Исследование характеристик излучения мощных электроразрядных CO2 и эксимерных лазеров тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.13 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ УСТАНОВОК. стенд "модуль-2".

Установка "Максим". эксимерный лазер "эклаз".

ГЛАВА 1. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И УСИЛЕНИЕ АКТИВНЫХ СРЕД ЭИ-С02 ЛАЗЕРОВ.

Зависимости удельной энергии генерации от удельной энергии и длительности импульса накачки. 19

Измерение распределения коэффициента усиления (КУ) по сечению активной среды

ЭИ-С02 лазеров.24

Исследование КУ на стенде "МОДУЛЬ-2 ".24

Измерения КУ на стенде "МАКСИМ".35

ГЛАВА 2. РАСХОДИМОСТЬ ИЗЛУЧЕНИЯ ЭИ-С02 ЛАЗЕРОВ.38

Введение.38

Измерение расходимости излучения лазеров при использовании традиционных смесей газов.40

Динамика изменения расходимости в течение импульса накачки.52

Измерение расходимости излучения лазеров при использовании "легких" смесей газов.61

Зависимость расходимости от показателя преломления активной среды.82 широкоапертурный резонатор.88

ГЛАВА 3. СПЕКТРАЛЬНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ.95 введение.95 спектральный состав излучения ЭИ-С02 лазеров. относительное распределение энергии по вращательным компонентам.96 спектральный состав излучения ЭИ-С02 лазеров для смесей с изотопами С02.106

ГЛАВА 4. ПРОСТРАНСТВЕННЫЕ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА «ЭКЛАЗ».115 введение.115 расчетная модель энергетических характеристик лазера.115 результаты расчетов.117 измерение пространственных характеристик излучения.123

1А К1 РПЧТ.ТШ. .129

ЛИТЕРАТУРА

133

Введение

Проблема формирования лазерного излучения высокого качества в электроразрядных газовых лазерах различных типов и назначений является актуальной задачей до настоящего времени. Эта проблема, в частности, остро стоит при разработке мощных СО2 и эксимерных лазеров.

С02 лазеры являются наиболее широко распространенными источниками когерентного излучения среднего ИК диапазона. К достоинствам этих лазеров можно отнести простоту их конструкции, высокий коэффициент полезного действия т|~20% /V и возможность однородного возбуждения активной среды (АС) большого объема.

Особое место занимают электроионизационные (ЭИ) СО2- лазеры (ЭИЛ) с несамостоятельным разрядом /2/, /3/, /4/, /5/, /б/, объем АС которых может достигать нескольких сот литров, а поперечные размеры лазерного пучка нескольких десятков сантиметров II. В ЭИ лазерах ионизация газовой смеси производится пучком быстрых электронов с энергией 150-К300кэв, а энергия возбуждения вкладывается в активную среду при оптимальной напряженности тгрк-тпицрптгг» гтпттет Т</п^^-^ТгЯ/гЛ/Т-ЯТТМ ТТгШ -чтпм ТТТТЯ ПЯ^ПИгТНТчТ^ гячгжых

1 ------------1 - 1 ' ' x смесей С02^2:Не достигаются достаточно высокие значения коэффициента

0 1 усиления активной среды на уровне (2-М-)-1(Г см" /4/. Энергия излучения таких лазеров может достигать нескольких килоджоулей при длительности импульса генерации в несколько десятков микросекунд, при этом пиковая мощность составляет сотни мегаватт /8/.

ЭИ С02-лазеры находят применение в производственных технологических процессах, научных исследованиях и при решения специальных задач (дальняя связь, передача энергии на расстояние, лазерная коррекция орбит искусственных спутников Земли /9/, /10/). В настоящее время мощные С02 системы находят свое применение при ликвидации пожаров на нефтяных скважинах и аварий на радиационно опасных объектах.

В большинстве практических случаев требуется либо фокусировка лазерного излучения, либо его доставка на значительные расстояния с наименьшими потерями. Для этого лазерное излучение должно обладать минимальной расходимостью, по возможности, близкой к дифракционному пределу 0д~А,Я) (X - длина волны, Б - апертура лазерного пучка).

На расходимость лазерного излучения существенное влияние оказывает выбор оптической схемы резонатора, применяемого в лазере, а также оптические неоднородности активной среды г 7.

В ЭИ С02-лазерах с большими поперечными размерами АС, обычно применяются неустойчивые резонаторы (НР), способные без потерь энергии обеспечить генерацию излучения с предельно малой расходимостью определяемой дифракцией излучения на выходной апертуре /11/.

Однако наличие в АС лазера оптических неоднородностей приводит к ухудшению расходимости излучения даже при использовании НР. В ЭИ С02 лазерах причинами их появления могут быть, например, приэлектродные

12 13 волны сжатия и разрежения / /, стримеры и токовые шнуры / / и газодинамические возмущения при неоднородном возбуждении АС /14/.

Даже в импульсном режиме работы ЭИ СО2 лазера и при неподвижной газовой среде расходимость его выходного пучка далека от дифракционной /15/,

Эксперименты, описанные в /15/, показали, что качество пучка резко ухудшается уже в течение импульса генерации ~20мкс. В этой же работе было показано, что во время генерации в АС ЭИ СО2- лазера атмосферного давления возникают оптические неоднородности, являющиеся причиной снижения его качества. Эти оптические возмущения, причиной возникновения которых является само излучение, обычно называют неоднородностями самовоздействия.

В работе /16/ были выполнены численные расчеты, чтобы объяснить наблюдавшийся экспериментально факт сильного уменьшения яркости лазерного пучка за время импульса генерации (г^^Омкс). В модели расчетов предполагалось ухудшение оптического качества АС лазера из-за проникновения в объем резонатора акустической волны самовоздействия возникшей на краю пучка. Однако согласия между экспериментальными и расчетными данными получено не было. В эксперименте яркость лазерного пучка за время светового импульса уменьшалась значительно быстрее.

До последнего времени традиционно используемыми в крупномасштабных ЭИ импульсно-периодических (ИП) С02-лазерах атмосферного давления являлись рабочие смеси типа С02:М2:Не = 1:5:2, 1:6:3, Такой состав смеси был обусловлен экономией Не и большей, чем в других смесях, устойчивостью разряда. Благодаря способности генерировать в течении 4(Н50мкс, такие смеси обеспечивают съемы энергии до нескольких десятков килоджоулей /8/.

Однако как состав традиционных смесей, так и длительности импульсов накачки тн>15-ь20мкс не являются оптимальными для достижения минимальной расходимости излучения ЭИЛ. Так, на стенде, описанном в /7/ на смеси С02:1Ч2:Не =1:5:2 в импульсном режиме и при использовании неустойчивого телескопического резонатора (НТР) была получена расходимость излучения, составляющая по уровню 0,5 полной энергии 2x10 ""рад, что почти в 30 раз превышает дифракционный предел (9д=7х10"";рад).

Пути достижения расходимости ЭИ С02-лазеров на уровне 10~4рад и, в дальнейшем, дифракционной расходимости без существенного снижения энергии излучения были не ясны.

Кроме энергетических и пространственных характеристик лазерного излучения эффективность использования С02-лазеров в таких областях, как лазерная химия, нелинейная оптика и других требуется иметь возможность генерации излучения в узком спектральном интервале и перестраивать длину волны излучения. В то же время спектральный интервал линии генерации лазера имеет значение при прохождении лазерного луча через протяженные трассы в атмосфере. Применение редких изотопов двуокиси углерода в С02 лазерах позволяет обогатить спектр излучения и уменьшить потери на поглощение при прохождении лазерного луча через атмосферу.

17 18 19 20

В нескольких работах теоретически / 1,1 /,//,// и экспериментально

21 22 23

19/, / /, / 1,1 / изучался спектр излучения импульсных ЭИЛ, однако, в них исследовались лазеры с длительностью импульса накачки тн< 1мкс.

Расчет спектра излучения ЭИЛ атмосферного давления с длительностью

24 накачки в несколько десятков микросекунд был выполнен в / /.

Расчеты, аналогичные проведенным в /24/, были опубликованы в работе

25 / при тн=1мкс и тн=40мкс для ЭИЛ атмосферного давления на изотопах 12С1602, 13С1602. Экспериментально спектр излучения ЭИЛ атмосферного дав

12 18 13 16 ления на изотопах С 02, С 02 изучался в импульсном режиме при ти=2мкс /2б/.

Проведение спектральных исследований излучения ЭИ С02-лазера при длительности накачки активной среды в несколько десятков микросекунд представляло интерес.

Проблема улучшения расходимости излучения также актуальна для эксимерных лазеров, которые применяются в качестве источника ультрафиолетового излучения для литографии, в установках модификации поверхности и микрообработки материалов. В настоящее время разработкой и производством эксимерных лазеров занимаются свыше десятка фирм и предприятий. Выпускаются лазеры с излучением на длинах волн 157 нм (на Р2) 193 нм (на АгБ), 248 нм (на КгБ), 308 нм (на ХеС1), 222 нм (на КгС1). Средняя мощность лазеров лежит в диапазоне от единиц до сотни ватт. Энергия в импульсе изменяется от единиц миллиджоулей до нескольких джоулей при длительности импульсов 10-К300нс, частоте следования от десятка до сотен герц. Ресурс работы лазеров с обновлением газовой смеси достигает 10 импульсов. Стабильность мощности излучения от импульса к импульсу 3-И0%

ОН к.п.д. 1-^5% / /. Максимальные мощности излучения эксимерных лазеров обеспечивают плоские резонаторы. Однако при этом расходимость излучения составляет для сантиметровых апертур несколько миллирадиан, что почти на два порядка превышает дифракционный предел.

Это обстоятельство является принципиальным ограничением, например, в ряде актуальных задач микроэлектроники, в которых для создания топологии больших микросхем требуется фокусировать излучение эксимерных лазеров в пятно размерами 2-кЗмкм. Для этого было необходимо улучшить расходимость излучения лазера до уровня ~10"4 рад, а это требовало проведения исследования энергетических и пространственных характеристик излучения эксимерного лазера.

Положения, выносимые на защиту.

1 .Экспериментально установлено, что "легкие" смеси обеспечивают более высокий (по сравнению с традиционными смесями) ненасыщенный коэффициент усиления АС ЭИ СОг-лазера атмосферного давления с длительностью импульса накачки 10-г30мкс.

2.Экспериментально показано, что при длительности импульса накачки тн<30мкс наименьшую расходимость излучения ЭИ С02-лазера атмосферного давления обеспечивают смеси СС^^Не с содержанием Не на уровне 75% и отношением [С02]:[К2]=1-ь2.

3.Применение широкоапертурного резонатора с размерами апертуры 10x20см позволяет в импульсном режиме получить расходимость излучения ЭИ СОг-лазера равную (2ч-3)-10"4рад по уровню 0,8 полной энергии.

Экспериментально установлено, что генерация ЭИ СОг-лазера атмосферного давления с длительностью импульса накачки ЗОмко протекает одновременно на нескольких вращательных переходах Р(14)^-Р(20) с выделением 70-^90% полной энергии на переходе Р(20).

5.Применение неустойчивого телескопического резонатора для эксимерного КгР лазера позволяет в 10 раз улучшить расходимость его излучения при незначительной потере выходной мощности.

Описание экспериментальных установок.

Стенд "Модуль-2"

Основные экспериментальные методики, использованные в данной работе для измерения энергетических, пространственных и спектральных характеристик лазерного излучения, были отработаны на лазерном стенде "Модуль-2" в Государственном Оптическом Институте. Стенд "Модуль-2" представляет собой импульсный ЭИ СОг-лазер атмосферного давления с длиной активной среды 1м. Электронный ускоритель—тетрод с прямонакальным катодом — позволял получать пучок электронов с энергией на входе в фольговый узел до 200кэВ и изменять плотность тока в пределах 5-ь20мА/см2.

Электрическая схема с частичным разрядом накопителя применялась для питания разряда газоразрядной камеры (ГРК). Максимальная напряженность электрического поля разряда составляла 5кВ/см при межэлектродном расстоянии в 1 П™* ТГпттттрмтпяттхтя ^ттртгтпоно« пячпяяя ня квазистаттионапной

12 3 стадии разряда длительностью до ЗОмкс не превышала 3-10 см" .

Для вывода излучения использовался неустойчивый телескопический резонатор с прямоугольными зеркалами и различными увеличениями М= 1,5-^-3, размещенными на расстоянии 2м друг от друга внутри разрядной камеры Размер стороны вогнутого зеркала составлял 116мм.

Постоянно контролируемыми в экспериментах параметрами являлись токи электронного пучка и разряда, энергия и форма импульса излучения. Ток пучка измерялся поясом Роговского, ток разряда - безындуктивным шунтом, энергия генерации - стандартными термопарными калориметрами КТП-5-2. Форма импульса излучения регистрировалась фотоприемниками типа "Свод". Хорошая воспроизводимость характеристик разряда и лазера наблюдалась в течение, по меньшей мере 30 разрядов при одном напуске рабочей смеси в камеру. Удельная энергия накачки менялась в пределах ЮО-т-ЗОО Дж/л-атм.

Установка "Максим"

Лазерная установка "Максим" представляет собой импульсный ЭИ С02-лазер квазинепрерывного действия с замкнутым газовым контуром и объемом активной среды 2л. При максимальной скорости протока газа 21м/с и расходе газа 0,8кг/с частота следования импульсов длительностью ЗОмкс составляла 200Гц. Для формирования излучения применялся двухпроходный неустойчивый телескопический резонатор. Максимальная средняя мощность генерации установки "Максим" - 10кВт.

Устройство ионизации - электронный ускоритель - имел следующие основные физико-технические и конструктивные параметры:

Тип электронно-оптической системы.планарный триод

Ускоряющее напряжение.200-т-250кВ

Ток нагрузки.6-ь 10А

Ток за фольгой.2ч-ЗА

Длительность импульса.ЗОмкс 2

Площадь выводного окна.80x700мм

Средняя мощность выведенного пучка.7,2кВт

В системе питания разряда ГРК лазера "Максим" использовалась схема с частичным разрядом накопительной емкости со следующими техническими данными:

Номинальное напряжение накопителя.20кВ

Импульсное значение тока разряда.2кА

Длительность импульса разряда.ЗОмкс

Частота повторения импульсов.50-ь200Гц

Максимальная потребляемая мощность.200кВт

Данная система электропитания обеспечивала удельный энерговклад в разряд ГРК до ЗООДж/л.

Эисимерный лазер "Эклаз"

Некоторые из освоенных методик использовались при оптимизации параметров излучения эксимерного лазера "Эклаз", разработанного в НИИЭФА.

Упрощенно поперечный разрез излучателя лазера показан на Рис. 1.

Ь дюралюминиевом корпусе излучателя " имеются полости газового контура, внутренняя поверхность которых пассивирована атомарным и молекулярным фтором. Сверху к корпусу крепится изолятор 7, на котором установлена металлическая крышка с анодом разрядной камеры. По бокам анода через отверстия выведены искровые электроды (свечи) 6 для у.ф.-предыонизации активной среды. Катод и анод разрядной камеры изготовлены из никеля и имеют профиль Чанга. Разрядный промежуток 3 между ними составляет 20мм. Газовый поток обеспечивает вентилятор 4. Конденсаторы 2 индуктивности 5, тиратрон 1 (ТГИ-10000/30) и токопроводящие шины 8 высоковольтной системы импульсного электропитания размещаются таким образом, чтобы обеспечить минимальную индуктивность разрядного контура

На Рис. 2 приняты следующие обозначения: Ят, Ьт - эквивалентные сопротивление и индуктивность тиратрона; Со - накопительная емкость; Ьо -индуктивность разрядного дросселя; Ьв, Св - выравнивающие индуктивность и

Ами-г^тт.' - опгтппттлсггримр игк-пгтлгл пя^пяяттитгя- Т П Р.П - емкпотт, И

---------- ~ ----£-------------- -----г — - А А г, у А , х индуктивность разрядного промежутка; Я] , Ц - сопротивление и индуктивность разряда.

Рис. 2.) щ ч

II-——ААА/

Рис. 2 Электрическая схема системы питания

На торцах изолятора расположены окна и котировочные узлы с зеркалами оптического резонатора. Для защиты окон излучателя от загрязнения возврат очищенного газа в контур производится в зоны непосредственно прилегающие к окнам, что обеспечивает поток газа от них к центру разряда. Около выходного зеркала резонатора расположен датчик мощности лазерного излучения, используемый в системе стабилизации мощности лазера при помощи обратной связи по энергии.

Рабочий газ очищается непосредственно во время работы лазера. Часть газовой смеси отбирается из контура при помощи вентилятора и поступает в систему очистки криогенного типа, где загрязняющие вещества вымораживаются при температуре жидкого азота. Для очистки газовой смеси от пыли и аэрозолей используются фильтры с размером ячейки до 0.01 мкм изготовленные из никелевой керамики.

Принцип действия генератора фтора основан на термическом разложении гексафторникелата кальция Са№Р2. Генератор фтора состоит из ампулы с Са^иГг, системы нагрева к по л держания температуры, системы управления и контроля и запорнорегулирующей арматуры. Генератор позволяет сделать 300 заправок фтором рабочего объема лазера и автоматически во время работы лазера добавлять необходимое количество фтора.

16

В стойку электропитания входит блок управления тиратроном импульсный трансформатор с выпрямителем и стабилизатором. Там же смонтирована система автоматизированного управления параметрами излучения лазера. Источник импульсного напряжения позволяет получить до ЗОкВ в импульсе длительностью несколько сот наносекунд с последующим обострением до десятков наносекунд. К основным блокам примыкают системы вакуумирования и газонапуска.

Откачка контура производится через азотную ловушку и поглотитель фтора и фторидов. Возможен напуск заранее подготовленной газовой смеси

Заключение

1 .Разработаны методики исследования энергетических, пространственно временных и спектральных характеристик излучения мощных электроразрядных С02 и эксимерных лазеров.

2. Для двух разномасштабных ЭИ С02-лазеров атмосферного давления проведена оптимизация состава смеси АС и экспериментально показано, что для характерных условий накачки ненасыщенный коэффициент усиления который обеспечивают "легкие" смеси типа С02^2:Не=1:1:6 на 20% выше, чем традиционные смеси 1:2:3, 1:5:2 или 1:6:3. Измерения распределения ненасыщенного коэффициента усиления (Ко) по сечению АС как для традиционных смесей, так и для смесей, содержащих добавки водорода и аргона показали, что величина К0мах практически не изменяется по высоте разрядного промежутка на разных смесях и уменьшается в поперечном направлении на 50% только на расстоянии ±10см от продольной оси разряда.

3. Комплексные экспериментальные исследования зависимости расходимости излучения мощного импульсного ЭИ С02-лазера атмосферного давления от мощности и длительности накачки, интенсивности вынужденного излучения, состава смеси и параметров резонатора показали, что:

- на расходимость излучения импульсного ЭИ С02-лазера существенное влияние оказывают катодная и анодная волны плотности и волны плотности, возникающей на границе лазерного пучка вследствии эффекта теплового самовоздействия. Показано, что только из-за эффекта самоьоздейстимл расходимость излучения белее, т1£м 2 три раз?. превьштярт дифракционный предел;

- угловое распределение интенсивности излучения мощного ЭИ С02 лазера в течение импульса генерации при длительности импульса излучения <30мкс имеет широкие и достаточно интенсивные крылья диаграммы направленности излучения, которые образуются спустя 10-т-15мкс после начала генерации даже при убывающей во времени мощности излучения.

- при длительности импульса накачки тн<30мкс наименьшую расходимость излучения обеспечивают смеси с содержанием Не на уровне 75% и отношением [С02]:[К2]=1-*-2.

4. Экспериментально установлено, что генерация ЭИ С02-лазера атмосферного давления с длительностью импульса накачки ЗОмкс протекает одновременно на нескольких вращательных переходах Р(14)-г-Р(20) с выделением 70-г90% полной энергии на переходе Р(20). Показано, что интегральная за время импульса излучения ширина линии излучения

2 1 вращательного перехода не превышает 2-10" см" , а ширина одной и

3 1 зарегистрированных компонент линии менее 4,7-10" см" .

5. В результате проведенных исследований найдены рабочие смеси позволяющие получать расходимость излучения ЭИ С02-лазера, близкую к дифракционной, при высоком удельном энергосъеме, характерном для традиционно используемых смесей. Для широкоапертурного резонатора с размерами апертуры 10x20см в импульсном режиме получена расходимость (2-г-3)-10"4рад по уровню 0,8 полной энергии.

132

6. Применение редких изотопов С02 в АС ЭИ С02-лазера позволило расширить спектральный интервал генерации излучения от 9.3ч-11.4мкм.

7. Экспериментально показано, что применение неустойчивого телескопического резонатора для эксимерного КгБ лазера позволяет в 10 раз улучшить расходимость его излучения при незначительной потере выходной мощности.

1. V.Bodakin, G.Sh.Manukyan, A.B.Produvnov, I.A.Tumanov Industrial pulse-periodic lOkW C02 laser pumped with EB-controlled longitudinal discharge //SPIE V.2257/1093

2. Charles A. Fenstermacher, Murlin J. Nutter, John P. Pink and Keith Boyer «Electron beam initiation of large volume electrical discharges in C02 laser media» Bulletin of the American Physical Society v. 16, January, p.42 (1971).

3. C.A. Fenstermacher, M.J. Nutter, W.T. Leland and K. Boyer «Electron-beam-controlled electrical discharge as a method of pumping of large volumes C02 laser media at high pressure » Applied.Physics Letters. V.20,N2 p56-60 (1972).

4. Н.Г.Басов, Э.М.Белинов, В.А.Данилычев, А.Ф.Сучков «Электроионизационные лазеры высокого давления» Вестник АН СССР N3,CTp. 12- 18(1972).

5. Н.Г. Басов, В.А. Данилычев, A.A. Ионин, Н.Б. Ковш, В.А. Соболев "Электроионизационный импульсный ОКГ с энергией излучения 200 Дж" ЖТФ T.XLIII, вып.11, стр.2357-2363 (1973).

6. И.К.Бабаев, С.В.Бардаковский и др. «Расходимость излучения ЭИ С02 усилителя атмосферного давления с длительностью импульса ЗОмкс.»

7. Квантовая Электроника т.18, N1, стр.12-14 (1991).g

8. И.К.Бабаев, С.В.Бардаковский и др. «Получение излучения с энергетической силой на уровне тераватт на стерадиан в импульсно-периодическом электроионизационной С02 системе задающий генератор-усилитель.» Квантовая Электроника т.18, N1, стр.6-7 (1991).9

9. A.R.Kantrowitz. Aeronaut. Astronaut, 9, 35 (1971).

10. Ф.В.Бункин, А.М.Прохоров. УФН,119, 425 (1976).

11. Ю.А.Ананьев. «Оптические резонаторы и проблема расходимости лазерного излучения." Москва, Наука, 1979.

12. Е.Р. Pugh, J. Wallage, J.H. Jacob, D.B. Northam, J.D. Dangherty "Optical quality of pulsed electron-beam sustained lasers" Applied Optics v. 13, p. 25122517(1974).13

13. Курунов Р.Ф. Канд. Диссертация. JI., 1990

14. Е.П. Глотов, В.А. Данилычев и пр. «Влияние гя^пттиняд/гтлиеского движения активной среды в течение импульса накачки на угловуюрасходимость излучения электроионизационных лазеров» Квантоваяэлектроника т.5, N9, стр.1924- 1932 (1978).15

15. V.G.Roper, H.M.Lamberton, E.V.Parcell, A.W.J.Manley, "Laser induced medium perturbation in a pulsed C02 laser"Optics Comm v.25, N2, p.235-240 (1978).

16. S.A.Roberts and H.M.Lamberton «Numerical predictions of phase distortions due to a heating differential in a CO2 laser discharge tube» J.Phys.D:Appl.Phys.,v.l3 (1980) p.1383-90. Printed in Great Britan.

17. B.J.Feldman. IEEE J. QE-9, 1070 (1973)

18. Ю.И.Бычков, Ю.А.Курбатов, В.В.Савин. ЖТФ, 44, 803 (1974)

19. Ю.И. Бычков, Ю.А.Курбатов, В.П.Кудряшов. ЖТФ, 49, 1572 (1979) В.В.Осинов, В.В.Савин. Изв.вузов, Сер.Физика, 24, 15 (1981)21

20. Н.Г.Басов, Э.М.Беленов, В.А.Данилычев и др. Препринт ФИАН, М.,58, (1972) 22

21. В А.Алейкин, В.Н.Баграташвили, И.Н.Князев и др., Квантовая Электроника, 1, 334, (1974).

22. A.H.M.Olberts. Optical and Quantum Electronics, 9, 536 (1977)24

23. М.Г.Галушкин, В.Г.Лякишев, В.И.Родионов и др. Тез. докл. Всес. конф.

24. Оптшса лазеров». Л., Изд-вс ГОИ, 1983, с. 56.25

25. Н.Н. Воробьев, М.Г. Галушкин, Е.П. Глотов и др. Квантовая электроника, 11, 1454(1984).26

26. С.В.Бардаковский, Н.М.Владимиров, В.П.Зарубин и др. Квантоваяэлектроника, 12, 622 (1985).27

27. Технологические лазеры. Справочник. Т.1/ Под ред. Г.А.Абильсиитова.1. М.: Машиностроение, 199128

28. И.В.Глухих, М.Н.Гордеева, А.И.Дутов, И.ЛЯчнев Квантовая Электроника, т. 18, №11, 1299 (1991)

29. Ю.В .Григорьев, Л.П.Шантурин ПТЭ, №2 187 (1978)

30. А.А.Бетин и др. "Обращение волнового фронта лазерного излучения в нелинейных средах", Минск,с.22 (1987)

31. А.И.Дутов и др. ЖТФ, 52, 654 (1982) ; J.H.Jacob et al. -J.Appl.Phys.,45,2609 (1974)

32. Справочник по лазерам под ред. А.М.Прохорова, т.1, "Сов.радио", М. (1978)

33. J.C.Comly et al. IEEE, J.QE, QE-17, 1786 (1981)

34. Н.Г.Басов и др. Труды ФИ АН Л16, 3 (1980)35

35. В.М.Громовенко и др. Тезисы докладов Всесоюзной конференции "Оптика лазеров", Л-д, с. 82 (1982)

36. Е.П.Глотов и др. Труды ФИАНЛ14, 3 (1983)м. 1. J Oder, D.K.Ahouse. Appl. Optics, 27, 673 (1975).38

37. V.G.Rooper, H.M.Lamberton, E.W.Parcell, A.W.Manley. Optics Comms, 45, 235 (1978).39

38. С.А.Димаков, Л.Н.Малахов, В.E.Шерстобитов, В.ПЛшуков. Квантовая электроника, 10, 397 (1983).

39. В.В.Боровков, В.Г.Корнилов, Б.В.Лаженцев, В.А.Нор-Аревян, Л.В.Суханов, В.И.Челпанов. Изв. АН СССР. Сер. физич., 51, 1276 (1987).41

40. А.И.Павловский, В.В.Боровков, В.Г.Корнилов, Б.В.Лаженцев, В.А.Нор-Аревян, Л.В.Суханов, В.И.Челпанов. Квантовая электроника,16, 1551 (1989).42

41. В.Е.Семенов, С.В.Федоров, М.С.Юрьев. Квантовая электроника, 13, 617(1986).43

42. R. W. O'Neil, Н. Kleiman, L. С. Margnet, С. W. Kilcline, D. В. Northam. Appl. Optics. 13, 314 (1974).44

43. Н. Granek, A. J. Morency. Appl. Optics, 13, 368 (1974).л r

44. Н.Г.Басов, В.А.Данилычев, В.Д.Зворыкин, И.А.Леонов, И.Г.Рудой,

45. A.M.Сорока, ДАН СССР, 283, 1177 (1985).46

46. И.В.Глухих, Д.А.Горячкин, А.И.Дутов, В.П.Калинин, И.М.Козловская,

47. B.Н.Чирков, В.Е.Шерстобитов, И.ЛЛчнев. Письма в ЖТФ, 13, 240 (1987).47

48. В.Н.Курзенков, Ю.А.Рубинов, В.Н.Соколов. Опт.-Мех. Пром, №10,8,1983

49. В.А.Данилычев, И.Б.Ковш, В.А.Соболев. Труды ФИАН, 116,98,198049

50. С.В.Федоров, М.С.Юрьев. Квантовая электроника, 10, 1001, 1983

51. Е.П.Глотов, В.А.Данилычев и др. Квантовая электроника, 5, 1924, 1978

52. R.L.Tailor, S.Bitterman. Rev.Mod.Phys., 41,26,1969

53. T.G.T.Winter. J.Chem.Phys.,38,2761,1963

54. C.B.Moorse, R.E.Wood, et al. J.Chem.Phys.,46,422,1967

55. G.C.Dente. Proc.SPlE,293,153, 1981.

56. И.В.Глухих, А.И.Дутов и др. Квантовая электроника, 18, №2, 214, 1991

57. J.D.L.H.Wood, P.R.Pearson, J.de Physique Al,swpp.W, p.C9-351,198057

58. А.С.Еременко, В.В.Любимов и др., Квантовая электроника, 12, №8, 1985

59. А.И.Авров и др., Письма в ЖТФ, 8, №21, 1323, 1982

60. M.JJoder, D.R.Ahouse. -Appl. Phys. Letts, v.27, № 12, 673 (1975).

61. С.В.Федоров, М.С.Юрьев. Тезисы докл. IV Всес. Конф, "Оптика лазеров". Л.,ГОИ, 1984, с. 152.

62. В.И.Беспалов, В.И.Таланов. Письма в ЖЭТФ, т.З, 471 (1966).

63. Б.Ф.Гордиец и др. Кинетические процессы в газах и молекулярные лазеры.-М.: Наука, 1980.63

64. М.Борн, Э.Вольф. Основы оптики. М.: Наука, 1970.

65. W.L.Nighan. Phys. Rev., v.A2, 1989 (1970); St.J.Kask,Ch.Cason. -J.Appl. Phys., T.44, № 4, 1631 (1975).

66. Л.Бергман. Ультразвук и его применение в науке и технике. М.: Изд.-во иностр. лит., 1957.

67. Физическая акустика. Т.2, ч.А / Под ред. У.Мэзона. М.: Мир, 1968.67

68. А.С.Еременко, В.В.Любимов, В.Е.Семенов и др. Квантовая электроника, т. 12, № 8,1705, (1985).

69. G.F.Fraizier,T.D.Wilkerson, J.M.Lindsay. Appl. Optics, v.15,1350 (1976).69

70. С.А.Димаков, А.Г.Пильменев, В.Ф.Петров и др. Квантовая электроника, т. 12, №6,1285, (1985).70

71. С.В.Федоров, М.С.Юрьев. Квантовая электроника, т.10, №5, 1001 (1983).

72. И.В.Глухих, А.И.Дутов и др. Письма вЖТФ, 16, 56, 199072

73. М.В.Волькенштейн. Молекулярная оптика. М.: ГИТТЛ, 1956, с. 744.73

74. Справочник химика. Т.1. М.: Химия, 1966, и. 1071; Д.Кей, 1.лэОи. Справочник физика экспериментатора. М.: ИЛ, 1949, с.299

75. R.K.Brimacombe, J.Reid, IEEE J. QE-19, 1668, 1983к

76. Landolt-Bornstein.Zahlenwerte und Funktioner aus Physik, Chemik,

77. Astronomik, Technik.2 Band, 8 Teil.- Berlin: Springer-Verlag, 1962, s.901. 76

78. Л.В.Ковальчук, А.Ю.Родионов. Оптика и спектроскопия, 65, 1317, 198877

79. М.С.Юрьев. Оптика и спектроскопия, 62, 136, 198778

80. И.В.Глухих, М.Н.Гордеева и др. Квантовая электроника, 18, 1299, 199179

81. В.Г.Бородин, К.П.Бахманин, В.Н.Веснин, А.А.Артемов, С.В.Красов, С.Л.Потапов, А.В.Чарухчев

82. Оптические системы для исследования атмосферы //Оптический журнал. 1999. Т.66, №11. С.47-50 80B.J.Feldman, IEEE, QE-9, 1070 (1973)

83. Ю.И.Бычков и др., ЖТФ, 44, 803 (1974)

84. Ю.И.Бычков и др., ЖТФ, 49, 1572 (1979)83

85. В.В.Осипов и др., Изв. Вузов, Сер. Физика, 24, 15, (1981)84

86. Н.Г.Басов, Э.М.Беленов, В.А.Данилычев и др. Препринт ФИАН, М.,1972, № 58.85

87. В. А. Алейкин, В. Н. Баграташвили, И. Н. Князев и др. Квантовая электроника, 1, 334 (1974).

88. А. Н. М. Olberts. Optical and Quantum Electronics, 9, 536 (1977).87

89. Витшас Л.Н., Наумов В.Г., Письменный В.Д. и др. Спектрально-временные характеристики импульсного электроионизационного С02 лазера с криогенным охлаждением рабочейсреды //Квантовая Электроника. 1990. Т.17, №8. С.982

90. Витшас Л.Н., Наумов В Г Письменной В.Д. и др.

91. Управление спектральным составом излучения С02-лазера атмосферного давления с длительностью импульса 40мкс //Квантовая Электроника. 1990. Т. 17, №1. С.6089

92. М. Г. Галушкин, В. Г. Лякишев, В. И. Родионов и др. Тез. докл. Всес. конф. «Оптика лазеров». Л., Изд-во ГОИ, 1983, с. 56.

93. С. Freed, L. С. Bradley. R. G. 0' Donnell. IEEE J. QE-16, 1195 (1980).91

94. A. H. Зайдель, Г. В. Островская, Ю. И. Островский. Техника и практика спектроскопии. — М.: Наука, 1976.

95. А. И. Дутов, В. Н. Николаев, В. А. Пивовар, М. С. Юрьев. Изв. АН СССР.

96. Сер. Физич., 45,403 (1981).93

97. А. Л. Микаэлян, М. Л. Тер-Микаэлян, Ю. Г. Турков. Оптические генераторы натвердом теле. — М.: Сов. радио, 1967.94

98. Н.Н. Воробьев, М.Г. Галушкин, Е.П. Глотов и др. Квантоваяэлектроника, 11, 1454(1984).95

99. C.B. Бардаковский, Н.М. Владимиров, В.П. Зарубин и др. Квантовая электроника, 12, 622 (1985).

100. Б.Ф. Гордиец, А.И. Осипов, Е.В. Ступоченко. JI.A. Шелепин. УФН, 108,655 (1972).97

101. С.Т. Корнилов, С.Н. Чириков. Газовые лазеры. —М.: Энергоатомиздат,1983, с. 57.98

102. A.Н. Писарчик. Тез. докл. конф. молодых специалистов. — Л.: ГОИ им.

103. С. И. Вавилова, 1986, с. 196.99

104. B.О. Петухов, H.H. Сажина, B.C. Старовойтов и др. Квантовая электроника. 12,416(1985).

105. А.Б. Бахтадзе, В.М. Вецко, H.H. Воробьева и др. Квантовая электроника, 13, 5 (1986).

106. Е.П.Глотов, В.А.Данилычев, В.Д.Зворыкин и др. Квантовая электроника, 7, 630 (1980).102Град А.Г. Препринт НИИЭФА К-0824 М.: ЦНИИатоминформ, 1990.

107. Молчанов А.Г. // Труды ФИАН. Т. 171. М.: Наука, 1986.

108. Лакоба И.О., Сыцько Ю.И., Якубцева Е.Д. // Труды ФИАН. Т. 148. М.; Наука, 1984.