Электродный СВЧ-разряд пониженного давления тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

§ 1. Электродный СВЧ разряд пониженного давления.

§ 2. Инициированный СВЧ разряд. Пространственные структуры свободнолокализованного СВЧ разряда.

§ 3. Двойные электрические слои.

§ 4. Системы похожей геометрии.

Термин «СВЧ-плазма» объединяет плазменные образования, полученные в различных СВЧ устройствах (СВЧ-разряды). В настоящее время разработаны многочисленные СВЧ устройства для получения плазмы и свойства последней оказываются зависящими от способа ее получения. Такие устройства определяют, в частности, связь внешних параметров (давление, мощность, частота) с внутренними параметрами плазмы (средние энергии частиц, функции распределения по энергиям, концентрации и т. д.). Поэтому при анализе такой плазмы целесообразно рассматривать СВЧ-разряд-систему, представляющую плазму в конкретном газоразрядном устройстве.

СВЧ-разрядами обычно называют разряды, создаваемые с помощью электромагнитных волн с частотой, превышающей 300 МГц.

СВЧ-разряды заняли прочное место в ряду других генераторов плазмы. Интерес к этой области науки и технологии обусловил и проведение специализированных периодических научных совещаний, посвященных проблемам СВЧ плазмы. Эти международные совещания "Strong Microwaves in Plasmas" (проводится раз в три года в ИПФ РАН) и "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications" (проводится раз в три года попеременно в России и за рубежом). Труды этих совещаний содержат исчерпывающую информацию о СВЧ-разрядах и СВЧ-плазме. На их основании составлены обзорные работы [1-3].

Основным элементом СВЧ-разряда является устройство (аппликатор), позволяющее вводить электромагнитную энергию в разрядный объем. Этот узел определяет структуру электромагнитного поля, энергетическую эффективность устройства, широкополосность, зависимость свойств плазмы от частоты, уровни минимальной и максимальной мощности. Класс СВЧ-разрядов объединяет многочисленные и разнообразные устройства, разработанные, как правило, для решения различных прикладных задач. Все конструкции СВЧ диапазона могут быть условно разделены на несколько групп в соответствии с принципами, положенными в основу их работы.

Основные типы генераторов СВЧ-плазмы: а) основанные на передающих линиях СВЧ, б) на основе резонаторов СВЧ, в) с использованием волн в плазме, г) с применением замедляющих структур, д) с распределенным в пространстве вводом энергии в плазму, е) в волновых пучках, ж) с электродными СВЧ системами, з) с инициированными СВЧ-разрядами. и) с применением комбинаций полей СВЧ диапазона и других частот, к) в СВЧ системах с внешними магнитными полями.

Одним из основных достоинств СВЧ разрядов всегда считалось то, что они позволяют легко получать плазму, свободную от электродов. В настоящее время созданы сотни конструкций безэлектродных СВЧ источников плазмы. Несколько лет назад в лаборатории физико-химии импульсных процессов Института нефтехимического синтеза была начат цикл исследований малоизученной формы неравновесного СВЧ разряда пониженного давления (0.5-30 Тор) - плазменного образования, появляющегося в неоднородном СВЧ поле у электрода и имеющего размеры существенно меньшие, чем размеры разрядной камеры (называемого далее электродным СВЧ разрядом) [4, 5]. Последнее условие важно, поскольку именно оно позволяет плазме реализовать свойства структурообразования, детерминированного внешними условиями, наблюдаемые в экспериментах. Этот разряд обладает рядом интересных особенностей, например, горит при аномально малых мощностях и имеет резкую границу даже при таких давлениях, когда свойства разряда должны определяться диффузионными процессами. Одним из достоинств разряда, важным для прикладных задач, является возможность создания плазмы в необходимой точке пространства.

Были предприняты эксперименты по изучению возможностей использования нового разряда. Это были эксперименты по росту алмазов в смеси Н2 с СН^. Показано, что в плазме такого разряда могут синтезироваться алмазы [6, 7]. В смеси N2+C2H2 были синтезированы нитридоуглеродные покрытия, в частности -нанотрубки. Было показано, что продукты эрозии электрода отсутствуют, несмотря на жесткие условия экспериментов. Возможно применение в плазмохимии и других областях [8].

Хотя к началу работы были продемонстрированы некоторые возможности использования данного разряда, но для эффективного его применения необходимо знать физические процессы, приводящие к возникновению и поддержанию электродного разряда. В литературе данные по общим свойствам разряда и параметрам отсутствовали, и его природа была не ясна. Основными задачами исследования были:

1. Изучение влияния электрода на свойства разряда.

2. Изучение параметров плазмы зондовым и спектрально-оптическими методами.

3. Построение картины физических процессов в разряде.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ,

I. Впервые исследована новая форма СВЧ разряда - электродный СВЧ разряд пониженного давления в водороде, азоте, аргоне и их смесях при давлениях 0.5-30 Тор и поглощенных мощностях до 15 Вт.

• Исследовано влияние формы электрода на структуру разряда.

• Исследовано пространственное распределение интенсивности интегрального по спектру излучения разряда, его изменение в зависимости от внешних параметров (мощность Wnoo, давление р, диаметр электрода).

• Проведено сравнение структуры разряда в разных газах.

• Проделаны исследования разряда спектральными и зондовым методами.

II. На основе полученных экспериментальных данных построена феноменологическая картина разряда в Нг в исследованном диапазоне давлений и мощностей.

• Вне зависимости от формы электрода разряд всегда состоит из двух областей: яркой тонкой пленки у края электрода, растущей вдоль электрода в направлении, противоположном направлению распространения СВЧ волны, с повышением мощности, и менее яркой, имеющей сферическую с резкой границей форму области, окружающей ее. Поверхность сферической области заряжена.

• Объем обеих областей и роль сферической области (доля в объеме, энерговкладе, излучении разряда) растут при повышении мощности и понижении давления.

• Наличие резкой границы сферической области по интенсивности излучения, концентрации и температуре электронов, не может быть объяснено ничем, кроме наличия у границы плазмы постоянного удерживающего поля, возникающего за счет существования двойного электрического слоя. Сферическая область представляет собой «ловушку», потенциальную яму для электронов.

III. Определены следующие параметры плазмы водородного разряда:

• Температура нейтрального газа Тгаза= 5504-800 К.

• Степень диссоциации молекул водорода х^Ю"4.

IV. Развит и обоснован для условий электродного СВЧ разряда пониженного давления в водороде метод относительных интенсивностей спектральных линий, с помощью которого в сферической менее яркой области разряда определены с пространственным разрешением:

• Напряженность электрического поля Е = 80+130 В/см.

• Концентрация электронов пе = (5-г50)-109 см"3.

• Установлено, что найденные параметры плазмы однородно распределены в сферической области, в тонкой же приэлектродной области разряда напряженность поля резко возрастает (по крайней мере вдвое), а концентрация электронов

11 3 достигает (1-3)-10 см" и превышает критическую для частоты СВЧ поля («7-1010 см"3). Вне светящегося плазменного образования напряженность поля и концентрация электронов экспоненциально спадают.

• Результаты измерений напряженности поля Е и концентрации электронов зондовым и спектральным методами хорошо соответствуют друг другу.

V. Показано, что в активной зоне разряда в азоте ВАХ двойного зонда проходит через ноль при ненулевой постоянной разности потенциалов между зондами, AUp(Ip=0)^0, что может быть интерпретировано, как наличие в разряде постоянных полей. Эта постоянная разность потенциалов Дир(1р=0) и концентрация электронов слабо меняются в сферической области разряда вдоль радиуса и резко спадают (Дир(1р=0) до нуля) на границе светящейся области. Концентрация электронов в разряде при этом растет при уменьшении давления газа и может достигать критической для частоты СВЧ поля.

VI. В разряде в аргоне интенсивность излучения разряда, концентрация и температура электронов монотонно спадают вдоль радиуса. Разряд горит в условиях уровней отражения, значительно превышающих значения для молекулярных газов. Это объясняется тем, что в импедансе плазмы инертных газов, в отличие от молекулярных газов, преобладает реактивная составляющая. С увеличением давления (уже при «10 Тор) разряд приобретает вид перемещающихся нитей, начинающихся на электроде, причем нитевидная структура сильнее проявляется при больших давлениях. Добавление молекулярного газа (кислород, воздух) стабилизирует разряд и делает более четкой его границу, по структуре он приближается к разряду в молекулярных газах. Концентрация электронов на оси разряда может достигать критической для частоты СВЧ поля. Разряд существует при значительно меньших, чем водородный разряд, полях (2.5-4 В/см).

VII. На основании проведенных исследований сформулирована следующая картина физических процессов в разряде в водороде.

1) В области высокой напряженности и большого градиента поля Е вблизи электрода реализуется яркий самостоятельный разряд с закритической концентрацией электронов и большим удельным энерговкладом (приэлектродная пленка). Эта область играет определяющую роль, и разряд без нее не существует.

2) Внешняя сферическая область разряда характеризуется в несколько раз меньшим удельным энерговкладом и близким к однородному распределением поля и концентрации электронов, которая меньше критической. Как концентрация электронов, так и напряженность поля Е слабо меняются с ростом мощности, - в основном происходит только увеличение объема этой области разряда. Это область несамостоятельного разряда. Соотношение полных энерговкладов в приэлектродную и сферическую области определяется электродинамикой системы.

3) Основную роль в разряде в Н2 играют прямые процессы, в отличие от разряда в N2, где существенны ступенчатые процессы. В результате сферическая область разряда в Н2 оказывается несимметричной относительно края электрода и менее однородной, чем в разряде в N2.

4) При определенных условиях свойства разряда могут определяться поверхностной волной (о наличии которой свидетельствуют результаты зондовых измерений). Разряд сходен по свойствам с разрядом на поверхностных волнах, одним из основных параметров которого является зависящая только от давления величина 0 -мощность, поглощаемая одним электроном. Увеличение полного энерговклада в плазму обеспечивается увеличением объема разряда.

5) В формировании сферической области разряда могут играть роль постоянные поля (результаты зондовых измерений указывают на их присутствие), создаваемые плазмой приэлектродной пленки, как нелинейным элементом, помещенным в переменное поле.

6) Разряд ограничен снаружи двойным электрическим слоем, удерживающим плазму в виде компактного образования с резкой границей. Вне его сферической области находится распадающаяся холодная рекомбинирующая плазма.

7) Структура разряда может быть объяснена существованием области самостоятельного разряда (тонкая приэлектродная пленка), области несамостоятельного разряда (сферическая область) и отделенной от нее двойным электрическим слоем области распадающейся плазмы.

В заключение хочу выразить глубокую благодарность своему научному руководителю доктору физико-математических наук Лебедеву Юрию Анатольевичу за руководство работой, постоянное внимание, помощь и терпение. Особую благодарность хочу выразить кандидату физико-математических наук Татаринову А. В. и кандидату химических наук Эпштейн И. JI. за работу по моделированию разряда, участие в обсуждении и проведении всей работы, и кандидату физико-математических наук Солдатовой И. В. за помощь в постановке и проведении спектральных измерений. Автор признателен доктору физико-математических наук Сковороде А. А. за предоставление аппаратуры, помощь и участие в работе по визуализации разряда, и кандидату физико-математических наук Торчинскому В. М. и Пустыльнику М. Ю. за предоставление аппаратуры, помощь и участие в экспериментах с пылью.

1. Лебедев Ю. А. "Химия неравновесных СВЧ-разрядов" // Низкотемпературная плазма. Т. 3. Химия плазмы. Новосибирск: Наука. Сиб. отд-ние. 1991.

2. Бардош Л., Лебедев Ю. А. "Электродный шаровой разряд. Феноменология и результаты зондовых измерений". // ЖТФ. 1998. Т. 68.С. 29.

3. Бардош Л., Лебедев Ю. А. "Некоторые свойства неравновесного электродного СВЧ разряда". // Физика плазмы. 1998. Т. 24. С. 956.

4. Bardos L., Barankova Н., Lebedev Yu. A., Berg S., Nyberg Т. "Diamond deposition in a microwave electrode discharge at reduced pressures". // Diamond and Related Materials. 1997. V. 6. P. 224-229.

5. Бровкин В. Г., Колесииченко Ю. Ф., ХмараД. "Применение СВЧ разрядов для разрушения и диагностики примесей фреонов в воздухе и других газах". // Прикл. физика. 1994. Вып. 4. С. 5.

6. Брандт А. А., Тихомиров Ю. В. //Плазменные умножители частоты. М.: Наука, Главная редакция физико-математической литературы. 1974.

7. Grits in in S. I., Kossyi I. A., et all II 14th Int. Symp. on Plasma Chemistry, Eds. Hrabovsky M., Konrad M., Kopecky V., Inst, of Plasma Phys, Prague, 1999. Vol. 2. P. 675.

8. Bark Yu, В., Gritsinin S. ., Kossyi I. A. et all. "Microwave torch. Physics and Applications". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Abstracts. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 45.

9. Mitsuda Y, Yoshida Т., Akashi K. // Rev. Sci. Instrum. 60 (2) (1989) 249.

10. Grotjohn T. "Electron gas heating in low-pressure, unmagnetized microwave plasmas used for materials processing". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 25.

11. Vikharev A. L., Gorbachev A. M, Koldanov V. A. "Activities for diamond deposition using different pulsed discharges". 11 Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 287.

12. Garcia M. C., Rodero A., Gamero A. et all "Spectroscopic study of a surface-wave argon discharge at atmospheric pressure". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 53.

13. NagatsuM., I to A., Toyoda N., Sugai H. "Mode structures of surface wave plasma excited at 915 MHz". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 137.

14. Shibkov V. M, Chernikov V. A., ErshovA. P. et all. "Surface MW discharge jn dielectric body in a supersonic flow of air". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 145.

15. Yamamoto Т., Kando M. "Surface wave plasma excitation at inner tube of coaxial quartz glass tube". И Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 169.

16. MarecJ., Boisse-Laporte C., Benissad N. "Large MW reactor for thin films deposition". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 251.

17. Bardos L., Barankova H., BergS. II J. Vac. Sci. Technol., A 14 (2) (1996) 1.

18. Lebedev Yu. A., Soldatova I. V., Kholodkevich 0.1. // Appl. Phys. 1994. Vol. 11. №4.

19. Lebedev Yu. A. //Plasma Sources Sci. Technol. 4 (1995) 474.

20. Brovkin V. G., Kolesnichenko Yu. F. "Antenna-tipe initiators and low-threshold microwave ball discharges". // Tech. Phys. 1994. V. 39 (2). P. 222. (Zh. Tekh. Fiz. 1994. V. 64. P. 194-196.)

21. Бровкин В. Г., Колесниценко Ю. Ф., Хмара Д. В. "Принцип структурообразования в инициированном СВЧ-разряде инизкопороговый разряд". // Шаровая молния в лаборатории. М.: Химия. 1994. С. 119.

22. Terebessy Т., KudelaJ., Kando Ы. "Light emission in low-pressure large-area MW discharges". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 163.

23. Батанов Г. M, Грицинин С. И., Коссый И. А. и др. "СВЧ-разряды высокого давления". // Труды ФИАН СССР. 1985. Т. 160. С. 174203.

24. МицукА. В., Мщук В. Е. "Исследование параметров безэлектродного СВЧ-разряда диффузионного вида в воздухе при атмосферном давлении". // Шаровая молния в лаборатории. М.: Химия. 1994. С. 154.

25. Райзер Ю. П. //Лазерная искра и распространение разрядов. М.: Наука, 1974.

26. Зарин А. с., Кузовников А. А., Шибкое В. М. П Свободно локализованный СВЧ-разряд в воздухе. М.: Нефть и Газ. 1996.

27. Шибкое В. М., Александров А. Ф., Кузовников А. А. "Свободно локализованный СВЧ-разряд в воздухе". // Шаровая молния в лаборатории. М.: Химия. 1994. С. 136.

28. Бабарицкий А. И., Герасимов Е. Н.,Демкин С. А. и др. "Импульсно-периодический СВЧ разряд как катализатор химической реакции". //Журнал технической физики. 2000. Т. 70. ВЫП. 11. С. 36-41.

29. Babaritskyi A., DeminskyМ., Gerasimov Е. и др. "Microwave discharge for plasma catalysis". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 187.

30. Гилъденбург В. Б., Ким А. В. // Физика плазмы. 1980. Т. 6. С. 904.

31. ВихаревА. JI., Горбачев А. М., Иванов О. А., Колы с ко А. Л{ Кузнецов О. А. "Пространственные структуры непрерывного СВЧ разряда". //ЖЭТФ. 2001. Т. 120. Вып. 2 (8). С. 366-378.

32. Ершов А. П., Кузовников А. А., Савинов В. П. II Физика граничных слоев плазмы. М.: Изд. Моск. Ун-та. 1990.

33. Райзер Ю. П. II Физика газового разряда. М.: Наука, 1987.

34. Andrews J. G., Allen J. E. "Theory of a double sheath between two plasmas". //Proc. Roy. Soc. bond. A. 320, 459-472. 1971.

35. Кононенко К. И. 11 Детекторные свойства газоразрядной плазмы. М.: Атомиздат. 1980.

36. Аланакян Ю. Р. "Образование плазменной структуры интенсивным потоком электронов (полярное сияние)". // Физика экстремальных состояний вещества -2001. Труды XVI междунар. конф. "Воздействие интенсивных потоков энергии на вещество". Черноголовка, 2001.

37. Rauchle Е. "Duo-plasmaline, a surface wave sustained linearly extended discharge" // J. Phys. IV France. 1998. Vol. 8. Pr7-99. Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. Ill International Workshop. Abbaye Royale de Fontevraud, France. 1997.

38. Ivanov S. Т., Thomae R. W., Klein H., Hilschert F. H. "Plasma bubles on langmuir probe in an inductively coupled plasma". // Bulgarian Journal of Physics 25 Nos 1/2 (1998). P. 49-55.

39. Nerushev O. A., Novopashin S. A., Radchenko V. V., Sukhinin G. I. "Spherical strata in 3-D glow discharge". 11 Institute of Thermophysics, Siberian Branch, RAS. Preprint № 285-97. Novosibirsk, 1997.

40. Лебедев Ю. А. "Параметры электронной компоненты метаносодержащей водородной СВЧ-плазмы в резонаторе". // Теплофизика высоких температур. 1995. Т. 33. № 6. С. 850-854.

41. Иванов Ю. А., Лебедев Ю. А., ПолакЛ. С. "Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии". //1981. М.: Наука.

42. Чей Ф. "Электрические зонды". // Диагностика плазмы / Под ред. Хаддлстоуна Р. и Леонарда С. 1967. М.: Мир. С. 94.

43. Шот Л. "Электрические зонды". // Методы исследования плазмы / Под ред. Лохте-Хольтгревена В. 1971. М.: Мир. С. 459.

44. Schulz G. J., Brown S. С. "Microwave study of positive ion collection by probes" // Phys. Rev. 1955. V. 98. P. 1642.

45. Чан П., Талбот Л., Турян К. "Электрические зонды в неподвижной и движущейся плазме". // 1978. М.: Мир.

46. Cerio F. М., Weimer W. A. "Electrostatic probe measurements for microwave plasma-assisted chemical vapor deposition of diamond". // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59. P. 3387.

47. Lebedev Yu. A., Epstein I. L. "Simulation of microwave plasma in hydrogen". //J. Moscow Phys. Soc. 1995. V. 5. № 1. P. 103-120.

48. ЛипаевА. M., Молотков В. И., Нефедов А. П., Петров О. Ф., Торчинский В. М, Фортов В. Е., Храпак А. Г., Храпак С. А. "Упорядоченные структуры в неидеальной пылевой плазме тлеющего разряда". //ЖЭТФ. 1997. Т. 112. Вып. 6 (12). С. 20302044.

49. Fortov V. Е., NefedovA. P., Torchinsky V. М et all. "Crystaline structures of strongly coupled dusty plasmas in dc glow discharge strata". // Physics Letters. 1997. A 229. P. 317-322.

50. Молотков В. И., Нефедов А. П., Пустылъник М. Ю., Торчинский В. М. и др. "Жидкий плазменный кристалл: кулоновская кристаллизация цилиндрических макрочастиц в газоразрядной плазме" //Письма в ЖЭТФ. 2000. Т. 71. Вып. 3. С. 152-156.

51. Zhou Oing, Otorbaev D. К., BrussaardG. J. H., Sanden M. С. M. Van de, Schram D. C. "Diagnostics of the magnetized low-pressurehydrogen plasma jet: Molecular regime". II J. Appl. Phys. 1996. V. 80. №. 3.P. 1312.

52. Оторбаев Д. К., Очкин В. #., Савинов С. Ю., Соболев Н. Н. И Препринт ФИАН. М.: 1979. №. 3. С. 43.

53. Лавров П. Б., Островский В. Н., Устинов В. И. II VIII Всесоюзн. Конф. по физике электронных и атомных столкновений. Сб. обзорных докладов. JL: 1981. С. 42.

54. Лавров Б. Н., Оторбаев Д. К. II Письма в ЖТФ. 1978. Т.4. В. 23. С. 1419.

55. Tomasini L., Rousseau A., Gousset G., Leprince P. II J. Phys. D.: Appl. Phys. 1996. V. 29. P. 1006.

56. RopckeJ., KaningM., LavrovB. P. " Spectroscopical diagnostics of molecular plasmas". // J. Phys. France 1998. V. 8. P. Pr7-207-Pr7-216.

57. LangN., Kalatchev M, KaningM., Lavrov В. P., RopckeJ. "Time behaviour of various emissions in a modulated hydrogen microwave discharge". // Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics III. Plasma Diagnostics III. Saillon, Switzerland. 1999.

58. Akhmedzhanov R. A., Vikharev A. L., Gorbachev A. M., Radishev D. B. "Experimental comparison of methods for diagnostics of hydrogen plasma in a pulse microwave discharge". // XXIV ICPIG. 1999. V. 1. P.

59. Warsaw, Poland. Опубликовано также в Strong Microwaves in Plasmas VI. 2000. P. 341.

60. Касабов Г. А., Елисеев В. В. И Спектроскопические таблицы для низкотемпературной плазмы. Справочник. М.: Атомиздат, 1973.

61. Иванов Ю. А., Солдатова И. В. "Сечения возбуждения, ионизации и тушения возбужденных состояний атомов инертных газов в плазме тлеющих разрядов." // Физико-химические процессы в низкотемпературной плазме. М.: ИНХС АН СССР, 1985.

62. Лебедев Ю. A.t Солдатова И. В., Эпштейн И. Л., Холодкевич О. И. II Теплофизика высоких температур. 1998. Т. 36. №. 1. С. 5.

63. Holstein Т. // Phys. Rev. 1951. V. 83. P. 1159.

64. Walsh P. //Phys. Rev. 1959. V. 116. P. 551.

65. Angeliki D. Tserepi, James R. Dimiop, Bryan L. Preppernau, Tery A. Miller. /I J. Appl. Phys. 1992. V. 72. № 7. P. 2638.

66. Miles W. Т., Thompson R., Green A. E. S. "Electron-impact cross sections and energy deposition in molecular hydrogen" // J. Appl. Phys. 1972. Vol. 43. № 2. P. 678. February.

67. Tawara H., Itikawa Y, Nishimwa H., Yoshino M. "Cross sections and related data for electron collisions with hydrogen molecules and molecular ions"//J. Phys. Chem. Ref. Data. 1990. Vol. 19. № 3. P. 617.

68. Kudela J., Terebessy Т., KandoM. "Hot electrons and EEDF-anisotropy in large-area surface-wave discharges". // Microwave Discharges: Fundamentals and Applications. IV International Workshop. Zvenigorod, Russia. 2000. P. 63.

69. MoisanM., Shivarova A., Trivelpiece A. W. I/ Plasma Phys., 1982, 24, 1331.

70. Яворский Б. M., Детлаф А. А. /I Справочник по физике. М.: Наука. 1974.

71. Lebedev Yu. A., Tatarinov A. V., Epstein I. L. "Microwave Plasma in Non-Uniform Quasi-Static Fields with Radial Symmetry". // Plasma Sources Sci&Technol. 2002 (accepted for publication).

72. Гилъденбург В. Б., Голъцман В. Л., Семенов В. Е. II Изв. ВУЗов. Радиофизика, 17, 1718, 1974.

73. Геккер И. Р. П Взаимодействие сильных электромагнитных полей с плазмой. М.: Атомиздат. 1978.

74. Бардос Л., Лебедев Ю.А. Зондовое исследование структуры электродного СВЧ разряда в азоте. // Теплофизика высоких температур. 2000. Т. 38. № 4 С. 552. (High Temp. 2000. V.38. № 4. P. 528-532).

75. Герасимов Н.Ц. II Исследование стационарного сверхвысокочастотного разряда в аргоне внутри волновода. Диссертация на соискание уч. ст. канд. физ.-мат наук. М.: МГУ, 1972.

76. ЛИТЕРАТУРА ПО ЭЛЕКТРОДНОМУ СВЧ РАЗРЯДУ

77. Бардош Л., Лебедев Ю.А. "Электродный шаровой СВЧ разряд. Феноменология и результаты зондовых измерений". // ЖТФ. 1998. Т. 68. № 12. С. 29-33. (Technical Physics. 1998. V. 43. № 12. P. 14281431)

78. Лебедев Ю.А. "Шаровой электродный СВЧ разряд в водороде и аргоне". // IX Конф. по физике газовых разрядов, 1-5 июня 1998, Рязань. Тез. докл., Ч. 1. С.58-60.

79. Лебедев Ю.А. "Электродные СВЧ разряды: Феноменология и результаты некоторых экспериментов". // Материалы конф. по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 2226 июня 1998. С.254-258.

80. Бардош JI., Лебедев Ю.А. "Некоторые свойства неравновесного электродного СВЧ разряда". // Физика плазмы. 2000. Т. 24. № 10. С. 956. (Plasma Phys. Reports. 1998. V. 24. P. 956-960.)

81. Bardos L, Barankova H., Lebedev Yu.A., Nyberg Т., BergS. "Diamond deposition in a moicrowave electrode discharge at reduced pressures". // Diamond and Related Materials, 1997. V. 6. №.3. P. 224-226.

82. Bardos L., Barankova H., Lebedev Yu.A. "Effective low power microwave plasma CVD of carbon nitride films". // 42-nd Ann. Conf. of Soc. of Vac. Coaters, Chicago, IL, April 17-22, Proc. SVC TC(1999), paper E-7.

83. Лебедев Ю. А., Мокеев M. В., Татарииов А. В. "Структура электродного неравновесного СВЧ разряда в водороде. Оптические измерения". // Физика плазмы. 2000. Т.26. № 3. С. 293. (Plasma Phys. Reports. 2000. V. 26. № 3. P. 272-277.)

84. Лебедев Ю. А., Мокеев М. В. "О структуре неравновесного электродного СВЧ разряда в азоте". // Теплофизика высоких температур. 2000. Т. 38. № 3. С. 381. (High Temp. 2000. V. 38. № 3. P. 338-362.)

85. БардосЛ., Лебедев Ю.А. "Зондовое исследование структуры электродного СВЧ разряда в азоте". // Теплофизика высоких температур. 2000. Т. 38. № 4. С. 552. (High Temp. 2000. V. 38. № 4. P. 528-532).

86. Лебедев Ю. А., Мокеев М. В. "Свойства приэлектродной плазмы электродного СВЧ разряда в водороде". // Физика плазмы. 2001. Т. 27. №. 5. (Plasma Phys Reports. 2001. V. 27. № 5. P. 418-423.)

87. Lebedev Yu. A., Mokeev M. V., Skovoroda A. A. "Electrode microwave discharge in argon". // IV Int. Workshop "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications", Zvenigorod, September 18-22, 2000. Abstracts. P. 34.

88. Lebedev Yu. A., Mokeev M. V., Soldatova I. V. "Properties of electrode microwave discharge in hydrogen". // IV Int. Workshop "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications", Zvenigorod, September 18-22, 2000. Abstracts. P. 35.

89. Lebedev Yu. A., Mokeev M. V., Tatarinov A. V. "Electrode microwave discharges in molecular gases". // IV Int. Workshop "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications", Zvenigorod, September 18-22, 2000. Abstracts. P. 50.

90. Lebedev Yu. A., Mokeev М. V., Tatarinov А. V., Epstein I. L. "Electrode microwave discharges in molecular gases". // Proc. IV Int. Workshop "Microwave Discharges: Fundamentals and Applications", Zvenigorod

91. September 18-23, 2000. Ed. Yu. A. Lebedev, Moscow, Publ.

92. Comp."Yanus-K", 2001. P. 127-136.

93. Лебедев Ю. А., Мокеев M. В., Татаринов А. В., Эпштейн И. Л. "Электродный СВЧ разряд". // Материалы Всероссийской научной конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2001, Петрозаводский ГУ, Петрозаводск, 1-7 июля 2001. Т. 1. С.290-293.

94. Лебедев Ю. А., Мокеев М. В. "Электродный СВЧ разряд пониженного давления в аргоне". // ЖТФ. 2002. Т. 47. В.1 (Technical Physics. 2002. V. 47. № 1.)

95. Lebedev Yu. A., Tatarinov A. V., Epstein I. L. "Microwave Plasma in Non-Uniform Quasi-Static Fields with Radial Symmetry". // Plasma Sources Sci&Technol. May 2002.

96. Лебедев Ю. А., Мокеев M. В. "Определение параметров электродного СВЧ разряда пониженного давления в водороде методом относительных интенсивностей спектральных линий". // XI Конференция по физике газового разряда. Рязань, июнь 2002.

97. Лебедев Ю. А., Мокеев М. В. "О температуре газа в плазме электродного СВЧ разряда пониженного давления в водороде". // 3 международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии, г. Плес, 2002.