Когерентно-оптические методы представления и обработки информации в наукоемком приборостроении тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

Введение.

X.Тенденции развития ч информационно-измерительное обеспечение приборостроения. Задачи разработок и исследований.

1.1. Тенденции развития современного приборостроения,.

1.2. Анализ перспективности применения когерентно-оптичее ских методов в информационно-измерительном обеспечении приборостроения.'.

1.3. Постановка задач разработок и исследований.

2.Исследование возможности использования оптической согласованной иияьтрации дня контроля' геометрии деталей.

2.1» Принцип работы голографического коррелятора,.

2.2. Теоретический анализ метрологических возможностей гол ©графического коррелятора.

2.3. Разработка,' методов повышения чувствительности голографического коррелятора.

2.1.1. Преобразование информации в частотной плоскости голографического коррелятора.

2.3.2. Преобразование информации во входной плоскости гологруического коррелятора.

2.3.3. Разработка метода оптической фильтрации с противофазной компенсацией для допусковой разбраковки деталей.

2.4. Установление требований к точности позиционирования деталей и размеру фотопр^емп-чха.

2.5. Ограничения метода.".

2.6. Результаты экспериментальных исследований.

2.6Л. Описание экспериментальной установки и методика проведения исследований.

2,6.2. Исследование влияния преобразования информации в частотной плоскости на корреляционный отклик.

2,6.3» Разработка метода, оптической .фильтрации с противофазной компенсацией для до пусков ой разбраковки деталей 68 2.6.4. Исследование влияния преобразования информации в предметной плоскости на корреляционный отклик.

2,7. Основные концепции, построения систем контроля.

Вывода.'. а 3. Исследование возможности использования пространственного кодирования информации ¿ля дефектоскопии изделий со сложной формой поверхности.

3.1. Разработка математической модели процесса кодирования с помощью решетчатых структур.

3.2. Разработка математической модели процесса дефектоскопии.'.

3.3. Исследование метрологических возможностей метода.

3.4. Установление требований к точности по'зицт*окировакия изделий.

З.о. Ограничения метода.

3.6. Экспериментальные исследования метода.

3.6.1. Списание экспериментального оборудования и методики проведения, эк спериментов.

3.6.2. Результаты экспериментов.1С

3.7. Основные концепции построения систем дефектоскопии

3.7.1. Разработка датчиков структурного освещения. ИЗ

3.2. Разработка систем дефектоскопии с электронной обработкой информации,.

3.3, Разработка систем дефектоскопии с оптической обработкой информации.,.

Быв оды.-.

Голографические исследования взаимосвязи геометрических и вибрационных параметров тонкостенных непрозрачных цилиндрических оболочек.

I«Теоретический анализ .форм собственных колебаний цилиндрического резонатора.

1.1, Основные уравнения теории тонкостенных цилиндрических оболочек.

1.2, Математическая модель интерферограшы форм собственных клебаний резонатора с постоянной толщиной стенки.

1.3, Математическая модель поведения форм собственных колебаний резонатора с переменной толщиной стенки.

2. Разработка экспериментального оборудования и методики проведения исследований.

2«I. Описание экспериментальной установки.

2.2, Методика проведения исследований.

2.3. Интерпретация иктерферограмл.

3. Результаты экспериментальных исследований.

3.1. Анализ информативности различных форм собственных колебакий pesoнатopa.

3.2. Исследование взаимосвязи геометрии резонатора с формой колебаний ТП~2 П=6.

3.3. Исследование взаимосвязи конструктивно-технологических параметров с качеством изготовления резонатора.

3.4. Исследование эффекта расщепления собственных частот.

3.5. Исследование нестабильности частоты колебаний резонатора, при нагружении его давлением.

4.'Критерии и комплексная оценка качества изготовления цилиндрических резонаторов.

5. Разработка автоматизации дефектоскопии цилиндрических резонаторов.

Вывода.

5. ^нтерференционно-голографические исследования геометрических и вибрационных параметров кварцевой тонкостенной полусферической оболочки.

5.1. Разработка интерференционно-контактного метода оценки геометрии кварцевого полусферического резонатора,.

5.1.1. Экспериментальная установка.

5.1.2. Методика проведения эксперимента.-.

5.1.3. Результаты экспериментов.

5.1.4. Разработка автоматизации оценки геометра резонатора

5.2. "зрение форм колебаний полусферического резонатора.

5.2.1. Зк сперименталъная установка.

5.2.2. Методика получения иктерферограмм форм колебаний резонатора.

5.2.3. Результаты экспериментов.

Выводы.

6. Голографмческие исследования дефрмазтий упругих элементов 6.1. Разработка математической модели интершерограмш упругого элемента.

6.1.1. Математическая модель иктерферограмш торсиона.\

6.1.2. Математическая модель .иктерферограшы деформаций чувствительного элемента акселерометра.

209 о р,с

1.3. Математический анализ поведения мембранной коробки при нарушен^ ее герметичности.

2. Разработка оборудования и методики проведения экспериментов.

2.1. Экспериментальная установка.

2.2. Приспособления дяя нагрукения упругих элементов.

2.3. Методика проведения экспериментов.

3. Результаты экспериментальных исследований

3.1. исследование торсиона.

3.2. Исследование чувствительного элемента акселерометра.,.

3.3. Оценка герметичности мембранной коробки.

4. Разработка автоматизации дефектоскопии упругих элементов Выводы. .•.

7. Голографические исследования деформаций неподвижных соединений.

7.1. Исследование соединений чувствительного элемента гидродинамического гироскопа.

7.2. Исследование паяного соединения элементов упругого подвеса динамически настраиваемого гироскопа.

7.3. Исследование соединения металл-стекло, выполненного диффузионной сваркой.

7.4. Исследование детонационного покрытия деталей.

7.5. Исследование микротвердости лазерного упрочнения деталек

Выводы.

8. Исследование возможности регулировки приборов с помощью голографической интерферометрии.

8.1. Регулировка микродвигателей с винтовым соединением

8.2. Регулировка упругого подвеса динамически- настраиваемого гороскопа.

Зыводы.

Период с середины 80-х по начало 90-х годов для авиационного приборостроения прошел под знаком интенсивной разработки и создания приборов нового поколения таких как частотные датчики давления, акселерометры и гироскопы.Их отличительной чертой является высокая точность работы при значительном сокращении размеров, достигаемые за счет построения на новых физических принципах, использования нетради-цонных для приборостроения материалов, обязательного учета различного рода микродеформаций. Все это поставило перед авиационной приборостроительной промышленностью проблему ее адекватного информационно-измерительного обеспечения, позволяющее решать следующие задачи: автоматизация бесконтактного контроля параметров плоских и объемных деталей с абсолютной погрешностью в пределах 1-2 мкм; качество сварных, паяных, клеевых и резьбовых соединений; оптических неоднородностей и дефектов изделий из оптически прозрачных материалов;

- определение механических напряжений термонагруженных областей и локальных искажений формы изделий; анализ вибрационных полей динамических объектов и деформаций упругих элементов различного назначения.

С аналогичными проблемами сталкиваются при проектировании и отработке конструкции, технологии изготовления и оценке качества готовой продукции в часовой промышленности, радиоэлектронике и вычислительной технике при создании узлов точной механики и их элементной базы.

Традиционные информационно-измерительные методы и средства с учетом отмеченных особенностей развития современного приборостроения оказались мало эффективными, либо вообще неприемлимыми.

Поэтому особого внимания заслуживает одно из направлений радиофизики— когерентно-оптические методы представления и обработки информации, а именно, методы оптической согласованной фильтрации, пространственного кодирования информации и голографической интерферометрии. Они обладают рядом таких уникальных свойств как бесконтактное и одновременное получение информации, в том числе трехмерной, о положении точек по всей поверхности объекта; низкий порог чувствительности, определяемый долями длины световой волны; возможность исследования объектов с любой степенью обработки поверхности и из любых материалов; использование в качестве меры длины световой волны; легкость сопряжения с электронными средствами автоматики; возможность решения как статических, так и динамических задач.

Когерентно-оптические методы представления и обработки информации основаны на сложных и наукоемких механизмах, охватывающих различные направления радиофизики.

Целью настоящей работы является раскрытие физической сущности механизмов, теоретическое, методологическое и практическое обоснование возможностей и эффективности использования когерентно-оптических методов представления и обработки информации применительно к информационно-измерительному обеспечению современного приборостроения, а также создание на их базе информационно-измерительных средств.

Научная новизна работы заключается в теоретических и экпериментальных исследованиях когерентно приме нит е ль но к информационно-измерительному обеспечению наукоемкого приборостроения, позволивших создать математические модели процессов контроля и измерения; разработать схемные решения и концепции построения информационно-измерительных систем; оценить их метрологические возможности и требования к элементной базе; создать комплекс методик и оборудования для отработки конструкции, технологии изготовления , оценки качества и поведения изделий авиационного приборостроения в реальных условиях работы.

На защиту выносятся следующие основные положения: повышение чувствительности оптической согласованной фильтрации за счет преобразования амплитудно-фазового распределения световой волны как на входе, так и в частотной плоскости голографического коррелятора; это позволяет повысить на порядок точность систем контроля и расширить класс контролируемых деталей; управление чувствительностью голографического коррелятора с помощью фильтра, синтезированного методом противофазной компенсации. Такой фильтр позволяет изменять поле допуска в широких пределах; пространственное кодирование информации с помощью решетчатых структур для получения информации об объемных свойствах объекта. Это позволяет решать задачи бесконтактного контроля изделий со сложной формой поверхности; метод голографирования зеркально отражающих объектов цилиндрической формы, сущуственно упрощающий аппаратурное решение оборудования; метод оценки геометрии тонкостенных оптически прозрачных осесимметричных оболочек. Он при сохранении высокой точности контроля дает возможность существенно сократить число механических контактов с поверхностью оболочки; методология применения голографической интерферометрии для решения задач по отработке конструкции, технологии изготовления и оценке качества элементной базы современного приборостроения;

-II- / / концепции построения неразрушающих информационно-измерительных систем на базе методов оптической согласованной фильтрации, пространственного кодирования информации и гологрфической интерферометрии.

Практическая ценность. Результаты теоретических и экспериментальных исследований явились основой при создании комплекса методик и оборудования для отработки конструкции, технологии изготовления, оценки качества и изучения поведения в рабочих условиях элементной базы авиационного приборостроения.

Полученные результаты, разработанный комплекс методик , схемные решения и принципы построения систем контроля позволили снять проблемы по информационно-измерительному обеспечению разработки и производства элементной базы частотных датчиков давления, акселерометров и гироскопов нового поколения. При этом комплекс разработанных методик является универсальным и может быть использован при решении технических задач по созданию разнообразных изделий современного приборостроения. Более того, проведенные исследования позволяют сделать заключение о когерентно-оптических методах и средствах представления и обработки информации как о самостоятельном направлении в информационно-измерительном обеспечении современного приборостроения.

Реализация работы. Результаты иследо-ваний, разработанные концепции построения информационно-измерительных систем, схемные решения и разработанные методики получения информации внедрены и внедряются на ряде предприятий авиационной и машиностроительной отраслей отечественной промышленности. Так, результаты исследований когерентно-оптических методов по оценке геометрии плоских деталей и формы деталей со сложной поверхностью явились основой разработок Центрального научно-исследовательского технологического института машиностроения серии систем для автоматизации визуального контроля качества боеприпасов. Созданный контрольно-измерительный голографический комплекс нашел применение на ряде приборостроительных предприятий авиационной промышленности при отработке конструкции, технологии изготовления, оценке качества и изучении поведения в рабочих условиях элементной базы приборов нового поколения.

Экономический эффект от внедрения разработок в период 1980-1990 годов составил более 600 тыс. рублей. Отдельные разработки в течении ряда лет демонстрировались на международных выставках в ПНР, ЧССР, НРБ,ГДР и Финляндии, а также на ВДНХ СССР. За их разработку автор отмечен золотой, тремя серебряными и двумя бронзовыми медалями. Кроме того,научные разработки нашли отражение в учебном процессе ( "Исследование допусковой разбраковки деталей с помощью топографического коррелятора". Методические указания к лабораторной работе, изданные МАТИ им.К.Э.Циолковско-го в 1984 г.).

Таким образом, диссертационная работа представляет собой обобщение и решение крупной научно-технической проблемы, имеющей важное народно-хозяйственное и социальное значение, заключающееся в разработке , теоретическом, методологическом и практическом обосновании информационно-измерительного обеспечения современного приборостроения на базе когерентно-оптических методов представления и обработки информации, обеспечивающих повышение объективности процессов получения информации, надежности и долговечности изделий приборостроения , повышение производительности и . улучшение условий труда.

Апробация работы. Основные результаты разработок и исследований докладывались автором на следующих научно-технических конференциях и семинарах: Всесоюзной конференции "Современная прикладная оптика и оптические приборы", Ленинград, 1975 г.; 2-ой Всесоюзной конференции "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение", Москва, 197бг.;Всесоюзном семинаре "Новые оптические методы и приборы для контроля длин, углов, формы и шероховатости поверхностей", Москва, 1980 г.; 9-ой Всесоюзной конференции "Неразрушающие физические методы и средства контроля", Минск, 1981 г.; Международной школе по когерентной оптике и голографии, Болгария, гор. Варна, 1981 г.; Всесоюзном семинаре Лазерная технология в приборостроении", Пушкино, 1982 г.; Всесоюзной конференции "Неразрушающие методы контроля", Барнаул, 1982 г.; Всесоюзной конференции "Проблемы генерирования, обнаружения и эффективности применения сложных сигналов", Киев 1982 г.; Всесоюзной конференции "Технологические пути экономии трудовых и материальных ресурсов и интенсификации производства в приборостроении", Суздаль, 1983 г.; 2-ой Всесоюзной конференции молодых ученых и специалистов приборостроительной промышленности, Москва, 1983 г.; Всесоюзной конференции "День советской науки",1984 г.; 10-ой Всесоюзной конференции "Неразрушающие физические методы и средства контроля", Львов, 1984 г.; 11-ой Всесоюзной конференции "Диффузионные соединения металлических и неметаллических материалов", Москва, 1984 г.; Всесоюзном семинаре "Применение оптической голографии для неразруша-ющего контроля", Ленинград, 1984 г.; Всесоюзном семинаре "Лазерная технология в производстве приборов", Паланга,

1984 г.; Всесоюзном семинаре "Методы и средства технической диагностики в приборостроении", Дилижан, 1985 г.; Всесоюзном семинаре "Лазерная технология в приборостроении", Рига,

1985 г.; Всесоюзной конференции "Пути интенсификации производства в приборостроении на базе ресурсо- и энергосберегающих технологий", Нальчик, 1986 г.; 11-ой Всесоюзной конференции "Неразрушающие физические методы и средства контроля", Москва, 1987 г.; семинаре МДНТП "Лазеры в народном хозяйстве", Москва, 198 6 г., 1988 г.; 6-ом Всесоюзном отраслевом научно- техническом совещании "Состояние и перспективы развития методов и средств неразрушающего контроля авиационной техники", Ульяновск, 1989 г.; Российской конференции "Новые материалы и технологии машиностроения", Москва, 1992 г., 1993 г.

Диссертационная работа докладывалась на кафедре "Технология производства приборов и систем управления летательных аппаратов" МАТИ-РГТУ им. К. Э. Циолковского.

Публикация. По теме диссертации опубликовано 56 работ, в том числе 27 статей, 10 авторских свидетельств, 19 докладов.

Структура и об ъем работы. Диссертационная работа состоит из введения, восьми глав , заключения и двух приложений. Материал изложен на 202 страницах, содержит 140 рисунков на 83 страницах и 11 таблицах. Список использованной литературы состоит из 171 наименования на 18 страницах.

Выводы

I. Разработан и исследован технологический процесс регулировки перекоса подшипниковых опор микродвигателей. Разработаны и опробованы методика и оборудование для регулировки перекоса подшипниковых опор гиродвигателя гироскопа, которые нашли применение на производстве и позволили увеличить его работоспособность на 10-15 %,

-3052. Разработан и исследован технологический процесс регулировки упругого подвеса динамически настраиваемого гироскопа с целью устранения квадратурных возмущающих моментов, которые непосредственным образом влияют на собственный дрейф гироскопа. Разработанные методика и оборудование включены в технологический процесс изготовления ДНГ на одном из предприятий авиационного приборостроения.

-306

Заключение

В диссертационной работе разработано и исследовано одно из информационно-измерительных направлений для обеспечения разработки и создания приборов нового поколения. Оно дает возможность решить целый комплекс технологических проблем, не поддающихся решению другими информационно-измерительными средствами.

Многолетний опыт работы автора с коллективом сотрудников позволил определить основные пути использования когерентно-оптических методов представления и обработки информации для разрешения технологических проблем в авиационном приборостроении; разработать математические модели процессов контроля и измерения; оценить метрологические возможности информационно-измерительных систем на базе отмеченных методов; создать комплекс методик, оборудования и принципов построения систем. Результатом этих разработок явилось создание ряда опытных образцов оборудования, новизна которых подтверждена авторскими свидетельствами.

Таким образом, привлечение когерентно-оптических методов представления и обработки информации в технологию современного приборостроения способствует ускорению создания приборов нового поколения с техническими параметрами и функциональными ■ возможностями, значительно превосходящими существующие ныне приборы и системы.

В целом, по материалам диссертационной работы можно сделать следующие выводы:

1. Предложены и разработаны методы оптической согласованной

-307фильтрации,пространственого кодирования информации и голо-графической интерферометрии применительно к решению информационно-измерительных задач современного приборостроения.

2.Проведены теоретические и экспериментальные исследования метрологических возможностей систем контроля на базе оптической согласованной фильтрации и требований к точности позиционирования деталей на их входе.

Найдены пути повышения точности методов оптической согласованной фильтрации за счет преобразования когерентных световых полей как на входе, так и в частотной плоскости систем контроля, позволяющие существенно повысить точность контроля и достичь абсолютной погрешности измерений в 1-2 мкм,а также реализовать два типа кривых отклика - линейную зависимость для разбраковки деталей по размеру и квадратичную зависимость для разбраковки деталей в поле допуска.

3. Предложен, научно обоснован и практически реализован метод синтеза голографического фильтра с противофазной компенсацией, позволяющий регулировать поле допуска контроля в широком диапазоне.

4. Разработаны математические модели процессов пространственного кодирования и дефектоскопии поверхности объемных изделий. На их основе получены аналитические выражения для описания структуры кодированного изображения объемных объектов со сложной формой поверхности и корреляционного отклика систем дефектоскопии,а также проведена оценка метрологических возможностей систем дефектоскопии и требований к ориентации изделий на их входе.

-308

Показано, что системы контроля на базе пространственного кодирования информации обладают относительной чувствительностью порядка 1(Г3-10~4 и угловое отклонение в горизонтальной и поперечной плоскостях относительно исходного положения на 10'-15' не сказывается на качестве контроля.

5. Разработаны концепции построения информационно-измерительных систем на базе оптической согласованной фильтрации и пространственного кодирования информации.

6. Исследована возможность использования методов гологра-фической интерферометрии для решения задач по оптимизации конструкции, технологии изготовления, оценке качества и прецизионной регулировке изделий точного приборостроения через поля микродеформаций.

Показано, что задачи создания чувствительных элементов приборов нового поколения оптимально решаются с помощью эталонных интерферограмм, получаемых расчетным путем, в то время как разработка неподвижных соединений — с помощью эталонных интерферограмм, получаемых экспериментально, и априорной информации о поведении соединения при их нагружении.

7. Разработаны математические модели интерферограмм поведения в рабочих условиях чувствительных элементов и узлов частотных и барометрических датчиков давления, акселерометров и гироскопов нового поколения. Достоверность разработанных моделей подтверждена экспериментальными исследованиями .

8. Предложено, практически реализовано и внедрено в производство авиационного приборостроения схемное решение проp r'

-309цесса голографирования зеркально отражающих цилиндрических оболочек, которое при простоте схемного решения позволяет исследовать поверхность оболочки в секторе обзора до 150°-170° .

9. Предложен, разработан и практически реализован интерференционно-контактный метод оценки профиля оптически проз-ачных осесимметричных тонкостенных оболочек. Установлено, что среднеквадратическая погрешность измерения толщины стенки оболочки не превышает 0,4 мкм.

10. Показана возможность прецизионной регулировки авиационных приборов методами голографической интерферометрии. Установлена их эффективность при регулировке равномерности затяжки винтов в процессе сборки гиромоторов и упругого подвеса динамически настраиваемого гироскопа с целью устранения дрейфа от квадратурных возмущающих моментов.

11. Разработан и внедрен в производство приборостроения комплекс методик и оборудования для решения задач по оптимизации конструкции, технологии изготовления и оценке качества деталей микромеханизмов; чувствительных элементов частотных и барометрических датчиков давления, акселерометров и гироскопов нового поколения; неподвижных соединений различных типов; упругих элементов; лазерного упрочнения поверхности деталей и прецизионной регулировки узлов приборостроения. Внедрение в производство данных разработок позволило получить экономический эффект около 600 тыс. руб. в период 1985 - 1990 г.г.

В заключение автор выражает благодарность руководству и сотрудникам кафедры "Технология производства приборов и

-310систем управления летательных аппаратов'' МА.ТИ - Российского государственного технологического университета им. К.Э. Циолковского, без внимания и помощи которых вряд ли могла состояться настоящая работа.

-311

1.Владимирский P.A.,Носков М.М. Перспективы применения лазе-ров в Минприборе в 12 пятилетке. Тезисы докладов Всесоюзного научно-технического семинара "Лазерная технология в приборостроении". М. ,1985, с.1.

2. Шанин В.И.,Панфилова Е.Е.,Сухарев Г.Б. Исследование, разработка и внедрение голографического метода контроля резонаторов частотных датчиков давления. Научно-технический отчет МАТИ по- теме 1451,PK У96284,инв.61388.-М. :ВИМИ, 1985.-198с.

3. Панфилова Е.Е.Разработка и исследование комплексного контроля качества цилиндрических резонаторов частотных датчиков давления. Диссертация на . кандидата технических наук. М.: МАТИ, 1987.

4. Журавлев В.Ф.,Климов Д.М. Волновой твердотельный гироскоп.-М.: Наука, 1985.-174 с.

5. Bryan G.H. On the beats in the vibrations of a revolving cylinder or bell.Proc.Comb.Phil.Soc.Math.Phys.Sei.,18 90,N7, p.101-111.

6. Тищенко О.Ф., Киселев JI.Т., Коваленко A.П. и др. Элементы приборных устройств.-М.: Высшая школа, 1982. -304 с.

7. Браславский Д.А., Логунов С.С., Пельпор Д.С. Авиационные приборы и автоматы.-М.: Машиностроение, 1978.-3129 .Гироскопические системы. Под ред. Д. С. Пе ль пора. -М. .'Высшаяшкола,1988. -424 с.I

8. Ю.Асс Б.А., Уразаев З.Ф., Мясников Б.Я. Сборка, регулирование и испытание авиационных приборов. -М.: Машиностроение, 1989.

9. И.Кудинов В.В., Иванов В.М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий.М.: Наука, 1981. -186 с.

10. Неразрушающий контроль и диагностика. Справочник.Под ред. В.В.Клюева. -М. : Машиностроение, 1995. -725 с.

11. Машиностроение.Энциклопедия.Измерение,контроль,испытания и диагностика.Под ред.В.В.Клюева.-М.:Машиностроение,1996.

12. Лазарев JI.П.,Мировицкая С.Д.Контроль геометрических и оптических параметров волокон.-М.:Радио и связь,1988.-280 с.

13. Саркин В.И.Современное состояние средств контроля размеров, формы и шероховатости поверхности деталей приборов.-М-.: ИНИИТЭИ приборостроения, вып. 3, 197 9 .-60 с.

14. Петраков А.В.Автоматические телевизионные комплексы для регистрации быстропротекающих процессов. М. :Энергоатомиз-дат, 1987 .-152 с.

15. Сарвин A.A. Системы бесконтактных измерений геометрических параметров. -Д.: издательство Ленинградского университета, 1983.-144 с.18.3астрогин Ю.Ф. Контроль параметров движения с использованием лазеров. -М.: Машиностроение, 1981. -17 6 с.

16. Василенко Г.И., Цибулькин Л.М. Голографические распознающие устройства. -М.: Радио и связь, 1985. -312 с.20..Применение методов Фурье-оптики. Под ред. Г.Старка. -М. : Радио и связь, 1988. -535 с.-313

17. Tootill G.С. The use of cyclic permuteol chain cades for digitirers. Information Processing Conf.Paris.France,I960, p.414-418

18. Катыс Г.П. Объемное и квазиобъемное представление информации. -М. : Энергия, 1975.-368 с.

19. Haines К.А.,Hildebrand В.P. Multiple-wavelength and multiple source holography applied to contour generation. -JOSA, 1967, v.57, N2, p.155-167.

20. Shiotake N.,Tsuruta Т., Iton Y. Holographic generation of contour map of diffusely reflection surface by using immersion method. Japan'J.Appl.Phys.,1968,v.7,N8,p.904-909.

21. Zelenka J.S., Vagner J.R. A new method for generation depth contours holographically.-Appl.Opt.,1968,v.7,N10, p.2107-2110.

22. Vander- Lugt A.',Rotz F.B., Klooster A. Character-reading by optikal spatial filtering.-Optical and Electro-optical Information Processing,1965,p.125-141.

23. Maron E. Real-time measurements by optical co'rrelet ion.-Appl. Opt. , 1970, N9, p. 1385-1391.

24. Jenkins R.W. and Mellwain M.C. Holographic analysis of printed circuit boards.-Mater.Evaluat.,29,1971,p.199.

25. Watkins L.S. Application of spatil filtering substruction to thin film and integrated curcuit mask inspection.-Appl.Opt., 1973,v.12,N8,p.1880-1884.

26. Вартанян Ю.С.,Розиньков H.С.,Дубидкий Л.Г. и др. Оптические методы контроля интегральных микросхем: Состояние и перспективы совершенствования.-М.:Радио и связь,1982.-136с

27. Fusak R.L.,Lin L.H.,Harding K.,Gustavson S. Holographic optical processing for submecrometer defect defection. Optical Enginering,1985,v.24,N5,p.731-734.

28. Cavan D.L.,Lin L.H.,Hove R.В.,Graves R.E.,Fusak R.L. Patterned wafer inspection using laser holography and spatial fregency filtering.J.Vac.Sci.Tehnol.B6,N6,1988, p.19.34-1939.

29. Tshudi T.,Herziqer G.,Enqle A. Particle size analysis using computer-synthesized holograms.-Appl.Opt.,1974,v.13, N2,p.245-248.

30. Мировицкий Д.И., Самсонов Г.А., Шанин В.И. Интерференционно-теневое маркирование объемных моделей.-Радиотехника и электроника, 1972, т.17, N6, с.1280-1285.

31. Will P.M.,Pennington K.S. Grid Coding: A novel technologue for image processing.- Proc.JEEE,1972,v.60,N6,p.669-680.

32. Pennington К.S.,Will P.M.,Shelton G.L. Grid coding:at technique for the extraction of differences from schewes. Opt.Comrnun., 1970,v.2,N3,p.113-119.

33. Кудрявцев В.А., Пичугин А.П., Шанин В.И. Когерентно-оптический метод выявления дефектов на поверхности деталей. Материалы Всесоюзной научно-техн.конф."Современная прикладная оптика и оптические приборы", ч . 2, JI., 1975, с. 6.

34. Benoit P.,Mathieu E.,Hormiere J. Characterization and control of threedimmational objects using fringe projection techniques. Nouv.Rev.Optique, 1975,v.6,

35. Голографические неразрушающие исследования. Под ред. Р.Эрфа.-М. : Машиностроение, 197 9. -446 с.

36. Гинзбург В.М., Степанов Б.М. Голографические измерения. -М.: Радио и связь, 1981. -296 с.

37. Вест Ч. Голографическая интерферометрия. -М.: Мир, 1982. 504 с

38. Бекетова А.К., Белозеров А.Ф., Березкин A.H. и др. Голо-графическая интерферометрия фазовых обьектов. -Л.: Машине строение,1979. -232 с.

39. Козачок А.Г. Голографические методы исследования в экспериментальной механике. -М.: Машиностроение, 1984. -176 с.-312

40. Кудрин A.B., Полухин П.И., Чиченев H.A. Голография и деформация металлов. -М.: Металлургия, 1982. -152 с.

41. Антонов Е.А., Власов Н.Г. , Гинзбург В.М. и др. Голография. Методы и аппаратура. -М.: Сов.радио, 1974.37 бс.

42. Vander Lugt A. The effect of small displacement of spatial filters.-Appl.Opt.,1967,v.6,N7,p.1221.

43. Maclead N.,Karuz D.N. A kinematically designed mount for the precise lokation of spacimens for holographic inter-ferometry. -J.Phys.Ser.E.: Instrum.,1973,v.6,N5,p.423-424.

44. Черкасов Ю.М., Пряхин Ю.А. Фототермопластические процессы для голографии на основе высокоразрешающих полупроводниковых пленок. Регистрирующие среды для изобразительной голографии и киноголографии. -JI. : Наука, 1979, с. 119-143.

45. Мировицкий Д.И., Пичугин А.П., Шанин В.И. Автоматическое установление признаков расхождения у нескольких сравниваемых обьектов одного класса. -В книге "Проблемы голографии", 1973, вып.2, МИРЭА, с. 236.

46. Оптическая обработка информации. Под ред. Д.Кейсессента. -М. : Мир, 1980. -347 с.

47. Шанин В.И. Исследование возможности оптической согласованной фильтрации для контроля геометрии деталей в точном приборостроении. -Оптико-механическая промышленность, 1982, N7, с. 15-17.

48. Ковалевский В.А. Методы оптимальных решений в распознавании изображений. -М.: Наука, 1976.-328 с.

49. Шанин В.И. Возможность применения когерентной оптики и голографии для контроля часовых деталей и узлов. Сб. "Исследования в области технологии часового производства". -М., 1981, с.107-118.-313

50. Красниковский В.Г., Шанин В.И. Исследование когерентно-оптической обработки информации для контроля геометрии деталей точного приборостроения. Материалы шшколы по когерентной оптике и голографии. 1981, с. 147.1. Болгария —Варна,

51. Папулис А. Теория систем и преобразований в оптике. -М.: Мир, 1971. -495 с.о

52. Кривенков Б.Е., Чугуй Ю.В. Качественное оконтуривание двумерных теневых изображений. -Автометрия, 1979, N1,с. 33-44.

53. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. -М.: Наука, 1970. -856 с.

54. Indebetouw G.,Tschudi Т. and Herzider G. Quality control of small mechanical pieces using optical correction techniques.Appl.Opt., v.16,N2,p.516-522.

55. Baxpax JI.Д.,Курочкин А.П. Голография в микроволновой технике.-М. : Сов. радио, 1979.-320 с.-318

56. Мировидкий Д.И., Пичугин А.П., Шанин В.И. Голографический способ определения признаков отличия между сравниваемыми образами. -Радиотехника и электроника, 1975, т.20, N6,- с.1171-1176.

57. Williams R.E. Partially Coherent Processing by Optical Means.-JEEE Trans.Inform.Theory, 1965,vЛT-l1,p.449.

58. Шанин В.И. Прецизионный контроль линейных размеров методами оптической согласованной фильтрации. Тезисы докладов Российской науч.-техн. конф. "Новые материалы и технологии машиностроения". М., 1992, с.23.

59. Соболев Г.А., Гирина М.Г. Исследование скрытого гологра-фического изображения'. -Сб. "Регистрирующие среды для голографии".-Л.:Наука, 1975, с.88.

60. Красниковский В.Г., Самсонов Г.А., Шанин В.И., Халатова Е.С. К'вопросу автоматизации синтеза оптических согласованных фильтров. -Труды 2-ой Всесоюзной науч.-техн. конф. "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение". М., 1976, с.289.

61. Шанин В.И., Пичугин А.П., Шапов B.C. Устройство для распознавания образов. Авторское свидетельство N586738, 1977.

62. Indebetow G.,Tschudi Т. and Steffen J. Optical information processing for control quality of small mechanical pieces. Appl. Opt.,1976,v.17,N6,p. 911-917.

63. Casasent D.,Psaltis D. New optical transforms for pattern recognition.-Proc.JEEE,1977,v.65,N1,p. 77-84.

64. SO.Indebetow G. Using of optical information processing inproblem quality control of small mechanical pieces.- Appl. Opt.,1977, v.16,N7,p. 1944-1950.

65. Оптическая голография. Под ред. Г.Колфилда.-М.: Мир, 1982, т. 2 .

66. Яхимович В.А. Транспортно-загрузочные и сборочные устройства и автоматы. -Киев: техника, 1976. 191 с.

67. Иоффе В.А.Электромагнитное опознавание и ориентирование деталей". -М.: Знание,1976. -64 с.

68. Иванов А.А. Проектирование систем автоматического манипулирования миниатюрными изделиями. -М.: Машиностроение, 1981. -271 с.

69. Вагнер Е.Т., Митрофанов А.А., Барков В.Н. Лазерные и оптические методы контроля в самолетостроении. -М. : Машиностроение, 1977.-176 с.

70. Мировицкий Д.И., Самсонов Г.А., Шанин В.И. Микроинтерференционный метод в. теории распознавания образов.-Труды 2-го Всесоюзного семинара-совещания "Метрология в радиоэлектронике". М.,1971,с.363-365.

71. Евтихиев Н.Н., Мировицкий Д.И., Иванов В.П., Шанин В.И. О классификации типов поверхностей объемных тел по их оптическому рассеянию. -Труды ИГУ, 1972, с.314-318.

72. Шанин В.И., Пичугин А.П., Мировицкий Д.И. и др. Гологра-фическая система автоматического допускового контроля деталей серийного производства. Описание экспоната ВДНХ, павильон "Физика" АН СССР, М.,Наука,1973.-320

73. Шанин В.И., Кудрявцев В.А., Шапов B.C., Морошкин В.А. Система бесконтактного контроля формы сложных поверхностей. -Информационный листок N378-7 6, ГОСИНТИ, 1976.

74. Кудрявцев В.А., Шанин В.И., Шапов B.C. Анализ метрологических возможностей когерентно-оптического метода контроля формы сложных поверхностей. -Оптико-механическая промыш-ленность,1978, N11, с. 8-10.

75. Мировицкий Д.И., Шанин В.И. Исследование возможностей автоматического контроля деталей машиностроительного производства с использованием новейших достижений науки и техники. Научно-технический отчет МИРЭА, гос.per. N72026101, УДК 658.562.6. М., 1973.

76. Будагян И.Ф., Дубровин В.Ф., Мировицкий Д.И., Поветкин В.А., Шанин В.И. Рефлекторно-рефракторное интегральное голографирование. Сб. "Проблемы голографии", 1973, вып.2, МИРЭА, с.182-189.-¿21

77. Мировицкий Д .И. ,Евтихиев Н.Н.,Будагян И.Ф.,Дубровин В.Ф., Шанин В.И., Усатюк В.В. Устройство для наблюдения объемных изображений. Авторское свидетельство N37 87 88, бюл.изоб. N17, 1974.

78. Мировицкий Д.И., Будагян И.Ф., Дубровин В.Ф. Микроволноводная оптика и голография. -М.: Наука, 1983. -320 с.

79. Шанин В.И. Оптоэлектронный дефектоскоп. Авторское свидетельство N776216, 1980.

80. Goodman L.A. Liquid-crystal displays.-Electrooptic effects and addressing techniques./RCA Rev/.-1974, v.35, N4,p.513-561.

81. Васильев A.A.,Касасент Д.К.,Компанец И.Н., Парфенов А.В. Пространственные модуляторы света. -М. : Радио и связь, 1987. .-320 с.

82. Григоренко Я.М. Изотропные и анизотропные оболочки вращения переменной жесткости. Киев: Наукова думка, 1973. 228 с.

83. Ершов В.В., Сейфер А.В. Свободные колебания цилиндрической оболочки переменной толщины. В кн.: Строительная механика, газоаэродинамика и производство летательных аппаратов. -Воронеж: ВПИ, 1974, вып.5, с.96-104.

84. ЮЗ.Поволяев С.Т. Колебания цилиндрической оболочки спеременными упруго-геометрическими параметрами. -Труды МАИ, 1974, вып.289,с.60.

85. Маслов В.П. Теория возмущений и асимптотические методы. -М.: изд-во МГУ,1965.-322

86. Гонткевич B.C. Собственные колебания пластинок и оболочек. Справочное пособие.-Киев: Наукова думка,1964.-288 с.

87. ИО.Суминов В.М.,, Катомин H.H., Панфилова Е.Е., Шанин В. И.' Устройство для измерения параметров зеркально отражающих цилиндрических поверхностей. Авторское свидетельство N974943, 1981.

88. Суминов В.М. , Панфилова Е.Е., Шанин В.И. Интерференцион-но-голографиче-кий контроль резонаторов частотных датчиков давления. -Дефектоскопия, 1983, N9, с.91-93.

89. Koval L.R. Note of the effect of dynamic asymmetry of the vibration of cylindrical shells.-J.Acoust .Amer., 1963,v.35, N2, p.252-253.

90. Tobias S.A. A theory of imperfection for the vibrations of elastic bodies of revolution.-Engineering,1951,v.172, N4470, "p.409-411.

91. Корольков И.В. Расщепление спектра частот и форм собственных колебаний цилиндрического резонатора. -Известия ВУЗов. Машиностроение,1977, N1, с.24-28.

92. Панфилова Е.Е., Шанин В.И., Зотов В.А. Способ определения годности цилиндрических резонаторов частотных датчиков давления. Авторское свидетельство N1597632, 1990,жбюл.изоб.N37.-324

93. Суминов В.М., Панфилова Е.Е. Интерференционно-гологра-фический контроль резонаторов частотныхдатчиков давления в рабочем диапазоне давлений. -Дефектоскопия, 1985, N3, с.87-90.

94. Бутаков Е.А., Островский В.И., Фадеев И.Л. Обработка ■ изображений на ЭВМ. -М. : Радио и связь, 1987. -240 с.

95. Шанин В.И. Интерференционно-контактный способ оценки геометрии оптических осесимметричных оболочек. -Дефектоскопия, 1996, N1, с.60-63.

96. Сухарев Г.В., Шанин В.И., Ширягин В.В.Голографическая оценка качества изготовления полусферического резонатора -Дефектоскопия, 1989,N9, с.91-93.

97. Шанин В.И. Интерференционно-контактный способ контроля геометрии тонкостенных оболочек.- Тез.докл.Российской науч.-техн.конф."Новые материалы и технологии машиностро ения". М.: 1993, с.27.

98. Сухарев Г.В., Шанин В.И., Ширягин В.В. Голографические исследования форм собственных колебаний полусферического резонатора.- Проблемы механики и инерциальной навигации, 1986, N3, с.14-16.

99. Шанин В.И. Голографическая оценка качества изготовления торсионов.- Дефектоскопия, 1995, N10, с.63-68.

100. Сухарев Г.В., Шанин В.И., Ширягин В.В. Применение голографии для оценки качества изделий приборостроения. -Докл. отраслевого науч.- техн. семинара "Лазерная технология в производстве приборов". -М.: ВНИТИПрибор, 1985,с.64-66.

101. Коваленко М.П. Опроры и подвесы гироскопических приборов. -М, : Машиностроение, 1970. -286 с.

102. Сухарев Г.В., Шанин В.И., Ширягин В.В. Голографические исследования полей деформаций и смещений кварцевых изделий приборостроения. -Тез.докл. Всесоюзного науч.-техн. семинара "Лазерная технология в приборостроении", Рига, 1985. -М. :1985, с.101.

103. Ширягин В.В.Исследование неидеальности элементов лазернО' го гироскопа и управление качеством их изготовления методами когерентной оптики и тепловидения.Диссертация на . кандидата технических наук. -М.: МАТИ,1990.

104. Neumann W., Kloetz G. Holografische Prufung metallischer Uberzuge.-Galvanotechnik,D 7968 Saulgau ZO, 1979,N4, s.339

105. Дрик Ф.Г., Зубко С.А., Краснов А.Н. и др. Интерференцион но-голографический контроль дефектов детонационных покрытий при вибрационном нагружении. -Дефектоскопия, 1981, N9,металлом. -М.: Машиностроение, 1986. -186 сс.91-93-32&

106. Суминов В.М., Шанин В.И., Семенова А.Н. Выявление дефектов детонационного покрытия методами голографической интерферометрии. -Дефектоскопия, 1985, N9, с.89-91.

107. Гольдберг М.М.Электрический взрыв проводников в процессах модификации поверхностей изделий машиностроения. Диссертация на . доктора технических наук. -М.:МАТИ,1991.

108. Рыкалин H.H., Углов A.A., РСокора А.Н. Лазерная обработка материалов.-М.: Машиностроение, 1975. -295 с.

109. Коган Я.Д. Использование лазеров при термической и химико-термической обработке . -Сб . .'Методы поверхностного упрочнения деталей машин и инструмента. -М.: изд. МАДИ, 1983, с.8-19.

110. Суминов В.М., Гольдберг М.М., Шанин В.И., Соколов C.B. Голографическая оценка лазерного упрочнения деталей приборостроения. -Измерительная техника,1985,N11,с.16-17.

111. Суминов В.М., Акилин В.И., Гольдберг М.М. Новые технологии, специальное технологическое оборудование, контрольно-измерительные приборы и комплексы. Информационный сборник.-М.: МАТИ, 1989. -28 с.

112. Макаревич А.Н. Исследование конструктивно-технологических факторов чувствительного элемента кварцевого акселерометра методами когерентной оптики и управление качеством его изготовления. Диссертация на . кандидата технических наук.-М. : МАТИ, 1990.-329

113. Идельсон М.И.,Филиппов К.П.,Бойцова И.А. и др. Технология оптикомеханического приборостроения.-JI.:Машиностроение, 1981.-277 с.

114. Акилин В.И., Архангельская Е.Б., Шанин В.И. Применение голографии для диагностики дефектов сборки малогабаритных двигателей. -Докл. Всесозного науч.-техн.семинара "Методы и средства технической диагностики в приборостроении". -Дилижан, 1985, с.7.

115. Пельпор Д.С., Матвеев В.А., Арсентьев В.Л. Динамически настраиваемые гироскопы. -М.: Машиностроение,1988.-2 64 с.

116. Суминов В.М., Баранов П.Н., Опарин В.И., Шанин В.И. Способ балансировки гибких роторов. Авторское свидетельство N13007.14, 1987.

117. Будагян И.Ф., Дубровин В.Ф., Мировицкий Д.И. , Шанин В.И. Устройство для возбуждения оптической линии. Авторское свидетельство N376843, бюл.изоб. N19, 1973.

118. Будагян И.Ф., Дубровин В.Ф., Мировицкий Д.И.,Камлюк С.Н., Шанин В.И.Устройство для получения согласованного фильтра. -Авторское свид. N413559, бюл.изоб.N30, 1974.

119. Марков П.И., Шаповалов В.М. Волоконно-оптические преобразователи в приборах технологического контроля. -Минск, Наука и техника, 1984. -112 с.-330i 68 . Бутусов M.M. , Галкин С. Л., Оробинский С. П., Пал Б. П.

120. Суминов В.М.,Акилин В.И.,Шанин В.И. и др.Способ perули-ровки осевой нагрузки на шарикоподшипниковый узел, преимущественно гкромотора.Авторское свидетельство N985725, 1982, бюл.изоб. N48.I