Флуктуации в генераторных системах на основе резонаторов поверхностных акустических волн тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

М <": г

МИНИСТЕРСТВО НАУКИ, ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ И ТЕХНИЧЕСКОЙ ПОЛИТИКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

КОМИТЕТ ПО ВЫСШЕЙ ШКОЛЕ

НИЖЕГОРОДСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ им. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО

На правах рукописи КРЕВСКИЙ Михаил Анатольевич

ФЛУКТУАЦИИ В ГЕНЕРАТОРНЫХ СИСТЕМАХ НА ОСНОВЕ РЕЗОНАТОРОВ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН

01.04.03—радиофизика

Автореферат

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Нижний Новгород 1992

Работа выполнена с Нижегородском ордена Трудового Красного Знамени государственном университете им. Н. И. Лобачевского.

Научные руководители:

доктор физико-математических наук, профессор Якимов А. В.,

кандидат физико-математических паук, ведущий научный сотрудник

Сандлер М. С.

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических паук, профессор Панов В. И.,

кандидат физико-математических паук, доцент Бочков Г. Н.

Ведущая организация—Институт радиотехники и электроники Российской академии паук.

Защита диссертации состоится «. _1992 г.

р /5" _часов на заседании специализированного совета по радиофизике К 063.77.03 при Нижегородском ордена Трудового Красного Знамени государственном университете им. Н. И. Лобачевского (603600, Н. Новгород, ГСП,пр. Гагарина, 23, корн. 4, аул. ).

С диссертацией можно ознакомиться в фундаментальной библиотеке Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского.

6 > б&кмл&Ьл

Автореферат разослан « О » ЦЖМ&ОпА,_1992 г.

Ученый секретарь специализированного совета, кандидат физико-математических наук Черепенников В. В.

^■(•ГЛГКЛИ _______

ДЯ I Отяоя }

■"•.'^■■-•ГЕКА чгч-i1"

ЧЭЩЛЯ- XAFMTEHÏÏTIKA РАКШ

АКГ/АШЮСТЬ ТЕШ. Генераторы на поворхностных акустических волнах (ПАВ) являптоя перспективными устройствами современной акустоэлэктронпки. В настолшоэ время генераторы на ПАВ завоевывают л области радиотехники позиции, ранее заншае-ше другими устройствами.' Это связано с рядом достоинств таких генераторов: высокая рабочая ■частота, интогратьность исполнения, малые габариты и масса,' надежность, технологичность, повкпеннач устойчивость к вибрациям и ударным нагрузкам, а такта широкие возможности управления характерно тиками.

Указанные преимущества позволяют считать автогенераторы на ПАВ конкурентоспособными по сравнению с кварцевыми генераторами. Несмотря на значительное число публикаций, касающихся устройств на ПАВ и их флуктуационных характеристик,

■1

остались невыясненными некоторые эффекты," использование которых могло бы позволить целенаправленно улучшать параметры различных автоколебательных систем йа ПАВ.

В то же время, автогенераторы о резонаторами на ПАВ га;еюг значительный дрейф частоты и высокий уровень Шума на частоте анализа ниже I кГц, что ограничивает их конкурентноспособность;- В связи с этил стабилизация частоты и уменьшение флуктуаций устройств на ПАВ является актуальной задачей. ЦЕЛЬЮ РАБОШ является исследование и минимизация естественных и технических флуктуация в автогенераторах о резонаторами ПАВ; В соответствии о поставленной целью решаются

следующие задачи:

- определенно вклада различных источников шума резонатора и усилителя в спектр квазистаптаесккх (Тлуктуацш! частот генератора ПАВ;

- мшш.шация кшзиотатетеских (Гдуктуации генераторов ПАЕ путем выбора связи резонатора с усилителем;

- гоореинеокое и экспоркхитаилое исследование влияния аы-нлпгудних флуктуации сигнала накачки на газу виходного сш*-пата параметрического ПУЗ генератора;

г разработка методики построения шлоыумдашх генераторов с учетом тс неизохрошюстп,реа?1Ышх апплптудннх и вносишх <$а-зовнх флуктуации;

- исслодовгашо различнее механизмов старения резонаторов ПАВ (окисление ать'ззтевцх Естречно-тигроЕцх преобразователей -ШП, диффузионное раегшташэ электродов ГШ, впнунденнал пкустомцграндя атомов металла преобразователей но поверхности резонатора) с точки зрения влияния пх на деградациошшй дреГ.;< частот к спектр (Тликкерных (Тлуктуацнй генератора;

- ¡экспериментальное исследование и теоретическое объяснение зазислноггой <"Тл1са;орш-'х одрсгуедпЗ резонатора от нагруженной добротности, пгдаашвй мощности п ряда других технологических факторов,

НАУЧНАЯ ПОГЛЕПА ШЮТЦ заключается в следумчои:

- В квазкетатическои прп&пгошш исслолопшш есгестеегаше Флуктуации в изохронном генераторе НАБ. Ощ.еделепп продели пригоншостп (Тормулц /кссона для спектра газовых Рлукуушдай.

- Рассмотрено влияние г-луктуачдй амплитуды на (Тазу пспзохренного автогенератора. Детализировал механизм влияния емплитуд-шсс млуктуаций на фазу на примере различите непзохропннх енотом: (а) парам>трическиП генератор ЖВ с контурами разной добротности; (б) С-генератор СЕЧ - диапазона; (в) ноизохрон-ний генератор с резонатором ПАВ в цепи обратной связи.

- Проанализированы основные теханпзш старения резонаторов ПАВ и проведоп их срагнлтельнш анализ с точки зрения влияния на уходы часто?» л уровень спектра фтаскерпкх флуктуации.

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ РАБОТЫ.

В диссертации регазна задача оптимального в емнеле туков согласования резонатора ПАВ с гранзисторшал1 усилителем.

Разработана методтка построения иалоиумягапх автогенераторов, позволявшая шнпнпзнровать £азовпе ¡яуш генераторов.

Проанализирован!-! основные механпзш старения и <рлпккерних флуктуация в резонаторах ПАВ, что легло в основу разработки високостабгглъннх з'адаюпих генераторов. .

На основе полученного автором авторского свидетельства разработан автогенератор, с укеныченнкм уровнем разового иу-иа. Автогенератор использован в ряде разработок НПП "Салют".

АПРОБАЦИЯ РАБОТЫ.

Основнио научнпе пололинпя диссертации докладнвались на 17, 7 Всесопзнпх пколах-семкнарах по стабилизации частотн п прецизионной электронике (г.Звенигород,1983г., лКеноь 1983г.), ХШ Всесопзной научно-технической конференции по твердотельной электронике (г.Киев 1Э90г.), ХП Всесопзной конференции по акусто-злекгрошше (г.Саратов 1983г.), И Всесоюзной конференции "Олуктусцяошше явления в физических системах" (г.Вплыпс 1983г.), Всесоюзно!5 научно-технпческой

3

конференции "Современные проблемы фазоизмерителъной тех-нши (г.Красноярск 1989г.), школе-семинаре "Устройства акустоэлектроники", (Москва 1989г.), ХУ Всесоюзно!! конференции "Акусгоэлектроника и Физическая акустика твердого тела" (Ленинград 1991г.).

ПУБЛИКАЦИИ. Основнне результата диссертации опубликованы в 21 печатной работе, по одному разработанному устройству получено авторское свидетельство. СТРУКТУРА И ОБЪЕМ РАКШ. Диссертационная работа состоит из введения, трех глав, заключении, списка цитируемой литературы из 89 наименований. Содержит 132 страншщ машинописного текста, 38 рисунков и 3 таблицы,

ПЕШ\Я ГЛАВА диссертации посвжаэна исследованию специфшси естественных флуктуации в автогенераторах ПАВ.

В п.1.1 проводится квазистатшеский анализ фазовых флуктуации изохронного генератора ПАВ, структурная схема генератора приведена на рис.1. Подучено выражение для сноктра фазових флуктуации, в обшен случае не совпадающее с применяемой о бот но оценочной формулой Лиссона. Расходуй ние обусловлено раннее не учитывающим ся различием в воздействии флуктуаций усилителя и резонатора на автоколебание. Преанализщ овгл вклад топловых шумов транзистора £г (О , т;.'МОв базового делителя усилителя и шумов резонатора Д,. Показано, что эквивалентные источники шума (озонатора коррелирован» друг с другом вследствие акуетгаес.ко" связи не;;:ду прообразователяпи. Показано такно, что йормула Лиссона дает ьоркнП 1«зуьъ-тат лишь при анализе автогенератора, пипилишшогп на .чи-ш:и занг!1.я;и.

Гио. I; Структурная схема генератора о резонатором ПАВ,'

S

В П.1.:>. нродомоистрдрог.ана возможность шшп.!изац;:и .у.азо-внх флуктуаций путем выбора 'связи резонатора с транзисторны; усилителем.

Задача опроделоиля иптонсивностп сГазоинх: флуктуации исчо гашаатся в обгс&м случзо снакизом зависимости слокуж:г/. двух величин от параметра связи резонатора с транзистором: п>,пли гуди входного сигнала усилителя и натру:лиино". добротносл1 резонатора. При теороияееком анатазе обнаружен шшш;а в зависимости величины споктра квазистаттеских разовое Гл'.д:-тушщи от параметра связи, обусловленной тег;,что в опропзло ной области параметров связи }бш&ига дойрогеос-л; урзиюао-шивается возрастал пом слилитуда автоколебаний. ■

ишишзацня ^азових Глуктуштдц автогенератор:! с г.эзскато ром на ПАВ, возбу;:',као;изнутри,проводится в п.1.3. В д.иш раздело проблема согласованна {йзоиагора 1ШЗ с грзгехл'О^

усилпго.ам, при котором реализуется минимум ¡'-азоь.ух ~ туацд?., рзи^сгся как теоретически, так и з&опогдакикишго,

В п.п.1.1 и 1.2 предполагалось,что досотонсикср ПАВ тя отел изохронным. Однако это выполняется но всегда. I; качесл го Щ-Ш1 .ра ноизохроннои ПАВ cacset.ii! в п.1.1 рассчотр-чш ^луптуы^ииишо гаглккфпсгккн дьулгов'^рпого пг.рам.чччешского гсмер.г.'Ора с контура::;: едкхя-шшо разной лоЗроткостк: шеокодоброгипго на основе ШНозшшзьде и шасошк^отногс на основе Ь С - контура.

Тоорогшески п эксперимент'лыю показано, чи: г; т;у ом генераторе ющнша фазоинх ^.чукгуыц.й пшши&го егшпипд СГЛОСГГОШии» образом ЗСЮПСЬТ от ЛЧМИОГ.ГИОСТУ ПГ'ПТИТ 'Д(ШХ с »-¡'КтуацпЬ 'спгн.иа тжачкк.

Ц.~я сшгшшл /Тазоисс сТ'дуктуацнЛ стлала гакого генератора пооблодкгго уменьшение аяплнг7Д1».у флуктуация накачки. Одон п? способов описан в.п.1.5 диссертации. В данном раздело показана эффективность использования для згой цели двухгсгскгушого усилителя - ограничителя. Такой усшштель мюгот (5ц ть псполь-зосан кпк для подавления амплитудных флуктуации, так и для уноаьпонпя паразитной амплитудной шд7дпцяп.

Блпячпе ошдпгудпшс флуктуация на фазу моетт быть оулост-г.епнпм по только в параметрическом ПАВ-генсраторе, но и в обычном автогенераторе с. внешней обратной связью. Это обстоятельство теоретически и экспериментально подтвергдепо в главе 2, где исследовано влияние реянма работы активннх злемен-

1

тов на величину спектра Назови.. сГлуктуацпА неизохронного генератора ПАВ.

В п.2.1 проведен обобщенны:'. анализ флукгуяцгсТ в произвольных ноизохрошшх авгоколзбателышх системах. В качество примера рассматривается 1С - автогенератор с"узкополоепш "плътром в цейи обратной связи.

В п.2,2 представлены полученнне автором результаун экспериментального исследования зависимости уровня фазовых флуктуации от реяпма работ активного элемента по переменному току. В нэизохронном генераторе фазовые флуктуации в ряде случаев могут тлеть повдаенную шшноегь за счот вти^ния амплитудных Фдуктуаций на частоту сигнала. Величину неизохронносги, харлкторизутаую отмечепноэ влилнпз, могшо определить через $а-зо-амплптулнуп характеристику. ( МХ) активного элемента. В п.2.3 приведено описание устройства, в котором осугаествлена компенсация крутизны ФАХ активного элемента, в результате чего достигнуто улучшение фазопчх флуктуаций*

Описанная в п.п;?.2 и 2.3 ы г годика умриьааиия разовых флуктуации иокзохронного генератора применена затем к ПАВ-гене-

РЛТОРУ.

В п.2,4 приводен:-; результаты экспериментального исследования и показала возможность ыкикшзацпи фазошх флуктуации йене охроннсго генератора на 1ШЗ. Проведенные оксперш.пктп показала, что знание трех независимых величин: неизохронности авто генератора,'■ амплитудных и вносимых <Тазоьнх флуктуации при разомкнуто;! цепи обратной связи позволяют разрабатывать генераторы ва ПАВ с низкими фазовыми фдуктуацияшт.

ГЛШ 3 посютеша исследован и» фшккерпих фгуктуагщй гонег-ато-РОВ ПАЕ.

В п.3.1 проводится обзор результатов экспериментальных исследований старения п флыккергшх ^луктуаций резонаторов ПАВ.

Обзор (Ткзпчосках моделей фликкерних г луктуацпй в радио-олектропгагк систоыах проводятся в п.3.2. Здесь ко приведено обоснование выбора конкретной «одели,наиболее пригодно:; для ачатнза ^дшкорише сТлуктуадой в резонатор ПАВ. Азажоршю флуктуации рассматриваются как процесс,сопровождаялшЛ деградации рез.пшоров ПАВ, щлюодягауо к необр:;т;з.:ш гоммодшм лх параметров.

Модель позволлет с единых (ризичееккх позиций рассматривать как фяшэряко илуктуацни резонаторов,так и деградацпошшй дрейф их частоты, Датсо приводится исследование наиболее су-иестьонпь'х мвхализ; :ов дегргдацин,

В н.З.З. исследуется процесс окисления аталлшовпх пропбра зсгшлодой как причина деградационного дрой; а и.фт/ктугщий частот. Зтот механизм имеет больное значение для нопшууи)-

ровашшх резонаторов.

В п.3.4 исследуется механизм даКл'ЗНош.ого расплпванпя электродов ЮТ. Пгшлиеи этого механизма объясняется наблил^-мая экспериментально разница в зпг«ох.-.доградгациопннх уходов частот в резонаторах с золотели и алэиянаовша преобразователя.'ш.-

Показ а.; о г,_а;ле,что разенторы с большая ихгзкной ологсгродоь окезивлогся более усго&чюшш к воздействию механизма дп.Ьфузи-енного расплывания.

Српвпителышй слагаз рассиотрошиге вине кехштмов деградации, ироволешшй в разделе 3.5, позголяет заключить,что сба «гдавпзца качественно верно объясняет наблюдпемно эксперимента тъно деграаа^юпшэ у::оди частоту для резонаторов с золоти-пи и ялпмппкеькни электродами

0,-ин из я .-¡¡'Золей еушэствошшх механизмов деградации связан с расссяннем достаточно большой ысустшеской мощности на резо-нато;о.

В разделеЗ.6 приводятся результаты теоретического,а в разделе 3.7 экспериментального исследования влияния мощности, рассеиваемой резонатором, на величину флшекерннх (/хуктуаций час тети генератора.

В раздели 3.7 тачжз показано, что известная немонотонная зависимость фшакерннх флуктуадий от добротности объясняется дейотнпом механизма акустоштграцш:.

С-ксяогпл'пт^.л'ьпое псслоловмшга фижкоргшх флуктуацкйуло-еимих розоп.ггп, ем ЛАВ грт;едено в раздело 3.0.

ЭпЫСШИ'СГЬ СП(!1-:Т[ 1)11 фЛШ'ЛШрННХ ГУГСЯ>Й, 1й111.л:гсгх VI';.ом ПАВ.пт г^.мч::1:!; ц-Д'.'Ч'ией ценности прп'о.п'Ша па р.".с.<2

$fflB/r4

чю -120 -130 И0'

• •V4 •

<

[ ks N S ^ Р^оС' ч. i »s | V.

0.01

OJ

F, к Гц

ц

RicíE? Зависимость спектров флшдазрных флуктуация резонаторов ПАВ с параметрами 300 МП*, б?« 2000 от входной мощности: I _ РЬх = 0,f3 mBtí 2-3 мВт} 3 - 6Í5 мВт?

4-13 мВт ¿ 5 - флуктуации усилителя.-

/О

В заключении диссертации изло:хены основнко результат и выводи работы.

I. Для генератора с резонансным элементен на ПАВ получено аналитическое выразоние для спЁктра флуктуация частоты, в котором разделяются вклады активного элемента ¡i резонансного элемента на ПАВ, что позволило в дальнейшем минимизировать вклад различных источников шума. Показано, что при стабилизации автогенератора резонатором ПАВ спектр флуктуаций частоты пропорционален первой (а из второй, как предсказывает формула Лиссона) степени полосн пропускания резонатора.' Анализ формулы позволил найти оп-тиматьные ссотношения между добротностыр резонатора и амплитудой сигнала, при которых частотные флуктуации минималь-1ш. Теоретические вывода подтверждены результатами экспв-ршонта.

2. Для двухкентурного параметрического генератора на 1ÍAB исследовано влияние спектральных характеристик сигнала накачки на спектратыше характеристики выходного сигнала.-

Экспериментально и теоретическиустановлено, что фазовые флуктуации выходного сигнала могут оказаться слабое, чем фазовые флуктуации накачки. Уменьшение фазовых флуктуаций накачки енкяаот фазовые флуктуации выходного сигнала до уровня, определяемого амплитудными флуктуациями накачки.

3. Виявлзна возможность шшишзацпи флуктушшй автогенератора путем уменьшения его ноизохрошшети, определяемой крутизной фазоамплитудной характеристики активного элемента. Ite работала методика построения мачошуияиих автогене! ато] гш с учетом ноизохргнности.

//

4. На основе результатов собственных экспериментов и результатов других авторов установлено,что клинкерные флуктуация частот в генераторах па ПАВ обусловлен», в основном, до-градаивонянш изменениями структуры электродов резонатора? окислением аляишкевнх преобразователе Г,диффузионным расплп-ваппем электродов,окустомкграцие" "атомов металла в поле акустической волны;

5. На основе анализа механизма диффузионного расшпгааппя предлозаиа модель, ойьясняояая экспоршзнтаяьпо наблюдаемое различие в знаках догсгдациоиных уходов частоти яхт атосиво-внх и золотых электродов за счот разного характера акустической нагрузки кварца этими металлами.

6.' Экспериментально установлено, что интенсивность Фликкер-ннх флуктуации собственной частоты резонатора пропорциональна амплитуде стоячей акустической волны. Это позволяет объяснить наблюдаемые экспериментально зависимости флпккерных флуктуации резряатора от входной мощности и нагруженной добротности резонатора^ также установить соотношения между этими величинами для получения минимального фликкерного шума;

список

основных публикаций по теме диссертации

1. Кревский M.A.-, Сандлер U.C.-, Якимов A.B. Естественные фазовые флуктуации генератора на основе резонатора ПАВ;

// Ввдиотехнпка и электроника. -1990. -Т.35,- -№ 6.-C.I255--1260;.

2.' Кревский H.A., Сандлер M.C.-, Якимов А.Б.' Анализ деградации автогенераторов с резонаторами на ПАВ.' // Радиотехника и электроника.-1984.-T.29.-JS II.-С .2101-2104;

3.' Кревский ГЛ.А., Якимов A.B.' Флуктуации типа I/f и flaiv радационные изменения частоты автогенераторов о резонаторами поверхностных акустических волн.' // Изв.высших учебных заведений. Надиофизика.- -1983.-Т.26.-.'5 12; -С.15Ж--I55G.

4;* Кревскии H.A.', Водионов Л.В., Сандлер U.C. Od уменьшении фазовых флуктуаций параметрическим генератором с резонатором поверхностной акустической волны // Радиотехника и элоктрошна;-1988,-Т.ЗЗ.-й 5.-C.I0I4-I0I9.

5. Баранов A.B., Мшшш И.Г., Кревский U.A., Сандлер U.C. Фазовые флуктуации СЩ генераторов с различными фазоампли-тудными характеристиками активных элементов //Ладио техник а. -I99I.-ÎS 3.-C.IC-I8.

6. A.C. J5 IG5G659. Автогенератор СВЧ // Баранов A.B., . Кровскии U.A., Кренцин 1.1.В. - опубл.15.06.19Э1г.-Ш.-.'2 ?2у

7. Баранов А.П., Кревский ".I.A. Об улучпшпш амплитудных флуктуаций автогенераторов с помощью СШ усилитоля. // Элоктюнная тохигка. Пор Л. Электроника СШ.-ГЭ87 -l'nn.-h"V. й).~ОЛ П.

п

8. Кревский M./l. , Сандлер Г.1.С. Минимизация фазовых флук-туаций неизохронного генератора, стабилизированного резонатором поверхностных акустических волн. //Радиотехника, я электроника. -1991. -Т.36* -J5 2; -С.422-425.

9.- Кревский М.'А., Зинпна Е.С., Сандлер М.С. Исследование механизмов фликкерных флуктуации резонаторов поверхностных акустических волн // ХУ Всесоюзная конференция по акустоэлектронже и физической акустике твердого тела.

: Тез. док л. - Лониград., 1991. -С. 76-77. Ю;< Малахов А.Н., Кревский М.А., Якимов A.B. Связь фликкерных флуктуации с деградацией систем // Ш Всесоюзная конференция по флуктуационнш явлениям в физических системах.' !Тез.докл.4 -Вильнюс, 1983*' -С.35-36.-

СОДЕГЕАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

ВВЕДЕНИИ .......................

ГЛАВА Iv ЕСТЕСТВЕННЫЕ ФЛУКТУАЦИИ В IEHEPATOPAX,

СТАНШЗИРОВАНННХ НЗЗОНАТОРОМ ПАВ......

Iii. Особенности квазистатических фазовых флуктуация

изохронного генератора ....... .....

I.2.- Минимизация квазистатических фазовых флуктуеций путем выбора связи резонатора ПАВ с активным элементом .....................

1.3; Теоретическое и экспериментальное исследование флуктуанионных характеристик автогенератора с

резонатором ПАВ, возбуждаемым изнутри ......

1;4,- Влияние амплитудных флуктуащй накачки на фазу сигнала в параметрическом генераторе ......

1.5.- Уменьшение амплитудных флуктуаций генераторов . ...................

1.6. выводи К ГЖВЗ I. .............

ГЛАВА 1ЮСЛЗД0ВАШЗ ВЛ1ЯШ31 1ЕЖ.1А 'РАБОТЫ АКТИВНЫХ ЭЖШГГОВ IIA '1A30BLE ФЛУКТУАЦИИ НЕИ30ХР0ШЮ-IÜ ГЕНЕРАТОРА...............

2.1. Обобаоншй анализ флуктуаций в непзихропних генераторных системах ... . .........

2.2. Экспериментальное исследование неизохронного LC - генератора.............. .

2.3. Минимизация фазовых флуктуаций генератора, стабилизированного резонатором ПАВ ......

2.1. Автогенератор с компенсацией фазоамплптудной характеристики активного элемента......

2.5. В!1В0.Ш Е Р.ВДЕ 2...............

ГЛАВА 3. ФЛ/К17АЦНИ ТИПА I/f В 1E30IIAT0PAX ПАВ И

IEHEPATOPAX ПА ИХ ОСНОВЕ.....'.....

3.1^ Обзор результатов исследования факторов, вызывающих фликкерные флуктуации параметров и старение резонаторов ... ........ .

3.2. Физические модели фликкерных флуктуаций . . .

3.3. Деградащгоннык дрейф и спектр флуктуаций частоты автогенераторов как следствие окисления алюминиевых преобразователей .........

3.4. Диффузионное расплнваниа электродов П'П -один из возможных механизмов деградации . . .

3.5. Сравнительный анализ различных механизмов догргоюцпг. Г0''"нат01'0В...........

п

3;6? Влияние мощности,1 рассеиваемой! резонатором, на фазовые флуктуации генератора . . 3î7* Экспериментальное исследование фликиерных

флуктуаций генератора . .> .........

3.'8,t Исследование фликкериых фазовых флуктуаций, вносимых резонатором ЙАВ .........

3^9й! ШВОДН К Ш З? .......

ЗАКЛЮЧЕНИЕ ........

СПИСОК ЦИТИШМОЙ ЖПЗРАШЫ