Пространственная структура и энергетические характеристики разряда в смесях газов на основе SF6 тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.13 ВАК РФ

Актуальность темы. Интерес к исследованию свойств разряда в смесях газов на основе SF6 связан, прежде всего, с широким использованием данного типа газа в электронной и коммутационной аппаратуре, и в импульсных химических HF/DF лазерах. Химические HF/DF лазеры являются перспективными источниками когерентного излучения, поскольку позволяют достигать высоких энергетических характеристик в диапазоне длин волн 2.4-3.2 мкм. В настоящее время достигнут значительный прогресс в создании импульсных HF/DF лазеров. Диапазон энергии излучения существующих установок простирается от единиц миллиджоулей до сотен джоулей при длительности энергии лазерного излучения от 50 до 1000 не. Тем не менее, предельные возможности газовых смесей, используемых для создания активной среды лазеров, остаются не выявленными. Выяснение предельных характеристик и их реализация позволит достичь более высоких удельных параметров, существенно повысить КПД лазерных систем.

Препятствием в улучшении характеристик разряда является его контракция, проявляющаяся в переходе плазмы разряда из состояния объемного горения в разряд состоящий из одного или нескольких высокопроводящих каналов. Сохранение объемного характера протекания тока является необходимым условием эффективного вложения энергии в разряд, достижения желаемых концентраций частиц и извлечения энергии.

Время существования однородного разряда ограничивается стягиванием плазмы разряда в высокопроводящие каналы. Формирование таких каналов зависит от геометрии разрядного промежутка, состава газовой смеси и параметров электрической схемы накачки. Физические причины формирования каналов в газовых смесях на основе SF6 и свойства их плазмы недостаточно изучены.

Цель работы. Изучение физических процессов, влияющих на пространственную однородность, а также на электрические характеристики разряда в газовых смесях на основе SF6. Оптимизация условий возбуждения, совершенствование способов зажигания объемных разрядов с высокими электрическими характеристиками в смесях газов на основе SF6.

Задачи исследований:

• Получить экспериментальные данные о пространственной структуре разряда в смесях газов на основе SF6 и его однородности в широком диапазоне плотностей тока разряда и энерговкладов.

• Экспериментально исследовать структуру и динамику развития одиночных катодных пятен и диффузных каналов.

• Выполнить численные расчеты для типичных условий накачки, при которых экспериментально реализуются однородные объемные разряды.

• Провести моделирование развития высокопроводящего канала.

• Выявить способы улучшения однородности и устойчивости разрядов в смесях газов на основе SF6.

Работа выполнена в Лаборатории газовых лазеров Института сильноточной электроники СО РАН в рамках контракта F5/97 "Определение оптимальных условий работы нецепного HF лазера" (заказчик - фирма CILAS, Орлеан, Франция). Часть диссертационного материала получена в ходе совместных исследований, проведенных в Лаборатории физики газоразрядной плазмы Парижского университета (Франция) (LPGP, Universite Paris-Sud, Orsay, France).

Методика исследований. Основным методом изучения является физический эксперимент. Для определения характеристик разряда использовались стандартные методики измерения и регистрации осциллограмм импульсов тока разряда, напряжения на плазме, свечения разряда. Для интерпретации получаемых экспериментальных данных используются результаты численных расчетов.

Защищаемые положения 1. Объемный электрический разряд в смесях газов на основе SF6 в диапазоне плотностей токов 10V700 А/см и энерговкладов

10н-700 Дж/л формируется из совокупности диффузных каналов имеющих своим началом катодные пятна, которые образуются за времена менее 5 не при малых перенапряжениях 5-^-10%. При достижении в плазме разряда концентрации электронов ~1014 см"3 (плотность тока 70 А/см и энерговклад 0.1 Дж/л) формируются у анодные пятна распределенные с большой плотностью более 100 см" . С ростом тока разряда и энерговклада плазма разряда расширяется. о

Экспериментально наблюдается увеличение площади разряда в 10 раз по сравнению с площадью предыонизации, причем характеристики такого разряда идентичны характеристикам разряда с предыонизацией по всей площади электродов.

2. Контракция разряда в смесях газов на основе SF6 характеризуется одновременным развитием с катода и анода большого числа каналов диаметром до 1 см, сопротивление которых сравнимо с сопротивлением плазмы однородного разряда. Снижение сопротивления плазмы канала на порядок по величине, вызывающее спад напряжения на плазме, наступает с определенной временной задержкой после разрушения -80% молекул SF6.

3. Плотность тока по длине одиночного диффузного канала с 2 распределена следующим образом: в катодном пятне -10 А/см , на

3 2 границе плазмы прикатодной области -10 А/см , в прианодной

2 2 области -10 А/см . Такой канал пропускает токи более 3 к А л плотность тока возле анода 350 А/см ) при энерговкладе более 4 Дж без формирования высокопроводящего канала. Обнаружено взаимодействие соседних каналов, проявляющееся в отталкивании плазмы прикатодных областей и притягивании плазмы столбов диффузных каналов.

4. Концентрация отрицательных ионов SF5" в плазме разряда растет быстрее, чем концентрация электронов. Так в области концентраций электронов пе~ 1014 см"3 концентрация указанных ионов оказывается на два порядка больше. В такой ситуации проводимость плазмы остается электронной, а электронейтральность обеспечивается ионами.

5. Формирование структуры разряда на катоде путем создания областей с локальным искажением электрического поля на металлической проволоке с диэлектрической подложкой либо отверстиями в диэлектрике на металлической подложке обеспечивает зажигание однородного разряда в смесях газов на основе SF6. Достоверность результатов исследований обусловлена применением различных общеизвестных методик для измерения параметров, совпадением расчетных результатов с экспериментальными, и согласием результатов работы с данными полученными другими авторами (В. Lacour, V. Puech, М. Makarov, Фирсов К.Н.).

Научная новизна работы:

1) Впервые получены результаты исследования разряда в смесях газов на основе SF6 (в том числе разряда накачки химических нецепных HF лазеров) в широком диапазоне плотностей тока разряда и энерговклада.

2) Впервые реализован разряд в виде одиночных катодных пятен и диффузных каналов над ними в SF6 и смеси SF6/C2H6 и изучены свойства такого разряда.

3) При помощи компьютерного моделирования определен зарядовый состав плазмы однородного и неоднородного разряда в смесях газов на основе SF6.

Научная ценность работы:

1) На основе экспериментальных и расчетных данных выявлены предельные характеристики (плотность тока, энерговклад, длительность импульса) однородного разряда накачки нецепных химических HF лазеров на смеси Ne/SF6/C6Hi4.

2) Детально изучен процесс контракции разряда и свойства неоднородного разряда.

3) Предложено объяснение расширения одиночного диффузного канала.

Практическая значимость работы:

1) Изученные свойства электрического разряда в газовых смесях на основе SF6 позволяют оптимизировать разряды накачки химических нецепных HF лазеров.

2) Разработана методика создания одиночных катодных пятен и диффузных каналов.

3) Разработаны способы улучшения однородности разряда накачки, основанные на получении заданной плотности катодных пятен.

4) Предложены несколько типов катодов, обеспечивающих высокую однородность разряда.

Внедрение результатов и предложения по их использованию

Исследования выполнены в рамках контракта F5/97 "Определение оптимальных условий работы нецепного HF лазера" (заказчик - фирма CILAS, Орлеан, Франция). По результатам исследований представлен и принят научно-технический отчет. На основе исследований был сделан ряд предложений, которые были использованы при разработке электроразрядной системы UV560, реализованной в Лаборатории физики газоразрядной плазмы Парижского университета.

Личный вклад автора заключается в активном участии в постановке задач и целей исследований, разработке способов улучшения однородности разряда и методов создания одиночных диффузных каналов, проведении экспериментов, анализе результатов и формулировке выводов. Все результаты получены лично Горчаковым С.Л. или совместно с соавторами при его непосредственном участии.

Апробация работы. Материалы, вошедшие в диссертацию, обсуждались на следующих конференциях:

1) 3-rd International Conference "Atomic and Molecular Pulsed Lasers", Томск, сентябрь 1997 г.

2) V Международная конференция молодых ученых "Актуальные вопросы теплофизики и физической гидродинамики", Новосибирск, май, 1998 г.

3) 4-th International Conference "Atomic and Molecular Pulsed Lasers", Томск., сентябрь 1999 г.

4) 5-th Russian-Chinese Symposium on Laser Physics and Laser Technology, Томск, октябрь 2000.

5) 5-th International Conference "Atomic and Molecular Pulsed Lasers", Томск, сентябрь 2001 г.

Результаты исследований докладывались и обсуждались на научных семинарах, проведенных в Институте сильноточной электроники, Лаборатории физики газоразрядной плазмы Парижского университета (Франция) и в Институте физики нетермальной плазмы г. Грайфсвальд (Германия).

Структура и объем работы. Диссертационная работа изложена на 148 страницах машинописного текста, иллюстрируется 62 рисунками, 5 таблицами. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и библиографического списка (75 источников).

Заключение

В настоящей работе представлены результаты экспериментального исследования электрических характеристик плазмы однородного и контрагированного разряда в смесях газов на основе SF6, а также самого процесса контракции разряда. Выполнены исследования развития одиночного катодного пятна и диффузного канала над ним, представлена модель разряда в смесях на основе SF6. Выполнено моделирование формирования высокопроводящего канала. На основе сравнения расчетных и экспериментальных данных предложено объяснение полученных данных.

В ходе проведенных исследований получены новые экспериментальные и расчетные данные, а также сделаны выводы на основе сравнения и анализа данных расчета и эксперимента.

1. Катодные пятна образуются в начальной стадии разряда за время Л менее 5 нс, при плотностях тока менее 10 А/см и малых перенапряжениях 5-10%. Из катодных пятен в разрядном промежутке формируются диффузные каналы. При достижении в плазме разряда концентрации электронов ~1014 см"3 (плотность тока 70 А/см и энерговклад 0.1 Дж/л) формируются анодные пятна, распределенные с большой плотностью более 100 см" .

2. Площадь разряда существенно превышает площадь окна, через которое осуществляется предыонизация. В эксперименте при диаметре окна предыонизации 0.2 см получен однородный разряд на площади 100 см с характеристиками идентичными характеристикам разряда с предыонизацией по всей площади электродов.

3. Экспериментально при ограничении площади электродов получены высокие характеристики объемных разрядов в смесях Ne/SF6/C6Hi4: плотность тока до 700 А/см , энерговклад до 600 Дж/л, длительность разряда до 600 не.

4. Контракция разряда в смесях газов на основе SF6 характеризуется одновременным развитием с электродов большого числа каналов диаметром до 1 см, сопротивление плазмы которых сравнимо с сопротивлением плазмы однородного разряда. Снижение сопротивления плазмы канала на порядок по величине, вызывающее спад напряжения на плазме, наступает с определенной временной задержкой после разрушения -80% молекул SF6.

5. В одиночном диффузном канале плотности тока составляют: на

5 2 поверхности катода -10 А/см , на границе плазмы прикатодной

3 2 области -10 А/см , и в диффузном канале около анода 100-350 А/см . Плазма диффузного канала расширяется при увеличении тока разряда и энерговклада.

6. Устойчивость объемной стадии и удельные энергетические характеристики одиночного диффузного канала (ток разряда более

2 3

3 кА (350 А/см ), энерговклад 3-4 Дж (0.1 Дж/см )в режиме объемного горения) много больше, чем диффузного канала, находящегося в совокупности диффузных каналов. Взаимодействие двух рядом расположенных диффузных каналов, проявляется в отталкивании плазмы прикатодных областей и притяжении плазмы диффузных каналов. Такое действие сил создает конкуренцию и обуславливает сложную динамику развития каналов.

7. Концентрация отрицательных ионов SF5" в плазме разряда растет быстрее, чем концентрация электронов. Так в области концентраций электронов ле-1014 см"3 концентрация указанных ионов оказывается на два порядка больше. Проводимость плазмы остается электронной, а электронейтральность обеспечивается ионами.

141

8. Формирование структуры разряда на катоде путем создания областей с локальным искажением электрического поля на металлической проволоке с диэлектрической подложкой либо отверстиями в диэлектрике на металлической подложке обеспечивает увеличение плотности катодных пятен и улучшение однородности разряда в смесях газов на основе SF6.

В заключении автор выражает глубокую благодарность научным руководителям доктору физ.-мат. наук Бычкову Ю.И и кандидату физ.-мат. наук Ястремскому А.Г. за постоянную поддержку и помощь на всех этапах проведения исследований, обсуждения и написания работы. Автор благодарит руководителей Лаборатории физики газоразрядной плазмы Парижского университета (Франция) профессоров Винсента Пуэша и Бернара Лакура за помощь в подготовке и проведении экспериментов по изучению отдельных диффузных каналов и обсуждение результатов экспериментов. Автор выражает признательность руководителю теоретического отдела Института физики нетермальной плазмы г. Грайфсвальд (Германия) профессору Рольфу Винклеру за помощь в организации семинара и обсуждение результатов исследований.

142

1. Polanyi J. С. Proposal for an infrared maser dependent on vibrational excitation//J. Chem. Phys.- 1961,- v. 34, № 1, p. 347—348

2. Басов H. Г., Ораевский A. H. Получение отрицательных температур методом нагрева и охлаждения системы// ЖЭТФ.- 1963.- т. 44,- № 5.-С. 1742—1745

3. Ораевский А. Н. Возникновение отрицательных температур при химических реакциях//ЖЭТФ,- 1963.- т. 45,- № 2,- С. 177—179

4. Ораевский А. Н. Химический квантовый генератор на основе разветвленных реакций//ЖЭТФ,- 1968.- т.55,- № 4,- С. 1423-1429

5. Тальрозе В. J1. К вопросу о генерировании когерентного индуцированного излучения в химических реакциях//Кинетика и катализ.1964,- т. 5.- № 1.-С. 11-27

6. Kasper J. V., Pimentel G. С. HC1 Chemical Laser// Phys. Rev. Lett.1965,- v. 14,- № 10.- p. 352—354

7. Deutsch T. F. Molecular laser action in hydrogen and deuterium halides// Appl. Phys. Lett.-1967.- v. 10.- № 8.- P. 234—236

8. Kompa K. J., Pimentel G. C. Hydrofluoric acid chemical laser//J. Chem. Phys.- 1967.- v. 47.-№ 2,- p. 857-858

9. Polanyi J. C., Woodall К. B. Energy distribution among reaction products. VI. F+H2, D2 //Journ. Chem. Phys.-1972.-v. 57.- P. 1574

10. Chang H. W., Setser D. W.//J. Chem. Phys.- 1976,- v. 16.- P. 1

11. Wenzel R. G., Arnold G. P. A double-discharge-initiated HF laser// IEEE J. Quant. Electron.- 1972,-v. QE-8.- P. 26-27

12. Arnold G. P., Wenzel R. G. Improved performance of an electrically initiated HF laser// IEEE J.Quant.Electron.-1973.- v. QE-9.- P. 491-493

13. Bagratishvili V. N., Knyazev I. N., Letokhov V. S. // Opt. Commun.-1971.- № 4.-P. 154-156

14. Багратишвили В. H., Князев И. Н., Кудрявцев Ю. А.

15. Электрохимический HF-лазер высокого давления//Письма в ЖЭТФ.- 1973.т. 18,- вып. 2,-С. 110-113

16. Robinson С. P., Jensen R. J., Kolb A. 60-J pulses from an electron-beam-initiated SF6-C2H6 chemical laser//IEEE Journ. Quant. Electron.-1973.-y. QE-9, P. 963

17. Gerber R. A., Patterson E. L.I ntense electron-beam initiation of a high-energy hydrogen fluoride (HF) laser// IEEE J. Quant. Electron.- 1974.- v. QE-10, P. 333

18. Brunet H., Mabru M., Rocca-Serra J. // Spie Proc.-1988.- v. 1031.1. P. 265

19. Brunet H., Mabru M., Rocca-Serra J., Vannier C. Pulsed HF chemical laser using a VUV photo-triggerined discharge// Spie Proc.-1991.- v. 1397.-P. 273276

20. Puech V., Prigent P., Brunet H. High-Efficiency, High-Energy Performance of a Pulsed HF Laser Pumped by Phototriggered Discharge//Appl. Phys B.-1992.-v. 55.- P. 183-185

21. Richeboeuf L., Doussiet F., Legentil M., Pasquires S., Postel C., Puech V., Study of chemical HF laser pumped by phototriggered discharge// SPIE Proc.-1996.-v. 2788.-P. 84-94

22. Richeboeuf L., Pasquires S., Legentil M., Puech V. The influence of H2 and C2H6 molecules on discharge equilibrium and F-atom production in a phototriggered HF laser using SF6// J. Phys. D: Appl.Phys.-1998.-v. 31.-P. 373-389

23. Richeboeuf L., Pasquiers S., Legentil M., Puech V. Dynamics and correlated performance of a phototriggered discharge-pumped HF laser using SF6 with hydrogen or ethane// Appl. Phys. В.-1999,- v. 68, P. 45-53

24. Pasquiers S., Postel C., Puech V., Lacour B. Conditions for phototriggered mode achievement in large aperture discharge-pumped non-chain HF/DF lasers//SPIE Proc.-1999.- v. 3574, P. 594-600

25. Apollonov V. V., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F., Firsov K. N. // Quantum Electronics.-1998.-v. 28.-P. 116-118

26. Apollonov V. V., Belevtsev A. A., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Saifulin A. V. Self-initiated volume discharge in mixtures of SF6 with hydrocarbons to excite non-chain HF lasers// Quantum Electronics.-2000.-v. 30.-№ 3.-P. 207-214

27. Apollonov V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F. High-power SSD-based pulsed non-chain HF(DF) laser// SPIE Proc.-1998.-v. 3574.-P. 374-384

28. Apollonov V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F. High-power non-chain HF(DF) lasers initiated by self-sustained volume discharge//SPIE Proc. -v. 4071.-2000,- P. 34-42

29. Apollonov V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Saifulin A. V. Calculation of Self-Sustained Volume Discharge Characteristics in SF6 and its Mixtures with Hydrocarbons//Proc. XXIV ICPIG, Warsaw, Contrib. Papers Vol II.-1999.-P. 79-80

30. Apollonov. V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F. Self-Initiated Volume Discharge in Mixtures of SF6 with Hydrocarbons// Proc. XXIV ICPIG, Warsaw, Contrib. Papers Vol II.-1999.- P. 81-82

31. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. Н. Эффективные нецепные HF(DF) лазеры с высокими выходными характеристиками// Письма в ЖТФ.-1996.-т. 22,- № 24.-С. 60-63

32. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. Н. Нецепной электроразрядный HF(DF)^a3ep с высокой энергией излучения// Квантовая электроника.- 1998.-Т.2 5.- № 2.-С. 124-125

33. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. Н. Возможности увеличения выходной энергии нецепного HF(DF)-лазера// Квантовая электроника.-1997.-т. 24.- № З.-С. 213-215

34. Goldhar М., Osgood R. М., Javan A. Observation of intense superradiant emission in the high-gain infrared transitions of HF and DF molecules// Appl. Phys. Lett.-1971.-v.18.-P. 167-169

35. Pummer H., Kompa К. L. Investigations of a 1-J pulsed discharge-initiated HF laser// Appl. Phys. Lett.-1972.-v. 20.-P. 356-357

36. Pummer H., Breitfeld W., Wedler H., Klement G., Kompa K. L. Parameter study of a 10-J hydrogen fluoride laser// Appl. Phys. Lett.- 1973.- v. 22.-P. 319-320

37. Voignier F., Gastaud M., Improved performance of a double discharge initiated pulsed HF chemical laser// Appl. Phys. Lett.- 1974.- v. 25.- P. 649-650

38. Anderson N., Bearpark Т., Scott S. J. An X-ray preionised self sustained discharge HF/DF laser//Appl. Phys B.-1996.-v. 63.-P. 565-576

39. Горюнов Ф. Г., Гурков К. В., Ломаев М. И., Соснин Э. А., Тарасенко В. Ф. Импульсный химический электроразрядный лазер на смеси 8Р6-Н2//Квантовая электроника.-1994,-т. 21,- № 12.-С. 1148-1150

40. Waichman К., Chuchem D., Kalisky Y. The Effect of the Geometry of the Active Medium on the Performance of SF6+H2 Pumped HF Laser// IEEE J. of Quantum Electronics.-1996,-v. 32, № 2,- P. 357-363

41. Бакшт E. X., Ломаев M. И., Панченко A. H., Тарасенко В. Ф. Особенности накачки лазера на смеси SF6-H2(C3H8) от генератора с индуктивным накопителем// Оптика атмосферы и океана.-1997,- № 11.-С. 1290-1295

42. Baksht Е. Н., Panchenko A. N., Tarasenko V. F. Discharge lasers pumped by generators with inductive energy storage//IEEE J. Quant. Electron.-1999.-v. 33.-№3.-P. 261-266

43. Jacobson Т. V., Kimbell G. H. Transversely pulse-initiated chemical lasers: atmospheric-pressure operation of an HF laser//Journ. Appl. Phys.-1971.-v. 42.- P. 3402-3406

44. Jacobson Т. V., Kimbell G. H., Snelling D. R. A high-repetition-rate chemical HF laser// IEEE Journ. Quant. Electron.-1973.-v. QE-9.-P. 496-497

45. Tsikrikas G. N., Serafetinides A. A., Papayannis A. D. Performance studies of apulsed HF laser with a sliding discharge plasma cathode//Appl.Phys. B.-1996.-v. 62.-P. 357-365

46. Tsikrikas G. N., Serafetinides A. A., Papayannis A. D. Development of a sliding discharge pumped HF laser// Optics Communications.-1996.-v. 132.-P. 295-301

47. Tsikrikas G. N., Serafetinides A. A. The effect of voltage pulse polarity on the performance of a sliding discharge pumped HF laser// J. Phys .D: Appl. Phys.-1996.-v. 29.-P. 2806-2810

48. Pearson R. K., Cowles J. O., Hermann G. L., Gregg D. W., Creighton J. R. Relative performance of a variety of NF3+ hydrogen-donor transverse-discharge HF chemical-laser systems//IEEE Journ. Quantum Electron.-1973.- v. QE-9.- № 9 P. 879-889

49. Patterson E. L., Gerber R. A// IEEE J. Quant. Electron.- 1975,- v. QE-11,-P. 642

50. Makarov M., Menager L., Pasquires S., Pastel C., Puech V. Time resolved imaging study of phototriggered discharges in SF6 and Ne/SF6 mixtures// IEEE Trans. Plasma Sci.- 1999,-v. 27.- № 1.-P. 126-127

51. Foster H.//Optics and Laser Technology.- 1972,- № 6.- P. 122.

52. Pearson P. R., Lamberton H. M. Atmospheric pressure C02 lasers giving high output energy per unit volume//IEEE J. Quant. Electron.- 1972.-v. QE-8.- P. 145

53. Paulson R. F. Effect of an organic gas additive on a pulse HF chemical laser// J. Appl. Phys.-1973.- v.44.- № 12.-P. 5633-5634

54. Ultee G. J. Pulsed Hydrogen Fluoride Lasers//IEEE Journ. Quant. Electron.-1970,-v. QE-6.-P. 647-648

55. Спичкин Г. Д., Импульсный высоковольтный объемный разряд в элегазе//ЖТФ.-1986,-т. 56.-вып. 10.-С. 1923-1932

56. Физические величины, под. ред. И.С. Григорьева, М: Энергоатомиздат.-1991.-1232с

57. Watanabe К., Ionization Potentials of Some Molecules// J. Chem. Phys.-1957.-v.26,-№3.-P.542-547

58. Beran J. A., Kevan L., Molecular Electron Ionization Cross Sections at 70 eV// J. Phys. Chem.-1969.-v. 73.- № 11.-P. 3866-3876

59. Ястремский А. Г., Ям польская С. А. Моделирование разряда накачки нецепных химических HF лазеров// Известия ВУЗов.-серия Физика.-1999.-№ 8.-С. 63-69

60. Флетчер К., Численные методы на основе метода Галеркина.-М.: Мир, 1988.-350с.

61. Dhali S. К., Pal А. К. Numerical simulation of streamers in SF6// J. Appl. Phys.-1988.-v. 63.-№ 5.-P. 1355-1362

62. Gallager J. a.e.// J. Phys. Chem. Ref. Data.- 1983.- v. 12,- P. 109-161

63. Бортник И. M., Кушко А. Н., Лобанов А. Н.// Тез. Докладов II Всесоюз. Совещ. по физике электрического пробоя газов.-Тарту.- 1984.-4.IL-С. 270

64. Bychkov Yu., Kostyrya I., Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. Efficient high-homogeneous wide-aperture excimer discharge using a stabilizing low-current predischarge//Rev. Sci. Instrum.-1994.- v. 65.- № 4.-P. 793-798

65. Gortchakov S., Loffhagen D., Winkler R. Spatially Homogeneous Modelling of a Stabilized XeCl* Laser Discharge// Contrib. Plasma Phys.-1997.-v. 37.-№ 6, P. 539-554

66. Chantry P. J. in: Applied Atomic Collision Physics, Vol. 3, Gas Lasers/E. W. McDaniel, W. L. Nighan.- New York, 1982.-P. 35-70

67. Bardsley J. N., Wadehra J. M. // J. Chem. Phys.-1983.- v. 78.- P. 72277234

68. Miller Т.Н. et al.// J. Chem. Phys.-1994.-v. 100.-P. 8841

69. Королев Ю. Д., Месяц Г. А. Автоэмиссионные и взрывные процессы в газовом разряде.- Новосибирск: Наука, 1982,- 255 с.

70. Ramirez I. I., Prestwich K. R.// J. Appl. Phys.-1979.-v. 50.-P. 49884995

71. Грабовский E. В., Денисенко В. П., Животов В. К.//ЖТФ.-1979.-т. 49.-вып. 1.-С. 73-75

72. Батурин В. П., Великанов С. Д., Довгий А. Я., Иванов И. Н., Пушкин А. В., Синицын М. В., Щуров В. В. О прохождении электронного пучка через электроотрицательные газы//Доклады АН СССР.-1986.-т. 287.-№ З.-С. 614-618

73. Великанов С. Д., Синицын М. В., Урлин В. Д., Щуров В. В. Импульсный химический лазер с инициированием реакции электронным пучком//Квантовая электроника. 1996.-т. 23,- № 1.-С.25-28

74. Gastaud М., Boesc J., Autric М. HF laser initiated by an intense electron beam//Techn. Dig. XI Intern. Symp. On Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conf. GCL/HPL'96.-Edinburgh, 1996.- P. 62-67

75. Ivanov N. G., Lacour В., Losev V. F., Peculiarities of a e-beam pumped, non-chain, HF laser// SPIE Proc.-1998.-v. 3574.-P. 104-111

76. Makarov M., Bychkov Yu., Suslov A., Yastremsky A. Wide aperture efficient excimer laser with a stable photo triggering discharge pumping// SPIE Proc.-1994.-v.2206.-P.307-313