Система дефектов и планарная магнитная анизотропия ТФП Fe, Fe-Ni тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Глава I. Обзор литературы

1.1. Образование и рост вакуумных конденсатов

1.1.1. Зародышеобразование ГО

1.1.2. Механизмы и формы роста

1.1.3. Образование сплошной пленки, появле иие дефектов

1.1.4. Зависимость структуры пленок от условий конденсации.

1.1.5. Пористость вакуумных конденсатов 1.1.6. Внутренние напряжения в пленках

1.2. Тонкая магнитная структура в ферромагнитных пленках

1.2.1. Наблюдение ряби намагниченности

1.2.2. Изучение природа ряби намагниченности 21 , . 1.2.3. Теория ряби

1.3. Наведенная магнитная анизотропия

1.3.1. Основные механизмы наведенной магнит, . . ной анизотропии

1.3.2. Экспериментальные подтверждения существования различных механизмов наведенной магнитной анизотропии

НМА), действующих в пленках

Постановка задачи

Глава 2. Методика исследований

2.1. Методика электронномикроскопического эксперимента

2.1.1. Технология приготовления образцов и их исследование

2.1.2. Измерение магнитных параметров

2.1.3. Просвечивающая электронная микроскопия

2.1.4. Исследования К-структуры в электронном . . микроскопе

2.1.5. Наблюдение М-структуры в электронном микроскопе

2.2.Техника спектрального анализа

2.2.1. Введение

2.2.2. Корреляционная функция

2.2.3. Спектр

2.2.4. Сглаживание спектральных оценок

2.2.5. Оценка спектра на.белость

В физике тонких пленок, как в области фундаментальных исследований, так и в технологических разработках, можно выделить две остро стоящих проблемы. Одна из них связана с задачами управляемого роста планарных сред в процессе препарирования и в последующих доводочных воздействиях той или иной природы. Известно, сколь невысок процент выхода пленок с требуемыми свойствами. При получении тонких магнитных пленок (ТМП) эта задача заметно усложняется, ибо необходимо задавать соответствующие условия препарирования, временной график процесса приготовления пленки, ориентированные не только на получение требуемых магнитных свойств, но и на параллельное создание соответствещей кристаллическойктуры. Тонкая магнитнаяктура (ТМС) весьма чувствительна к типам, характеру, плотности тех или иных дефектов. Магнитные свойства пленок формируются на достаточно поздних стадиях роста, когда островковая пленка переходит в сплошную. Возможно, было бы целесообразно провести такие исследования, когда процесс препарирования с заданными целевыми установками, осуществлялся через формирование K-структуры пленки с соответствуицей системой дефектов, которая сама будет управлять ТМС. Конечно, здесь вполне естественен вопрос о выяснении и поиске связи этой системы дефектов с особенностями ТМС, ибо знание таких закономерностей сможет дать физические основания для управляемой технологии.

Другая проблема в определенной мере связана с предыдущей - это проблема эксплуатационной устойчивости ТМИ, работающих в качестве сред памяти автоматики и вычислительной техники (АВТ). Понятие эксплуатационной устойчивости очень широкое и может определять термодинамическую, электрическую, магнитную, радиационную, структурную, химическую и пр. устойчивости. Большинство физических свойств надстраивается" над структурными, а последние если оказывают не строго детерминированное влияние на различные свойства,например на магнитные, то могут значительно коррелировать, обусловливать в статистическом смысле магнитную структуру. Немаловажны процессы диффузионной гомогенизации при старении ТМП, идущие; в консервативных условиях. Зачастую црепарирование, нацеленное на заданные характеристики магнитной структуры, в значительно меньшей степени ориентировано на контроль за состоянием дефектной системы образцов. Кинетика процессов релаксации магнитных и структурных М1, как правило, не согласована. К тому же, следует обратить внимание, что планарные среды (ПС) приготавливаются в неравновесных условиях, и, например, для мелкодисперсных пленок железа, в особенности пермаллоя, получаются объекты, характеризующиеся большим ресурсом неравновесности. Он может быть аккумулирован в механических напряжениях, термических упругих деформациях, локально пластических напряжениях и пр., проявляется в виде сеток микропор, трещин. Дальнейшая эволюция (старение) таких ПС может привести к существенным нарушениям макросплошности (дырки ЭЮ^А) , причем со скоростями, большими, чем времена релаксации ЩС. Подобные ситуации известны и для носителей оперативной памяти ЭВМ, и в радиационном материаловедении. Совершенно понятной становится необходимость исследований по выяснению физических основ программируемой технологии и по изысканию механизмов структурной стабилизации неравновесных шганарных сред. Этим аспектам и посвящена диссертационная работа.

Выполненное исследование имеет свою специфику как в выборе предмета исследования, так и в методике сравнительного изучения анизотропии кристаллического строения и ТМС пленок. Хотя объекты ( Ре ; Ге-ки -пленки) можно считать классическими, однако пермаллой по-прежнему весьма широко используется в современной вычислительной технике в качестве аппликаций ЗУ, БИСов. Чрезвычайно важно получение аппликаций с соответствующими структурно-морфологическими свойствами» позволяющими <5ез существенной диссипации продвигать ЦЩ диаметром ~ I мкм, исключая их остановки, аннигиляции на дефектах. Не менее важны и вопросы термо-, электростабильности. В связи с этим пермаллой остается в центре многих работ прикладного плана. Среди всего многообразия дефектов к мы остановились на системе мнкропор. В последнее время уже начали появляться монографии о порах в пленках, их влиянию на различные физические свойства, в том числе и на магнитные

Поры, микро-, субмикропоры, как теперь уже общепринято считать, являются естественным дефектом вакуумных конденсатов; возникают на достаточно поздних стадиях роста по различным механизмам, с последующей их эволюцией в процессах отжигов, старения, эксплуатации.

Обнаруженные исследуемые наш на протяжении 10 лет микропоры в пленках Ре , Ре-^ относятся к классу лабиринтных. Линейный размер таких пор значительно преобладает над поперечным, поры образуют сложные нити, волокна-лабиринты, оконтуривающие по нескольку зерен. Подобная сетчатая мшфоструктура образуется на стадии < островковая -сплошная пленка по тем или иным механизмам и является выражением текстуры кбалесценции. Она отличается отсутствием хаотичности в пространственном распределении. Сетка мшдэопор обладает значительной упорядоченностью, а функция распределения зерен по размерам чрезвычайно узкополосна. Как мы показали (раздел 3.2.5), высокая организация ЛСШ вполне совместима с полной раскорреляцией легких осей кристаллов. Таким образом, К-структуру можем представить как двухкомпонентную систему, состоящую из микропоровой сетки и зеренной компоненты.

Научные задачи диссертации:

1. Рассмотреть взаимоотношение решеточных дефектов и ЛСМП. Построить количественную характеристику анизотропии ЛСМП, Изучить ее поведение относительно различных параметров препарирования. Условия и причины появления ЛСМП дня поликристаллических, текс-турированных пленок Ре , Ре - NI . Динамика поровых картин при различных термообработках. Зарастание пор с увеличением толщины пленок.

2. Разработать методику спектрального анализа анизотропии К- и М-структур ТФП в модели случайных процессов. Сформулировать 1фитерий "белой" зеренной структуры и провести совместные исследования с ЛСМП.

3. Установить количественные закономерности мевду характеристиками ЛСМП (показатель анизотропии эе, , угловая дисперсия пор ) и параметрами ТМС (дисперсия ряби гр , Ки ).

4. Провести сравнительное рассмотрение количественных оценок анизотропии ЛСМП, зеренной компоненты и ТМС. Поиск корреляционных связей К- и М-структуры ТФП.

5. Рассчитать Кц -константу магнитной анизотропии по системе микропор. Сопоставить с магнитными измерениями.

При реализации этих пунктов гадания были получены следувдие новые результаты:

I. В разделах 3.1-3,3 изучено взаимоотношение вакансий, дислокаций, мало-бслыпеугловых границ с ЛСМП при избранных условиях препарирования. В широком диапазоне 20° ^ Тп < 500°, & -углов напыления, степени дисперсности пленки, толщины, магнитного поля установлены механизмы роста ВК Ре , Ре-ЫС , В разделе 4.1 выяснена управляемость ЛСМП под воздействием различных термообработок. Показано, что с ростом толщины пленки (раздел 4,6) шпфопоры "замуровываются", утончаются, теряют огранку, переходят в сетку большеугловых границ, насыщенную избыточными вакансиями.

2. Введен показатель анизотропии ЛСШ ъе. (Тп о1, Н, & (0))(разв зависимости делы 3.4-3,6), изучено его поведение от условий конденсации. В разделе 3.2.5 реализован критерий "белости" зеренной структуры -& - корреляция главных осей кристаллитов. Экспериментально доказано, что полная некоррелированность ориентаций в поли кристаллических тонких пленках Ге и Ре вполне совместима с высокой упорядоченностью (большими зе ) ЛСМП.

3. Получена совокупность функциональных соотношений гр = Кц = (эе), корреляционное поле ( ^ , 0 ), (разделы 4.1,

4.2), которая позволяет утверждать' сильную корреляцию ШС и ЛСШ. Удалось установить в осях и -Ц- линейную зави

К со Ж-ОО симость, являющуюся конкретизацией закона подобия (принцип соответственных состояний).

4. В методике спектрального анализа случайных процессов (разделы 4.4 и 4.5) дана количественная оценка кристаллической й ШС пленок. Введены и рассмотрены совместно показатель анизотропии эе , & , (для ЛСШ и зеренной компоненты. Показано, что ЛСШ и колонковая структура мелкодисперсных пленок пермаллоя принадлежат одному классу дефектов. Прослежено влияние на ани-тропию кристаллической структуры пленок угла напыления, магнитного поля, фактора дисперсности. Многомодальная рябь намагниченности может появляться и на "белой" зеренной структуре. Анизотропия ТМС обусловлена ЛСШ, но не зеренной компонентой.

В разделе 4.7 предложен способ расчета по найденным нами зеренно-поровым объединениям, которые можно рассматривать уже как независимые "сверхструктурные" элементы. Достигается хорошее согласие с К ц по магнитным измерениям и спектральным оцен-кам.Болыпинство физических результатов в пунктах 1-4, методика спектрального анализа анизотропии кристаллической й ТМС пленок

Ге , в модели случайных процессов получены впервые и выносятся на защиту".

Защищаемые положения следующие:

1. Лабиринтная система мищюпор, как один из возможных типов поровых дефектов, являющаяся выражением стадии текстуры коаяесцен-ции в неравновесных условиях препарирования. ЛСМП есть универсальная стадия системного дефекта (не ансамбля) при формировании сплошной пленки, которая лишь "замуровывается", превращается в сетку квазипор, колонковую структуру при увеличении толщины пленки.

2. Введен показатель анизотропии степени упорядоченности ЛСМП, предложена методика расчета эе из электронномикроскопичес-ких снимков поровых систем. Получена экспериментальная зависимость -эе (ТП) оС) и показана хорошая управляемость системой микро-пор посредством вариации простых параметров конденсации.

3. Положительная корреляция степени анизотропии лабиринтной системы микропор и дисперсии ТМС, при полной разориентации легких осей кристаллитов в поликристаллических пленках. Найдены функциональные зависимости: Кц-Кц(ае)и , связывающие характеристики магнитной структуры и ЛСМП.

4. Спектральная методика анализа неоднородностей в модели случайных процессов в применении к оценке анизотропии зеренной компоненты и ТМС. Кристаллическая структура ТФП представляется в виде двух компонент: системы микропор и зеренного ансамбля. Построено фазовое пространство ( эе 6 () анизотропии ¡(-строения ТФП, где фазовая траектория описывает технологию препарирования пленки,

5. Основываясь на положении об установленном наш зеренко-поровом объединении, которые составляют К-структуру пленки в слабосвязанном приближении» была разработана методика расчета Ки •

Научное и прикладное значение

Полученные результаты о связи ДСМП и ШС пленок, а также характеристики анизотропии кристаллической и магнитной структур могут дать физические основания для разработки технологии получения, например, пермаллоевых аппликаций с требуемымми свойствами» Изученная в работе сетка микропор представляет собой проявление текстуры коалесценции, обладает высокой степенью пространственной упорядоченности и может быть использована при стабилизации процессов диффузионной гомогенизации в различных видах и режимах эксплуатации ТФП.

Материалы диссертации, методика исследования, результаты неоднократно входили в отчеты: по хоздоговорам предприятия п/я А-1631 (г.Зеленоград, МЭП СССР) по НИР "Эксперт" гос.регистрации "76033191) в 1976-1980 гг.; НИР "ЭРА-81" в 1981-1983 гг. с п/я Х-5476 ($ гос.регистрации 81056024), а также в госбюджетной тематике, согласно плану совместных НИР МВССО СССР и АН СССР в области вычислительной техники на 1981-1985 гг. п. 1,12.3.7 гос .регистрации 0182.8016091). (Основание: Постановление о совместных НИР "ВТ" МВССО СССР и АН СССР за « 1473Д46 от 29,12. 1980г./ 31.12,80 г.).

ВЫВОДЫ

В результате исследования ТШ железа и пермаллоя, находящихся на стадии развитой текстуры коалесценции, магнитно- и струк-турносплошных, но с общей микропористостыо в 20-30$, установлены нижеследующие закономерности в поиске корреляции ТМС и системы дефектов.

1. Показано, что система микропор является выражением текстуры коалесценции, универсальной стадии формирования ТШ при переходе структуры от островковой к сплошной пленке. Для Ге и

Ге-№ пленок подобраны оптимальные общие условия препарирования: низкий или средний вакуум, скорость конденсации иг = Ю-2ОА/с, значительные переохлаждения Тп 0г , при которых достаточно глубоко развита текстура коалесценции. Изучена связь различных решеточных (структурных) дефектов с лабиринтной системой микро-пор (ЛСМП). Выяснены механизмы и формы роста ВК пленок Ре и Ге~М1 » способствующих ее образованию.

2. Разработана и систематически реализована методика спектрального (цифрового) анализа, представляющая К- и М-структуры ТФП в модели случайных процессов. Распределения неоднородностей по размерам (спектральные оценки) использованы для описания степени анизотропии К- и М-случайных полей.

3. Кристаллическая структура может рассматриваться как двух-компонентная, состоящая из лабиринтной системы штопор (ЛСМП) и зеренной компоненты. В поликристаллических ТШ зеренная компонента представляет собой "белый" шум в смысле ориентации легких осей кристаллов, с которым совместима высокая упорядоченность ЛСМП. Предложен спектральный критерий оценки "белости" ¡{-структуры ТШ.

4. В методике спектрального анализа исследована анизотропия зеренной компоненты К-строения и ШС. Показано, что известное связано мнение об одномодальности ряби намагниченности не однозначно с понятием "белой" структуры. Многомодовость ТМС при полной хаотичности в ориентационном плане зеренной компоненты связана с большой дисперсией ЛСМП.

5. Введен показатель анизотропии ЛСМП эе в координатном представлении, который включает как формфактор единичной поры, так и характеристику упорядоченности системы микропор. Изучен ряд зависимостей коэффициента эе от условий препарирования эе-эе (Т„) ] (сс) t Повышение Тп от 20°С до 500°с приводит к линейному уменьшению эе , а угловая зависимость содержит mas при углах 20 < Ы < 30.

6. Исследована корреляция между эе -показателем анизотропии, # -углом дисперсии ЛСМП и параметрами ТМС - дисперсией ряби у , Ки . Показано, что зависимость эе) является линейно спадающей с ростом эе . Экспериментально установлено соотношение In = - (2Дэе ; полагая 6ifCu t шеем

С (эе) ■= - - обобщенную силу работы анизотропии, когда варьируется степень упорядоченности ЛСМП. В осях и ье/ье^ установлен закон подобия, являющийся универсальной зависимостью. Корреляционное поле ( ^ ; (9 ) убедительно показывает на уровне доверия ^ 03% положительную детерминированную линейную зависимость дисперсий ряби и ЛСМП.

7. С целью выяснения возможностей управления ЛСМП были изучены разнообразные термомагнитные обработки.

Высокотемпературный отжиг ТШ, находящихся в начальной или развитой стадии коалесценции, приводит к определенному улучшению структуры. Наоборот, в таких объектах, где текстура коалесценции весьма поздняя, ЛСШ "замурована", упомянутый отжиг приводит к ухудшению структуры, систематическим нарушениям макросгоюшности. ШС при этом нарушается как единая система.

8. Подобраны условия низкотемпературного изотермического отжига, достаточно близкие к естественному старению. Так как развитая ЛСШ характеризуется чрезвычайно узкой функцией распределения зерен по размерам, то они могут расти все сразу в процессе "мягкого" отжига ( Ас1ъ ^ 20%d3) ф Здесь реализуется механизм небольших смещений, подворотов и внутреннего спекания зерен, что, однако, не приводит к появлению нарушений макросплошности. Стабильность организации ЛСШ такого типа в естественных условиях может обеспечить эксплуатационную устойчивость ТМС.

9. Предложены характеристики анизотропии K-структуры ТФП эе , § , , которые выполняют роль координат фазового пространства анизотропии ЛСШ и зеренной компоненты. Рассмотрено их поведение от параметров препарирования: ос 9 Н , D , 8 . Для крупнозернистых поликристалпических пленок переход к оптимальным углам напыления способствует повышению и в , а также степени вариабельности индикатрисы анизотропии К-поля. Для мелкодисперсных поликристаллических пленок с Н 4 0 показатели эе и £ ведут себя синхронно и аналогично предыдущему, но средняя вариация индикатрисы анизотропии уменьшается монотонно при увеличении угла = 0°, 23° ^ 35°. Несмотря на наличие или отсутствие магнитного поля в процессе приготовления, степень деструкции, ЛСМП и колонковая структура в мелкодисперсных пленках обусловлены, главным образом, воздействием угла напыления. Оба эти вида структурных особенностей генерируются эффектом самозатенения. Малые и большие углы напыления приводят к повышению изотропии как ЛСМП, так и зеренной компоненты. Действие магнитно

151 го поля проявляется но в изменении , анизотропии в цело:л зеренной компоненты, а сказывается на повышении | ¿X ( -средней вариабэльностн индикатрисы анизотропии.

10. Микропоры с достаточно высоким значением форщактора £ — 10 могут образовывать ЯСШ с 26 весьма различными. При помощи спектральных оценок построены индикатрисы Л(с/) волновых векторов, которые соответствуют усредненному зереппо-поровому объединению. В последнем скрыт системный фактор, вираззащий взшпло-действие в К-структуре ТШ. Рассчпташшо в такогл представлешщ ¡1^, хорошо согласуются с данными по магнптншл пзтлерешшм.

Полученные результаты в оппсанип спстеглных дефектов, зеренной кошоненты ТШ могут представлять определенный интерес в выработке физических основ технологии получения магнитных структур с заданными свойствами.

В зшглюченпп хочу выразить благодарность своим непосредствен-ншл руководителям Ветер Валентине Владиславовне п Юдиной Дсэдмило Алексеевне, под руководством которых выполнена данная работа; зав. кафедрой автоматизации научных псследозшшй Дальневосточного госуниверситета Юдину Виталию Витальевичу за всестороннее обсуждение работы, ценные замечания, помощь в разработке методпкн спектрального анализа случайных цроцессов в пршлоненшт к ТуЛ; а также за предоставление элоктрошю-мттоскопических исследований Мшпляеву М.И. (1МТ -АН СССР, Черноголовка Московской области), Предводптелеву А, А. (ЮТ, кафедра молекулярной шизики, Москва), Рожонско:.1у В.Н. (Институт щшсталлогрсфпп АН СССР, Москва), Пащенко Т.Н., Воробьеву Ю.Д. (ДВГУ, Владивосток); всем сотрудничал кафедры фпзшш твердого тела и кафедры автоматизации научных исследований ДВГУ за всостороншю помощь в проведении экспериментов и обсуждении получешшх результатов.

1. Пью Э.У. Магнитные пленки из железоникелевых сплавов. -

2. В кн.: Физика тонких пленок. T.I. М.: Мир, 1967, с.275-339.

3. Саланский Н.М., Ерухимов М.Ш. Физические свойства и применение магнитных пленок. Новосибирск: Наука, Сиб.отд-ние,1975. - 220 с.

4. Технология тонких пленок: Справочник. /Под ред.: Майселл Л., Глэнг Р.; Пер.с англ. М.: Сов.радио, 1977. T.I.662 е.,1. Т.2. 764 с.

5. Иванов Р.Д. Магнитные металлические пленки в микроэлектронике. М.: Сов.радио, 1980. - 177 с.

6. Борзяк П.Г., Кулюшш Ю.А. Исследование островковых металлических пленок в СССР: Препринт / Ин-т физики АН УССР. Киев, 1977, - 40 с.

7. Трусов Л.И., Холмянский В.А. Островковые металлические пленки. М.: Металлургия, 1973, - 320 с.

8. Нейгебауэр Е.А. Явления структурного разупорядочения в тонких металлических пленках. В кн.: Физика тонких пленок. Т.П: Пер.с англ. М.: Мир, 1967, с. 13-64.

9. Родин Т.Н., Уолтон Д. Образование зародышей в ориентированных пленках. В кн.: Монокристаллические пленки: Пер.с англ. М.: Мир, 1966', с. 44-57.

10. Хирс Дж.П., Моазед К.Л. Образование зародышей при кристаллизации тонких пленок. В кн.: Физика тонких пленок. Т.1У. М.: Мир, 1967, с.123-166.

11. Ю. Poppa Н. In situ studies of epitaxial thin film growth.

12. Z.Naturwiss.,1964,19a,N7/8,p.835-843. II»Robins J.L.jRodin Т.К. Nucleation of metal ciystals on ionic surfaces. Surface Sei.,1964,v2,p.346.

13. Poppa H. Progress in the continious observation of thin -film nucleation and growth processes by electron microscopy. -J.Vac.Sci.Technol. ,1965,v2,p.42.

14. Pashley D.W. The nucleation,growth,structure and epitaxy of thin surface films.-Adv.Phys.,1965,14,N55,P.327-416.

15. Ищанов Г.С.Кинематографическая регистрация роста тонких пленок в электронном микроскопе. Заводская лаб. 1974, 40, 9, с. II2I-II22.

16. Северденко В.П., Точицкии Э.И. Структура тонких пленок. -Минск: Наука и техника, 1968, 210 с.

17. Сухвало C.B. Структура и свойства магнитных пленок железо-никель-кобальтовых сплавов. Минск: Наука и техника, 1974. -334 с.

18. Палатник Л.С., Комник Ю.Ф. 0 критической температуре конденсации Bi, РЪ , Sn . Физика металлов и металловедение, I960, т.10, вып.4, с. 632-633.

19. Палатник Л.С., Гладких Т.Н., Набоков М.Н. 0 второй (нижней) граничной температуре конденсации jn » Sn . Fb и Bi • -Физика твердого тела, 1962, вып.4, с.202.

20. Палатник Л.С., Гладких Т.Н. Об эффекте микрогет.ерогенной конденсации металлов в вакууме. Докл.АН СССР, 1964, т.140, с. 567.

21. Косевич В.М., Палатник Л.С., Шевченко С.И., Антонова В.А.0 форме частиц неметаллических конденсатов на начальных стадиях роста. Физика твердого тела, 1964, т.6, вып.II, с. 3240-3246.

22. Палатник Л.С. Структура и свойства конденсированных пленок. -В кн.: Структура и свойства металлических пленок. Киев: Hayкова думка, 1966, с. 4.

23. Косевич В.М., Палатник Л.С. Механизмы роста и дефекты кристаллического строения вакуумных конденсатов. Физика металлов и металловедение, 1968, т.25, вып.1, с. 62-79.

24. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972. -324 с.

25. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. М.: Атомиздат, 1979. - 264 с.

26. Тун Р.Э. Структура тонких пленок. В кн.: Физика тонких пленок. T.I: Пер.с англ. М.: Мир, 1967, с. 224-274.

27. Метьгоз Да.У. Монокристаллические пленки, полученные испарением в вакууме. В кн.: Физика тонких пленок. Т.1У. - М.: Мир, с. 167-227.

28. Pashley D.W.»Stowell H.J.,Law T.J. The crystal structure of evaporated gold films.-Phys.Status Solidi,l965,v10,p.153.

29. Дурасова Ю.А., Никитина Т.Н. Некоторые электронномикроскопи-ческие и электроннографические исследования структуры тонких пермаллоевых пленок. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1965,т.29, № 4, с. 557-559.

30. Shevakin Yu.F.,Kharitonova L.D.,Ostrovskaya L.M. Dependence of structure and properties of vacuum condensates of some metals and alloys on conditions of deposition. -Thin Solid

31. Films, 1979, v62,N3, p. 5>37-346.

32. Абакумов Б.М., Михалева H.A. Сравнительное исследование физических свойств пермаллоевых пленок, осажденных в условиях высокого и сверхвысокого вакуума. В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1968, с. 52-56.

33. Banna A.,Barna P.B.,Radnoczi G.,Reicha P.M.,Toth L. Formation of aluminium thin films in the presents of oxygen and nickel.-Phys.Status Solidi,19791 Ser.A,,N2,p.427-435•

34. Пынько В.Г., Комалов A.C., Овсянников H.A., Русова С.Г., Э.Ж.-Р. Лгодвик. Выращивание монокристаллических пленок железа, никеля, кобальта и их сплавов. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1967, т.31, № 3, с.485-491.

35. Людвик Э.Ж.-Р., Пынько В.Г., Людвик A.A., Зуев В.М. Эпитак-сиальный рост пленок Ре и Cr при вакуумной конденсации их на поверхности сколов кристаллов NaCl , В кн.: Физика магнитных пленок. Красноярск, 1975, с. 63-66.

36. Фукс М.Я. О механизме образования внутренних макронапряженийв вакуумных конденсатах. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1967, т.31, № 3, с. 422-428.

37. Фукс М.Я. Особенности структуры и микропористость металлических пленок, конденсированных в вакууме, В кн.: Тонкие магнитные пленки, вычислительная техника и радиотехника. Т.2. Красноярск, 1970, с. 3-27.

38. Фукс М.Я., Белозеров В.В., Бойко Ю.Ф. О роли разных механизмов возникновения внутренних напряжений в конденсированных пленках. Физика металлов и металловедение, 1972, т.33, в.З, с. 571-577.

39. Фукс М.Я., Палатник Л.С., Черемской П.Г., Золотницкий Ю.В.

40. Кристаллизационная субмикропористость в конденсированных поликристаллических пленках. Физика твердого тела, 1971, т.13, вып.6, с. 1757-1764.

41. Аранович Г.Л., Вишняков Б.А. Пористость тонких пленок. -Журнал технической физики, 1977, т.47, вып.7, с.1555-1558.

42. Палатник Л.С., Гладких Н.Т., Герловская JI.B. Влияние отжига на структуру вакуумных конденсатов металла. Физика металлов и металловедение, 1965, т.20, вып.З, с. 396-400.

43. Палатник JI.C., Фукс М.Я., Черемской П.Г. Макро- и микропористость вакуумных конденсатов. Докл.АН COOP, 1972, т.203, }£ 5, с. I058-I06I.

44. Фукс М.Я., Черемской П.Г. Ориентированная пористость, форма элементов структуры и анизотропия микронапряжений в вакуумных конденсатах. Физика металлов и металловедение, 1974, т.37, вып.4, с. 808-816.

45. Фукс М.Я., Черемской П.Г., Нечитайло A.A., Федоренко А.И., Демирский В.В. Влияние отжига на стабильность макро- и микропористость в конденсированных пленках. Физика металлов и металловедение, 1975, т.39, вып.2, с.308-318.

46. Косевич В.М., Палатник Л.С., Григоров С.Н. Исследование структуры границ в пленках SnSe методом муара вращения. -Кристаллография, 1972, т.17, вып.2, с. 395-403.

47. Находкин Н.Г., Шалдерван А.И. Влияние условий конденсации на рост столбчатых кристаллитов в пленках алкминия. Физика твердого тела, 1971, т.13, вып.7, с. 1939-1943.

48. NakhocLkin N.G.,Shaldervan A.J. Effect of vapour incidence angles on profile and properties of condenced films. -Thin Solid Films,1972,vlO,N1,p.109-122.

49. ITakahara S. Microporosity induced Ъу nucleation and growth processes in crystalline and non-crystalline films. -Thin Solid Films,1977,v.45p.421-4^2.

50. Shigeoka T.,Hara K. ,Kamiya M., Hashimoto T.jFujiwara H. Inclination angle of columnar grains in iron films evaporatedat oblique incidence. -Japan J.Appl.Phys.,1980,v.19,N5,995-996.

51. Hoffmann H. Quantitative calculation of the magnetic ripple of uniaxial thin permalloy films. -J.Appl.Phys.,1964,v.35, N6,p.1790.

52. Hoffmann H. Dependence of the magnetization oscillation domain breadth and dispersion of the easy axis on the film parameters of uniaxial permalloy films. -Phys.Stat.Sol.,1964, v.5,N1,p.187.

53. Hoffmann H. Stray fields in thin magnetic films. -IEEE Trans, on Magnet.,1966,v.2,H3,p.566.

54. Hoffmann H. Theory of magnetization ripple. -IEEE Trans, on Magnet. ,1968,v.4,N1 ,p.32.

55. Harte K.J. Theory of magnetization ripple'in ferromagnetic films. -J.Appl.Phys.,1968,v.38,p.1503-1525.

56. Leaver K.D. Magnetization ripple in ferromagnetic thin films. -Thin Solid Films,1968,v.2,N1/2,p.149.

57. Hale M.E.,Puller M.W.»Rubinstein H. Magnetic domain observations by electron microscopy. -J.Appl.Phys.,1959,v.30,N5,p.789.

58. Roth.er H. Magnetische eigenschaften ferromagnetischer schich-ten.I. -Z.Phys.,1962,b.168,N1,s.42.

59. Feldtkeller E. Small amplitude ripple hysteresis in magnetic thin films. -Proc.Intern.Conf. on MagnetNottingham,London, 1964,p.837.

60. Tsukahara S. -J.Phys.Soc.Japan.,1967,v.23fW2,p.187.

61. Puchalska I.B.,Sukiennicki A.,branska E. Ripple lines in thin permalloy films of various thickness. -Phys.Stat.Sol.,1966» v.14,N2,p.K119.

62. Baltz A. The effect of alloycomposition on the magnetization ripple of permalloy films. -Proc.Inter.Conf. on Magnet.Not-t ingham-L о ndo n,1964,p.845.

63. Puchalska I.B. Electron microscope high-temperature examination of permalloy cobalt and iron thin films. -Proc.Intern. Conf. on Magnet .Nottingham-London, 1964-, p. 870.

64. Puchalska I.B.,Sukiennicki A.,Tymosz T. Investigation of the magnetic domain fine structure of thin permalloy films evaporated under different angles. -Phys.Stat.Sol.,1965,v.9,N2,1. P.575

65. West F.G.,Simmons C.L. Dependence of angular dispersion on grain size in evaporated permalloy films. J.Appl.Phys., 1966,v.5,N3,p.1283.

66. Cundall J.A.,King A.P. Comparison of magnetic measurements and theoretical predictions for nickel-iron films over a wide composition range. -Phys.Stat.Sol.,1966,v.16,N2,p.613*

67. Baltz A.,Doyle W.D. Effect of crystallite size and orientation on the magnetization ripple in permalloy films. -J.Appl. Phys.,1964,v.35,N6,p.1814.

68. Суханова P.B., Пынько В.Г., Сивков Н.И. Причины образования тонкой магнитной структуры доменов ферромагнитных пленок.«

69. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1967, т.31, № 3, с.432-441.

70. Игнатченко В.А. Магнитная структура тонких магнитных пленок и MP. Журнал экспериментальной и теоретической физики, 1968, т.54, вып.1, с. 303-311.

71. Эделъман И.С., Чернышева Л.И. Статистические характеристики тонкой магнитной структуры ферромагнитных пленок. Физика металлов и металловедение, 1969, т.28, вып.З, с. 440-453.

72. Петров В.И., Спивак Г.В., Павлюченко О.П. Электронная микроскопия магнитной структуры тонких пленок. Успехи физических наук, 1972, т.106, вып.2, с.229-278.

73. Suzuki Т.,Wilts С.Н. Quantitative Study of the magnetization ripple in ferromagnetic Ni-Fe alloy films. -J.Appl.Phys., 1968,v.39,N2,p.1151-1152.

74. Suzuki T. Investigations into ripple wavelength in evaporated thin films "by Lorentz microscopy. Phys.Stat .Sol., 1970,v.37,N1,p.101-114.

75. Gaigher H.L. Wavelength of magnetization ripple in thin el-evaporated Fe-Ni films. -Z.fiir Phys. ,1969,Ъ.223,p.257-280.

76. Чернышова Л.И., Эдельман И.С., Сивков Н.И. Влияние внешнего магнитного поля на рябь намагниченности поликристаллических пленок железа. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1970,т.34, №7, с.1589-1591.

77. Чернышова Л.И., Велик Г.И., Сивков Н.И. Влияние температурных воздействий на тонкую магнитную структуру и ширину границ железоникелевых пленок. В кн.: Физика твердого тела / Ин-т физики СО АН СССР. Красноярск, 1974, с. 66-71.

78. Чернышова Л.И., Велик Г.И., Сивков Н.И., Савченко М.К., Лаптей Д.А. Влияние температурных воздействий на доменнуюструктуру железо-никелевых пленок. Изв.Вузов. Физика, 1972, № 6, с.97-100.

79. Hoffmann Н. Magnetic properties of thin ferromagnetic films in relation to their structure. -Thin Solid Films,1979»v.58, N2,p.223-233.

80. Палатник Л.С., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в пленках. -М.: Энергоиздат, 1982. 216 с.

81. Keitoku S.,Nishioka К. Grain structure and magnetic aniso-tropy of Fe film evaporated obliquely from two sources. -Japan J.Appl.Phys.,1981,v.20,N7,P.1249-1259.

82. Тимакова Г.П., Юдина JI.А., Кленин С.А., КЩин В.В., Ветер В.В. Фурье-оптика в физике тонких ферромагнитных пленок. -Физика металлов и металловедение, 1977, т.44, вып.6, с.1198-1205.

83. Карабанова В.П., Антипов Т.В. Влияние внешнего магнитного поля на структуру границ с поперечными связями. В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1975, с.126-130.

84. Гавршгюк А.В., Казаков В.Г., Иванов В.А. Влияние упругих напряжений на коэрцитивную силу пленок разной толщины.

85. В кн.: Физика магнитных пленок. Красноярск, 1975, с.84-88.

86. Пугачев А.Т., Аринкин А.В., Чуракова Н.П., Черемской П.Г. Динамика решетки и субструктура тонких конденсированных пленок золота. Физика металлов и металловедение, 1982, т.53, вып.5, с. 911-916.

87. Тонкие ферромагнитные пленки: Пер.с нем. / Под ред.Телесни-на Р.В. М.: Мир, 1964. - 355 с.

88. Праттон М. Тонкие ферромагнитные пленки: Пер.с англ. -Л.: Судостроение, 1967, 204 с.

89. Суху Р. Магнитные тонкие пленки: Пер. с англ. М.: Мир,1967, 255 с.

90. Буравихин В.А. Влияние механических напряжений на магнитные свойства пленок. Иркутск: Вост.-Сиб. кн.изд-во,1968.-151 с.

91. Темченко Н.Ш. Одноосная анизотропия монокристаллических пленок Fe , Ni , Со и двойных сплавов системы Fe-lli-Co : Автореф.дис. канд.физ.-мат.наук -Красноярск, 1971. 16 с.

92. Okamoto К. Columnar grain structure of iron films evaporated at oblique incidence. -J.Sci.Hiroshima Univ.,1976,ser.A,v.40,N2,p.251-284.

93. Сандлер Л.М., Наглюк Я.В., Попов В.П. Экспериментальное исследование магнитной анизотропии наведенной прокаткой в монокристаллах ферромагнитных сплавов: (Обзор). Металлофизика, 1980, т.2, № 2, с.22-30.

94. Srivastava R.S. Origin of magnetization-induced uniaxial anisotropy in evaporated Fe-Co and Ni-Co films. -J.Appl.Hays., 1977,v.48,N3,p И 355-1358.

95. Srivastava R.S.,Joshi A.W. Dependence of magnetization-induced uniaxial anisotropy on deposition substrate temperature for evaporated Ni-Fe films. Indian J.Pure and Appl. Phys.,1976,v.14,N11,p.880-883.

96. Taniguchi S.,Yamamoto M. A note on a theory of the uniaxial ferromagnetic anisotropy induced by cold work or by magnetic annealing in cubic solid solution. -Sci.Rep.Tohoku Univ.,ser.A,1954,v.6,p.330.

97. Taniguchi S. A theory of the uniaxial ferromagnetic anisotropy induced by magnetic annealing in cubic solid solutions. -Sci.Rep.Tohoku Univ.,ser.A,1955,v.7,p.269.

98. Wes"t F.G. Uniaxial anisotropy due to magnetoalastic energy in contained polycrystalline films. -J.Appl.Phys.,1964,v.35, p.182?.

99. Браунлоу Л.У., Уилц С.Г. Магнитная анизотропия напыленных тонких пленок Ni Со . - В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1968, с. 24-29.

100. Телеснин Р.В., Сараева И.М., Шишков А.Г. Анизотропия тонких пермаллоевых пленок, созданная полем и наклонным падением молекулярного пучка. Изв.АН СССР. Сер. физическая, 1965, т.29, № 4, С.586-589.

101. Телеснин Р.В., Сараева И.М., Рыбак E.H., Шишков А.Г. О вкладах в наведенную анизотропию тонких железо-никелевых пленок. Изв.АН СССР. Сер.физическая, т.30, № I, с.95-98.

102. Буравихин В.А., Казаков В.Г., Попов В.П. Влияние упругих напряжений на коэрцитивную силу и форму петель гистерезиса ферромагнитных пленок. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1965, т.29, J£ 4, с.659-662.

103. Помазкин В.А., Казаков В.Г. Температурная зависимость магнитных параметров железоникелевых пленок на подложках.

104. В кн.: Физика твердого тела. Красноярск, 1977, с.36-39.

105. Антипин И.П., Ефимов В.И., Савченко М.К., Эдельман И.С. Доменная структура и петли гистерезиса тонких магнитных пленок при механических деформациях. Изв.АН СССР. Сер. физическая, 1965, т.29, J& 4, с. 620-625.

106. Буравихин В.А., Попов В.И. Влияние температуры подяожек и термомагнитной обработки на магнитные свойства ферромагнитных пленок. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1965, т.29, й 4, с. 676-681.

107. Лесник А.Г., Левин Г.И., Каверина С.Н. Влияние неровностей поверхности подложки на коэрцитивную силу пермаллоевых пленок. Изв.АН СССР. Сер.физическая, т.29, J£ 4, с. 591596.

108. Телеснин Р.В., Шишков А.Г., Сараева И.М., Летова Т.Н., Лю-Фа-Чун М., Гурбич Л.М. Исследование магнитной анизотропии пермаллоевых пленок. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1972, т.36, & 6, с.II55-1157.

109. Лесник А.Г., Сандлер Л.М. Влияние пластической деформации на магнитную анизотропию пермаллоевых пленок. В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1968, с. 57-63.

110. Абакумов Б.М. Одноосная анизотропия тонких перлаллоевых пленок. В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1968, с. 47-51.

111. Абакумов Б.М., Янкина Н.Я., Шумков В.П. Влияние термомагнитной обработки на одноосную анизотропию пермаллоевых пленок. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1967, т.31, 3, с. 380-382.

112. Лесник А.Г. Наведенная магнитная анизотропия. Киев: Наукова думка, 1976. - 160 с.

113. Лесник А.Г., Левин Г.И., Недоступ В.М. О природе наведенной анизотропии. В кн.: Структура и свойства металлических пленок. Сер.металлофизика. Киев: Наукова думка, 1966.

114. Шур Я.С., Глазер А.А., Тагиров Ф.И., Потапов А.П. О природе одноосной анизотропии тонких ферромагнитных пленок. -Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1965, т.29, № 4, с.706-710.

115. Щур Я.С., Тагиров Ф.М., Глазер А.А., Потапов А.П. О влиянии величины кристаллического зерна на анизотропию и магнитные свойства тонких пленок пермаллоя. Изв.АН СССР. Сер.физическая, 1967, т.31, JЬ 5, с.729

116. Даниловский В.М., Корнюшин Ю.В. Магнитная анизотропия, обусловленная несферичностью пор и включений в ферромагнетике. Физика металлов и металловедение, 1972, т.33, вып.2, с. 440-442.

117. Kornyushin Yu.V. Void in ferromagnetic numeral calculations. -J.Magn.and Magn.Mater.,1973,v.13,N3,p.322-323.

118. Лесник А.Г. Магнитная анизотропия и дислокационная структура пластически деформированного монокристалла ферромагнитного сплава. Физика металлов и металловедение, 1973, т.35, вып.2, с. 300-308.

119. Baltz A. Influence of vacuum conditions on epitaxially grown permalloy films. -J.Appl.Phys. ,1963,v.34-,N6,p.1575

120. Cohen M.S. Anisotropy in permalloy films evaporated at grazing incidence. -J.Appl.Phys.,1961 ,v.32,suppl.,87.

121. Палатник Л.С., Лукашенко Л.И. Магнитные свойства косо-осажденных ферромагнитных пленок. В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1968, с. 175-179.

122. Палатник Л. С., Фукс М.Я., Равлик А.Г., Черемской П.Г., Золотницкий Ю.В. Влияние ориентированной пористости на магнитные свойства конденсированных пленок. В кн.: Докл. У1 Межд.коллоквиума по магнитным пленкам. Минск, 1973,с. 62-68.

123. Нага К.,Hashimoto Т.,Tatsumoto Е. Origin of anomalous magnetic anisotropy of iron films evaporated at oblique incidence. -J;Phys.Soc.»Japan,1970,28,p.254.

124. Okamoto K.»Hashimoto T.,Hara K.,Pujiwara H. Dependence of anisotropy at oblique incidence in Pe films on temperature. -J.Phys.Soc.of Japan,1973,v.34,N4,p.1102.

125. Hashimoto Т.,Нага К.,Okamoto К. ,Pujiwara H. Anisotropy in Hi films induced by oblique incidence. -J.Phys.Soc. of Japan,1973,v.34,N5,p.1415.

126. Okamoto K.' Columnar grain structure of iron films evaporated at oblique incidence. -J.Sci.Hiroshima Univ.,ser.A,1976,v.40,N2,p.251.

127. Takayasu M.»Uchiyama S.,Fujii Т. Isothermal annealing behaviour of M-induced anisotropy in Ni-Fe films. -Japan J. Appl.Phys.,1976,v.15,N8,p.1501.

128. Гзогян B.M., Прокопенко B.C., Молин B.B., Зубков O.A., Черкашин B.C. Одноосная анизотропия в пленках, полученных при наклонном падении молекулярного пучка на подложку. -В сб.: Физика твердого тела,/ Ин-т физики СО АН СССР, Красноярск, 1974, с. 48-51.

129. Мильнер A.C., ТатаринomJt.И., Костромеев A.B. Временные изменения энергии анизотропии пермаллоевых пленок. В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1968, с. 42-46.

130. Мильнер A.C., Татаринова Л.И. Влияние процессов старения на анизотропию косонапыленных пермаллоевых пленок. Физика металлов и металловедение, 1975, т.39, вып.4, с.887-889.

131. Татаринова Л.И. Влияние отжига на анизотропию косоосажден-ных пленок пермаллоя. Физика металлов и металловедение, 1977, т.43, вып.5, с. III7-III9.

132. Лесник А.Г., Мицек А.И., Пушкарь В.Н. Новый тип магнитногопоследействия в пленках. В кн.: Тезисы межд.конф.по магнетизму. 1973, Т.5. М.: Наука, 1974, с. 221-225.

133. Балабина H.A., Летова Т.Н., Лю-Фа-Чун М., Сараева И.М. Изменение магнитной анизотропии пермаллоевых пленок с температурой. Вест.Моск.ун-та. Физика, астрономия, 1976,т.17, J6 6, с. 735-737.

134. Lloyd J.R. »ITakahara S. Formation and growth of voids and/or gas bubbles in thin films. -Thin Solid films,1982,v.93, N3-4,p.281-286.

135. Пынько В.Г., Поцелуйко A.A., Комалов A.C. Зависимость коэрцитивной силы эпитаксиальных ферромагнитных пленок отих толщины, напряжений и температуры. В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1968, с. 127-132.

136. Агапова H.H., Агарков Б.Н., Боков В.А., Игнатьева З.Ш. Влияние пор и дислокаций на процессы перемагничивания полису кристаллических ферритов с прямоугольной петлей гистерезиса. Физика твердого тела, 1974, т.16, вып.II, с.3500-3503.

137. Крюгер Д., Палатник Л.С., Федоренко А.И. Корреляция между кристаллической и доменной структурами тонких железокобаль-товых пленок. Физика металлов и металловедение, 1975,т.39, вып.4, с. 757-762.

138. Юдина Л.А., Чеботкевич Л.А., Ветер В.В., Юдин В.В., Воробьев Ю.Д. 0 связи ряби намагниченности и кристаллической структуры тонких ферромагнитных пленок железа. Физика металлов и металловедение, 1973, т.36, вып.З, с.507-513.

139. Юдина Л.А., Козодой Г.В., Чеботкевич Л.А., Ветер В.В.,

140. Юдин В.В. Спектральный анализ случайных процессов в лоренцовой микроскопии тонких ферромагнитных пленок. В кн.:

141. Калинин, КГУ, Физика магнитных материалов, 1973, № I, с. 25-31.

142. Козодой Г.В., Лазарев Ю.В., Майстренко В.В., Воробьев Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Юдина Л.А., Ветер В.В., Щцин В.В. В кн.: Сообщения лаборатории анализа случайных процессов (Дальне-вост.гос.ун-т. Владивосток, 1974, № I, с. 82-98.

143. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Лукашенко Л.И., Равлик А.Г., Козьма A.A. Структура и магнитные свойства конденсированных ферромагнитных пленок. В кн.: Физика металлических пленок. Киев: Наукова думка, 1968, с. 135.

144. Хирш П., Хови А., Николеон Р., Пэшли Д., Уэлан М. Электроннал микроскопия тонких кристаллов: Пер. с англ. М.: Мир, 1968. - 562 с.

145. Амелинкс С. Методы прямого наблвдения дислокаций. М.: Мир, 1968. - 438 с.

146. Аппаратура и метода исследования тонких магнитных пленок / Под ред. Киренского Л.В., Саланского Н.М., Красноярск, 1968. 461 с. '

147. Дженкинс Г./Ватте Д. Спктральный анализ и его приложения. М.: Мир. T.I, 1971. 310 е., Т.2, 1972, - 284 с.

148. Гегузин Я.Е., Кагановский Ю.С. Успехи физических наук, 1978, т.125, вып. 3, с. 489.

149. Гегузин Я.Е., Кагановский Ю.С., Калинин В.В., Слезов В.В. Диффузионная коалесценция металлических крупинок на неметаллической подложке. Физика твердого тела, 1970, т.12, вып.7, с. 1953-1962.

150. Гегузин Е.Я. Диффузионная зона. М.: Наука, 1979, 316 с.

151. Кукушкин С.А. Кинетика коалесценции островковых пленок. -Поверхность: физика, химия, механика, 1983, $ 7, с. 22-28.

152. Лифшиц И.М., Слезов В.В. Дурнал техн.й эксперим.физики, 1958, т. 35, с. 479.

153. Черемской П.Г., фукс М.Я. Толстолуцкая Г.Д., Хлистун И.Н., Нечитайло A.A., Маркус А.Н. Радиационная стойкость конденсИ'рованных пленок никеля. Физика металлов и металловедение, 1981, т. 52, вып.6, с. I225-I23I.

154. Hoffmann H. , Owen A. J. / schröpf F. Electron microscopy of evaporated and sputtered Gd / Co and Ho / Co films. Phys. Stat. Sol., (a), 1979, V.52, N.161, p. 161-172.

155. Федорова Э.Л., Юдина Л.А., Ветер B.B. Поры в пленках железа. в кн.: Физика твердого тела / Дальневост.гос.ун-т. Владивосток, 1972, с. 175-178.

156. Федорова Э.Л., Юдина Л.А., Ветер В.В. Поры и наведенная анизотропия. В кн.: Физика магнитных материалов. Калинин, Калининский гос. ун-т, 1973, с. 32-35.

157. Федорова Э.Л., Юдина Л.А., Ветер В.fi. Дефекты в конденсированных пленках. Изв.вузов СССР/ серия физика/1974, т.1, с. 124-125.

158. Юдина Л.А., Федорова Э.Л., Козодой Г.В., Тимакова Г.П., Ветер В.В., Юдин' В.В. Анизотропия пор и магнитная структура тонких ферромагнитных пленок. В кн.: Физика магнитных материалов. Калинин/Калининский гос.ун-т, 1974, с. 86-94.

159. Федорова Э.Л., Юдина Л.А., Ветер В.В. Поведение пор железных и пермаллоевых пленок при термомагнитных обработках. -В кн. : Некоторые вопросы физики ферромагнитных пленок / Дальневост.гос.ун-т. Владивосток, 1974, с. 48-56.

160. Юдина Л.А., Федорова Э.Л., Козодой Г.В., Ветер В.В., Юдин В.В. Спектральный анализ случайных процессов и потоков в физике ферромагнитных пленок. В сб. : Сообщения лаборатории анализа случайных процессов / Дальневост.гос. ун-т, 1974, с. II6-I32.

161. Юдина Л.А., Фёдорова Э.Л., Козодой Г.В., Юдин В.В., Ветер

162. В.В., Кленин С.А, Оптико-цифровые методы изучения магнитной анизотропии. В кн.: Тезисы докл.Всесоюз.конф.по физике магнитных явлений. Баку, Изд-во "ЭЛМ", 1975, с. 70-71.

163. Федорова Э.Л., Юдина Л.А., Рудик Е.И., Ветер В.В. Влияние анизотропии дефектов на магнитные свойства пленок. В кн.: Физика твердого тела / Дальневост.гос. ун-т, 1975, с. 11-21.

164. Федорова Э.Л., Юдина Л.А., Ветер В.В./Козодой Г.В., Юдин В.В. О величине и дисперсии наведенной порами анизотропии.- В кн.: Физика магнитных пленок. Красноярск, ИФСО АН СССР, 1975, с. 214-219.

165. Юдина Л.А., Чеботкевич Л.А., Федорова ЭЛ., Козодой Г.В., Юдин В.В., Ветер В.В. Применение ЭВМ при исследовании кристаллической структуры тонких конденсированных пленок.

166. В кн.: Материаловедение. Воронеж, Воронежский политехн.ин-т, 1975, М 3, с. 158-163.

167. Антонов Я.Н., Ветер £.В., Юдина Л.А,, Козодой 1\В., Федорова Э. Л., Юцин В.В. Магнитная анизотропия и распределение дефектов в тонких ферромагнитных пленках. Физика металлов и металловедение, 1977, т.43, вып. 3, с. 518-525.

168. Тимакова Г.П., Федорова Э.Л., Пащенко Т.Н., Осуховский В.Э., Юдина Л.А., Ветер В.В. Зависимость магнитной анизотропии тонких пермаллоевых и железных пленок от распределения пор.- В кн.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1977, с. 70-74.

169. Федорова Э.Л., Иваненко О.П., Воробьев Ю.Д., Ветер В.В.

170. Юдин В.В., Матохин A.B., Антонова Л.М., Должиков C.B. Плотников B.C., Федорова Э.Л., Лазарев Ю.В. Радиооптические методы коррекции электронномикроскопических изображений.

171. В кн.: Тезисы докладов УП Всесоюзн.школы-семинара "Новые магнитные материалы для микроэлектроники". Донецк, 1982, с. 326-327.

172. Юдина Л.А., Федорова Э.Л., Тимакова Г.П.,Антонова Л.М., Гуленко В.А. , Юдин В.В. Кинетика структурных мультиплетоь в процессе диффузионной гомогенизации поликристаллических пленок. Физика металлов и металловедение, 1983, т. 56, вып.2, с. 351-357.