Исследование свойств оптических, СВЧ и электронных элементов на основе полимерных и керамических подложек с тонким металлическим покрытием тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

НА ПРАВАХ РУКОПИСИ

УДК 532.783

Трофимов Сергей Митрофанович

ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ОПТИЧЕСКИХ» СВЧ И ЭЛЕКТРОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ ПОЛИМЕРНЫХ И КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК С ТОНКИМ МЕТАЛЛИЧЕСКИМ ПОКРЫТИЕМ

Специальность 01.04.07 - "Физика конденсированного состояния"

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

МОСКВА 2004 г.

Работа выполнена в Федеральном государственном унитарном предприятии «Центральный Научно-Исследовательский Институт «Комета»

Научный руководитель:

доктор технических наук, старший научный сотрудник В.В. Беляев

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических наук, профессор А.К. Дадиванян

кандидат физико-математических наук БЛ, Уманский

Ведущая организация:

Московская государственная

академия приборостроения и информатики

Защита диссертации состоится июня 2004 г. на заседании

диссертационного совета Д212.155.07 в Московском государственном областном университете, по адресу: 107005, Москва, ул. Радио, 10а.

С диссертацией можно ознакомится в библиотеке Московского государственного областного университета. Отзыв на автореферат диссертации просим направлять по вышеуказанному адресу на имя ученого секретаря диссертационного совета.

Автореферат разослан

Ученый секретарь диссертационного совета доктор физико-математических наук, профессор

тгУ-

Д Л. Богданов

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность работы. В настоящее время недостаточно изучены свойства различных композитных материалов, в том числе и многослойных, состоящих из веществ с существенно различающимися свойствами. В первую очередь, это система полимер-металл, являющаяся частным случаем более общей системы твердое покрытие на податливом основании. Вследствие большой разности модулей упругости слоев деформация этой системы отличается от деформации обычных анизодиаметрических тел. В таких системах наблюдается возникновение периодического микрорельефа, что делает их привлекательным для применения в оптических приборах в качестве дифракционных оптических элементов (ДОЭ) различного назначения. Кроме того, полимерные подложки обладают меньшим весом и хрупкостью по сравнению со стеклянными или металлическими, что находит применение в оптических и СВЧ системах. Для поиска возможных применений указанных многослойных систем необходимо исследование их деформации при различных условиях, их оптических свойств, взаимодействия с другими материалами. Другим важным классом современных композитных материалов являются керамики, для которых важно влияние электрофизических и механических свойств, поверхностного взаимодействия на характеристики пленочных СВЧ и электронных элементов.

Фундаментальные исследования свойств систем на основе полимеров и

керамик, удовлетворяющих требованиям малой плотности, прочности и

простоты изготовления, могут применяться для разработки новых

конструкционных элементов, жестких и гибких подложек для металлических

покрытий, различных оптических деталей. Это особенно актуально для

современных задач космического приборостроения, где все более

необходимым становится совершенствование элементной базы с целью

уменьшения массы устройства, его габаритов, упрощения и удешевления

изготовления при сохранении функциональных характеристик без потери

РОС. НАЦИОНАЛЬНАЯ

надежности.

Целью работы является исследование физических свойств систем, состоящих из полимерных или керамических подложек с металлическими покрытиями, для оптических, СВЧ и электронных элементов различного назначения.

Научная новизна.

1. В экспериментах по деформации полимерных подложек с тонким твердым покрытием показано, как влияют условия деформации на период и форму микрорельефа.

2. Для оптически анизотропных полимерных подложек с микрорельефом впервые определены значения двулучепреломления и азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек.

3. Предложен способ теоретического описания прохождения света через двулучепреломляющую среду с поверхностным микрорельефом путем, разбиения среды на слои периодических решеток и вычисления амплитуд световых волн с разными поляризациями на границах между слоями.

Практическая значимость.

1. Разработаны методы нанесения твердого покрытия с толщиной в нанометровом диапазоне на поверхность полимерных материалов и деформации такого двуслойного материала с возможностью управлять параметрами возникающего периодического микрорельефа.

2. Разработаны оптические методы измерения двулучепреломления полимерных подложек с микрорельефом и азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек.

3. Разработан математический аппарат для расчета значений дифракционной эффективности при различных параметрах двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом.

4. На основе проведенных исследований предложены сочетания параметров двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом

для реализации дифракционных оптических элементов различного назначения и изготовлены опытные образцы таких элементов. 5. Предложена технология формирования тонкопленочных СВЧ-элементов с высокой плотностью интеграции.

Защищаемые положения.

1. При одномерной деформации (растяжении или сжатии) полимерной подложки с тонким твердым покрытием на ее поверхности возникает периодический микрорельеф, параметры которого можно изменить при варьировании условий деформации.

2. В исследованных образцах деформированных полимерных материалов двулучепреломление пропорционально величине деформации и находится в диапазоне 0,0003-0,003 при растяжении 250-350%.

3. В ячейках с поверхностным микрорельефом на подложках исследованных полимерных материалов величина азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек составляет

при растяжении 250-350%.

4. Разработанный метод для расчета дифракционной эффективности при различных параметрах двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом обеспечивает точность вычислений не хуже 3% для нормального падения света.

5. Метод формирования многослойных печатных плат на полиимидной пленке с 10-12 слоями топологии и СВЧ элементов на керамических подложках с различной диэлектрической проницаемостью.

Апробация работы.

Работа докладывалась на научно-технических конференциях ФГУП ЦНИИ «Комета» 2000 г. и 2003 г., 10-м Международном симпозиуме «Перспективные дисплейные технологии» (Москва, 2000 г.), Международной научно-технической конференции «Межфазная релаксация в полиматериалах» (Москва, 2001), 2-й Международной конференции по

изготовлению дисплеев (Сеул, Южная Корея, 2002 г.), 22-й Международной исследовательской конференции по дисплеям (Ницца, Франция, 2002 г.).

Диссертация содержит 140 стр., 81 илл., 11 таблиц, библиография НО наименований.

В главе 1 диссертации приведен литературный обзор современных металл-полимерных систем, рассмотрены способы их деформации. Особое внимание уделено материалам с поверхностным микрорельефом, применяющихся в качестве ДОЭ и элементов электронных дисплеев (жидкокристаллических, электролюминесцентных). Приведены описания оптических свойств ДОЭ, в том числе и оптически анизотропных. Проанализированы способы изготовления тонкопленочных СВЧ и электронных элементов на полимерных и керамических подложках. Поставлены задачи исследований.

В главе 2 приводятся результаты исследований механической деформации полимерных материалов с твердым покрытием и анализ влияния режимов деформирования подложек на параметры микрорельефа. Выбор материалов обуславливался их оптическими и механическими характеристиками. В качестве исследуемых материалов подложек использовались промышленные аморфные пленки полиметилметакрилата (ПММА) и полиэтилентерефталата (ПЭТФ). Оба материала обладают оптическими, механическими и экономическими характеристиками (двулучепреломление, прочность, оптическая прозрачность, себестоимость), позволяющими изготовлять на их основе оптические детали

В качестве материала покрытия была выбрана платина, при нанесении которой можно с помощью специального калибровочного графика точно контролировать толщину слоя.

Образцы растягивали с помощью динамометра "Instron-1122" и динамометра с реверсивным двигателем РД-09 и автоматическим электронным потенциометром компенсационного типа. Кроме 'того,

сконструирован и изготовлен лабораторный вытяжной стенд с машиной, предназначенной для непрерывного ориентационного вытягивания полимеров.

Толщина пленок ПММА и ПЭТФ составляла 1 мм и 0,7 мм соответственно. Размер образца в зажиме составлял 20x60 мм и 10x30 мм. Подложке придавали форму двусторонней лопатки, форма образца .представляла простую плоскопараллельную пластинку. Для улучшения адгезии между материалом и подложкой образцы предварительно очищались мыльным или содовым раствором, и спиртом.

Учитывая многосторонние цели работы, эксперименты проводились при разных скоростях деформации, степени вытяжки, толщине покрытия, температурах. Толщину пленок измеряли с помощью вертикального измерителя толщины ИЗВ-2.

Исследование поверхности деформированных образцов и периода микрорельефа проводили с помощью сканирующего электронно-оптического микроскопа "Hitachi S-250". Измерение периода микрорельефа осуществлялось измерением величины изображения объекта в фокальной плоскости окуляра с помощью шкалы с учетом известного значения, электронного увеличения микроскопа. Типичные картины поверхности пленок ПММА показаны на рис.1. Профиль поверхности микрорельефа (рис.2) исследовался атомно-силовым микроскопом «Nanoscope-2».

На рис. 3 приведена зависимость периода от величины относительного удлинения. Видно, что при увеличении степени вытяжки период микрорельефа, при прочих равных условиях, уменьшается, а при уменьшении скорости вытяжки — увеличивается. При увеличении скорости удлинения подложек до десятков и сотен мм/мин форма микрорельефа становится треугольной (рис.4). При малой скорости деформации может получаться периодическая двумерная структура поверхности (рис.5). Кроме того, показано, что период микрорельефа уменьшается с увеличением температуры, при которой осуществляется деформация, и с уменьшением толщины металлического покрытия.

Рис 1. Микрофотографии пленок ПММА с тонким Pt покрытием (16 им)

100 Удлинение, % 60

0 5 Скорость, мм/мин 1.3

120 Температура, °С 140

1 331Е+004 nm

Une 192

Рис. 2. Профиль поверхности микрорельефа h(x) на пленке ПЭТФ. Толщина платипового покрытия 6 им. Период микрорельефа 2,8 мкм. Образец растянут на 120% при скорости вытяжки 0,5 мм/мин и температуре 90°С. а - профилограмма в плоскости, б - объемная профилограмма.

О 100 200 300 400 ВопдаНоп, V»

Рис.3. Зависимость периода микрорельефа от величины удлинения при различных значения скорости растяжения.

Рис.4. Микрофотография образца ПЭТФ с треугольным профилем микрорельефа. Покрытие Pt 21 нм. Растяжение 100% при 90°С со скоростью 10 мм/мин. Шкала в правом нижнем углу равна 12 мкм.

Рис.5. Микрофотография образца ПЭТФ с двумерным профилем микрорельефа. Покрытие PL Растяжение 67% при 90°С со скоростью 0,33 мм/мин.

В главе 3 приведены результаты исследований оптических свойств полимерных подложек с микрорельефом и их взаимодействия с жидкими кристаллами. Измерение оптических характеристик (коэффициента пропускания, двулучепреломления и дифракционной эффективности) проводили двумя независимыми методами.

Первый заключался в использовании оптической схемы, работающей в /проходящем свете. Схема включала последовательно расположенные гелий-неоновый лазер поляризатор, пластинку кварца, исследуемый

образец, анализатор, фотоприемник и регистрирующее устройство.

Измерение коэффициента пропускания осуществлялось сравнением показаний фотоприемника, полученных в отсутствие образца и с образцом.

Измерение двулучепреломления для некоторых образцов проводилось сравнительным методом по известному значению двулучепреломления пластинки кварца. Для исследования дифракционной эффективности в схему между образцом и кварцевой пластинкой вводилась собирающая линза; при этом полученное значение соответствовало дифракционной эффективности нулевого порядка.

Во втором подходе использовалась следующая схема: источник света, объектив, пластина с прямоугольной или круглой щелью, собирающая линза, приемник спектрометра MMS (Carl Zeiss). Образец помещался между щелью и зеркалом. При измерении двулучепреломления размер щели составлял 3-3,5 мм, при измерении коэффициента пропускания - 1,5 мм.

Расчет двулучепреломления An осуществлялся на основе математического аппарата, разработанного в [1]. Для случая небольшого количества экстремумов в интерференционном спектре образца

разработана программа для описания экспериментального спектра с интерференцией обыкновенного и необыкновенного лучей с фазовым сдвигом средняя толщина подложки. С удлинением образца, сопровождающимся уменьшением его толщины, возрастает двулучепреломление (рис.6 и табл.1). Его величина изменяется в диапазоне от 0,0005 до 0,003.

ю

Рис. 6. Зависимость двулучепреломления образца ПЭТФ с платиновым покрытием от степени вытяжки. Погрешность составляет 1x10 .1 — подгонка спектра; 2 - сравнение с Дп

кварца.

Исследование поверхностного взаимодействия жидких кристаллов с изучаемыми подложками проводилось также несколькими методами.

Сначала ориентация ЖК на свободной поверхности подложек изучалась методом ИК-спектроскопии. Измерялся дихроизм полос поглощения CN-группы, входящей в состав молекул ЖК-1282 (НИОПиК), и рассчитывался параметр порядка ЖК, составивший 0,2-0,4.

Азимутальная поверхностная энергия ЖК определялась также другим методом, аналогичному [1]. При синусоидальном профиле микрорельефа свободная энергия деформации ЖК составляет

(1)

где К - коэффициент упругости ЖК, и - высота профиля на поверхности подложки, вектор микрорельефа.

Для измерения величины А нужно знать значение реального угла вращения поляризации света в нематической твист-ячейке, составленной из исследуемых подложек, а также значение угла отклонения директора ЖК на поверхности от заданного направления ориентации. Для величины угла вращения поляризации реальной твист-ячейкой с конечным значением А получено следующее выражение:

• ч 2Кг\л 2жЛ

У исследованных образцов полимерных подложек с микрорельефом азимутальная поверхностная энергия А изменятся от 5 Ю"4 Дж м"2 ДО 9 10"5 Дж м"2 (табл.1). Разница в ее значениях для образцов 28 и 29 объясняется различными значениями периода Л.

Табл 1. Параметры микрорельефа и азимутальная поверхностная энергия образцов ПЭТФ. Скорость растяжения 1,8 мм/мин при 90°С.

№ образца Растяжепие, % Толщина, мкм А, мкм Ап А, Дж м"1

26 350 615 1.7 - 4,8 10"6

28 263 327 2,2 0,00035 910'3

29 250 480 . 2,6 0,00347 3,6 10"5

В главе 4 разработан метод математического моделирования дифракции света в оптически анизотропных материалах на основе подходов Рокушима-Ямакита, Глитциса-Гейлорда и Цоя [2-4], а также приведены результаты расчета интенсивности света, дифрагировавшего на оптически анизотропных решетках с поверхностным микрорельефом (ОАРПМ). Метод разработан совместно с кафедрой оптики Саратовского государственного университета.

Матричный формализм метода ОАРПМ можно трактовать как обобщение формализма матриц Берремана. Уравнения Максвелла для монохроматического поля в слоистой структуре решеток приводят к системе уравнений относительно коэффициентов разложения тангенциальных составляющих электрического е и магнитного к поля в спектр связанных пространственных гармоник записываемых в матричной форме где блочный матричный столбец, блоки которого представляют

собой столбцы вида где М- число учитываемых

гармоник. Дифференциальная матрица распространения С определяется направлением падающей волны и компонентами разложения диэлектрического тензора по пространственным гармоникам решетки -синусоидальным диэлектрическим решеткам с пространственными частотами, кратными обратному периоду решетки. Диагонализирующая матрица Т

(С=ткт') проецирует столбец комплексных амплитуд пространственных гармоник собственных волн светового поля О на плоскость слоя, то есть С=Т"1К В слоистой структуре решеток (рис.7) перенос поля через (Ь)-ю решетку, включая перенос через ее толщу и через границу с (Ъ+1)-ОЙ решеткой, описывается в собственной системе координат слоя соотношением

С^-Ц^гх^В (3)

где ВIX*! - граничная матрица передачи. Перенос поля С^фот точек падения волны до точек выхода из системы прошедших волн описывается

выражением.

(4)

где полная матрица переноса пространственных гармоник поля через

слоистую систему решеток.

В окружающей воздушной среде амплитуды пространственных гармоник представляют собой амплитуды дифрагировавших волн различных порядков. Их упорядочивают и находят отраженные и прошедшие через систему решеток волны при заданной падающей волне.

А

«о

Рис.7. Представление двулучепреломляющего материала с поверхностным микрорельефом в виде последовательности квазиоднородных слоев.

Согласно описанной процедуре составлен ряд подпрограмм, при пользовании которыми формируется полная матрица переноса, выделяются субматрицы для определения отраженных и прошедших волн, вычисляются нормальные к решеткам компоненты вектора Пойнтинга в дифракционных порядках и определяются дифракционные эффективности. В заключение формируется текстовый файл с результатами расчета, на основании которого результаты можно представить графически.

Для оценки точности разработанного подхода методом ОАРПМ и методом конечных разностей (РБТБ), представляющим собой одну из разновидностей прямого интегрирования уравнений Максвелла, на решетках с тремя разными величинами периода, равными соответственно одной, двум и трем длинам волн падающей электромагнитной волны соответственно). Данные для периода Л=2Л, приведенные на рис.8, показывают хорошее соответствие результатов, полученцых двумя разными способами.

Методом ОАРПМ были рассчитаны дифракционные эффективности в разных порядках дифракции для случая нормального падения света на решения с неличиной оптической анизотропии от 0 до 0,2 при изменении глубины микрорельефа от 0 до ЗЛ (рис.9,10). При этом были определены условия экстремумов различных дифракционных порядков с ТЕ- и ТМ-поляризациями, необходимые для расчета ДОЭ различного назначения. В Табл.2 приведены результаты расчетов параметров микрорельефа прямоугольных и синусоидальных решеток, которые отклоняют падающий пучок света на заданный угол или расщепляют его на два пучка с одинаковыми или различными поляризациями.

*

Табл 2 Результаты расчетов дифракции поляризованного света на прямоугольных и синусоидальных решетках с различными параметрами микрорельефа и оптически анизотропного полимера. Период решеток равен длине волны. Угол падения 30*, штрихи перпендикулярны плоскости падения, углы дифракции в -1-м порядке дифракции составляют также 30* от нормали к плоскости решетки.

Показатели преломления Глубина микрорельефа Ш Толщина основы НЯ Дифракционная эффективность ТЕ-волны в двух порядках Дифракционная эффективность ТМ-волны в двух порядках Роль решетки: р -расщепитель д - дефлектор

Вглубь решетки Вдоль штрихов Поперек штрихов -1 0 -1 0

Прямоугольный рельеф

1,5 1,375 1,5 0,995 10 0,23 0,23 0,24 0,24 Р

1,5 1,375 1,5 1,990 10 0,43 0,00 0,46 0,00 д

1,5 1,5 1,5 4,855 10 0,48 0,00 0,24 0,24 ТЕ-д ТМ-р

1,5 1,777 1,5 1,95 2,5 0,22 0,22 0,49 0,00 ТЕ-р ТМ-д

Синусоидальный рельеф

1,5 1,357 1,5 1,302 2,5 0,24 0,24 0,24 0,24 Р

1,5 1,357 1,5 2,604 2,5 0,48 0,00 0,49 0,00 д

1,5 1,573 1,5 2,604 1,0 0,24 0,24 0,49 0,00 ТЕ-р ТМ-д

1,5 1,590 1,5 1,300 2,5 0,41 0,01 0,24 0,25 ТЕ-д ТМ-р

и

6 1 2 3 4 5 -0,1 -1-

н, Л

Рис.8. Зависимости дифракционной эффективности в нулевом (вверху) и первом (внизу) порядках от высоты микрорельефа, приведенной к длине волны, полученная в результате расчетов, основанных на методах FDTD (сплошная линия) и ОЛРПМ (пунктир). Л=2Л.

TRANSMITTED TE-WAVE

• • • -10 —И —•—12--13

0,6 0,5 2 0,4

ci

£ 0,3 2 0,2 0,1 0

1 ;

ш ш i

J»

' ■ ,■ 1 ^i:';; jH I-

• 1 lir^O ' ta ; V; 1 : •

rîWj Я "Ve-1

0,5 1 1,5 2 2,5 h/Lambda

3,5

Рис.9. Зависимость дифракционной эффективности в 0-м, 1-м, 2-м и 3-м порядках для прошедшей волны с ТЕ-поляризацией от глубины микрорельефа, приведенной к длине волны, при двулучепреломлении Дп=0,1.

0,25 0,2 0,15 0.1 0,05 0

TRANSMITTED TE-WAVE

-11-а

-11-b

-11-с

-11-d

f\ ¿Im Î

\VV-i . X\

VN. ■ Vi« 1 T \ Г / / ' 1 I» <

\'*J J

' Ш l' \ J

0,5

1,5 2 h/Lambda

2,5

3.5

Рис.10. Зависимость дифракционной эффективности в 1-м порядке для прошедшей волны с ТЕ-поляризацией от глубины микрорельефа, приведенной к длине волны, при различных значениях двулучепреломления подложки. а - Дп=0; Ь - Дп=0,05; с - Дп=0,1; <1 - Ап=0,2.

В главе 5 рассмотрены проблемы создания пленочных печатных плат и СВЧ элементов на полимерных и керамических подлоясках. Для миниатюризации электронных СВЧ устройств весьма эффективным является применение гибридно-интегрального и гибридно-монолитного принципов построения функциональных СВЧ-узлов. Разработаны микросборки на на основе многослойных печатных плат на полиимидной пленке (МП-ПМ) с 10.12 слоями топологии. Отработаны операции подготовки и спаивания пакета МП-ПМ, включая установку этого пакета на жесткое основание, а также установка навесных компонентов на МП-ПМ с последующей сваркой-пайкой выводов к контактным площадкам МП-ПМ. Структура одного из таких элементов приведена на рис.11.

Разработаны методы формирования и топологии различных СВЧ-элементов (фильтров, резисторов, и т.п.) в соответствии с принципиальными электрическими схемами с высокой плотностью интеграции. Описаны конструкции, технологии и характеристики микрополоскового преселектора, предназначенного для обеспечения частотной избирательности сигнального тракта СВЧ блока радиоприемного устройства; усилителя СВЧ для усиления выходного сигнала малого уровня мощности в радиопередающем устройстве; фильтра Кауэра для развязки СВЧ сигнала от цепей питания.

В качестве примера на рис.12 приведена топология фильтра Кауэра, имеющего лучшую по сравнению с аналогами развязку СВЧ сигнала от цепей питания. При частоте основного сигнала частота среза фильтра

270 МГц, развязка >30 дБ Радиотехнические параметры экспериментальных образцов фильтра Кауэра позволяют применять его в усилителях, преобразователях специзделий.

Кроме того, определены технологические ограничения и величины технологических погрешностей для прецизионных СВЧ-плат; доработана технология вакуумного напыления проводниковых структур с разбросом толщины по площади подложки размером 60x48 мм, не превышающим

Рис.11. Монтаж кристалла ИС с помощью медного золоченого «паука».

i

33

Рис. 12. Топология фильтра Кауэра

±1,5 мкм (диапазон толщин пленок составил 3-5; 8-11 и 10-13 мкм); определены технологические погрешности на этапах изготовления фотошаблонов и проведения фотолитографических операций; расширен допустимый диапазон номиналов резисторов на плате от единиц ом до десятков килоом.

Выполненные исследования позволили уменьшить массогабаритные характеристики разрабатываемых и изготавливаемых СВЧ приборов, увеличив плотность компоновки бескорпусных активных (плотность монтажа 0,31 и пассивных пленочных элементов (64 эл/см2 на сапфире и 12,4 - на поликоре). Это позволило улучшить массогабаритные характеристики на 40%.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. В результате исследований условий возникновения периодического поверхностного микрорельефа при одномерной деформации полимерной подложки с тонким твердым покрытием на ее поверхности показано, что параметры микрорельефа (период, глубину, форму) можно изменять при варьировании условий деформации (температуры, амплитуды и скорости растяжения или сжатия, а также найдены условия формирования микрорельефа с синусоидальной, циклоидоподобной, треугольной и сложной синусоидальной формы.

2. Разработан метод измерения величины двулучепреломления оптически анизотропных образцов с периодическим поверхностным микрорельефом. Показано, что двулучепреломление пропорционально величине деформации и находится в диапазоне 0,0003-0,003 при растяжении 250-350%.

3. Разработан метод измерения величины азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью образцов с периодическим поверхностным микрорельефом. Ее величина составляет 5 КГМО"4 Дж см-2 при растяжении 250-350%.

4. Теоретически обоснован метод для расчета дифракции света на двулучепреломляющей подложке с поверхностным микрорельефом. Сравнение расчетов с независимым методом прямого интегрирования уравнений Максвелла показывает расхождение не более 3% для нормального падения света. В результате расчетов дифракции поляризованного света на подложках с разной величиной двулучепреломления при изменении глубины микрорельефа для первых четырех порядков найдены условия реализации дифракционных оптических элементов для отклонения и расщепления пучков с разной поляризацией.

5. Разработаны методы формирования различных бескорпусных активных и пассивных пленочных печатных плат и СВЧ-элементов на полимерных и керамических подложках с высокой длотностью компоновки.

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

1. Konovalov VA., et al. Proc. SPIE. Vol.4147. P.287 (2000).

2. Rokushima K., Yamakita J. J. Opt. Soc. Am. A. Vol.4. P.27 (1987).

3. Glytsis E. N.. Gaylord T. K. J. Opt. Soc. Am., A4 (1987) 2061.

4. Цой В.И. Оптический журнал. Т.66. C.100 (1999).

ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ:

•1. N. Bakeyev, V. Belyaev, L. Chistovskaya, S. Ivanov, V. Konovalov, A. Muravsky, S. Trofimov, A. Volynskii, S. Yakovenko "Fabrication of thin polymeric substrates with periodic microrelief and their optical properties". Proc. SPIE. V.4511 (Advanced Display Technologies: Basic Studies of Problems of Information Display). P.115-126 (2001).

2. B.B. Беляев, В.И. Цой, АЛ. Волынский, С.А. Иванов, В.А. Коновалов, А.А. Муравский, СМ. Трофимов, Л.В. Чистовская «Изготовление полимерных подложек с периодическим микрорельефом и исследование их оптических свойств». Сборник статей конференции "Полиматериалы-2001". МГИРЭА (ТУ). С.89-95 (2001).

3. Г.В. Подлесная, B.C. Терехов, СМ. Трофимов «Особенности технологии производства гибридных интегральных схем СВЧ-диапазона». Вопросы радиоэлектроники. Сер. общетехническая. Вып.1. С.86-90 (2002).

4. V. Belyaev, L. Chistovskaya, V. Konovalov, S. Trofimov, A. Volynskii "Liquid crystal alignment on polymeric substrates with periodic microrelief obtained by stretching method". Proceedings of The 2nd International Display Manufacturing Conference IDMC 2002, Seoul, Korea. P.321-322 (2002).

5. V. Belyaev, L. Chistovskaya, V. Konovalov, S. Trofimov, A. Volynskii, "Liquid Crystal Azimuthal Alignment on Polymeric Substrates with Periodic Microrelief Obtained by Stretching Method". Conference Proceedings of The 22nd International Display Research Conference EuroDisplay 2002, Nice, France, October 2-4,2002. P.521-524.

6. Victor Belyaev, Mikhail Grebyonkin, Victor Konovalov, Anatoly Muravsky, Sergei Trofimov, Alexander Volynsky, Sergey Yakovenko. "Physical properties of

stretched polymeric substrates with periodic microreUef'. Prodi"1 International Symposium Advanced Display Technologies. Yalta, Crimea, 2002, p. 127-130.

7. В.И. Цой, А.А. Тарасишин, В.В. Беляев, CM. Трофимов «Новый метод расчета оптических характеристик дифракционных элементов из оптически анизотропных материалов». Опт. Журнал. Т.70. №7. С.79-83 (2003).

8. Victor Belyaev, Larissa Chistovskaya, Victor Konovalov, Anatoly .Muravsky, Andrei Tarasishin, Sergei Trofimov, Valery Tsoy, Alexander Volynsky, Sergey Yakovenko. "Physical properties of stretched polymeric substrates with periodic microrelief for optical diffraction elements and liquid crystals alignment". Journal ofthe Society for Information Displays, V.I 1. P.3-10 (2003).

9. Л.М. Анищенко, ДИ. Листратов, СМ. Трофимов. «Технология моделирования в технологии производства пассивных элементов ГИС». Электронная техника, №5, с.10-14 (1988).

10. СМ. Трофимов, И.В. Шанин. «Расчёт механических напряжений в системе плёнка-подложка," возникающих при упругом и упруго-пластичном поведении материалов». Электронная техника, №7, с.21-24 (1984).

11. Л.М. Анищенко, СЮ. Лавренюк, B.C. Терехов, СМ. Трофимов. «Применение метода конечных элементов для проектирования пассивных тонкоплёночных многополюсников». Электронная техника, №3, с.22-25 (1988).

12. В.Ф. Шугаева, Г.В. Подлесная, СМ. Трофимов. «Перспективы использования керамических подложек с повышенной диэлектрической проницаемостью для цифровых микросборок субнаносекундного диапозона». Электронная техника, №4, с. 16 (1988).

Усл. печ. л.1. Тираж 100. Формат 60x80/24.

Отпечатано в ФГУП ЦНИИ «Комета». 115280, г. Москва, ул. Велозаводе!»*, д.5.

Введение

Глава 1. Литературный обзор

1.1. Методы формирования металлического покрытия на полимерной подложке

1.2. Особенности деформации полимерной подложки с тонким твердым покрытием

1.3. Оптические характеристики анизотропных материалов с поверхностным микрорельефом

1.4. Применение подложек с поверхностным микрорельефом в оптоэлектронике и устройствах отображения информации

1.5. Применение полимерных подложек с тонким металлическим покрытием в СВЧ технике

Глава 2. Одномерное деформирование полимерных подложек с тонким твердым покрытием с целью получения периодического поверхностного микрорельефа

2.1. Обработка подложек и методика эксперимента

2.2. Анализ влияния режимов деформирования полимерных подложек с тонким твердым покрытием на параметры микрорельефа

Глава 3. Физические свойства полимерных подложек с периодическим поверхностным микрорельефом

3.1. Оптические характеристики и методы их измерения

3.2. Ориентация жидких кристаллов на подложке с микрорельефом и методы ее измерения

Глава 4. Расчет оптических характеристик подложек из анизотропных материалов с поверхностным микрорельефом

4.1. Описание прохождения поляризованного света через дифракционную решетку, состоящую из множества оптически анизотропных слоев (метод ОАРПМ - оптически анизотропные решетки с поверхностным микрорельефом)

4.2. Сравнение расчетов методом ОАРПМ с результатами прямого интегрирования уравнений Максвелла

4.3. Расчет дифракционной эффективности различных оптически анизотропных решеток с поверхностным микрорельефом для различных применений

Глава 5. СВЧ и электронные элементы на основе полимерных и керамических подложек с тонким металлическим покрытием

5.1. Общие принципы подхода к конструированию и технологии СВЧ и электронных элементов на полимерных и керамических подложках

5.2. Разработка конструкции и технологии микрополоскового преселектора на подложке из поликора

5.3. Разработка конструкции и технологии усилителя СВЧ на подложках из поликора

5.4. Разработка и изготовление платы фильтра Кауэра на керамической подложке

5.5. Технология изготовления микросборок на полиимидной пленке 116 Выводы 129 Литература 130 Заключение

Актуальность работы. В настоящее время недостаточно изучены свойства различных композитных материалов, в том числе и многослойных, состоящих из веществ с существенно различающимися свойствами. В первую очередь, это система полимер-металл, являющаяся частным случаем более общей системы твердое покрытие на податливом основании. Вследствие большой разности модулей упругости слоев деформация этой системы отличается от деформации обычных анизодиаметрических тел. В таких системах наблюдается возникновение периодического микрорельефа, что делает их привлекательным для применения в оптических приборах в качестве дифракционных оптических элементов (ДОЭ) различного назначения. Кроме того, полимерные подложки обладают меньшим весом и хрупкостью по сравнению со стеклянными или металлическими, что находит применение в оптических и СВЧ системах. Для поиска возможных применений указанных многослойных систем необходимо исследование их деформации при различных условиях, их оптических свойств, взаимодействия с другими материалами. Другим важным классом современных композитных материалов являются керамики, для которых важно влияние электрофизических и механических свойств, поверхностного взаимодействия на характеристики пленочных СВЧ и электронных элементов.

Фундаментальные исследования свойств систем на основе полимеров и керамик, удовлетворяющих требованиям малой плотности, прочности и простоты изготовления, могут применяться для разработки новых конструкционных элементов, жестких и гибких подложек для металлических покрытий, различных оптических деталей. Это особенно актуально для современных задач космического приборостроения, где все более необходимым становится совершенствование элементной базы с целью уменьшения массы устройства, его габаритов, упрощения и удешевления изготовления при сохранении функциональных характеристик без потери надежности.

Целью работы является исследование физических свойств систем, состоящих из полимерных или керамических подложек с металлическими покрытиями, для оптических, СВЧ и электронных элементов различного назначения. Научная новизна.

1. В экспериментах по деформации полимерных подложек с тонким твердым покрытием показано, как влияют условия деформации на период и форму микрорельефа.

2. Для оптически анизотропных полимерных подложек с микрорельефом впервые определены значения двулучепреломления и азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек.

3. Предложен способ теоретического описания прохождения света через двулучепреломляющую среду с поверхностным микрорельефом путем разбиения среды на слои периодических решеток и вычисления амплитуд световых волн с разными поляризациями на границах между слоями.

Практическая значимость.

1. Разработаны методы нанесения твердого покрытия с толщиной в нанометровом диапазоне на поверхность полимерных материалов и деформации такого двуслойного материала с возможностью управлять параметрами возникающего периодического микрорельефа.

2. Разработаны оптические методы измерения двулучепреломления полимерных подложек с микрорельефом и азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек.

3. Разработан математический аппарат для расчета значений дифракционной эффективности при различных параметрах двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом.

4. На основе проведенных исследований предложены сочетания параметров двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом для реализации дифракционных оптических элементов различного назначения и изготовлены опытные образцы таких элементов. 5. Предложена технология формирования многослойных печатных плат на гибкой полиимидной пленке и СВЧ-элементов на жесткой поликоровой подложке с высокой плотностью интеграции.

Защищаемые положения.

1. При одномерной деформации (растяжении или сжатии) полимерной подложки с тонким твердым покрытием на ее поверхности возникает периодический микрорельеф, параметры которого можно изменить при варьировании условий деформации.

2. В исследованных образцах деформированных полимерных материалов двулучепреломление пропорционально величине деформации и находится в диапазоне 0,0003-0,003 при растяжении 250-350%.

3. В ячейках с поверхностным микрорельефом на подложках исследованных полимерных материалов величина азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью таких подложек составляет 5х10'6-10"4 Дж см"2 при растяжении 250-350%.

4. Разработанный метод для расчета дифракционной эффективности при различных параметрах двулучепреломляющей среды с поверхностным микрорельефом обеспечивает точность вычислений не хуже 3% для нормального падения света.

5. Метод формирования многослойных печатных плат на полиимидной пленке с 10-12 слоями топологии и СВЧ элементов на керамических подложках с различной диэлектрической проницаемостью.

Апробация работы.

Работа докладывалась на научно-технических конференциях ФГУП ЦНИИ «Комета» 2000 г. и 2003 г., 10-м Международном симпозиуме «Перспективные дисплейные технологии» (Москва, 2000 г.), Международной научно-технической конференции «Межфазная релаксация в полиматериалах» (Москва, 2001), 2-й Международной конференции по изготовлению дисплеев (Сеул, Южная Корея, 2002 г.), 22-й Международной исследовательской конференции по дисплеям (Ницца, Франция, 2002 г.).

5.6. Общие выводы по главе 5.

В ходе выполнения работ по отработке технологии СВЧ-модулей радиопередающих устройств нового поколения были разработаны технологические процессы: изготовления прецизионных СВЧ-плат на подложках из лейкосапфира, поликора; изготовления тонкопленочных низкоомных резисторов (5 Ом) с точностью не хуже ±10 %; изготовления низкооомных резисторов (~5 Ом). установки бескорпусных элементов на плату с использованием термостойких (УП-5-2013, УП-5-201) и токопроводящих (Э4Э-С) клеев; монтажа сверхминиатюрных компонентов на плату; герметизации корпусов с применением жидкой прокладки ГИПК-24

15Б.

Кроме того, определены технологические ограничения и величины технологических погрешностей для прецизионных СВЧ-плат; доработана технология вакуумного напыления проводниковых структур с разбросом толщины по площади подложки размером 60x48 мм, не превышающим ±1,5 мкм (диапазон толщин пленок составил 3—5; 8—11 и 10—13 мкм); определены технологические погрешности на этапах изготовления фотошаблонов и проведения фотолитографических операций; расширен допустимый диапазон номиналов резисторов на плате от единиц ом до десятков килоом.

Это позволило уменьшить массогабаритные характеристики, увеличив плотность компоновки бескорпусных активных (плотность монтажа 0,31) и пассивных пленочных элементов (64 эл./см на сапфире и 12,4 — на поликоре).

Таким образом, изготовление модулей ИВЭП на токи нагрузки до 0,5 А и маломощных узлов управления позволило улучшить массогабаритные характеристики на 40 %.

1. В результате исследований условий возникновения периодического поверхностного микрорельефа при одномерной деформации полимерной подложки с тонким твердым покрытием на ее поверхности показано, что параметры микрорельефа (период, глубину, форму) можно изменять при варьировании условий деформации (температуры, амплитуды и скорости растяжения или сжатия, а также найдены условия формирования микрорельефа с синусоидальной, циклоидоподобной, треугольной и сложной синусоидальной формы.

2. Разработан метод измерения величины двулучепреломления оптически анизотропных образцов с периодическим поверхностным микрорельефом. Показано, что двулучепреломление пропорционально величине деформации и находится в диапазоне 0,0003-0,003 при растяжении 250-350%.

3. Разработан метод измерения величины азимутальной энергии сцепления жидкого кристалла с поверхностью образцов с периодическим s я ч поверхностным микрорельефом. Ее величина составляет 5 10"°-10"* Дж см при растяжении 250-350%.

4. Теоретически обоснован метод для расчета дифракции света на двулучепреломляющей подложке с поверхностным микрорельефом. Сравнение расчетов с независимым методом прямого интегрирования уравнений Максвелла показывает расхождение не более 3% для нормального падения света. В результате расчетов дифракции поляризованного света на подложках с разной величиной двулучепреломления при изменении глубины микрорельефа для первых четырех порядков найдены условия реализации дифракционных оптических элементов для отклонения и расщепления пучков с разной поляризацией.

5. Разработаны методы формирования различных бескорпусных активных и пассивных пленочных печатных плат и СВЧ-элементов на полимерных и керамических подложках с высокой плотностью компоновки.

1. Томилин М.Г. Информационные дисплеи на жидких кристаллах // Опт. журнал. - 1998. - Т.65. -№.7. - С.64-76.

2. Petera M.G. LCiDTM Technology for the Automative Market // Proc. of the 6th Annual Strategic and Technical Symposium "Vehicle Displays and Microsensors'99". Ypsilanti, USA. - 1999. - P.47-52.

3. Schadt M., Schmitt K., Kozenkov V. et al. Photoalignment of liquid crystals // Jpn. J. Appl. Phys. 1992. - Vol.31. - P.2155.

4. Schadt M. Photo-Aligned Liquid Crystal Displays and LC-Polymer Optical Films // Proc. of the 19th International Display Research Conference EuroDisplay'99. Berlin, Germany. - 1999. - P.27-31.

5. Cognard J. Alignment of nematic liquid crystals and their mixtures // Molecular Crystals and Liquid Crystals Supplement. 1982. - Vol. 1. - P. 1.

6. Lee E.S., Uchida Т., Капо M. et al. Measurement of surface energy in liquid crystal cells // SID'93 Digest. 1993. - P.957.

7. Example of elements developed at INO // Promotional materials of the INO Corporation.

8. M. Foley Technical advances in microstructures Plastic Optics for Display Applications //SID'99 Digest, 1999. p. 321-324

9. Microstructures surfaces // Promotional materials of the Reed Precision Microstructures corporation. 2000.

10. New Holographic LSDs Work //The promotional materials of the Physical Optics Corporation, 2000.

11. Konovalov V.A., Lagerwall S.T., Minko A.A. et al. Technology for MakingtV»

12. Rigid Liquid Crystal Displays // In Proc. of the 15 International Display Research Conference AsiaDisplay'95. Hamamatsu, Japan. - 1995. - P.421-424.

13. Konovalov V.A., Muravski A.A., Yakovenko S.Ye., Lagerwall S.T. Method for gap formation in liquid crystal displays // Proc. SPIE. 2000. - Vol.4147. - P.293-298.

14. Wenz R.P., Gardner T.J. Development of Microribbed Plastic LCDs // Conf. Records of the 1997 IDRC. Toronto, Canada. - 1997. - P.M-107 - M-l 13.

15. Yamada F., Hellermark C., Taira Y. A development of diamond cutting and 2P replication process for direct view LCDs // Proc. of the 1st International Display Manufacturing Conference IDMC'2000. Seoul, Korea. - 2000. -P.261-264.

16. Wen В., Mahajan M., Rosenblatt C. Atomic-Force Microscopy for Creation of Microrelief Structure for Liquid Crystal Alignment // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol.76.-P.1240-1242.

17. A.JT. Волынский, И.В. Чернов, Н.Ф. Бакеев «Явление образования регулярного микрорельефа при деформировании полимеров с твердым покрытием», Доклады Академии Наук, 355, стр.491-493, 1997.

18. А.Л. Волынский, Е.Е. Воронина, О.В. Лебедева, А.Н. Озерин, Н.Ф. Бакеев Пластическая деформация металлического покрытия при деформировании полимера-подложки, Доклады Академии Наук, 360, pp. 205-208, 1998.

19. А.Л. Волынский, С.Л.Баженов, Н.Ф.Бакеев, Сруктурно-механические аспекты деформации систем "твердое покрытие на податливом основании", Рос. Хим. ж. (Журн. Рос. Хим. о-ва им. Д.И.Менделеева) т. 42, с. 57-68, 1998.

20. Belyaev V., Volynsky A., Voronina Е., Bazhenov S., Ivanov S., Chistovskaya L. Fabrication Of Plastic Substrates With Controlled Relief For Liqud Crystals Alignment // Proc.IDW'99, Sendai. 1999. - P.69-72.

21. Volynsky A., Voronina E., Bazhenov S., Belyaev V., Ivanov S. Preparation of plastic substrates with controlled relief for liquid crystal alignment // Proc. SPIE. -2000. -V.4147. P.256-260.

22. Belyaev V., Tsoy V., Volynskii A. et al. New Polymer Material For The Diffraction Gratings Substrates // Proc. of The 1st International Display Manufacturing Conference IDMC'2000. Seoul, Korea. - 2000. - P.293-295.

23. Аззам P., Башара H. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Наука. -1981.

24. Rokushima К., Yamakita J. Analysis of diffraction in perodic liquid crystals: the optics of the chiral smectic С phase // J. Opt. Soc. Am. A.-1987.-Vol.4.-P.27-33.

25. E. N. Glytsis, Т. K. Gaylord, J. Opt. Soc. Am., A4 (1987) 2061.

26. Цой В.И. Граничные матрицы передачи для световых волн в слоистой системе анизотропных диэлектрических решеток // Оптический журнал.1999. Т.66. - №6. - С.100 - 102.

27. Цой В.И. // Оптика и спектроскопия. 94 (2003) 607.

28. Bakeyev N., Belyaev V., Chistovskaya L., et al., Proc. SPIE. 2000. -Vol.4511.-P.115-126.

29. Бакеев Н.Ф., Беляев B.B., Волынский AJI., Иванов С.А., Коновалов В.А., Муравский А.А., Минько А.А., Чистовская Л.В., Яковенко С.Е. // Оптический журнал. 2001. Т.68. №9. С.89 - 95.

30. Belyaev V., Tsoy V., Tarasishin A. Modeling Optical Properties of Birefringent Substrates with Periodical Surface Microrelief for Application in Display Devices // Conf. Proc. of The 22nd Int. Display Research Conf. Nice, France - 2002 -P.413 -416.

31. Berreman D.W. Optics in stratified and anisotropic media:4x4-matrix formulation // J. Opt. Soc. Am.-1972.-Vol.62.-P.502 510.

32. Методы компьютерной оптики. Под ред. В.А.Сойфера. М.: Физматлит.2000. 688 стр.

33. Yee K.S. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell's equations in isotropic media // IEEE Trans. Antennas and Propagation. 1966.- Vol.14. -P.302- 307.

34. Taflove A., Brodwin M.E. Numerical Solution of Steady-State Electromagnetic Scattering Problems Using the Time-Dependent Maxwell's Equations // IEEE Trans. 1975. - Vol. mtt-23. - № 8. P.623.

35. Taflove A. Computational Electrodynamics: The Finite-Difference Time-Domain Method. Artech House, Norwood, MA. - 1995.

36. Желтиков A.M., Магницкий C.A., Тарасишин A.B. Локализация и каналирование света // Письма ЖЭТФ. 1999. - Т.70. - №5. С.323.

37. Тарасишин А.В., Желтиков A.M., Магницкий С.А. Синхронная генерация второй гармоники сверхкороких лазерных импульсов в фотонных кристаллах // Письма ЖЭТФ. 1999. - Т.70. - №12. - С.819.

38. Koroteev N.I., Magnitskii S.A., Tarasishin A.V., Zheltikov A.M. Compression of ultrashort light pulses in photonic crystals: when envelopes cease to be slow // Opt. Commun. 1999. - Vol.159. - P.191.

39. Prather D. W., Shi S. Formulation and application of the finite-difference time-domain method for the analysis of axially symmetric diffractive optical elements // J. Opt. Soc. Am. A. 1999. - Vol.16. - No.5. P. 1131 - 1142.

40. Mirotznik M. S., Prather D. W., Mait J. N., Beck W. A., Shi S., Gao X. Three-Dimensional Analysis of Subwavelength Diffractive Optical Elements with the Finite-Difference Time-Domain Method // Applied Optics-IP. 2000. - Vol.39. -No.17.-P.2871-2880.

41. Y. Taira et al., Low-power LCD using a novel Optical System, SID'02 Digest, p.1313-1316.

42. T. Uchida, Advanced reflective LCDs // Proc. 2nd International Display Manufacturing Conf., Seoul, Korea, Jan. 29-31,2002, p. 11-13.

43. M. Suzuki, Y. Oki, A Backlighting Unit with Polarization Recycle by Stacked Transparent Plates // Proc. of the 18th International Display Research Conference AsiaDisplay'98. Seoul, Korea. 1998. p.893-896.

44. T. Ide et al., Moire-Free Collimating Light Guide with Low-Discrepancy Dot Patterns, SID'02 Digest, p.1232-1235.

45. Tanaka et al., Sro'02 Digest, p.1240-1243.

46. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 339-342.

47. C.-Y. Kim, T.-H. Choi, Technical Trend for TFT-LCD Back Light Unit (BLU) // Proc. 2nd International Display Manufacturing Conf., Seoul, Korea, Jan. 29-31, 2002, p.185-188.

48. T. Funamoto, O. Yokoyama, S. Miyashita, T. Shimoda, A Front-lighting System Utilizing A Thin Light Guide // Proc. of the 18th International Display Research Conference AsiaDisplay'98. Seoul, Korea. - 1998. - P.897-900.

49. C.Y. Tai, H. Zou, P.-K. Tai // SID'95 Digest, p.375-378 (1995).

50. A. Putilin, A. Lukianitsa, K. Kanashin, Stereodisplay with neural network image processing // Proc. SPIE. V.4511, p.250-255 (2000).

51. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 327-330.

52. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 322-326.

53. Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 1025-1028.

54. K. Takahashi and S. Takano, High-Density LED Array with Side-Wall Wiring, Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan, 1999, p. 837-840.

55. G. Furui et al., Visibility evaluation of anti-glare (AG) films for LCDs and Design of a novel AG film, Proc. International Display Workshop, Kobe, Japan,1999, p. 399-402.

56. V. Boemer et al. // SID'02 Digest, p.826-829.

57. Wenz R.P., Gardner T.J. Development of Microribbed Plastic LCDs // Conf. Records of the 1997 IDRC. Toronto, Canada. - 1997. - P.M-107 - M-l 13.

58. J. C. Jones et al. // Proc. "Electronic Information Displays'00", London, UK,2000, November 23.

59. M.Ishiyama, T.Tanaka, M.Sato, T.Uchida, H.Seki, Molecular alignment of liquid crystal on microgroove surface, International Liquid Crystal Conference, Sendai, Japan, 24-28 July 2000, Abstracts, 26D-52-P, P.475.

60. J.Park, J.Lee, J.Kim, S.Lee, Vertically-aligned LCD with wide-viewing axial symmetry using surface relief gratings on polymer, International Liquid Crystal Conference, Sendai, Japan, 24-28 July 2000, Abstracts, 24D-8-P, P. 125.

61. Г.В. Подлесная, B.C. Терехов, C.M. Трофимов «Особенности технологии производства гибридных интегральных схем СВЧ-диапазона». Вопросы радиоэлектроники. Сер. общетехническая. Вып.1. С.86-90 (2002).

62. Дэнда С. Гибридные интегральные схемы, этапы их развития и функциональные возможности // Дэне гидзаоюцу. 1983. Т. 25. № 14. С. 2-3.

63. Howard W. Markstein. Hybrid circuits in military find aerospace systems // Electronic packaging and production. 1981. V. 21. № 9. P. 50-61.

64. Rappaport A. Military and high rely ability hybrids // EDN. 1982. V. 27. № 13. P. 103-120.

65. Татинава И. и др. Перспективы гибридной микроэлектроники // Дэнси Дзайрё. 1982. Т. 21. № 5. С. 25-32.

66. Икэноуэ А. Ключ к комбинациям. Материал и технологический процесс //Там же. 1984. Т. 23. № 5. С. 20—21.

67. Футагавара Т., Сибата С. Новый взгляд на тонкопленочную гибридную технологию (в сравнении с толстопленочной) // Там же. С. 38-42.

68. Красов В. Г., Пераускас Г. В., Чернозубов Ю. С. Тонкопленочная технология в СВЧ-микроэлектронике. —М.: Радио и связь, 1985. — 167 с.

69. Kiyoshi Shibuan. A new round of interest in hybrid integrated circuits//Y.E.E. 1984. V. 21. № 208. P. 50-51.

70. Воженин И. H., Блинов Г. А. и др. Микроэлектронная аппаратура на бескорпусных интегральных микросхемах. — М.: Радио и связь, 1985. — 264 с.

71. Блинов Г. А., Гуськов Г. Я. Монтаж микроэлектронной аппаратуры. — М.: Радио и связь, 1987. — 365 с.

72. Пролейко В. М., Абрамов В. А., Брюнин В. Н. Системы управления качеством изделий микроэлектроники. — М.: Сов. радио, 1976. — 224 с.

73. Lien, J. Appl. Phys., V.67, p.2853 (1990).

74. V.A.Konovalov et al., The accurate spectral method for measuring twist angle of twisted cells with rubbed and grooved surfaces, SID'2000 Digest, p.620-623.

75. V.A.Konovalov, A. Muravski, J. Pelzl, Studies of the anchoring energy of nematics on grooved surfaces, Molecular Crystals and Liquid Crystals, v.367, p.251-258 (2001).

76. Karnei I., Melnikova E., Romanov O., Stashkevich I. Effect of orientation inhomogeneity of a profiled-surface liquid crystal on the characteristics of diffraction optical elements // Proc. SPIE. 2000. - Vol.4147. - P.281-286.

77. Аэро Э.Л. Двулучепреломление нематических жидких кристаллов вблизи дефектов поверхности // Оптика и спектроскопия. 1986. -Т.60. С.347-353.

78. Аэро Э.Л. Двумерная ориентация деформаций нематических жидких кристаллов в неоднородном электрическом поле, порожденном поверхностями с электрическим рельефом // Кристаллография. 1995. - Т.40. С.889-899.

79. Konovalov V.A., Muravski А.А., Yakovenko S.Ye., Pelzl J. Accurate spectral method for measuring twist angle of TN cells with rubbed and grooved surfaces // Proc. SPIE. 2000. - Vol.4147. - P.287-292.

80. P. De Gennes, Liquid crystals, Chap.3 (Oxford University Press, 1974).

81. Y. Sato, K. Sato, and T. Uchida // Jap. J. Appl. Phys. V.31, p.LS79 (1992).

82. В.И. Цой, A.A. Тарасишин, B.B. Беляев, C.M. Трофимов «Новый метод расчета оптических характеристик дифракционных элементов из оптически анизотропных материалов» // Опт. Журнал. Т.70. №7. С. 79-83 (2003).

83. В.И. Цой // Оптика и спектроскопия. Т.94. С.607 (2003).

84. Chigrinov V.G., Podyachev Yu. В., Simonenko G.V., Yakovlev D.A. Computer optimization of liquid crystal displays using MOUSE-LCD system // Proc. of the 18th International Display Research Conference AsiaDisplay'98. -Seoul, Korea. 1998. - P.565-568.

85. Л.М. Анищенко, Д.В. Листратов, C.M. Трофимов. «Технология моделирования в технологии производства пассивных элементов ГИС». Электронная техника, №5, с.10-14 (1988).

86. С.М. Трофимов, И.В. Шанин. «Расчёт механических напряжений в системе плёнка-подложка, возникающих при упругом и упруго-пластичном поведении материалов». Электронная техника, №7, с.21-24 (1984).

87. JI.M. Анищенко, С.Ю. Лавренюк, B.C. Терехов, С.М. Трофимов. «Применение метода конечных элементов для проектирования пассивных тонкоплёночных многополюсников». Электронная техника, №3, с.22-25 (1988).

88. В.Ф. Шугаева, Г.В. Подлесная, С.М. Трофимов. «Перспективы использования керамических подложек с повышенной диэлектрической проницаемостью для цифровых микросборок субнаносекундного диапозона». Электронная техника, №4, с. 16 (1988).

89. Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology. 4th Ed. Information Storage Materials. - 1995. - Vol.14. - P.277-339.

90. Энциклопедия полимеров. Т. 2.

91. Новицкий JI.А., Степанов Б.М. «Оптические свойства материалов при низких температурах». Москва: Машиностроение. 1980.1. ЗАКЛЮЧЕНИЕ