Исследование дифракционных эффектов в деформированных монокристаллах методами маятниковых полос и рентгеновской интерферентности тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

РГ8 ОД

| !»Ш £93

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ УКРАИШ ЧЕРНОВИЦКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ имени Ю, ФБДЫЮВИЧА

На правах рукописи

СТРУК Ярослав Михайлович

ИССЛЕДОВАНИЕ ЯОТРАКНИОНШ ЭФФЕКТОВ В ДЕФОРМИРОВАННЫХ МОНОКРИСТАЛЛАХ МЕТОДАМИ МАЯТНИКОВЫХ ПОЛОС И РЕНТГЕНОВСКОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ.

01.04.07 - физика твердого тела

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических нвук

Черновцы - 1993

Работа выполнена на кафедре физики твердого тела Черновицкого госуниверситэта имени В.Федькошчэ

Научный руководитель - доктор физико-математических наук,

профессор Рарзнсиий Н.Д.

Официальные оппоненты: член-корреспондент Академии наук

Украины

доктор физико-математических наук, профессор Момодюш В. Б. доктор физико-математических наук, профессор Кшавецкий O.A.

Ведущая организация: Киевский университет им. Т.Г.Шевченка

Завдта состоится " 21 " мая 1993 г. е " 15 " часов нз заседании специализированного Совета. Д 068.16.01 Черновицкого государственного университета (27401?, г.Черновцы, ул.Коцюбинского, 2).

С диссертацией можно ознакомиться в научной библиотеке Черновицкого госушгеврситета (ул.Леси Украинки, 23).

Автореферат разослан " " апреля 1993 г.

Ученый секретарь специализированного Совета > ~~ Н.В.Курганецкий

ОБЩАЯ ХАЕШЖЕИСтаКА РАБОТЫ.

Актуальность проблем;. Физические сеойстея монокристаллов зависят от стелет« структурного совершенства их кристаллических решеток. Именно дефектами структур« в объеме и на поверхности полупроводниковых монокристаллов, а танке на межфазных границах о металлом и диэлектриком в значительной мера определяются электрические, оптические и гальвано-магнитные свойства полупроводниковых приборов. Анизотропный характер-деформаций, возникающей при внешних воздействиях на монокристалл, а также в окрестности дефектов кристаллического строения, приводит к трансформации зонной структура, что сопровождается сдвигом края' фундаментального поглощения, смещением полис поглощения, их расщеплением и т.д.

Современные нерззрушающие методы диагностики искажений в реальных монокристаллах основаны нн дифракционных явлениях. Поэтому, исследование дифракционных эффектов в деформированных монокристаллах, представляется весьма актуальным.

Следует особо отметить интерференционные методы маятниковых и муароЕых полос, которые возникают вследствие когерентного динамического взаимодействия еолновых полей в монокристаллах. Одним из основных достоинств этих методов является их чрезвычайно высокая чувствительность к незначительным деформациям кристаллической решетки и поворотам атомных плоскостей. Метод маятниковых полос' позволяет с еысокой точностью определять атомные амплитуда рассеяния, средиеквадрэтичезкие, динамические и статические смещещения атомов из положений равновесия и упругие деформации в монокристаллах. Чувствительность рентгеновского дифракционного муара (РДМ) к искажениям в несколько раз превышает электронный дифракционный муар, поскольку период рентгеновских муаровых полос существенно увеличивается. Вследствие малого поглощения рентгеновских лучей метод РДМ может быть использован для исследования достаточно толстых С"1см) реальных

монокристаллов. Создаваемое методом РДМ уникальное фазовое увеличение позволяет непосредственно наблюдать атомные ряда кристаллической решетки.

Необходимо подчеркнуть, что сложность дифракционных эффектов, наблюдаемых при дифракции рентгеновских лучей реальными монокристаллами, трэбует для анализа и интерпретации результатов дальнейшего развития и применения математического моделирования процессов динамического рассеяшя на современных быстродействующих ЭВМ.

Цельи Настоящей работы является экспериментальное и теоретическое изучение дифракционных эффектов, возникающих при формирование Изображений маятниковых и муаровых полос в слабо и сильно искаженных монокристаллах при двухволновом и многоволновом рассеянии рентгеновских лучей, в том числе:

выявлений закономерностей и механизмов формирования дифракционных изображений маятниковых и муаровых полос в слабо и сильно искаженных монокристаллах при действии на клиновидный кристалл внешней сосредоточенной нагрузки;

изучение закономерностей формирования муаровых полос при расположений дефектов в различных пластинах интерферометра и при наличии в пластинах Интерферометра сложных полей деформаций;

- исследование процессов дефектообразовэшя при высокотемпературном отжиге и окислении 51 с помощью метода РДМ;

- изучение особенностей многоволновой дифракции рентгеновских лучвй в кристаллах с периодическим полем смещения.

Научная новизна работы определяется сс-вокупностью результатов, сформулированных в заключении диссертации и приведенных в. конца автореферата. Основные новые результаты диссертационной работы состоят в с. эдупцем:

1. Впервые в интерферометричвском изображении вкспаримвн-

тально обнаружены "деформационные" полосы при действии внешней сосредоточенной силы на клшоеидний анализатор интерферометра. Установлено,что с увеличением приложенной силы "деформационные" полосы приобретают выпуклую форму,их вершины расположены вдоль линии действия силы и направлены в толстую часть кристалла.

2. Проведены систематические исследования закономерностей формирования интерферометрических изображений дефектов, находящихся в различных компонентах интерферометра. Установлено, что муаровые полосы исчезают в случаях, когда один из формирующих муаровое изображение пучков, имеет относительную интенсивность меньше 16$.

3. Определены пленарные распределения деформаций, возникающих при высокотемпературном окислении поверхности и отжиге монокристаллов Установлены типы дефектов, возникающих в системе в1-310о. Отмечается корреляция между градиентами напряжений и неоднородностью распределения кластерных дефектов. Оценена энергия дефекта упаковки.

4. Установлено, что в случае многоволновой дифракции в кристаллах с акустическим полем смещэний наблюдаются один или два рентгеноакустических эффекта в зависимости от ориентации вектора смещения 0 по отношению к векторам дифракции«' Периода маятниковых осцилляций в коротковолновой области акустических длин волн увеличиваются, а в длинноволновой уменьшаются. В резонансных случаях с увеличением амплитуды ультразвука возникают параметрические осцилляции штесивностей дифрагированных волн.

Научная и практическая значимость работы. Полученные в работе дифракционные эффекты, закономерности и механизмы формирования маятниковых и муаровых полос в искаженных монокристаллах могут быть использованы как для разработки новых неразрушающих дифракционных методов исследования, так и для дальнейшего развития динамической теории рассеяния рентгеновских лучей.

Методика исследований, а также установленные закономерности и механизмы дефектообразования в системе 21-Б10о могут быть непосредственно использованы для корректировки технологии изготовления полупроводниковых приборов.

Полученные закономерности формирования муаровых изображений дэф?ктов расширяют возможности применения и могут быть рекомендованы для совершенствования методов РДМ и прецизионного определения полей деформаций сложных комплексов дефектов.

В .диссертационной раооте обсуждаются и выкосятся на защиту

1.Закономерности формирования рентгенинтерфэрометрических и топографических изображений полей упругих деформаций, возникающих яри действии внешней сосредоточенной силы на клиновидные кристаллы б случаях слабых и сильных искажений. Ноеый тип деформационных полос, возникающих в клиновидном и плоскопараллельном деформированных кристаллах, полученные в рентгеновском Ши-интерферометре.

2.Механизмы формирования рентгенинтерфероьлрических изображений дефектов, расположенных в различных компонентах ыд-интерферодатрз.

3.Результаты рентгенинтерфэрометрических исследований процессов дефектообразования при термическом окислении и высокотемпературном отжиге высокосовершенных монокристаллов 31.

^.Закономерности формирования дифракционных изображений маятниковых полос при многоволповом рассеянии рентгеновских лучей в кристаллах Ое с акустическим полем деформаций.

Апробация работы. Основные результаты исследований, приведенные в диссертации, докладывались и обсуждались на следующих конференциях, совещаниях и семинарах: IV Всесоюзное совещание "Дефекты структуры в полупроводниках" (Новосибирск, 1984 г.), Всесоюзное совещание "Проблемы рентгеновской, диагностики несовершенства кристаллов" (Ереван, 1985г.), III Всесоюзное совеща-

ние "Когерентное взаимодействие излучения с веществом" (Ужгород, 1985 г.)> 1 Всесоюзная научно-техническая конференция "Прикладная рентгенография металлов" (Ленинград, 1986 г.), и совещание по Всесоюзной межвузовской комплексной программе "Рентген" (Черновцы, 1987г.). rv Всесоюзное совещание по когерентному взаимодействию излучения с веществом (Юрмала, 1989г.), 13-й Евроропейский кристаллографический конгресс (Москва, 1Э89г.), III совещание по Всесоюзной межвузовской комплексной программе "Рентген" (Черновцы, 1989г.), II конференция по динамическому рассеянию рентгеновских лучей в кристаллах с динамическими и статическими искажениями (Кэцивели, 1990г.), II Межреспубликанский семинар "Современные метода и аппаратура рентгеновских дифрактомэтрических исследований материалов в особых условиях" (Киер. 1991г.), семинарах кафедры ФГТ ЧТУ.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 30 печатных работ.

Структура и обьем диссертации. Диссертация сСстоит из введения, четырех глав, заключения, списка цитируемой литературы из 170 наименований, изложена на 165 страницах машинописного текста содержит 34 рисунка и 1 таблицу.

ОСНОВНОЕ-СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ.

Во вреде тая» обосновывается актуальность Еыбранной теш исследований, сформулированы цель и основные задачи работы, ее научная новизна, практическая значимость полученных результатов,представлены положения, Еыносимые на защиту, а также сведения об аппробации.

В первой главе, представляющей собой обзор литературы по теме диссертации, изложены основные положения динамической теории дифракции рентгеновских лучей в совершенных и искаженных кристаллах. Рассмотрены отдельные эффекты динамического рассвя-

- в -

ния излучения' в реальных монокристаллах. Проведен детальный анализ публикаций, посвященных теоретическому и экспериментальному исследовании особенностей формирования дифракционных изображений дефектов в случаях слабых и сильных искажений.Представлен также литературный обзор по вопросам развития теории и практического применения метода рентгеновского дифракционного муара.

Во второй главе приведены результаты экспериментальных и теоретических исследований закономерностей и механизмов формирования дифракционных изображений маятниковых и муаровых полос в слабо и сильно искаженных кристаллах. Экспериментальные исследования проведены с помощью трехкристэльного ЫЛ -интерферометра с клиновидным анализатором, пола деформаций, в котором создавалось действием внешней сосредоточенной силы Р на тонкую часть анализатора перпендикулярно вектору дифракции ho9Q. Расчетные топограммы получены при численном решении уравнений Такаги. Показано, что поведение маятниковых полос в поле действия сосредоточенной силы значительно слояшее, чем в случае однородных деформаций: наблюдаются значительные уменьшения и увеличения расстояний мевду соседними маятниковыми полосами, изменяется их форма. Максимальные повороты маятниковых полос наблюдаются вблизи направлений нулевых значений функции локальных разориентаций а(г), а наибольшие изменения расстояний между соседними полосами наблюдаются вдоль направления максимальных значений сЦг). В области слабых искажений главным механизмом, формирующим изображение маятниковых полос, является искривление траекторий блоховских волн. Приобретенная таким образом дополнительная разность фаз проявляется в виде искаженных маятниковых полос, которые отображают сложный характер поля деформаций. Приведенные в рзботе расчетные и экспериментальные топограммы для случая слабых искажений находятся в хорошем согласии.

Экспериментальные и теоретические исследования проведены для широкого диапазона значений Р. Установлено, что изображения сильно неоднородных полей смещений состоят из наложения динамического и кинематического изображений. Показано, что в области слабых искажений наблюдаются трехлепесткоше розетки деформаций, которые почти полностью повторяют вид а(г). В области сильных деформаций изменение изображения происходит тают образом, что новые лепестки розетки деформаций ориентированы в направлениях экстремальных изменений значений деформаций. Пленарные распределения интенсивности существенно отличаются от вида а(г). Характерные расчетная и экспериментальная топогрэммы представлены на рис.1.а,б. Толщиннда осцилляции интенсивности наблюдаются только в узкой центральной области вдоль линии действия силы. Отмечается хорошее качественное согласие представленных тошгрзмм.

При моделировании слабых искажений действием внешней сосредоточенной силы в тонкой части клиновидного анализатора интерферометра экспериментально обнаружено наличие двух семейств интерференционных полос: обычные муаровые полосы, радиально направленные к точке приложения силы, и полосы, почти перпендикулярно пересекающие их. Появление ноеого семейства полос вызвано деформацией анализатора. Установлено аномальность поведетгая таких' "деформационных" полос: их видность возрастает с увеличением приложенной силы, они преобретэют выпуклую форму, вершины расположены вдоль линии действия силы и направлены в толстую часть кристалла. Появление "деформационных" полос вызвано изменением в деформированном кристалле, по сравнению с идеальным, фазовых соотношений слабо и сильно поглощающихся волновых полей интерферирующих в анализаторе пучков.

Экспериментально получено оригинальное интерферометричес-кое изображение сильно деформированной области в виде "стрелы"

аа

ттщ{

■швшш^и 5

\

Ж

ш

е • V - ,.

Е

Рис.1. Тапограммы, полученные при действии внешней сосредоточенной силы на клиновидный анализатор интерферометра в случае сильных искажений.

а) расчетная шгасковолноиая топогрзммз;

б) экспериментальная шюсковолювзя топограммэ, полученная в схеме трехкристалыгого ЫЛ-спектраметрч, СиКа-излучение, (220) отражение;

в) ¡штерферограмма, 'полученная при тех же усломпх, что и в случае 0).

(рис.1в). Муаровые полосы наблюдаються несколько ниже дифракционного изображения "стрелы", и направлены веерообразно в толстую часть кристалла. Отметим, что топо^рэммы, представленные на рис. 16 и 1в полусны при одинаковых экспериментальных условиях.

в третьей главе приведены результаты экспериментальных исследований особенностей формирования муаровых полос в реальных монокристаллах. Исследование закономерностей формирования ин-терферсмэтрических изображения дефектии в исходном структурном муаре проведено с помощью идеального ььь-интерферометра. В отдельных компонентах интерферометра (в расщепителе и зеркале) моделировались различные шля смещений действием внешней сосредоточенной силы и нанесением царапины. Поскольку поля деформаций, создаваемые действием внешней сосредоточенной силы очень протяженные, то муаровая картина, соответствующая такому полю смещений рассматривалась как исходный структурный муар, в котором в дальнейшем получали и исследовали муаровое изображение царапины. Выбором точки приложения силы и изменением в широких пределах величины приложенной силы проведено моделирование различных вариантов исходного структурного муара. Установлено, что интерференционная картина, получаемая методом РДМ является результатом суммарного когерентного фазового взаимодействия изображений дефектов, находящихся во всех компонентах интерферометра. 'При больших значениях деформаций наблюдается сложное взаимодействие изображений. Показано, что наиболее заметные изменения претерпевают те области изображения царапины, которые характеризуются незначительными величинами деформаций, и которые расположены в областях с малыми периодами исходного структурного муара.

Установлено, что наличие исходного структурного муара приводит к появлению погрешностей в получаемых о помощью Метода РДМ картинах планарного распределения деформаций в исследуемых

областях, т.е.:

(ДйД1)расч=(Д<1/й)ист+(Лй/с1)стр.

Величина погрешности (Ла/й)СГр определяется исходным структурным муаром, и поэтому ее всегда необходшо учитывать при последующих исследованиях.

Изучено влияние отклонения характера рассеяния рентгеновских лучей от закона Фриделя на формирование муар'них изображений упруго деформированных областей. Исследования проведены для дальнодействующих полей деформаций, возникающих в окрестности царапины. При использовании интерферометра в качестве трехкрис-тального 1ЛЬ-спектромбтра получены распределения относительных интенсивнастей в области царапины для Х01Ю' ^О' ^ЬП

пучков, формирующих, при интерференции между собой в анализаторе,; муаровые изображения в интерфврометрических Е0 и п^ пучках. Обнаружено различие муаровых изображэний в Е0 и пучках областей упругих деформаций, характеризующихся нарушением закона Фриделя. Из внали зазависимостей 1ьш'1о!г0,1ы10,1сть от Расс,то_ ягаЫ до линии царапины установлено, что муэрсЕые полосы исчезают в случаях, когда один из формирующих муаровое изображение пучков имеет относительную интенсивность меньше 1 Экспериментально показано, что характер изменения поля деформаций в непосредственной близости и на больших удалениях от линии царапины существенно различается:' вблизи царапины ноле деформаций имеет осциллирущий характер, тогда как на больших расстояниях изменяется по закону 1/г.

Высокая чувствительность метода РДМ к упругим искажениям решетки использована для изучения распределения деформаций и изменений дефектной структуры в системе 31-510,. Исследовэн-я проведены для различных толщин, форм и условий получения окис-ных пленок. При окислении еыходной поверхности анализатора интерферометра а атмосфере сухого кислорода в течении 6 часов от-

ечено незначительное и неравномерное увеличение деформация ~1,5-3 раза). На соответствующей интррферсграмле (рис.2) обнэ-ужено знательное изменение дефектной структуры, по сравнению с сходной интерф« рограммой. в нижней части интерферограммы на-людаются разрывы и. смещения муаровых полос, соответствующие рфектам упаковки. Оценена анергия дефектов упаковки (110-140 рг/смг).

Практически на есэй окисляемой поверхности обнаружено по-вленив точечных дефектов, размерами -10-50 мкм, которые выяв-яються, в основном, в светлых муаровых полосах. Дополнительные нтерферометрические и рентгенотопографичесиие исследования в хеме ыд-спектрометра после снятия окисной пленки позволили дентифицировать их как А-микродефектн. В распределении появив-ихся микродефектов наблюдается заметная нео,инородность. Отме-вно корреляцию мекду градиентам! напряжений и неоднородностью ^определения микродефектов по исследуемой пластина.

Четвертая глава диссертации посвящена теоретическому ис-лвдованию влияния одномерных периодических деформаций на трех-олноеуи дифракцию (1Г1,1Н) да Муа в нвлоглощающем-кристалла е. Исследование особенностей многоволнового рассеяния на одно-врннх акустических поперечных смещениях - и=Шх(г),0,0) осуществлялось с помощью численного решения системы уравнений Та-:агй.» Изучены особенности поведения коэффициентов отражения ноговолновой дифракции н^ при различных оривнтациях вектора II I плоскости трехволновых векторов дифракции в зависимости от 1кустичеокой длины волны I. Обнаружено, что при ориентации век-■ора смещения 0 параллельно или перпендикулярно одному из трех-¡олновых векторов дифракции нт и равенстве длины ультразвука I |КСтинкционной длине на кривых зависимостей коэффициентов

сражения й^П» наблюдается одно или два аномальных изменения итенсивности, свидетельствуй!® о резонанэснсм характере то-

Рис.2. Муаровая картина, полученная после окисления выход-пой поверхности анализатора интерферометра в атмосфере сухого кислорода.Время окисления 6 часов при ^=1СЮ0оС, Ь510 =0.1мкм. 12х. Отражение (220), (Цгц-излуния. 2

- \ь -

говолнового рассеяния на акустических модуляциях в кристалле. При ориентации Евктора и перпендикулярно и параллельно вектору связывающего отражения на зависимостях {^(1) наблюдается

только по одном.« провалу интенсивности. Отмечается, что трех-волшаея дорраншм (ГП , Ш ) «ря раэлмиих оринетшиах и ш отношению к характеризуется различной чувствительностью к слабым акустическим деформациям. Максимальная чувствительность отмечается в случае а при ЦЧЦ^ - минимальна.

Исследовано влияние параметров ультразвуковой волны на трахволнояые маятниковые осцилляции (1П,Г11). Покапано, что н области слабых деформаций (Р£1), для всех отмеченных выше ори-ентаций вектора смещения акустической волны V. при равестве г=1РКС наблюдаются особенности в поведении маятниковых полос. Эти особенности проявляются как в изменении их периодов, так и интенсивности. При атом, в длинноволновой области с увеличением значения эффективного параметра Р периода маятниковых полос уменьшаются, а в коротковолновой увеличиваются.

Показано, что в резонансных случаях при больших значениях параметра Р (Р.ЧО) возникают кеэзштериодическда осцилляции многоволновых коэффициентов отражения (рис.3), период которых кратный перенормировашой экстинкционной длине, тогда как в длинноволновой области ультразвука наблюдаются частотная и амплитудная модуляции маятниковых опцилляций . Возникновение квазипериодических осцилляции обьясняется тем, что в резонансном случае вблизи положения трехволноаой брэггавской дифракции происходит расщепление дисперсионных ветчей и, как следствие, возникают новые волновые поля, которые, интерферируя с прежними, приводят к сильной модуляции интенсивности маятниковых оспилля-ций.

Рис.3. Зависимости коэффициентов отражения ^(2) в случае 1=21екс, при Щ!^ для значений Р: ' а) 0.5; б) 1; в) 5; Г) 10.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДИ

1. Проведено моделирование полей упругих смещений в клиновидном анализаторе ххь-интерферометра при действии на кристалл различной но величине сосредоточенной нагрузки. Исследования проведены для случаев слабых и сильных искаженный. Обнаружено существенное различие в изображениях слабо и сильно искаженных областей в интерферометрическом случае.

2. Впервые обнаружены "деформационные" полосы в деформированном клиновидном анализаторе интерферометра. Исследованы период и форма таких полос в зависимости от величины приложенной силы. Установлено аномальность поведения "деформационных" полос - они преобретают выпуклую форму, вершины их расположены едоль линии действия силы и направлены в толстую часть кристалла.

3. Проведаны экспериментальные и теоретические исследования механизмов формирования изображения шля деформаций, возникающего при действии на клиновидный кристалл внешней сосредоточенной нагрузки (для широкого диапазона значений Р). Установлено, что изображения сильно неоднородных полей смещений состоят из наложения кинематического и динамического изображений. В области кинематического изображения обнаружены толщинныа колебания интенсивности.

4. Исследованы, закономерности формирования интерферометри-ческих изображений дефектов, расположенных в различных компонентах интерферометра, в зависимости от их взаимного расположения и соотношения мощностей дефектов. Установлено, что интерференционная картина, получаемая методом рентгеновского дифракционного муара является результатом суммарного когерентного фазового взаимодействия "изображений" дефектов, находящихся во всех компонентах интерферометра. При больших значениях деформаций наблюдается сложное взаимодействие изображений. Показано, что при использовании интерферометров, содержащих структурные де-

фекты, при расчете картин планарного распределения деформаций и относительных поворотов отражающих плоскостей необходимо учитывать поправки на исходный муар.

5. Методами рентгеновского дифракционного муара и трехкрис-тального ькь-спектрометра исследовано особенности формирования муаровых изображений областей неоднородных упругих искажений с анализом нарушений закона Фриделя. Показано различие штерферо-метричеоких изображений в Кь и Нп пучках и установлено, что муаровые полосы исчезают е случаях, когда один из формирующих муаровое изображение пучков имеет относительную интенсивность меньше 15:6.

6. Проведены экспериментальные исследования распределения деформаций в системе 51.-5 Ю0 методом рентгеновского дифракционного муара для различных толщин и форм нанесенной окисной пленки. Установлено типы дефектов, возникающих при высокотемпературном окислении в1. Отмечено корреляцию мезду градиентами напряжений и неоднородностью распределения кластерных дефектов.

7. Впервые исследовано влияние одномерного периодического поля смещений на трэхшлкоаую () 11 ,П 1) дифракцию рентгеновских лучей в непоглощаюцем кристалле бе. Показано, что при равенстве длины периода акустической волны экстинкционной длине происходит резонансное рассеяние рентгеновского волнового поля на акустических модуляциях решетки кристалла. Причем, в зависимости от ориентации вектора смещения и по отношению к трехволновым векторам дифракции (при И ¡,1 Ь^) наблюдается один или два резонансных рентгеноакуотических эффекта.

8. Установлено, что в коротковолновой области акустических длин волн (Шекс1') периоды маятниковых осцилляцкй увеличиваются, а в длинноволновой уменьшаются. При этом в резонансных случаях с увеличением амплитуды ультразвука возникают параметрические осцилляции интенсивностей дифрагированных волн с пери-

одом, кратным перенормировзнной экстинкционной длина.

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих-

научных работах:

1. Н.Д.Рарзнский, И.М.Фодчук, Я.М.Струк, С.Н.Новиков. Трэхволно-вая (ЖДИ) дифракция рентгеновских шли в нриаталлэ «о о периодическим полем смещений.//Металлофизика.-1988.-г.10,N Б. -с.59-63 .

2. Н.Д.Рарзнский, И.М.Фодчук, Я.М.Струк, В.Н.Сергеев,С.Н.Новиков Аномальное прохождение рентгеновских лучей в случае трехволно-йо» (Ш ,ТН ) дифракции на криоталла е mtycmwaemim полем смещений. //Кристаллография.-1989.-т.34.вил.6.-с.1563-1566 .

3. I.М.Fodohuk»fl.D.Raransky,3trukYa. M., V. N.Sargeyev ,3.N.Novikov X-Rrjy Aooustio effota in Multiple-beam Complanar DifraoUon. //Aota orystallogr. А,—1990.~v.46, Sup.-0-435-

4. N.D.Rarantsky, Ya.M.Struk, I.M.Fodohuk, V.P.Shaíranuk. A etudy of orystal defeots X-гау moire pattem method. //Aota oryetalogr. A.-1990.-v.á»i, Sup.-0-424-

Б. Раранский Н.Д.,Фодчук И.М.,Струк Я.М.,Новиков С.Н. Многоволновая дифракция рентгеновских лучей в кристалле с акустическим полем смещения. //Ред. ж. " Известия вузов ". Томск,1988, 19с.ил.Библ. 12 назЕ, Рус.(рукопись деп. в ВИНИТИ 24.06.88, N 5012-В88).

6. Раранский Н.Д..Фодчук И.М.,Струк Я.М. Трехволновая дифракция (ГН.йШ) в «фиоталле de о шеандемтантш изогнутыми плоокоо-костями . //Ред. ж. " Украинский физ. журн. " - Киев, 1987., -13с. :ил. Библиогр. 7 назв.- Рус.- Деп. в ВИНИТИ е.10.87.

N7142- В87.

7. Раранский Н.Д, Отрук Я.М, Фодчук и.М. Трвхволновые маятниковые полосы в 0( в случае одномерных искажений,- Межвувовс-

кий сборник научных трудов, " Физика ". Ереван, ЕГУ, 1987, N а-9, с.126-131.

8. Раранский Н. Д.,Струк Я.М.,Фодчук U.M., Шафраник В.П. Определенна локальных разориентаций атомных плоскостей методом рентгеновского дифракционного муара.-Межвузовский сборник научных трудов. " Физика" , Ереван, ЕГУ, 1987, н 153-155.

9. РаранскиЙ Н.Д.,Шафраник В.П.,Струк Я.М. Прецизионное опреле-деш!е полей смещений в окрестности дислокационных ансамблей. "Проблемы рентгеновской диагностики несовершенства кристаллов". Тезисы докладоь. Ереван. -1383.-С.40-41.

10. Раранский Н.Д.,Шафраник В.П.,Фодчук И.М.,Струк Я.М. Новый метод обнаружения микродефектов е высоковершенных монокристаллах ,-rv Всесоюзное совещание "Дефекты структуры в полупроводниках". Тезисы докладов.Новосибирск, 1984, т.2,о.105.

11. Раранский Н.Д., Шафраник В.П., Фодчук И.М.,Струк Я.М. Определение функции локальных разориентаций в искаженных крис таллах методом рентгеновской интерферометрии а -III Всесоюзное совещание по когерентному взаимодействию излучения с веществом. Тезисы докладов. Ужгород , 1985, с. 30.

12. Раранский Н.Д.,Шафрэнюк В.П.Додчук И.М.,Струк Я.М. Изучение дефектов структуры в искаженных кристаллах с помощью рентгеновской интерферометрии. В кн. " Субструктурное упрочнение металлов и дифракционные метода исследований" Материалы конференций. Киев, " Наукова думка " ,1985,

с.226-227.

13. Раранский Н.Д., Струк Я.М., Фодчук И.М., Шафраник В.П. ■ Рентгеновские интерференционные методы исследования упругих шлей в кристаллах.// 1 Всесоюзная научно-техническая конференция " Прикладная рентгенография металлов".* Тезисы докладов, Ленинград, 198S, с.14.

14. Рвранский Н.Д., Фодчук И.М., Струк Я.М., Новиков С.Н. Много-

волновые эффекты перекачки интенсивности в кристалле Ge находящемся в пола ультразвуковой волны.// II совещание по Всесоюзной комплексной программе " FEHTrEH ", Тезисы докладов, Ереван,1387, с.132-133.

15. Раранский Н.Д., Отрук Я.М., Фодчук И.М., Шафраник В.П. Формирование изображений полей упругих деформаций дефектов, находящихся в разных пластинах, интерферометра./ В кн. "IV Всесоюзное совещание по когерентному взаимодействию излучения с веществом". Тезисы докладов . Москва, 1988, с.67.

16. Раранский Н.Д.,Отрук Я.М.,Шафраник В.П. Рентгенинтерферомет-рическиэ исследования дефектов, возникающих при термическом окисления 81./В кн. "iy Всесоюзное совещание по когерентному взаимодействию излучения с веществом". Тезисы докладов . Москва, 1938, с.73.

17. Раранский Н.Д., Струк Я.М., Фодчук И.М., Шафраник В.П* Изображение полей деформаций, возникающих при действии сосредоточенной силы на клиновидный анализатор интерферометра./В кн. "IV Всесоюзное совещание по когерентному взаимодействию излучения с веществом". Тезисы докладов. Москва, 1988, с.68.

18. Раранский Н.Д., Струк Я.М., Фодчук М.М., Шафраник В.П. Исследование перекачки энергии между волнами методом РДМ.

В кн."IV Всесоюзное совещание по когерентному взаимодействию 'излучения с веществом" Тезисы докладов. Москва, 1988, о.69.

19. Раранский Н.Д.,Струк Я.М., Фодчук Й.М., Шафраник В.П. Маятниковые и муаровые полосы при действия внвинях сосредоточенных сил. Тезисы докладов ni совещания по всесоюзной межвузовской комплексной программе "РЕНТГЕН", Черновцы, 1989, 0.86.

20. Новиков О.Н., Раранский Н.Д., Сергеев В.Н., Отрук П.М., Фодчук й.М. Экспериментальное изучение мтоговолноеых эффектов в кристаллах с акустическими деформациями./ Тезиса докладов III совещания по всесоюзной межвузовской комплексной програм-

ме "РЕНТГЕН", Черновцы, 1989, 0.90. .

21'. Raranskjr N.D.,Struk Ya.M., Fodohak I.M., Shafranuyk V.P. Interference effeote In wear and strong diestoreioii оавев in X-Ray interferometr.//Oolleoted abatracts. Twelfth European Oryotallographio meeting,- Hoelcow, 1989, vol.3.-p.94.

22. todohuk I.M., Raraneky N.D., Struk Ya. И., Sergeev V.N.

X-Ray multiple diffraation in aryestaile with o»ie dimensional displacement field.//Collected abstracts . Twelfth European Oryatallographio meeting.- Moakow, 1989, vol.3.-p.42.