Лазерное напыление пленок аморфных магнетиков и полумагнитных полупроводников и их исследование тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.21 ВАК РФ

>гб од

^ Л • ' РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НЛУК ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ

На правах рутготтисн УДК 621.378

ГОРБАНЗАДЕ Ата Малек

ЛАЗЕРНОЕ НАПЫЛЕНИЕ ПЛЕНОК АМОРФНЫХ МАГНЕТИКОВ И ПОЛУМАГНИТНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ИХ ИССЛЕДОВАНИЕ

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физикб-математитеских наук

01.04.21 - Лазерная физика

Москва - 1998

/о/Л^^-

Работа выполнена в Институте общей физики РАН

Научный руководитель: кандидат физико-математических наук

П.И. Никитин

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук,

профессор А.К. Звездин (ИОФАН); кандидат физико-математических наук, ФАПудонин (ФИАН им. П.ИЛебедева)

Ведущая организация: Научно-исследовательский центр по

технологическим лазерам РАН, г. Троицк

Защита состоится 1998 г. в /¿Г часов

на заседании Диссертационного совета К 003.49,02 при Институте общей физики РАН по адресу: 117942, Москва, ул. Вавилова, 38. С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института общей физики РАН.

Автореферат разослан

¿¿'¿Яс/' 1998 г.

Ученый секретарь

Диссертационного совета К 003.49.02, кандидат физико-математических наук

Т.Б.Воляк

1. Общая характеристика работы.

Актуальность работы

Магнитные пленки находят все более широкое применение в качестве магниточувствительных элементов датчиков смещения, скорости, вращения и т.д. во многих отраслях промышленности, таких как машиностроение, транспорт, робототехника, компьютерная техника.

Использование пленок вместо традиционных объемных материалов открывает при этом принципиально новые возможности, так как обеспечивает возможность миниатюризации датчиков и их массового изготовления на базе промышленных технологий микро- и оптоэлектр оники.

Любой такой датчик должен удовлетворять следующим требованиям: чувствительность к слабому магнитному полю, малые собственные шумы, компактность, простота, дешевизна и т.д. Эти требования стимулируют поиски новых перспективных магнитных материалов и улучшение физических свойств известных материалов.

Физические принципы, лежащие в основе функционирования магнитных датчиков, можно разделить на следующие: индукционные (И), магнитооптические (МО), магниторезистивные (МР), магнитоимпедансные (МИ) и т.д. Первый тип датчиков функционирует за счет индуцирования ЭДС в съемной катушке, контур которой охватывает магнитную пленку, при изменении внешнего магнитного поля. Второй тип подразделяется на две разновидности, одна из них основана на применетпш МО эффекта Керра (МОЭК), а другая на МО эффекте Фарадея (МОЭФ). МОЭК проявляется в изменении амплитуды и поляризации света при отражении от намагниченной поверхности, в то время как МОЭФ заключается в изменении поляризации света при прохождении его сквозь намагниченную среду. МР и МИ датчики близки между собой, т.к. в обоих используется

изменение сопротивления материала (многослойной структуры, магнитной ленты, проволоки, пленки) под действием внешнего магнитного поля. Разница заключается лишь в том, что в МР датчиках изменяется омическое сопротивление, а в МИ - волновое. МР, МИ и МОЭФ датчики в последнее время получили наиболее широкое распространение.

Материалы, используемые в качестве пленок для магнитных датчиков должны удовлетворять раду специфических свойств. В частности, материалы для МОЭФ датчиков должны иметь высокое фарадеевское вращение, достаточно высокую прозрачность в диапазоне излучения коммерчески доступных лазерных источников. Наилучшим образом этим условиям удовлетворяют полумагнитные полупроводники, поэтому задача их получения в виде пленок является актуальной.

Другими важными материалами для вышеуказанных применений являются ферромагнетики. Необходимо получение материалов, обладающих магнитомягкими свойствами, высокой проницаемостью, контролируемой анизотропией. Например, для МИ эффекта функциональные возможности активного магнитного элемента во многом зависят от анизотропии и коэрцитивности материала. Высокую величину МИ сенсорного эффекта можно получить только на тех пленках, которые обладают низкой коэрцитивностыо и малой величиной дисперсии анизотропии. Первым шагом к получению таких материалов является переход от материалов, обладающих мапштокристаллической анизотропией, к аморфным. Однако, присутствие внутренних механических напряжений, как и в случае кристаллической структуры, приводит к анизотропии мапшгострикционной природы. Для снижения внутренних механических напряжений обычно применяется термомагнитная обработка. Однако, ее применение может привести к кристаллизации и к ухудшению свойств пленок в связи с разностью температурных коэффициентов расширения пленки и подложки.

Поэтому более целесообразным является использование материалов, состав которых подобран таким образом, чтобы скомпенсировать матнитострикцию. Аморфные материалы со скомпенсированной магнитосгрикцией яшгяются многокомпонентными и существуют в узком диапазоне составов. Для того, чтобы получить пленки аморфных магнетиков со скомпенсированной маппггострикцисй, необходима методика, обеспечивающая конгруэнтный перенос исходного материала мишени на подложку. Этому условию удовлетворяет импульсное лазерное напыление. Таким образом, получение магнитных пленок лазерным методом и всесторонние исследования их магнитных свойств являются насущными и актуальными задачами для обоих групп материалов. Однако, до настоящей работы идея использования лазерного напыления для синтеза пленок аморфных ферромагнитных материалов не рассматривалась. Использование же лазерного напыления для пленок полумагнитных полупроводников ограничивалось исследованием переноса материала, но не магнитных свойств.

Цель работы заключается в синтезировании лазерным напылением аморфных ферромагнитных (ФА) и полумагнитных полупроводниковых (ПП) пленок со свойствами не хуже, чем у объемных материалов. Особое внимание в работе уделяется исследованию фундаментальных свойств пленок и выявлению их перспективности для применения в качестве чувствительных элементов датчиков магнитного поля.

В диссертации решены следующие научные задачи. Методом лазерной абляцией синтезированы ФА и ПП пленки типа Со-Ре-ГА-БнВ и Сс1МпТе, Исследованы и оптимизированы их оптические и магнитные свойства.

Научная новизна

1. Впервые на основе лазерной абляции предложена и разработана нетодика получения пленок магнитомягких аморфных ферромагнетиков

типа Со-Ге-№-51-В по свойствам (структуре, составу, коэрцитивности и т.д.), близким к свойствам исходных материалов. Установлены зависимости магнитных свойств пленок от температуры подложки и толщины пленок.

2. Предложен и реализован новый метод лазерного напыления магнитных материалов, использующий сксмгксе неоднородное магнитное поле. Показано, что магнитное поле с пространственной неоднородностью порядка 1 см и величиной до 3 кЗ приводит к изменению пространственной структуры лазерного факела, снижению коэрцитивности пленок и увеличению скорости их осаждения более чем в 2 раза.

3. Впервые исследован эффект Фарадея в полупрозрачных аморфных ферромагнитных пленках типа Ре-Со-М-БьВ. Показано, что для указанных пленок величина эффективной константы Верде при насыщающих полях ~1 Э составляет 3 град/(Э-см). Установлены зависимости керровского и фарадеевското вращения от толщины пленки.

4. Методом лазерного напыления синтезированы пленки полумапштных полупроводников Сс11_хМпхТе и исследованы их свойства. Впервые измерены зеемановское расщепление и смещение края фундаментального поглощения для двух циркулярно-поляризованных компонент излучения во внешнем магнитном поле для напыленных лазером тонких пленок полумагнитного полупроводника Сс1МпТе. На основе экспериментов оценена константа обменного взаимодействия между (.^-электронами и й-электронами, локализованными на магнитных ионах. Показана перспективность полученных пленок для магнитооптических устройств и сенсоров.

Практическая значимость работы

Результаты, полученные в настоящей работе могут быть использованы в области материаловедения, приборостроении и измерительной техники.

Пленки полумапштиых полупроводников, полученные методом лазерного осаждения, могут быть использованы в приборах и планарных структурах, основанных на применении МОЭФ, вследствие хороших оптических и магнитооптических свойств. Кроме того, лазерное осаждение пленок СЙ1,хМпхТе позволяет обеспечивать точный контроль концентрации х, изменяющей параметр решетки, что делает пленки Сс1]_хМпхТс хорошим кандидатом для оптоэлектронной техники.

Аморфные ферромагнитные РеСо№?лВ пленки, полученные методом лазерного осаждения, могут применяться в качестве магнитных сердечников и магниточувствителышх элементов в датчиках магнитного поля. Низкие величины коэрцитивности и поля анизотропии, высокая твердость, коррозийная стойкость и т. д. делают аморфные пленки перспективным материалом для сенсоров на основе МР и МИ эффектов.

Физическое явление изменения пространственной структуры лазерного факела при приложении неоднородного магнитного поля, которое впервые наблюдалось в данной работе может иметь важные применения. Этот эффект может быть использован при лазерном осаждении не только аморфных магнетиков, но и многих других магнитных материалов. Данное явление также позволяет изучать кинетику магнитных ионов в лазерном факеле.

Апробация работы.

Основные результаты работы были представлены на Седьмой Международной конференции по И-ГУ соединениям и приборам (Эдинбург, Великобритания, 1995), 40-й Международной конференции по магнетизму и магнитным материалам (Пенсильвания, США, 1995) и на XI Европейской конференции "Еигохепхогс" (Варшава, Польша, 1997).

Публикации.

Основные результаты работы, представленные в диссертации, опубликованы в восьми печатных работах (5 статей и 3 тезиса конференций).

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и «шока литературы. Диссертация содержит 127 страниц, включая 37 рисунков и список литературы из 99 наименований, из них 8 авторских публикаций.

II. Содержание работы.

Во введении обоснована актуальность темы диссертации, изложены цели работы, ее научная новизна и практическая значимость, содержится краткая информация о структуре и содержании диссертации.

В первой главе дается литературный обзор работ по импульсному лазерному напылению. Рассматриваются главные достоинства метода и физические основы взаимодействия лазерного излучения с веществом [1]. Важнейшим достоинством лазерного напыления является то, что оно обеспечивает конгруэнтность переноса материала. Одним из его недостатков является формирование на пленке капель из расплавленного материала мишени. Обсуждаются механизмы, ответственные за образование капель. Отмечается, что к формированию капель имеет отношение шероховатость мишени [2]- чем больше шероховатость, тем больше капель. Обычно для металлических мишеней меньшая плотность энергии лазерного импульса приводит к большему количеству капель. Рассмотрены обсуждавшиеся в литературе несколько методов решении этой проблемы, такие как двойное облучение мишени двумя синхронными лазерными импульсами [3], гашение плазменного факела , предварительное нагревание мишени и т.д.

В литературном обзоре рассматриваются магнитные свойства аморфных магнитных материалов различных составов, например, таких как

РеСо№Б1В [4]. Приводится машитострккционная диаграмма этих сплавов, согласно которой аморфные магнитные сплавы в узком диапазоне составов являются бесстрикционными. Также обсуждаются факторы, влияющие на поле коэрцитивности (Ис) и магнитной анизотропии (ДО пленок.

Элементный состав материала, качество и температура подложки, внутренние механические напряжения, наклонность падения испаренного материала на подложку и термомагнитная обработка пленок являются главными факторами, влияющими как на Нс, так и на Нк. При этом наиболее детально рассматривается влияние термомагшшгой обработки на механизмы, ответственные за магнитную анизотропию.

Обычно механизм магнитной анизотропии в аморфных сплавах объясняется не только обыкновенным упорядочением пар магнитных атомов, но и существованием вклада, возшжающего за счет образования топологических дефектов [5].

В работах [6,7] подробно рассматриваются магнитные характеристики аморфных пленок Ре-С, ге-Со-?^, Со-Ре-В, Ре-В, полученные методом магнетроттого распыления. Данные пленки показывают хорошие маппшшягкие характеристики, Пс~ 0.15 - 1 Э.

Отмечается, что многие опубликованные работы носят противоречивый характер. В частности, пленки состава Соуд^Ре^^^В^ , напыленные магнетрошшм способом, обладают высокой коэрцитивностью Нс > 5 Э и магнитной анизотропией Нк > 30 Э. Кроме того, для пленок толщиной свыше 1000 А Нс резко увеличивается и пленки становятся изотропными по магнитным свойствам в плоскости пленки [8].

Дается краткий обзор феноменологии МОЭФ и МОЭК.

Представлен обзор работ по полумаппггньгм полупроводникам [9] и их пленкам, полученным методом лазерной абляции до настоящей работы.

Рассмотрены некоторые из исследованных их магнитных и оптических свойств [10,11].

Во второй главе представляется экспериментальная методика реализации лазерного напыления аморфных пленок. Пленки общего состава СоРе№51В были получены с помощью эксимерного и С02 -лазеров. Детально изучено влияние энергии импульса на свойства магнитных пленок и их состав. Проведены результаты целого ряда структурных исследований, таких как обратное резерфордовское рассеяние (ОРР), рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФС), рентгеновская дифракция (РД), рентгеновское рассеяние (РР). Исследования пленок методом РД подтвердили, что существуют условия, при которых пленки умеют аморфную структуру. Методом РФС и ОРР было показано, что пленки обладают составом близким к исходной мишени. Это означает, что пленки осаждаются конгруэнтно.

Анализ пленок, напыленных с помощью эксимерного лазера показал, что состав пленок зависит от плотности энергии импульса. Экспериментально установлено, что оптимальная плотность энергии импульса для конгруэнтного переноса составляет порядка £ ~5 Дж/см2 при длительности импульса т - 30 нсек.

Для изучения магнитных свойств пленок разработана установка, использующая МОЭК. Регистрируемыми параметрами являлись величины коэрцитивности и анизотропии, а также магнитной восприимчивости.

Полученные аморфные магнитные пленки продемонстрировали хорошие магнитомягкие свойства и высокую прямоугольность петель гистерезиса. Так, были получены пленки с коэрцитивностью 0.6 Э и магнитной анизотропией до 2 Э. Изучены зависимости величин Нс и Дк в диапазоне толщины пленок до 1200 А, осажденных с помощью эксимерного лазера. Показано, что с ростом толщины пленки коэрцитивность и

магнитам анизотропия уменьшаются и достигают минимума при толщине -50 А, а затем возрастают вплоть до толщины -200 А. При больших толщинах пленок эти величины не изменяются. Исследованы эффекты МОЭК и МОЭФ в синтезированных аморфных пленках. В работе проведено сравнение завясямостси величин этих эффектов от толщины пленок. Показано, что амплитуда фарадеевского вращения плоскости поляризации зондирующего излучения превосходит амплитуду керровского вращения при толщинах свыше 200 А, что связано с глубиной проникновения света в материал и сбразовазшем МО сигнала. Впервые предложено использование полупрозрачных аморфных пленок для применения в датчиках магнитного поля на основе эффекта Фарадея.

В третьей главе рассматриваются экспериментальные методики улучшения магнитных свойств пленок. Показано, что Нс и Нк уменьшаются при повышении температуры подложки и достигают минимума при температуре Т„ -250 °С, после чего возрастают. Рост Нс и Нк при температурах подложки превышающих 250 °С связан, по-видимому, как с механическими напряжениями после остывания из за разных коэффициентов теплового расширения пленок и подложек, так и с кристаллизацией аморфных пленок.

Термическая обработка немагнитострикционных аморфных пленок оказалась неэффективной, что соответствует известным фактам по отжигу немагнитострикционных материалов.

Детально рассматривается проблема изготовления толстых пленок. Аморфные пленки напылялись с помощью СО2- и эксимерных лазеров. Свыше критической толщины пленки обладали высокой коэрцитивностью. Эта критическая толщина зависит от состава пленок и составляет d ~ 10002000 А. Также обнаружено, что для толщины выше критической, величина

МОЭК уменьшается. Кроме того, для пленок толщиной выше критической, магнитные свойства в плоскости пленки имели изотропный характер.

Резкий рост коэрцитивности наблюдался и в пленках, осажденных магне1ронным напылением, поэтому сделать вывод о том, что указанный оффект является слсдствксм применения лазерного метода осаждения, нельзя.

В данной работе впервые применено неоднородное магнитное поле при лазерном осаждении. Установлено, что для пленок, полученных в присутствии неоднородного магнитного поля устраняется ослабление магнитооптических сигналов при увеличении толщины пленок. Показано, что с ростом толщины пленок Нс уменьшается более чем вдвое, а для некоторых пленок- более чем в 30 раз. При этом Н^ увеличивается незначительно, не более, чем на 10%. Например, для пленки толщиной ~ 0.3 мкм, осажденной эксимерным лазером и с применением неоднородного внешнего магнитного поля, величины Нс и Нк составляли < 0.7 Э и ~ 20 Э, соответственно.

В неоднородном магнитном поле наблюдалось сильное искажение плазменного факела и можно было реализовать фокусировку факела на подложку, за которой был помещен магнит. Этот эффект был интерпретирован следующим образом: в неоднородном магнитном поле на магнитные частицы, такие как атомы, ионы и охлажденные кластеры, действует Р= -р ёИ/йг, которая фокусирует их на подложку. В то же самое время, капли и горячие кластеры, обладающие температурой выше температуры Кюри, не отклоняются под действием магнитного поля. В итоге, вклад атомарной и ионной части факела в образование пленки увеличивается, что приводит к улучшению структуры пленки.

Фокусировка факела на подложке увеличивает скорость осаждения. В частности, неоднородное поле с пространственной неоднородностью

порядка 1 см и величиной до 3 кЭ вблизи подложки привело к двукратному увеличению скорости осаждения.

Проведены структурные исследования пленок, полученных в магнитном поле, и исходной мишени методом Оже-спектроскопии. Они показали конгруэнтность переноса материала при осажяении в магнитном поле.

Развита методика получения высококачественных магнитных пленок некоторых перспективных составов методом магнетронного напыления. Пленки составов №8]Ре]о, М^СозоРею, осажденные ВЧ-магнетроштым способом обладали Нс ~ 1 Э и Н^ ~ 1 Э и 20 Э, соответственно. Эксперименты показали, что присутствие Со как правило, приводит к повышению анизотропии (пленки из пермаллоя №»)17е;о, напыленные лазером, также имели изотропный характер). Пленки состава C068.15Fe435Sij2.5B15, напыленные магнетрошшм методом, обладали низкой коэрцитивностью Нс~ 0.1 - 0.9 Э и Щ > 15 Э.

Пленки, полученные4 методом лазерного и магнетронного напыления, позволили сделать сравнительные выводы относительно двух разных методов.

Показано, что импульсное лазерное напыление хорошо подходит для напыления тонких магнитных пленок, позволяет точно контролировать толщину, обеспечивает конгруэнтность. Лазерное напыление в сочетании с приложением неоднородного магнитного поля позволяет получить магнитомягкие толстые пленки. Один из недостатков лазерного напыления -образование капель на пленке.

Магнетронное напыление - это хорошо изученный метод, позволяющий получать пленки любой толщины, но при этом не всегда обеспечивает конгруэнтность, что является важным фактором при напылении многокомпонентных магнитных составов. Кроме того, на

магнитные свойства пленок сильное влияние оказывают параметры напыления и распределения магнитных полей самого магнетрона (в

ПСДХ СЛП м'й I О*»1 ПрСС ! р и! I Сг1> с).

В четвертой главе рассматривается импульсное лазерное напыление полумагнитных полупроводниковых пленок СёМпТе, обсуждаются их оптические и магнитные свойства. Приводится спектральная зависимость коэффициента пропускания Т в области края фундаментального поглощения для образцов пленок на сапфировой и стеклянной подложках. Наиболее резкий наклон края поглощения получен для пленки, напыленной на подогретую до 300 °С сапфировую подложку. Межзонный энергетический барьер Е„ для указанной пленки с использованием линейной интерполяции в координатах (к - Ьш)2 и , где к -коэффициент поглощения, был оценен как Е& — 2.15 эВ. Было измерено смещение края поглощения и его расщепление на две компоненты (соответствующие двум циркулярным поляризациям света а' и а ) во внешнем магнитном поле. В магнитном поле // = 30 кЭ при температуре Т = 5К величина расщепления А Е составляла 0.035 эВ, что согласуется с соответствующими данными для монокристаллов Сс1МпТе. Приводится спектральная зависимость эффекта Фарадея в спектральном диапазоне 1,52,3 эВ для пленки Cdo.57Mno.43Te, осажденной на сапфировой подложке. Максимальное зарегистрированное значение константы Верде составляло 0.3 град/(Э- см), что показывает перспективность указанных пленок для использования в планарных магнитооптических устройствах и структурах. С помощью эффекта Фарадея, зеемановского расщепления Д Е и аналитических соотношений, связывающих угол вращения , зеемановское расщепление АЕ и разность константы .г, р-<1- обменного взаимодействия N0 (а - р), величина последней была оценена как 1.25±0.2 эВ.

III. Основные результаты и выводы диссертаций.

1. Впервые предложена и разработана методика получения пленок многокомпонентных аморфных ферромагнетиков на основе лазерной абляции аморфных ферромагнитных лент и объемных материалов. Показано, что методика обеспечивает получение свойств пленок аморфных магнетиков (структура, состав, коэрцитивность и плоскостная анизотропия), близких к составам исходных аморфных лент. Установлены зависимости магнитных свойств пленок от температуры подложки в процессе напыления, а также от толщины пленок. Обнаружен минимум коэрцитивности и поля анизотропии при Т = 250° С, а также эффект возрастания коэрцитивности при превышении толщины плитки некоторого порогового значения, которая объясняются изменением морфологии выращенных пленок.

2. Для снижения коэрцитивности ферромагнитных пленок, получаемых методом лазерной абляцией, впервые предложен и использован метод приложения в процессе напыления неоднородного магнитного поля, направленного вблизи подложки по нормали к ней. Показано, что магнитное поле с пространственной неоднородностью порядка 1 см и величиной до 3 кЭ на поверхности подложки приводит к изменению пространственной структуры лазерного факела, снижению коэрщггавности пленок Собз 15?е4 з5В158112.5 и увеличению скорости их осаждения более чем в 2 раза. Обнаружено, что для пленок, осажденных в магнитном поле, отсутствует эффект порогового возрастания коэрцитивности с толщиной пленки. Установлено, что отклонение от оси лазерного факела на угол выше 20° пртзодит к возрастанию коэрцитивности осажденной пленки за счет нарушения конгруэнтности переноса материала.

3. Впервые исследован эффект Фарадея в полупрозрачных аморфных ферромагнитных пленках. Показано, что для пленок состава Ре-Со-№-51-В величина эффективной константы Верде составляет 3 град/(Э см), при

полях насыщения порядка ~ 1 Э. Установлены зависимости керровского и фарадеевского вращения от толщины пленки. Показано, что при толщине свыше 200 А фарадеевское вращение преобладает над керровским, что определяется глубиной проникновения света в материал пленки.

Впервые предложено использовать полупрозрачные пленки аморфных магнетиков для оптических сенсоров магнитных и механических величин, основанных на эффекте Фарадея.

4. Методом лазерного напыления получены пленки полумагнитного полупроводника Cdi-xMnxTe и исследованы их свойства. Показано, что полученные пленки по своим оптическим и магнитным характеристикам приближаются к пленкам, выращенным методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Впервые измерены зеемановское расщепление и смещение края фундаментального поглощения для двух циркулярно-поляризованных компонент излучения во внешнем магнитном поле для напыленных лазером тонких пленок полумагнитного полупроводника CdMnTe. Установлена спектральная зависимость фарадеевского вращения в диапазоне 1.5-2.3 эВ. На этой основе была оценена константа обменного взаимодействия между (s,p)-электронами и rf-электронам, локализованными на магнитных ионах. Показана перспективность полученных пленок для магнитооптических устройств и сенсоров.

Основные результаты диссертации опубликованы в работах:

1. П.И. Никитин, М.В. Валейко, А.М. Горбанззде, A.A. Белоглазов, В.И. Конов, Лазерный синтез и магнитооптика тонких пленок аморфных магнетиков, Квантовая электроника, 1996, 23, No 4, с. 383-384.

2. A.I. Savchuk, S.V. Medynskiy, V.M. Frasonyak, P.I. Nikitin, A.M. Ghorbanzadeh, Comparative study of magnetization in bulk crystals and

nanocrystals of the diluted magnetic semiconductors, 40th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials, Fhiladelpliia, Pennsylvania, 1995,

3. P.I. Nikitin, A.M. Ghorbanzadeh, V.I. Konov, A.I. Savchuk, K. S. Ulyanitskiy, II- VI based Semimagnetic Semiconductors: Effects of Double Doping and Application for Optical Sensors and Nonreciprocal Devices, Proc. of Seventh Int. Conf. on If-VI Compounds and Devices, Edinburgh, UK, 1995.

4. П.И. Никитин, А.И. Савчук, C.B. Медынский, А.М. Горбанзаде, С.И. Никитин, В.И. Конов, Оптические и магнитооптические исследования тонких пленок полумагнитных полупроводников CdMnTe, полученных лазерным напылением, Письма в ЖТФ, 1996, Т. 22, вып. 16, с.72-76.

5. P.I. Nikitin, M.V. Valeiko, A.Yu. Toporov, A.M. Ghorbanzadeh, A.A. Beloglazov, Deposition of thin ferromagnetic films for applications in magnetic sensor microsystems, Book of Abstracts of EUROSENSORS XI Conference, 21-24 September, 1997, Warsaw, Poland, pp.659-662.

6. A.Yu. Toporov, P.I. Nikitin, M.V. Valeiko, A.A. Valeiko, V.I. Konov, A.M. Ghorbanzadeh, A. Perrone, A. Luclies, Faraday effect in thin amorphous magnetic films, Sensors and Actuators A, 1997, 59, pp.323-326.

7. A.M. Горбанзаде, А.Ю. Топоров, П.И. Никитин, Особенности лазерного напыления аморфных магнитных пленок состава Co-Fe-B-Si в неоднородном магнитном поле, Квантовая электроника, 1998, 25, No 1, с. 82-84.

8. P.I. Nikitin, M.V. Valeiko, A.Yu. Toporov, A.M. Ghorbanzadeh, A. A. Beloglazov, Deposition of tliin ferromagnetic films for applications in magnetic sensor microsystems, Sensors and Actuators A, 1998, 67, pp. 1-3.

Список цитируемой литературы:

1. J. Cheung and J. Horwitz, Pulsed laser deposition history and laser-target

interactions, MRS bulletin, 1992, pp.30-36.

2. E. Van de Riet, C.J.C.M. Nillesen, J. Dieleman, Reduction of droplet emission and target roughening in laser abiaiion and deposition of metals, J. Appl. Fhys, 1993, 74, No 3, pp. 2008-2012.

3. S.Wiianaehehi, K. Ahmed, P. Sakihive], ar.d P. Miikhejjee, Dual-laser ablation for particulate-free film growth, Appl. Phys. Lett., 1995, 66, pp. 1469-1471.

4. K. ZaVeta, J. Sclmeider, Magnetic properties of amorphous metallic materials, Proc. Conf. on Amorphous Metallic Materials, Smolenice, Slovakia, 1978, pp. 367-384.

5. J.G Gonza'lez and J.M. Blanco, Short range order of Fe-Co and Fe-Ni amorphous stress and/or field induccd magnetic anisotropy, J. Non Crystalline Solids, 1990, 126, pp. 151-154.

6. Neil Heiman, R.D. Hempstead, N. Kazama, Low-coercivity amorphous magnetic alloy films, J.Appl.Phys, 1978, 49, No 11, pp.5663-5667.

7. S. Tsunashima, Y. Maehata and S. Uchiyama, Induced anisotropy and permeability in amorphous Fe-B and Co-Fe-B films, IEEE Transactions on Magnetics, 1981, 17, No.6, pp.3073-3075.

8. R. Baneijee, G. Choe, Byung-Il Cho, R.M. Waltser, The structure and magnetic properties of sputtered amorphous CoFeSiB thin films, IEEE Trans. Magn., 1995, 31, No 6, pp.3856-3S58.

9. П.И. Никитин, А.И. Савчук, Эффект Фарадея в полумагнитных полупроводниках, УФН, 1990, Т.160, вып.И, с. 167-196.

10. JJ. Dubowski, Pulsed Laser Evaporation and Epitaxy of Cdi_xMnxTe, J. Crystal. Growth, 1990, 101, pp.105-110.

11. J J. Dubowski, Pulsed laser evaporation and epitaxy, Acta Physica Polon., 1991, A80, pp. 221-244.