Исследование эффекта автодинного детектирования в полупроводниковых СВЧ приборах и возможности его использования для создания новых типов измерительных устройств тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

Y lLö UH

7 IÎÎGIS 135)3 •.

САРАТОВСКИЙ 0РД31Л тешвого-'ярлсшго -ЗНЛЗШГ гссудлгстаншьй ЛПЗЕРСЙТЕТ ¡K32í FL Г-Ч2И1ЫЛЕЕСКОГО .

íla правах рукописи

КОгОТГЛ Борее Ш;г.олгоЕ:'.ч

i'.GCJI?4~23ÄIE:£ Zrj-jESŒk ABTGiiíHrXíIX) JSZSS'/xGBMLi з юяуЕоЬкзпаах CL Г ПЕЗОРАГИ вс&шюстх ЕГО ЯЯХЯЬКЛАЕЦ ДЛЯ CC3iIAíC*/L • ÏÎÛSH-. Т'ЛЮВ ¡^.ЛЕЕГГЕШПа .УС1КЙСТЗ

OI.04.03 - рэжо^г^жа

Ol .04.10 — çiihic-ca зэлупрйгодагксз к ;шзлоктсекоз

агссортацпа яа соискаппэ ученой о'гзпзЕЛ кандидата фязтйсонлатеиаз^пссхпз: кауз

Capases - 1293

]-сйога кигхл г

. :•;•:...... '.;;-.. V. :: л

...:.г.ч.т;.. , Г.! Л' . .: . •;...;; о .

сп:: : ¡:; Сгрйгоь:;::.:^ " ... ;•:.'.• г \: . . .

^ а::ц^:оскогс , длгор ¡г;:::::;,и;о

Б.Б.; ьс'^'з:;: е^ч::;;^ сотруд:::::: СЛТс Ь'.'.. д;

игу:; Стпл>.г.'.ал2Е А.В.

оргацг-зг^г.:.1-;: Госуд&рствеквуе

прсдгр::лт1:Г' "Алмаз"

Ваапта дасссртачп" состоится. 18 казня в 14 чггог на згседакгп: спсцг'^пзирозанкого. оззетп 1.(353,74»01' по .СЕецкалънэстд DI.0-i.03 радкофнзкка,-01.04.10 ф::2С-:а полуирсводшхэв г. дп.зльктре1'^е е Саратовское" ГссудзргтЕэннс-г.: университете: 410600, г.Саратов,.уд. Астраханская., БЗ.

С дассерташей могло ознакомиться -г» Научной библиотеке- С1У-.

Автореферат разослан О

• 1933 г..

Ученый секретарь специализированного совета, кандидат физике—математических

наук, доцент ' '.- Д., 'Аникин ЕМ.

к

л лалл'.л-лл: л:у";лл! :ллпу лллллл л:гллпплл' улдл: - ллз.^лп :: ллл ::ллл ллл^оз лолло :лз;;чес:;::л

з лолулглэл^'ллл'лс, лля

лл:: Cb'í "слл*:лйл:, ллллх лгь: ¿лпа-ллл'л :т л-л?:л;г :Z'l n.i'j.'ou-:, л;ллл;л:-:г?гл^.":о длглл Галл? :: :у:;л\л .л:о.тл.

Лл~::лл:ольнлл: . л,';-л-;лс:ллл: ллтулл:гл л:.ллллс СНЧ

. лл-r. :ч ;л,:л , ;:;.:::ч.-гл: :• ';у:ллу::К

; лл\.у улл: ллл:: лгл\:;л'., ::ел:л:.:л гл.:.л; лсгллл:

л лул.лллл.л-л'":л лл:? улл логу? ':;ть

тго тг.стл-гт-ус -ллуу; "ел":"сгллл л~ло; л л-лчллэлглсй. с.'ллзнл-

глллулуэгл:.; л.;лла ллггсгг. л'сс^-псг-пзнкгл ллл :лу;"лл л:.лл:<\ г, ллл::\т.т: глсллггс" лспслът/лгея

ул - :л . л. л л ;:л~л, слслл'тл прсллгллля сгогс .; ; ".л:.",

з ЗД, ^:хгллттлллс л. лелллс: 7Г;:-'л:ло'.госа.т я с со-'

1?лл.; лгло - чг .тл'гллзлли' л -

Глллулу г^плто.-^ггл "з C-I »"""гчт^з^ ла cenóse

улглглл":: лллл ;лс-л:л;л'с :лсл;:ето1з. про-лс'^вл'л-

У:сл '.иггуг-л. ч:л;. , ■■'■-■• . -

Ераььдлллс то;::::; ллсл: ли:.:::::. •.: •-. ,.::.лл га;:';: л лзтслу, л:а кокет споссйотты^ь лоли': ил::.-:: ллллглтлллнлл ус?1

различного назпач?;:^ г. р:лл;л:р;лл:л 1л'лл?::~сслсг0 вдолу-

загаилл отзгз с^о.чтл.'"

ллстел егл лслс -.ьсоьллля ллл л—лллл': лг:,:;рл7;;л.н:лл устрожат;, гасллчког^

- Устлколлелл, -"/а лрл лсслалачл:::: ллсллсга СЛЧ-алгл.лла на

увглгчеипеу лу-лл;::улл- сл1глллл лрслелсл;::! улелалснла локсрла-ул-лл. длада;.! СБЧ уаллостл л пааладугли": срлл кэлгйап^Л. ^асааллсллалла

.мздцост:: г&озпахо сггг.с-, аазпсгагс:-:-' гок-:-р;:;.ус:.'.агс

игздзи сил:яда сг х^цосгп г^^нгг^ Г-ЗЧ-алглалл неси; гдсторозлс-ллл характер. ллсллл галл;: гла^сраалал увслллллпсл сл с улллше^лс:.: внолнсго с:аслаклл, ер;л:ллл;лллс:.:лгл г.. дг-одз".

- Показана с.ьлал влйлздас^ггсс.1-: с .хдо&з&окзнзеи на БАХ даадгы. участи; с сггл^л^^ль';;;^ л р-г;.л:.7лгг

влл. еесгзкгз склада., чгг Слгъ сааллнено слл;::сл г jcoy.ii—

тате этого ваздалс;'1л:л глралдаллл л ;: п- айллстлл р-п- ларал ;дл.

- УстакаЕде::::, дгатэкек^ лалрса:ла-л:л ;.:лг;л;л:его лалл., лал-лллсешогс- к тунлалала^у г ёчна'л калрллдаллл, я^г-езяк

г. есвз^лллл;:..^ сдвигу чао:¿.к гакерлруетаил л;.: калл?а:л:л стгг.слгелл— но частотл р от8^5л"апо глагьдтного л:илл«' 1пт. аасл а алллтчда лело-бйнк:! остестсл грант:" ;е саз

- Наследовал ¿^рекг гзгодзгваоге далакллрллик:!; л ьалл1л:дл::л СВ"-гск8ратораХ'ка ддодах -Гаша :.,ллралалоскл1;лл СЗЧ-хйшгиит.-рал ке тунаеиына. дпэда:^ Показана Богг'-энность лаплл. гранта . эйлзкть в генераторах ка тукасльикл дсодах дая контроля лл"лслирической пронэдаемо'отЕ хатеряалаг еле гаящпяа длглект; ¡гчссгхх слоеа, а таюке дал определена: харак?ер::стЕК 'ввбрмгай колгбллг^гхся объектов.

- На основе хспользэвавгя зтого г£1окта предю^'л::: нлг.ч- :'.:;:"' устройств для кзмеренпл хаа алторлст;::: д::глект;:лчеслл:: плас:лл-; :; гслзпкы глатадличесги:;с елоап.

Дойт'.г-рг.нрстц получении^ з работе результатов сбеспэтпзается цр^тенгнком етаядар-люй дзморчггелыюй ¿лпсратуры, обработкой окспе^лзлонтальних даинк;: с покоил еовре.-лзннззч глетодоз о ¡лсяолъ-зовааком íl>:,í, усложни:.! гсполизизанием в прак7::хб. зраборов, з основу рсбоуи г.итирцх пояозеиа результата '/сслодозяшгЗ. Лестьлер-н-сть аолучоаикх Teoperriocsaac результатов ейвсЬечязаетсн таете '¡:зрроэтност:лэ сделалн:г/. дятупешй и достаточней строгостью глато.ча-Tir-iecicaz водолеи, сходкл-стья Бычхслстельшх процессов :с .яскоикм реп:оигя?л, сеотзстсть::??.; результатов расчета зкепержоиту.

П; знгл'гл'-.-ст! ш;дучс:паяс результатов заключается п

слодугз:;-з:.:: з:;~.влс-::" ог::а:;:гп:за:'.::;::о гез:лс;-:'ость яслельзо-

ваакд о'К^г.та автодашргз дсгсглггроззкгл з полуарсводюглових СЗЧ-ренераторад л продл~:::с;;-: кзнструктдкшз ре-ленкл,' поззолянтхле i^.'.aiíi-nv.Tj ълглн-дс :>тш- ралтзрег. Определена' тр-эбозож:-! :: взайияе-?лу распол-гх-ют нареллотрагл "элементен конструкции СЗЧ-гельрптора на тункел:/:".-л длзде, работавшего 5 ро-аглз авп-дгяноП) дотсктирзва-ша:, ар;: :-;oto::ísc »окапю доеггего!; о .накбллое cr.por.ovo

ддалпзона дзглердзтяз; яара%'.стрзз глзталлз-anoju „драческях слоев ллл ;;ара::тзр^ст" а::Сргг*.':. расра^оггла создан: гпзд» тдглг лрлбероз нзразрусапдого контроля- -

- I. Пел увелдчекли а\-!ггл;:гудн внешнего ■ СЕЧ сигнала. всздзйст-зуз:;зго на тукнольннл д:сзд, саботаж::;"! -з реппмз гягхергщли СВЧ-келзбаядд, лрогсходат ;тлзнъпен:к <л.тдлдтуд!; гокарнру&лоД' дкодаи СВЧ :лс.:;нсст;: к посладукерй ергз ;сзлсбак::ц, ар:псм зависимость сигнала, гевзодтеютэ д::одо:л, от мэдасти 'лоздеСствгвдого на него !.-:;cz!iers злгнала ?;зс::т гдегзггзгеп^й дпраптзп,, пук этом частота.

с-р;-:--::' сглаз.: с рз-згрззх: плоктровпогэ газа лепззнзгзпде;,: s результате ятегэ.яа ЗАГС дкода участка с отрго&-7СЛЫЕГ4 нйклснз.'Л, ярогоход^с." гслздстпдэ снятия 2кро.7ленлл 3 0-а а- оОлдзтлл р—i-- гзрз:;-:-;^.

;!зглзче:лтг a:cri вол^снариой хлргжтбрсегкк" тухчегвяого длола «ра на ;:агз гш?пг;п*о СВЧ гллучандл з оойздг.стд ояреде-

í/í-зтсл ;;з:.:?:£с.ь:сп г:$Шузисишой пе^лпенэнт:; полного• тока.

Пг;: ^алрзллс::.^ ш.-сто стадзппарлсго :.»агнэт-

йсго • ¡i!-ля, дрглс.ззкггого тр'ХЕЗлы-.'Ст.ту д^оду.з сопора^нш напрзв-лстпл, :: .:о::згопн:;.1 згз s.vc.naus, про::«::оллт .сдалг частота гияе-

л

£

pzpycr.«¡ос i"' колебании при r¡: аитпчссп:: нейзленной амплитуде поле-Cauiú.

3. Изменение регла.-.а ¡аботи na постоянному ic.:™ ".дг.рсаолосно-шго СЗЧ-генсратора на туннельное дг.оде набладаогск б наиболее широком диапазоне значений параметров СБЧ. нагругпп, если длина ;.:сталл;гчсс;г.ого основания плоского!' лилии от плоскости размозсндя диода от своэоди-то конца лкгшн не мс-кее С,4 Л , r дллна полоса 0,2 т 0,35 Л . где X - дллна волна в полосковз£ лгзд::.

На защиту ъ^нлсится тан;:е группа нових типов СЗЧ-устрс^ств, созданное в результате ароведенцых исследований:

- устройство для измерения пара\:зт} оз дг.злектрпчесидл материалов [2й] ;

- способ управления p-I-я дасдайз: прибором г. устройство доз его осуществления [2lj ;

- устройство для измерения параметров диэлектрических материалов [22] ;

- устройство для измерения. толпиен [2зз .

Личный вклап автога. Расчетные соотнесения, югзолязцге описать 'наблэдаеьг:е зкспергиектсльво особенности гарпктергстгк полупроводниковых СБЧ генераторов,-получены автором самостоятельно. Расчеты, результаты которкх приведены в диссертации, проведены авторов самостоятельно. 5ксперпм.епт£льнке данкке.полученк авторов диссертации ЛИЧНО. -

Алробаггля работы» Основные данные дасссртадаонзой работк докладывалась р обсуздалкск ка Всесоюзной научной конференции "Электроника сверхвысоких частот" в Минске в I9S3 году; на Мек-ведомственксш научно-техническом сзвеааник "Состояние и тенденции развитая методики полупроводниковых и диэлектрических структзт" в г.Саратове в 1986 т.; на .1, II Всесоюзный научко-тегнгчссга: конференциях "Неразрузапцве физические методн к сродства контроля" в г.Москве-в 1984, 1987 годах; на научнгз конференциях "Управление качеством, стандартизации" в г.Сара:г,ве в ISSB к в I9JI года;:; на Всесогоной научно-техгагаеекз!: конрере::,;;::: "Прибор]: с отрицательные сопротЕВлениек и Енгегрйльние црьоерго^вател:: на их ген.— ве" в г.Баку в 1991 году; на цсг^нг.род:\\. ■;:;••::; -: сх::::ч(= о:;:: конференции "Актуальные цробломн злекгг...:.:: :■ и.::: . е.: . гни..'' АПЭП-22, в г.Новосибирске, в 1SS2 году.

Г77б":.-:п;::г,:. "с глагеглалам дассарсаца:: соублжсэваш 24 работа,

сллос:-: кстзрыс яг.дзедэн з пекле автореферата.

с?с-г:у:у-г. л ^у-м -лссе;.тацлл.

Длссее.'алдл с-стелт ::з взодеют, четырех" глав, заключения и сядска лг?оратури (104 налглснсзплдд) ссдерздт Л-« рдсунка я ::злояе-иа на страг-тацах кастс адского тскита.

Зо 55еленгп: обоснована алгугльисст:. тог.м диссертант."., с^мулгрсагиа саль рай от и 2 ардаедснк яслсгснгк, £!:аз-

слглкз на заллту.

'.'я: - глаза зедерг:" анализ с: сто ля;: я гсслодовак^:"; оффекта • гз70Д2НК-г:> дотек^лр--вандя в аолуар.ззджд'.оаых СЫ приборах.

. Рассмотрены вс змезяс ст;: еге лрюлепелза: для разл:г-г:пл<. тдл-.з измерительных устрелсгз. Здесь г>е.сп::с£на аенэвпке факторы, огра-нггдгазцдз пргленеюге аптдзпю: лалтпрегедндлегл^ СВ'1 приборов в рассг-атрт.ва'Л'^;: уетрс'Лгтзах, а такхг зоз;",.-'.;-;>.г путя преидолоикл этих ограглгшнл;:.

¿о атого;: глазе апзддздруютск реау.ита: : тссретэтесчог-) л знслэрл.т.знталзнегз лсследоза:с1-: лз:лененлл зарактерлстяя туннельного дп.да, рас.тапдзге з рехлгле гзкераддд СВЧ гсолобандй под зляя-л::е:л делстзулсеге :-:а лег; знеплвг-: СЗЧ-слгнала..

Для теоретического песледаназяя процессов,: прг.текашме в полупрсзод-даоозал структуре туннельного длода, асяользовалпсъ

зде-ааендл, аредстазлязддз полнил тек туннельного диода как сугллу тока тутхь&яарозакдя дз гоны з зону, лобито^лого и ддфйузй-окпогс толов.

Бездействие в£е:л-:ага СВЧ сигнала долдне цртадась к разогреву плэлтрсл:£сго газа з туннельное длоде, лоторил „озяо учесть, подставлял з вырг.~-знлд для туннельного, избыточного и даффузкодного толез функция распаадедондя ^ерсг-Дирака дяя- электродов Э- зоне дрозоддглссгх -*СТ д зглеагной зека с электронной температурой Т. Зыраленля для туннельного, избыточного z ддффузгонного токоз дед этой ел25т ш!д: ' "

' Тт = ЛГг Цс7&^\>т(бЩсЩу(ё)(1&у С1)

1е--А'Ве^-к'Г&-г/.И», -<*)

*Ср 16', -»^77 л; 7* '^АТГ ~ -Т7Г~Г

^ ^г/], • (5)

где Л, Л! «к'- кскотанти, - ворогчлсгь гуансдьизго перехода электрона через пэтешщальщй барьер г.ж-ду р- п- областк:.-,

д'7 . 1 и к~г ч

$£(&) и £}у('В>} - плотности энергетсчоскас ссстокя:3 в зоне проводшлсст;: п залсытноа зове соответственно, Х> - .плотность ааполншшнх сос?оявд2, расдолог.енннт б залре-цениой .зоне вше потолка кшшгаоЗ зоны нд величину <£ ^

.(¿.д - елпйее заяр5дедк,э£ -зеки, Л'с -* 5 и У?с5:»з энергий, •соотвотствуххцие ©¡у 20111: 1ф:)£кда2.;с>сг2' г. котодшу ватежгпоИ зоиа, Уп квазгуреннл.\2ера;: в хшувроводакках с- к р- ттла.,

V- гдаикяеннзе папрядеиге,, ялодадь .поперечного сочена: р-п- перехода, Тп/Жр*-.\:'рр - двдузлошше дллкн

электронов и дырок СООТЕСХС73;КПЬ, 1Эг>, I р. - ПОЬ.7'-

фк::;.о<:ты дар^узял с врегял гл.ыгл олеитроноЯ'к дырок. рп к Ор концентрация дырок в е-'области, кекцектрацае элогаронов в 1— области.

Было "получено выражение, связывающее температуру электронного газа с наирякенностью грегацего, электрического пола:

г*- г/ * Ы Щ^.Мп ч- £ %

и)

Аналогичное выражение для температура дырочного газа затеет ьпд:

<р - /о * ——~~ А? £ £

(5)

Полученные зпрагенпя (I), (2), (3) длят туннельной, избыточнее; и днКузпонкои комкжевтн полного'тока туннельного диода с учетом соотношений' (4) и (5), евланвааздх телаарагуру носителей заряда с Еацрягснаосхй! грездего СБЧ поля, били лааользеваян для расчзта 1>АХ туннельного диода при возде2ствпз на него внезнего СЗЧ сигнала. Результат:: расчета ВАХ туннельного диода при воздействии на него внешнего СЗЧ сигнала црдзедена иа ргсунке. 3 главе приведенк такие результата экспериментального ксслодоваяпя изменения характеристик туннельного диода, работазцего в релпмо генерации СЬЧ-кол;танин, под зтагнзек денегдутггего ::а ~сго дкеанаго СБЧ сигнала. П? результатов йксззрггзЕтельнагэ гсследозанюг следует, что с увеличением модности: внешнего ■ СБЧ дзяучеяпн прочеходдг умскьсенно вк:соднон мощности гопэрдтерц и последусциЗ ерцз генерации. При згея восстановление рзявка геягредпи иоле'ании наблюдалось при оудэствего'о меньи-пх значениях мопнооти внепзего СВЧ излучения, то сеть зявнонмость носата гистг-рег-пскн:: характер. Зисперттоекталь-

последогался тоосго характер итменеии^ вида БАХ туннельного ;::.;•...•, расо^атрего в рстигоо' гзпзроцдп, при увеличения уровня мощности гно:::::го

Мозно считать теоретнческз обоснованиат а экспоожакталыю догд-заяньм, что утланъи'енЕз вуходкоё мощности а последующ!! срыв колебаний генератора на туннельном дноде с уведЕчещем уровня лоцнас-та зэздействуздего на него зкзшкзго СБЧ нзлучоння иаанэ абьяснЕть арсасходзцлм в результате етого уменьшением величшш атркцагиль-ного содрстнвдеггя 2 последаацам нечазнозенаеа на ВАХ туннельного диода участка с отрицательна:,! наголо ной.

ГЕСтерезгоннй характер наСлвдгваахся характерг.стак моаэт быть объяснен смещением рабочей точке на ВАХ в область, саатаетст-aysuicP Ебсткоку регаму возбуждения кслебанай.

В тоетьзЁ главе представлены результаты асследозанкЁ зоздеЁ-стзея кагнатного полл на- характеристика С1Я генераторов на '.ун-кельннх диодах. Анализ влажная ведачаак а направленая знезшго стакЕопарного магнатного дола проводился с.учетом сесёстз асяоль-зуеках. эдекгроданамаческих систем СВЧ генератора. Ирг. уело be:: генерациЕ суммарная реактивная проводимость, состоящая ез арозода-моста зязшнэй СЗЧ схемы е йеемоД части входной проБодзлоста туннельного дкода на частоте генесацЕИ равна нулю

где у/. - адоатавс внегтей СБЧ схемы з котсруа включен диод,

' Q. - адиатаас туннельного диода. Дгш качественного обьяс-непЕЯ влияния магнитного поля „Box на частоту генерадаа туннельного длода моазт быть использовано виразенпв для адыатанса Q-{^J, получениез в ьзлоедгнальнам црабЛЕЕекна. Из полученного выражения для С-(lp; следует,, ч-то как в действительно 1, так-а в мнегжё частях- С?{ifJ есть .компоненты,. которые зависят от Box з первой сте- ' пекл. Зто означает, что пра -псыадекаа генераруацего дасда в-ста-1дюнар..ое кагнагное поле, дзмононаа.только 'иадранлэнЕя магнитного eg ля яра сохранения его вашш долено .праводать к азменеяаа амплатудк в частота генерирующих аоде<5аяп2. Яз вараженЕя для C{tf) следует таган,: что наряда, с составляющая, завг.о:ДЕЕ.а: от Box в -пеазоц (.-'елена, в'него -входят таете. 2 состаздзкцае/ не завЕсяцае от направления," характерЕпутацае езыунвнез "шдьлатуды л частоты кодеЬанзга,.определяемое только зелачи_ой магнатного иоля.. Вывода, сделанные в результате теорзтаческого анализа; -подтверждены оксааан^нтально. Экспериментальные исследозаная нроводалась с использованием' туннельнш. даодов .тезз.Щ 103 5. Установлено,.что нралоаевае анеензго поперечного. магаггнэго ноля с величиной. .

Il

I приводит к изглзненпг- частоты, равнотлу 0,05 % от-/,, (частота в отсутствии глагнктиого поле) . Наблюдался таьхе сдвиг частоти, связанный с изменением направления магнитного поле при кенз:лзнногл значении зедкчпнк, .ездгкщш, сосгеваявдЕЙ 0,01 % от -f0 . II: сравнен:зо с СЪЧ генсраторачсг на диодах Ганна и .ЩЦ з генератора:': на туннельных диодах от изменения направления ;лагнитпзго ноля существенна' образок зависит только частота колебаний.

5 четвеот::; главе представлены результаты исследований проблей: улучпеятя характеристик измерительных устройств на основе зрректз автодпкнэго детектирования с использование:.1! дизда Галина, предлагается сравнительно простой способ коглгенсгцп: те:.~сратур-::oi; нестабильности дпода Гаяна- Суть его заключается з периода-~ескз2 корреглдди опорного уровня сигнала, кедаенко изменявшегося вз времени. Спорили ситная запалинается "з ячейке 'памяти до сле-

коррекцпк.. В гзкертаольгой системе этот сигнал используется для сравнения при проведении такудпх измерений.

Рассматривается решение задали периодической разачзкп СБЧ генератора от измеряемой нагрузке. Необходимость з зто?л возникает при создана: сгстзк контроля параметров непосредственно з ходе технологического продесса. С этой цвльв в измерительной камере совместно с оензвдю.: аптгБнь:." злсаентсв устанавливается дсподнл-телькик диод Ганна с частзтсх генерации, ■ близко:: и частоте активного элемента. Подобное устройство.монет -бпть выполнено такте с яомопыз pin -диода, 'расположенного в плоскости, удаленной от плоскости разтлегения актпзногэ элемента на расстоянии А/2 , где X - длина волны в прямоугольной волноводе. Зпляченпе этих элемент ов происходит сшафонзо с клачо:л, зилычатаил ячейку памяти • спстсгли теглпературнои коглпенеапни. В главе такке рассмотрена возможности создания СБЧ пз.'.серптолеп на основе использования зр^зитз, авгежишог? детектирован:^ з генераторах па туяг.зльнцх даедзх. Туннельные деоды swsbt .меньсеэ распределенное сопропз-ленпе, чем другие тгак.диодов, низкое .значение щчл-фактора, внеокум чувствительность и лхшейкость'характеристик ло

ьезглу д;шс:лпчес2сс15' дпалаззну рзбочих моаш/CTCit. Потрсйшгская :пли от источник:!. питания коапюсть крайне мала (пе превышает ZX. * ЖО 'jji' ). ."алое сопротивление туннельных диодов облегчает с г:::.г. ::л :-::с сг. с ::::з;:00:лн!лли плоскаиз лпгауаш передачи. Как и казгии:'ксслод.-ег. кил, интервал измеряемых толщин ветаасгческп*

плзкок в пределах лгнайной завпеккостг. показ акй: измерительного устройства составляет 50 7С0 л. lipa этом максимальная чувствительность устройства составляла для плэаок .хрома 80 ¡шсЗ/ А, для шюяой алшлши 35 гм-3/L л для осанок кеде 30 пакЗ/А. Точность пз'лерожа металлкзоскпх длекзг определялась в основном погрешностью изготовленья ьталолаз д составляла Iû£. Проведены доследования вазиоан', j't'E досользовааая зффелта автодгпюго детектдрова-кдя в СВЧ генератора ga тупн&яьком дада для гзизренвя параметров длзлсктрллов. Sa сразн-знпз с кзвгстшдк устройствами аналогичного назначения с г.ссользовашсгл диодов Хакна, применение описанных да-гчаков позволяет у^аньшлТъ вес- устройства с 3 до 0,6 гсг, при п0ч2е одинаковой точности гдллсрешш.

Сссгветствутаг;??.; выборои тала дпода z элементов СВЧ гхкзтруд-длл газет создавать подобнее устройства" как з коротковолновой,та:-, к е wzóHOBOSBJBqa частях СЕЧ. диапазона. В глава- рассмотрен вопрос выбора элзлтродзнаагкческоЗ систела: при прозкгцроваяш: СВЧ измерителен. Выбор олектродипамдческсй системы заределяицди образов. влпяэт,. яалрл1л0р,. на диапазон азкяряеких сараабтров. Были

чроведвиа исследования возможности расширения диапазона дзиаряо-ш параметров в результате состватствуацего забора характеристик злека'родиягаггчйско'й сизтемн гзяератора з мякропслосковои неполна-

HîIII •

Еалболее рациональной ^аструкцкей представляется кокструк-.ддя 031 азйерггааа- ка осяогз капланара;-аел2Ео£. лгагаа передач:: в которой -туннельная дгмд располагается в азлевей лажа, ердчй^ сама ллпдя изогнута таклы образом, что зна плавно пареяодлт в отрезок копланарйой даякк, заканчиваемся коаксиальный вамзри-тельпкм зоылс:л. С полынке таго5. колструлл/лп toase обеспечить малуг лсказьпссхь кзкеренЕа гсиадцдг не дл: дадп образца. Такал конструкция характеризуйга-х уальоли га£арлтамл, что, дддг.ьгея с-лдестзеялкл для дзжшсзодцоёсз части СВЧ диапазона.

I. Тезрегичаскд ч эк¿aeps;sír¿.-_tb¿j лсслодоьоло ызаилт. sucss--чего СВЧ излучоллл. ал xansicrepaovitKr с/луарох-одздксгьа: СН г.лю--ра'£оров н- тук&ышаа дно дал..

Обнаружено окслотог.юл: ольло, что Ейзделотвле злотого' СВЧ сяглллЛ на оуляелсьылл дгзд, огОогл&гдЗ з реллгле голлредлл <•$% лрд спре^злендай сигнала этддоддт л с ризу

zozcSsmz?., "рлчол лзлоленло ларалтврпстлх генератора поест

исглгзго тгоротгчегкя л лозтзгт.-дех? олегорглелтальне, что лллллллтлллсл л:лллт евлзлл ; лелоглалеллол, в результате згзлей-

sáasfssu; у,

I. ■ з .... а. , Opios В.г..,-'Корзтгн В^стрбгяйстьугцли

лл-лл-лу в' с::гтэ;.:е сбродата csnrs&s '-с. ^зульззо-кодово! лллл; у'/. Геп.гоклага X г™ло"! ггрпйр^л^гл ,

Vi

"Bcs^uir-t олектреC32". - ES83.-7.Í.-0.-C-4I.

2. Loaxoa Д.Л,, J о:? ар да 2.2., H.jomohoh A.A., 2о"от;::; ¿.M.

Акоор.,;. лтохе:: о дау ;::о~то,>х;.десх;.:х::;;;-;.--Сорато:?: Ход.Japax.-üLl, ZC83.

3. /санов Д.л., Ко "эх:'.;: Н,Д. , Рк^ггало А.п., соо:.:о::ов A.A.

А. /санов Д. А., /еретл;: с.il. /occo.Ic-ïbo д-л '•¡зчепондн хел-

Ac.- A I.-с.254.

5. /саков Д.А., 2еоох,:н 2.Д.. G^hujlü ал.В.<2; оттналх. Лк.а. -СЬ!1-толц2пг?.'э? /7 Тсс.докладов "Хохол:; ;; сродства

•:эатрол.£ долукрогодд;:;:н/ т:ю.::о;;хс:т:;;с;::!Д охрухх/р'Д ü. ; ДААА "Ола::хрсак:-:а"' , I...!.-:. 'о.:;. -.. .:.': (232; .-С.-Ai.

2. /саноз Д.А,, Хосо-;;;н S.A., Орлсз ¿.2. Хоцолосоланне J22 хоноратороо ::а ту;гнзлхк:нс дхо/л:: ;тх; ооодгнхл уохрсАотз оадно-золнсногс контроле: // Тех: до C.2Ö.,

7. Усакоз Д,А., ¿осмсксо A.A., Хоу.;х:::; Б.Е. 2с:ро:;оххо длд иемапакнл телдхкц даслоктакчоо;-.о; '..•„•.uruto-cuiKm:; :.а -.эхата://

: 8. /саноа ¿L^.-r ЬЪръх'Л З'.Н. ■ Орлов ВД2 /сдоло'оов.дп", о.^г.та ао'гсд:хк;огз ;;ox:h:t:;;:oís::x-: 222 ro::>çaxop;i;: xa гукдела-

У. /салол Д.,А., С2рт.:ало 2.2.., Дороти 5.IL. :Jo>.;es;c2 A.A.. Хлдоб Л.А_ крлоор: роднохелнохога понтролл на зДАокхо азто:тх.::ого дотокхкрооакгох н СБЧ голо рато рол // Тоо-докл. 22 /ооссосч.^грсю--тгхнгч.ко^сроида л поо-охха

souipoÄi". Д.р ícs-зо 2;22 22... 2.2,- 2.27.

1С. /салол Д.А., Cr лез ü.:,., Ко.охлл 2.Н. Азтодпннкг 23-Í холэпатопи «а тукнелзюгх д:;ор.о:с - длл xomoi.oscui талзг«лк

-егто.гнтскнх' ccsp:fr::í; у/Гох. ;;з.:л.::ах2срззд;пт "УпрсЕ-чендг качаст-зом, CTitttoiprasaua-i,: ^трологкл/лскнхалкл.-,;. г 2I2EÍ "Слокхронк-г.а"» 12-2S.- Сер.8.. —-Бет. I (Z/.4Î. —С.7.-

15. Уса&эд Z.A., ¡Гугк-лзг З.Д., Сдрплал-' ¿..iL, Коратпг Б.Е. •ГаддовогЕозне дзкерптгл;; -га. осксвг зф^ск^а зетоданзэго детектл-ровазпзг г тзтЕпоЕогшдгйнгп: СЗЧ-гздйратзрал //• ?сз^глЛгегосзл. Еа^а^геяЕтглаа^Срг^з "Олгггогклг,- г^теойзяпгв я сошюгдо т.тетодз п срздсгва- яерззругаз'дзго подгоолл: ггксгтва 'хтокшюшвс* Ю03УЕ1К2"-Сяраг02*.- И05-Г.П С1У, IS3I.- ^£0-52.

15- Усатой Л.А., Керигдп 5Л1.. A.B. Блдсдпо внглгэго

С5Ч. сигнала te району СЗ^-гззсрагйра на тукнадъяву. диода // Изд-вэ .гузоз - Радао±дзгка.г 2.34, I,- а.£3-£3." . * ■■

17. Тсазов Д.А.,-CKTtnaatb-iLB., Ксрзтдн д.Н. •-.SWeet'авто-дпнного дзтектпрова'шг.г. Есдарэдсдгкгодш; сркбэрал -с - отрицательном соаротквлэнгв.».: й его-дсдслъзсвадлэ дул- .создедея- ЯЗЧ. взаерпте-ло;У// tos. дс«-. • всосошаозггг^о-ггдго.гэди'зрэшрж-^ргбора

с - отрицательно.; сэпрэгяаХёгоем л ззгтзтрглзйшо арсЬбргзовзтелз на лл основе". - Езду.: 'Иад-гэ. СКВ ¡S-iAilAs-Sa,. 16Э1. -С. 64.

18. -Усаноз Д.А.Орлов. 3.5.", лор-отял E.H., 'Скрпцалъ. A.B. Работа гонепатЬра на туннельная диаде «ззлейсяввк внешнего СЗЧ сигнал! // Таг.: so C.G5. -'

19. пеанов Д.Л., Скр1щаль";А.В., КЬрстгз -Б.Н-.; ."Авдеев A.A. С.Ч гзг.с.^'голи . на основе "эафзкта автодпплого датедтирозаяля в'

приборах с •отршатямзп еогротавлеккем// 7с з.докл. «.еждувародной йаучад-тезпьган^ереяшз. "Актуальн-гв -пройд»«« электронного прпборогтроонг.1*- • А^ЗП-ЗЗ.-ЁовэсЕбирсп.- •

ч

20. A.c. П6189В СССР, !,2ИС- 011? 27/26. Устройство для избрания пара^зхрпв диэлзктргчвсюх материалов- // Д-А-.Усанов, А.Ю.Вага-р:!н, Б-Я-лоротин. (СССР).. - 3534535/24-03: Заявлено 22.Ü4.S3; Опубл. . 15-.05.85. Eoi. 2 22.- 2с.: IL:.

21. A.C. 11У1226. CCC?».ИХИ H0ÍPI/I5. Способ, управления Р-Х-п

Екодаши прибором в устройство яда sro. осущаствдсшзя/ Л,.А.7саназ,.

С.Б'-Вепдг,. Б-К-Каратиа (СССР),- 3589982/24-09; Зачалено 16.05.83.

Опубл. 15.П.85 £яд. £ 42.- 2с-; líz. о '

22.. A.CL Í254XD3, IZSfi G-OtR24/2$„ Устройство для талорения параметров детлактрэтесгш.ь'лтсриалов / И.А.Усанов, A.B. Скрллаль, Б. Н. Коротан и др. (СССР), — 3204335/24-09; .Заявлено 3.0S.85; "публ. I5.m.8S. Вол. i¿'33.-,-''2C- йл.

.23- A.c... I4I5QS2,-K£L Gr- GIBI5/Q2, С- 01 Л'27/23. Устройство 222 из?леоеаая толншз СД.А.Усанов»,-Б.Н.Ксрот21Г, Б.£.Орлов (СССР)., - 4I63SG5/24-28? .Загагега 1Г.СЗ,85; Опубл. 07.03.SS.. Eas- JD 23 -

2 с. г íúr.'-.' . ' •''..-••'''.'.'•'

24. А.а. 1705766'Ш2\:.5£аГСг 0IK 27/28- -Устройство дал азкоро-нш паразгзгроа- даюхтраческяг ьатэргаяов /■ Д.Д.Усаяэа,; ¿.¿..Лаязев, ■ В.Д.Тушшш,.. Е.Е.Коротпн - 4£Q03SS5/2Í ^ Стлано 02.04.S0, Опубл. 15.01.22. 2.- S 'O.i'lLi. ' .

Заказ 106 псдазсааэ к цочата 33.04.53 • Объем 1_шгча?. лист.. Таран 100.. • Ттшограаы шдательетва CTJ— .