1/f шум в металлах тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. Современное состояние исследований шума металлов.

§1.1. Проблема ^ф спектра.

§ 1.2. Экспериментальное исследование шума металлов.

§ 1.3. Синтез спектра и гипотезы о физических механизмах Vf шума металлов.

§ 1.4. Постановка задачи.

ГЛАВА 2. Зависимость избыточного шума пленок алюминия от структурных факторов.

§ 2.1. Краткая характеристика образцов. Влияние технологических режимов получения пленок на избыточный шум.

§2.2. Влияние дисперсности структуры на уровень избыточного шума.

§ 2.3. Влияние механических напряжений на уровень избыточного шума.

§ 2.4. Применение шума для оценки качества пленок алюминия

§ 2.5. Выводы по второй главе.

ГЛАВА 3. Избыточный шум пленок алюминия при релаксационных структурных процессах и температурная зависимость шума.

§ 3.1. Снижение уровня избыточного шума цри низкотемпературном отжиге.

§ 3.2. Влияние механических напряжений.

§ 3.3. Температурная зависимость шума.

§ 3.4. Выводы по третьей главе.

ГЛАВА 4. Избыточный шум медных цроволок.

§ 4.1. Препарирование и отбор образцов для исследований.

§ 4.2. Контрольные эксперименты.

§ 4.3. Зависимость интенсивности шума от геометрических размеров образцов.

§ 4.4. Выводы по четвертой главе.

ГЛАВА 5. Обсуждение экспериментальных результатов

§ 5.1. Влияние дефектов структуры.

§ 5.2. Флуктуации числа точечных дефектов.

§ 5.3. Выводы по пятой главе.

Проблема флуктуации со спектром типа Ур ,которые называются также избыточным или фликкерчпумом,является одной из основных проблем современной статистической радиофизики (см. последние обзоры [1-7] ). Она представляет,во-первых,принципиальный интерес в связи с тем,что природа флуктуации до сих пор не известна;во-вторых эта проблема имеет большое прикладное значение,поскольку (ф шумы оцределяют достигнутую в настоящее время чувствительность приемных и усилительных устройств на низких частотах (-Г ^ I кГц), стабильность частоты и фазы генераторов высоких частот и т.д. [6-9] ♦

В последнее время наибольшее внимание исследователей привлекают флуктуации в полупроводниках и металлах - относительно простых системах,в которых решение цроблемы^ф шума естественно ожидать в первую очередь [6] . Изучение избыточных шумов в твердых телах представляет и самостоятельный интерес, так как в них находят отражение многие электронные и атомные цроцессы,а также особенности структуры вещества и поэтому измерение избыточных шумов становится ценным методом исследования в физике твердого тела (см.,например, [10-12] ) и других областях. На практике,в частности,экспериментально установленную связь {ф флуктуавдй с качеством материалов и устройств с успехом используют для контроля изделий,например,полупроводниковых цриборов [13,14] и црогнозирования их надежности.

Однако, ее ли шумы полупроводников изучаются систематически и всесторонне,то сведения о сравнительно недавно обнаруженном избыточном шуме металлов продолжают оставаться довольно отрывочными, и их изучение является весьма актуальным. Такие исследования представляют интерес не только для выяснения природы 1/р шума,но могут найти и непосредственное црактичес-кое црименение,например,для контроля качества и надежности металлических слоев - важной проблемы современной микроэлектроники (см.,например, №]). В настоящее время интерес к шумам металлов нецрерывно возрастает - об этом свидетельствует, в частности, последняя (7-ая) Международная конференция по шумам в физических системах (Монпелье, 1983) [I6J .

С принципиальной и прикладной точек зрения большое значение имеет вопрос о влиянии структурных факторов на уровень и характер Ч^ шума металлов. Эта сторона явления практически не изучена.

Цель настоящей работы состоит в экспериментальном исследовании связи Ц шума металлов с-особенностями их структуры, выявлении существенных структурных факторов; в изучении избыточного шума при различных физических воздействиях на образцы.

Объектами исследования выбраны тонкие пленки алюминия и медные нити,интенсивность Ч^ шума которых имеет аномалии неустановленного происхождения.

Материал диссертации расцределен по главам следующим образом. Первая глава имеет обзорный характер. В ней отмечены основные проблемы,связанные со спектром типа (ф , приведены и систематизированы результаты экспериментальных исследований Ч^ шума металлов и рассмотрены теоретические подходы к его объяснению. На основании анализа литературных источников дана детальная постановка задач,решаемых в диссертации,обоснован выбор объектов и материалов для исследования.

Во второй главе приведены результаты экспериментального исследования зависимости 4$ шума пленок алюминия от технологических и структурных факторов. Установлено существенное влияние дисперсности структуры и собственных механических напряжений на интенсивность шума. Обсуздаются физические причины, позволяющие использовать уровень ^ шума для оценки качества пленок и их надежности,

В третьей главе изучается ^ф шум пленок алюминия при необратимых перестройках структуры. Обнаружено снижение уровня шума при низкотемпературном отжиге и установлено,что оно, происходит при исчезновении вакансионных скоплений, образовавшихся при конденсации пленок; исследуется влияние механических напряжений на релаксационные изменения уровня шума. В этой же главе приводятся результаты экспериментального исследования температурной зависимости (ф шума пленок алюминия и дается объяснение появления низкотемпературного плато на кривых зависимости уровня шума металлов от температуры.

Четвертая глава посвящена исследованию избыточного шума в образцах с более совершенной структурой - монокристаллических по сечению медных цроволоках. Обнаружена неприменимость формулы Хоухе к описанию шума этих объектов,и установлена иная закономерность.

В пятой главе цроводится обсуждение полученных результатов. На основании совокупности данных делается вывод об определяющем влиянии границ зерен и степени их дефектности на избыточный шум исследованных металлов. Рассматривается модель избыточного шума из-за модуляции соцротивления. образца фдук-туациями числа точечных дефектов,цроисходящими на границах зерен.

В приложениях дано описание применяемой измерительной установки и приведены расчетные формулы,использованные при обработке экспериментальных данных.

В заключении сформулированы основные результаты работы, которые выносятся на защиту.

Подученные в диссертации результаты докладывались на Ш Всесоюзной конференции "Флуктуационные явления в физических системах (Вильнюс, 1982 г.), П Всесоюзном научно-техническом семинаре "Электрофдуктуационная диагностика материалов и изделий микроэлектроники" (Казань, 1981 г.), И Всесоюзном научно-техническом семинаре "Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем" (Рязань, 1981 г.),на семинарах кафедры физики колебаний физического факультета МГУ и опубликованы в работах [185,186,190,193,194,208,229,233,244] .

Выход eg

CD

Рис. П.Г.З. Принципиальная схема малошумящего предварительного усилителя [l85j. VD1 - стабилитрон Д818Б, VD2- диод Д9К,Ч/Т^ . .VT4 - транзистора II27A,VT5- транзистор. 2П303А. Все резисторы - проволочные сопряжения (9) и на ЭВМ Seiko S-30f(io), где данные возводились в квадрат и усреднялись в течение заданного времени (примерно 3 глин). На печать выводилось значение среднего квадрата шумового напряжения в полосе частот Д-Рэ и пределы 90 $-го доверительного интервала измерений. Калибровка установки цроводилась от генератора синусоидальных сигналов и по тепловому шуму образца.

Входные блоки установки (на рис. П.1.2 обведены штриховой линией) тщательно экранировались от внешних электромагнитных полей. Были приняты меры по фильтрации питающих напряжений. В отсутствии собственных избыточных шумов установки убеждались цутем замещения образца проволочным резистором из толстой проволоки.

Чувствительность установки была не хуже 0,4 hB/\Tti7 в указанном диапазоне частот. Среднеквадратичная ошибка измерений, как правило, не превышала 20 %. В первых работах [185,190] установка некоторыми деталями отличалась от описанной выше. Вместо регистрации на ЭВМ применялась регистрация на самописце (см. [l85J ).

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Выносимые на защиту основные результаты работы можно кратко сформулировать следующим образом.

1. Обнаружена сильная зависимость интенсивности V-p шума пленок алюминия от степени дисперсности структуры -вплоть до возрастания уровня шума на несколько порядков величины при двухкратном уменьшении средних размеров зерен ["186,190,193,194,208] .

2. Установлено,что уровень растягивающих механических напряжений оказывает влияние на интенсивность '/р шума пленок алюминия. Для пленок, обладающих высокими собственных® напряжениями ( ^ ^ 2.10^ Н/м2), характерен большой разброс по интенсивности шума. При растяжении пленок, осажденных на эластичные подложки, изменение уровня шума цроисходит только при пластической деформации пленок; при упругих деформациях интенсивность шума не изменяется [185,190] .

3. Обнаружено значительное необратимое снижение уровня шума при низкотемпературном отжиге алюминиевых пленок и установлено, что оно происходит при исчезновении вакансион-ных скоплений, образовавшихся в процессе конденсации пленок [185,229] .

4. При исследовании избыточного шума пленок алюминия в диапазоне температур 150+460 К обнаружено, что при температурах Т > 220 К температурная зависимость уровня шума описывается классической актквационной формулой, а при меньших температурах - выходит на плато.

Показало, что обнаруженное низкотемпературное плато, равно как и аналогичные участки температурной зависимости Up шума других металлов, объясняется влиянием нулевых колебаний решетки на миграцию точечных дефектов [l85,233j .

5. На основании исследования избыточного шума проволок меди установлено, что известная формула Хоухе не описывает

V-Р шум металлов с бамбуковой структурой. В монощшсталли-ческих по сечению проволоках относительная спектральная плотность обратно пропорциональна длине, а не объему образца [244J.

6. На основании полученных экспериментальных данных сделан вывод об определяющем влиянии дефектов структуры на уровень и характер '/р шума металлов [l85,186,190,193,194, 208,229,233,244] .

В заключение я приношу глубокую благодарность профессору В.В.Потемкину за содержательное и тактичное научное руководство. Я искренне цризнателен его ученикам различных поколений - Г.П.Жигальскому за руководство моими первыми шагами и постоянное сотрудничество, А.В.Степанову за многочисленные дискуссии, советы и помощь, М.Е. Герценштейну за обсуждение широкого круга вопросов, связанных с данной работой.

Пользуюсь случаем поблагодарить за сотрудничество И.Н. Брылова и А.И.Отрезова,оказавших большую помощь при изготовлении пленок, измерении механических нацряжений и пористости. Я с благодарностью отмечаю вклад А.Ф.Андрушко, Г.В.Бушуевой и Г.П.Нетишенской в проведение структурных исследований. Ими изготовлены все снимки в просвечивающих электронных микроскопах.

Я признателен также сотрудникам кафедры физики колебаний физического факультета ШУ за ценные советы, содействие в решении ряда практических вопросов и доброжелательное отношение.

1. "Van der Ziel A. Flicker noise in electron devices. - Adv. Electron. Electron Phys., 1979, v. 49, 225-297.

2. Hooge F.N., KLeipenning Т.С.Ж., Vandamme L.K.J. Experimental studies on I/f noise. Rep. Progr. Phys., 1981» v. 44, No 5, 479-532.

3. Dutta P., Horn P.M. Low-frequency fluctuations in solids: I/f noise. Rev. Mod. Phys., 1981, v. 53, No 3, 497-516.

4. Bell D.A. A survey of I/f noise in electrical conductors. -J. Phys. 0: Solid St. Phys., 1980, v. 13» No 24, 4425-4437.

5. Press W.H. Flicker noises in astronomy and elsewhere. Comments Astrophys., 1978, v. 7, No 4r I03-II9.

6. Коган Ш.М. Новые экспериментальные исследования механизма шума I/f. УВД, 1977, т. 123, № I, I3I-I36.

7. Бочков Г.Н., Кузовлев Ю.Е. Новое в исследованиях I/f шума. -УФН, 1983, т. 141, № I, I51-176.

8. Малахов А.Н. Флуктуации в автоколебательных системах. М.: Наука, 1968.

9. Вайнгатейн Л.А., Вакман Д.Е. Разделение частот в теории колебаний и волн. М.: Наука, 1983, § 5.3.

10. Лукъянчикова Н.Б. Флуктуационные процессы в освещаемых полупроводниках. Литовский физический сборник, 1980, т. 20,1. J& 5, 25-50.

11. Celasco М., Fiorillo F., Mazzetti P. Thermal-equilibrium properties of vacancies in metals through current-noise measurements. Phys, Rev. Lett., 1976, v. 36, No I, 38-42.

12. Masoero А», Mazzetti P., Stepanescu A. Current noise in W205;jc films due to surface adsorption of water. Vacuum,1977, v. 27, No 34-9-351.

13. Нарышкин A.K., Врачев А.С. Теория низкочастотных шумов. -М.: Энергия, 1972.

14. Пряников B.C. Прогнозирование отказов полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1978.

15. Johnson J.B. The Schottky effect in low frequency circuits. Phys. "Rev., 1925, v. 28, No 7, 71-85.

16. Caloyannides M.A. Microcycle spectral estimates of I/f noise in semiconductors. J. Appl, Phys., 1974* v. 4-5, No I, 307-316.

17. Toss R.F., Clarke J. "I/f noise" in music: Music from I/f noise. J. Acoust. Soc. Am., 1978, v. 63, No I, 258-263.

18. Малахов A.H. К вопросу о спектре фликкер-гаума. Радиотехника и электроника, 1959, т. 4, № I, 5.4-62.

19. Врачев А.С. НЧ шум и принцип возрастания энтропии. Труды МЕИ, 1978, № 375, 67-71.

20. Radeka Т. I/|fl Noise in physical measurements. IEEE Erans. Nuclear Sci., 1969, v. N5-16, No 5, 17-35.

21. Колачевский H.H. Магнитные шумы. M.: Наука, 1971.

22. Потемкин В.В. Шумы в нелинейных реактивных системах: Авто-реф. дисс. на соиск. учен, степени доктора физ.-мат. наук. -М.: МГУ, 1971.

23. Бузько A.M. Магнитные шумы в пермаллоевых пленках. Автореф.дисс. яа соиск. ученой степени канд. физ.-мат. наук. М.: МГУ, 1975.

24. Абрамов А.С. Экспериментальное исследование низкочастотных шумов магнитных материалов в зависимости от температуры и режимов перемагничивания. Автореф. дисс. на соиск. ученой степени канд. физ.-мат. наук. М.: МГУ, 1979.

25. Бузько A.M., Потемкин В.В. О медленных флуктуациях циклического перемагничивания тонких магнитных пленок. ВМУ, серия 3: Физика, астрономия, 1983, т. 24, № I, с. 52-57.

26. Musha Т. Theory of I/f fluctuation of particle concentration in thermal equilibrium. Physica, 1975, v. 80Af1. No 4, 387-397.

27. Tandon J.I»., Bilger H.R. I/f Noise as a nonstationary process: Experimental evidence and some analytical conditions. J. Appl. Phys., 1976, v. 47, No 4, I697-I70I.

28. Hooge F„N. I/f Noise. Physica, 1976, v. 83b, No I, 14-23.

29. Dutta p,f Dimon P.t Horn P.M. Energy scales for noise processes in metals. Phys. Rev. Lett., 1979, v. 43, No 9, 646-649.

30. Van Vliet K.M., van Leenwen C.J., Block J"., His C. Measurements on current noise in carbon resistors and in thermistors, Physica, 1954, v. 20, No 8, 481-496.

31. Suh C.H., van der Ziel A. A noise spectrum, described by a distribution in time constants. Appl, Phys. Lett., 1980, v. 37, No 6, 565-566.

32. Rollin. B.V., Templeton I.M. Noise in semiconductors at very low frequencies. Proc. Phys. Soc., 1953, v. B66, part 3, 259-261.

33. Firle Т.Е., Winston H„ Noise measurements in semiconductorsat very low frequencies, J. Appl. Phys., 1955» v. 26, No 6, 716-717.

34. Mandelbrot B. Some noises with I/f spectrum, a bridge between direct current and white noise. IEEE Trans. Inform. Theory, 1967, v. IT-I3, No 2, 289-298.

35. Mandelbrot B.t van Ness J.W. Fractional Brou.ntan motions, fractional noises and applications. SIAM Rev., 1968, v. 10, No 422-437.

36. Brophy j.j, Statistics of I/f noise. Phys. Rev., 1968, v. 166, No 3, 827-831.

37. Greenstein L.J., Brophy J.J. Influence of lower cutoff frequency on the measured variance of I/f noise. J. Appl. Phys., 1969, v. 40, No 2, 682-685.

38. Brophy J.J. Variance Fluctuations in flicker noise and current noise. J. Appl. Phys., 1969, v. 40, No 9, 3551-3553.

39. Brophy J.J, Low-frequency variance noise. J. Appl. Phys., 1970, v. 41, No 7, 2913-2916.

40. Purcell W.E. Variance noise spectra of I/f noise. J. Appl, Phys., 1972, v. 43, No 6,. 2890-2895.

41. Dell R.A., Epstein M., Kannewurt C.R. Experimental study of I/f noise stationarity by digital techniques. J. Appl. Phys., 1973, v. 44, No I, 472-476.

42. Moore W.J. Statistical Studies of I/f noise from carbon resistors. J, Appl. Phys., 1974, v. 45, No 4, 1896-1901.

43. Stoisiek M., Wolf D. Recent investigations on the stationarity of I/f noise. J. Appl. Phys., 1976, v. 47, No I, 362-364.

44. Потемкин В.В., Степанов А.В. О стационарном характере шума I/f в низкочастотном диапазоне. Радиотехника и электроника, 1980, т. 25, № 6, 1269-1275.

45. Потемкин В.В., Степанов А.В. Исследование статистических свойств шума 1/д . В кн.: Тезисы докладов II Всесоюзной конференции "Флуктуационные явления в физических системах", Вильнюс, 1979, с. 66-67.

46. Hooge F.Nr, Hoppenbrouwers А.М.Н. Amplitude distribution of I/f noise. Physica, 1969» v. 42, No 3» 331-339.

47. Nelkin M., Tremblay A„-M.S. Deviation of I/f voltage fluctuations from scale-similar Gaussian behavior. J. Stat. Phys., 1981, v. 25, tfo 2, 253-268.

48. Bell D.A., Dissanayake S.P.B. Variance fluctuations of 1Д noise. Electron. Lett., 1975» v. П, No 13, 274.

49. Hooge F.N,, Hoppenbrouwers A.M.H. I/f Noise in continuous thin gold films. Physica, 1969, v. 4?, No 386-392.

50. Hooge F.N. I/f Noise is no surface effect. Phys. Lett., 1969, v. 29A, No 3» 139-140.

51. Рытов C.M. Введение в статистическую радиофизику. Часть I. М.: Наука, 1976.

52. Fleetwood D>M,, Masden J.T., Giordano N. I/f Noise in platinum films and ultrathin platinum wires: Evidence for a common, bulk origin. Phys. Rev. Lett., 1983, v. 50, No ^ 450-453.

53. Voss R.F., Clarke J. Flicker (I/f) noise: equilibrium temperature and resistance fluctuations. Phys. Rev. B, 1976, v. 13, No 2t 556-573.

54. Eberhard J.W»r Horn P.M. Excess (I/f) noise in metals. -Phys. Rev. B, 1978, v. 18, No 12, 6681-6693.

55. Fleetwood D.M., Giordano N. Resistivity dependence of I/f noise in metal films. Phys. Rev. B, 1983, v. 27, No 2,667.671.

56. Weissman M.B. Comment on "Theory of I/f noise in metal films and whiskers". Phys. Rev. B, 1978, v. 18, No 8, 4538-4539.

57. Mikalinsky M., Starobinets S. Nonlinear mechanism for I/f noise. Phys. Rev. B, 1980, v. 21, No 12, 5558-5564.

58. Bull C.S., Bozic S.M. Excess noise in semiconducting devices due to fluctuations in their characteristics when signals are applied. Brit. J". Appl. Phys., 1967» v. 18, No 7, 883-895.

59. Lorteijje J.H.J., Hopperibrouwers A.M.H. Anqplitude modulation by I/f noise in resistors results in I/fcf noise. — Phil. Pes. Repts, 1971, v. 26, No I, 29-39.

60. Jones B.K., Francis J.D. Direct correlation between I/f and other noise sources. J". Phys. D: Appl. Phys., 1975» v. 8, No 10, И72-П76.

61. Паленскис В.П., Леонтьев Г.Е., Миколайтис Г.С. К вопросу о природе 1/£ шума в линейных резисторах и р-n переходах. -Радиотехника и электроника, 1976, т. 21, № II, 2433-2434.

62. Jones В.К. I/f and I/Af noise produced by a radio—frequen— су current in a carbon resistors. Electron. Lett., 1976, v. 12, No 4, 110-III.

63. VossR.F., Clarke J. I/f Noise from systems in thermal equilibrium. Phys. Rev. Lett., 1976, v. 36, No 31, 42-45.

64. Beck H.G.E., Spruit W.P. I/f Noise in the variance of Johnson noise. J. Appl. Phys., 1978, v. 49» No 6, 3384-3385.

65. Hooge P.N., Kleirrpenning t.g.m. Comment on "Current noise measurements in continuous metal thin films". Appl. Phys. Lett., 1975, v. 27, No 3, 160.

66. Celasco M., Fiorillo F., Masoero A. Comment on I/f noise and its temperature dependence in silver and copper, -Phys. Rev. B, 1979, v. 19, No 2, 1304-1506.

67. Eberhard J.W., Dutta p., Horn P.M. Reply to "Comment oil J/f noise and its temperature dependence in silver and copper".- Phys. Rev. B, 1979, v. 19, No 2, 1307-1309.

68. Clarke J., Voss R.F. I/f Noise from thermal fluctuations in metal films. Phys. Rev. Lett., 1974, v. 33, No I, 24-27.

69. Hooge F.N., Kedzia J., Vandamme L.K.J. Boundary scattering and I/f noise. J. Appl. Phys., 1979, v. 50, No 12, 80878089.

70. Vandamme L.K.J., Kedzia J. Concentration, mobility and I/f noise of electrons, holes in thin bismuth films. Thin Solid Films, 1980, v. 65, No 3, 283-292.

71. Hooge F.N., Hoppenbrouwers A.M.H. Contact noise. Phys. Lett., 1969, v. 29A, No II, 642-643.

72. Hoppenbrouwers A.M.H., Hooge F.N. I/f Noise of spreading resistances. Phil. Res. Repts, 1970, v. 25, No 2, 69-80.

73. Vandamme L.K.J. I/f Noise of point contacts affected by uniform films. J. Appl. Phys., 197^» v. 45, No 10, 45634565.

74. Hooge F.N. Discussion of recent experiments on I/f noise. -Physica, 1972, v. 60, No I, 130-144.

75. Black R.D., Weissman M.B., Restle P.J. I/f Noise in silicon wafers. J. Appl. Phys., 1982, v. 53, No 9, 6280-6284.

76. Stroeken J.T.M., H.einpenning T.G.H. I/f Noise of deformed crystals. J. Appl. Phys., 1976, v. 47, No 10, 4691-4692.

77. Kedzia J., Vandamme L.K.J. I/f Noise in liquid and solid gallium. Phys. Lett., 1978, v. 66A, No 4t 313-314.

78. Vande Voorde P., ladings С.К.» Love W.F. Structure in the flicker-noise power spectrum of n-In Sb. Phys. Rev. B,1979, v. 19, No 8t 4121-4124.

79. Зайцев Г.А., Хребтов И.А. Исследование низкочастотных шумов сверхпроводящего болометра. Радиотехника и электроника, 1978, т. 23, J& 5, I05I-I060.

80. Коваленко А.С. Влияние пузырькового кипения гелия на низкочастотные шумы сверхпроводящих точечных контактов. 32ТФ,1980, т. 50, Л 3, 637-639.

81. Eberhard J.W., Horn P.M. Temperature dependence of I/fnoise in silver and copper. Phys. Rev. Lett., 1977, v. 39, No 10, 643-646.

82. Dimon P., Butta P., Horn P.M. I/f noise in bismuth films. -Bull. Am. Phys. Soc., 1979, v. 24, 358.

83. Fleetwood D.M., Giordano N. Experimental study of excess low-frequency noise in tin. Phys. Rev. B, 1982, v. 25, No 2, 1427*-1430.

84. Clarke J., Hsiang T.Y. Low-frequency noise in superconducting Sit films at the transition temperature. IEEE ©pans, on Magn., 1975, v. MAG-II, No 2, 845-847.

85. Clarke J., Hsiang T.Y. Low-frequency noise in tin films at superconducting transition. Phys. Rev. Lett., 1975, v. 3% No 19, 1217-3220.

86. Clarke J., Hsiang Т.Г. bow-frequency noise in tin and lead films at superconducting transition. Phys. Rev. B, 1976, v. 13, Но II, 4790-4800.

87. Weissman M.B. A general relation between resistance fluctuations from enthalpy fluctuations and resistance response to current changes. Appl. Phys. Dett., 1978, v. 32, No 3, 193-194.

88. Weissman M.B. Reconciliation between thermodynamics and noise measurements on metal film resistors. Phys. Rev. Lett., 1978, v. 41, No I, 1-3.

89. Weissman ffi.B., Bollinger Gf.D. Noise from equilibrium enthalpy fluctuations in resistors. J. Jppl. Phys., 1981, v. 52, No 5, 3095-3098.

90. Dutta P., Eberhard J.W., Horn P.M. I/f Noise in metal films: The role of the substrate. Solid State Comrnun., 1978, v. 27, No 32, I389-I391.

91. Dutta P., Eberhard J.W., Horn P.M. I/f Noise in copper whiskers. Solid State Commun., 1977, v. 21, No 7, 679.

92. Leeman C., Skove M.J., Stillwell B.P. Excess "I/f" noise in bismuth whiskers. Solid State Commun., 1980, v. 35,1. No 2, 97-ЮО.

93. Weissman M.B. Relation between geometrical factors for noise magnitudes in resistors. J. Appl. Phys., 1980, v, 51, No II, 5872-5875.

94. Black R.D., Snow W.M., Weissman M.B. Nonscalar I/f conductivity fluctuations in carbon, gold and chrome films. -Phys. Rev. B, 1982, v, 25, No 4, 2955-2958.

95. Ю0. Williams J.L., Burdett R.K. Current noise in thin goldfilms. <7. Phys. G: Solid State Phys., ser. 2, 1969» v. 2, 298-507.

96. Williams J.L., Stone I.L. Current noise in thin discontinuous films. J. Phys. C: Solid State Phys., 1972, v. 5r No 16, 2105-2116.

97. Celasco M., Masoero A., Mazzetti P., Stepanescu A. Electrical conduction and current noise mechanism in discontinuous metal films. I. Theoretical. Phys. Rev. B, 1978, v. 17, No 6, 2553-2563.

98. Celasco M., Masoero A., Mazzetti P., Stepanescu A. Electrical conduction and current noise mechanism in discontinuous metal films. II, Experimental. Phys. Rev. B, 1978, v. 17, No 6, 2564-2574.

99. Celasco ИТ», Masoero A., Stepanescu A. Electrical conduction and current noise in discontinuous platinum films. Phys. Rev. B, 1978, v. 17, No 8, 30I0-30I6.

100. Жигальский Г.П., Федоров А.С. Избыточный шум в пленках хрома. В кн.: Сборник научн. трудов по проблемам микроэлектроники. Сер. полупроводниковые приборы и интегральные схемы. - М.: МИЭТ, 1976, вып. 27, с. 147-157.

101. Жигальский Г.П., Карев А.В. Пространственная корреляция шума вида I/j? в пленках хрома. Радиотехника и электроника, 1977, т. 22, В 12, 2610-2616.

102. Жигальский Г.П., Куров Г.А., Сиранашвили И.Ш. Избыточный шум и механические напряжения в тонких пленках хрома. -Известия вузов, Радиофизика, 1983, т. 26, & 2, 207-213.

103. Гимпельсон В.Д., Радионов Ю.А. Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники. М.: Машиностроение, 1976, с. 68.

104. Black R.D., Weissman М.В. I/f Noise in metal films lacks spatial correlation. Phys. Rev. B, 1981, v. 24, No 12, 7454-7456.

105. Brophy J.J. Fluctuations in hot tungsten filaments. -J. Appl. Phys., 1963, v. 34, No 7, 1890-1893.

106. May E.J.P., Aniageli Н.Ж. bow-frequency noise in incandescent tungsten filaments. Electron Lett., 1974,v. IO, No 13, 250-251.

107. Li S.C., Chen T.M. Noise in metal bolometers. J. Appl. Phys., 1967, v. 38, No 9, 3449-3451.

108. Адерихин В.И. Экспериментальное исследование низкочастотных шумов проволочного болометра. В кн.: Образцовые средства измерений в радиотехнике сверхвысоких частот: Сборник научн. трудов ВНИИФТРИ, М., 1980, с. 79-88.

109. Малахов А.Н., Якимов А.В. К вопросу о природе фликкерных флуктуаций. Радиотехника и электроника, 1974, т. 19,А/211, с.2436-2438.

110. Стратонович Р.Л. Избранные вопросы теории флюктуаций в радиотехнике. М.: Сов. радио, 1961.

111. Keshner M.S. 1/t Noise. Proc. ЗЕВЕ, 1982, v. 70, No 3, 212-218.

112. Бонч-Бруевич В.Л. К теории генерационно-рекомбинационного шума в полупроводниках. ФТТ, 1965, т. 7, № 7, 21472155.

113. Bernamont J. Fluctuations in the resistance of thin films. Proc. Phys. Sac., I937i v. 49,(Suppl.), No 7, 138-139.

114. Van der Ziel A. On the noise spectra of semiconductor noise and of flicker effect. Physica, 1950, v. 16, No 4, 359-372.

115. Du Pre F.K. A suggestion regarding the spectral density of flicker noise. Phys. Rev., 1950, v. 78, No 6, 615.

116. Schonfeld H, Beitrag zum I/f-Gesetz beim Rauschen von Halbleitern. Zeit. fur Naturforsch., 1955, v. 10a, No 4, 291-300.

117. Halford D. A general mechanical model for If spectral density random noise with special reference to flicker noise I/|f|. Proc. IEEE, 1968, v. 56, No 3, 251-258.

118. Barnes J.A., Allan D.W. A statistical model of flicker noise. Proc. IEEE, 1966, v. 54, No 2, 176-178.

119. Van Vliet K.M., Mehta H. Theory of transport noise in semiconductors. Phys. Stat. Sol. (b), 1981, v. 106, No I, 11-30.

120. Климонтович Ю.Л. Остаточные временные корреляции и спектр I/f цри броуновском движении. ЮТ, 1981, т. 80, № 6, 2243-2249.

121. Климонтович Ю.Л. Статистическая физика. М.: Наука, 1982, гл. II, § 17.

122. Климонтович Ю.Л. Естественный фликкер-шум. Письма в ЛЕЮ, 1983, т. 9, № 7, 406-410.

123. Вайнштейн Л.А. К теории фликкерного; шума. 1ЭТФ, 1982,т. 83, № 5, I84I-I850.

124. Richardson J.M. The linear theory of fluctuations arising from diffusional mechanisms An attempt at a theory of contact noise. - Bell Syst. Techn. J.» 1950, v. 29, No I, II7-I4I.

125. Weissman M.B, Simple model for I/f noise. Phys. Rev. Lett., 1975» v. 35, No II, 689-692.

126. Weissman M.B. A model for I/f noise from singularities in the fluctuation weighting function. J. Appl. Phys., 1977, v. 48, No 4, 1705-1707.

127. Weissman M.B. A mechanism for I/f noise in diffusing membrane channels. Biophys. J., 1978, v. 21, No I, 8791.

128. Weissman M.B. Experimental verification of a theory of I/f noise in a model system. Phys. Rev. Lett., 1979, v. 43, No II, 733-736.

129. Liindstrom I., Mc Queen D., KLason C. On Low-frequency and I/f noise from diffusion like processes. Solid State

130. Сомгоп., 1973, v. 13, No 12, 1941-1944.3358. Tan Tliet K.E., van der Ziel A., Schmidt H.R. Temperature-fluctuation noise of thin films supported by a substrate. J. Appl. Phys., 1980, v. 51, No 6, 2947-2956.

131. Terveen A.A., Derksen H.E. Fluctuation phenomena in nerve membrane. Proc. IEEE, 1968, v. 56, No 6, 906-916.

132. Ngai К.Б.,Unified theory of I/f noise and dielectric response in condensed matter. Phys. Rev. B, 1980, v. 22, No 4, 2066-2077.

133. Коган Ш.М., Нагаев К.Э. Низкочастотный токовый шум в твердых телах и внутреннее трение. ФТТ, 1982, т. 24, № II, 3381-3388.

134. Weissman М.В., Black R.D., Restle P.J., Ray Т. Thermally activated features in I/f noise in silicon on sapphire. Phys. Rev. B, 1983, v. 27, No 2, 1428-1431.

135. ITiller S.C. I/f Noise from surface generation and annihilation: Application to metal films. Phys. Rev. B, 1981, v, 24, No 6, 3008-3014.

136. Якимов А.В. Диффузия примесей и дефектов и фликкерные флуктуации числа носителей в проводящих средах. Известия вузов, Радиофизика, 1980, т. 23, № 2, 238-243.

137. Якимов А.В. Адсорбционный механизм фликкерных флуктуаций сопротивления тонких проводящих пленок. Известия вузов, Радиофизика, 1982, т. 25, № 3, 303-312.

138. Pellegrini В. New theory of flicker noise. Phys. Rev. B, 1980, v. 22, No TO, 4684-4691.

139. Pellegrini B. One model of flicker, burst, and generation-recombination noises. Phys. Rev. B, 1981, v. 24, No 32, 7071-7083.

140. Pellegrini В. Diffusion, mobility fluctuation, and island models of flicker noise. Phys. Rev. B, 1982, v. 26,1. No 4, 1791-1797.

141. Pellegrini B.t Saletti R., Terrini P., Prudenziati M. I/f noise in thick-film resistors as an effect of tunel and thermally activated emissions from measures versusfrequency and temperature. Phys. Rev. B, 1983, v. 27, No 2, 1233-1243.

142. Мотт H., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах /Пер. с англ. под ред. Б.Т.Коломийца. М.: Мир, 1982.

143. Зеегер А., Фелль X., Франк В. Собственные междоузельные атомы, вакансии и их скопления в кремнии и германии. В кн.: Точечные дефекты в твердых телах. Сб. статей /Пер. с англ. под ред. Б.И.Болтакса, Т.В.Машовец, А.Н.Орлова.

144. М.: Map, 1979, с. 163-186.

145. Ketchen М.В., Clarke J. Tenqperature fluctuations in freely suspended tin films at superconducting transition. -Phys. Rev. B, 1978, v. 17, No Ir 114-121.

146. Weissman M.B., Feher G. Observation of energy (thermal) fluctuations in an electrolytic solution, J. Chem. Phys., 1975, v. 63, No I, 586-587.

147. Sato Н» Theory of temperature fluctuations and I/f noise.- J. Phys. Soc. Jap., 1978, v. 44, No I, 49-53.

148. Sato H. Note on temperature fluctuations as an origin of I/f noise in metals. Physica, 1979, v. 97B, No 2-3, 194-198.

149. Liu S.H. Theory of I/f noise in metal films and whiskers.- Phys. Rev. B, 1977, v. 16, No 10, 4218-4223.

150. Putterman S. Mode-coupled fluctuations and I/£ noise» -Phys. Rev. Lett., 1977, v. 39, No 10, 585-587.

151. Kleipenning T.G.M. Temperature fluctuations and I/f noise in semiconductors and metals. Physica, 1976, v. 84B,1. No 3, 353-361.

152. Scofild J.H., Darling D.H., Webb W.W. Exclusion of temperature fluctuations as the source of I/f noise in metal films. Phys. Rev. B, 1981, v. 24, No 12, 74-50-7453.

153. Handel P.H. Quantum approach to I/f noise. Phys. Rev. A, 1980, v. 22, No 2, 745-757.

154. Beck H.G.E. Model of I/f noise in ion implanted resistors as a function of the resistance, determined by a reverse bias voltage. Solid-State Electron., 1979» v. 22, No 5» 475-478.

155. Walma A.A. On the superposition of relaxation spectra as an explanation for I/f noise. Rev. Phys. Appl., 1980, v. 15, No 9, 1435-1443.

156. Teitler S., Osborne M.F.M. Phenomenological approach to Low-frequency electrical noise. J. Appl. Phys.,. 1970, v. 41, No 8, 327^-3276.

157. Teitler S., Osborne M.F.M. Similarity arguments and an inverse-frequency noise spectrum for electrical conductors. Phys. Rev. Lett., 1971, v. 27, No 14, 912-915.

158. Handel P.H. Turbulence theory for the current carriers in solids and a theory of I/f noise. Phys. Rev. A, 1971, v. 3, No 6, 2066-2073.

159. Stephany J.F. Origin of I/f noise. J. Appl. Phys., 1975, v. 46, No 2, 665-667.

160. Stephany J.F. Origin of I/f noise. A source of magneticallygenerated I/f noise. J. Appl. Phys.» 1975» v. 46, No II, 50I0-50II.

161. Врачев A.C. Постепенная деградация и проблема НЧ шума в полупроводниковых приборах. Труды МЕИ, 1975, вып. 270, с. 37-44.

162. Врачев А.С. О природе НЧ шума в полупроводниковых приборах. Труда МШ, 1976, вып. 288, с. II8-I22.

163. Врачев А.С. НЧ шум и надежность полупроводниковых приборов. Труды МЖ, 1977, вып. 334, с. 78-80.

164. Врачев А.С. О термодинамическом подходе к проблеме низкочастотного шума. I. Известия вузов, Радиотехника, 1980, т. 23, № 12, 1464-1469.

165. Врачев А.С. О термодинамическом подходе к проблеме низкочастотного шума. II. Известия вузов, Радиофизика, 1980, т. 23, В 12, 1470-1472.

166. Miiller О., Pest J. Thermal feedback in power semiconductor devices. IEEE Trans. Electron. Dev., 1970, v. ED-17,1. No 9, 770-782.

167. Etuller 0. Temperature fluctuations and flicker noise in p-n junction diodes. IEEE Тгапя. Electron. Dev., 1974, v. ED-2I, No 8, 539-540.

168. Miiller 0. A formula for I/f-flicker noise in p-n junctions АЕТГ, 1974, v. 28, No 10, 429-432.

169. Miiller 0. Calculating flicker noise of p-n junctibn diodes. AEU, 1974, v. 28, No II, 450-454.

170. Кузовлев Ю.Е., Бочков Г.Н. О происхождении и статистических параметрах равновесного I/f шума. Письма в ЖТФ, 1982, т. 8, № 20, 1260-1263.

171. Кузовлев Ю.Е., Бочков Г.Н. К вопросу о происхождении и статистических характеристиках I/^f-шума. Известия вузов, Радиофизика, 1983, т. 26, $ 3, 310-317.

172. Palenskis V,, Shoblitskas Z. Origin of I/f noise. Solid State Comnrun., 1982, v» 43, По Ю, 761-763.

173. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образова- ! ния и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972.

174. Точицкий Э.И. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Минск: Наука и техника, 1976.

175. Вакансии и другие точечные дефекты в металлах и сплавах: Сб. статей /Пер. с англ. под ред. В.М.Розенберга. М.: Металлургия, 1961.

176. Возврат и рекристаллизация металлов: Сб. статей /Пер. с англ. под ред. В.М.Розенберга. М.: Металлургия, 1966.

177. Дефекты в закаленных металлах: Сб. статей /Пер. с англ. под ред. А.А.Цветаева. М.: Атомиздат, 1969.

178. Жигальский Г.П., Бакши И.С. Избыточный шум в тонких алюминиевых пленках. Радиотехника и электроника, 1980,т. 25, № 4, 771-780.

179. Потемкин В.В., Жигальский Г.П., Бакши И.С., Брылов И.Н. Избыточный шум пленок алюминия, осажденных в атмосфере аргона. Электронная техника. Серия 8: Управление качеством и стандартизация, 1983, )& 4/103/, 10-12.

180. Киттель Ч. Введение в физику твердого тела /Пер. с англ. под ред. А.А.Гусева. М.: Наука, 1978.

181. Технология тонких пленок: Справочник /Под редакцией Л.Майсела, Р.Глэнга /Пер. с англ. под ред. М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко. М.: Сов. радио, 1983.

182. Кацнельсон М.Ю., Балаев Г.А. Пластические массы: Справочник. Л.; Химия, 1978.

183. Андрушко А.Ф., Бакши И.О., Шгальский Г.П. Влияние структурных факторов на I/f шум тонких алюминиевых пленок. -Известия вузов, Радиофизика, 1981, т. 24, В 4, 498-502.

184. Таблицы физических величин: Справочник /Под ред. И.К.Кикоина. М.: Атомиздат, 1976.

185. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции /Под ред. Дж.Поута, К.Ту, Дж.Мейера /Пер. с англ. под ред. В.Ф.Киселева и В.В.Поспелова. М.: Мир, 1982.

186. Потемкин В.В., Бакши И.О., Жигалъский Г.П. I/f шум в поликристаллических пленках алюминия. В кн.: Флуктуационные явления в физических системах: Материалы III Всесоюзной конф. Вильнюс, 1983, с. 125-127.

187. Потемкин В.В., Бакши И.О., Жигалъский Г.П. Шум вида I/f в поликристаллических пленках алюминия. Радиотехника й электроника, 1983, т. 28, Je II, 22II-22I6.

188. Томас Г. Электронная микроскопия металлов. Прямое исследование металлов в просвечивающем электронном микроскопе /Пер. с англ. под ред. Л.М.Утевского. М.: ИЛ, 1963.

189. Салтыков С.А. Стереометрическая металлография. М.: Металлургия, 1976.

190. Палатник Л.С., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в пленках. М.: Энергоиздат, 1982.

191. Гоффман Р.У. Механические свойства конденсированных пленок. В кн.: Физика тонких пленок /Под ред. Г.Хасса и Р.Э.Туна /Пер. с англ. под ред. В.Б.Сандомирского. - М.: Мир, 1968, т. 3, с. 225-298.

192. Куров Г.А., Жигалъский Г.П. Учебное пособие по курсу: "Физика пленок". М., ШЭТ, 1980, с. 86.

193. Палатник JI.С., Ильинский А.И. Механические свойства металлических пленок. УШ, 1968, т. 95, $4, 613-645.

194. Джексон Дж.Дж. Деформации в закаленных металлах. Б кн. 184. , с. 317-356.

195. Ван Бюрен. Дефекты в кристаллах /Пер. с англ. под ред.

196. A.Н.Орлова, В.Р.Регеля. М.: ИЛ, 1962.

197. Хирт Дд., Лоте И. Теория дислокаций /Пер. с англ. под ред. Э.М.Надгорного и Ю.А.Осильяна. М.: Атомиздат, 1972.

198. Фридель Ж. Дислокации /Пер. с англ. под ред. А.Л.Ройтбур-да. М.: Мир, 1967.

199. Такамура Джин-йчи. Точечные дефекты. -В кн.: Физическое металловедение /Под ред. Р.Кана /Пер. с англ. под ред.

200. B.М.Розенберга. М.: Мир, 1968, т. 3, с. 87-148.

201. Глейтер Г., Чалмерс Б. Болыпеугловые границы зерен /Пер. с англ. С.Н.Горина и В.М.Половова. М.: Мир, 1975.

202. Кимура Г., Мадцин Р. Влияние закаленных вакансий на механические свойства металлов и сплавов. В кн. 184. , с. 188269.

203. Физические основы надежности интегральных схем /Под ред.

204. Ю.Г.Миллера. М.: Сов. радио, 1976.

205. Колешко В.М., Белицкий В.Ф. Массоперенос в тонких пленках. Минск: Наука и техника, 1980.

206. Berexibaum L. Effect of oxygen on the electromigration behavior of Al thin films. Appl. Phys. Lett., 1972,v. 20, Но II, 434-436.

207. Vossen J.L. Screen of metal films detected by current noise measurements. Appl. Phys. Lett., 1973, v. 23, No 6, 287-289.

208. Куров Г.А., Жильков Э.А., Дубодел В.М. и др. Макроскопические дефекты в тонких металлических пленках. ДАН СССР, 1974, т. 219, $ 3, 582-585.

209. Куров Г.А., Жильков Э.А., Дубодел В.М. и др. Кинетика образования сквозных макроскопических пор в тонких пленках и пленочных структурах. ФТТ, 1974, т. 16, № 10, 2873-2878.

210. Блатт Ф. Физика электронной проводимости в твердых телах /Пер. с англ. под ред. Г.Л.Краско и Р.А.Суриса. М.: Мир, 1971.

211. Томпсон М. Дефекты и радиационные повревдения в металлах /Пер. с англ. под ред. В.Е.Юрасовой. М.: Мир, 1971.

212. Гегузин Я.Е. Макроскопические дефекты в металлах. М.: Металлургия, 1962.2IS. Чопра К.Л. Электрические явления в тонких пленках /Пер. с англ. под ред. Т.Д.Шермергора. М.: Мир, 1972.

213. Клерб£вЛ.М., Харгривс М.Е., Моретто М.Х. Изменения внутренней энергии при возврате и рекристаллизации. В кн., I8Efl, с. 69-122. >

214. Вандермеер Р.А., Гордон П. Влияние возврата на рекристаллизацию алюминия. В кн. 183., с. 195-219.

215. Балуффи Р.В., Кёлер Дж.С., Сиимонс P.O. Современное состояние знаний о точечных дефектах в металлах с ГЦК решеткой. В кн. 183. , с. 9-68.

216. Федеричи Т. Исследование точечных дефектов в закаленном алюминии и алюминиевых сплавах методом электросопротивления. В кн. 184. , с. 134-187.

217. Иошида Ш., Киритани М., Шимомура И. Образование вторичных дефектов в закаленном алюминии. В кн. 184. , с. 118130.

218. Винтенбергер М. В разделе "Общая дискуссия" кн. 182. , с. 251-254.

219. Любов Б.Я., Соловьев В.А. Некоторые вопросы термодинамики вакансионного изменения дефектной структуры металла /обзор/. Физика и химия обработки материалов, 1972,2, с. 57-66.

220. Кулон П., Фридель 'Я. Образование каверн на дислокациях. -В кн.: ДЗдслокации и механические свойства кристаллов /Пер. с англ. под ред. М.В.Классен-Неклюдовой и В.Л.Ин-денбома. М.: ИЛ, I960, с. 366-387.

221. Дамаск А., Дине Дж. Точечные дефекты в металлах /Пер. с англ. под ред. Б.Я.Любова. М.: Мир, 1966.

222. Бокштейн С.З. Диффузия и структура металлов. М.: Металлургия, 1973.

223. Гребенник И.П., Подус Г.Н., Семинько И.В. Исследование процессов старения вакуумных конденсатов меди и серебра. -ФММ, 1975, т. 39, » 6, II98-I204.

224. Коттрел А.Х. Точечные дефекты и механические свойства металлов и сплавов при низких температурах. В кн. 182., с. 7-53.

225. Потемкин В.В., Герценштейн М.Е., Бакпш И.С. Проявление нулевых колебаний решетки в температурной зависимости 1/р шума металлов. Известия вузов, Физика, 1983, т. 26, & 4, II4-II5.

226. Alefeld G. Rate theory in solids at low temperatures. -Phys, Rev. Lett., 1964, v. 12, По 13, 372-375.

227. Flynn С .P. Atomic migration in monatomic crystals. -Phys. Rev., 1968, v. 171, No 3, 682-698.

228. Yakhot T.S. Quantum theory of localized defect migration in solids. Phys. Stat. Sol. (b), 1971, v. 48, No I,141.148.

229. Feltham P. Quantum effects in the plasticity of crystals. Phys. Stat. Sol. (b), 1980, v. 98,. No 2, 301-306.

230. Старцев В.И., Ильичев В.Я., Пустовалов В.В. Пластичность и прочность металлов и сплавов при низких температурах. -М.: Металлургия, 1975.

231. Нечволод Н.К. Ползучесть кристаллических тел при низких температурах. Киев-Донецк: Вища школа, 1980.

232. Kogure Г., Hiki Т. Effect of dislocations on low-temperature thermal conductivity and specific heat of copper-aluminium alloy crystals. J. Phys. Soc. Jap., 1975,v. 39, No 3, 698-707.

233. Косевич A.M. Основы механики кристаллической решетки.- М.: Наука, 1972.

234. Андреев В.Н., Захарченя Б.П., Капшия Ю.С. и др. Низкочастотный шум в двуокиси ванадия, испытывающей фазовый переход металл-полупроводник. ЖЭТФ, 1980, т. 79, № 4, 13531362.

235. Алексеюнас А., Барейкис В., Бондаренко В., Либерис Ю. Флуктуации тока в металлическом состоянии V02. В кн.: Тезисы докладов II Всесоюзной конф. "Флуктуационные явления в физических системах". - Вильнюс, 1979, с. 79-80.

236. Потемкин В.В., Бакши И.О., Захарова М.В. I/? шум в медных проволоках. Препринт физического факультета МГУ,1. В 15/1983, 1983, 5 с.

237. Надгорный Э.М., Смирнов Б.И. К вопросу о структуре микропроволоки меди. ФТТ, I960, т. 2, JS 12 , 3048-3049.

238. Бадинтер Е.Я., Берман Н.Р., Драбенко И.Ф. и др. Литой микропровод и его свойства. Кишинев: Штиинца, 1973.

239. Meaden G-.T. Electrical resistance of metals. New Torlci Plenum Eress, 1965.

240. Hand-book of chemistry and physics, 48th ed., Cleveland: Chemical Rubber со, 1967-1968,p. E-74.

241. Ларсон Д.К. Размерные эффекты в электропроводности тонких металлических пленок и проволок. В кн.: Физика тонких пленок /Под ред. М.Х.Франкомба и Р.У.Гофмана /Пер. с англ. под ред. В.Б.Сандомирского и А.Г. Ждана. - М.: Мир, 1973, т. 6, с. 97-170.

242. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты. М.: Атомиздат, 1979.

243. Исаева Р.В. О характере отражения электронов проводимостиот поверхности нитевидных монокристаллов меди. Письма в КЭТФ, 1966, т. 4, № 8, 3II-3I4.

244. Chambers R.Gr. The conductivity of thin wires. Proc. Roy. Soc., A, 1952, v. 215, No 3, 481.

245. Плешкова A.E., Щербаков Г.П. О структуре жилы медного микропровода в стеклянной изоляции. Вопросы радиоэлектроники. Серия 3: Детали и компоненты аппаратуры, 1964,10, II0-II6.

246. Тегарт В. Электролитическое и химическое полирование металлов. М.: ИЛ, 1957.

247. Попилов Л. Я., Зайцева Л. П. Электрополирование и электротравление металлографических шлифов. М.: Металлургиздат, 1963.

248. Аннанурова И.А., Доника Ф.Г., Захарова М.В. и др. Механические свойства композиционных микропроволок. Известия АН Молд. ССР, серия физико-технич. и математич. на^к, 1983, В 2, с. 22-27.

249. Лук!ьянчикова Н.Б., Гарбар Н.П., Сащук А.П. Сотношение Хо-ухе и особенности поведения Х/р шума в германии. В кн.: Флуктуационные явления в физических системах: Материалы III Всесоюзной конф. - Вильнюс, 1983, с. 106-108.

250. Стеблин В.Н. Экспериментальное исследование зависимости I/f шума тонких алюминиевых пленок от их толщины: Дипл. работа. М.: физич. ф-т МГУ, 1984, 37 с.

251. Гегузин Я.Е. Диффузия по реальной кристаллической поверхности. В кн.: Поверхностная диффузия и растекание /Под ред. Я.Е.Гегузина. - М.: Наука, 1969, с. 11-77.

252. Ван дер Зил А. Шумы при измерениях /Пер. с англ. под ред. А.К.Нарышкина. М.: Мир, 1979.

253. Дине Дк., Винйард Дк. Радиационные эффекты в твердых телах /Пер. с англ. под ред. Г.С.Жданова. М.: ИЛ, I960.

254. Шрифалько Л.А. Статистическая физика твердого тела /Пер. с англ. под ред. В.З.Кресина и Б.М.Струнина. М.: Мир, 1975.

255. Бокштейн Б.С. Диффузия в металлах. М.: Металлургия, 1978.

256. Ван дер Зил А. Флуктуационные явления в полупроводниках /Пер. с англ. под ред. Ф.В.Бункина. М.: ИЛ 1961.

257. Гегузин Я.Е. Диффузионная зона. М.: Наука, 1979.

258. Лариков Л.Н. Залечивание дефектов в металлах. Киев: На-укова думка, 1980.

259. Сквайре Дд. Практическая физика /Пер. с англ. под ред. Е.М.Лейкина. М.: Мир, 1971, с. 48.