Новые рентгенографические методы исследования поверхностных и объемных несовершенств в кристаллах и неоднородностей распределения плотности вещества в аморфных средах тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.18 ВАК РФ

ВВВДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ ДЕФОРМИРОВАННЫХ

СЛОЕВ ТОЛСТЫХ СОВЕРШЕННЫХ КРИСТАЛЛОВ.

IД. Исследование структуры рентгеновских лауэ-пятен в зависимости от несовершенств приповерхностных слоев толстых совершенных кристаллов

1.1.1. Природа структуры лауэ-пятен, полученных от идеальных (совершенных) кристаллов.

1.1.2. Природа структуры лауэ-пятен, полученных от кристаллов, содержащих дефекты.

1.1.3. Зависимость контраста изображения дефектов от их ориентации относительно отражающих плоскостей.

1.1.4. Влияние немонохроматичности первичного пучка на интенсивность изображений дефектов

1.1.5. Экспериментальное исследование расщепления лауэ-пятен в зависимости от поверх -ностных состояний и толщины кристаллов

1.2. Влияние поверхностных дефектов кристаллов на интенсивность рассеяния рентгеновских лучей.

1.2.1. Отражение рентгеновских лучей от толстых идеальных кристаллов с отшлифованными поверхностями.

1.2.2. Рентгенодифракционное исследование приповерхностных деформированных слоев толстых совершенных кристаллов

1.3. Рентгенографическое изображение деформированных приповерхностных частей.

ГЛАВА 2. РЕНТГЕНОГРАФИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ОДНОРОДНОСТИ ВЕЩЕСТВ

2.1. Рентгеноинтерферометрическое исследование однородности распределения плотности вещества в образцах с помощью двухблочного интерферометра

2.2. Рентгеноинтерферометрический метод исследования однородности веществ с помощью трехблоч ных интерферометров

2.2.1. Трехблочный интерферометр для исследования однородности распределения плотности вещества в образцах.

2.2.2. Исследование однородности распределения вещества с помощью маятниковых полос, полученных в трехблочном интерферометре

2,3, Способ выявления интерференционного происхождения распределения интенсивности в рентгеновских пучках.

2,3.1. Экспериментальное исследование происхождения распределения интенсивностей в рентгеновских пучках.

ГЛАВА 3. ВОЗНИКНОВЕНИЕ И НАБЛЮДЕНИЕ МУАРОВОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИНТЕНСИВНОСТИ РЕНТГЕНОВСКИХ ВОЛН В ДВУХКРИСТАЛЬНЫХ

ИНТЕРФЕРОМЕТРАХ.

3.1. Возникновение рентгеновских муаровых картин при симметричных отражениях в двухкристальных интерферометрах.

3.1.1. Возникновение муарового распределения интенсивности рентгеновских плоских волн во втором кристалле двухкри стального интерферометра

3.1.2. Наблюдение муаровых картин.

3.1.3. Наблюдение муаровых картин, вызванных поворотами атомных плоскостей вовдт оси, перпендикулярной к плоскости падения.

3.1.4. Обнаружение поворотов атомных плоскостей вокруг вектора обратной решетки

3.2. Возникновение рентгеновских муаровых картин при асимметричных отражениях в двухкристалъ-ных интерферометрах.

3.2.1. Возникновение муаровых картин при асимметричных отражениях в двухблочных интерферометрах с идеальной геометрией

3.2.2. Случай асимметричного отражения, когда межплоскостные расстояния первого и второго хфисталла отличаются друг от друга

3.2.3. Случаи, когда плоскости второго кристалла повернуты относительно плоскостей первого кристалла.

ГЛАВА 4. ВОПРОСЫ ЭКСТИНЩИИ РЕНТГЕНОВСКИХ ЛУЧЕЙ.ПО

4.1. Различные трактовки экстинкции рентгеновских лучей.ПО

4.2. Новая трактовка экстинкции. Характер (природа) влияния экстинкции на интенсивность дифрагированных рентгеновских волн

4.3. Экспериментальное определение направления потока энергии дифрагированных волн в зависимости от степени совершенства и толщины кристаллов основные вывода.

Рентгенографическая диагностика несовершенств кристаллов вообще, и полупроводниковых кристаллов в частности, имеет важное научное, практическое и народнохозяйственное значение, поэтому она является одним из актуальных вопросов физики кристаллов.

Хорошо известно, что физические свойства хфисталлических материалов во многом зависят от несовершенств их пространственных решеток, что дает большие возможности для создания материалов с заранее заданными свойствами. Действительно, в одних случаях с изменением характера, плотности и распределения несовершенств в кристаллах можно приблизить их свойства к желаемым. В других случаях, наоборот, необходимы идеальные (бездефектные) кристаллы. В последних случаях надо выявить и удалить дефекты из кристалла, так как особенно в производстве полупроводниковых приборов, они снижают выход и надежность выпускаемых приборов -уменьшают эффективность и рентабельность производства.

В последнее время, в связи с широким применением поверхностных слоев кристаллов в производстве и в науке, исследование структуры поверхностей и поверхностных слоев приобрело важное значение. Возникла острая необходимость в исследовании зависимости физических процессов, происходящих в приповерхностных слоях кристаллов.

Ясно, что для решения этих задач в первую очередь необходимо разработать наиболее подходящие и эффективные методы исследования несовершенств кристаллов и неоднородностей распределения плотности вещества в аморфных средах.

Как известно, среди многочисленных методов исследования несовершенств 1фИсталлов наиболее эффективными являются рентгенографические методы, которые дают возможность прямого наблюдения как объемных, так и приповерхностных дефектов без разруше ния исследуемых образцов.

Несмотря на огромные успехи в области разработок новых прецизионных рентгенографических методов исследования несовершенств кристаллов, все еще наблюдается некоторая непрактичность в применении этих методов, неоднозначность в интерпретации полученных результатов и, в отдельных случаях, недостаточность разрешения методик.

Поэтому актуальность научно-исследовательских работ,посвя -щенных рентгенографической диагностике несовершенства кристаллов с целью создания новых, более эффективных методов получения ди -фракционных изображений дефектов в кристаллах и их однозначной интерпретации, не вызывает сомнений. Немаловажны и работы, пос -вященные исследованию однородности распределения плотности вещества в средах. Такие исследования, кроме всего, имеют большое значение в деле создания оптически однородных материалов, в которых показатель преломления (пропускная способность) от точки к точке (вернее,от мшфообъекта к мшфообъекту) не меняется.

Исследование совершенств кристаллов методами рентгеновских дифракционных муаровых картин в последние десятилетия стало мощным средством для обнаружения чрезвычайно незначительных различий между межплоскостными расстояниями и поворотами одних частей кристалла относительно других его частей. Рентгеновские двух-кристальные и многовристальные интерференционные системы дают возможность оцределить относительные отклонения межплоскостных расстояний с точностью до 10 , а повороты - с точностью —7

10 ' рад. Однако, несмотря на огромные успехи в области исследований несовершенств кристалла с помощью муаровых картин, повороты атомных плоскостей во!фуг различных осей до сих пор определяются неоднозначно и не выявлены возможности рентгеновских муаровых методов определения несовершенств кристаллов и 1фисталличеоких систем. Поэтому исследование механизма возникновения и наблюдения ьцуаровых картин также является актуальной задачей.

Как известно, успех рентгенографических исследований главным образом обусловлен степенью точности теоретических формул, выражающих связь между угловым распределением интенсивности дифрагированных волн и распределением плотности вещества (зарядов) в рассеивающем объеме облучаемого фисталла. Распределение ин -тенсивности дифрагированных волн существенно зависит от экстинк-ционных эффектов рентгеновских лучей, в том числе от интерференционного ослабления как падающих, так и дифрагированных пучков. В этой области в литературе часто неверно оценивают роль первичной и вторичной экстинкции в деле распределения дифрагированных волн. Поэтому как для теоретических, так и для экспериментальных исследований важным вопросом является точная оценка влияния экстинкции на контраст рентгенографических изображении несовершенств кристаллов.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ

Актуальность теш. Диссертационная работа посвящена разработке методов изучения приповерхностных деформированных слоев, степени совершенства кристаллов и однородности распределения плотности вещества, разработке рентгеновдгаровых методов изучения структурных несовершенств и исследованию экстинкции, являющихся, как уже отмечалось во введении, актуальными задачами науки (физики кристаллов) и промышленности (производства полуцроводнико-вых приборов).

Целью и основными задачами работы являются: теоретическая разработка и экспериментальное осуществление методов исследования и определения толщины приповерхностных деформированных слоев толстых совершенных кристаллов; разработка высокочувствительного рентгенографического метода для исследования однородности распределения плотности в веществах; выявление интерференционного характера распределения интенсивности на рентгенографических изображениях; разработка метода для исследования рентгеновских муаровых картин в зависимости от поворотов атомных плоскостей вокруг трех взаимноперпендикулярных направлений в двухкристаль-ных интерферометрах; исследование зависимости интенсивности рентгеновских дифрагированных волн от первичной и вторичной экстинкций.

Научная новизна. Впервые показано, что рентгенографическое дифракционное изображение приповерхностных деформированных слоев толстых совершенных кристаллов можно получить раздельно от основного объема; что в толстых кристаллах волны, дифрагированные в приповерхностных слоях, очень интенсивны и проходят через совершенный кристалл, несмотря на большое поглощение.

Впервые разработан рентгеноинтерферометрический метод для исследования однородности распределения плотности в веществах и разработат методика для выявления интерференционного характера распределения интенсивности на рентгенографических изображениях.

Впервые показано, что не все повороты атомных плоскостей можно выявить обычными рентгенографическими методами.

Разработан метод для исследования муаровых картин в зависимости от поворотов атомных плоскостей вокруг всех трех взаимно-перпендикулярных направлений в двух кристальных интерферометрах.

Дана новая трактовка первичной и вторичной экстинкций рентгеновских лучей.

Практическая ценность работы. Разработанный метод исследования и определения толщины приповерхностных деформированных слоев может успешно использоваться в производстве полупроводниковых приборов для исследования деформированных и легированных слоев после различных технологических процессов.

Разработанный интерферометрический метод исследования однородности распределения плотности в веществах может быть исполь -зован, например, в производстве оптических стекол и специальных пленок.

Разработанный метод вдуаровых картин незаменим для исследования ротационных несовершенств в почти совершенных кристаллах.

Апробация работы. Основные результаты диссертации докладывались на "Всесоюзном постоянном семинаре по дифракционным методам исследования искаженных структур" (Ленинград, 1981), на втором всесоюзном совещании по методам и аппаратуре для исследова -ния когерентного взаимодействия излучения с веществом "Вопросы когерентности рентгеновского, синхротронного и месобауэрского излучения" (Ереван, 1982), на всесоюзном совещании "Визуализация рентгенодифракционных изображений дефектов в кристаллах" (Ереван,

1983), а также неоднократно докладывались на постоянно действующих объединенных семинарах кафедры и цроблемной лаборатории физики твердого тела Ер1У.

Главными заштпцяемшгст в диссертации положениями являются:

1. Результаты исследования структуры лауэ-пятен, полученных от толстых кристаллов; секционных топограмм, полученных от тол -стых совершенных кристаллов, поверхностные слои которых деформированы; толстых совершенных кристаллов, имеющих на поверхности локальные дефекты и разработанный метод исследования и определения толщины приповерхностных деформированных слоев.

У толстых кристаллов, для которых jut>io, поверхностные деформированные слои, из-за расходимости и конечной спектральной ширины первичного падающего пучка, усиливают интенсивность отраженных волн больше, чем эффект аномального поглощения уменьшает эту интенсивность.

2. Разработанный интерферометрический метод для исследования однородности распределения плотности в веществах.

3. Разработанный метод выявления интерференционного характера распределения интенсивности на рентгенографических изображениях.

4. Разработанный метод исследования муаровых картин в зависимости от поворотов атомных плоскостей вокруг трех взаимнопер -пендикулярных направлений в двухблочных интерферометрах.

Установлено, что для обнаружения муаровых распределений интенсивности, обусловленных поворотами отражающих плоскостей вокруг оси, перпендикулярной к плоскости падения (и вектору обратной решетки), необходимо второй блок сделать клинообразным.

5. Новая трактовка первичной и вторичной экстинкций рентгеновских лучей.

6. Разработанный метод для исследования степени совершенства 1фИсталлов с помощью определения направления потока энергии дифрагированных волн в них.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Рентгенографическими исследованиями приповерхностных деформированных слоев толстых совершенных кристаллов установлено, что при первичном немонохроматичном и несильно коллимиро -ванном падающем пучке лауэ-пятна расщепляются, а секционные топограммы сопровождаются раздельными интенсивными тонкими линиями, Эти сильно деформированные слои увеличивают интенсивность дифрагированных волн в большей степени, чем аномальное поглощение уменьшает их. Разработана прямая и эффективная методика для исследования приповерхностных деформированных слоев и определения их толщины.

2. Исследовано влияние неоднородности распределения плотности вещества на интерференционные картины рентгеновских лучей. Экспериментально показано, что при предварительном прохождении суперпозирующих рентгеновских волн через образцы, в которых плотность вещества распределена неоднородно, в этих волнах создаются нерегулярные фазовые сдвиги, в результате чего наблюдаемые интерференционные картины исчезают. На этой основе разработаны специальные двухблочные и трехблочные интерферометры для таких исследований. Исследуя контрасты линий смещения, возникающих в двухблочных интерферометрах и маятниковых полос, возникающих в трехблочных интерферометрах, можно оценить степень одно -родности распределения плотности вещества в образцах. Разрабо -тайный метод может иметь широкое применение в материаловедении, в частности, для создания оптически однородных элементов с незначительными изменениями коэффициента преломления от точки к точке.

Экспериментально показано, что если в результате наложения двух пучков интерференция не происходит, то предварительное прохождение налагающихся пучков через неоднородную среду не изменяет конечное распределение интенсивности, а если происходит интерференция, то из-за этого предварительного прохождения интерференционная картина исчезает, что позволило разработать метод исследования природы распределения интенсивности в поле наложения рентгеновских пучков.

3. Детально исследован механизм возникновения и наблюдения рентгеновских муаровых картин в кристаллических системах и показано, что в экспериментах обычно наблюдаются только такие муаровые картины, которые получаются в результате поворотов атомных плоскостей вокруг оси, перпендикулярной поверхности входа второго блока двухблочного интерферометра. Для обнаружения поворотов атомных плоскостей вокруг оси, перпендикулярной плоскости пада-^ ния (и вектору обратной решетки) и вокруг вектора обратной решетки, разработана экспериментальная методика.

Показано, что при асимметричных отражениях, когда угол отражения отличается от точного угла Вульфа-Брэгга, даже в идеальной геометрии двухблочного интерферометра, наблюдаемое муаровое распределение интенсивности получается и в том случае, когда второй блок представляет собой плоскопараллельную пластинку: даже в таких двухблочных интерферометрах, блоки которых плоскопараллельные пластинки, повороты вокруг любой из трех осей ОХ О У и 02 приводят к образованию наблюдаемых муаровых картин.

4. Детально исследованы различные трактовки первичной и вторичной экстинкций и показано, что для правильной интерпретации зависимости интенсивности отражения от совершенства 1фис -таллов необходимо рассматривать экстинкцию как явление многократного отражения рентгеновских волн, причем первичную экстинкцию следует рассматривать как явление когерентного, а вторич -ную - некогерентного многократного отражения.

5. Показано, что суммарный поток энергии рентгеновских дифрагированных волн в кристалле зависит от степени его совершен -ства. Разработана новая методика для оценки степени совершенства кристаллов в зависимости от направления потока энергии волн, дифрагированных в кристалле.

Горячо благодарю своего научного руководителя - доктора физико-математических наук, црофессора П.А.Безирганяна - за предложение научной темы и систематическую помощь при ее выполнении.

Выражаю глубокую признательность кандидату физико-матема -тических наук, доценту К,Г,Труни за ценные советы и консульта -цию при теоретических расчетах.

1. Безирганян П.А., Асланян В.Г. Влияние поверхностных дефек -тов на интенсивность рассеяния рентгеновских лучей. Известия вузов СССР. Физика, 1984, т.27, Jfe I, с.68-71.

2. SeuUaa/ket Y., Su,mccto 1 Ргос. JUcctk Phjjs. Sot. (Jo.pe.iO, 133 i, 13, Hi.

3. Coxk J. M- baue Pattexn-S {w Tlnick C-ujstaCb at Rest and OsciWatliaij, Рсего€^сЬьсаСеу. P^s. Rev., 1332, v. 42, V? 6, W-f5l.

4. Джеймс P. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей. Изд.ИЛ., М., 1950, с.572.

5. Иверонова В.И., Ревкевич Г.П. Теория рассеяния рентгеновских лучей.- Изд.МГУ, 1972, с.246.7. /АитсЬск С. С. Mu,frtipU Lau* Spots.-РЦъ.Яви-., 1934, v.hS,

6. D<a.to N. !ГЬе Емагэд FC0u) of Х-гауs on a*v Ideaty Pe^cot С Com-paii/boiT/ Between, алло! CxpCtumervts,- /foU C^bt.,1.60, v. IV p. Ц, Ь Ц 9 35 6,

7. James ^e fteot^ ef diffxa.ctlon,. 5оЫ State P^s., 1963, v. 15, 53-220.

8. Авунджян В.И., Безирганян П.А., Аладжаджян Г.М. О расщеплении рентгеновских лауэ-отражений и образовании контраста изображений дефектов в кристаллах,- Известия АН Арм.ССР, Физика, 1979, т.14, вып.З, с.192-197.

9. Авунджян В.И., Безирганян П.А. Рентгенотопографическое исследование механических напряжений в колебающихся кристаллах кварца.- Известия АН Арм.ССР, Физика, 1976, вып.II, с.56-61.

10. Безирганян П.А. Зависимость маятниковой интерференции и эффекта Бормана от характера интерференции рентгеновских волн в кристаллах.- Препринт Е1У-ФТТ-6, 1976, с.30.

11. ЯтгоДО L.V., ХарСоиз R.} 3<at о N.} W«iss R. J.} Nx/iXsorv, A. J.С., Yoi^^ R.A. X Rcuj. ЙьДОгасиол,, Лс. G-го^- Hi,££, //eioYofk, 197^66^.

12. Авунджян В.И. Исследование влияния упругих (пьезоэлектрических) напряжений и дефектов в кристаллах на интенсивность рассеяния рентгеновских лучей.- Кандидатская диссертация, Ереван, 1975, с.143.

13. Р.Н., Astanijcurv V.&. А&оиЛ ^ featuv 0| X-Rcu^ А.ДОга,е£ьо»ьin D»wpex-fect Cx^btctU. atat. sot., 19S3, (a) 157-161.

14. Асланян В.Г., Хзарджян А.А., Гаспарян Л.Г. Рентгенодифрак -ционное исследование приповерхностных деформированных слоев толстых совершенных кристаллов.- Межвузовский сборник научных трудов, Физика, 1984, № 3, с.108-112.

15. V.Li,} James R.W., BoSa,a^u,&t С.Н.

16. Re-f^xlon, Х-Rays ^ Rook-5aet. РадЛЛД. %и А^ъЪиХъо*, с^ Е Cac/t-bons а,юи*с{ tta in Sodi.иип^ cvyvci

17. OWnx 4iom9. P)lit. May., i 921, v. № ZHb, 309-317 • 13li, v.Hi, d- 17> iW^-НЧ,443.450.

18. Vоцрлъ E., ttufimkampjf H. Dftteasitat Region, von, Ron-tge^vstT^k^rv rv-e-u Wa^-^iarv^ cuv KaAspat и,иЛ SteinsjL^. -Якиь. с/. Phys-, v.es, 369 -Ml3.

19. So.ki.sa.kft. !Чоо. JUo/tK.-Р^б. Sot., Скрал), 19Ь0Т 1г, 1^3.

20. Ч<аХо N. g-еоЦьса Bxcut^W, 196», 14 ; ЦЗ.

21. Гинье А. Рентгенография кристаллов,- Физматгиз., М., 1961, с.604.

22. Батурин В.Е., Имамов P.M., Кочальчук М.В., Ковьев Э.К., Па-лапис В.Е., Семилетов С.А., Шилин Ю.Н. Способ исследования совершенства структуры монокристаллов.- А.с. СССР, JS 534677, 1977.

23. Афанасьев A.M., Буйко 1.Д., Имамов P.M., Ковальчук М.В., Кон В.Г., Лобанович Э.Ф. Способ определения профиля распределения структурных искажений в поверхностном слое монокристалла.- А.с. СССР, № 830206, 1981.

24. Безирганян П.А., Асланян В.Г., Семерджян О.С. Рентгеноин -терферометрический метод исследования однородности веществ.-Известия АН Арм.ССР, Физика, 1982, т.17, вып.5, с.273-277.

25. Безирганян П.А., Асланян В.Г., Семерджян О.С. Способ исследования плотности материалов.- А.с. СССР, № 1078296, 1984.

26. Асланян В.Г., Семерджян О.С. Рентгеноинтерферометрический метод исследования однородности веществ. II.- Ученые записки Е1У, естественные науки, 1983, № 3, с.53-56.

27. Асланян В.Г. Способ выявления интерференционного происхож -дения распределения интенсивности в рентгеновских пучках.-Молодой научный работник, ЕГУ, 1982, № 2, с.91-96.

28. Борн М., Вольф Э. Основы оптики.- Изд.Наука, М., 1970, с.855.

29. Дичберн Р. Физическая оптика.- Физматгиз., М., 1965, с.631.

30. Ландоберг Г.С. Оптика.- Изд.техн.лит., М., 1957, с.759.

31. Я иЛК,1£т, ft. Co»vtxast a. Stocking oyi X-Rcu^ Topodjaapli*, Р^ь. btat. sot., 19fc2>, Vtl, 77-73.

32. Безирганян П.А., Аветисян Г.Г. Механизм возникновения полос смещения рентгеновских волн в двухблочных интерферометрах. -Препринт ИГИС-3, Ереван, 1981, с.38.

33. Ьоаье П., НалЛ Л. JU X-Hcuj ПгъЬьг^гюгъЛгъ. flppE. ЬеЛЛ«хь, 1365, у. б, V?S3 155-156.

34. А\оиге ^^txlOtutoOKv of X-Ra^ Veuves Ln, bivvptal |еготг£«г&. -P^s. state sot., 1953, (a) 78,

35. Безирганян П.А., Асланян В.Г. Возникновение и наблюдение дарового распределения интенсивности рентгеновских волн в двухкристальных интерферометрах.- Кристаллография, 1984, вып.5.

36. Безирганян П.А., Асланян В.Г. Рентгеноинтерферометрический способ определения искажений атомной решетки монокристалла. Положительное решение на авторское свидетельство СССР от 24.11.83 г. на заявку № 3595515/18-25 (080489).

37. Безирганян П.А., Асланян В.Г. Возникновение рентгеновских муаровых картин при асимметричных отражениях в двухблочных интерферометрах.- Кристаллография, 1984, вып.5.

38. Hcus^vlmoto Н., Hcuvrubm-l A., Mukl Т. ^rvcuHitaC- Ц. ЕОы&чоуъебL-f-fx^c-'tLorv |oa. i&e fLfecXtorv Mlctoscopbo Gu^etaCb(x^tlcc.b. \\ . tJmag-e a| Su,pei,posed Gt^sta-^S (Aolxe Pait-Ctrv). -pKie.Txarvs. Ko^.Soc., 1961, A 2,53, № 1033, 490-516.

39. G-evets Я. ^^гиьу^соХ M0ixe FгЬп^-е. PattexKis. -ы. 196уеаг (1720.

40. Ha,4,t Л. An, aft^btrb иг гиЛг. В tit. J, flppt. Р^ь., 1968, v/. 4, set. 1405 - 14

41. Ldn,g Д.Я., MUlsoov V. p. $ Scafe. сбЬьрОлаг.т&уъ'Ь'э Rev-eaEed

42. X Ray, А\о1гё ЗородгарЬ*. - #pp6. PUs. betters, 1965",v. v£&,

43. СкЬксЫа, i. Ofeset\*xiiort o( Matte Pa,itetn,& V/i-th Su,pei-posed CcJS Cn^sta&s. ДррС. Pbus. tattets, v. Ate ^ 193-195.

44. CU«wa, J. MoLue /Wsn,neme»vt 0{ Sr»a€C UtiUae. Vitt^toPns io <2>opec{ Jn^uctli^. Lku Col S. Ptoc. ОпПг. Cen<{. Qriоьо-Ь (Boston.) 136G, W-ЗЯЗ.

45. Баа^^гг. J., Ьалд. АЛ. -Ho-tit C^st., 196M24, 24*.

46. Lang. A. R. Y. Ra^ Мр1ге Зоро^арК^. '-'aiticfi c#e|ects in QluaVtz. -УаЛиге, 196S, v. 2.20^ - 657.

47. Пинскер З.Г. Современные представления о природе дифракционного муара.- Проблемы современной 1фисталлографии, под редакцией Вайнштейна Б.К., 1975, с. 172-186.

48. Исходя из этих выводов, мы экспериментально исследовали характер дифракции, вернее, зависимость направления потока энергии дифрагированных волн в кварцевых и кремниевых кристаллах.

49. Фотоснимки рентгенограмм, полученные от вышеуказанных об -разцов, приведены на рисунке 4.II.

50. Из рисунка 4,11(1-2) четко видно:

51. В толстых совершенных кристаллах кремния устанавливается

52. Безирганян П.А., Аладжаджян Г.М. Исследование отклонения от закона Вульфа-Брэгга в общем случае,- Известия АН Арм.ССР, Физика, 1976, т,П, вып.4, с.273-279,

53. Безирганян П.А., Асланян В.Г. К вопросу первичной экстинкции рентгеновских волн,- Известия вузов СССР, Физика, т.26, вып.II, деп.в ВИНИТИ от 13.04.83 г., per. № 1961-83.

54. Безирганян П.А., Асланян В.Г. Вопросы экстинкции рентгеновских лучей,- Известия АН Арм.ССР, Физика,1984, т.19,вып,5.

55. ЗъъА'ип, C.Gr. 5W SWufl X-Rcufl R^&xiorv. -PV.ie.Mfti., 19й, 27, 315 333.57. с^лгО w C. Gr. Золоту o^ X Rcuj Rt^&xlovb. Peat И. -Phil./Uj., ifli4, 14, 6*5 - 630.

56. MirtiYi e.Gr. 7U R^f^r uOП/ oSf X " • ^tOM 3rrv,p C-^staCs. PKi i. Ma^., 1312 , v. 43, Ve 257, 800-88.3.

57. Lft,w.e Л. Etgelaexcuat MttuT^bSs, 1331, 10, 153.

58. Lcua.£ h. Roaigeastaabe ЗпЛеъ^аегъг^п,. -2-te1. G«est and Poxtlg,

59. X Gr., bftLpal^ , 194$, p. 410.

60. Lcv,M€ Ron,ttjen,5"t- ЗпЛег^чьгьгеп/. -JjkaotarrUscb-e V-e^^^-eseetsoKa-ft, Frcwtk^i/t /U /Ww, 1360, p.

61. ZcwAaAo&iGvv V/. H- J^e-o^uj. X-Ra-у, n, Ci^staCs. -/VeiO Yo-ък, J. V/оЦ a*ot Sons, 1945, p. 255.

62. Та,лгтдА/1а, , !K<xto N. flcta , , fl 69.

63. Нал/t M., f\itn.4 fl. ей flGso£u,t« Meo.su.'ujm^n/t o| Ь^гиойст-е Fo/C/toxb Ufctvig, ct A/eiO л^аа/куи-саб 9-егСп-с^ Ej^-feot,-floU c-uf&t., 19-70, ггз-^аз.

64. Безирганян П.А., Безирганян К.Н. К вопросу первичной экстинкции.- Ученые записки ЕГУ, естественные науки, Физика, 1975, № 3, с.39-47.

65. Безирганян П.А. К методу определения размеров кристаллов с использованием первичной экстинкции рентгеновских лучей.-ДАН Арм.ССР, I960, т.32, № 4, о.81-83.

66. Безирганян П.А., Заргарян Е.Г., Асланян В.Г. Особенности дифракции рентгеновских лучей в кварцевых кристаллах.- Известия АН Арм.ССР, Физика, 1984, т.19, вып.1, с.35-41.

67. Безирганян П.А., Заргарян Е.Г., Асланян В.Г. Рентгенографический способ исследования структурного совершенства монокристаллов.- Положительное решение от 06.03.84 г. на заявку № 3643773/24-25 (136676).

68. Б-ен bX^cwvLjCLn ?М ^аа^гуали E.G-., V. Gr. P^ou&a'titUs о$ X ч.ам. Жь^пасАьоуъ иг (Хиа-т/Ь? /Aon-oc^stoXs. - Ci^sta£ Res. Ь TecMrwZ., ШЦ^ v. IS, p. 617-62.5.