Теоретическое исследование распространения нормальных акустических волн нулевого порядка в тонких пьезоэлектрических пластинах тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ РАСПРОСТРАНЕНИЯ АКУ

ОТЧЕСКИХ ВОЛН НУЛЕВОГО ПОРЯДКА В ТОНКИХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛАСТИНАХ

1.1. Введение

1.2. Общие сведения об акустических волнах в пластинах и их 19 классификация

1.3. Исходные уравнения и метод решения задачи

1.3.1. Основные уравнения

1.3.2. Граничные условия

1.3.3. Метод решения задачи

1.4. Распространение акустических волн в пластине ZnO

1.4.1. Основные характеристики материала

1.4.2. Антисимметричные волны Лэмба

1.4.3. Горизонтально - поперечные волны

1.4.4. Симметричные волны Лэмба

1.5. Распространение акустических волн в пластинах ЫТаОз и 40 LiNbOs

1.5.1. Основные характеристики материалов

1.5.2. Антисимметричные волны Лэмба

1.5.3. Горизонтально - поперечные волны

1.5.4. Симметричные волны Лэмба

1.6. Распространение акустических волн в пластине KNbOз

1.6.1. Основные характеристики материала

1.6.2. Антисимметричные волны Лэмба

1.6.3. Горизонтально - поперечные волны

1.6.4. Симметричные волны Лэмба 74 1.7. Выводы

ГЛАВА 2. ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И МЕХАНИЧЕСКИХ ГРА

НИЧНЫХ УСЛОВИЙ НА РАСПРОСТРАНЕНИЕ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН В ТОНКИХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛАСТИНАХ

2.1. Введение

2.2. Акустические волны в структуре пьезоэлектрическая пластина 82 - тонкий слой с произвольной проводимостью

2.2.1. Уравнения и граничные условия для пьезодиэлектрической 82 пластины

2.2.2. Уравнения и граничные условия для проводящей 84 пьезопластины

2.2.3. Результаты численного анализа

2.3. Акустические волны в структуре пьезоэлектрическая пластина

- вакуумный зазор - идеально проводящий экран

2.4. Влияние проводящей жидкости на распространение горизон- 98 тально - поперечных волн в пьезоэлектрических пластинах

2.4.1. Основные уравнения и граничные условия

2.4.2. Результаты численного анализа

2.4.3. Экспериментальные результаты

2.5. Влияние вязкой жидкости на распространение горизонтально

- поперечных волн в пьезоэлектрических пластинах

2.5.1. Основные уравнения и граничные условия

2.5.2. Результаты численного анализа

2.5.3. Экспериментальные результаты

2.6. Выводы

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ПРАКТИЧЕСКОГО 122 ПРИМЕНЕНИЯ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН, РАСПРОСТРАНЯЮЩИХСЯ В ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛАСТИНАХ

3.1. Введение

3.2. Влияние освещенности на характеристики SHo волн в струк- 123 туре пьезоэлектрическая пластина - фотопроводящий слой

3.2.1. Основные уравнения и граничные условия

3.2.2. Результаты численного анализа

3.3. Влияние внешнего электрического напряжения на характери- 133 стики акустических волн в структуре пьезоэлектрическая пластина - полупроводниковая гетероструктура

3.4. Акустоэлектрический эффект в структуре пьезоэлектрическая 138 пластина - тонкий проводящий слой

3.4.1. Связь акустоэдс с интенсивностью акустической волны

3.4.2. Анализ численных результатов

Акустические волны, распространяющиеся в тонких пластинах, трубах и оболочках из различных изотропных материалов исследовались на протяжении многих лет [1-9]. Такие волны широко используются для ультразвуковой дефектоскопии, определения упругих параметров материалов, измерения уровня жидкости, разработки дисперсионных линий задержки и т.д. [4-6]. Эти волны также интенсивно изучаются в машиностроении с целью определения вибростойкости и механической прочности различных элементов и узлов [7].

Интерес к волнам в ограниченных средах заметно усилился в настоящее время в связи с потребностью современной радиофизики и радиотехники в различных датчиках и устройствах обработки сигналов, основанных на использовании акустических волн в пьезоэлектрических материалах. В этом плане особо следует отметить акустические волны, распространяющиеся в тонких пьезоэлектрических пластинах, которые обладают рядом уникальных особенностей [10-34]. К этим особенностям можно отнести более высокий уровень электромеханической связи по сравнению с поверхностными акустическими волнами (ПАВ) и разнообразие их дисперсионных характеристик. Следует также отметить возможность распространения таких волн в контакте с жидкостью без существенных радиационных потерь. Перечисленные выше свойства позволяют, во - первых, существенно улучшить параметры уже существующих датчиков и устройств обработки сигналов на ПАВ, и во - вторых, разработать и создать новые устройства, не имеющие аналогов [27-39].

Кратко остановимся на описании общих свойств акустических волн в пластинах [8,9]. Эти волны подразделяются на три семейства: симметричные Sn и антисимметричные Ап (так называемые волны Лэмба), а также поперечно-горизонтальные SHn волны. Каждое семейство состоит как из фундаментальной или основной моды (п = 0), так и из высших типов волн (п = 1,2.). Существуют работы [10-26], в которых теоретически и экспериментально исследовались свойства этих волн для отдельных кристаллографических ситуаций в ряде широко используемых материалов таких как ниобат лития, кварц, окись цинка и сульфид кадмия. Приведенные в этих работах данные показывают на перспективность практического использования таких волн. Например, обнаружено и экспериментально подтверждено, что квадрат коэффициента электромеханической связи (К2) для волны с поперечно-горизонтальной поляризацией (SHq) в Y - X пластинах ниобата лития может достигать 36 % [23,24], что в значительной степени превышает величину К2 для поверхностных акустических волн (5.2%) [40-42]. Но, как уже было отмечно, сведения, полученные из указанных выше литературных источников, являются отрывочными и касаются лишь отдельных акустических мод для частных кристаллографических ориентаций и направлений распространения. Поэтому они не дают полной картины явления, позволяющей выявить общие закономерности распространения акустических волн в пластинах. Именно изучению этих общих закономерностей и посвящена настоящая диссертация.

Не теряют также актуальности исследования, направленные на изучение свойств новых материалов, которые позволили бы улучшить характеристики акустоэлек-тронных устройств. В последнее время появились публикации, в которых исследуется новый и перспективный для акусто- и оптоэлектроники материал - ниобат калия (KNbO?,)• Этот материал обладает не только очень сильными электрооптическими и акустооптическими свойствами, но и характеризутеся крайне высоким уровнем электромеханической связи [43,44]. Например, для поверхностной волны в Y - X KNb03 квадрат коэффициента электромеханической связи (К2) достигает 53 %) [44], что на порядок больше, чем для (Y + 128°) - X ниобата лития (LiNbOz) [40]. Волны же в пластинах из этого материала не были изучены, и поэтому в настоящей диссертации данному вопросу уделяется особое внимание.

Большой практический интерес представляет возможность управления свойствами акустических волн путем изменения электрических граничных условий. В этом плане представляется интересным исследование распространения акустических волн в структурах, содержащих проводящие слои. Известно, что тонкий проводящий слой, расположенный на поверхности пьезоэлектрического материала или отделенный от нее небольшим вакуумным зазором, а также контакт с проводящей жидкостью оказывают сильное влияние на скорость и затухание ПАВ [45,46] и волн в пластинах [47]. Эти свойства с успехом используются для создания различных датчиков, чувствительных к внешним воздействиям (свету, химическим элементам, электрическим полям и т.д.) и для создания измерителей проводимости слоев или электролитов [28-32]. На этой основе также могут быть разработаны устройства с электрически управляемыми характеристиками [36-39]. Поэтому в данной диссертации детально исследуется влияние проводящих слоев и проводящей жидкости на свойства пьезоактивных волн в пластинах.

В настоящее время весьма актуальной остается проблема влияния вязкой жидкости на свойства акустических волн, распространяющихся в ограниченных средах. Она представляет интерес как в фундаментальном плане, так и в плане создания соответствующих датчиков и приборов [27,48-55]. Большинство опубликованных работ, цосвященных этой проблеме, по сути являются экспериментальными, а использованные в них приблизительные теоретические модели лишь качественно объясняют полученные данные. Эти модели базируются, главным образом на интуитивных физических соображениях [27] или на теории возмущений [48,49] в предположении, что жидкость незначительно меняет свойства акустической волны. Были также предприняты попытки решить данную задачу строгим образом, однако они не увенчались успехом [52,53]. Ошибка авторов состояла в том, что ими не учитывались тангенциальные компоненты механического смещения и механического напряжения в жидкости. Это приводило к расхождению теоретических и экспериментальных данных, особенно для больших значений вязкости. В настоящей диссертационной работе была строго решена корректно поставленная граничная задача о влиянии вязкой жидкости на характеристики акустических волн в пьезоэлектрических пластинах.

Как уже отмечалось, весьма актуальной является разработка и создание различных акустоэлектронных устройств обработки сигналов, использующих проводящие слои. К ним относятся акустические фотоприемники [56-58], устройства с электрически управляемыми амплитудой и фазой выходного сигнала [36-39], устройства с использованием акустоэлектрического эффекта [59-63] и т.д. В настоящее время указанные устройства основаны, главным образом, на ПАВ. В ряде случаев подобные устройства вследствие низкой чувствительности, к внешним воздействиям и слабого выходного сигнала не получили широкого распространения. Для повышения эффективности их работы необходимо увеличивать коэффициент электромеханической связи. В настоящее время, в связи с появлением новых пьезоэлектрических материалов и исследованием волн в пластинах появилась возможность существенно улучшить параметры этих приборов. Поэтому в третьей главе настоящей диссертации рассматриваются некоторые аспекты практического применения результатов, полученных в первой и второй главах.

На основании вышеизложенного можно сделать вывод о том, что проблема распространения акустических волн в тонких пьезоэлектрических пластинах является весьма актуальной.

Таким образом, целью настоящей диссертационной работы являлось теоретическое исследование закономерностей распространения нормальных акустических волн нулевого порядка в тонких пьезоэлектрических пластинах, анализ влияния различных электрических и механических граничных условий на характеристики этих волн, а также исследование возможности применения полученных результатов для разработки и создания ряда акустоэлектронных устройств обработки сигналов.

Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения и списка литературы.

3.5. Выводы.

Проведенные исследования показывают перспективность использования акустических фундаментальных So и SH0 волн в ряде акустоэлектронных устройств и датчиков. К ним, в частности относятся:

1. Акустические фотоприемники и измерители оптического излучения, основанные на структуре пьезоэлектрическая пластина - фотопроводящий слой, технологически совместимые с оптоэлектронными и акустическими интегральными схемами.

2. Акустические устройства с электрически управляемыми характеристиками (фазовращатели, амплитудные и фазовые модуляторы акустических волн), использующие полупроводниковую гетероструктуру, расположенную на пьезоэлектрической пластине.

3. Акустоэлектрический детектор и измеритель интенсивности акустической волны в структуре тонкий полупроводниковый слой - пьезоэлектрическая пластина.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

При проведении теоретических исследований в настоящей диссертационной работе получены следующие результаты:

1. Теоретически исследована анизотропия фазовой и групповой скоростей нормальных волн нулевого порядка, распространяющихся в пластинах из пьезоэлектрических материалов, относящихся к различным кристаллографическим классам (окись цинка, танталат лития, ниобат лития и ниобат калия). Показано, что Sq и SHo волны характеризуются сильной анизотропией скорости, в отличие от А0 волны, скорость которой определяется лишь толщиной пластины. Показано также, что дисперсия SHo волны определяется коэффициентом ее электромеханической связи и полностью отсутствует в непьезоактивных направлениях.

2. Теоретически исследована анизотропия коэффициента электромеханической связи нормальных волн нулевого порядка, распространяющихся в пластинах из пьезоэлектрических материалов, относящихся к различным кристаллографическим классам (окись цинка, танталат лития, ниобат лития и ниобат калия). Показано, что пьезоактивность этих волн сильно зависит от направления распространения волны, кристаллографического среза и толщины пластины. Обнаружено, что наибольшей пьезоактивностью обладают всегда SH0 волны, причем в ниобате калия квадрат коэффициента электромеханической связи для этой волны достигает рекордной величины порядка 100 %. А0 волна всегда имеет самую низкую пьезоактивность, степень которой соизмерима с ПАВ.

3. Проведен строгий теоретический анализ влияния тонкого проводящего слоя на характеристики So и SHo волн, распространяющихся в тонких пьезоэлектрических пластинах из танталата лития, ниобата лития, ниобата калия и арсенида галлия. Показана некорректность использования теории возмущений для акустических волн с сильной электромеханической связью.

4. Теоретически исследовано влияние идеально проводящего экрана, расположенного вблизи пьезодиэлектрической или проводящей пьезопластины из танталата лития, ниобата лития, ниобат калия и арсенида галлия на характеристики Sq и SHq волн. На основе этой физической модели разработана новая методика определения коэффициента электромеханической связи, позволяющая предотвратить часто встречающиеся ошибки, обусловленные "перескоками" с одной ветви решения на другую.

5. Проведен строгий теоретический анализ влияния проводящей жидкости на характеристики So и SHo волн, распространяющихся в тонких пьезоэлектрических пластинах из танталата лития, ниобата лития и ниобата калия. Показана некорректность использования теории возмущений для акустических волн с сильной электромеханической связью. Теоретические результаты, полученные для ниобата лития находятся в хорошем соответствии с экспериментальными данными.

6. Проведен строгий теретический анализ влияния вязкой жидкости на распространение SHo волн в тонкой пластине ниобата лития. Получено хорошее соответствие теоретических результатов и экспериментальных данных.

7. Теоретически проанализировано влияние освещенности на скорость и затухание волны с поперечно - горизонтальной поляризацией в структуре пьезоэлектрическая пластина - фотопроводящий слой конечной толщины. Установлено, что существует определенное соотношение толщин слоев, при котором структура обладает максимальной чувствительностью к освещенности в видимом оптическом диапазоне.

8. Теоретически исследовано влияние внешнего электрического напряжения на характеристики ,5'о и SHo волн, распространяющихся в пластине из ниобата лития или ниобата калия с гетероструктурой GaAs-AlGaAs-InGaAs, расположенной на ее поверхности. Показано, что использование нормальных волн в пластинах вместо ПАВ существенно повышает чувствительность подобных структур к внешнему электрическому напряжению.

9. Теретически проанализирован акустоэлектрический эффект в структуре пье-зоэлектрическия пластина - тонкий проводящий слой. Получены зависимости относительной и полной акустоэдс в структурах на основе ниобата лития или ниобата калия. При этом в качестве проводящего слоя использовались арсенид галлия или антимонид индия. Проведенные исследования показывают на перспективность использования акустоэлектрического эффекта на волнах в пластинах для разработки и создания различных измерителей и детекторов с высокой разрешающей способностью.

1. Кольский Г. Волны напряжения в твердых телах. Пер. с англ. М. 1955. 4.1. гл.З.

2. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория упругости. 3 изд. М. 1968. гл. 1-3 (Теоретическая физика. Т.7)

3. Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М. 1957. гл.1.

4. Бергман Л. Ультразвук и его применение в науке и технике, пер. с нем., 1956. 4.2.

5. Ермолов И.Н., Алешин Н.П., Потапов А.И. Неразрушающий контроль. Кн. 2. М.: Высшая школа, 1991.

6. Nongaillard В., Ourak М., Logette P. and Gazalet M.G. Nondesructive surface testing method using focused ultrasonic surfase and Lamb waves// J. Appl. Phys. 1985. V. 57 (5). P. 1746-1748.

7. Применение ультразвука в промышленности. М.-София. 1975.

8. Викторов И.А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах. М.: Наука. 1981. 287 С.

9. Физическая акустика под редакцией У. Мэзона, пер. с англ. т.1, ч.А. М. 1966. гл. 2.

10. Кучеров И.Я., Островский И.В. Нормальные волны в пластинках кристаллов симметрии CqvII УФЖ. 1970. Т.15. N.7.

11. Хыонг Д.Х., Коцаренко Н.Я., Федорченко A.M. Усиление волн Лэмба в пье-зополупроводниках кубической симметрии// УФЖ. 1970. Т.15. N.11.

12. Кучеров И.Я., Островский И.В. Возбуждение поперечных волн в пластинах CdS и влияние проводимости на их затухание// УФЖ. 1971. Т.16. N.2. С.209-213.

13. Бурлий П.В., Кучеров И.Я., Омельяненко М.Ю., Островский И.В. Исследование влияния проводимости на скорость распространения волн Лэмба в CdS// УФЖ.1975. Т.20. N.2.

14. Yamaguchi М., Hashimoto К., Tanno М., Kogo Н. High coupling Lamb waves propagating in a ZnOjSiOi composite membrane// The Trans, of the IECE of Japan. 1986. V.69. N2. P.97-98.

15. Mizutani K. and Toda K. Analysis of Lamb wave propagation characteristics in rotated Y- cut X- propagation LiNbOz plates// Electron, and Communic. in Japan. 1986. pt. 1. V. 69. N.4. P.47-55.

16. Adler E.L. Electromechanical coupling to Lamb and shear- horizontal modes in piezoelectric plates// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Control.1989. V.36. N.2. P.223-231.

17. Joshi S.G. and Jin Y. Exitation of ultrasonics Lamb waves in piezoelectric plates// J. Appl. Phys. 1991. V.69. P.8018-8024.

18. Joshi S.G., Jin Y. Propagation of ultrasonic Lamb waves in piezoelectric plates// J.Appl.Phys. 1991. V.70. N.8. P.4113-4120.

19. Jin Y., Joshi S.G. Propagation of quasi- shear- horizontal acoustic wave in Z-X lithium niobate plates// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Control.1996. V.43. P.491-494.

20. Jin Y. and Joshi S.G. Lamb wave propagating in 128° Y-X Litium Niobate plates// IEEE Utrason. Sump. 1993. P.847-851.

21. Wang C.-Y. and Achenbach J.D. New expressions for Lamb's problem in solids of general anisotropy// IEEE Ultrason. Sump. 1998. P.427-429.

22. Joshi S.G., Jin Y. Characteristics and application of quasi-shear-horizontal acoustic waves//Ultrasonics. 1996. V.34. P.507-509.

23. Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E. Investigation of quasi-shear-horizontal acoustic waves in thin plates of lithium niobate// Smart and Material Structures. 1997. V.6. P.739-744.

24. Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Joshi S.G. Theoretical and experimental investigations of QSH (quasi shear horizontal) acoustic waves// Ultrasonics. 1998. v.36. N 1-5. P. 31-35.

25. Joshi S.G., Jin Y. Electromechenical coupling of ultrasonic Lamb Waves// J. Acoust. Soc. Am. 94 (1) July. 1993. P. 261-267.

26. Joshi S.G., Jin Y. Coupling of interdigital transduser to ultrasonic Lamb waves// Appl.Phys. Lett. 1991. V.58. N.17. P.1830-1832.

27. Martin S.J., Ricco A.J., Niemczyk T.M., Frye G.C. Characterization of SH acoustic plate mode liquid sensors// Sensoers and Actuators. 1989. V.20. P.253-268.

28. Ballantine D.S., White R.M., Martin S.J., Ricco A.J., Zellers E.T., Frye G.C., Wohltjen H. Acoustic Wave Sensors. San Diego: Academic Press, 1997, ch.3.

29. Teston F., Feuillard G., Tessier L., Lethecq M. Mass sensitivity of acoustic plate mode in liquids// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Control.1998. V.45. N.5. P.1266-1272.

30. Liew S., Josse F., Haworth D.T., Shana Z.A., Kelkar U.R., Grunze M. Applications of lithium niobate acoustic plate mode as sensor for conductive liquids// Proc. of IEEE Ultras. Symp. 1990. P.285-290.

31. Vellekoop M.J. Acoustic wave sensors and their technology// Ultrasonics. 1998. V.36. N.l-5, P.7-14

32. Costello B.J., Martin B.A., and White R.M. Ultrasonic plate waves for biochemical measurements// in Proc of IEEE Ultrason. Symp. B.R.McAvoy, Ed. New York: IEEE. 1989. P.977-981.

33. Moreau A., Ketterson J.В., and Davis B. A new ultrasonic method for measuring elastic modul in unsupported thin films: application to Cu-Pd superlattices// J. Appl. Phys. 1990. V. 68. P.1622-1628.

34. Moroney R.M., White R.M., and Howe R.T, Microtransport included by ultrasonic Lamb waves// Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59. P.774-776.

35. Sze S.M. Pysics of semiconductor devices. Wiley: New York. 1981.

36. Rotter M., Ruile W., Wixforth A., Kotthaus J.P. Voltage controlled SAW velocity in GaAsILiNbOZ hybrids// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 1999. V.46. N1. P.120-125.

37. Wixforth A., Kotthaus J.P., Weimann G. Surfase acoustic waves in GaAs/AlxGi-xAs heterostructures// Phys. Rew. Vol.B.40. P.7874. 1989.

38. Rotter M., Rocke C., Bohm S., Lorke N., Wixforth A., Ruile W., Korte L. Single -chip fused hybrids for acoustoelectric and acoustooptics applications// Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70. P. 2097-2099.

39. Wixforth A., Scuba J., Wassermeier J., Kotthaus G., Weimann G., Schlapp W. Interaction of surfase acoustic waves with a two-dimensional electron system in LiNb03 — GaAs/AlGaAs sandwich structure// J. Appl. Phys. 1988. V.64. P. 2213-2215.

40. Slobodnik A.J., Conway J.R. and E.D. Microwave acoustic handbook. V.1A. Surface wave velocities. Air Force Systems Command, USAF. 1973.

41. Kovacs G., Anhorn M., Engan H.E., Visiniti G., Ruppel C.C.W. Improved material constants for LiNb03 and LiTa03 // Proc. IEEE Ultras. Symp. 1990. V.l. P.435-438.

42. Cho Y., Yamanouchi K. Nonlinear, elastic, piezoelectric, electrostrictive and dielectric constants of lithium niobate// J. Appl. Phys. 1987. V.61(3). N.l. P.875-887.

43. Zgonik M., Schlesser R., Biaggio I., Tscherry J., Gunter P., Voit E. Materials constants of KNb03 relevant for electro- and acousto-optics// J. Appl. Phys. 1993. V.74. N2. P.1287-1297.

44. Yamanouchi K., Odagava H., Kojima T. Matsumura T. Theoretical and experimental study of super high electromechanical coupling surfase acoustic wave propagation in KNbOz single crystal// Electon. Lett. 1997. 33.(3). P. 193-194.

45. Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E. Surface acoustic waves in a gallium arsenide -conducting layer structure// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 1996. V.43. N6. P.1130-1132.

46. Зайцев Б.Д., Кузнецова И.Е., Нефедов И.С. Затухание акустических волн Рэлея на поверхности арсенида галлия со слоем двумерного электронного газа/ / Письма в ЖТФ. 1994. Т.20. В.4, С.60-64

47. Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E. Propagation of QSH (quasi shear horizontal) acoustic waves in piezoelectric plates// Trans, on IEEE Ultras., Ferroel. and

48. Freq. Control. 1999. V.46. N5. P.1298-1302.

49. Tiersten H.F., Sinha B.K. Perturbation analysis of the attenuation and dispersion of surface waves // J.Appl. Phys. 1978. V.49. N1. P.87-95.

50. Niemczyk T.M., Martin S.J., Frye G.C., Ricco A.J. AcOustoelectric interaction of plate modes with solutions// J. Appl. Phys. 1988. V.64. N.10. P.5002-5008.

51. Wenzel A.J., Maxtin B.A., White R.M.// Proc. of the 1988 IEEE Ultras. Symp. P.563.

52. Nomura Т., Takebayashi M., Furukawa S., Obana M.// Proc. of the 1995 IEEE Symp. P. 547.

53. Shana Z. and Josse F. Analysis of liquid-phase-based sensors utilizing SH surfase waves on rotated Y-cut quarts// Proc. of the 1988 IEEE Ultrason. Sump. P.549-554.

54. Josse F. and Sanna Z.//J. Acoust. Soc. Am. V. 85(4). 1989. P. 1556.

55. Zhang D. and Tong L.// Proc. of the 1994 IEEE Ultrason. Symp. P.639.

56. Jin Y. and Joshi S.G.// Proc. of the 1997 IEEE Ultrason Symp. P.381.

57. Кучеров И.Я., Островский И.В. Возбуждение поперечных волн в пластинах CdS и влияние проводимости на их затухание// УФЖ. 1971. Т.16. N. 2. С. 209-213.

58. Васькова В.И., Деев В.Н., Пятаков П.А. Фотоиндуцированное изменение скорости поверхностной акустической волны в кристаллах силиката и германата висмута// ФТТ. 1984. Т. 26. в. 8. С. 2338-2343.

59. Миргородский В.И., Пешин С.В. Акустоэлектронное затухание в условиях нестационарной фотопроводимости// ФТП. 1988. Т. 22. в. 8. С. 1486-1488.

60. Лямов В.Е., Участкин В.И. Некоторые вопросы взаимодействия ультразвуковых волн с электронами проводимости// Труды ИК АН СССР. М. 1965. С. 11-121.

61. Кмита A.M., Медведь А.В. Поперечный акустоэлектрический эффект в слоистой структуре LiNbOz Si// Письма в ЖЭТФ. 1971. Т.14. N.8. С.455.

62. Кмита A.M., МеДведь А.В., Федорец В.Н. Влияние поперечного дрейфа электронов на поглощение поверхностных акустических волн в CdS// Физика твердого тела. 1976. Т. 18. N.12. С.3610-3614.

63. Вьюн В.А., Ржанов А.В., Яковкин И.Б. Акустоэлектронные методы исследования поверхности полупроводников// Новосибирск: ИФП СО АН СССР. 1978. 126 С.

64. Боритко С.В., Гуляев Ю.В., Мансфельд Г.Д. Особенности детектирования радиосигналов с помощью акустоэлектрического эффекта// Радитехника и электроника. 1984. N.6. С. 1179-1185.

65. Бородина И.А., Зайцев Б.Д., Синицын Н.И., Калинин В.Ю., Висюлькин Ю.Ф. Устройство для измерения распределения импульсного электромагнитного поля в микрополосковой линии// А.с. N1374150, заявлено 19.08.86, опубл.15.02. 88, Bkxji.N6.

66. Дьелесан Э., Руайе Д. Упругие волны в твердых телах. М.: Наука. 1982. 4241. С.

67. Ильин В.А., Позняк Э.Г. Аналитическая геометрия. М. Наука. 1968., 232 С.

68. Балакирев М.К., Гилинский И.А. Волны в пьезокристаллах. Новосибирск: Наука. 1982. 237 С.

69. Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E. Electric field influense on acoustic waves// Handbook of an advanced photonic and electronic materials and devises edited by H.S. Nalwa Academic Press. USA. 2000. V.4. Ch.4.P.139-174.

70. Акустические кристаллы, под ред. М.П.Шаскольской. М.: Наука. 1982. 632 С.

71. Urabe S., Uku S. Valtage controlled monolithic SAW phase shifter using MZOS structure// El. Lett. 1980. V.16. P. 777-778.

72. Yamaguchi M., Tanno M., Hashimoto K., Kogo H. Propagation characteristics of SAW on ZnO jSiOi high-velocity-structure// Japanese Journ. of Appl. phys. 1986. V.25. Suppl. 25-1. P.127-129.

73. Coldren L.A. Effect of bias field in zinc-oxide-on-silicon acoustic convolver// Appl. Phys. Lett. 1974. V.25. N.9. P.473-475.

74. Альтшиц В.И., Любимов В.Н., Науменко Н.Ф., Переломова Н.В., Шувалов A.JI. Особые объемные упругие волны в кристаллах различной симметрии// Кристаллография. 1985. Т.ЗО. N. 2. С. 213-219.

75. Бородина И.А., Джоши С.Г., Зайцев Б.Д., Кузнецова И.Е. Акустические волны в тонких пластинах ниобата лития// Акуст. журн. 2000.Т.46. N.l. С.42-46.

76. Бородина И.А., Джоши С.Г., Зайцев Б.Д., Кузнецова И.Е Акустические волны в твердых телах. 4.2. Изд. СГУ: Саратов. 2000. 32 С.

77. I.E.Kuznetsova, B.D.Zaitsev, S.G.Joshi, I.A.Borodina Investigation of Acoustic Waves in Thin Plates of Lithium Niobate and Lithium Tantalate// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 2001. V.48. Nl. P.322-328

78. Borodina I.A., Joshi S.G., Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E. Acoustic Waves in Thin Plates if Lithium Niobate// Acoustical Physics. 2000. V.46. N.l, P.42-46.

79. Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Joshi S.G., Borodina I.A. Acoustic plate waves in potassium niobate single cristal// Electronic Letters. 1998. V.34. N23. P.2280-2281

80. Джоши С.Г., Зайцев Б.Д., Кузнецова И.Е., Бородина И.А. Исследование коэффициента электромеханической связи акустических волн в тонких пластинах ниобата калия// Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. В.8. С.67-70.

81. Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Borodina I.A., Joshi S.G. Characteristics of acoustic plate waves in potassium niobate (KNb03) single crystal// Ultrasonics. 2001. V.39. N1. P.51-55.

82. Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Joshi S.G., Borodina I.A. Superhigh electromechanical coupling for acoustic plate waves in potassium niobate// IEEE Ultras. Symp. 1999. Nevada. USA. Oct.17-21 1999, pp.305-309

83. Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Borodina I.A., Joshi S.G. Characteristics of acoustic plate waves in potassium niobate (KNb03) single crystal// Ultras. Int.'99. 29 June-lJuly 1999. Denmark.

84. Гуляев Ю.В., Кузнецова И.Е., Зайцев Б.Д., Джоши С.Г., Бородина И.А. Влияние тонкого проводящего слоя с поверхностной проводимостью на характеристики акустических волн в ниобате калия// Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. N.8. С.21-26.

85. Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E., Borodina I.A. Influence of conducting laier and conducting electrode on acoustic waves in potassium niobate plates// IEEE

86. Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 2001. V.48. N.2. P.624-626.

87. Кузнецова И.Е., Зайцев Б.Д., Бородина И.А., Попов В.В. Влияние тонкого проводящего поверхностного слоя на свойства квазипоперечных сдвиговых волн и волн Лэмба в пластинах арсенида галлия// Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. N3. С.38-43.

88. Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Joshi S.G., Borodina I.A. Shear horizontal acoustic waves in piezoelectric plates bordered with conductive liquid// IEEE Trans, on on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 2001. V.48. N.2. P.627-631.

89. Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E., Borodina I.A. Acoustic waves in piezoelectric plates bordered with viscous and conductive liquids // Ultras. International'99, 29 June 1 July, 1999, Denmark.

90. Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E., Borodina I.A. Acoustic waves in piezoelectric plates bordered with viscous and conductive liquids// Ultrasonics. 2001. V.39. N.l.

91. Олеск А.О. Фоторезисторы// 1966. M.-JI. изд. Энергия. 128 С.

92. Borodina I.A., Ermolenco A.V., Zaitsev B.D., Sinitsyn N.L External electric field ifluenceon SAW velosity in MSD-structure// Proceed, of 5-th Conf. "Acoustoelectronics'91" 1991. Varna. Bulgaria.P.116-118.

93. Бородина И.А., Голубский А.А., Ермоленко А.В., Зайцев Б.Д., Осипенко В.A., Синицын Н.И.Влияние внешних постоянных и переменных электрических полей на скорость ПАВ в МДП структуре// Акуст. ж. 1994. Т.40. В.З. С.439-440.

94. Borodina I.A., Ermolenco A.V., Zaitsev B.D., Sinitsyn N.I. Microwave signal processing by acoustic waves in piezosemiconductor MSD structures// Proceed, of the Int. Conf. "Signal Prosessing" 1990. Riga. Latvian. V2.P.107-109.

95. Бонч-Бруевич В.JI., Калашников С.Г. Физика полупроводников. М.: Наука. 1977. 672С.