanov, O.M.Samatov, P.B.Smirnov // SPIE, 1998, Vol.3688, -p.231-234.

15. Nanometer-sized YsZ Powders Production by means of Target Evaporation Using High-Efficient Pulsed-Repetitive C02-Laser / V.V. Osipov, Y.A. Kotov, M.G. Ivanov, O.M. Samatov, P.B. Smirnov, S.Y. Sokovnin // 12-th International Conference on Hige-Power Particle Beams BEAMS'98, Haifa, Israel, June 7-12, 1998, Abstracts -p.414.

16. Characteristics of Nanometer-sized YsZ Powders Produced by Evaporating the Taget by a Pulsed C02-Laser / V.V. Osipov, Y.A. Kotov, M.G. Ivanov, O.M. Samatov // Fourth International Conference on Nanostructured Materials NANO'98, Stockholm, Sweden, June 14-19, 1998, Abstracts -p.508.

17. Применение мощного импульсно-периодического С02-лазера с высоким КПД для получения наноразмерных порошков / Осипов В.В., Котов Ю.А., Иванов М.Г., Саматов О.М., Смирнов П.Б. // VI Международная Конференция ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ'98, Шатура, Россия, июнь 1998, тезисы докладов, с.77.

18. Энергетические характеристики импульсно-периодического комбинированного разряда в потоке газов /

Осипов В.В., Иванов М.Г., Смирнов П.Б. // Всероссийская конференция по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, ПЛАЗМА ХХ-ый ВЕК, Россия, Петрозаводск, 1998,23-27 июня, материалы докладов, с.314-318.

19. Энергетические характеристики импульсно-периодического комбинированного разряда в потоке газов / Осипов В.В., Иванов М.Г., Смирнов П.Б. // IX конференция по физике газового разряда, Россия, Рязань, 1-15 июня

1998, тезисы докладов, часть 1, с.64-65.

20. Импульсно-периодический электроразрядный лазер / Иванов М.Г., Осипов В.В., Филатов В.А., и др. // Патент РФ, заявка № 99102279/20(002410), приоритет 04.02.99, положительное решение от 12.08.99.

21. Применение мощного импульсно-периодического С02-лазера с высоким КПД для получения наноразмерных порошков / Осипов В.В., Котов Ю.А., Иванов М.Г., Саматов О.М., Смирнов П.Б, // Известия АН, сер. физич.,

1999, Т.63, № Ю, с. 1968-1971.

Цитируемая литература

1. Reilly J.R. / Pulser/Sustainer Electrical Discharge Laser // J. Appl. Phys., 1972, v.41, N 8, -p.3411-3416.

2. Hill A.B. / Continuous Uniform Excitation of Medium Pressure CO2 Laser Plasmas by Means of Controlled Avalanche Ionization II Appl. Phys. Lett. - 1973 - v.22 - N 12 - p.670-673.

3. Seguin H.J J., Seguin Y.A., Nikumb S.K. et al. / Highaverage power-pulsed perfomance of multikilowatt PEE laser // IEEE Quantum Electron., 1989,25, № 7, P.1725-1735.

4. Генералов H.A., Вимаков В.П., Косынкин В.Д., Райзер Ю.П., Ройтенбург Д.И. / Стационарный несамостоятельный разряд с ионизацией безэлектродными импульсами в лазере на замкнутом цикле. 1. Конструкция и эксперимент// Физика плазмы, 1977, т.З, в.З, с.626-633.

Отпечатано на Ризопэафе ИФМ УрО РАН тир. 100 заказ 127 объем 1 печ.л.формат 60x84 1-16

620219 г.Екатеринбург ГСП-170 ул.С.Ковалев-ской, 18