Разработка методов измерения параметров сверхгладких поверхностей и исследование влияния субнанометровых неровностей на рентгенооптические свойства многослойных структур тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Министерство науки, высшей школы н технической политики Российской Федерации Нижегородский государственный университет им. Н.И.Лобачегского

На правах рукописи

ГУСЕВ Сергей Алзксанярозич

РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СВЕРХГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СУБНАНОМЕТРОВЫХ НЕРОВНОСТЕЙ НА РЕЖТЕНООПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ШОГОСЛОЙНЫХ СТРУ1СТУР

01.04.07. — физика твердого тела

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Нижний Новгород — 1992

Работа выполнена в Институте прикладной физики РАН

г. Нижний Новгород

Научный руководитель: доктор физико-математических наук

Н. Н. Салащенко

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук

С. В. Бобатев

кандидат физико-математических наук В. Н. Ноздрин

Ведущая организация: Физический институт РАН (г. Москва)

Защита состоится /2. 1992 г. в ..'. X часов на заседании специализированного Совета К 063.77.04 по защите диссертаций на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук . в Нихегородском государственном университете им. Н. И. Лобачевского по адресу: 603600, г. Н. Новгород, ул. Большая Покровка, 37, физический фахультет, ауд.....

Отзывы направлять по адресу: 603600, г. Н. Новгород, ГСП-34, пр. Гагарина, 23. корпус 3, НИФТИ. с диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Нижегородского университета.

Автореферат разослан " ноября 1992 г.

Ученый секретарь специализированного Совета

кандидат физико-математических наук с^^1—ПОПОВ

РОГ С"" £ Д ¡^ •

БИБЛИОТЕКА ^^ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Ахтуальнссть теки. Одиин из перспективных способов управления характеристиками твердого тела в последние годы стало создание шюгослойных тонкопленочных струхтур ( ЯСС } со слоями тояезпюй от долей до десятхов нанометров из материалов, обладающих различными физическими сзойствами. К таким объектам, например, относятся полупроводниковые сверхрепеткн, на основе которых могут быть изготовлены приборы с уникальными электрофизическими параметрами [1 ]; магнитноанизогропные структуры, в которых чередуются слоя веществ с ферро- н парамагнитными свойствами, обеспечиваюете повышенно плотность записи инфориаци [2]; Ь'СС, состоящие из пленок с различными факторами атомного или ядерного рассеяния, применяаныэ в качестве интерференционных покрытий, селективно отрагаоггге излучение рентгеновского диапазона или холодные и теяловиа нейтроны [3,4].

Оптические, электрические и магнитные свойства подобный обьехтов тесным образом связаны как с их геометрическими параметрами, например, величиной лериода и соотношением голики слоев, так и с наличием в реальных структурах различного рода дефектов. К таким дефектам в первую очередь относятся шероховатости границ слоез, которые могут быть унаследованы от поверхности подложки или являться результатом несовершенства технологии изго' -■влекия ЙСС. Величина этих неровностей в лучшем случае составляет доли нанометров, т. е. вполне мохет быть сравнима как с толщиной отдельных сдоев, так и с де-броЗлеЕской длиной волны частиц, определявших физические свойства структуры. Понятно, что при

наличии болыаэго количества границ раздела слоев, которых может быть насколько десятков или даке сотен, влияйнг этого фактора па характеристики 1«СС наиболее существенно. Поэтому, как при разработке технологии изготовления многослойных структур, так и при изучении кх свойств возникает необходимость использования адекватных методов измерения размеров неровностей, соответствующих 16 классу чистоты поверхности, и, конечно, требуется представлять и уметь предсказать какие изменения физических сбой ста многослойных объектов вызывает наличие таких серохозатостеа.

Получение количественной информации о неровностях сверхгладких поверхностей посатееио . ыного работ, но при этом отсутствовала доступная методика,удовлетворяющая одновременно таким противоречивым требованиям, как высокая разревзюкая способность я возможность определения параметров шероховатостей с ¡¡яроким спектром размеров неровностей, применимость к поверхностям из лсбых материалов металлов, диэлектриков я полупроводников . и с произвольным профи,«и поверхности плоских, сферических и т. д. ).

Разработка технологии изготовления, ЫСС требует лонимзчня процессов, происходящих при образовании сверхтонкой пленки а возможности целенаправленно имя управлять. Несмотря на большое количество теоретических моделей и экспериментальных работ, посвяяенкых напыление пленок [5.6]. процесс формирования шероховатостей границ сдоев до сих пор остается налоиьуценныы.

Практическое применение МСС иеЕозмохно без четкого представления о допустимых величинах дефектов в реальных структурах, в частности, о размерах и степени корреляции не*слоевых неровностей. Эта информация мокет быть получена из сопоставления характеристик

идеадьных и реааьиьк структур.

Настоящая диссертация посвясена решение этих проблей главный образок в приложении к создание таких МСС, как многослойные зеркага дзл мягкого ректгекозсхого излучения { РИ ).

Цель работы состояла в ревении следующих конкретных задач:

1. Разработка негодик определения количественных характеристик микрорельефа слабокероховатых поверхностей с неровностями субнанометровсго ыасптзбз.

2. Изучение процесса формирования рельефа сверхтонких пленок различных материалов при импульсном лазерной и злектронно-лучеаои напылении.

3. Исследование отражательны* характеристик идеальных я реальных многослойных зеркал в мягком рентгеновском диапазоне.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Построен.- физическая модель образования реплики при наклонной падении атомов на г^рсхзватуо поверхность, на основе которой разработана методика реконструкции исходного микрорельефа поверхности и определения его статистических характеристик. Применен новый способ изготовления реплики ртри помоги импульсного лазерного напыления, позволивши существенно улучшить разрешение этого метода измерения размеров неровностей,

2.Разработан способ определения параметров сверхтонких пленок по угловой зависимости коэффициента отражения рентгеновского излучения. нозвслясвдИ найти их толедны, плотности и шероховатость аерхнеИ н никнеЯ границ.

3. Экспериментально исследовано влияние условий напыления пленок на дикамлху изменений их поверхностного рельефа. Обнаружен эффект

уменьшения размеров неровностей при импульсном лазерном напылении некоторых материалов.

4. Экспериментально изучена зависимость отражавших характеристик многослойных структур в мягком рентгеновском диапазоне от величины ыелслоевых вероховатостей. Исследованы фокусирующие сзойствг многослойных зеркал.

Практическая ценность диссертации состоит в следующем. Методики измерения величины неровностей могут быть использованы для оценки качества обработки сяабоаероховатых поверхностей вплоть до 16 класса чистоты. Результаты исследований микрорельефа тонких пленок могут применяться для создания технологии изготовления свсрхгладких подлоге*, для оптимизации технологических параметров режимов синтеза высококачественных элементов многослойной оптики. Приведенная в работе информация о теоретических и реальных отражательных свойствах IÍP3 необходима при выборе материалов и оптимизации параметров структур при нх конкретном применении в научных и праыиздеквыз: приборах.

Апробация результатов. Основные результаты диссертации дояокекы на конференциях: по использованию синхротролного излучения (Новосибирск. 1982 г.1984 г), "Лазеры и их применение" ( ЛеВпцнг, 1931 г ), spie ( Будапешт, 1984 r)¡ vu Всесовзной конференции по физике вакуумного ультрафиолета и его взаимодействию с веществом (Рига. 1986 г), Xiil ВессооэноЯ конференции по электронной микроскопия ( Сумы. 1987 г), Iii Всесоюной конференции "Применение лазеров в технологии" < Таллин. 1987 г ): кг советско- английском семинаре по СИ < läocxBa, 19S1 г), ва 2-ы Всесогонон совещании по ыетодаы м аппаратуре для исследования когерентного взаимодействия

Б

излучения с секеством С Ереван, 1SS2 г ), Всесоюзной сеипяарэ "Методы синтеза и применение многослойных интерференционных систем" { Ыосхвз, 1984 г ), на семинарах ИПФ РАН,

Структура и объън работы. Диссертация состоит из введения, трех глаз и заклвченкя. Она содержит 105 страниц основного текста, 51 рисунок и 15 таблиц. Список литературы содеряиг 119 наименований.

• СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Во введеши: обоснована актуальность теш диссертации, сформулирована ее цель, кратко изложено содерзание работы я приведены основныа научные появления, выносимые на защиту.

В первой глава кратко рассматриваются работы, посвященккэ распространенно рентгеновского излучения в неидеальных ияогослойныз структурах. Основное внимание при этом уделено влиянии □ероховатостей границ раздела слоев на отралательные характеристики №3, как дефекту, наиболее сильно сказывающемуся на свойства» структур. Здесь se дай обзор методик определения количественных параметров рельефа слабоиероховатых поверхностей.

Во второй глазе разрабатывается комплексная ыетодика измерения размеров неровностей езерхгладкнх поверхностей, с помощью которой затем производится экспериментальное исследование подложек н тонких пленок. Нетодиха основана на двух способах исследования • таких объектов: известном в электронной микроскопии методе реплик и на рассеянии сероховатост.тан рентгеновского излучения . Возможность получения количественной информации о микрорельефе из электронноыикроскопнческого нзобраяения рзллик поверхности впервыз была использована в работах[8,9] . Как показывает подробный анализ

этих работ, геометрический подход, использованный авторами для реконструкции исходного рельефа из реплики, не всегда обоснован. Физическая модель образования реплики, предложенная в диссертации, позволяет установить границы применимости указанного способа восстановления микрорельефа и сформулировать требования для наиболее оптимальных условий изготовления реплики. Наилучший контраст электроннсмикроскопического изображения реплики достигается когда диффузиокаая длина адатомов оттеняющего материала Ц используемого для ее напыления, много иеньве корреляционных радиусов сероховатостей 2, исследуемой поверхности. С уменьшением величины с, растет и раэреаасаая способность реплики, которая со стороны малых ыасвтабов ограничивается разиероц кристаллитов в ней. Изменение значения диффузионной длины адатомов в нужнуо сторону можно получить, увеличивая плотность-, потока частиц при напылении реплики. Действительно. при этом возрастает концентрация адатомов. увеличивается вероятность их столкновения друг с другом, приводя к уменьшение времени хизни адатомов в подвижном состоянии. Требуеиуо плотность потока частиц легко получить при импульсном лазерном напылении ( ИЛН ), когда скорости осаждения пленок достигают величин 10® нм/с . Использование этого способа для изготовления реплики позволило на порядок улучшить ее разрешение по сравнению с традиционным термическим напылением. По оценкам, приведенным в диссертации при оптимальных условиях изготовления лазерные репликк обеспечивают визуализации неровностей высотой Ь-0.1 им при горизонтальных размерах « 1 им.

Иетодика реконструкции рельефа поверхности по реплике основана на определении разницы толкин б соседних ее точках, которая

вычисляется по измеряемому количеству прошедших через пленку электронов, исходя из предварительно измеренного коэффициента поглощения электронов а материале реплики. Для автоматизированного управления сьекои информации с электронного мнкросхопа ЭМ8-100 АК и ее обработки разработан комплекс оборудования и программное обеспечение, краткое списание которого дано в разделе 2.1 работы. Алгоритм получения количественных характеристик реконструированного кз ргплкки микрорельефа основан на стандартных методах обработка частотных сигналов. Экспериментальное исследование особенностей получения информации о шероховатостях методом лазерных реплик позволило определить его реальную разрешаюцуо способность, которая составляет » 0. 25 им для дисперсии высот неровностей и "1 им для. их горизонтальных размеров. Основные результаты по разработке и применение данной методики опубликованы в работах [ 3-7,19 ],

При разработке рентгенооптнчесхого способа измерения параметров слабоиерохозагых поверхностей , излозенного а раздело 2.2, бил проведен анализ нескольких моделей, описывающих особенности рассеяния рентгеновского излучения на неровностях, что позволило установить границы их применимости. Приближение однократного рассеяния позволяет вычислять зеркальную и диффузную компоненты рассеянного излучения, но для его применения необходимо ограничиваться достаточно крутыми углами падения излучения, где экспериментально регистрируемая интенсивность отрааенного сигнала очень мала. Методы среднего поля и касательной плоскости работают при произвольных углах пзде я, но на геометрические характеристика исследуемых сероховатостей накладываются дополнительные условия: первое приближение справедливо при малых по сравнению с длиной волны

размерах веоднородкостей. второа - в сротивопососнои случае С соотнесения пркзедены в тексте работы ). Алгоркто созеткиого ¡хг основе этих toiessfi програ«иного обеспгчениа кетодшш взиор^иил размеров неровностей позволяет кспояьэовать оптимальный со ycscsasa эксперимента t^Tox расчета коэффициента отракзинк. Овредедсахс срсдкахважратачноЗ • еарохоЕатостн коьерююст-л возаагно каz ко yrsosofl зависимости коэффициента отраяекия РИ с зэркаяьиоы направлении, так и по диффузной компоненте рассеяяого сздучеакя. Пра вэкергшгн парамзтроа Еэроаоватых пленок используется только угловая зависимость коэффициента отраиеиик. Значения тояетн слано::. ее плотностей а дисперсии шсот неровностей гранпц находятся пз полояенвя шггерфергшшшкых зкстрвыумоБ кг кривой отра;зз:и:к к уточняются подгонхоЗ теореютескык угаовнх зависнглстеЗ с использованием чиссганих изтодоа пэкска функций весколъекд переыешшзг .

Разргбстанкыэ способы определения ЕгрйатерЕстик егроговатид поверхностей приыэнялись в эксперимента дыизг ссслздозанаях рельефа подловек с токжнд плевок. Основкь-а результаты эксперименте© приводятся s разделе 2.3 диссертация а опубликованы в работая [3, 5-8.19 ] . При кзучгшш кшсрорельфа шгевог рассизтрквздс;.' широкий класс каторваноа. а основной крятеряй их отбора для иапшсгша -перспективность того кля много элемента для создания иногосдойной структуры. Тояпзгаа пленок варьнрозаяась от 5 до 150 ны. Еалгшу результатом измерений является тот факт, что при ИЛН верохоаатость верхкьй границы слоев больгогества материалов на увеличивается с ростом толеикы плекхи. Частичная корреляция размеров неровностей герзпшх в няенех границ отиечаэтся ешь пра толшгааа ызньсэ 10 ш.

Слабо серояоватость клепка зависит а от другая параметров процесса яззсрпсго ванилевая { исключая температуру ) прн изиекснх:п их а тех пределах, коториз дсяусгастся пря изготовления рентгеновский зеркал. Прп згектрогЕэ-лучезоы напыления пленок характеристики кнхрореяьеЗа бояэа чу2сттл1тал:,К1! ж анзгепгошз взыенекили.

В ходе эгетврикаатев подтвердились теоретические предпояовення о возможное уггеньсешш негодной взроховатоста поверкностл прн роста планах Наиболее сильный зффгкт сглазгтиш неровностей наблюдался вря накесепин цетояоа ИЛИ сплава Лд-РД Згспзрш^гктальасю кзучеггаз этого эффекта позволило разработать новый способ упрапгзккя княрорэльефом подвозе* [ 8 ].

Прахтгчасхаа цепкость многослойного рентгеновского зеркала определяется его ограгатетьндан парактеристаканн. В третьей главе приводятся результата исследований свойств идеальных н реальных структур в шггксй раатганозехои диапазоне. Требования к выбору оптималыг« кзтериаяов. к соотпояаают тояаан слоев в периоде обусяоздзгш той задачей, для рвеевня которой предназначено зеркаго. Пгпр:шер, для задач рентгеновской спектроскопии, диагностики плазкы няа создания коиохроиатороз рентгеновского диапазона кеобходигш зеекояти с каЕсиызльЕыа спектральный разрепениеа дана при некотором проигрыгз з аезичзша пикового коэффициента отразекия. В рентгеновской янтеграфга яучюа испоаьзовать зеркала с максимальным кнтегрзяьтг* коэффициентом страгания, о обзортсс спегстроиотрах - с возуозво бсльсей ккрпноЗ кривой отражения, а для разонатора рэятгеноаезого лазера - с оптимальным с готвосениен коэ$фнциеитов отрагешя а пропускания нзаучеяия. Пря постро&аия первых МРЗ асяоЕьзоваетсь заеыента с шкеяиаяьнкм отзичиеа сптэтескяз констант, ко, Егк

показано б диссертации , такой критерий на наилучший. Немонотонная зависимость оптических постоянных материалов от длины волны при наличии большого количества х,1,,м,и краев погяовдния в рентгеновское области спектра потребовало проведения большого количества вычислений отражательных характеристик идеальных многослойных структур. Анализировались свойства зеркал в диапазоне =0.6*12.4 нм из всевозможных парных комбинаций элементов периодической таблицы {6,9-12,15,16 }. В результате численных расчетов создан атлас спектральных зависимостей коэффициентов отражения к селективности многослойных зеркал из наиболее перспективных материалов, вклочасщий в себя около 1500 рисунков и таблиц. Создан пакет программ, позволяющий произвести оптимальный выбор материалов ЫРЗ по заданному критерии. Анализ предельных возможностей КРЗ в указанном диапазоне длин воли показывает Их значительно болыгуо конкурентноспособность по сравнении с ранее использовавсимися элементами рентгенооптики.

Реальни» характеристики многослойных зеркал, несмотря на успехи технологии, еае далеки от идеальных, что объясняется наличием различных дефектов в структуре. В разделе 3.2 диссертации излагается результаты экспериментальных исследований влияния этих дефектов иа свойства ЫРЗ. Изучались угловые и спектральные зависимости коэффициентов отражения для зеркал нормального и наклонного падения, подученных м&тодэми МЛН и электронно-лучевого напыления, в диапазоне длин волн 154-><15 км [ 1-3.5,6.11-18 ]. Структурныз

характеристики з<?рхал. такие как соотношение толз>н пленок в периоде, размытие границ слоев. реальные плотности материалов слоев, фгуктулцпи их толщин определялись методом Сурье-обработкн угловых зависимостей коэфф1!«и-нтоз отражения в области жесткого РИА=. 154 ки

по способу , предложенному в работе [.7 ]. Среднеквадратичные высоты мегплоскостных шероховатостей, вычисленные из значений пиковых коэффициентов отражения жесткого и мягкого РИ сравнивались с величиной шероховатостей поверхностей зеркал и подложек, полученной методом лазерных реплик. Анализ результатов измерений позволяет сделать вывод о том, что при современном уровне технологии наибольшее влияние на отравательные характеристики НРЗ в иягеси рентгеновском диапазоне оказывают шероховатости пленок структуры ( типичные величины б" составляют 0.3*0.6 ни ) и изменение плотностей материалов слоев { отклонение от табличных значений достигает 15% ). Было похазано экспериментально, что в зависимости от соотношения кевду мнимой и действительной частями амплитуды первых гармоник разложения диэлектрической проницаемости многослойной структуры в ряд Фурье, мегслоезая шероховатость мозет как увеличивать, так и' уменьшать спектральную селективность зеркал по сравнению с идеальными. Характерными примерами являются МРЗ на основе пар материалов л1-е, у которого экспериментально наблюдаемая селектнзность на длине волны Л=4.5 ни выше, н м-с, у которого этот параметр хуже расчитаннсго для случая идеально гладких границ.

Полученные значения коэффициентов отражения и спектральных селективностей НРЗ в мягком рентгеновском диапазона доказывают перспективность их применения в приборах рентгенофлуоресцентного анализа - квантометрах для обнаружения легких элементов от Ва до Ид. 3 последнем разделе диссертации 3.3 даны результаты исследований фугих возможностей использования таких структур. С помощью вдогослойных сферических зеркал проведены эксперименты • по фокусировке и получению изображения объектов в длинноволновой

области рентгеновского спектра. Наличие неровностей типичных масштабов в возможные отклонения формы поверхности подложки от идеальной ке сказываются на пространственной разрешении сферического многослойного зеркала. Факторами ограничивающий разрешение в > экспериментах валялись угловая расходимость рентгеновского пучка и абберацня сферической поверхности, при этом на изобравекзш различались детали размером менее 1 шсы. На основе плоского многослойного зсрзсала был сконструирован поляриметр мягкого рентгеновского излучения, описание которого дано в работах [20.21]. Этот прибор позволил впервые с точностью лучше 1% измерить степень поляризации синхротройного излучения.

В заключении срив4дены основные результаты диссертации .

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТ!!

1. Разработана кЬаплехсная методика измерения количественных характеристик ¡героховатостей соерхгдадких поверхностей, включающая в себя определение дисперсии высот неровностей по угловым зависимостям коэффициента отражения рентгеновского излучения и восстановление микрорельефа поверхности по электронкоыихроскопяческоыу изображению реплик, получаемых импульсным лазерным напылением. Применение лазерного напыления при изготовлении реплик позволяет на порядок улучшть разрешение этой методики по сравнению с традиционным термическим способом их осавдения. Комплексная методика позволяет получать полную информацию о поверхностях с минимальными среднеквадратичными высотами неровностей <г«0.1 ни и корреляционными радиусами 1"5 км.

2. Экспериментально изучено влияние условий напыления тонких

мелкодисперсных и аморфных пленок различных материалов на формирование их поверхностного рельефа. Обнаружен эффект уменьшения размеров шероховатостей с ростом толщины пленки, на основе которого разработан способ управления- микрорельефом поверхностей подложек при помоют импульсного лазерного осаждения слоев сплава серебро-палладий

3. Проведен анализ предельных отражательных характеристик многослойных рентгеновских зеркал и оптимизированы их параметры для диапазона длин золн /к=0. 6+12. 4 ни. Создан атлас теоретических спектральных зависимостей коэффициентов отражения и селективностей многослойных структур в ухазанном диапазоне излучения, позволявший ссуиестаить выбор наилучших материалов при изготовлении элементов рентгенооптики.

4. Экспериментально изучено влияние дефектов реальных многослойных рентгеновских зеркал на их отражательные свойства в длинноволновом реитгеиовсхом диапазоне. Показано, что межслоевая сероховатость ножот как уменьшать, так и увеличивать селективность многослойной структуры по сравнении со случаем идеально гладких границ.

5. Экспериментально показана перспективность применения многослойных дисперсионных элементов рентгенооптики в конкретных физических приборах. Изучены фокусирующие свойства многослойных рентгеновских зеркал, нанесеннньс: на сферические поверхности, на основе которых созданы изображающие оптические системы в области длин волн мягкого рентгеновского излучения с разрешение« лучше 1 кхм. Впервые создал и спользован з физическом эксперименте поляриметр мягкого рентгеновского излечения.

Основные работы, опубликованные по теме диссертации.

1. Гапонов С.В., Глускин Е.С. .Гусев С.А., Jlyci.'nü Б.Ц.,Садасенко H.H. Зеркала для длинноволнового рентгеновского излучемия//Письма в ST®. 1980. Т. 6. в. 26. С. 1413-1415.

2. Goponov E.V..Cluokin E.S.,Cu3cv S.A.,Luskin В.M.,Salashchenko K.K. Long-wave X-Ray radiation airrors//Opt.Cosas.1981 .V.38.H 1 -P.7-9.

3. Васильев A. A., Гапонов С. В., Гусев С. А.. Дубров В. В., Забродин И. Г Лускин Б. U.. Салавеико И. Н., Сленэин В. А., Собельман И. И.. Еевелько А. П. Многослойные зеркала нормального падения для экстремального УФ иэлучения//ПФ. 19S0. Т. 60. в. 5. С. 85-96.

4. Ахсахалян А. Д., Бабер И. С.. Гусев С. А., Дрягин С. D.. Каськов И. А. Автоматизированный • комплекс для изготовления и исследования многослойных зеркал//Сб. трудов "Применение вычислительной техники в физическом эксперимент*". 1987.1ШФ АН СССР. ГорькиП. C.S4-107.

5. Ахсахалян А. Д.. Гусев С. А.. Гапоиоа С. В.. Лучин В. И., Платонов Ю. Я.. Сглавенко H. Н. Искусственные многослойные отражайте и селективные элементы для мягкого рентгеновского излучения// 5ТФ. 1334. Т. 54. в. 4. С. 755-762.

6. Гусев С. А., Дубров В. В., Житник И. А.. Забродин И. Г.. Кузьмичев А. И.. Саланенко Я. Н., Свекзин В. А. Многослойные сферические зеркага нормального падения для ультрамягкой рентгеновской области спектра//-Письма в ЕТФ. 1957. Т. 13. в. 14. С. 8S7-S92.

7. Щебетов А. С., Сороко 3. Н. , Качурин А. Л.. Иезераавнли В. Я . Гусев С. А. Бер Б. iL Влияние услсьий изготовления многослойного зеркала Fe/Ag на верояоватость слоев и коэффициент отракения поляризованных нейтронов// Препринт Л1Ш t»llB4. Ленинград. 19S6.18 С.

8. Гусев С. А.. Саласенко Н. Н.. Фомина Н. И. Способ изготовления

подлоге! для полупроводниковых приборов// Авторское свидетельство на изобретение н 1356889. 1 августа 1987.

9. Гзпонов С. В.. Гусеа С. А., Платонов Ю. Я.. Салащенко H. Н. Выбор материалов для многослойных элементоз рентгенооптаки//Письма в КТФ. 1883. Т. 9. в. 18. С. 11-40-1143.

10. Гапоков С. В.. Гусев Г. А.. Платонов D. Я., Салащенко Н. В. Искусственные многослойные отрааасщие к селективные элементы для мягкого рентгеновского излучения. 1. Выбор пар материалов//1ТФ. 1084. Т. 54. С. 747-754.

11. Ахсахаляп А. Д., Гапоноа C.B., Гусев С. А.. Платонов Ю. к., Салащенко H. Н. Многослойные рентгеновские зеркала для диапазона дяка волн 25»44 ¿//Письма в йТФ. 1S86.T. 12. ?.. 17. С. 1081-1086.

12. Гапонов С. В. Грудский А. Я., Гусев С. А., Платонов D. Я., Салащенко H. Н. Многослойные дисперсионные элементы для мягкого рентгеновского излучения//ЖТФ. 1985. Т. 55. H 3. С. 575-579.

13. Гапонов С. 8. Гарин ф. В.. Глускин Е. С., Гусез С. А.. Кочемасов А. В.. Салащенко H. Н. Цногослойные зерхала для мягкого рентгеновского издучения/'/Тругы Всесоюзной конференции СИ-82. Новосибирск. 1982. С. 358-364.

14. Gapcnov S.V.,Garin F.V.,Gluskin E.S.,Gusev S.A Kochemasov A.A., Luskin В.M,, Sslashchenko N.K. HuZtilaycr nirrors for soft X-Ray and VW radiation//NIM.19S3.V.208.P.227-233.

15. Caponov 3.V.,Cueev S.A. , Platonov Y.Y. ,Salashchenko N.N.

e

Huit-'layer dispersion elenents for X-Ray emission at 17-100 A// Proceed.SPIE.Hungary,1934.V.473.P.298-300.

16. Akhsnkhalyan A.D., Gaponov S.V., Cusev S.A., Platonov Y.Y., SalashchenKo H.H. Xultilayer X-Say jr.irrors for vavft-length range

25+44 V/HiK.1387.V.i£Sl .P.75-77.

17. ГапогоБ С. В, Глускин Е. С., Гусев С. А.. Платове® D. Я.. Салаценко Е. Е. Сферические к плоские зеркала нормального падения для мягкого рентгеновского излучения// Письма & ЕТФ. 1983. Т. 9. в. 18. С. 1140-1143.

18. Caponov S.V., Gluskin Е.S., Gusov S.A., Flatonov Y.Y., Calachchenko K.H. 'Spherical and flat sultilayer nornal-incidence nirrors for soft X-Ray//Opt.Comm.1983.V.48.N 4.P.229-232.

19. Гапонов С.В.Гусев С. A., Платонов D. Я., Полушхин Н. И., Салаценко Н. Н. Фомина Н. И.. Фраерман А. А. Влияние ыекплоскостных шероховатостей на отражательные свойства многослойных рентгеновских зеркал//ЕТФ. 198S. Т. 55. в. 5. С. 891-B9S.

20. Gaponov B.V. ,Glus)cln. E.s., CusevS.A., Dhes p., platonpv V.Y., SaloshcherOco H.N. Experioental study of the circular polarization level eoft X-Roy radiation froa helical undulator installed in the Storage ring vlpp-2h // Препринт ИЯФ CO АН СССР N 83-163. Новосибирск. 1933.10 С. 7.

21. Гапонов С. В, Глускин Е. С.. Гусев С. А., Дез Л., Ильинский П. П.. Платонов Б. Я., Салаценко К. Н., Па тунов С. Ы. Поляриметр -ля ультрамягкого и ВУФ излучения// Труды международной конференции СИ-84. Новосибирск. 1984. С. 174-17Б.

Цитируемая литература.

1. Esaki 'L. A birds-eye vie« of the evolution of senicoiwiuctor euparlatticee and quantun wellr//IEEE J.Quant.Electr 1386.V.22.N9. P.1611-1624.

2. Engel B.N, ,Englarid C.D. »Wiediaan M.H. ,KaIco С.И. Interface Magnetic Ar.isotropy in Epitaxial Suparlattices//Phys.Rev.Lett. 1991. V.67.H14.P.1910-1913.

3. Ohes P. Progress in multilayer devices as X-Ray optical eleaents//J. Microscopy .1985 .V.133.P .267-277.

4. Saxena A.M.,Schoenborn B.P. Multilayer neutron aonochronator// Acta Cryst.l977.V.A33.P.805-813.

5. Genkin V.K.,Fraerman A.A. The dynamics of a rough surface during film growth//J.Crys.Gr.1988.v. 89.P.357-359.

6. McNeil J.R.,Keil L.J.,A1-Iunaily G.A.,Shakir S. Surface smoothing effects of thin filn deposit ton?y/Appl.Opt .1985. V.24. К 4.P.480-485.

7. Платонов Ю. Я., Полушкин H. И., Салащенко Н. Н.. Фраериан А. А. Рент-генооптические исследования характеристик иногослойных структур// ГГФ. 1987. Т. 57. н 11. С. 2192-2199.

8. Rasigni П.,Rasigni G.,Palaari J.P.,Llebaria A. A study of surface roughness using a aicrodensitometer analysis of electron nicrographs of surface replicas:I.Surface profiles//J.Opt.Soc.An. 1981 -V.71 .P.1124-1133.

Э. Rasigni M.,Rasigni G.,Palmar1 J.P.,Llebaria A. A study of surface roughness using a nicrodensitoneter analysis of electron ■icrographs of surface replicas: II. Autocovariance functions // J.Opt.Soc. An.1981 .V.71 .P.1230-1237.