Специфика доменного разбиения в ультрадисперсных пленках Fe, Ni, Fe-79Ni, (Fe,Co)80-Gd20 с микропоровой системой тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.11 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.

1.1. Магнитная структура тонких пленок и оптический фурье-анализ.

1.2. Наведенная магнитная анизотропия ТФП.

1.2.1. Перпендикулярная магнитная анизотропия и причины ее возникновения

1.2.2. Наведенная магнитная анизотропия аморфных пленок.

1.3. Функция распределения частиц по размерам в применении к процессам роста пленок.

1.4. Разупорядочение и аморфные структуры.

1.3. Дефекты г основные виды релаксационных процессов в тонких пленках.

I.5.I. Особенности ультрадисперсных сред.

1.6. Постановка задачи исследования.

ГЛАВА П. ТЕХНОЛОГИЯ ПРЕПАРИРОВАНИЯ И МЕТОДИКИ

ИССЛЕДОВАНИЯ ТФП.

2.1. Получение ультрадисперсных ТФП в различных стадиях ориентированного роста.

2.I.I. Аморфные пленки системы переходной металл - редкая земля.

2.2. Когерентные методики исследования магнитной и дефектной структур кристаллического строения ТФП.

2.2.1. Малоугловое рассеяние электронов в применении к анализу К- и М-структур

2.2.2. Условия подобия электронных и оптических двумерных фурье-спектров

2.2.3. Когерентная фурье-оптика изображений кристаллических и магнитных структур ТФП

2.2.4. Математические характеристики для описания спектрального состава, анизотропии, корреляционных свойств

К- и М-спектров систем ТФП.

ГЛАВА Ш. ПЛАНАРНАЯ НАВЕДЕННАЯ МАГНИТНАЯ АНИЗОТРОПИЯ И

РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПОР В МЕЛКОДИСПЕРСНЫХ ТФП

3.1. Поведение ряби намагниченности в динамике

3.1.1. Дефокусирующий режим работы в лоренцевой микроскопии

3.1.2. Воздействие внешних магнитных полей на спектры ряби ТФП

3.2. Электронно-микроскопическое исследование кристаллической структуры мелкодисперсных пленок Зё , & - 79//i

3.2.1. Малоугловое рассеяние электронов в применении к анализу поровых систем мелкодисперсных ТФП.

3.3. Влияние распределения пор на константу наведенной магнитной анизотропии Кц и характер магнитного спектра

3.3.1. Зависимость Ku='f(dz) . Электронно-микроскопическая оценка параметра анизотропии системы пор Э£

3.3.2. Лазернодифрактометрическая оценка

ГЛАВА 1У. РЕГУЛЯРНАЯ МАГНИТНАЯ СТРУКТУРА И МНОГОФРАКЦИОННОСГЬ ПОРОВЫХ СИСТЕМ В УЛЬТРАДИСПЕРСНЫХ ТФП .8»

4.1. Специфика доменного разбиения в ультрадисперсных пленках.

4.2. Структурные предпосылки возникновения регулярной магнитной структуры

4.3. Намагничивание ультрадисперсных пленок в перпендикулярных полях

4.4. Особенности кристаллического строения ультра дисперсных Ж , Se-ift ТФП.X

4.4.1. Структурные закономерности в ультрадисперсных монокристаллах

4.5. МУР электронов от ультрадисперсных пленок Ф-jTl. Сравнение с ДКФ в лазерной дифрактометрии . Ю

4.6. Корреляция кристаллических и магнитных структур в спектральном представлении

ГЛАВА У. ОСОБЕННОСТИ СТРОЕНИЯ АМ0ШЫХ СТРУКТУР ПМ-РЗ . П

5.1. Фильтрация двумерных фурье-спектров и восстановление улучшенного изображения аморфных структур

5.2. Старение аморфных ТФП

5.3. Структурная мультиплетность аморфных пленок

ВЫВОДЫ .V.

1,1 .1 ,;.».!, iiitftj*.*. t4t.it > * . . .tiiitii «I.

Ультрадисперсные, аморфные магнитные пленки, фольги представляют принципиальный интерес для физики твердых неупорядоченных сред с пониженной размерностью, а также теории магнетизма.

Однако имеется кроме того три важнейших аспекта прикладного, технологического плана, которые сдерживают широкое внедрение высокодисперсных планарных сред (ПС) в качестве перспективных элементов микроэлектроники и вычислительной техники.

1. Проблема управляемого роста ТФП.

В большинстве методов препарирования, даже при отлаженной и жесткой технологии получения пленок, степень выхода ПС с требуемыми магнитными свойствами не более 1-3%. Обычно фиксируется и контролируется порядка десятка параметров в том или ином методе приготовления с последующими измерениями интегральных магнитных характеристик пленок и сопоставлением с эталонными данными. Этап отбора из массовой партии объектов и завершает процедуру получения. Как правило, остаются на втором плане детали структурной кинетики в процессе препарирования ПС за исключением соблюдения правил общего контроля за окислением, различными видами загрязнений, межфазных превращений. Фактически в такой постановке нет задачи управления, а требуется найти в прикладных исследованиях достаточно полную и небольшую совокупность макропараметров, точное соблюдение которых и гарантирует высокий процент выхода нужных технологу ПС.

2. Проблемы эксплуатационной стабильности.

Неоднократно замечено, что в результате серии последовательных вспомогательных технологических операций над отобранной магнитной ПС, получается элемент памяти или вычислительное устройство, не удовлетворяющее нормативным требованиям. Не менее трудна и другая, казалось бы, чисто техническая задача. На современных уровнях интеграции и миниатюризации в работе вычислительных элементов возникает необходимость в отводе больших потоков тепла. ПС вынуждены эксплуатироваться в режимах переменных высоких температур, что приводит к нарушению структурной термостабильности. Сюда же относятся задачи стабильности ПС в агрессивных средах, радиационной, лазерной, электромагнитной устойчивостей.

Известна повышенная стабильность ультрадисперсных ПС, которые обладают большой плотностью различных дефектов, в частности микропор, больше-, малоугловых границ. Казалось бы, при наложении разнообразных внешних воздействий подобные дефекты станут концентраторами, генераторами локальных деградационных процессов, которые приведут к полному разрушению ПС. Достаточно упомянуть сегрегационные эффекты на порах, трещинах, которые обусловят химическое фазовое расслоение.

3. Проблема субмикронных ЦМД позволит добиться существенного повышения объема и быстродействия оперативной памяти ЭВ4 1У-У поколений. Особую роль приобретает задача получения ТФП толщиной i^I03A в "закритическом" состоянии, которое будет характеризоваться перпендикулярной магнитной анизотропией. Получение объектов с такими свойствами возможно при измельчении зерна, о о.к.р. до уровня 20-50А, что характерно для ультрадисперсных пленок. Проблема субмикронных ЦМД тесно смыкается с областями "вращательной" магнитной анизотропии таких же размеров. Совершенно естественно, что механизмы генерации самих микро-ЦМД, а также формирование путей продвижения в матрице могут сильно зависеть от системы дефектов кристаллического строения ТФП. Сюда же можно отнести процессы магнитной деградации БИС. Сама концепция "за-критического" состояния в ТФП требует детального изучения взаимопереходов планарной намагниченности и тонкой магнитной структуры (ТМС) в области с перпендикулярной магнитной анизотропией. Не менее важна задача взаимосвязи при эхом особенностей магнитного разбиения высокодисперсных ПС с характером и распределением мик-ропоровой системы.

В связи с вышеупомянутым в настоящей диссертационной работе были поставлены следующие цели:

1. Отработать методику микролегирования при получении ультрадисперсных пленок с развитой системой микро- и макропор. Реализовать на высокодисперсных, аморфных ПС типа РЗ-ПМ систематическое комплексное применение методов просвечивающей, лоренцевой микроскопии, магнитооптики. Разработать методики малоуглового рассеяния электронов (МУРа) и лазерно-дифракто-метрического анализа электронно-микроскопических снимков кристаллической (К-) и магнитной (М-) структур ТФП.

2. Изучить корреляцию планарной магнитной структуры ТФП и сетки микропор для мелко-, ультрадисперсных пленок. Построить численную характеристику степени анизотропии, упорядоченности системы микропор и рассмотреть зависимость константы магнитной анизотропии Кц-£(ге)от степени упорядоченности поровой системы. Обсудить динамику спектрального состава ряби намагниченности при воздействии внешних полей.

3. Выяснить специфику доменного разбиения в ультрадисперсных ПС Jfi и структурные предпосылки возникновения регулярной магнитной структуры. Исследовать поведение тонкого магнитного разбиения в перпендикулярных полях, его особенности, взаимоотношения между видами разбиений. Роль колонкового, сетчатого роста в ультрадисперсных пленках при формировании "закритического" состояния ТФП с I ч< 103А. В методиках МУРа и когерентной Фурье-оптики оценить корреляцию магнитного разбиения в "закритическом11 состоянии с характером и величиной поровой анизотропии.

4. Сопоставить кинетику структурных мультиплетов в процессах низко, высокотемпературного изотермических отжигов в поликристаллических и ультрадисперсных ПС. Попытаться сформулировать рабочую гипотезу замедления старения в многоуровневой системе пространственных неоднородностей, каковой являются ультрадисперсные ТФП. Провести гониометрические исследования с целью установления природы электронно-микроскопического контраста поровой сетки.

5. Исследовать переход от ультрадисперсных ПС к аморфным при интенсификации диспергирующего фактора (ПМ-РЗ). Изучить диапазоны пространственных неоднородностей в аморфных пленках (20— о о тО

50А и ICr-IO^A). Обсудить возможность интерпретации суперсеточных структур аморфных ПС в терминах флуктуации плотности материала, механизмы старения, распада аморфного состояния.

Основные результаты опубликованы в работах £99-103,108-118, 132-138].

В заключении выражаю глубокую благодарность моим научным руководителям: канд.физ-мат.наук, профессору Ветер В.В. и канд.физ.-мат.наук, доценту Юдину В.В. за предоставленную тему, постановку задачи и многочисленные полезные обсуждения результатов; канд. физ.-мат.наук, доценту Юдиной Л.А. за постоянное внимание и интерес к работе. Я очень благодарна Матохину А.В., Пащенко Т.Н., Федоровой Э.Л. в соавторстве с которыми выполнена часть работы, а также всем остальным сотрудникам кафедр ФТТ и АНИ за интерес к работе и обсуждение ее результатов на семинарах.

1. Технология тонких пленок: Справочник. Под ред.: Майселл Д.,1.I .

2. Глэнг, Пер, с англ.- М.: Сов.радио, 1966, т.1, 662с., т.2, 764с.

3. Тонкие ферромагнитные пленки: Пер. с нем./Под ред.Телеснина Р.В.-М.: Мир, 1964, 355с.

4. Суху Р. Магнитные тонкие пленки. Пер. с англ.-М.: Мир,1967, 420с.

5. Праттон М. Тонкие ферромагнитные пленки. Пер. с англ.-Ленинград.: Судостроение, 1967, 204с.

6. Лесник А.Г. Наведенная магнитная анизотропия. Институт металлофизики АН УССР.- Киев.: Наукова думка, 1976, 161с.

7. Мицек А.И., Пушкарь В.Н. Реальные кристаллы с магнитным порядком.- Киев.: Наукова думка, 1978, 290с.

8. Постам И. TheoKj rf таупШхаЫт tipple. -JEEE Тга/is. on Macjnel., 1968, y. 4, к> i, P.32-51.

9. Hoffmann. /-/. Mocjneiic properties of Hid stwduze. fcuomagnetic films in uelaiim to theii stiuduze. Thifl Solid TiljnS , 1979, v .58, № 2, p.223-233.

10. Katie K.J. %eouj tf maanetiialim ixpple in. /fawwjfneiie films. J. &ppI. P&ys. , 1968,1. V/.38, p.1503-1525.

11. Игнатченко В.А. Магнитная структура ТМП и ферромагнитный резонанс.- ЖЭТФ, 1968, т.54, te I, с.303-311.

12. Эдельман И.С., Чернышева Л.И. Статистические характеристики тонкой магнитной структуры ТМП.- ФММ, 1969, т.28, №. 3,с.440-453.

13. Игнатченко В.А., Исхаков Р.С. Стохастическая магнитная структура и спиновые волны в аморфном ферромагнетике.

14. Б кн.: Физика магнитных материалов.- Новосибирск.: Наука, 1983, с.5-21.

15. Игнатченко В.А., Исхаков Р.С. Спиновые волны в аморфных ферромагнетиках.- Красноярск, 1978.- с. (Препринт/ Институт физики С0:81Ф).

16. Хирш П., Хови А., Миколсон Р., Пешли Д., Уэлен М. Электронная микроскопия тонких кристаллов: Пер.с англ.- М.: Мир, 1968, 562с.

17. Петров В.И., Спивак Г.В., Павлюченко О.П. Электронная микроскопия магнитной структуры ТМП.- УФН, 1972, т.106, вып.2, с.229-278.

18. Суханова Р.В., Пынько В.Г., Сивков П.И. Причины образования магнитной структуры доменов ТМП.- Изв.АН СССР,сер.физ.,1967, т.31,вып.3, с.432-441.

19. Suzuki 77 Упvesicae.icons i/iio Ырр^е leAflth in etfapotatecf tPun fifms SyrriLCbotaDpy.-PtyS'Siat SoP.^ws^ y.37, № I, p.i0I-II4.

20. Палатник Л.С., Лукашенко Л.И., Зологницкий Ю.В., Морозова Н.И. Доменная структура ТМП пермаллоя, обрадающих перпендикулярной анизотропией.- ФММ, 1973, т.35, № 5, с.904-910.

21. Буравихин В.А., Черняк Г.Т., Горохов Е.А. Влияние внешних изотропных напряжений на доменную структуру пленок.- ФММ, 1975, т.39, № 3, с.442-448.

22. Максимов л.А., Рязанов А.И. О диффузионном взаимодействии пор.- ФТТ, 1976, т.41, № 2.

23. Ojeian Z.^cwpeit 2. 7iaur?Aotfezbeucjuncjan Solent* mlkzo-bcopi se Un auJnaA/nwcjes Ma^ne. tisiftun^s /Ztpp-fe. -J. OngeuJ. P/u/g.,1970,V .30, Ш I, p.80-83.24. fcappeii H., ТеМел&его Housci W.

24. M obkayigkiit des tipple spektmrns dufinez scAicAten yon uniax-ia^etanisottx)pcc ? KitstaWitgtosse , scAcc&{ dicke and ci iussezem fiifd. fllacfneicsm , X972, 1/.3, № 15, p.93-ioi.

25. Hale M.E., ZulPei A!. № Xkteimt notion of гпарле-tization cltsiii6utio/i in-t/ii/i films' using electionrntct-oscopy-jMppl. Pfys. 9 I960, у.31, N2 2, p.238-243.

26. Иванов P.Л. Магнитные металлические пленки в микроэлектронике.- М.: Сов.ради о, 1980, 77с.

27. Ш^ег Р., Каутаггп P. Study о/ Si/n/nettical U)q££s in Peimalioy end J.otenlz

28. Шсгоьсору. Pkys. Stat. Sol.91969, 1/.34, p.649-660.

29. Шур Я.С., Глазер А.А., Тагиров Р.И. 0 природе одноосной анизотропии ТФП.- Изв. АН СССР, сер,физ.,1965, т.29, № с.706-712.

30. Шур Я.С., Тагиров Р.И., Глазер А.А., Потапов А.П. 0 влиянии величины кристаллического зерна на анизотропию и магнитные свойства ТМП пермаллоя.- Изв.АН СССР, сер.физ., 1967,т.31, Ш 5, с.729-732.

31. Чеботкевич Л.А., Юдина Л.А., Кашина Л.Г., Ветер В.В. Влияниекристаллической структуры ТМП на магнитные параметры.-ФММ, 1975, т.39, Ш 6, с.1297-1302.

32. Юдина Л.А., Чеботкевич Л.А., Ветер В.В., Юдин В.В.,

33. Воробьев Ю.Д. О связи ряби намагниченности и кристаллической структуры тонких ферромагнитных пленок железа.- ФММ, 1973, т.36, № 3, с.507-513.

34. Крюгер Д., Палатник Л.С., Федоренко А.И. Корреляция между кристаллической и доменной структурами тонких Со ТМП.

35. ФММ, 1975, т.39, № 4, с.757-762.33. lesaik 0.&- Оле ofi ife posscSfe mecAo/itsms of ^olmottM trf induced afiisoizopy сл fenomQ^netic fi/mg.-Piys. Slat. Sof.t 1969, V .35, № 2,p.959-964.

36. Палатник Л.С., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в пленках.-М.: Энергоиздат, 1982, 215с.

37. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Равлик А.Т., Черемской П.Г., Золот-ницкий Р.В. Влияние ориентированной пористости на магнитные свойства конденсируемых пленок.- В кн.: Докл.У1 Междун. коллоквиума по магнитным пленкам.- Минск, 1973, с.62-68.

38. Лесник Л.Г., Левин Г.И., Недоступ В.М. О природе наведенной анизотропии.- В кн.: Структура и свойства металлических пленок. Сер. металлофизика.- Киев .: Наукова думка, 1966, с.42-49.

39. Давидовский В.М., Корнюшин Ю.В. Магнитная анизотропия, обусловленная несферичностью пор и включений в ферромагнетике.- Фмм, 1972, т.33, №2, с.440-445.

40. КоиШо Т., 7ujInlaid M. CPutaxurriL

41. Petpcn diet/fat a ru soil ору cirapoialed nтелекс Ltcr/i (LicieP and cofait - racket • iiifi films.- Ptys. $oe. jap. ? 1966, V .21, № 10, P.I9I4-I92I.

42. Антонов Л.И., Кошкин Л.И., Нестреляй Т.И. Перпендикулярная анизотропия пленок магний-марганцевого феррита.- Изв.АН СССР, сер.физ., 1970, т.34, № 5, с.ЮЮ-1015.

43. To&liim su kiski, SlufiQu^e Mans us Pa to, Чо&Щипи Samurai . O&seilrnUcTL of domain watts in. anioip faus т^яе-lic films ty Лгал iz. dectton Fflidioscopy. / &f>pl Pfys-,1977, V .16, № 8, p.I467-I468.

44. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред.- М.: Гостехиздат, 1957, 532с.

45. Хуберт А. Теория доменных стенок в упорядоченных средах.-М.: Мир, 1977, 307с.47. %иЫс!Ю 3. Siu/atuie а/Lc/ oidyin of Jieur sitipe domains lji o6liopii incide/ice ьетаМоуand jfl f^iPmS. PfyS. $VC. 1970, V .28, № I, p.62-73.

46. Метьюз Дж.У. Монокристаллические пленки, полученные испарением в вакууме.- В кн.: Физика тонких пленок. Т.1У.-М.: Мир,1970,с.167-227.

47. Погосян Я.М., Геворкянц С.Д., Погосян Г.А. Микромагнитная структура пленок Se-jfi б состоянии недонасыщения б перпендикулярных полях.- ФММ, 1979, т.4, № I, с.875-879.

48. Чеботкевич Л.А., Ветер Б.В. Магнитные свойствасистем.- Тез.докл.Всесоюз.конф. по ФМЯ.- Харьков,1979,с.299.

49. Палатник Л.С., Лукашенко Л.И., Золотницкий Ю.В. О механизмах перемагничивания наклонноосажденных пленок пермаллоя с перпендикулярной анизотропией.- ФММ, 1973, т.35, № I, с.78-84.

50. Пынько В.Г., Вершинина Л.И., Середкин В.А. Исследование пленок как сред для термомагнитной записи информации.-Сб.:Физика магнитных пленок.- Саранск, I9T59, с.174-176.

51. Губанов А.И. Квазиклассическая теория аморфных ферромагнетиков.- ФТТ, I960, т.2, Ш 3, с.502-504.

52. Кузьменко В.М., Лазарев Б.Г., Мельников В.И., Судовцев А.И. Критические параметры аморфных металлических пленок.- УФЖ, 1976, т.21, №6, с.883-903.

53. Хандрик К., Кобе С. Аморфные ферро- и ферримагнетики.: Пер.с нем.- М.; Мир. 1982, 291с.

54. Пеграковский Г.А. Аморфные магнетики.- УФН, 1981, т.134,№ 2, с.305-331.i

55. Вонсовский С.В., Туров Е.А. Металлические стекла и аморфный магнетизм.- Изв.АН СССР, сер.физ.,1978, т.42, Ш 8, с.1570-1579.

56. Глазер А.А., Тагиров Р.П. Аморфные магнитные материалы,-Изв.АН СССР, сер.физ.,1978, т.42,№ 2,с.1600-1608.

57. Ptoc. Ъь±. Conf. , kale tongu ted f I976<buddpesl } 1977, p.449-454.61. flLiks o. , cZeomy H.J. /Pietosiiuctuze and magnetism in QmoxpAous taie eaitk tionsitimmeioP tfuagilms. -J. Clppt. PAys . 7 1978, v .49, ш 5,j>az,i 2, p. 1735-1737.

58. Леоту N.J. 9 %itks О. fc. 7/ie ntteiosiwetute Qmotpkcus taie earth/ -hansi-tion meiol t/Lin-1 PijfS- Я) : (Zppf. Ptys. , 1977, v .10, 18,/ 95/98.

59. Т.} Hecj edits X., OaU г f. , tfagjfj-,

60. P. В- Joimotion mecAonism tfl- amoip/wus jfi- P tAi/i. frifas.-QctQptys.Qcad. See. Милд. ? 1980, и.49, № 1-3, p.I8I-I88.64. toy lot J-CMtyi/lu O. Magnetic a/usctippy tf eoapotaied amotpAot/s films uf Mue syrfe/n Сфь&у

61. Со^Лрре. Ptyz. , 1977» v «48, Ш I, p.358-361.65• Зёагтр Hj.} SbctAs O.fc. Micioztwc-faie and Maqne-tczm in. amotp/U?u£ ъаче eaitt itansitien ruial tHi/i jj-ifms . 7~ Miciostutciuie . - ^

62. PfifS., 1978, к .49,№ 2, p.3340-3437.

63. Алексеев А.Г., Верховская Т.А. Малоугловые' исследования микроструктуры пленок на электронографе ЭМР-ЮО.- Тез.докл.

64. X Всесоюз.конф. по электр.микроскопии.- Ташкент, т.1,1976, с.340-341.

65. Алексеев А.Г., Бардамид А.Ф., Верховская Т.А., Шалдерван А.И. Структура аморфных пленок германия и кремния.- ФТТ, 1974,г.16, Ш 9, с.2759-2761.

66. Алексеев А.Г., Верховская Т.А., Фильтр для отсева неупруго рассеянных электронов с повышенным рабочим напряжением.-Тез.

67. XI Всесоюз.конф. по элект.микроскопии.- Таллин.: Наука, 1980, т.1, с.З.

68. Порай Кошиц Е.А. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей под малыми углами.- УФН, 1949, т.34, № 4, с.573-610.

69. Новейшие методы исследования полимеров: Пер. с англ./Под ред. Ки Б,- М.: Мир, 1966, с.193-200.

70. Бойко Б.Т., Палатник Л.С., Деревянченко А.С., Горенко Н.И. Применение метода ,малоуглового рассеяния электронов для изучения структуры конденсированного углерода.- Кристаллография, 1974, т.19, № I, с.181-194*

71. Белавцева Е.М., Беляев О.Ф. Малоугловая электронная дифракция на электронном микроскопе УЭМВ-ЮО.- Заводская лаборатория, 1968, т.34, № 2, с.1329-1331.

72. Попова К.А., Угай Я.И., Стецив Я.И. Определение структурных и термодинамических параметров некоторых аморфных пленок методом дифракции электронов.- Тез.XI Всесоюз.конф. по электр. микроскопии.- Таллин.: Наука, 1980, т.1, с.156.

73. Cic S-.C. , Cai^ijf S. Q,not pious алс/

74. Ud Magnetism £, sectm JO. 3. ileitis Ciaiima/z.-MMM-75, 1976, № 5, p.147-148.s ■

75. Нейгебауэр К.А. Явления структурного разупорядочения в тонких металлических пленках.- В кн.: Физика тонких пленок. Ч.П: Пер. с англ.М.: Мир, 1967, с.13-29.

76. Хирс Дж.П., Моазед К.Л. Образование зародышей при кристаллизации тонких пленок.- В кн.: Физика тонких пленок. т.1У: Пер. с англ.М.: Мир, 1970, с.123-166.

77. Родин Т.Н.-, Уолтон Д. Образование зародышей в ориентированных пленках.- В кн.: Монокристаллические пленки: Пер. с англ. М.: Мир, 1966, с.44-57.

78. Трофимов В.И., Еникеев Э.Х. Статистическое исследование распределения расстояний между зародышами на поверхности ионного -кристалла.- ФТТ, 1973, т.13, Ш 6, с.1930-1933.

79. Трофимов В.И. Пространственное распределение взаимодействующих зародышей в островковых конденсатах.- ФТТ, 1975, т.17,1. Ш 8, с.2478-2480.

80. Mndip (xtundy Р'%. 2oien{z Uliczoseopy pfik -М acetic Юо/nQiA Siwetuie in fl/iwipflous iate Совав! dmpozaied at

81. Pot ma? incidence , pA^s- s/^/. P*?^ Ca)> 1977, V .41, № I, p.65-73.

82. Гегузин Я.E., Кагановский Ю.С., Калинин В.В. Двумерная коалесценция крупинок hi на поверхности естественного монокрист-талла . ФТТ, 1969, т.II, № I, с.250-255.

83. Гегузин Я.Е., Кагановский Ю.С., Калинин В.В., Слезов В.В. Диффузионная коалесценция металлических крупинок на неметаллической подложке.- ФТТ, 1970, т.12, №'7, с.1953-1962.

84. Гегузин Я.Е. Диффузионное деформирование пористых кристаллических структур.- ФТТ,1975, т.17 № 7, с.1950-1956.

85. Дистлер Г.И., Власов В.П. и др. Декорирование поверхности твердых тел.- М.: Наука, 1976, 283с.

86. Обухов В.Е.,Точицкий Э.И., Жеребило Н.К. Влияние островковых металлических пленок на процессы кристаллизации сплошных пленок.- Кристаллография, 1979, т.24, № 5, с.1023-1025.

87. Постников B.C., Моргунов В.К., Золотухин И.В., Иевлев К.И. О зародышеобразовании золота на ионных кристаллах ФТТ, 1970, т.12, Ш 10, с.2974-2976.

88. Sact don J-j.-, Maiiin 3. h ire с Ration dutinydis^li 6и ti tm if iwefai сд & С ire г friCrnS w popfi-de.-Jk/i goAdZifms} 1972, V. 10, p. 99-107.

89. Гегузин Я.Е., Кагановский Ю.С. Диффузионный перенос массы в островковых пленках.- УФН, 1978, т.125, № 3, с.№9-523.

90. Zoflfk J. С. ; IHdois fj.; Kein R. Radial dC9^tc6utiffn function tf nuclei ffoi/r?*d Sy condensation em a cfean PA* I May. (Thobet. £>хреыт. and dtyfl. Pfys.,1974, V .29, № 5, p.I2I3-I220.

91. Скрышевский А.Ф. Структурный анализ жидкостей и аморфных тел.-М,: Высщая школа, 1980, 327с.

92. Иевлев B.M., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках.- М.: Металлургия,1982, 387с.

93. Морохов И.Д., Трусов Л.И. Ультрадисперсные среды.- М.: Атомиздат, 1977, 327 с.

94. Фукс М.Я., Черемской П.Г. Ориентированная пористость, форма элементов структуры и анизотропия микронапряжений в вакуумных конденсатах.- ФММ, 1974, т.37, 4, с.611-617.

95. PcUaicZak tf., ia ieyzka к/. PfyzteUfHutelttip nf iftii Ue-tfi f'l^s depozilecf emto я ceoM suSs^z^e, Qcta PitfS. , 1976, \/.A49, № I, p.19-26.

96. Жданов Ж.С. Возможность метода наблюдения роста и кристаллизации тонких пленок непосредственно в электронном микроскопе.- В кн.: Современная электронная микроскопия в исследовании вещества.- М.: Наука, 1982, с.127-131.

97. Буравихин Б.А., Егоров В.А. Кристаллическая структура редкоземельных интерметаллидов.- Иркутск, 1976, 321с.

98. Тимакова Г.П., Юдина Л.А., Трегуб С.В., Плотников B.C., Осу-ховский В.Э., Матохин А.В., Юдин В.В., Ветер В.В. Роль микропор в различных стадиях аморфизации пленок системы (Со, j/l,

99. Эё, Эе-jfOv- Mi., .- Тез. I Всесоюз. семинара по аморфному магнетизму.- Красноярск, 1978, с.ПЗ-114.

100. Тимакова Т.П., Юдина Л.А., Матохин А.В., Юдин В.В., Ветер В.В. Морфологические особенности строения ультрадисперсных и аморфных сред и наведенная анизотропия.- Тез.Всесоюз.конф.по ФМЯ. Харьков, 1979, с.48-49.

101. Тимакова Г.П. Особенности кристаллической и магнитной структур ультрадисперсных пленок.- В кн., Физика'магнитных пленок. Саранск, 1979, с.163-165.

102. Юдин В.В., Рудин Е.И., Матохин А.В., Тимакова Г.П., Гуленко Б.А., Чухрий Н.И., Юдина Л.А., Дальний порядок в структуре аморфных пленок.-ФТТ, 1982, т.24, №2, с.443-448.

103. Манаков Н.А., Шелковников В.Н., Белоусов А.Н. Магнитные свойства пленок сплавов РЗМ с С?, Л, ^ . Иркутск, 1977,с.

104. Пынько В.Г., Мушаилов Э.С., Пынько Г.П. Измерение намагниченности насыщения и толщины ТМП методом вращающих моментов.-В кн.: Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок.- Красноярск, 1968, с.72-75.

105. Фукс М.Я., Палатник Л.С., Черемской П.Г. Малоугловое рассеяние рентгеновских лучей конденсированными пленками.- ФММ,' 1971, т.31, № 5, с.917-923.

106. Фукс М.Я., Черемской П.Г., Нечитайло А.А. и др. Влияние отжига на стабильность макро- и микропористости в конденсированных пленках. ФММ, 1975, т.39, № 2, с 308-312.

107. Тимакова Г.П., Юдина Л.А., Кленин С.А., Юдин В.В., Ветер В.В., Фурье-оптика в физике тонких ферромагнитных пленок.- ФММ, 1977, т.44, Ш б, с.1998-2005.

108. ПО. Тимакова Г.П., Матохин А.В., Ветер В.В., Юдина Л.А.,Юдин В.В. Когерентные методы анализа системы субдефектов в тонких магнитных слоях.-ФММ, 1979, т.47, №4, с.741-746.

109. Юдина Л.А., Федорова Э.Л., Тимакова Г.П., Кленин С.А., Козодой Г.В., Юдин В.В., Ветер В.В. Оптико-цифровые методы • изучения магнитной анизотропии.- Тез.докл.Всесоюзн.конф.по ФМЯ.- Баку, 1975, с.

110. Рудин Е.И., Тимакова Г.П., Чухрий Н.И., Пащенко ТЛ., Поли-щук В.Е., Юдина Л.А., Ветер В.В. О возможностях управления физическими свойствами в деструктивных процессах.-Тез.докл.

111. П семинара по аморфному магнетизму.- Красноярск,1980,с.61-62.

112. Тимакова Г.П., Федорова Э.Л., Пащенко Т.Н., Осуховский В.З., Юдина Л.А., Ветер В.В. Зависимость магнитной анизотропии тонких Зё-jfi пленок от распределения пор.- В сб.: Физика магнитных пленок.- Иркутск, 1977, с.70-75.

113. Юдина Л.А., Федорова Э.Л., Козодой Г.В., Тимакова Г.П., Ветер В.В., Юдин В.В. Анизотропия пор и магнитная структура тонких ферромагнитных пленок.- В сб.: Физика магнитных материалов.- Калинин, 1974, № 2, с.86-94.

114. Лендарис Стемли. Метод дискретизации дифракционных картин для автоматического распознавания образов.- ТИИЭР, 1970,т.58, Ш2, с.22-34.

115. Зверев В.А. Радиооптика.- М.: Сов.радио, 1975, 293с.

116. Федорова Э.Л., Юдина Л.А., Ветер В.В. Поры и наведенная анизотропия*- В сб.: Физика магнитных материалов.- Калинин,1973, № I, с.32-39.

117. Зеггсы /?.'Р $та№ алцА eJkdum ' Ж^ыйЬнгк СпШ. е.&с£и)п Лгсеъоььору. &d ФСшсиand ЪЫюп ПЫсъоьсору .-/feu) %vk , 1969, v .3,p. 155-218.

118. Mcifil U- l-tedurrwrL- Иъи^шгд cut pmoctiw-fiM оВ/еЫел wnd Juckt&vu.(j,№ft cum гксЛгрпем. mkxoskopibfun. oSjekA Si Id.

119. Mccwiopie, I97I,JW 27, p.73-79.

120. Wade R.H:, 'Silcoxl. CoiamSas Uutdruze си Шк vacuum oondenstd Pd fifms . Oppl PAfbJetteis,1968, V/. 8, Ш I, p.7-10.

121. Wade R. Small arujle t&Uua tcaiteuna {j-wm vacuum condensed meiaftcoftbs.- Pfy*. UM. Япеё. } 1967,V.I9, p.57-62;p.63-76.

122. Васильев Б.В., Поцелуйко А.А., Пынько В.Г. Электронно-микроскопическое исследование магнитного состояния плоского однослойного ансамбля малых частиц 9ё, Зе- Со -ФММ, 1983,т.5, 16, C.I2I8-I2I9.

123. Сокол А.А., Коссвгч В.М. Рост кристаллов в аморфных пленках.-В кн.: Рост кристаллов, Т.Х1У.- М.: Наука, 1983,с.62-70.

124. Грязнов Е.Г., Трусов Л.И., Лаповок В.Н., Новиков В.И. Коллективные эффекты при диффузионном взаимодействии в ансамблемалых металлических частиц.- ФТТ, 1983, т.25, № 8, с.2290-2295.

125. Строук Дж.У., Халиуа М., Тон Ф., Виллаш Д.Г. Улучшение качества и восстановление трехмерных изображений голографичес-кими методами.- ТИИЭР, 1977, т.65, № I, с.49-74.

126. Юдина JI.A., Федорова Э.Л., Тимакова Г.П., Антонова Л.М., Гуленко В.А., Юдин В.В. Кинетика структурных мультиплетов в процессе диффузионной гомогенизации поликристаллических пленок.- ФММ, 1983, т.56, №3, с.351-357. /

127. Юдина Л.А., Тимакова Г.П., Бунин О.А., Кленин С.А., Юдин В.В., Ветер В.В. Влияние распределения пор на магнитные свойства тонких пленок с перпендикулярной анизотропией.- Тез.докл. Всесоюзн.конф. по ФМЯ.- Донецк, 1977, с.236.

128. Tudin V. I/., Vi тамга P., Tedotofa B.l. ? Judina

129. J.й■ fane ties if ti^c-tute hiew^ntincs tf pohjau^^ -Ш uttiadC&pettfFn films cLuKncf <ih pu>4ews ofifa di^odaitW. y п Мекдунар. Летняя школа по процессам роста тонких пленок, 18-20 сент., 1983.