Исследование столкновительных и диффузионных процессов при ионной имплантации тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

I. МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПУТЕМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ эксперимент, теория , компьютерное моделирование).

1.1. Рассеяние ионов поверхностями твердых тел.

1.1.1. Энергетические спектры обратнорассеянных ионов.

1.1.2. Влияние состояния поверхности на вид спектров обратнорассеянных ионов.

1.1.3. Влияние температуры мишени на характер энергетического распределения обратнорассеянных ионов.

1.1.4. Угловые спектры отраженных ионов.

1.1.5. Изучение поверхности с помощью отраженных ионов.

1.2. Распыление поверхностей твердых тел

1.2.1. Теоретические модели ионного распыления однокомпонентных твердых тел.

1.2.2. Теоретические модели распыления многокомпонентных мишеней.

1.3. Радиационно-стимулированная диффузия и сегрегация.

1.3.1. Механизмы радиационно-стимулированной диффузии и сегрегации.

1.3.2. Механизмы равновесной сегрегации.

1.3.3. Связь селективного распыления с сегрегацией с сегрегацией и примесно-стимулированная сегрегация.

1.3.4. Влияние сопутствующих факторов на явление сегрегации.

1.4. Теоретическое описание поведения макровключений.

1.5. Механизмы облегченной аморфизации при ионной имплантации.

1.6. Влияние аморфной структуры мишени на процессы сопутствующие ионной имплантации.

1.7. Машинное моделирование ионной имплантации.

Выводы главы.

II. МЕТОДЫ КОМПЬЮТЕРНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПРОЦЕССОВ, СОПРОВОЖДАЮЩИХ ИОННУЮ ИМПЛАНТАЦИЮ.

2.1. Компьютерные программы основанные на приближении парных столкновений.

2.1.1. Потенциалы взаимодействия.

2.1.2. Длина свободного пробега.

2.1.3. Учет неупругих потерь энергии.

2.1.4. Определение сорта атома-партнера.

2.1.5. Параметры столкновения.

2.1.6. Расчет траектории.

2.1.7. Сечение упругого взаимодействия.

2.1.8. Условие остановки атома.

2.1.9. Пределы применимости приближения парных столкновений.

2.1.10. Влияние неучета квантовых эффектов при описании взаимодействия атомов.

2.2. Метод молекулярной динамики (ММД).

2.3. Решение диффузионных уравнений.

Выводы главы.

III. КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЗАДАЧ ОБРАТНОГО РАССЕЯНИЯ.

3.1. Учет функции радиального распределения в методе Монте-Карло при решении задач обратного рассеяния ионов.

3.2. Применение метода Монте-Карло к анализу спектров обратнорассенных ионов.

Выводы главы.

IV. ЗАВИСИМОСТЬ ВНЕДРЕННОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАНТА ОТ ПЛОТНОСТИ

ИОННОГО ПОТОКА.

4.1. Экспериментальные данные и их обсуждение.

4.2. Результаты компьютерного моделирования.

4.3. Теория движения макроскопических включений в кристаллических телах.

4.4. Построение математической модели.

4.5. Результаты модельных расчетов.

4.6. Обсуждение предложенной модели.

Выводы главе.

Актуальность темы. Изучение взаимодействия потока энергетических частиц (в том числе и ионов) с поверхностью твердых тел вызывает возрастающий с каждым десятилетием научный интерес. Этот интерес прежде всего определяется открывающимися возможностями в области модификации свойств материалов, т.к. состояние поверхности определяет многие свойства вещества (прочность, износостойкость, коррозийную стойкость, пластичность и т.п.). Изучение фундаментальной стороны этой проблемы - исследование процессов сопровождающих радиационное облучение поверхности; выявление особенностей и закономерностей в этих процессах - позволяет создавать новые методы исследования поверхностей твердых тел, а так же заниматься прогнозированием последствий влияния радиационного воздействия на вещество. Особое место в ряду модифицирующих поверхность методов занимает ионная имплантация (ИИ). ИИ является основой технологических процессов, позволяющих получать материалы с уникальными поверхностными свойствами.Возможности практического использования ИИ описываются в обзорах [1,2,3,4,5].

Несмотря на существование развитых теоретических представлений о процессах сопровождающих ИИ и наличие большого числа эмпирических зависимостей физика процессов при ИИ до конца не ясна. Так, например, совершенно не изучено влияние плотности ионного тока на процессы, сопровождающие ИИ и модификацию физико-химических свойств облучаемого вещества. Слабо изучено влияние температуры мишени на процессы (столкновительные и диффузионные), сопровождающие ИИ. Это объясняется .видимо, во-первых, скудостью экспериментальных данных, касающихся этой проблемы и , во-вторых, трудностями в объ

- 6 яснении предложенных зависимостей на основе наиболее развитых в настоящее время теорий.

В настоящее время существует ряд теоретических подходов, позволяющих описывать процессы при ИИ. Наиболее точным в количественном и качественном отношении является подход основанный на применении "статических" Монте-Карловских компьютерных программ, работающих в рамках столкновительных моделей. Однако даже такой прогрессивный подход не позволяет объяснить ряд экспериментальных фактов. Кроме того, несмотря на то, что доказана возможность применения Монте-Карловских программ для расшифровки различных спектров отраженных и распыленных частиц и дальнейшего определения состава и структуры поверхности твердого тела, такой подход пока довольно слабо развит. Поэтому целесообразно и далее развивать вышеописанный подход.

Монте-Карловские программы оказываются несостоятельными для описания тепловых каскадов и постетолкновительных процессов. Поэтому для понимания механизмов таких процессов используются молеку-лярно-динамические программы. Недостатком таких программ являются, прежде всего, большие затраты машинного времени, что ограничивает их область применимости малым числом атомов и малыми временными глубинами. Кроме того, под сомнением находиться адекватность получаемых таким образом результатов. Дело в том, что большинство известных молекулярно-динамических программ описывает взаимодействие между атомами посредством потенциала парных столкновений, что априори приемлемо только для процессов, описываемых столкновительной моделью. Для более сложных многочастичных процессов такой подход каждый раз требует детального обоснования. Программы нового поколения, использующие, так называемый, многочастичный потенциал пог

- 7 руженного атома используют необоснованные приближения о распределении электронной плотности.

Вышесказанное позволяет сделать вывод о необходимости применения комплексного подхода к изучению ИИ (особенно высокодозной). Такой подход на входе должен иметь экспериментальные данные, на основании предварительного анализа которых строится план действий. Методы компьютерного эксперимент, в рамках такого подхода, необходимы для выявления микроскопии механизмов и расчета некоторых физических величин. Конечным этапом данного подхода должно являться построение соответствующей физико-математической модели, получение на ее основе результатов , которые опять же сравниваются с экспериментальными данными. Следует подчеркнуть особую роль отводимую в данном подходе компьютерному эксперименту. Многообразие компьютерных методов может позволить детально исследовать физические процессы на различных временных и пространственных уровнях, в том числе и недоступных эксперименту. Это позволит выявить новые микромеханизмы различных процессов, а так же более обоснованно использовать микромеханизмы выдвигаемые в качестве гипотезы при построении физико-математической модели. Кроме того, правильное использование компьютерных методов позволит установить связи между столкновительными и диффузионными процессами, исследовать переходы между ними и отдельно вклады каждого из них. Таким образом, компьютерный эксперимент должен являтся дополнительным основанием для построения физико-математической модели, дополнительным подтверждением ее легальности, должен служить уменьшению числа степеней свободы модели. Подобное комплексное изучение проблемы позволит четко оценить вклад того или иного процесса в ИИ, выявить новые механизмы, учесть все стадии ИИ имплантации вплоть до сегрегацион

- 8 ных процессов даже в аморфных телах.

В связи с изложенным цель работы состояла в следующем: - выявление микромеханизмов столкновительных и диффузионных процессов в металлах при ИИ и их зависимость от параметров ионного облучения.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи :

- анализ экспериментальных данных, отражающих зависимость процессов при ИИ от параметров ионного облучения;

- создание и апробация пакета компьютерных программ, моделирующих процессы при ИИ на всех временных и пространственных уровнях;

- выявление микроскопических механизмов, ответственных за развитие процессов обратного рассеяния, распыления, перераспределения компонент, сопровождающих ионную имплантацию;

- разработка в рамках комплексного подхода физико-математических моделей первичных процессов взаимодействия иона-имплантанта с веществом и вторичных процессов, обусловливающих миграцию компонент и дефектов;

- исследование влияния скорости набора дозы при имплантации ионов металлоидов в аморфизирующиеся системы на основе железа на формирование химического состава поверхностных слоев.

Научная новизна работы заключается в разработке физико-математических моделей процессов при ионной имплантации и характеризуется рядом впервые полученных результатов, представляющих теоретическую и практическую ценность для развития теории ионной имплантации. Кроме того, предложенное при разработке Монте-Карловской программы распределение вероятности длины свободного пробега при

- 9 дает работе и чисто методическую ценность. В частности исследовано:

- структура энергетических спектров обратнорассеянных ионов для одно- и многокомпонентных мишеней;

- влияние температуры мишени на процессы при ИИ;

- влияние плотности ионного тока на процессы при ИИ;

- механизмы миграции кластеров в аморфизованных слоях сплавов Ре-В;

-. механизмы образования аморфной фазы в верхних слоях облучаемой мишени;

- влияние плотности ионного тока на профили распределения компонент мишени и внедренной примеси;

При этом на защиту выносятся следующие модели и программы:

- пакет программ ВАМ, в котором перенос ионов и вторичных атомов моделируется методом Монте-Карло в приближении парных столкновений;

- модель, описывающая зависимость параметров обратнорассеянных ионов от температуры мишени и других параметров ИИ;

- модель перераспределения компонент аморфной мишени в условиях ИИ и после ее прекращения; а так же на защиту выносятся следующие научные положения:

- форма энергетических спектров обратнорассеянных ионов зависит от состояния поверхности в частности ее структуры и степени шероховатости, учет которой частично можно произвести при помощи предложенного распределения вероятности длины свободного пробега;

- от выбора вида распределения вероятности свободного пробега существенно зависят результаты расчетов Монте-Карловских программ;

- зависимость параметров обратнорассеянных ионов от темпера

- 10 туры мишени объясняется конкуренцией процессов отжига дефектов и дефектообразования при ИИ;

- явление блокировки выхода обратнорассеянных ионов одной из компонент связано с энергетическими потерями на данном сорте атома, а не с его размерами;

- атомы металлоида в аморфизованных слоях сплавов на основе железа входят в состав металл-металлоидных кластеров;

- закон миграции таких кластеров может быть получен в рамках теории движения макроскопических включений;

- влияние плотности ионного тока на вид профилей распределения компонент мишени и внедренной примеси возможно вследствии особого механизма миграции атомов металлоида в разупорядоченных слоях системы металл-металлоид.

Практическая значимость.

Проделанная работа показала, что использование метода Монте-Карло в сочетании с экспериментальными методами позволяет исследовать структуру и состав облучаемой мишени.

Предложенный механизм зависимости характеристик отраженных ионов от температуры мишени позволяет получить хорошее качественное и количественное согласие теории с экспериментом. Позволяет оценить вклад в данный эффект всех параметров ионного излучения.

Предложенный механизм миграции атомов бора и фосфора, позволяет иначе взглянуть на процессы перераспределения компонентов в неравновесных металлических системах при ИИ, что может быть использовано при разработке технологий их получения и применения.

Апробация результатов.

Основные результаты работы докладывались на: IV Всесоюзной конференции "Проблемы исследования структуры аморфных материалов"

- 11

Ижевск,1993 г.), Конференции "Пучки заряженных частиц и их применение" (Уфа-39, 1994 г.), XXXVII Постоянном международном семинаре по компьютерному моделированию дефектов структуры и свойств конденсированных сред "Роль сил межатомного взаимодействия при структурных переходах (моделирование на ЭВМ)" (Ижевск, 1994 г.), IV Всероссийской конференции по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц (Томск, 1996 г.), Международной конференции "Микромеханизмы пластичности, разрушения и сопутствующих явлений" (Тамбов, 1996 г.), XIII Международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью" (Звенигород, 1997 г.), IV Межгосударственном семинаре "Структурные основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий" (Обнинск, 1997 г.), XIV Уральской школе металловедов-термистов "Фундаментальные проблемы физического металловедения перспективных материалов" (Ижевск-Ека-тиренбург, 1998 г.), IV Всероссийском семинаре "Физические и физико-химические основы ионной имплантации" (Нижний Новгород, 1998 г.).

Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы из 134 наименований, изложена на 1&Ц страницах, включая 46 рисунков и 5 таблиц.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ И ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ.

Таким образом, в данной работе всесторонне исследовано явление зависимости внедренной дозы ионов металлоида при их имплантации в аморфизирующиеся системы на основе железа от скорости набора дозы. Изучение данного явления проводилось в рамках комплексного подхода который заключался в использовании разнообразных методов исследования (анализ экспериментальных данных, проведение компьютерных экспериментов, построение и анализ физико-математической модели). При этом были охвачены все временные и пространственные интервалы в которых развиваются процессы способные повлиять на исследуемое явление. Для реализации комплексного подхода была разработана программа ВАМ моделирующая столкновительные процессы в рамках метода Монте-Карло. При этом были изучены процессы характерное время протекания которых лежит в пределах от 10"17-10"14 с. Использование метода молекулярной динамики позволило исследовать процессы временной интервал которых ограничен 10"14-10"9 с. Решение диффузионных уравнений полученных при построении физико-математической модели явления и экспериментальные данные охватили временной интервал от 10"9 до 103 с.

В итоге был выработан механизм миграции атомов металлоида в аморфных системах на основе железа. Суть механизма можно сформулировать в виде нескольких утверждений:

- столкновительные процессы не являются определяющими для данного явления;

- температура поверхности и степень загрязнения поверхности слабо влияют на указанное явление;

- 149

- атомы металлоида в аморфном теле мигрируют в составе железо-металлоидных кластеров;

- скорость и направление миграции определяется наличием градиента дефектов и напряжений и подчиняется теории макроскопических включений;

- аморфизирующиеся системы на основе железа склонны к накоплению аномально высокой концентрации квазивакансий (в сравнении с кристаллами);

- градиентные поля заставляют "убегать" указанные кластеры от поверхности образца ("эффект убегания");

- с увеличением плотности ионного тока при ИИ скорость распыления поверхности растет быстрее, чем скорость "убегания" кластеров, что и приводит в конечном итоге к уменьшению числа внедренных ионов с ростом плотности ионного тока.

Указанный Механизм положен в основу физико-математической модели, результаты расчета по которой хорошо сочетаются с экспериментальными.

Попутно, при исследовании влияния столкновительных процессов были получены следующие результаты, так же, обладающие научной новизной и ценностью:

- зависимость числа отраженных ионов от температуры мишени определяется конкуренцией процессов дефектообразования при ИИ и отжига дефектов;

- зависимость числа отраженных ионов от плотности ионного тока,

- явление экранирования объясняется разницей масс атомов мишени , а не их размерами.

Кроме того, получен ряд результатов интересных с методической

- 150 точке зрения:

- модифицирован метод Монте-Карло в области расчета свободного пробега ионов;

- модифицированное распределение позволило получить так называемый поверхностный пик не получаемый ранее в рамках метода Монте-Карло и позволило объяснить ряд физических явлений;

- показана возможность применения Монте-Карловских программ для расшифровки экспериментальных данных, связанных с исследованием состава и структуры поверхности.

1. X. Риссел, И. Руге. Ионная импантация: Пер. с нем./ Под ред. М.И. Гусевой.-М.: Наука. Гллавная редакция физико-математической литературы, 1983. 360 с.

2. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып I. Пер. с англ. / Под ред. Бериша. -М. : Мир, 1984. 336 е., ил.

3. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. II. Пер. с англ. / Под ред. Бериша.-М.: Мир,1986.-488 е., ил.

4. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ./ Сост. Е.С.Машкова.-М.: Мир, 1989.-349 е., ил.

5. Курнаев В.А., Машкова Е.С., Молчанов В.А. Отражение легких ионов от поверхности твердого тела. М.: Энергоатомиздат, 1985. 192 с.

6. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла: Пер. с англ. М.: Мир, 1967. 506 с.

7. Петров H.H., Аброян И.А. Диагностика поверхностей с помощью ионных пучков. Л.: ЛГУ, 1977. 60 с.

8. Мирнов C.B. Физические процессы в плазме токамака. М.: Энергоатомиздат, 1983.184 с.

9. Черепин В.Т. Ионный зонд. Киев: Наукова думка, 1981. 327 с.

10. Машкова Е.С., Молчанов В. А. Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел. М.:Атомиздат, 1980.-256 с.

11. И. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика: Учеб. пособие, в 10-ти т. T.I. Механика.-4-е изд., испр.-М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1988. -216с. ISBN 5-02-013850-9 (т.I) 12. Дине Дж., Винйард Дж. Радиационные эффекты в твердых телах.- 152

12. Пер. с англ. М.: Мир, 1960. 213 с.

13. Мейер Дж., Эриксон JI., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников. Пер. с англ. М.: Мир, 1973. 283 с.

14. Курнаев В.А. Исследование потока рассеянных частиц при взаимодействии легких частиц с твердым телом. Дис. на соискание уч. степ. канд. физ.-мат. наук. М.: МИФИ, 1974. 143 с.

15. Жабрев Г.И., Курнаев В.А., Никифорова Е.С., Тельковский В.Г. -.В кн. Взаимодействие атомных частиц с веществом. 4.1. Харьков, 1976, с. 54-57.

16. Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом. Пер. с англ.-М.: высш. шк. ,1994.-752 е.: ил.

17. R. С. McCune& Chemicsl effects In ion scaterring spectroscopy. //J. Vac.Sci.Techno1., 18(3), April 1981, pp. 700-708.

18. D.A. Thompson. High Density Cascade Effects. // Radiation Effects, 1981, Vol-. 56, pp. 105-150.

19. Томпсон M. Дефекты и радиационные повреждения в металлах. Пер. с англ. М.: Мир, 1973. 246 с.

20. Жуков В.П., Болдин А.А. Континуальное описание эволюции каскадов атомных столкновений в твердых телах. В сб. научных трудов "Моделирование на ЭВМ радиационных дефектов в металлах." Изд. ФТИ им. А.Ф.Иоффе: Ленинград. 1990, с. 166-182.

21. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. III. Пер. с англ./Под ред. Бериша.-М.:Мир, 1988. 378 е., ил.

22. Roger Kelly. The surface binding energy in slow collisional sputtering. //Nucl. Instr. and Phys. Research, B18, 1987,pp. 388-398.

23. D.E.Harrison, Jr. , M.M.Jakas. Simulation of the atomic collision cascade. //Rad. Eff.,1986, vol. 99, pp. 153-169.- 153

24. R.P.Webb, D.E.Harrison,Jr. Bombardment induced cascade mixing and the importance of post-cascade relaxation. //Nucl. Instr. and Meth. in Phis. Researh, 218, 1983, pp. 697-702.

25. Гусева М.И., Мартыненко Ю. В., Рыбалко В. П. Поверхностные эффекты при облучении. //Вопросы атомной науки и техники. Физ. рад. повреждений и материаловедение. Харьков, 1981, вып.4(8), с.35-41.

26. W.L. Patterson, G.A.Shirm, The spattering of Nickel-Chromium alloys. //Vac.Sci. and Thechnol., 1987, v.4, pp.343-346.

27. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М.: Металлургия, 1990, 216 с.

28. Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Мн.: Изд-во БГУ, 1980.-352 е., ил.

29. Городецкий С.Д. Сегрегация в поверхностных слоях на основе никеля (обзор). //Металлофизика. Т. 15, N 7. 1993. с. 46-83.

30. Васильев М.А., Шалаев A.M. Радиационная и термостимулированная поверхностная сегрегация (обзор). //Металлофизика, 1988, т. 10, N2, с. 64-77.

31. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками. /Под ред. Дж. М. Поутта и др.; Пер. с англ. -М.: Машиностроение, 1987, 424 е., ил.

32. Н. Windersich, P.R. Okamoto, N. Q. Lam. A theory of radiation-induced segregation in concentrated alloys. // J. of Nucl.Mat., 83, 1979, pp.98-108.

33. Ионная имплантация и лучевая технология. /Под ред. Вильямса Дж. С., Поута Дж.М.: Мир, 1986, ч. 2, 489 с.

34. Васильев М.А., Шалаев A.M. Радиационная и термостимулированная поверхностная сегрегация (обзор). // Металлофизика. Т. 10,N 2,- 154 1988, с.62-77.

35. Handorf V. Diffusion in metals and alloys uvder irradiation. // J.Rad.Phys. В., v. 6, N18, pp. 2925-2986.

36. Ho P.S. Effects of enhanced diffusion on preferred sputtering of homogeneous alloy surface. //Surface Sci., 1978, v. 72, pp. 253-263.

37. Sigmund R.J. The effect of radiation upon diffusion in metals. //J.Nucl.Mater.,1978,N65-70, pp.386-412.

38. A.D.Marwick, R.C.Piller. Modification jf implant profiles in nickel by radiation-enhanced diffusion and segregation.//Radiation Effects, 1980, Vol.47, pp. 195-202.

39. A.D.Marwick. Segregation in irradiated alloys: The invers Kir-kendall effect and the effect of constitution on void swelling. //Phys. F: Metal Phys., Vol . 8. No. 9, 1978, pp. 1849-1861.

40. A. D. Marwick, R.C. Piller, P.M. Sivell. Mecanism of radiation-induced segregation in dilute nickel alloys. //J. Nucl. Mat. 83(1979), pp.35-41.

41. Phase transformations during irradiation. Edited by Frank V. Nolfi.Jr. -London and New-York, Applied science publishers. 1981. 363 p.

42. Я.Е. Гегузин, M.А. Кривоглаз. Движение макроскопических включений в твердых телах. -М.: Металлургия, 1971, 344 с.

43. Yee S.Ng., Melan S.B.Yr., Tsong Т.Т. Surface segregation of a NiCu alloy as studies by a computerazed atom-probe FIN. //J. Vac. Sci. and Tech., 1980, v. 27, pp. 154-158.

44. Hamilton J.C. Predichion of surface segregation in binary alloys lesing bulk alloy varides. //Phys. Red.Lett. 1979, v. 42, pp. 989-992.- 155

45. Abraham F.E., Brundle R. Surface segregation in binary solid "solution: A theoretical and experimental perspectiv. //J. Vac. Sci. and Techn., 1981, v.18, pp.509-519.

46. Okamoto P.R., Rech L.E. Radiation-induced segregation binary and fornary alloys. //J.Nucl.Mat.,1979, v. 83, pp.723-740.

47. Johunson B.H., Law N. Q. Y. Solute segregation under irradiation. //J.Nucl.Mater., 1978, v.69, pp. 424-433.

48. И.А.Ахиерез, СпельникЗ.А. Об устойчивости металлических стекол. //ФТТ, 1983, т. 2, N 6, с. 1677-1630.

49. Marwick A.D., Kennedy W.A., Mozey P.J. at all. Segregation of nickel to voids in an irradiation high-nickel alloys. //Scr.Met., 1978, v. 12, Til, pp. 1015-1020.

50. Andersen Н.U., Stenum В., SorensenT., Whitlow H.Y. Sursafe segregation during alloy sputtering ■ and implantation. //Nucl.Jnst.and Meth., 1983, v.209/10, pp. 487-494.

51. Schimura S., Shicata M., Shimizi R. Observation of surface segregation of sulphur in Cu-Ni alloys at elevated tempereture with scanning Auger electron microscope. //Surface Sci. Lett., 1981, V. 108, pp. 393-398.

52. Yabumoto M., Kakibayaski H., Mobri M. at all. An Auger electron spectroscopy-secondary ion mass spectrometry stady of layers of Cu-Ni and Ag-Au alloys modified by bombardment. //Thin Solid- 156

53. Films, 1979, v. 63, pp. 263-268.

54. Piller К.C., Marwick A.D. The radiation-Induced redistribution of silicon in nicel. //J.Nucl.Mater., 1978, N71, pp.309-313.

55. Величко О.И. Расчет значений предельных доз имплантации в условиях радиационно-стимулированной диффузии внедряемой примеси. //Поверхностьб 19856 N1, с.85-87.

56. Любов Б.Я. Диффузионные изменения дефектной структуры твердых тел. М.:Металлургия, 1985, 207 с.

57. Глезер A.M., Молотилов Б.В. Структура и механические свойства аморфных тел.-М.:Металлургия, 1992, 208 с.

58. Бокштейн Б.С., Клингер Л.М., Уварова Е.Н. Диффузия в аморфных металлических сплавах. //Аморфные металлические сплавы. Научн. труды N 147. -М.: Металлургия, 1983, с.81-86.

59. Баянкин В.Я., Никитин А.В., Федотов А.Б. Влияние дозы имплантации на состав и структуру поверхностных слоев стали. //Высокочистые вещества, 1993, N6, с. 141-147.

60. Никитин А.В., Федотов А.Б., Баянкин В.Я. Формирование ион-но-имплантированных слоев стали. //Высокочистые вещества, 1995, N3, с. 147-152.

61. Polk D.E. Structural model for amorphous metallic alloys. //Scr.Met., 1970, v.4, pp. 117-120.

62. Bennett I. W., Polk D.E., Turubull. Role of composision metallic glass formation. //Acta Met., 1971, v.19, N 12, pp. 1295-1298.

63. Polk D.E. The structure of glassy metallic alloys. //Acta Met., 1972, v.20, N4, pp. 485-490.

64. Warlimont U. Aufban und eiqenschaften metallischer glasser. //Z.Metall., 1978, v.69, N1, pp. 120-125.

65. Stepanyuk V.S., Szasa A., Katsnelson A.A. Yrushin O.S. On the- 157 characteristic structeral clustering in metal-metalloid amorphous sistem. //J.Non-Crys. Sol., 1991, 130, N3, pp.311-318.

66. Bratkovsky A.M., Smirnov A.V. Local order and XAFS spectra of metal-metalloid glasses. //J.Phys.: Condens Metter, 1991, 3, N27, pp. 5153-5161.

67. Yshmaev S.N. Direct evidence for B-B conteet in amorphous Ni2B atom High-resolution neutron diffraction. //J. Non-Cryst. sol., 1987, 94, N1, pp.11-21.

68. Мирошниченко И.С., Салли И.В. к вопросу о строении железных расплавов при больших переохлаждениях. //Изв.АН СССР, Металлургия и топливо, 1961, N 3, с. 130-131.

69. Helen L., Jen U.L., Meddin К. Cristallization of amorphous Fe-P-C alloys. //Met.Trans., 1979, v.10A, N7, pp. 771-781.

70. Данилов И.А. Строение и кристаллизация жидкости. //Изв. АН СССР, 1956, 566с., ил.

71. Chen U.S. Glass temperature and stability of Fe, Co, Ni, Pd, Pt based glasses. //Met.Sci.Eng., 1976,- v.23, N11, pp. 151-154.

72. Васильев В.Ю., Кузьменко Т.Г., Баянкин В. Я. и др. Особенности электрохимического поведения сплавов на основе железа после имплантации ионов металлоидов. //Защита металлов, 1987, т.XXIII, N3, с. 487-190.

73. Павлов П.В., Курильчик Е.Л. Взаимодействие железа с имплантированным в кремний фосфором. //Тр. IV Всесоюзной конференции "Взаимодействие атомных частиц с твердым телом", Харьков, 1976, с. 20-24.

74. Васильев В.Ю. О причинах различной пассивируемости аморфных сплавов железа. //Защита металлов, 1983, т. 19, N 3, с. 382-387.

75. Pedraza D.F., Mansur L.K. The effect of point defects in the- 158 amorphization of metallic alloys during ion implantation. //J. Nucl. Inst, and Meth.Phy. Res., 1986, v.B16,N2-3, pp. 203-211.

76. Meyers S.M., Picraux S.T. Radiation-hanced diffusion during high-temperature ion implantation. //J.Appl.Phys., 1975, v.46, pp. 4774-4776.

77. Баянкин В.Я., Никитин A.B., Гусева М.И. Влияние плотности потока ионов металлоидов на формирование состава и структуры поверхностных слоев ионно-имплантированной стали. //ФизХом,1994, N1, с.46-50.

78. Курнаев В.А., Сотников В.М. О возможности оценки параметров энергетических спектров отраженных частиц из анализа их интегральных характеристик. //Поверхность. Физика, химия, механика, 1983, N5, с. 43-48.

79. Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела: Пер. с англ.-М: Мир, 1995.-321 е., ил.

80. Сотников В.М. Оценка влияния шероховатости на энергетический профиль обратнорассеянных ионов. //Физика плазмы, 1981, т. 7, с. 431-436.

81. Евстифеев В.В.,И.В.Иванов. Известия АН СССР, сер. физ., т. 54, N7, 1990, с. 1244-1246.

82. Заставнюк В.В., Теплов C.B. Моделирование механизма обратного рассеяния ионов средних энергий применительно к анализу структуры поверхности твердого тела. //Поверхность, 1994, N6, с. 113-116.- 159

83. F. Karetta, H.M. Urbassek. Molecular-dynamics simulation of bulk and sursafe damage production in low-energy Cu-Cu bombardment. //J.Appl.Phys. , 71(11), 1992, pp. 5410-5419.

84. Nghi Q. Lam, K. Johannessen. Physical sputtering of Cu-Ni alloys: a molecular dinamics study. //Nucl.Instr. and Meth. in Phys. Res., B71, 1992, pp. 371-380.

85. R. P. Webb, D.E.Harrison,Jr. A computer simulation of high energy density cascades. //Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res., B2,1984, pp. 660-665.

86. H.H. Andersen. Computer simulations of atomic collisions in solids with special emphasis on sputtering. //Nucl. Instr. and Meth, in Phys. Res., B18, 1987, pp. 321-343.

87. Кирсанов В.В., Суворов А.П., Трушин Ю.В. Процессы радиационного дефектообразования в металлах.-М.: Энергоатомиздат, 1985, 272с.

88. Абдрашитов В.Г., Рыжов В.В. Оптимальные режимы активации поверхности методом ионной имплантации. //Поверхность. Физика, химия, механика, 1989, N 7, с. 148-150.

89. Абдрашитов В.Г., Рыжов В.В. Высокодозовая ионная имплантация поверхностей сложной формы. //Физика и химия обработки материалов, 1990, N6, с. 19-21.

90. Пугачева Т.С. Моделирование на ЭВМ каскадного перемешивания в многокомпоннентных материалах. В сб. науч. трудов. "Моделирование на ЭВМ радиационных дефектов в металлах". Ленинград, изд-во ФТИ им. Иоффе, 1990, с. 183-200.

91. Кирсанов В.В., Орлов А.Н. Моделирование на ЭВМ атомных конфигураций дефектов в металлах (обзор). //УФН, т.142, вып.2, 1984, с. 219-204.

92. Волынцев А.Б. Наследственная механика дислокационных ансамб- 160 лей. Компьютерные модели и эксперимент. -Иркутск: Изд-во Иркут. ун-та, 1990, -288с.

93. БокштейнБ.С. Диффузия в металлах. -М.:Металлургия, 1978, 248 с.

94. V.G. Chudinov, V.I. Protasov, 0.A.Zalukovskaya. Possible mechanism of homogeneous nucleation, growth and annealing of interstitial-type dislocation loops in pure FFC metals. //Rad. Effects, 1987, v. 109, pp.198-204.

95. V.I. Protasov, V.G. Chudinov. Kinetic of the diffuse processes within cascade region at the subthreshold stages. //Rad. Effects, 1984, v.83, pp.185-196.

96. Базаров И.П., Геворкян Э.В., Николаев П.Н. Неравновесная термодинамика и физическая кинетика. -М.: Изд-во МГУ, 1989, 240 с.

97. J. P. Biersack, L.G.Haggmark. A Monte-Karlo computer program for the transport of energetic ions in amorphous targets. //Nucl. Instr. and Meth., 174, 1980, pp. 257-269.

98. J. P. Biersak, J.F.Ziegler. Refined universal potentials in atomic collisions. //Nucl. Instr. and Meth., 194, 1982, pp.93-100.

99. D.E. Harrison, Jr., M.M. Jakas. Simulation of the atjmic collision cascade. //Rad. Effects, 1986, v. 99, pp. 153-169.

100. Фирсов О.Б. Энергия взаимодействия атомов при малых расстояниях между ядрами. //ЖЭТФ, 1957, т. 32, вып. 6, с. 1464-1470.

101. Фирсов О.Б. Вычисление потенциала взаимодействия атомов. //ЖЭТФ, 1957, т. 33, вып. 3(9), с. 696-700.

102. Фирсов О.Б. Качественная трактовка средней энергии возбуждения электронов при атомных столкновениях. //ЖЭТФ, 1959, т. 36, вып. 5, с. 1517-1524.

103. Фирсов О.Б. Рассеяние ионов на атомах. //ЖЭТФ, 1958, т.34,- 161 вып. 2, с. 447-453.

104. Хеерман Д.В. Методы компьютерного эксперимента в теоретической физике. Пер. с англ. М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1990, 176 с.

105. Ландау Л.Д., Лифщиц Е.М. Теоретическая физика: Учеб. пособие. Т.1. Механика.-М: Наука, гл. ред. физ.-мат. лит., 1988, 216 с.

106. Голдстейн Г. Классическая механика. М: Наука, 1975, 248 с.

107. Robinson М.Т. Tables of classical scattering integrals, U.S. Atomic Energy Commision, Report ORNL-4556, 1970, p. 443.

108. Бор H. Прохождение атомных частиц через вещество. М.: ИЛ, 1950, 456 с.

109. Чудинов В.Г., Нургаянов P.P., Ладьянов В.И. Влияние особенностей сил межатомного взамодействия на склонность к аморфизации сплавов металл -металлоид. //Физика и химия стекла, 1996, т. 22, N 3, с. 299-307.

110. Самарский А.Л. Введение в теорию разностных схем. М.: Наука, 1970, 552 с.

111. Фаронов Ю.В. Турбо Паскаль 6. М.: Наука. 1991, 218 с.

112. Фирсов О.Б. Движение частиц с большой энергией в среде, в диффузионном приближении в пространстве скоростей. //ЖЭТФ, т. 61, вып. 4(10), 1971, с. 1452-1463.

113. Калашников Н.П., Ремизович В.С., Рязанов М.И. Столкновения быстрых заряженных частиц в твердых телах. М.: Атомиздат, 1980.- 162 272 с.

114. Баранов М. А., Баянкин В.Я. Учет функции радиального распределения в методе Монте-Карло для задач обратного рассеяния. //Поверхность, 1997, N3, с. 18-21.

115. Галенко П.К., Журавлев В.А. Физика дендритов. М.: Софт-Москва, 1993, 183 с.

116. Баранов М.А., Баянкин В. Я., Дроздов А.Ю. Компьютерное моделирование обратного рассеяния ионов гелия от поверхностей многокомпонентных мишеней. //Поверхность, 1998, N3, с. 79-83.

117. Харрисон У. Электронная структура и свойства твердых тел: Физика химической связи: Пер. с англ. М.:Мир, 1983. -Т.1.-381 с. ил.

118. Волкова И.Б., Баянкин В.Я. Релаксация поля внешних напряжений в аморфном сплаве Fe-B. //ФММ, 1995, т. 79, вып. 5, с. 107-110.

119. М.А.Баранов, В.Я. Баянкин. Влияние плотности потока ионов металлоидов на формирование состава ионно-имплантированных слоев системы Fe-Cr. // Вестник Нижегородского государственного университета. Нижний Новгород, 1998 г., стр. 25-40.

120. Аморфные металлические сплавы. Под. ред. Люборского Ф. Е. М., Металлургия, 1987 г., 584 стр.

121. Полухин В. А., Ватолин H.A. Моделирование аморфных металлов. М.:Наука, 1985, 288 стр.

122. ЕлсуковЕ.П. , ЧураковВ.П., Коныгин Г.Н., Баянкин В. Я. Влияние перехода порядок-беспорядок на электронную структуру сплавов Fe-Si. //Металлы, 1991, N1, с. 172-174.

123. Чудинов В.Г., Баранов М.А., Шудегов В.Е., Баянкин В.Я. Компьютерное моделирование эволюции атомной структуры железа при ионном облучении. // Тез. докладов научной конференции "Пучки заряженных частиц и их применение", Уфа-39, 1994 , с. ИЗ.

124. Волкова И.Б., Баранов М.А., Баянкин В.Я. Релаксация аморфной системы Ее-В при деформации изгибом. //Материаловедение. 1998 г. N3, с. 79-83.