Импульсно-периодический CO2-лазер с широкоапертурным однородным пучком излучения тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.21 ВАК РФ

Введение.

Глава 1. Однородность тлеющего разряда - основное условие формирования лазерных пучков с равномерным поперечным распределением интенсивности.

1.1. Возбуждение самостоятельным разрядом. Основные физические факторы формирования объёмного тлеющего разряда. 13.

1.2. Обзор схем возбуждения активной среды с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением вспомогательных разрядов. 16.

1.3. Обоснование выбора системы предыонизации. 25. 1.4 Методы расчёта и моделирования электродных систем для лазеров атмосферного давления с возбуждением поперечным разрядом. 29.

1.5. Расчет профиля эквипотенциальной поверхности методом эквивалентных зарядов. 32.

Глава 2. Импульсно-периодический TEA С02-лазер с предыонизацией ультрафиолетовым излучением поверхностного коронного разряда. 37.

2.1. Определение параметров электродной системы и разрядной камеры, необходимых для формирования пучка с заданными характеристиками. 40.

2.2. Разработка и исследование системы предыонизации на основе биполярной схемы включения электродов. 41.

2.3. Исследование параметров биполярного генератора высоковольтных импульсов. 45.

2.4. Разработка действующей модели TEA С02-лазера с предыонизацией УФ излучением поверхностного коронного разряда. 52.

2.5. Энергетические и пространственно-временные характеристики созданной модели лазера. 55.

2.6. Выводы. 59.

Глава 3. Импульсно-периодический TEA С02-лазер с предыонизацией ультрафиолетовым излучением системы искровых разрядов.

3.1. Разработка экспериментального образца TEA С02-лазера с искровой предыонизацией. 62.

3.2. Экспериментальное подтверждение работоспособности метода расчёта электродных профилей, использующего принцип эквивалентных зарядов. 78.

3.3. Система предыонизации с искровым разрядом. 83.

3.4. Оптимизация энергетических и временных характеристик лазера с искровой предыонизацией. 89.

3.5. Исследование пространственной структуры распределения энергии в сечении пучка излучения. 95.

3.6. Выводы. 98.

Глава 4. Стабилизация состава активной среды TEA СОг-лазера. 103.

4.1. Проблема деградации среды и способы её решения. 103.

4.2. Исследование деградации активной среды TEA С02-лазера с искровой предыонизацией. 106.

4.3. Определение условий стабилизации состава среды TEA СОг-лазера с предыонизацией УФ излучением поверхностного коронного разряда. 111.

4.4. Выводы. 112. Заключение. 113. Литература. 115. Приложения 1-3. 122.

Импульсно-периодические СС^-лазеры в настоящее время нашли свое применение в различных областях науки и техники, зарекомендовав себя в качестве эффективного инструмента. Одним из таких быстро развивающихся направлений, которые стимулируют дальнейшие исследования в области импульсно-периодических С02-лазеров, являются производства, связанные с поверхностной обработкой различных материалов. В качестве примера такого рода операций можно привести формирование поверхностных структур типа решётки для генерации акустических волн, маркировку изделий радиоэлектронной, электротехнической и других отраслей промышленности, получение микроотверстий и т.д.

Весьма динамично развивается технология лазерной маркировки. Она основана либо на удалении слоя материала поверхности в локальной области воздействия луча, либо на фотохимическом преобразовании в поверхностном слое, когда информация фиксируется за счёт модификации оптических свойств поверхности в месте воздействия лазерного луча.

Лазерную маркировку выгодно отличает от традиционных методов ряд особенностей. Во-первых, практически полностью отсутствует механическое воздействие на изделие. Во-вторых, бесконтактность лазерной маркировки позволяет сравнительно легко внедрять этот процесс в различные виды производства. Кроме того, его отличает экологическая чистота, высокая стойкость знаков к внешним воздействиям и легкая перестраиваемость, что в конечном итоге делает этот вид маркировки в большинстве случаев предпочтительнее.

Существует два подхода в реализации этой технологии. Первый способ использует технику сканирующего луча, осуществляя поточечное нанесение информационных символов. Данное направление в настоящее время хорошо развито и достаточно широко представлено серийными изделиями на рынке соответствующего оборудования. Отличительной особенностью этого способа является высокая гибкость в отображении информации, однако, его производительность имеет принципиальное ограничение, связанное с частотой следования импульсов. На сегодняшний день скорость нанесения символов у лучших представителей данного типа маркеров составляет от 10 до 30 знаков в секунду [1-5]. Этот показатель является достаточно хорошим, но только для маркировки неподвижных объектов. В случае движущегося объекта область нанесения информации успевает сместиться. Так, например, при скорости изделия в 1 м/сек (скорость движения кабеля в процессе его производства) за время отображения всего одного символа зона взаимодействия сместится на 3 см.

В основе второго способа лежит проекционный метод, когда информация переносится широкоапертурным пучком излучения, прошедшим через маску-трафарет, за один импульс длительностью ~10"бсек. Проекционный способ маркировки особенно эффективен, когда требуется многократное повторение отображаемой информации при его нанесении на объект. Эта ситуация характерна для производства конвейерного типа. При этом частота импульсов излучения не является определяющим фактором производительности в отличие от метода точечного сканирования. Так для внедрения проекционного маркера в известные технологические процессы во многих случаях потребуется частота повторения импульсов в интервале (1-10) Гц, что легко реализуемо. (Например, для маркировки кабеля потребуется частота в 1 Гц). Вопросы масштабирования и смены трафарета в проекционном методе так же легко решаемы.

Однако для осуществления проекционного способа маркировки необходимо, чтобы пучок излучения, осуществляющий перенос информации, одновременно удовлетворял трём основным требованиям, а именно: энергия в импульсе должна быть достаточной для модификации поверхностной структуры объекта, пучок должен обладать необходимой для проецирования некоторого набора символов апертурой и распределение интенсивности излучения в поперечном сечении пучка должно быть достаточно равномерным.

Из литературных источников [6] следовало, что для качественного отображения информации, без использования преобразующих оптических элементов, требуются пучки излучения с плотностью энергии в (1-10) Дж/см . А в случае маркировки радиотехнических изделии, где требуется технология, не вызывающая изменений электрических параметров элементов, (например, на основе применения светочувствительного покрытия), оптимально подходит короткий (1-10 мкс) импульс излучения с длиной волны 10,6 мкм. Кроме того, излучение этого диапазона является предпочтительным при поверхностной обработке стекла.

Предварительный анализ показал, что перспективным направлением для решения поставленных задач является использование импульсно-периодического TEA С02-лазер. TEA (Transversely Excited Atmospheric) - это обозначение лазеров с поперечно возбуждаемым разрядом атмосферного давления. Изучение российского рынка [7] технологических лазерных установок данного класса показало, что существующие образцы не могут быть непосредственно использованы в технологии проекционной маркировки, поскольку, их параметры не соответствуют необходимым. Более того, на момент постановки задачи отсутствовали готовые образцы и за рубежом.

В связи с этим исследование основных физических процессов, протекающих в TEA С02-лазерах и определяющих условия формирования широкоапертурных однородных пучков излучения высокой мощности, представляется необходимым для разработки импульсно-периодических С02-лазеров, предназначенных для поверхностной обработки определенного спектра материалов, типа проекционной маркировки, и других подобных технологий.

Основываясь на вышеизложенном, в работе была поставлена следующая цель:

Провести исследование условий однородного возбуждения активной среды TEA С02-лазера.

Разработать компактный TEA С02-лазер, который обеспечивает формирование пучка излучения с равномерной по сечению интенсивностью и следующими основными параметрами:

Создать экспериментальный образец, который мог бы послужить прототипом для проектирования установки технологического типа.

Для достижения этой цели необходимо решить следующие основные задачи исследований:

1. Провести анализ систем предыонизации и выбрать оптимальное решение по реализации необходимых начальных условий формирования самостоятельного тлеющего разряда в среде С02-лазера.

2. Определить оптимальный профиль электродов для организации однородного тлеющего разряда в заданном объёме с максимально возможным энерговкладом.

3. Разработать систему возбуждения самостоятельного тлеющего разряда, которая обеспечивала бы высокую удельную энергетику разряда.

4. Подобрать оптимальные, по энергии импульса, значения параметров лазерной среды.

5. Сформировать пучок излучения с заданной апертурой и плотностью энергии.

6. Исследовать процесс деградации активной среды и определить условия стабилизации её состава. частота следования длительность импульса апертура пучка плотность потока энергии 2 не менее 1 Дж/см , не менее 2x2 см , 1-10 мксек, 1-10 Гц.

Научная новизна.

Разработан экспериментальный образец TEA С02-лазера с искровой предыонизацией, который позволяет формировать однородные пучки

2 2 излучения с плотностью энергии до 2 Дж/см при апертуре 3x2 см .

Предложена эффективная система формирования объёмного тлеющего разряда на основе биполярной схемы коммутации высоковольтных импульсов на электродную систему.

Разработан низкоиндуктивный биполярный генератор высоковольтных импульсов для возбуждения активных сред TEA лазеров, (обобщенный вариант схемы биполярного генератора импульсов высокого напряжения защищен свидетельством об изобретении).

Впервые применен для расчёта профилей электродов разрядной камеры TEA лазеров метод эквивалентных зарядов.

Исследована эффективность влияния газовых добавок (СО, Н2, Хе) на процесс деградации рабочей среды экспериментального образца TEA С02-лазера, предложен и испытан способ компенсации разложения активной компоненты, что позволяет стабилизировать энергию импульса излучения на начальном уровне.

Практическая значимость работы.

Созданный экспериментальный образец TEA С02-лазер с искровой предыонизацией может служить прототипом для создания технологических установок, применяемых в области поверхностной обработки материалов, например, в проекционной маркировке.

Предложенная модель лазера с предыонизацией ультрафиолетовым излучением поверхностного коронного разряда продемонстрировала возможность создания с этим типом предыонизации компактного, недорогого и простого в эксплуатации TEA С02-лазера. В настоящее время действующий образец используется в качестве прибора физического практикума при проведении лабораторных работ на кафедре Оптики и спектроскопии Самарского государственного университета.

Примененный метод расчёта электродных профилей может эффективно использоваться при инженерном проектировании TEA лазеров.

Результаты исследований процесса деградации будут необходимы для разработчиков технологических TEA С02-лазеров.

Предложенная схема предыонизации на основе поверхностного коронного разряда может быть использована при возбуждении TEA лазеров с другим типом активной среды, например, в эксимерных средах.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Предложена и реализована система возбуждения объёмного тлеющего разряда в TEA С02-лазере, в которой на электроды основного разрядного промежутка коммутируются высоковольтные импульсы с противоположным знаком, а вспомогательный внешний электрод является заземленным.

Для возбуждения TEA С02-лазера разработан биполярный генератор высоковольтных импульсов, который осуществляет необходимый энерговклад за времена <1 мксек.

В результате разработана действующая модель компактного TEA СОг-лазера с ультрафиолетовой предыонизацией поверхностным коронным разрядом, которая позволяет формировать однородный пучок излучения с энергией в импульсе до 6 Дж, апертурой 20x20 мм2, частотой следования импульсов 1-2 Гц.

2. Впервые применен для расчета профилей электродов TEA лазеров метод эквивалентных зарядов.

Созданный с использованием данной методики экспериментальный образец TEA С02-лазера с искровой предыонизацией обеспечивает получение однородного пучка излучения с энергией в импульсе до 12 Дж, апертурой 30x20 мм , с частотой следования 1-10 Гц.

3. В результате исследований механизма деградации рабочей смеси TEA С02-лазера решена задача стабилизации. Так, ввод в состав активной среды оксида углерода с парциальным давлением в (15-И8)%±2% от парциального давления С02 (в зависимости от типа предыонизации, состава и давления рабочей смеси) приводит к установлению динамического равновесия между реакциями диссоциации молекул С02 и их восстановлением, и обеспечивает стабильность энергии с точностью ~10% при генерации не менее 105 импульсов.

Структура и объём диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырёх глав, заключения и трёх приложений. Полный объём составляет 126 стр., включая 33 рисунка, 4 фотографии, приложения и список литературы.

4.4. Выводы.

Таким образом, на основании полученных экспериментальных данных можно рекомендовать использование в качестве стабилизирующих газовых добавок в составе рабочей смеси TEA СО2 лазера определенных порций СО и Н2. Их конкретную величину целесообразно определять экспериментально в каждом отдельном случае, ориентируясь на полученные авторами [87] соотношения. Более предпочтительно, на наш взгляд, выглядит применение в качестве стабилизирующего компонента оксида углерода. Так, ввод в состав активной среды СО с парциальным давлением в (15-г18)%±2% от парциального давления С02 (в зависимости от типа предыонизации, состава и давления рабочей смеси) приводит к установлению динамического равновесия прямой и обратной реакции диссоциации молекул С02. При этом обеспечивается стабильность выходной энергии с точностью -10% при генерации не менее 105 импульсов.

Полученные результаты послужили основанием для выбора 4-х компонентной смеси при разработке экспериментального образца TEA С02-лазера.

Заключение.

В процессе исследований были получены следующие основные результаты:

1. Разработана и экспериментально апробирована система возбуждения активной среды с предыонизацией ультрафиолетовым излучением поверхностного коронного разряда, в которой использована биполярная схема инициирования основного и вспомогательного разрядов.

Данная схема позволила реализовать удельный энергосъём -27 Дж/л-атм., а кпд лазерной установки увеличился по сравнению с прототипом на 50 %.

2. Для эффективной работы предложенной системы возбуждения разработан биполярный генератор высоковольтных импульсов, который обеспечивает необходимый энерговклад (WyA~220 Дж/л-атм.) за времена <1 мксек.

3. В результате создан действующий образец TEA С02-лазера с предыонизацией ультрафиолетовым излучением поверхностного коронного разряда, который позволяет формировать пучок излучения с энергией в импульсе до 6 Дж, апертурой 20x20 мм2, частотой следования импульсов 1-2 Гц. КПД лазера составляет ~12 %.

4. Разработана и экспериментально подтверждена методика расчёта профилей электродов для лазеров высокого давления, использующая принцип эквивалентных зарядов. Продемонстрирована возможность практического применения предложенного метода в расчётах профилей электродов TEA лазеров.

5. Разработано и реализовано схемное решение искровой системы предыонизации с опережающим включением вспомогательного разряда. В результате кпд лазерной установки увеличился на 27 % и существенно расширился диапазон рабочих энерговкладов.

6. Создан компактный экспериментальный образец TEA С02-лазера с искровой предыонизацией, обладающий следующими характеристиками: энергия в импульсе излучения до 12 Дж, апертура пучка 30x20 мм , частота следования импульсов 1-10 Гц, кпд-10%. Показано, что полученная в сечении пучка плотность энергии и степень однородности её распределения обеспечивают маркировку проекционным способом.

7. В результате исследования созданных образцов TEA С02-лазеров установлено, что деградацию активной среды можно компенсировать вводом газовых добавок (СО и Н2). Более эффективным оказалось введение СО с парциальным давлением, составляющим (15-18)% от давления С02, что обеспечило установление динамического равновесия между процессами разложения молекул С02 и их восстановлением. В результате через короткий переходный период устанавливается стабильный режим работы лазеров с постоянным значением энергии в импульсе.

Таким образом, в результате проведенных в работе исследований создано два образца TEA С02-лазера с разным типом предыонизации, параметры излучения которых полностью удовлетворяют требованиям проекционной маркировки.

1. С02 Laser Marks 1800 Products per Minute. //Europhotonics, 1999, №10/11, p.62.

2. CO2 Laser Marks Rubber, Wood, Glass and Ceramics // Europhotonics, 1997, № 10/11, p.56.

3. Lasermarkirung mit TEA-C02-Laser. // Laser und Optoelektroniks, 1995, №3, s.19.

4. Шепелев Г.В. Лазерное оборудование для маркировки. // Лазер-Информ, 1999, №7/8 (166-167), с.4-8.

5. Klimt В. Н. Review of laser marking and engraving. // Laser & Optronics, 1988, №9, p.61-67.

6. Klimt B.H. State of the art laser marking and engraving. // SPIE, 1987, v.744, p. 185-189.

7. Белоногова E.K., Дьякова Ю.Г., Калинина В.К. и др. // Лазерная техника и оптоэлектроника, 1991, №4/5, с.81-82.

8. Карнюшин В.Н., Солоухин Р.И. Макроскопические и молекулярные процессы в газовых лазерах. -М., Атомиздат, 1981, с.81-109.

9. Тарасов Л.В. Физика процессов в генераторах когерентного оптического излучения. М., Радио и связь, 1981, с.53-57.

10. Велихов Е.П., Баранов В.Ю., Летохов B.C. и др. Импульсные С02-лазеры и их применение для разделения изотопов. -М., "Наука", 1983, с. 109-131.

11. Клайн Л.Э., Дэн Л.Ж. Газовые лазеры. М., "Мир", 1986, с.461-502.

12. Виттемай В. С02-лазеры. М., "Мир", 1990, с.167-230.

13. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Веденов А.А. и др. Получение распределенного электрического разряда в импульсном С02-лазере и некоторые особенности лазерного излучения. // Препринт ИАЭ-2248. М., 1972.

14. Борисов В.М., Гладуш Г.Г., Степанов Ю.Ю. // Квантовая электроника. 1977, т.4, №4, с.809.

15. Канатенко М.А. // Письма ЖТФ. 1983, т.9, вып.4, с.214.

16. Горячкин Д.А., Иртуганов В.М., Калинин В.П. О влиянии электродной системы на равномерность газового разряда TEA С02 лазера. // ЖТФ. 1989, т.59, в.6, с.46-50.

17. Месяц Г.А., Осипов В.В., Петров А.Н. и др. Влияние эмиссионных свойств электродов на характеристики импульсно- периодического С02 лазера. // ЖТФ. 1990, т.60, в.4, с. 143-146.

18. Козлов Б.А., Соловьёв В.Н. Роль материала электродов в формировании импульсно-периодических объёмных разрядов. // VIII конф. по ФГР, г.Рязань, 1996, тез.докл. 4.1, с.25-26.

19. Афонин Ю.В. и др. Компактный электроразрядный С02-лазер с энергией излучения 30 Дж. // ПТЭ, 1979, №1, с.178.

20. Pearson P. R., Lamberton Н. М. Atmospheric Pressure С02 Lasers Giving High Output Per Unit Volume. // IEEE J. Quantum Electronics. 1972, v.QE-8, №2, p. 145-149.

21. Галочкин В.Т. и др. Импульсный С02-лазер с поперечным разрядом. // ПТЭ, 1976, №2, с. 161.

22. Аполлонов В.В., Байцуров Г.Г., Ковальчук О.Б. и др. Импульсный С02-лазер с энергией излучения 5кДж. // VIII конф. по ФГР, г.Рязань, 1996, тез.докл.ч.1, с.8-10.

23. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Стрельцов А.П. Импульсный С02-лазер повышенного давления с предыонизацией на катоде. // ПТЭ. 1973, №5, с.188.

24. Осипов В.В, Слабодняк П.А., Тельнов В.А. Компактный лазер на С02. // ПТЭ, 1978, №1, с. 198.

25. Мощный ТЕ-лазер на С02 с плавной перестройкой частоты. // ПТИ. 1982, №4, с.65.

26. Влияние характеристики предварительной ионизации на работу TEA лазера на основе СОг с ультрафиолетовой предыонизацией. // ПТИ. 1982, №2, с.58.

27. Использование объёмного и скользящего разрядов для накачки газовых импульсных лазеров. // ЖТФ. 1982, т.52, вып.10, с.1979.

28. Инициирование мощного несамостоятельного объёмного разряда в молекулярных газах ультрафиолетовым излучением от плазменного катода. // Квантовая электроника. 1982, т.9, №8, с. 1718.

29. Скользящий разряд в С02 и эксимерных лазерах. // Радиотехника и радиоэлектроника. 1984, т29, вып.7, с.1217.

30. Простая схема для пассивной синхронизации предыонизационного и основного разрядов в ТЕА-лазере на С02 с УФ предыонизацией. // ПТИ. 1985, №3, с.139.

31. Мощный импульсный С02-лазер с плазменными электродами. // Квантовая электроника. 1984, т.11, №9, с. 1866.

32. Зарослов Д.Ю., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П., Никифоров С.М. У/ Квантовая электроника. 1978, т.5, с. 1221.

33. Judd О.P., Wada J.Y. Investigations of a UV Preionized Electrical Discharge and C02 Laser. // IEEE J. Quantum Electronics. 1974, v.QE-10, №1, p.12-20.

34. Гамзятов H.M. Простой электроразрядный лазер, излучающий в УФ, видимом и ИК спектральных диапазонах. // ПТЭ. 1983, №3, с. 164.

35. Простой TEA С02-лазерный усилитель с УФ предыонизацией для усиления длинных импульсов. // ПТИ. 1984, №10, с. 16.

36. Рубинов Ю.А., Шахвердов П.А. С02-лазер с поперечным возбуждением и предварительной фотоионизацией. // ПТЭ. 1976, №6, с.161.

37. Sylvan A., Bhadani Р.К., Harrison R.G. A photoswitched small TEA C02 laser. // Meas.Sci.Technol. 1992, v.3, p.200-203.

38. Высокомощный TEA С02-лазер с 10 см апертурой. // Optics communications. 1982, у.44, №2, р. 125.

39. Marchetti R., Penco Е., Salvetti G. Compact Sealed TEA C02 Lasers with Corona-Discharge Preionizion. // IEEE J. Quantum Electronics. 1983, v.QE-19, №10, p.1488-1492.

40. Walter B. Surface corona discharge preionisation of gas-flow TEA lasers. // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1987, v.20, №4, p.457-458.

41. Marchetti R., Penco E. A new type of corona-discharge photoionization source for gas lasers. // J.Appl. Phys. 1982, v.56, №11, p.3163-3168.

42. Нгуен Txo Выонг, Пузевич 3. Импульсный TEA С02-лазер с энерговкладом 1,1 кДж/л, стабилизируемый двойным предварительным разрядом. // Квантовая электроника. 1982, т.9, №1, с. 145-147.

43. Великин А.А., Гуревич Д.Б., Канатенко М.А. и др. Преодоление электродной неустойчивости в объёмном разряде. // ЖТФ. 1985, т.55, в.6, с.1222-1224.

44. Семкин Б.В., Трефилов Е.Э., Шубин Б.Г. Пространственное распределение тока объёмного самостоятельного разряда в системе плоских не профилированных электродов. // Письма в ЖТФ. 1989, т. 15, в. 11, с.85-88.

45. Канатенко М.А. Объёмный разряд в газах повышенного давления на не профилированных электродах. // ЖТФ. 1994, т.64, в.6, с. 198-201.

46. Чанг Т. Приборы для научных исследований. // 1973, т.44, №4, с.44-46.

47. Ernst G.J. // Opt. Commun. 1983, v.47, №1, p.47-51.

48. Rogowski W. // Arch. Elektrotech.1923, v.12, p.1-15.

49. Stapperts E.A. // Appl. Phys. Lett. 1982, v.40, p. 1018-1019.

50. HermsenT. // Opt. Commun. 1987, v.64, №l,p.59-62.

51. Bruce F.M. // J. Inst. Electr. Eng. 1947. v.94, p.138-154.

52. Болотов A.B., Козырев A.B., Королёв Ю.Д., Лучинская Л.И. // ПМТФ. 1986, №5, с.3-5.

53. Бейер М., Бёк В., Мёллер К., Цаенгель В. Техника высоких напряжений: теоретические и практические основы применения. Пер. с нем. / Под ред. Ларионова В.П. -М, Энергоатомиздат, 1989, с.61-68.

54. Бакулин И.А., Котов Е.В., Николаев В.Д. Профиль электрода для импульсных лазеров высокого давления. // Известия СНЦ РАН, 2000, т2, №1, с.44-47

55. Ernst G.J. Rev. Sci. Instrum, 1977, v.48, p. 1281.

56. Ernst G.J., Boer A.G. Opt. Commun., 1978, v.27, p. 105.

57. Ernst G.J., Boer A.G. Opt. Commun., 1980, v.34, p.221.

58. Ernst G.J., Boer A.G. Opt. Commun., 1982, v.44, p. 125.

59. Beverly R.E. Light Emission from High-Current Surface-Spark Discharges. // Progress in Optic, 1978, v. 16, Chapter IV.

60. Ищенко B.H., Ражев A.M., Редин С.Г. Лазерные системы. / Сб. науч. труд. Новосибирск: Изд-во Ин-та теплофизики СО АН СССР, 1982. С.87.

61. Бакулин И.А., Котов Е.В., Генератор импульсов высокого напряжения. // Заявка № 94021290/09 RU БИ № 15 от 27.05.96, с.124.

62. Бакулин И.А, Котов Е.В., Шалаев А.А. Аппаратура высокого давления с герметичным приводом. // А.с. №1775802 А1.

63. Бакулин И.А., Котов Е.В., Николаев В.Д. Экспериментальный образец TEA С02-лазера для маркировки кабельной продукции. // Наука -производству, 2000, №12 (37), с. 16-17.

64. Denes L.J., Lowke J.J. //Appl. Phys. Lett., 1973, v.23, p. 130-132.

65. Виганд В.Дж. Кинетика ионов при высоком давлении. Газовые лазеры. -М., "Мир", 1986, с.95-122.

66. Nighan W.L. // Phys. Rev., 1977, v.A16, p.1209-1223.

67. Pack J.L., Phelps A.V. //J. Chem. Phys, 1966,v.45, p.4316-4329.

68. Shimamori H., Hatano Y. // Chem. Phys. Lett, 1976, v.38, p.242-247.

69. Nighan W.L, Wiegand W.J, Haas R. A. // Appl. Phys. Lett, 1973, v.22, p.579-582.

70. Stark D.S. Carbon dioxide gas lasers. // UK Patent Application GB 2028571 A.

71. Ашурлы З.И., Бабаев И.К., Дзисяк А.П. и др. Каталитическая регенерация газовой смеси электроионизационного С02-лазера замкнутого цикла. // Квантовая электроника, 1981, т.8, №11, с.2418-2424.

72. Stark D.S., Crocker A., Steward G.J. A sealed 100-Hz C02 TEA laser using high C02 concentrations and. // J. Phys. E: Sci. Instrum., v. 16, 1983, pp.158-161.

73. Stark D.S., Harris M.R. Catalysed Recombination of CO and C02 in Sealed C02Laser. // J. Phys. E: Sci. Instrum., v.16, 1983, pp.492-496.

74. Sidney B.D., Brown K.G. et al. Research on catalysts for long-life closed-cycleC02 laser operation. // SPIE v.783 Laser Radar II, 1986, p. 162-168.

75. Осипов В.В., Никифоров А.В, Орлов А.Н. и др. TEA С02-лазер с системой регенерации газовой смеси. // ПТЭ, 1998, №2, с. 110-113.

76. Smith A.L.S., Bett Т.Н., Browne P.G. The Effects of Gas Additives on TEA C02Lasers // IEEE J. Quantum Elektron. 1975, v.QE-11, №7, p.335-340.

77. Stark D.S., Ckross P.H., Foster H. A Compact Sealed Pulsed C02 TEA Laser. //IEEE J. Quantum Elektron. 1975, v.QE-11, №9, p.774-778.

78. Dyer P.E, Tait B.L. Improved performance of mini-repetitively pulsed C02 lasers using H2 buffered gas mixtures. // Appl. Phys. Lett., 1982, v.41, p.506-508.

79. Marchetti R., Penco E., Salvetti G. Sealed, Miniaturized, Corona-Preionized, High-Repetition-Rate TEA C02 Laser Using Hydrogen Buffered Gas Mixtures. // IEEE J. Quantum Elektron. 1985, v.QE-21, №11, p.1766-1771.

80. Sidney B.D., Brown K.G. et al. Catalytic recombination of dissociation products with Pt/Sn02 for rare and common isotope long-life, closed-cycleC02 lasers. // SPIE v.663 Laser Radar 11,1986, p.136-144.

81. Ikeda H., Horishima Т., Owaki T. // JRC Rev. Vol.26, №9, 1988, p.51-59.1. Системы возбуждения