Интердиффузия в модулированных по составу бинарных тонкопленочных системах тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ
Полушкин, Николай Игоревич
АВТОР
|
||||
кандидата физико-математических наук
УЧЕНАЯ СТЕПЕНЬ
|
||||
Нижний Новгород
МЕСТО ЗАЩИТЫ
|
||||
1992
ГОД ЗАЩИТЫ
|
|
01.04.07
КОД ВАК РФ
|
||
|
Министерство науки, высшей школы и технической политики Российской Федерация Нижегородским государственным университет им. Н.И.Лобачоаского
На правая рукописи
ГТОЛУШКИН Николай Игоревич
ИНТЕ?ДИФФУЗИЯ В МОДУЛИРОВАННЫХ ПО СОСТАВУ БИНАРНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМАХ
01.04.07. — фмзикг» твердого тепа
Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Нижний Новгород — 1992
Работа выполнена в Институте прикладной физики РАН * г. Нижний Новгород
Научный руководитель: доктор физико-математических наук
И. Н. Салащенко
Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук
В. А. Пантелеев
кандидат физико-математических наук И. Д. Токман
Ведущая организация: Институт кристаллографии РАН,
г. Москва
Защита состоится " /3- " декабря 1992 г. в часов на заседании специализированного совета К 063.77.04 по защите диссертаций на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук в Нижегородском государственном университете им. Н. И. Лобачевского по адресу: 603600, г. Н. Новгород, ул.Большая Покровка, 37, физический факультет, ауд._.
Отзывы направлять по адресу: 603600, г. Н. Новгород, ГСП-3 пр.Гагарина, 23, корпус 3, НИФТИ.
С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Нижегородского университета.
Автореферат разослан "__ " ноября 1992 г.
Ученый секретарь специализированного совета кандидат физико-математических
Ю. С. Попов
с.-;' 11 ^г,"'
I 1/и: - . ;
1. 0БП1ЛЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ
АКТУАЛЬНОСТЬ ТЕШ. Эффективность использования периодических яояоструг.тур из чередующихся слоев двух тт^рячлоз №1 решеказ различны: фкзичссхак и прикладных задач определяется резкостью границ раздела ¡¡езду слоями. Принципиальна роль в формировании границ раздела в такия системах играет процесс атомной интердиффугии ксшонент системы. Процесс иитердиффузлн могет приводить хпх к перэме вакию слоев, так я более© резкску расслоении. Зг расслоение ъгагут быть ответствегшы эффекты фазового разделения и упорядочения. С зтой точхя зрения представляется важный изучать терцодинамичесхие свойства неравновесиях сплавов ¡1, а частности, систем с резкими градиентани химического потенциала. Проблемы диффузии в иаиоструктурировааных пленках, а такке их устойчивости (тердастабняьнести) являются принципиальными и с практической точки зрения в силу разнообразия применений шогосяойкых структур, з том числе з условиях высоких температур.
С другой стороны, в литературе уделяется большое внимание изучении быстро протекающих процессов фазовых превращений в неравновесных системах, в частности для организации систем хранения информации, записанной с высокой плотность». Как правило, с этой цедьо используется бездиффузиопныэ фазовые превращения. Диффузионные процессы в твердой фаза здесь практически не используются ь слу низкой подвианости ггешоз в твердой теле. Однако, ситуация может качественно измениться, если диффузия происходит з среде с достаточно резкими градиентами химического потенциала. Примером тако.1 среды являются миогосяоЛныэ структуры из чередующихся ульгратонкьх слоев разных материалов.
ЦЕЛЬЮ ДИССЕРТАЦИИ является
1. Экспериментальное изучение процессов ннтердиффузии в гетероструктурах из сверхтонких слоев толщиной в несколько десятков ангстрем и разработка методики для исследования таких процессов.
2. Исследования термостабильности многослойных структур и анализ физических проц'2-сов, ответственных за образование устойчивых модулированных структур.
3. Изучение модификации физических свойств среды при диффузии в сильно неравновесных бинарных системах.
НАУЧНАЯ НОВИЗНА работы заключается в следующем:
1. .Из иалоугловых спектров рентгеновской дифракции от кногослойньк структур можно определить их основные параметра: тояпцшы слоев в структуре, плотности слоев, толвдшу переходного слоя на граница:', раздела, интегральные характеристики флуктуациП периода в структуре. Это позволяет изучать процессы роста и фазовых превращений в ультратошенх слоях,
2. Термически активированные диффузионные процесса е периодических наноструктурах приводят к значительному изменению характеристик брэгговских резонансов налоугловой дифракции рентгеновского излучения. Это дает возможность управлять в процессе термического отаига параметрами многослойных рентгеновских зеркал - отражательной способностью, селективностью, углом максимума резонанса для дальнейшего использования их в экспериментах, в которых необходимо фиксировать геометрию эксперимента.
3. ЕапиеЯгаи параметром, определяющим диффузионное поведение модулированных структур, является период кодуляции. Расслаивающееся системы типа ис-с характеризуются ростси длинноволновой иодуляции состава и уменьшением коротковолновой. В упорядочивающихся сплавах типа и-зь реализуется обратная ситуация: уиеньпение длинноволновых и рост коротковолиска;; флуктуации Значение критического периода, при котором коэффициент интердиффузин меняет знак, зависит, в частности, от температуры.
4. Процесс фазового разделения в системах Не-с п, отекает по 1лахаш!зяу иуклеации и роста. Это удается установить при сравнении роста иагнитной фазы в изначально однородной по составу пленке ка ранних стадиях разделения и слабоисдулированной структуре ге/с с тем *е средним составом.. Поздняя стадия разделения характеризуется медленным логарифмическим ростом На- и с-обогацеиных слоев, которые кохно расснатривать как искусственно сформированные зародьпи новой фазы.
5. Характерные времена протекания диффузии в модулированных
по составу средах могут составлять единицы наносекунд, что позволяет рассматривать такие. системы в качестве материалов -носителей записи информации с высокой плотностью.
ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ диссертации состоит в следувзац:
1. Рассмотренлая мэтодиха определения параметров многослойных структур могет быть использована для диагностики п>: рабочих характеристик и выработки рекомендаций для усовершенствования технологии изготовления.
2. Проведенные исследования термостойкости многослойных структур позволяют выбрать перспективные материалы для использования и:г в различных экспериментах в условиях высоких температур.
3. Обнаружении!! гффгкт увеличения интенсивно • та рентгеновского рассеяния ст некоторых многослойны;: структур, используемых в качестве элементов многослойной рентгеновской-оптики, при их термическом отякге тем самым позволяет улучсать их рабочие характеристики.
4. Проведенные исследования процессов упорядочения в неравновесных бинарных системах позволяют выработать рекомендации для создания устойчивых ыалопериодных (1-2 им) модулированных по составу структур - элементов рентгеновской оптики нормального падения.
5. Многослойные системы, в которых бы пи обнарузены достаточно сильные диффузионные изменения при коротко-импульсной лазерном воздействии, могут потенциально рассматриваться как среды для записи информации с высокой плотность о.
АПРСБА1Ш РЕЗУЛЬТАТОВ. Материалы диссертации докладывались на X Всесоюзном совещании по механизмам н кинетике химических реакций в твердом теле (Черноголовка, 1689) [1], I Советско-Японском семинаре по использование еннхротрошгого изучения для рентгенозехой диагностики кристаллов (Калуга, 1990) [2], хи БсесовзноЛ иколе по новым магнитным материалам микроэлектроники (Новгород. 1990) [3], Всесоюзной конференции по проблемам оптической памяти (Телави, 1Э90) [4]. XIX Всесоюзной, конференции по физике магнитных явлений (Ташкент, 1991) [5]. Материалы диссотацкк бы-.;: опублякозанк также в трудах I Международного симпозиума по фнзихе многослойных рентгеновских
структур (США, Вайоминг. 1992) [6-8].
СТРУКТУРА И ОБЪЕМ ДИССЕРТАЦИИ.
Диссертация состоит из введения, четырех глав к заключения. Она содеркит 101 страницу основного текста, 57 рисунков и 5 табвиц. Список литературу включает 85 наименований.
2. СОДЕРЖАНКЕ РАБОТЫ.
Во ВВЕДЕНИИ обоснована атуальность темы диссертации, сформулирована ее цель, кратко изложено содераание диссертации и приведены основные научные положения, выносимые на защиту.
В ПЕРВОЙ ГЛАВЕ рассматривается влияние различных несовершенств типа неровности границ раздела ме^ду слоями и ошибок в толщинах слоев в искусственных многослойных структурах на характеристики спектроз ыаяоуглового рентгеновского рассеяния [9,10]. Эти исследования позволили построить методику определения параметров профиля электронной плотгости в многослойных структурах [11]: толщины слоев, толщина переходкого слоя на границах раздела, плотности слоев, а также интегральных характеристик фяуктуацяй периода. Методика основана на Фурье-аиализ'е спектров иаяоугковой рентгеновской дифрак^и. Ыетод Фурье-анализа спектров рентгеновской дифракция развивался в работах Института кристаллографии РАН для определения параметров приповерхностных нарушенных слоев монокристаллов [1*]. При использовании этого ыетода для исследований искусственных гетероструктур. такие их характеристики как модули Фурье- компонент электронной плотности и интегральные характеристики флуктуации периода определяется непосредственно из обработки спектров ыаяоугловой рентгеновской дифракции без привлечения каких-либо предположений о характере профиля электронной ияоткости.
Во ВТОРОЙ ГЛАВЕ диссертаиш рассматривается некоторые применения рентгевооптического ыетода для изучения процессов роста и диффузии в многослойных структурах. Эти исследования предваряется анализом параметров распределения электронной плотности в металлических многослойных структурах, изготовленных по . различный технологиям. При этом кроне рзнтгенооптичесхого
метода используются некоторые другие методы исследования тонких пленок (электронная микроскопия, Оже электронная спектроскопия), а такзсе сведения о фазовых диаграммах бинарных сплавов. Проведенный анализ показал, что металлические многослойные структуры из ссер::тонккзс пленок А-в реально представляет" собой иодулнрозакние по составу смеси ах в1_х / лу Bj_y, [6, 7, 11]. Параметра хну изменяются в широких пределах в зависимости от технологии изготовления, используемых материалов, а также среднего состава и толшшы слоев в структуре. В литературе чаще всего такие структуры рассматривается как системы . из чередующихся слоев А иве разыытыми границами.
Во второй глазе исследуотся также изменения в спектрах цалоугловой рентгеновской дифракции от ыгтаяяиче< tot многослойных структур при ик стандартном термическом [1,2,7,8,12] и иипульсно-лазерном отаиге. Термический отхиг осуществлялся в диапазоне температур т« 100-600 °С, а лазерный -вплоть до порога разрушения пленки. Все многослойные структура по характеру изменений спектров дифракции разделяется на три группы: 1. интенсивности брэгговских резонаисов во всем исследованном диапазоне температур уменьшаются; 2. не происходит каких-либо заметных изменений в спектрах вплоть до порога разрушения, что относится прежде всего к в-содержащим структура!* типа Hi-B, по-в; 3. существует диапазон температур, и котором наблюдается увеличение интенсивности брэгговских резонансов. К последней группе относятся структуры, состоявшие из углерода в качестве одного из слоев, а в качестве другого - одного из металлов типа Ni, cr, w, Pt. Кроме того, увеличение интенсивности наблюдалось в структурах si-Be, Hi-Be, а такде Co-Pt и w-sb [8].
Основное внимание в диссертационной работе сосредотачиьается на изменениях в пленках металл-углерод (Ms-с). 0д"1й из причин такого выбора предмета исследований является качественное подэоие в поведении спектроа дифракции от Не-с структур для веек исследованных металлов (Ni, cr, Fe, Со, V, Rh, по, ir, Pt, w). С другой стороны, структуры ме-с представляют, довольно широкий класс элементов многослойной рентгеновской оптики. Рабочие характеристики ' рентгеновских зеркал отражательная способность, селективность, угол максимума
брзгговского резонанса иогут быть значительно изменены в результате диффузионных и других фазовых превращений в структурах. Исследования кинетики диффузионных изменений -зависимости амплитуды и периода модуляции от времени и теипературы в системах к с-с иллюстрируются в на примере пленок Hi-c и Pt-c [2]. Анализ изменения профиля электронной плотности в этих структурах при термическом отжиге показывает. что возможны три различных механизма фазовых превращений £7]:
1. диффузия атомов с из с-обогащенного слоя в слой металла;
2. восходивдя диффузия атомов металла из с-сбогащенного слоя.
3. структурная модификация графитовой фазы в с-обогащенной слое.
Результаты дополнительных исследований структур методами Ose электронной и Рамановской спектроскопии подтверждает, что все три перечисленные механизма ответственны за наблюдаемые изменения. Во главную роль здесь играет диффузионные процессы. Как показывает: эксперименты по изучению кинетики изменений, диффузионные процессы в системах не-с не описываются в рамках простейших представлений о диффузии. Для интерпретации наблюдаемых эффектов рассмотрена модель диффузии углерода в слои металла, в которой учитываются особенности микроструктуры тонких слоев J12J. . Однако, дальнейшие исследования показали, что обнаруленяые закономерности в диффузионном поведении пленок Ие-с, а именно существование двух резко выраженных стадий в эволюции структур - стадии медленных логарифмических изменений ч стадии быстрых, при незначительном изменении температуры, изменений следует интерпретировать с точки зрения эффекта восходящей диффузии. Об этом свидетельствуют эксперименты по изучению кинетики диффузионных изменений в специальным образом приготовленных слзбомодулярованных структурах ме/с (7). Обнаружилось, что кннетиха изменений в структурах ме-с и Ме/с одинакова, а изменение периода со временем и температурой даже количественно совпадает, тогда как. эффект восходящей диффузии в структурах ме/с проявляется значительно ярче, чем в ме-с.
В ТРЕТЬЕЙ ГЛАВЕ диссертации рассматриваются устойчивые модулированные структуры, образуюяиеся в результате процессов фазового разделения [7] и длинноволнового упорядочения [8,13].
Оригинальные исследования по проблеме устойчивости волн
концентрации в бинарных системах предваряется обзором литературы по теории елтюдалыюго распада как одного из механизмои фазового разделения, а также экспериментальным исследованиям по восходящей диффузии в бинарных металлических системах типа лг-гп, Ге-сг. Специфика неоднородных по составу спстец
учитывается при рассмотрении зависимости свободной энергии от производных различных порядков от состава х( г) по координата» г. В предположении, что радиус действия межатомных потенциалов много меньке характерных ^«эсатабов изменения концентрации, в разложении свободной энергии в ряд Тейлора кроме основного слагаемого - свободной энергии однородного раствора ыозио оставить только первый неисчезагаций член вида к^х)2, который в многослойной структуре характеризует энергию границ раз «а между слоями. Коэффициент К пропорционален величине энергии смешения и- едв- (1 / 2) (еад + евз), где Е - иегатомные потенциалы. Характер диффузионного поведения модулированных структур определяется величиной и знаком и и, следовательно, коэффициента К. В случае и > 0 (распадающиеся системы) следует
ожидать усиления всех флуктуация состава *с волновыми числами ч
»
меньше некоторого критического чс , а при ч > Чс флуктуации должны затухать. Если и < 0 ( упорядочивающиеся системы), то имеет место обратная ситуация: при ч < чс флуктуации затухают, а при ч > ч - усиливается. Это - основной вывод, который следует нз линейной теории Кана-Хи»лиарда [2*]. Нелинейные теории спинодального распада описывают поздноо стадию «разового разделения, называемую в литературе "огрубление", когда происходит медленная зволпция сформированной модулированной структуры или пакета волн концентрации в некотором диапазоне При этом численные расчеты предсказывают рост периода модуляции со временем (3*3-
Как" прасило.' в металлических системах не 7дается наблюдать ранние стадии распада в силу того, что процесс фазового разделения протекает здесь достаточно быстро. Кроме» того, без привлечения дополнительных методов исследования не всегда возможно отличить механизм нухлеации и роста от спинодального распада. В диссертационной работе при исследовании фазового разделения в системах ме-с эта проблема решалась использованием
методов измерения магнитных характеристик Сравнивая характер измгнения намагниченности при изотермическом отниге в исходном состоянии однородной смеси Fo^Cj^ н мо^/лированной структуре Fa/c с тем ае средним составом, поено сделать вывод, что фазовое разделение в этих системах происходит через зародышеобразование. Это аз косвенно подтверждается результатами исследования многослойных структур w-c в работе Шуллера с соавторами [4*]. Таким образом,' Ие- и с-обогащенные слои в структура): Me-с мохно рассматривать как искусственно сформированные зародыш« новой фазы. Такой подход позволяет интерпретировать диффузио». ,.оа поведение систем Ме-с с точки зрения процесса эволюции зародышей новой фазы на стадии коалесценции ("огрубления") [5*].
Изучение процессов упорядочения проводите* на пркыере систем Co-Pt и w-sb [8,13], в которых обнаружено усиление модуляции состава при некоторых значениях периода модуляции после термического' отжига. 8 диффузионном поведении структур Co-Pt обращает на себя внимание немонотонный характер зависимости коэффициента интердиффузии
Ем (d2/4n2t) in[M0)/A(t)), где AtO) и Alt) - значения амплитуды модуляции в начальном состоянии и момент времени t, от периода модуляции d= 2/irq. n области d»38... 42 А значение D при т» 200 °С близко к нулю, тогда как при d>42ÁHd<33J-D>0, что соответствует уменьшению модуляции. Более тою, для некот чых структур в узком диапазоне значений периода 40...41 к наблюдалось увеличение модуляции (D < 0). Чтобы объяснить эти эффекты, на каш взгляд необходимо учесть взаимодействия в дальних координационных сферах. Это можно сделать, если рассмотреть зависимость свободной энергии от производных от xlг) по г второго порядка и выше, а такхе определить кг ффициенты при этих членах в разложении свободной энергии. В отличие от структур co-pt поведение систем w-sb, а именно сдвиг значения q в сторону более низких значений, соответствующих периоду модуляции 15 А, может быть качественно описан в рамках теории Кана-Хиллиарда.
В ЧЕТВЕРТОЙ ГЛАВЕ исследуются быстро протекающие процессы диффузии с характерными временами десятхи наносекунд в
многослойных структурах, • которые приводят к модификации физических свойств среди. Такие процессы, в частности, могут быть использованы для термозаписи информации с высокой плотность». Плотность- термозаписи в первую очередь будет определяться характерны;!:-! временами протекания диффузии и, следовательно, величиной созданных в исходной структуре градиентов химического потенциала.
Результата исследований поведения спектров рентгеновской дифракции от целого ряда сии»-ем Н1-Т1, Шг-У, Н1-С, Го-с, Р1-с при воздействии мопдаым коротко-импульсным лазерным излучением показывают, что за времена в несколько десятков наносекунд в этих системах активизируется процессы интердиффузии. В слабомодулированних структурах Те/с процесс диффу чи сопровождается фазовым переходом из суперпарамагнитного в ферромагнитное состояние. Причем характер этого перехода, как показывают исследования петель гизтерезиса методом мепидионального эффекта Керра, существенно пороговый [5]. Сравнивая динамику- магнитных свойств и усиления модуляции, можно оценить длительность фазового перехода, что составляет не более нескольких наносехунд. Это позволяет обсуждать .возможность организации снстеи магнитных элементов памяти субмикроиных размеров. В этом аспекте изучаются свойства ансамбля магнитных микрочастиц, полученного методом лазерной проекционной печати. Проведенные исследования показали в частности, что свойства изотропных по форме частиц размерами в несколько микрометров практически не отличается от свойств отожзепшк образцов те/с макроскопических размеров (несколько миллиметров или сантиметров).
Для получения субмикронных частиц при лекальной термостимулированной диффузии изучается возможность использования интенсивного остролокал.псванного электронного пучка с иглы сканирующего туннельного микроскопа (СТМ). Результаты исследований иллюстрируются на примере многослойных пленок Ш-с, ге-с и сг-с. На поверхности таких пленок после коротко-импульсного ( 10 не) воздействцч образовывались модифицированные в СТМ-изобра*еяии области размерами от 500 А до 3000 А.. Характерные размеру этих областей 1 зависят от амплитуды
¡¡«пульса напряжения V, подаваемого на иглу в цикле записи, а зависимость ХСV) имеет пороговый характер. При этом порогозые значения V для систем Н1.-С, Гв-с, сг-с существенно разные. Сравнение с результатами стандартного термического отжига этих структур показывает, что за образование модифицированных областей на поверхности пленок дагет быть ответственен локально терыоактивированный процесс фазового разделения в объеме.
В ЗАКЛЮЧЕНИИ перечислены основные результаты, полученные в работе:
1. Построена методика определения основных параметров распределения электронной плотности в многослойных структурах из сверхтонких пленок - толщин слоев в структуре, плотности слоев, толщины переходного слоя на границах раздела, интегральных характеристик флуктуации периода в структуре.
2. Установлено, что плотности слоев в реальных металлических наноструктурах В" большинстве случаев отличаются от их значений в массивных образцах, в то время как толияна переходного слоя на границах может быть существенно меньше толцин слоев.
3. Обнаружены эффекты увеличения амплитуды модуляции к изменения периода модуляции при термическом отжиге целого ряда структур из различных материалов Ме{н1, сг, ге, мо. и, рО -с, эл-ве, Н1-ве, н-зь. используемых в качестве элементов многослойной рентгеновской оптики. Это позволило улучшать рабские характеристики рентгеновских многослойных зеркал.
4. Исследована кинетика изменений профиля электронной плотности в структурах ме-с при термическом отжиге. Выявлены механизмы, ответственные за наблюдаемые в экспериментах изменения электронной плотности. Установлено, что диффузионное поведение структур Не-с качественно подобно для всех исслсдоваьных металлов Не- N1, сг, те, со, V, кь, мо. Адра. 1г. и.
5. Исследован эффект восходящей диффузии в слабомодулнрованных по составу структурах Ке(Ш)-с. Показано, что процесс
. фазового разделения в ситенах Не-с происходит через механизм нуклеаиии и роста. Наблюдаемое увеличение амплитуды и периода модуляции со временем может быть интерпретировано в рамках представлений об эволюции зародышей новой фазы.
сформированных искусственно в виде двумерных слоев.
6. Обнаружен и экспериментально исследован эффект образования длинноволновых сверхструктур в упорядочивающихся системах н-sb и Co-pt. Установлено, что диффузионное поведение иодулирозашшх структур■ в этих системах определяется величиной периода структуры. В частности, для структур co-Pt выявлена сильная аномалия в зависимости коэффициента интердиф-Фузни от периода в области значений 30-50 А.
7. Показано, что процесс восходящей диффузии в структурах Fe/C может сопровождаться фазовым переходов в ферромагнитное состояние, длительность которого не превышает нескольких наносекунд. Исследозаны магнитные свойства набора термочастиц, полученного методом проекционной печати, и показана возможность использовать такие частицы в качестве реверсивных элементов памяти.
8. Обнаружен и экспериментально изучен эффект модификации поверхности пленок ие{wi, Fe, Сг)-с в результате воздействия остролокализованным электронным пучков с иглы СТО. Предполозительно, эта модификация есть результат локальной термостимуляции процесса фазового разделения и объеме пленок.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЫ А ТЫ диссертация стралсны ■ в следующих работах:
1. Ахсахалян А. Д., Платонов Ю. Я., Полупжин Н. И., Салащекко Н. Н., Фраерман А. А. Диффузия а многослойных структурах из сверхтонких пленок металл-углерод // Тезисы докладов х Всесоюзного совещания по механизмам и кинетике химических реакций в твердом теле, Черноголовке», 1989, стр.104-105.
2. А. О. Akhsakhalyan, л. A. Fraerman, Yu. Ya. Platcnov, H. I. Polushkin, N. H. Salaschenko. Diffusion in the multilayer structure of actal-carbon superthin filr.3 // Thin Solid Filas, 207U992). 19-23.
3. Ахоахалян А. Д., Генкии В. Н., Полуюкин Н. И., Рухман Н. В., Салащенко Н. Н. Ферромагнитный резонанс в многослойных структурах из сверхтонких пленок Fe-c // Тезисы ".окладов XII Всесоюзной школы-семинара по новый магнитным материалам микроэлектроники, Новгород. 1990. ■»•. 2, стр. 188-189.
4. Лхсанаяян А. Д., Генхин Г. LL, Иванов В. Б., Еоздрин В. II., Полушкин Н.й., Саяавенко Н.Н. Ыапштная анизотропия шюгослойньас структур из сверхтонких пленок // Тезисы докладов и сообщений Всесоюзной конференции по проблемам оптической памяти, Телави, 1930, стр.104-105.
5. Жуликов A. U., Иоздран Ю. II., Полушага Н. И. Магнитные свойства многослойных структур Fo-c // Тезисы докладов xix Всесоюзной конференции по физике цапштных явлений, Ташсент, 1991. т. 3, стр. 24-25.
6. I. V. Baehelhanov, а V. Kovalchuk, N. К. Novikova, S. X. Zheludova, A. A. Fraerman, Yo. Va. Platonov, H. I. Polushkin, К. К. Salaschonko, к study of ultrathin filns In nultilayer structures by standing waves and ека11-angle x-ray scattering techniques // In Proc. of the I Topical Meeting on Physics of X-ray multilayer structures, Vayoaing, USA, 1992, 44-48.
7. h. 0. AkhaakKalyan, A. A. Fr&enaan, Yu. У a. Platonov. N. I. Polushkin, U.K. ■Salaschonko. Diffusion behavior of patal-carbon multilayers // Ibi«., 27-31.
8. S. S. Andreev, H. I. Polushkin, N. К Salaschenko, S. I. Shinkerоv. Stability of tho long period nodulated structures inordering oyatena // Ibid., 40-43.
9. Ахсахалян А. Д., Гапонов С. В., Гусев С. А., Платонов Ю. Я.. Полутени П. И., Саладенхо П. К., Фомина Н. И., Фраерман А. А. Влияние нежплоскостных сероховатостей на отракатет до свойства многослойных рентгеновских зеркал // &ТФ. 56(5), 1986, стр. 891-897.
10. Пчатонов D. Я., Полуюкин Н. И., Салащенко Н. Н.. Фрзерман А. А. Рентгенооптические исследования характеристик многослойных структур// ЖТФ, 57(11), 1987, стр. 2192-2199..
11. A. D. Akhsakhalyan, A. A Fraernan, Yu. Va. . atonov, N. I. Polushkin, N. N. Salaschenko. Determination of the layered sinthetic nicrostructure parameters // Thin Solid Pilias.
203(1991). 317-325.
12. Ахсахавян А.Д., Платонов Ю. Я., Попушкин Н. И., Салащенко Н. Н., 4раерман А. А. Диффузия в многослоЯьых структурах иаталд-углерод // ПОВЕРХНОСТЬ. Физика, химия, кэханиха., 11(1991). стр. 137-145.
13. S. S. Andréev, S. R. Huiler, Yu. Va. Platonov, H. I. Polushkin, 11. H. SalaschenJco, F. Schafers, S. I. Shlnkarev, й К Sinanovslciy, S. Yu. Zuev, Snail d-spacing multilayer structures for the energy range E > 0.3 keV // In Proc. -of SPIE, v. 1800, 1992, 195-202.
Литература.
1 *. V. G. Kohn, H. V. Kovalchuk, R К laamov, £. F. Lobanovich. The aetfcod vof Integral characteristics in X-ray diffraction studies of the surface layers of single crystals // Phys. st. sol. <l), 64(7), 1381. 435-441.
2*. J.E. Cabri, J. E. Billiard. Free Energy of a Honuaifora System. 1: Interfacial Free Energy // J. Che». Phys., 28(2), 1958, 258-267.
3*. J. S. Langer, H. Baron, a D. Hiller. Hew conputational method in the theory of sp. .odal decomposition. Phye. Rev. A, 11(41. 1975, 1417-1429.
4*. Y. Lepetre, E. Ziegler, I. Schuller, R. . Rivoira. Anomalous expansion of tungsten-carbon aaltilayers used in X-ray optics//J. Appl. Phys., 60(7), 1986, 2301-2303.
5*. E. Я. Лифшиц, Л. П. Питаевский. Физическая кинетика. М: Наука, 1979.