Исследование адсорбции кислорода на отдельных гранях германия в сильных электрических полях методом полевой электронной микроскопии тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ЛЕНИНГРАДСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА И ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

На правах рукописи УДК 537. 533.2 + 533. 583.2

СМИРНОВА Татьяна Павловна

ИССЛЕДОВАНИЕ АДСОРБЦИИ КИСЛОРОДА НА ОТДЕЛЬНЫХ ГРАНЯХ ГЕРМАНИЯ В СИЛЬНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЯХ МЕТОДОМ ПОЛЕВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

Специальность 01.04.07,—физика твердого тела

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Ленинград 1989

•к 1

&та выполнена на кафедре электроники твердого тела физиче-;ого факультета Ленинградского ордена Ленина и ордена Трудового расного Знамени государственного университета.

Научные руководители — доктор физико-математических наук

Фурсей Г. Н.

— кандидат физико-математических наук Иванов В. Г.

Официальные оппоненты — доктор физико-математических наук

Тонтегоде А. Я.

; — кандидат физико-математических наук

Сухорский Ю. С.

Ведущая организация — Башкирский государственный университет.

Защита диссертации состоится « . » 19 ^ г.

. . час. . мин. на заседании Специализированного совета 063.57.32 по защите диссертаций на соискание ученой степени доктора изико-математических наук при Ленинградском государственном уни-грситете по адресу; 199034, Ленинград, Университетская наб., 7|9.

С диссертацией можно познакомиться в библиотеке университета. Автореферат разослан « ^ » . 19 г.

Ученый секретарь специализированного совета В. А. СОЛОВЬЕВ.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. В связи с возросшими требованиями полупр водниковой технологии и особенно одного из перспективных ее напрг леннн — наноэлектроникн — в настоящее время отмечается возросш интерес к исследованию атомарно-чистой поверхности и ее фнзнко-х мнческпх свойств различными методами. Методика полевой электрс ной микроскопии является чрезвычайно перспективной в связи с выс кон чувствительностью к малейшим изменениям свойств как объеа так и структуры поверхности. Она дает возможность исследовать те1 ние адсорбционных процессов на различных кристаллографических гр нях полевого катода в одинаковых условиях, позволяет выяснить вл) ние на процессы адсорбции сильного электрического поля. Преимуще< пом ее является «визуализация» процессов.

К настоящему времени накоплен обширный экспернментальл материал по исследованию атомарно-чистой поверхности ^е « взаимодействия с кислородом методом полевой электронной микроа нии, основанный на визуальных наблюдениях и измерениях интеграла го полевого электронного тока.. В дальнейшем было обнаружено яв; ние резкого возрастания скорости адсорбции кслорода на отдельн гранях бе црц наличии сильного электрического ноля вблизи пове[ ности полевого катода. Тем не менее измерения локальных полев электронных токов практически не проводились. В связи с эт для дальнейшего понимания физической природы процессов, протека щпх на атомарно-чистой поверхности , а также механизма в:

имоденствия кислорода с различными гранями в сильном эле

трнческом поле и в отсутствие его возникает настоятельная иеобхо; мость использования приборов, позволяющих проводить измерения ; кальных токов полевого катода из <3е .

Исследование адсорбции и электроадсорбции О^ на различи гранях бе. ■ является актуальной задачей современной физики г верхиости твердого тела. Конкретные данные представляют не толь научный интерес, но и имеют большое прикладное значение для раз.и ных областей микро- и наноэлектроникн.

Основная цель работы — более тщательное исследование явлен электроадсорбшнг кислорода на отдельных гранях <3е в идентичн условиях с целью выявления влияния кристаллографического строен н электронной структуры грани на закономерности изменения лока.; ного полевого электорнного тока и работы выхода £?е при мал экспозициях (¿15-10 *торр-мнн), поскольку основные изменения полев электронных (ПЭ) изображений и ПЭ тока происходят па начальн стадиях электроадсорбшш. Необходимо было определить интерн электрических полей эффекта на различных гранях, дать объясни и роисходя щи м явлениям.

Научная новизна результатов заключается в следующем:

1. Впервые для исследования свойств <3е полевого катода П[

енена методика измерения локальных токов, которая позволяла устра-¡1ть влияние вторичных электронов на результаты измерений /1, 2/.

2. Измерена работа выхода граней {100}у[111}({113} и {110} по-^рхности бе

3. Проведено сравнение адсорбционной способности к кислороду 5ластей{Ш}и{113}десорбированной поверхности германия. Эксне-шентально обнаружено сильное отличие изменений ПЭ тока области )0}во время адсорбции кислорода-

4. Проведено сравнение адсорбционной способности одного и того е участка поверхности бе , очищенной десорбцией сильным шсгрическим полем и после высокотемпературного прогрева.

5. Обнаружены ранее не наблюдавшиеся на (Зе особенности вождения линейных вольтамперных характеристик и работы выхода при алых экспозициях в кислороде.

6. Экспериментально определен интервал полей электроадсорбцин 1слорода на германии.

7. Выяснены характерные особенности очистки ве. нолевого 1тода от электроадсорбированного кислорода.

8. Впервые на основе кваитовохнмического метода сохранения орбп-¡льной симметрии показано наличие активационного барьера адсорб-ш кислорода на идеальной грани{100} германия.

9. Проведенный в настоящей работе расчет вклада тока с покрыто-

электроотрицательным адсорбатом участка поверхности позволил

;елать вывод о свойствах участков, еще не покрытых кислородом, и »ъяснить уменьшение работы выхода бе при малых экспозициях кислороде.

Основные защищаемые положения

1. Адсорбция кислорода на бе существенно зависит от руктуры и электрофизических свойств поверхности бе , что про-;ляется в различном характере изменения ПЭ тока с разных участков 1тода, Это позволяет рассматривать грани кристалла бе в по-[дке убывания их адсорбционной активности.

2. Характер адсорбционных закономерностей существенно зависит 1 наличия электрического поля вблизи поверхности бе . Эффект ектроадсорбцни является пороговым. Влияние поля может быть ис-|Льзовано как эффективный метод управления адсорбционной способ-|стью отдельных граней монокристалла бе

3. Границы полей электроадсорбции десорбированной поверхности

бе определяются структорой грани; это может быть рекомен-

|Вано для целей создания плотного адсорбционного покрытия на от-льных гранях бе и бИ

Практическая ценность и достоверность результатов

В работе получены новые систематические сведения о характере нз-гнения адсорбционно-эмиссионных свойств германия в зависимости от щсталлографического строения адсорбента и наличия электриче-ого ноля вблизи поверхности. Практическое значение имеет также

б

разработка методических вопросов по режимам обработки <3е в вакууме для получения атомарно-чистой поверхности. В работе уто няется вопрос о критериях очистки поверхности бе полевого к тода и решается вопрос о чувствительности его параметров к иаибол распространенному внешнему воздействию — прогреву электричесш током. Результаты исследований могут быть использованы в таких о ластях как катализ, твердотельная микроэлектроника, наноэлектронии эмиссионная электроника, вакуумная техника и других, где необходил детальные сведения о микроскопической природе адсорбционных пр цессов. Они имеют также фундаментальное значение для развития пре ставленнй о физико-химических явлениях на поверхности и в прпи верхностной области полупроводников.

Достоверность, результатов определяется применением в исследов ниях надежного и хородю зарекомендовавшего себя метода полев( электронной микроскопии: Результаты получены в условиях сверхвыс кого вакуума при постоянном визуальном контроле происходящих 1 поверхности процессов с использованием в качестве источника кислор да серебряного натекателя. Во время-исследований при напуске кнел рода соблюдались меры предосторожности, исключающие появление приборе СО, 0+ п других нежелательных примесей. Результат измерений многократно воспроизводились, этому вопросу уделяет особое внимание.

Апробация, работы. Материалы диссертационной работы доклад! вались и обсуждались на Всесоюзных конференциях по эмнссношн электронике (XV — г. Киев, 1973 г.; XVIII — г. Москва, 1981 г.; XX • г. Киев, 1987 г.), VI. Всесоюзном совещании по физике поверхности!, явлений в полупроводниках (г. Киев, 1977 г..), IV Всесоюзном совещ нпп по росту кристаллов (г. Цахкадзор, 1972 г.), III конференции «П левая ионная микроскопия и ее применение в промышленности» ( Свердловск, 1982 г.), IX. Всесоюзном совещании по квантовой хнм! (г. Иваново, 1985 г.), научных семинарах, кафедры электроники тверд го тела ЛГУ и кафедры общей физики ЫГПИ!

Публикации. Основные результаты выполненных исследоваш опубликованы в 13 печатных работах.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введени четырех глав и выводов, содержит 120 страниц машинописного текст 83 рисунка и 11 таблиц. Библиография состоит из 156 наименований.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении-обосновывается актуальность.исследовании.адсорбш кислорода на германии в сильных электрических полях, а также да! краткая аннотация основных полученных результатов.

Первая глава содержит краткий обзор теоретических и экспериме: тальных исследований адсорбции кислорода на германии. Рассмотрен

б

одели начальных стадий окисления поверхности ве , предложение разными авторами, и то влияние, которое оказывают дефекты по-;рхностн на эти процессы. Основное внимание уделено анализу усло-1й проведения исслсдовеним п эксперимента::! ным результатам, кото-ас получены методом полевой электронной микроскопии. Дан обзор шовных результатов исследования обнаруженного ранее усиления цсорбции Оа на (Зе при наличии вблизи поверхности поле-

эго катода сильного электрического поля/3/. Делается вывод о необ-здимости дальнейших исследований элсктроадсорбции и адсорбции без тектрического ноля на основании измерений локальных ПЭ токов. Ста-1тся задача тщательного исследования процесса адсорбции при малых сспозициях С^б-Ю--^ торр-мнн ).

Во второй главе описана конструкция экспериментального прибора схема измерений локальных токов. Режим работы электрической схе-ы подбирался с помощью вольфрамового полевого катода по «кривым здержки». Измеренные значения работы выхода основных граней и/ эрошо согласуются с результатами других авторов, что свидетельстве? о надежности применяемой экспериментальной методики. Работа з1хода отдельных граней атомарно-чистой поверхности и покрытой ад-)рбатом поверхности <3е. определялась сравнением наклонов уча-гков Фаулера-Нордгейма вольтамперных характеристик (ВАХ) ло-алыюго тока с наклоном интергральной ВАХ десорбированной поверх-зсти. При оценке эффекта электроадсорбцни использовалось также щчение работы выхода, определенное по напряжению, необходимому пя получения заданного значения локального тока. Давление кислоро-1 в приборе оценивалось в специальном эксперименте с помощыо^ма-эметпической лампы ЛМ-2 (ПМИ-2) и составляло от 4x10 до <Л0~ торр .

Приводится достаточно подробный анализ причин, приводящих к 1бели острия, даются рекомендации по использованию более «щадя-лх» режимов очистки 6е- , которые увеличивают процент полупро-эдниковых катодов, пригодных для проведения исследований. Уделя-гся внимание выяснению параметров, свидетельствующих о получении зспроизводнмых свойств атомарно-чистой поверхности бе , прочится классификация параметров по их чувствительности к одному из ироко применяемых внешних воздействий — прогреву полевого като-1 электрическим током.

Третья глава посвящена оригинальным экспериментальным резуль-1там по исследованию адсорбции и электроадсорбции кислорода на фмашш. Приведены результаты визуальных наблюдений адсорбции 0„

отсутствие электрического поля, измерений интеграль-эго ПЭ тока, полученные в настоящей работе и подтвердившиеся более поздних исследованиях других авторов. Измерения локального жа позволили установить анизотропию падения напряжения в облас-I {100} и ее окрестности бе полевого катода, причиной которой, 1К нам представляется, является адсорбция кислорода. Это может

быть связано со спецификой области {ЮО} германия, в частности, с изменением заполнения.поверхностных состояний в этой области. Для других областей монокристалла бе подобного явления обнаружено не было.

Детально описано изменение ПЭ изображения поверхности бе , десорбнрованной сильным электрическим нолем и прогретой при температуре 450°С, при малых экспозициях электроадсорбцип кислорода. Характер анизотропии усиления адсорбции в электрическом поле соответствием обнаруженному, ранее другими авторамп. Однако более тщательное изучение полевых электронных картин поверхности бе перестроенной при температуре «л 450°С, во время электроадсорбции позволило обнаружить это явление не только на гранях, но и на ребрах ограненной вершины монокристалла. Уменьшение экспозиции в кислороде позволило наблюдать этапы «почернения» ребер ПЭ картины. Было установлено, что электроадсорбция на ребрах монокристалла является островковой, окисная пленка растет за счет зарождения отдельных хаотически расположенных островков, их разрастания н слияния. Аналогичный факт был установлен и для областей {100}, {111} и {113} поверхности германия, десорбированноп сильным .электрическим полем.

Многочисленными исследованиями были установлены основные особенности поведения ВАХ интегрального^ локального тока бе при малых экспозициях в кислороде (^5x10 Торр-мпн.). Обнаружено уменьшение работы выхода (интегральной, а также для областей {111} н {113} , определенной по наклону линейной вольтамперной характеристики. Этот факт характеренл<ак для адсорбции без электрического поля, так и при наличии электрического поля вблизи поверхности острия причем как «слабого» допорогового» поля, так и ноля элекроадсорбцип. Уменьшение работы выхода бе. при адсорбции кислорода на.начальных стадннях соответствует обнаруженному ранее при адсорбции О^ на ниобии;

Определены границы нолей, при которых наблюдается электроадсорбция кислорода на бе . Для различных гранен они несколько различны. Анализируются, возможные причины существования ■ «нижнего* и «верхнего» порогов электроадсорбцип. Наиболее подробно рассматривается предположение об активированном характера адсорбции; на основании определения.«нижнего» порога дается оценка значения энергии активации адсорбции кислорода на гранях {111} и {100} бе . Анализ «верхних» пороговых нолей для этих областей дает основание считать, что на начальной стадии электроадсорбция происходит на дефектах поверхности.

На основе тщательного изучения ПЭ изображений и интегральных вольтамперных характеристик проанализирован процесс десорбши сильным электрическим нолем больших количеств электроадсорбировап-иого кислорода. Установлено, что десорбционкый процесс очень медленный, десорбция адсорбата идет с края окисленного участка, при этом интегральная ВАХ сдвигается в область меньших напряжений практи-8

(и без изменения наклона. Основные изменения наклона ВЛХ процент н копне десорбции. Рассмотрено состояние поверхности Ge щепнон от электроадсорбнроваиного кислорода только десорбцией ьным электрическим полем. Сделан вывод, что вернуть поверхность -ходное состояние в этом случае не удается. Разработаны рекомен-пн по очистке острия от больших порций адсорбированного кисло-а.

В четвертой главе на основе квантовохпмического метода сохране-орбитальнои симметрии дана качественная оценка энергии актива-адсорбции кислорода на идеальной неперестроенной грани )}■ германия. Рассмотрено одно из возможных геометрических полоши адсорбированной молекулы О ^ на поверхностном атоме бе I малых расстояниях система «поверхностный атом германия — мо-ула кислорода» должна рассматриваться как единая многоэлектрон-снстема. Волновую функцию этой системы представляют в виде липой.комбинации волновых функций основного и следующих за ним Зуждениых состояний системы. Молекулярные орбиталн кислоро-а также связывающая У и разрыхляющая Ч'* орбиталн, •авленные из 4Бр орбитален поверхностного атома бе , об-ующих пеподелепную пару, систематизируются по свойствам снм-рпи относительно операции отражения в плоскостях выбранной силы координат. В основном триплетном состоянии молекула О^ ет частично заполненные орбиталн 5Г*"2.ри и Я, - Описание

«а <5е. , в котором дважды заполнена связывающая Ч орбн-:>, не может дать объяснение химической связи между кислородом п грхностиым атомом. Однако дважды заполненная разрыхляющая ^* орбиталь может комбинировать с орбнталыоЗГ*2,р^ , поскольку орбиталн обладают одинаковыми свойствами симметрии относи->ио двух плоскостей системы координат. Комплекс «поверхностный « германия — молекула кислорода» описывается наложением нейт-ьных конфигураций (Ч>) ^ (Х*а рх), *")а )(7Г*8. р

ониой конфпгурацип(ч,*3((5('*2,ри)'*'СЗ^*"2,р2.) • пРичем образование эрбционной связи может быть объяснено только при учете послед-конфигурации. Энергия нейтрального состояния при большом уда-пи принимается за начало отсчета, а на близких расстояниях оцени-гся по эмпирическим формулам для энергии отталкивания. Энергия ной конфигурации в адсорбированном состоянии представляет собой тппо, рассчитанную в одноконфпгурацнопном приближении /4 / , а больших расстояниях оценивается как разность энергии ионизации грхностного атома йе и электронного сродства молекулы О а . ргня активации адсорбции должна быть определена путем учета оження конфигураций, а грубо может быть оценена по точке перегния термов ионного и нейтрального состояний комплекса «поверх-гный атом германия — молекула кислорода». Полученное значение згии активации составляет 1,7 эВ, результаты расчетов других по-:еннй молекулы 0о на грани {ЮО} дают примерно такие же ре-

9

зультаты. Совпадение полученных результатов с экспериментальны! значениями можно считать удовлетворительным. В работе указаны пр чины, которые приводят к расхождению рассчитанных и экспериме тальных значений энергии активации.

Проведен расчет вклада тока с покрытого электроотрицательны адсорбатом участка поверхности в общий ток исследуемой облает Оказалось, что при «малых» степенях покрытия ( @ < 0,5) эт вклад составляет менее 0,1, а работа выхода при этом не/значительно, монотонно увеличивается. Экспериментальный факт уменьшения раб ты выхода бе на начальных стадиях адсорбции О ^ не уклад вается в рамки рассмотренной модели. Расчет показывает, что при м лых степенях покрытия вкладом тока с участков поверхности гермаш покрытых кислородом, можно пренебречь. В связи с этим уменьшен работы выхода было объяснено изменением свойств той области повер ностн, которая еще езободна от кислорода. Вследствие передачи отр дательного заряда на кислород происходит его перераспределение поверхности (Зе. . Это может привести к локальному уменьшен! работы выхода. Далее, образование связи «германий — кислород» м жет привести к перестройке ближайших поверхностных атоме что, в свою очередь, также может оказать влияние на изменение раб ты выхода этих участков.

Окнсный островок разрастается вследствие возмущения участк поверхности (Зе , расположенных в непосредственной близости электроадсорбированной молекулы. На начальной стадии адсорбц с увеличением числа образовавшихся зародышей окисных островк общая площадь участков поверхности с малой работой выхода увел чивается, и они могут внести значительный вклад в ПЭ ток исследуем го участка. В результате эффективное значение работы выхода мож быть заметно уменьшено.

ВЫВОДЫ

1. Установлено, что электпоадсорбция кислорода на германии п малых экспозиццях( ^ торр • мин) является островковой, пр исходит на активных центрах, которые находятся на ребрах огранепн вершины, а также в областях с низкими индексами десорбированн поверхности нолевого катода. Образовавшиеся островки окисной пл< кп являются неподвижными, при увеличении экспозиции в кнелоро разрастаются и в дальнейшем сливаются в сплошной слой.

2. Установлено, что при малых экспозициях в кислороде работа в хода германия определенная по наклону линейной ВАХ, уменьшает! Наиболее воспроизводимо это явление для области <(11.

3. Расчет вклада тока с покрытого адсорбатом участка дает ось ванне выдвинуть предположение о перестройке участков поверхнос бе. , находящихся вблизи адсорбированной молекулы и свободн от кислорода. В результате работа выхода этих участков понижает! Возмущенные участки поверхности бе. сами становятся активны для адсорбции кислорода центрами.

и

4. Экспериментально установлен пороговый характер полей элект-(адсорбции О на . Наиболее вероятным объяснением сущест-вания нижней границы полей может быть предположение об актнви->ванном характере адсорбции. Энергию, необходимую для преодоле-:я барьера активации,молекулы приобретают в неоднородном ектрическом поле вблизи острия. По значению нижних пороговых пой рассчитано значение энергии активации. Существование верхней аннцы было естественно связано с возрастанием скорости десорбции одуктов взаимодействия кислорода с поверхностью . Наиболее юсмлемое объяснение факта примерного равенства нолей верхней аницы электроадсорбцпи для разных граней заключается в допуше-н, что адсорбция происходит на дефектах структуры: ребрах, ступен-тых атомах и атомах, не встроенных в решетку.

5. Десорбция электроадсорбата сильным электрическим нолем проходит с края окисленного участка. Основные изменения работы вы-да происходят в конце десорбции. Отмечено полное восстановление пичной ПЭ картины , однако ВАХ не совпадает с ВАХ исходной верхностп. Использование для очистки поверхности от электро-сорбата только десорбции сильным электрическим полем не приводит воспроизводимости адсорбционных закономерностей при повторной лектроадсорбции.

6. Различная адсорбционная активность областей десорби-ванной и прогретой до температуры 450°С поверхности

жет быть объяснена уплотнением поверхности, уменьшением на по-рхности концентрации атомов, не встроенных в кристаллическую ре-:тку, а также образованием термодефектов в результате прогрева.

7- Определена работа выхода граней {100"У, "О 1, -{Н3\ и :орбированной поверхности . Полученный результат может

Хь объяснен на основании различия характера дефектов па этих гра-х.

8. Обнаружена неэквппотенциалыюсть эмиттирующеи вершины бе. левого катода после прогрева при Т 450°С.

9. На основании метода сохранения орбитальной симметрии пока-ю наличие барьера активации адсорбции кислорода па пдеализнро-тной грани {100} . Рассчитано значение энергии активации для раз-чиых комплексов «поверхностный атом германия — молекула кисло-ца».

ЦИТИРУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА

1* ]ицНег ¿;«У*и'02& ЗДшс^эа оп аЬеп

01***« ^ V С***.» 11 «¿ГО (1 Ь/ ^Х^С*

- У*26В II С. - Р«732-737

«

3. Розова Т. Т., Иванов В. Г., Фурсей Г. Н. Влияние сильного элс трического поля на адсорбцию кислорода на германии// Физика твс дого тела. — 1975. — Т. 17, № 1,—С. 64—66.

4. Волокитин А. И., Гадияк Г. В., Карпушин А. А., Мороков Ю. 1 Репинский С. М., Ржанов А. В, Исследование хемосорбции молек кислорода на поверхностях -(111} и {100} германия методом ППДП Физ. и техн- полупроводников— 1976. — Т. 10, № 10. — С. 1866—18'

По теме диссертации опубликованы следующие работы: 1. Иванов В. Г., Смирнонова Т. П., Кизяева Л. С. Адсорбция кнсд рода на р-тппе германия в автоэмцссионном микроскопе //Первая с ластная итоговая научно-техническая конференция по радпоэлектро! ке НТО РЭС имени А. С. Попова и профессорско-преподавательскс состава Новгородского филиала ЛЭТИ: Тез. докл., Новгород, 1971 г Новгород, 1971 г. — С. 26.

2. Иванов В. Г., Смирнова Т. П. Явление пробоя в автоэмиттерах ! р-тнпа германия//Фпзика твердого тела — 1972. — Т. 14, № 10.— . 3068—3070.

3. Иванов В. Г., Смирнова Т. П. Исследование эинтаксиального >ста бе. на Ge в автоэмиссионном микроскопе//!V Всесоюзное вещание по росту кристаллов, Цахкадзор, сентябрь 1972 г. — Цах-|Дзор. 1972 г. — С- 47—48.

4. Иванов В. Г., Смирнова Т. П. Исследование эпитакснального рос-германия на германии в автоэмиссионном микроскоие//ху Всесоюз-

1Я конференция но эмиссионной электронике; Краткие содержания до-гадов, Киев, декабрь 1973 г. — Киев, 1973 г. — С. 44—45.

5. Иванов В. Г., Смирнова Т. П., Розова Т. Т. Изучение системы рмапий — кислород в автоэмиссионпом микроскопе//XV Всесоюзная щференцня по эмиссионной электронике: Краткие содержания докла->в, Киев, декабрь 1973 г. — Киев, 1973 г. — С. 46—476. Иванов В. Г., Розова Т. Т., Фурсей Г. И., Смирнова Т. П. Осо-

■нности поведения автоэмиссии из германия при адсорбции кислорода// нзпка твердого тела. — 1974 г. — Т. 16, № 2. — С. 495—501.

7. Иванов В. Г., Смирнова Т. П. Изучение адсорбции кислорода 1 грани (100) монокристаллов германия в автоэмисснонном мнкроско-■ //VI Всесоюзное совещание по физике поверхностных явлений в по-'проводниках: Тез. докл , Киев, ноябрь 1977 г. — Киев, 1977 г. —

113—114.

8. Смирнова Т. П., Иванов В. Г. Адсорбция и электроадсорбцня ;слорода на гранях -[113}-и -{ill} монокристаллического германия// [VIII Всесоюзная конференция по эмиссионной электронике: Тез.

| к л., Москва, декабрь 1981 г. — М.: Наука, 1981 г. — С. 159—161 .

9. Смирнова Т. П., Иванов В. Г. Адсорбция и электроадсорбцня слорода па гранях (113) п (111) монокрпсталлпческого германия// зв. АН СССР, серия физическая. — 1982. — Т. 46, № 7. — С. 1252— 55.

10. Смирнова Т. П., Иванов В. Г. Эпитакснальный рост германия германии в автоэмисснонном микроскопе//Ш конференция «Полевая

шная микроскопия и ее применение в промышленности»: Тез. докл., зердловск, февраль 1982 г. — Свердловск, 1982 г. — С. 12.

11. Боровинскнй Л. А., Смирнова Т. П., Иванов В. Г. Объяснение тивационного барьера при адсорбции кислорода на поверхности -{100} рмания//1Х Всесоюзное совещание по квантовой химии: Тез. докл.,

II, Иваново, июнь 1985 г. — Черноголовка, 1985, — С. 154—155.

12. Иванов В. Г., Смирнова Т. П., Фурсей Г. Н. Пороговый эффект ектроадсорбции кислорода на отдельных гранях монокристаллическо-германня в автоэмисснонном микрокопе //Поверхность. Физика, хи-

1я, механика. — 1986. — № 12. — С. 128—129.

13. Смирнова Т. П., Иванов В. Г. Неоднородность поверхности мо-ифисталлпческого германиевого полевого катода к пороговому эф-^кту электроадсорбции кислорода//XX Всесоюзная конференция по шссионной элсктропнке: Тез. докл., ч. II, Киев, ноябрь 1987 г. — Киев, 87 г. — С. 219,