Стабилизация состава активной среды отпаянных лазеров на углекислом газе с поперечным высокочастотным возбуждением тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

Введение

Глава 1. Физические процессы, ограничивающие срок службы отпаянных СОг лазеров

1.1. Основные химические процессы, протекающие в активной среде С02 лазеров

1.2. Методы повышения долговечности отпаянных СО2 лазеров

1.2.1. Выбор материала катода отпаянных волноводных СО2 лазеров

1.2.2. Способы стабилизации газового состава отпаянных СОг лазеров

1.3. Функция распределения электронов по энергиям в плазме активной среды С02-лазеров

1.4. Постановка задачи

Глава 2. Экспериментальная установка и методика эксперимента

2.1. Экспериментальная установка

2.2. Конструкции исследуемых лазеров

2.3. Выводы

Глава 3. Теоретическая модель, описывающая кинетику диссоциации двуокиси углерода в активной среде отпаянных СОг лазеров с поперечным ВЧ возбуждением

3.1. Основные химические процессы, ответственные за деградацию газового состава отпаянных СОг лазеров

3.2. Уравнения, описывающие скорость изменения концентраций компонентов газовой смеси

3.3. Расчёт степени диссоциации двуокиси углерода

3.4. Выводы

Глава 4. Функция распределения электронов по энергиям в плазме активной среды СО2 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением

4.1. Аналитическое решение кинетического уравнения Больцмана

4.2. Результаты расчёта

4.3. Выводы

Глава 5. Тепловой режим отпаянных СО2 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением

5.1. Решение уравнения теплопроводности

5.2. Оптимизация теплового режима и давления газовой смеси в щелевых лазерах

5.3. Выводы

Глава 6. Теоретическое и экспериментальное изучение диссоциации двуокиси углерода в отпаянных СО2 лазерах с поперечным ВЧ возбуждением

6.1. Обоснование правомерности сравнения рассчитанных и измеренных величин степени диссоциации двуокиси углерода

6.2. Расчёт степени диссоциации углекислого газа и содержания атомарного кислорода в активной среде лазеров на углекислом

6.3. Определение величины константы скорости реакции гетерогенной рекомбинации атомарного кислорода и монооксида углерода на поверхности алюмооксидной керамики

6.4. Установление зависимости степени диссоциации двуокиси углерода в активной среде отпаянных С02 лазеров от условий поддержания поперечного ВЧ разряда

6.5. Влияние процессов, протекающих на поверхности разрядного канала, на степень диссоциации двуокиси углерода

6.6. Динамика состава активной среды отпаянных волноводных

СОг лазеров с чисто керамическими и содержащими катализатор волноводами в процессе их длительной эксплуатации

6.7. Выводы

Актуальность диссертационной работы. Опыт разработки отпаянных СОг лазеров показывает, что обеспечение неизменных энергетических характеристик излучателей в процессе эксплуатации требует использования устойчивых к распылению катодов и стабилизации газового состава активной среды.

В свою очередь проблема стабилизации газового состава в лазерах с высокочастотным (ВЧ) поперечным возбуждением (волноводных и щелевых) включает в себя задачу оптимизации содержания в разрядном промежутке атомарного кислорода. Присутствие последнего, необходимое для эффективной регенерации углекислого газа и обеспечения приемлемой величины степени диссоциации, вызывает снижение инверсии населённости и мощности генерации лазера.

Непосредственный перенос на отпаянные СС^-лазеры с поперечным ВЧ возбуждением известных способов стабилизации газового состава, реализуемых в случае лазеров на постоянном токе, затруднителен, так как отличия в условиях возбуждения разряда и конструкциях активных элементов приводят к значительному изменению кинетики диссоциации двуокиси углерода.

Трудоёмкость прямых экспериментальных исследований влияния на степень диссоциации двуокиси углерода условий поддержания разряда и конструктивных особенностей разрядного канала отпаянных С02-лазеров с поперечным ВЧ возбуждением, а также низкая точность определения концентрации атомарного кислорода в подобного типа лазерах, обуславливают необходимость создания адекватной теоретической модели, описывающей кинетику диссоциации двуокиси углерода. 7

Цель работы:, выявление факторов, определяющих степень диссоциации углекислого газа и содержание атомарного кислорода в активной среде отпаянных СОг-лазеров с поперечным ВЧ возбуждением.

Достижение поставленной цели требует решения следующих задач:

• адаптация существующих теоретических моделей, описывающих кинетику диссоциации двуокиси углерода в активной среде С02 лазеров, к условиям поддержания поперечного ВЧ разряда в волноводах и щелевых разрядных структурах;

• исследование зависимости степени диссоциации двуокиси углерода и содержания атомарного кислорода от удельной мощности накачки, режима возбуждения, давления рабочей газовой смеси, особенностей конструкции разрядного канала;

• нахождение способов стабилизации газового состава отпаянных волноводных СОг-лазеров с ВЧ возбуждением.

Научная новизна результатов работы заключается в следующем:

1. Развита теоретическая модель, позволяющая рассчитывать в активной среде отпаянных СОг-лазеров с поперечным ВЧ возбуждением концентрации СО2, СО, О и О2.

2. Разработан метод решения самосогласованной задачи по определению степени диссоциации двуокиси углерода.

3. Получено аппроксимационное выражение для функции распределения электронов по энергиям в плазме активной среды С02-лазеров.

4. Определено значение константы скорости реакции гетерогенной рекомбинации СО + О -» СО2 на поверхности алюмооксидной керамики.

5. Показано, что отсутствие реакции гетерогенной рекомбинации монооксида углерода и атомарного кислорода на поверхности металлических электродов приводит к возрастанию степени диссоциации 8 двуокиси углерода в активной среде отпаянных С02-лазеров с металлокерамическими волноводами на 20-25% по сравнению с лазерами с чисто керамическими волноводами.

6. Установлено, что замена азота на монооксид углерода в лазерной смеси позволяет снизить на 30% степень диссоциации углекислого газа и относительное содержание атомарного кислорода в щелевых С02 лазерах с покрытыми золотом электродами.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Расчёт степени диссоциации двуокиси углерода и содержания атомарного кислорода в активной среде отпаянных СОг-лазеров с поперечным ВЧ возбуждением требует учёта в уравнениях кинетики газовой смеси диффузионного потока атомов кислорода на электроды.

2. Преимущественный вклад в кинетику регенерации углекислого газа в активной среде отпаянных СОг-лазеров с поперечным ВЧ возбуждением даёт реакция гетерогенной рекомбинации О и СО на поверхности разрядного канала.

3. В разрядном канале, полностью ограниченном диэлектрическими стенками, степень диссоциации а двуокиси углерода и относительная концентрация атомарного кислорода [О] являются монотонно убывающими функциями отношения поверхности стенок S к объёму активной среды V вида: а = ехр[4.17 - 0.22-(S/V) + 0.02-(S/V)2], % [О] = 10"2-ехр[4.14 - 0.25-(S/V) + 0.03-(S/V)2], % где S/V выражено в мм"1. 9

Достоверность полученных в диссертационной работе результатов подтверждается согласием результатов экспериментальных и теоретических исследований, а также прямыми испытаниями созданных лазеров.

Практическая значимость работы:

1. Установленные в диссертационной работе соотношения позволяют оперативно рассчитывать степень диссоциации двуокиси углерода и содержание атомарного кислорода в активной среде отпаянных С02 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением в широком диапазоне разрядных условий.

2. Предложены следующие способы стабилизации состава активной среды отпаянных волноводных (в том числе щелевых) СО2 лазеров с ВЧ возбуждением:

- использование волноводного канала с четырьмя диэлектрическими стенками;

- замена азота на монооксид углерода в лазерной смеси щелевых С02 лазеров, электроды которых покрыты золотом.

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав и заключения. Содержит 149 страниц, 11 таблиц, 31 рисунок. Список литературы состоит из 118 наименований.

Основные результаты, полученные в диссертационной работе, сводятся к следующему:

1. Развита теоретическая модель, позволяющая рассчитывать концентрации С02, СО, О и 02 в активной среде отпаянных С02 лазеров с ВЧ возбуждением.

2. Получено аналитическое выражение для функции распределения электронов по энергиям в плазме активной среды С02 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением, которое использовалось для самосогласованного расчёта степени диссоциации двуокиси углерода.

3. Определено значение константы скорости реакции гетерогенной рекомбинации СО + О С02 на поверхности алюмооксидной керамики.

4. Установлен преимущественный вклад в кинетику диссоциации углекислого газа в активной среде отпаянных С02 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением процессов, протекающие на поверхности разрядного канала, по сравнению с объёмными процессами.

138

5. Найдены простые аналитические выражения, позволяющие рассчитывать степень диссоциации двуокиси углерода и атомарного кислорода в активной среде отпаянных СО2 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением в зависимости от отношения поверхности диэлектрических стенок к объёму активной среды.

6. Установлено, что использование волноводного канала с четырьмя диэлектрическими стенками позволяет стабилизировать состав активной среды отпаянных СОг лазеров с поперечным ВЧ возбуждением.

7. Показано, что замена в лазерной смеси щелевых С02 лазеров с покрытыми золотом электродами азота на монооксид углерода позволяет снизить на 30% степень диссоциации углекислого газа и относительное содержание атомарного кислорода.

В заключении хотелось бы выразить огромную благодарность своим научным руководителям д.ф.-м.н., профессору В.А. Степанову и к.ф.-м.н., доценту С.И. Молькову за помощь в работе, внимание и критические замечания. Считаю также своим долгом выразить большую признательность к.ф.-м.н., с.н.с. Е.Ф. Шишканову, д.ф.-м.н., профессору М.В. Чиркину, д.т.н., профессору О.Н. Крютченко, к.ф.-м.н., доценту А.Б. Ясребкову, к.ф.-м.н. В.М. Черезову за полезные рекомендации и обсуждение основных результатов работы.

139

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Проведено комплексное теоретическое и экспериментальное изучение диссоциации двуокиси углерода в активной среде отпаянных С02 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением. На основе проведённых исследований найдены способы стабилизации состава активной среды лазеров этого класса. Установленные в диссертационной работе соотношения позволяют оперативно рассчитывать степень диссоциации углекислого газа и содержание атомарного кислорода в активной среде отпаянных С02 лазеров с поперечным ВЧ возбуждением. Полученные в диссертационной работе результаты используются при создании нового поколения (щелевых) С02 лазеров.

1. В. В. Авдонькин, Т. Л. Паршина, А. Я. Паюров, А. И. Рябов, В. Г. Самородов, В. А. Степанов. К вопросу о долговечности малогабаритных волноводных С02-лазеров // Электронная техника. Сер. X. 1989. - № 4. -С. 44 - 47.

2. В. С. Алейников, В. В. Карпецкий. О повышении долговечности квантовых генераторах на С02. // Электронная техника. Сер. I. 1969. - № 12.-С. 79-82.

3. В. С. Алейников, В. В. Бибикова, Л. Д. Мамедли, В. И. Масычев. Стабилизация газового наполнения миниатюрного отпаянного лазера на углекислом газе. // Квантовая электроника. 1981. - Т. 8. - № 7. - С. 1601 -1603.

4. К. D. Laakmann and P. Laakmann // Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. -1980.-V. 247.-P. 74-79.

5. E. N. Lotkova, V. N. Ochkin, and N. N. Sobolev. Dissociation of Carbon Dioxide and Inversion in C02 laser // IEEE J. Quantum Electronics, QE 7. - № 8.-P. 396-402.

6. В. Д. Русанов, А. А. Фридман, Г. В. Шолин. Физика химически активной плазмы с неравновесным колебательным возбуждением молекул // УФН.- 1981.-Т. 134.-Вып. 2.-С. 185 -235.

7. Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы / Под ред. Л. С. Полака. М.: Наука, 1971.140

8. Е. Н. Базаров, Г. А. Герасимов, Ю. И. Посудин. Химические реакции при электрическом разряде в молекулярных газовых лазерах // Квантовая электроника. 1975. - Т. 2. - № 2. - С. 2481 - 2486.

9. W. J. Wiegand, М. С. Fowler, and J. A. Benda. Carbon monoxide formation in C02 lasers // Appl. Phys. Lett. 1970. - V. 10.- P. 237 - 239.

10. W. J. Wiegand, W. L. Nighan. Plasma chemistry of C02 N2 - He discharges. // Appl. Phys. Lett. - 1973. - V. 22,- P. 583 - 586.

11. И. В. Никитин, E. H. Еремин. // ЖФХ. 1962. - Т. 36. - С. 616 - 619.

12. M. М. Богородский, Е. Н. Еремин. // ЖФХ. 1964. - Т. 38. - С. 1849 -1851.

13. А. Н. Мальцев, Е. Н. Еремин, В. А. Ивантер. // ЖФХ. 1967. - Т. 41. -С. 1190- 1192.

14. И. А. Семиохин, В. Н. Коровкин, Г. М. Панченков. // ЖФХ. 1964. -Т. 38.-С. 2077-2084.

15. И. А. Семиохин, Ю. П. Андреев. // ЖФХ. 1966. - Т. 40. - С. 2377 -2381.

16. Г. И. Мешкова, Е. Н. Еремин // Вестник МГУ: Сер. хим. 1966. - № 3. - С. 8 - 13.

17. В. И. Светцов, А. И. Максимов, В. Ф. Светцов и др. // Труды Ивановского химико-технологического института. 1969. - Вып. 11. - С. 85 -89.

18. Е. С. Гасилевич, В. А. Иванов, Э. Н. Лоткова, В. Н. Очкин, Н. Н. Соболев, Н. Г. Ярославский. Диссоциация С02 в разрядной плазме С02 лазера//ЖТФ.- 1969.-Т. 39.-С. 126- 132.

19. P. D. Tannen, P. Bletzinger, and A. Garscadden. Species composition in C02 discharge laser // IEEE, J. Quant. Electr. 1974. - V. QE - 10. - P. 6 - 11.

20. К. K. Corvin, S. J. B. Corrigan. Dissociation of C02 in positive column of a glow discharge // J. Chem. Phys. 1969. - V. 50. - P. 2570 - 2574.141

21. R. Clampitt, A. S. Newton. // J. Chem. Phys. 1969. - V. 50. - 1997 -2001.

22. Э. H. Лоткова, В. И. Макаров, Л. С. Полак, Н. Н. Соболев. Изучение химических реакций в разрядной трубке отпаянного С02-лазера //, Химия высоких энергий. 1968. - Т. 2. -№ 3. - С. 278 - 283.

23. Н. Т. Claxton. // J. Ind. Coll. Chem. Eng. Soc. 1962. - V. 14. - P. 58 -61.

24. J. A. Macken, E. Matovich, and R. A. Brandewie. Chemical equilibria in the C02 laser // Bull. Amer. Phys. Soc. 1967. - V. 12. - P. 669.

25. R. G. Busher, J. J. Sullivan. // J. Appl. Phys. 1970. - V. 41. - P. 472 -479.

26. L. Pekarec, M. Chvojka, L. Urbankova. In: 11th Intern. Conf. Phen. Ion. Gases (Contributed Papers). - Prague. - 1973. - P. 48.

27. С. С. Алимпиев, H. В. Карлов, Ю. Б. Конев и др. // Письма ЖЭТФ. -1969.-Т. 9.-С. 377-380.

28. В. Н. Очкин. Исследование физико-химических свойств плазмы С02-лазера // Труды ФИАН. 1974. - Т. 78. - С. 3 - 59.

29. А. Б. Шехтер. Химические реакции в электрическом разряде. Л. -М.: ОНТИ, 1935.

30. J. F. Prince, A. Garscadden. // Appl. Phys. Lett. 1975. - V. 27. - P. 13 -15.

31. В. H. Комаров, В. И. Волченок, Н. П. Егоров и др. // ЖТФ. 1976. - Т. 46.-С. 2541 -2550.

32. А. I. S. Smith, J. М. Austin. Dissociation mechanism in pulsed and continuous C02 laser // J. Phys. D.: Applied Phys. 1974. - V. 7. - P. 314 - 322.

33. В. В. Азатян. Новые закономерности в газофазных разветвленно-цепных процессах.: Автореф. дис. докт. физ. мат. наук. - М.: Ин-т химической физики АН СССР, 1978. - 43 с.142

34. Д. И. Словецкий. Исследование кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесных плазмохимических системах.: Автореф. дис. докт. физ. мат. наук. - М.: ИАЭ им. И. В. Курчатова, 1977.- 42 с.

35. JI. С. Полак, Д. И. Словецкий, А. С. Соколов и др. В кн.: Неравновесная химическая кинетика и ее применения. - М.: Наука, 1979. -С. 188-226.

36. Ю. А. Иванов, JI. С. Полак, Д. И. Словецкий. // Химия высоких энергий.-1971.-Т. 5.-С. 382-387.

37. А. С. Соколов. Возбуждение электронно-колебательных уровней и диссоциация молекул N2 и С02 в плазме тлеющего разряда: Автореф. дис.канд. физ. мат. наук. - М.: Ин-т нефтехимического синтеза им. А. В. Топчиева АН СССР, 1976. - 45 с.

38. А. В. Елецкий, Б. М. Смирнов. Газовые лазеры. М.: Атомиздат, 1971.- 152 с.

39. В. С. Алейников, В. В. Карпецкий. Аналитическое рассмотрение процесса изменения концентраций компонентов газовой меси в электрическом разряде в С02. // Электронная техника. Сер. I. 1971. - № 3. -С. 88-96.

40. В. Виттеман. С02 лазер. - М.: Мир, 1990. - 360 с.

41. В. В. Авдонькин. Разработка стабилизаторов газового наполнения отпаянных С02-лазеров. Диссертация на соискание учёной степени кандидата, техн. наук. Рязань, Рязанский радиотехнический ин-т, 1978. -183 с.143

42. W. J. Witteman. High-power single-mode С02 laser.// IEEE J. Quantum Electronics. 1968.-V. qe-4.-№ Ц.-Р. 786 - 788.

43. W. J. Witteman. High-output powers and long lifetimes of sealed-off C02 lasers. // J. Appl. Phys. Letters. 1967. - V. 11. - № 11. - P.337 - 341.

44. F. H. R. Aimer, M. Koedam. Influence of Hydrogen and Oxygen on the Gas Composition of Sealed-off C02 laser systems. // Zeitschr. angew. Phys. -1968. Bd. 25. - H. 3. - S. 166 - 167.

45. P. Q. Clark, J. Y. Wade. The influence of Xenon on Sealed-off C02 Lasers. // IEEE J. Quantum Electronics. 1968. - V. QE-4. - № 5. - P. 786 - 788.

46. W. J. Witteman. // IEEE J. Quantum Electronics. 1966. - V. QE-2. -P. 275 - 278.

47. J. A. Macken, S. K. Yagnlk, and M. A. Samis. C02 laser performance with distributed gold catalyst // IEEE J. of QE. 1989. - V. 25. - № 7. - P. 1695 -1703.

48. Collected Works of Irving Langmuir. Vol. 5, ed. G. Smits, Macmillan (Pergamon), 1964.

49. Jl. Д. Ландау // ЖЭТФ. 1946. - Т. 16. - Вып. 7. - С. 574 - 578.

50. А. А. Веденов, Е. П. Велихов, Сагдеев Р. 3. // УФН. 1961. - Т. 73. -С.701.

51. В. Л. Грановский. Электрический ток в газе. Установившийся ток. -М.: Наука, 1971.-543 с.

52. R. Н. Bullis, W. L. Nighan, М. С. Fowler, W. J. Wiegand. Physics of C02 electric discharge lasers. AIAA J. - 1972. - V. 10. - № 4. - P. 407 - 414.144

53. W. L. Nighan. Electron energy distributions and collision rates in electrically excited N2, CO and C02 // Phys. Rev. A. 1970. - V. 2. - № 5. - P. 1989-2000.

54. J. J. Lowke, A. V. Phelps, B. W. Irwin. Predicted electron transport coefficients and operation characteristics of C02 N2 - He laser mixtures. // J. Appl. Phys. - 1973. - V. 44. - № 10. - P. 4664 - 4671.

55. A. H. Лобанов, А. Ф. Сучков. Функция распределения и баланс энергии электронов в электроионизационном лазере на двуокиси углерода // Квантовая электроника. 1974. - Т. 1.-№7.-С. 1527- 1536.

56. Б. Ф. Гордиец, Н. Н. Соболев, А. А. Шелепин. Кинетика физических процессов в ОКГ на С02 // ЖЭТФ. 1967. - Т. 53. - вып. 5. - С. 1822 - 1835.

57. W. L. Nighan. //Appl. Phys. Lett. 1969,- V. 15. -№ 11. - P. 355 - 357.

58. M. С. Fowler.//Appl. Phys. Lett.-1971,-V. 18.-№ 5.-P. 175 178.

59. C. B.Mills.//J. Appl. Phys.- 1974.-V. 45.-№3.-P. 1336- 1341.

60. S. D. Rockwood. // J. Appl. Phys. 1974. - V. 45. - № 12. - P. 5229 -5234.

61. W. P. Allis, H. A. Haas. Electron Distributions in Gas Lasers // J. Appl. Phys. 1974,-V. 45.-№ 2.-P. 781 -791.

62. А. В. Елецкий. О балансе энергии электронов в разряде в молекулярных газах и газовых смесях // Физика плазмы. 1977. - Т. 3. -№ 3. - С. 657-662.

63. W. L. Nighan, J. Н. Bennet. Electron energy distribution functions and vibrational excitation rate in C02 laser mixture // Appl. Phys. Lett. 1969. - V. 14. - P. 240 - 242.

64. Б. И. Давыдов. О распределении скоростей электронов, движущихся в электрическом поле // ЖЭТФ. 1936. - Т. 6. - Вып. 5. - С. 463 - 480.

65. В. JI. Грановский. Электрический ток в газе (том I). М. - JL: Государственное издательство технико-теоретической литературы, 1952.145432 с.

66. Б. М. Смирнов. Физика слабоионизированного газа. М.: Наука, 1978. -416 с.

67. В. Е. Голант, А. П. Жилинский, И. Е. Сахаров. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1977. - 384 с.

68. Т. Holstein. Energy distribution function of electrons in high-frequency gas discharges. Phys. Rev. - 1946. - V. 70. - № 5. - P. 367 - 384.

69. W. P. Allis. Motion of Ions and Electrons. In Handebuch der Physik, Vol. XXI, Springer-Verlag, Berlin, 1956.

70. В. H. Карнюшин, P. И. Солоухин. Макроскопические и молекулярные процессы в газовых лазерах М.: Атомиздат, 1981. - 200 с.

71. Л. М. Биберман, В. С. Воробьёв, И. Т. Якубов. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982. - 376 с.

72. М. J. Druyvesteyn. De invlod der energie verlizen bij elastische botsingen in theorie der elektronendiffusie. Physika. - 1930. - Bd 10. - S. 61 - 70.

73. Э. Д. Лозанский, О. Б. Фирсов. Теория искры. М.: Атомиздат, 1975. -202 с.

74. I. P. Shkarofsky, Т. W. Johnston, М. P. Bachynski. The Particle Kinetics of Plasmas. Addison-Wesley, Reading, Massachusetts, 1966.

75. К. Смит, P. Томсон. Численное моделирование газовых лазеров. М.: Мир, 1981.-516 с.

76. L. S. Frost, А. V. Phelps. Rotational excitation and momentum transfer cross sections for electrons in H2 and N2 from transport coefficients // Phys. Rev. -1962. V. 127. - № 5 - P. 1621 - 1633.

77. G. J. Schulz. Vibrational excitation of N2, CO and H2 by electron impact // Phys. Rev. 1964. - V. 135A. - № 4. - P. 988 - 994.

78. A. G. Engelhardt, A. V. Phelps, C. G. Risk. Determination of momentum transfer and inelastic collisions cross section for electrons in nitrogen using146transport coefficients // Phys. Rev. 1964. - V. 135. - № 6A. - A1566 - A1574.

79. R. D. Hake, A. V. Phelps. Momentum transfer and inelastic-collisions cross sections for electrons in 02, CO and C02 // Phys. Rev. 1967. - V. 158. - № 1. -P. 70-84.

80. M. J. Boness, G. J. Schulz. Vibrational excitation of C02 by electron impact // Phys. Rev. Lett. 1968. - V. 21. - P. 1031 - 1035.

81. R. Winkler, S. Pfau. Zur mikrophysikalischen Beschreibung der schwachionisierten Stickstoffmolekiilplasmas der positiven Saule von Glimmentladungen // Beitr. Plasmaphys. 1974. - Bd. 14. - № 5. - S. 169 - 174.

82. A. Rutscher. Progress in electron kinetics of low pressure discharges and related phenomena. In: Proc. 13 Intern. Conf. Phenom. Ioniz. Gases: Invited Lectures. - В.: Phys. Soc. DDR. - 1977. - P. 269.

83. W. L. Morgan. "ELENDIF". A computer program that solves the Boltzmann Equation for a Partially Ionized Gas. JILA Rep. 19. - June 1, 1979.

84. P. А. Латыпова, А. И. Луковников, E. П. Фетисов. Функция распределения свободных электронов в плазме молекулярного азота // ЖТФ.- 1972.-Т. 42,- № 1.-С. 115- 119.

85. Р. И. Лягущенко, М. Б. Тендлер. О распределении электронов по энергии в низкотемпературной плазме молекулярного газа // Физика плазмы.- 1975. Т. 1-№ 5. - С. 836 - 846.

86. Н. Л. Александров, А. М. Кончаков, Э. Е. Сон. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы // Физика плазмы. 1977. - Т. 4. - № 1. - С. 169 - 176.

87. В. Г. Доронин, В. И. Новиков, В. А. Степанов. Функция распределения электронов по энергиям в смеси, содержащей молекулярные газы // Электронная техника. Сер. 4: Электровакуумные и газоразрядные приборы. - 1980. - Вып. 2(79). - С. 27 - 35.

88. Л. М. Дмитриев. // Теплофизика высоких температур. 1978. - Т. 16.1471. Вып. З.-С. 449-457.

89. Н. А. Дятко, И. В. Кочетов, А. П. Напартович. Влияние инерционности энергетического спектра электронов на частоту ионизации в слабоионизированной плазме ВЧ-разряда // Физика плазмы. 1985. - Т. 11,-Вып. 6. - С. 739 - 744.

90. В. JT. Гинзбург, А. В. Гуревич. Нелинейные явления в плазме, находящейся в переменном электромагнитном поле // УФН. 1960. - Т. 70. -Вып. 2.-С. 201 -246.

91. О. А. Малкин. Импульсный ток и релаксация в газе. М.: Атомиздат, 1974.-280 с.

92. Т. Leding and В. Schroder. Electron energy distribution functions and power transfer data for radio-frequency discharges in CO2 laser gas mixtures // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1990. - V. 23. - P. 1624 - 1632.

93. Д. И. Словецкий. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. -М.: Наука, 1980.-312 с.

94. В. Н. Кондратьев. Константы скорости газофазных реакций. М.: Наука, 1970.-352 с.

95. Н. В. Цедерберг. Теплопроводность газов и жидкостей. М.-Л.: Госэнергоиздат, 1963. - 408 с.

96. В. И. Новиков. Исследование и разработка инженерных методов расчёта С02 и СО-лазеров. Диссертация на соискание учёной степени кандидата физ.-мат. наук. Ленинград, Ленинградский политехи, ин-т, 1983. - 193 с.

97. A. J. Laderman, S. R. Byron. Temperature rise and radial profiles in C02 lasers// J. Appl. Phys. 1971. - V. 42. - № 8. - P. 3138 - 3144.

98. W. J. Wiegand, M. C. Fowler, J. A. Benda. Carbon monoxide formation in C02 lasers// Appl. Phys. Lett. 1970. - V. 16. - № 6. - P. 237 - 243.

99. Л. Хаксли, P. Кромптон. Диффузия и дрейф электронов в газах. М.:1481. Мир, 1977.-672 с.

100. Р. Ш. Исламов, И. В. Кочетов, В. Г. Певгов. Анализ процессов взаимодействия электронов с молекулой кислорода. Препринт ФИАН № 169. -М., 1977.

101. Ю. Б. Конев, И. В. Кочетов, В. С. Марченко, В. Г. Певгов, В. Ф. Шарков. Основные характеристики электрического разряда в плазме СО-лазеров. Препринт ИАЭ № 2810. М.: 1977.

102. М. Н. Власов, И. В. Кочетов, Е. В. Мишин, В. Г. Певгов, В. А. Телегин. Функция распределения и тепловой баланс ионосферной плазмы при наличии электрических полей. Препринт ИЗМИР АН № 25 (338). М.: 1981.

103. В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, Ф. И. Высикайло. Исследование характеристик разрядов и генерации эксимерных лазеров. Препринт ФИАН № 3080.-М.: 1979.

104. Н. В. Карлов, Ю. Б. Конев, В. Г. Певгов. Константы скорости и баланс энергии электронов в плазме газоразрядных С02 лазеров. Препринт ФИАН № 91.-М.: 1976.

105. Е.Ф.Шишканов. Щелевые волноводные С02 лазеры с высокочастотным возбуждением.-Диссертация на соискание учёной степени кандидата физ.-мат. наук. Рязань, Рязанский гос. пед. ун-т, 1998. - 153 с.

106. J. Bonnet, С. Dahan, G. Fournier et D. Pigache. Calcul des parametres macroscopiques et des fonctions de destribution electroniques lans les plasmas de C02 N2 - He // Note Techique ONERA. - 1974. - № 238.

107. К. M. Abramski, A. D. Colley, H. J. Baker, and D. R. Hall. Power scaling of large-area transverse radio frequency discharge C02 lasers // Appl. Phys. Lett. -1989. V. 54 (19). - P. 1833 - 1835.

108. В. I. Ilukhin, Yu. B. Udalov, I. V. Kochetov, V. N. Ochkin, M. B. Heeman-Ilieva, P. J. M. Peters, W. J. Witteman. A theoretical and experimental investigation of a waveguide C02 laser with rf excitation // J. of Appl. Phys.1491995.-В 61.-P. 45-48.

109. W. Tsang, R. F. Hampson. //J. Rhys. Chem. Ref. Data. 1986. - V. 15. - P. 1087.

110. J. Warnatz. In Combustion Chemistry, W.C. Gardiner, Ed., Springer-Verlag, Chap. 5. 1984.

111. M. Rohrig, E.L. Petersen, D.F. Davidson, and R.K. Hanson.// Int. J. Chem.Kinet. 1996. - V. 28. - P. 599.

112. В.Я. Виттеман, Б.И. Илюхин, И.В. Кочетов, В.Н. Очкин, П.Я. Петере, Ю.Б. Удалов, М.Б. Хееман-Илиева. Исследование и оптимизация волноводного С02 лазера с ВЧ возбуждением. Препринт ФИАН № 38. -Москва, 1994.

113. Атомные и молекулярные процессы /Под ред. Д. Бейтса/ Москва, Мир, 1964. - 780 С.

114. Физические величины: справочник /Под ред. И.С. Григорьева. М.: Энергоатомиздат, 1991. - 1234 С.

115. V.M. Cherezov, M.Z. Novgorodov, V.N. Ochkin, V.G. Samorodov, E.F. Shishkanov, V.A. Stepanov, W.J. Wittemann. The stability of the active medium of RF-excited C02 lasers with gold as catalyst// Appl. Phys. B. 2000. - V. 71. -P. 503-507.