Исследование динамики и механизмов лазерной абляции в режимах милли-, нано- и фемтосекундных импульсов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.14 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. Импульсная лазерная абляция: Физические основы

Представленная работа посвящена проблемам, возникающим при взаимодействии лазерного излучения умеренной интенсивности в импульсных режимах с миллисекундными, наносекундными и фемтосекундными длительностями, которые широко используются и имеют большой потенциал для применений в различных лазерных технологиях, а также представляют интерес для исследований фундаментальных явлений в конденсированных средах. В работе рассматриваются режимы, приводящие к удалению вещества с поверхности облучаемого материала (лазерной абляции).

Исследования процесса лазерной абляции начались в начале 60-х годов вместе с изобретением первых лазеров, когда возникла необходимость разработки компонентов оптических систем, стойких к облучению мощным лазерным излучением. Уже тогда стало ясно, что появился новый мощный инструмент научных исследований, и были определены основные приложения процесса взаимодействия лазерного излучения с веществом в различных технологиях. С тех пор уже в течение более чем 40 лет круг этих приложений непрерывно растет, что связано с развитием новых лазерных систем и достижением все большей мощности лазерного импульса и меньшей его длительности. Далеко не полный перечень применений импульсной лазерной абляции включает сварку, резку, сверление, обжиг, очистку, упрочнение и структурирование твердых поверхностей, напыление тонких пленок, синтез новых наноматериалов, изготовление компонентов микроприборов, различные применения в медицине (офтальмология, дерматология, клеточная хирургия) и др.

Кроме того, импульсная лазерная абляция является мощным научным инструментом и представляет самостоятельный научный интерес. Она открывает новые возможности изучения протекания химических реакций в реальном временном масштабе, исследования неравновесной термодинамики и проявления критических явлений в сверхбыстрых процессах, лабораторного моделирования процессов в звездных атмосферах при вспышках новых и сверхновых звезд.

Механизмы и динамика лазерной абляции зависят от параметров лазерного пучка (длина волны, интенсивность, длительность импульса, угол падения на облучаемую поверхность, поляризация) и свойств облучаемого материала (состав, микроструктура, термодинамические и оптические свойства). В связи с многообразием протекающих при этом процессов описание лазерной абляции требует объединения знаний физики твердого тела, электродинамики, термодинамики, газовой динамики, физики плазмы и химии. К настоящему времени, несмотря на очевидные успехи в применениях импульсной лазерной абляции в разнообразных технологиях, можно утверждать, что эта область знаний является слабо изученной, особенно в отношении коротких (наносекундных) и ультракоротких (пико- и фемтосекундных) импульсов. В подавляющем большинстве приложений режимы облучения найдены эмпирическим путем, и необходимы их тщательное . изучение и моделирование для оптимизации имеющихся приложений и нахождения новых возможностей для использования.

Такие технологии, как напыление тонких пленок и синтез новых наноматериалов с заданными свойствами в лазерной плазме определяются газодинамическими параметрами лазерного факела, на которые, в свою очередь, влияют процессы ионизации/рекомбинации продуктов абляции. Ионная компонента лазерного факела может значительно влиять на свойства получаемых пленок и индуцирует процесс кластерообразования. Управление этими процессами требует тщательного изучения динамики расширения продуктов абляции в вакуум и фоновый газ с учетом кинетики ионизации.>

Одним из наиболее перспективных направлений лазерной абляции является высокоточное структурирование материалов ультракороткими импульсами лазерного излучения. При описании таких режимов взаимодействия лазерного излучения с твердым веществом принципиальными являются существенно неравновесные процессы, такие как нарушение равновесия между электронами и кристаллической решеткой вещества и равновесия в электронной подсистеме, реализация метастабильных состояний расплава, сложная динамика носителей заряда под действием лазерного излучения. Эти процессы приводят к реализации принципиально новых механизмов абляции, которые представляют самостоятельный фундаментальный интерес и могут быть использованы в новых технологических процессах. В настоящее время такие режимы лазерной абляции изучены слабо, а получаемые экспериментальные данные часто неверно трактуются. Изучение таких режимов абляции с развитием моделей для описания сложной взаимосвязи протекающих при этом процессов является одной из наиболее актуальных задач лазерной абляции и представляется важной для определения общих закономерностей явления и углубления представлений о поведении вещества в условиях сверхбыстрого нагрева.

Таким образом, актуальность указанных задач динамики лазерной абляции определяется как потребностями фундаментальных исследований поведения вещества в сверхбыстрых процессах, так и многочисленными практически важными приложениями.

Целью работы является разработка моделей и описание динамики процессов, протекающих при взаимодействии лазерного излучения с веществом в трех диапазонах длительностей лазерных импульсов -миллисекундном, наносекундном и фемтосекундном, - наиболее интересных с точки зрения существующих приложений и развития технологий будущего, что предполагает:

1. построение модели, описывающей газодинамические особенности взаимодействия квазистационарного эрозионного факела с фоновым газом при испарении твердых материалов импульсами лазерного излучения миллисекундной длительности;

2. разработку моделей, адекватно описывающих динамику лазерного факела в наносекундном диапазоне длительностей импульса; изучение роли процессов ионизации/рекомбинации при расширении продуктов абляции;

3. исследование ускорения ионов в лазерном факеле, изучение эволюции двойного слоя в зависимости от интенсивности лазерного импульса;

4. построение моделей для описания динамики электронов в мишенях различного типа под действием ультракоротких лазерных импульсов с исследованием зарядки поверхностных слоев мишени; описание механизма кулоновского взрыва при облучении диэлектриков;

5. анализ природы и описание возникновения наблюдаемых разрывов плотности при расширении продуктов фемтосекундной лазерной абляции в вакууме;

6. изучение фазового взрыва веществ, облучаемых импульсным лазерным излучением; исследование возможных проявлений критического поведения вещества при импульсной лазерной абляции.

Структура диссертации

Диссертация состоит из введения, 5 глав, заключения и списка литературы.

Основные результаты диссертации опубликованы в 33 печатных работах и докладывались на семинарах ИТФ СО РАН, Санкт-Петербургского государственного технического университета и Гетеборгского университета (г. Гетеборг, Швеция), на Всесоюзных и Международных конференциях:

- XI Всесоюзная конференция по динамике разреженных газов, Ленинград, 813 июля 1991 г.;

- III Всесоюзная Школа-семинар "Кинетические и газодинамические процессы в неравновесных средах", Звенигород, 1986;

- 18th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics, Vancouver, Canada, 1992;

- XII International Vacuum Congress, Hague, Netherlands, 1992;

- 13 Всероссийская Школа-семинар по численным методам механики вязкой жидкости, Новосибирск, 1992 г.;

- 2-й Всероссийский семинар по динамике пространственных и неравновесных течений жидкости и газа, Миасс, 1993 г.;

- SPIE's International Symposium "Photonics West", San Jose, USA, 1994;

- 19th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics, Oxford University, England, 1994;

- 2nd European Fluid Mechanics Conference, Warsaw, Poland, 1994;

- SPIE's International Symposium "Photonics West", San Jose, USA, 1995;

- XVI Всероссийский семинар "Струйные и нестационарные течения в газовой динамике", Новосибирск, 1995;

- IX International Conference "Nonresonant Laser - Matter Interactions", St. Petersburg, 1996;

- 20th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics, Beijing, China, 1997;

- EUROMECH Colloquium 363 "Mechanics of laser ablation", Novosibirsk, Russia, 1997;

- 21th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics, Marseille, France, 1998;

- 4th Biennial International Workshop (IWFAC'99), St. Petersburg, 1999;

- 6th International Conference on Laser Ablation (COLA'Ol), Tsukuba, Japan, 2001;

- 52st Ordinary General Assembly of the Max Planck Society, Berlin, Germany, 2001;

- International Congress on Laser Advanced Materials Processing LMP2002, Osaka, Japan, 2002.

Вклад автора в работы, опубликованные в соавторстве, заключается в постановках теоретических задач, построении всех моделей, проведении численных исследований и теоретического анализа, в трактовке результатов моделирования и приведенных в работе экспериментальных данных.

Практическая ценность работы состоит в том, что она существенно расширяет существующие представления о процессах, происходящих при взаимодействии лазерного излучения с веществом. Предложенные в работе модели течений при расширении лазерного факела в фоновом газе широко используются для интерпретации научных результатов и имеют большое значение для оптимизации процессов напыления тонких пленок.

Предложенный метод анализа нагрева материала лазерным излучением с учетом испарения открывает новые возможности для исследований условий реализации фазового взрыва и оценки критической температуры тугоплавких материалов. Предложенный термодинамический анализ состояния вещества при взаимодействии лазерного излучения с твердыми материалами чрезвычайно важен для определения оптимальных условий и разработки методов контроля лазерной обработки материалов.

Гипотеза формирования ударных волн разрежения при абляции материалов ультракороткими импульсами лазерного излучения открывает новые возможности для исследований динамических критических явлений.

Моделирование возникновения, развития и деградации ударной волны разрежения с отражением от преграды может дать толчок развитию нового направления в гидродинамике. Предположение о существовании ударных волн разрежения в звездных оболочках может оказаться важным для понимания процессов, происходящих при взрывах новых и сверхновых звезд.

Большое значение для развития приложений фемтосекундной лазерной абляции имеет развитая в работе модель динамики зарядки мишеней из различных материалов под действием ультракороткого импульса лазерного излучения. Модель может быть использована для развития методов высокоточной наномасштабной обработки материалов, открывающей новые возможности для технологий будущего. Результаты моделирования динамики носителей заряда под действием лазерного излучения в материалах различного сорта имеет фундаментальное значение для понимания физики процессов в твердом теле.

В заключение автор выражает благодарность всем соавторам за плодотворное сотрудничество и коллегам по лаборатории за поддержку.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Т.Н. Maiman. Stimulated optical radiation in ruby lasers. Nature, 1960, Vol. ^ 187, No. 4736, pp. 493-494.

2. Н.Г. Басов, A.M. Прохоров. Применение молекулярных пучков для радиоспектроскопического излучения вращательных спектров молекул. ЖЭТФ, 1954, т. 27, № 4(10), стр. 431-438.

3. J.P. Gordon, H.J. Zeiger, and С. H. Townes. Molecular microwave oscillator Щ and new hyperfine structure in the microwave spectrum of NH3. Phys. Rev.,1954, Vol. 95, No. 1, pp. 282-284.

4. D. Bauerle. Laser Processing and Chemistry. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 2000.

5. M. Bargheer, J. Pietzner, P. Dietrich, N. Schwentner. Ultrafast laser control of ^ ionic-bond formation: C1F in argon solids. J. Chem. Phys., 2001, Vol. 115, No.21, pp. 9827-9834.

6. M. Bauer, C. Lei, K. Read, R. Tobey, J. Gland, M.M. Murnane, H.C. Kapteyn. Direct Observation of Surface Chemistry Using Ultrafast Soft-X-Ray Pulses. Phys. Rev. Lett., 2001, Vol. 87, Paper 025501.

7. N.M. Bulgakova and A.V. Bulgakov. Pulsed laser ablation of solids: Transition from normal vaporization to phase explosion. Appl. Phys. А, 1Ъ (2001) 199-208.

8. R.P. Drake, J.J. Carroll III, T.B. Smith, et all. Laser experiments to simulate supernova remnants. Phys. Plasmas, 2000, Vol. 7, No. 5, pp. 2142-2148.

9. N.M. Bulgakova, I.M. Bourakov, N.A. Bulgakova. Rarefaction shock wave: Formation under short pulse laser ablation of solids. Phys. Rev. E, 2001, Vol. 63, Paper 046311.

10. А.А. Веденов, Г.Г. Гладуш. Физические процессы при лазерной обработке материалов. М.: Энергоатомиздат, 1985.

11. А.Г. Григорьянц. Основы лазерной обработки материалов. М.: Машиностроение, 1989.

12. A.M. Прохоров, В.И. Конов, И. Урсу, И.Н. Михэилеску. Взаимодействие лазерного излучения с металлами. М.: Наука, 1988.

13. Н.М. Булгакова, Л.И. Кузнецов. Нагрев металлических и диэлектрических образцов импульсным лазерным излучением. ТВТ, 1993, т. 31, № 5, стр. 712-716.

14. Ковингтон, Лью, Линкольн. Расширение свободной струи пара, образующейся при воздействии лазерного луча на плоскую поверхность. РТК, 1977, т. 15, №8, стр. 148-155.

15. А.А. Самохин. Фазовые переходы первого рода при действии лазерного излучения на поглощающие конденсированные среды. Труды ИОФАН, 1988, том 13, стр. 3-98.

16. А.А. Углов, С.В. Селищев. Автоколебательные процессы при воздействии концентрированных потоков энергии. М.: Наука, 1987.

17. Н. М. Булгакова. Численное моделирование импульсных струй вязкого теплопроводного газа. ПМТФ, 1992, № 4, стр. 93-99.

18. Н.М. Булгакова, Л.И. Кузнецов. Газодинамика импульсных струй и осцилляции давления на облучаемых лазером мишенях. ПМТФ, 1992, № 6, стр. 14-21.

19. Н.М. Булгакова, Л.И. Кузнецов. Влияние параметров импульсного эрозионного факела на пульсации давления. ПМТФ, 1992, № 6, стр. 28-32.

20. Н.М. Булгакова, Л.И. Кузнецов. Влияние внешних условий на формирование пульсаций давления на мишени, облучаемой лазером. ПМТФ, 1993, № 1, стр. 65-69.

21. N.M. Bulgakova. Numerical simulation of non-stationary jets of the viscous gas. 18th International Symposium on RGD, Vancouver, Canada, 1992, pp. PJ1-PJ3.

22. N.M. Bulgakova. Numerical simulation of non-stationary jets of the viscous gas. Progress in Astronautics and Aeronautics, AIAA, Vol.158, Rarefied Gas Dynamics: Experimental Techniques and Physical Systems, 1994, pp. 352363.

23. N.M. Bulgakova, L.I. Kuznetsov. Role of gas dynamics in the formation of pressure pulsations on a solid surface irradiated by laser impulse. Rarefied Gasт

24. N.M. Bulgakova, L.I. Kuznetsov. Formation of pressure pulsations on a solid surface irradiated by laser impulse. IX Inter. Conf. Nonresonant Laser Matter Interaction. St.Petersbourg, 1-3 July, 1996, p. 80 - 81.

25. Н.М.Булгакова, Л.И.Кузнецов. Образование пульсаций давления на твердой поверхности, облучаемой лазерным импульсом. Изв. АН, Серия физическая, 1997, т. 61, No. 7, стр. 1383-1393.

26. Л.И. Кузнецов. Взаимодействие светоэрозионного факела с окружающей средой. Изв. АН, Серия физическая, 1991, т. 55, No. 6, стр. 1163-1167.

27. Ю.А. Быковский, Н.Н. Дегтяренко, В.Ф. Елесин, Ю.П. Козырев, С.М. Сильнов. Масс-спектрометрическое исследование лазерной плазмы. ЖЭТФ, 1971, т. 60, № 4, стр. 1306-1319

28. О.Н. Крохин, Г.В. Склизков, А.С. Шиканов. Экспериментальное исследование отражения и поглощения мощного светового излучения в лазерной плазме. Труды ФИАН, 1976, том 85, с. 143-292.

29. М.А. True, J.R. Albritton, Е.А. Williams. Fast ion production by suprathermal electrons in laser fusion plasmas. Phys. Fluids, 1981, Vol. 24, No. 10, pp. 18851893

30. E.E. Ловецкий, A.H. Поляничев, B.C. Фетисов. Рекомбинация и ускорение ионов лазерной плазмы. Физика плазмы, 1975, том 1, № 3, с. 773-781.

31. J.E. Crow, P.L Auer, J.H. Allen. The expansion of a plasma in to a vacuum. J. Plasma Physics, 1975, Vol. 14, No. 1, pp. 65-76.

32. G. Bednorz, K.A. Miiller and M. Takashige. Superconductivity in Alkaline Earth substituted La2CuC>4. Science, 1987, Vol. 236, pp. 73-75.

33. Pulsed Laser Deposition of Thin Films. Eds. D.B. Chrisey and G.K. Hubler. New York: Wiley, 1994.

34. Laser Ablation and Deposition. Eds. J.C. Miller and R.F. Haglund. Academic Press, London, 1998.

35. H.W. Kroto, J.R. Heath, S.C. O'Brien, R.F. Curl, R.E. Smalley. C60: Buckminsterfullerene. Nature, 1985, Vol. 318, pp. 162-163.

36. Laser in der Medizin, eds. W. Waidelich et al. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 1997.

37. A.A. Puretzky, H. Schittenhelm, X. Fan, M.J. Lance, L.F. Allard Jr., D.B. Geohegan. Investigations of single-wall carbon nanotube growth by time-restricted laser vaporization. Phys. Rev. B, 2002, Vol. 65, Paper 245425.

38. Y.H. Tang, Y.F. Zhang, N. Wang, et al. Si nanowires synthesized from silicon monoxide by laser ablation. J. Vac. Sci. Technol. B, 2001, Vol. 19, No. 1, pp. 317-319.

39. A.V. Bulgakov, O.F. Bobrenok, V.I. Kosyakov. Laser ablation synthesis of phosphorus clusters. Chem. Phys. Lett., 2000, Vol. 320, pp. 19-25.

40. R. Kelly, A. Miotello. On the mechanisms of target modification by ion beams and laser pulses. Nucl. Instr. and Meth. B, 1997, Vol. 122, pp. 374-400.

41. L. Lynds, B.R. Weinberger, D.M. Potrepka, G.G. Peterson, M.P. Lindsay. High temperature superconducting thin films: The physics of pulsed laser ablation. Physica C, 1989, Vol.159, p. 61-68.

42. R.K. Singh, J. Viatella. Estimation of plasma absorption effects during pulsed laser ablation of high-critical-temperature superconductors. J. Appl. Phys., 1994, Vol. 75, No. 2, pp. 1204-1206.

43. A. Peterlongo, A. Miotello, R. Kelly. Laser-pulse sputtering of aluminum: Vaporization, boiling, superheating, and gas-dynamic effects. Phys. Rev. E, 1994, Vol. 50, No. 6, pp. 4716-4727.

44. A.B. Булгаков, H.M. Булгакова. Тепловая модель импульсной лазерной абляции в условиях образования и нагрева плазмы, поглощающей излучение. Квантовая электроника, 1999, т. 27, № 2, стр. 154-158.

45. A.V. Bulgakov, N.M. Bulgakova. Dynamics of laser-induced plume expansion into an ambient gas during film deposition. J. Phys. D: Applied Physics, 1995, Vol. 28, No. 8, pp. 1710-1718.

46. K.H. Song, X. Xu. Explosive phase transformation in excimer laser ablation. Appl Surf. Sci., 1998, Vol. 127-129, pp. 111-116.

47. R. Kelly, A. Miotello, A. Mele, A.G. Guidoni, J.W. Hastie, P.K. Schenck, H. Okabe. Gas-dynamic effects in the laser-pulse sputtering of A1N: Is there evidence for phase explosion? Appl Surf. Sci., 1998, Vol. 133, No. 4, pp. 251269.

48. J.H. Yoo, S.H. Jeong, X.L. Mao, R. Grief, R.E. Russo. Evidence for phase-explosion and generation of large particles during high power nanosecond laser ablation of silicon. Appl. Phys. Lett., 2000, Vol. 76, No. 6, pp. 783-785.

49. A. Miotello, R. Kelly. Laser-induced phase explosion: New physical problems when a condensed phase approaches the thermodynamic critical temperature. Appl. Phys. A, 1999, Vol. 69, pp. S69-S73.

50. M.M. Мартынюк. Параметры критической точки металлов. ЖФХ, 1983, том 57, №4, стр. 810-821.

51. Н. Schmidt, J. Ihlemann, В. Wolff-Rottke, К. Luther, J. Troe. Ultraviolet laser ablation of polymers: spot size, pulse duration and plume attenuation effects explained. J.Appl.Phys., 1998, Vol. 83, 5458-5468.

52. N.M. Bulgakova, A.V. Bulgakov. Dynamics of laser ablation of YBaCuO superconductor: Effect of ionization/recombination processes. SPIE Proc. Laser-Induced Thin Film Processing, 1995, Vol. 2403, pp. 87-94.

53. P. Wagli, T.P. Donaldson. Fast-electron emission and resonance absorption in laser-generated plasma. Phys. Rev. Lett. 1978, Vol. 40, No. 13, pp. 875-879.

54. R. Decoste, B.H. Ripin. High-energy ion expansion in laser-plasma interactions. Phys. Rev. Lett. 1978, Vol. 40, No. 1, pp. 34-37.

55. W. Demtroder, W. Jantz. Investigation of Laser-Produced Plasmas from Metal-Surfaces. Plasma Phys. 1970, Vol. 12,691-703.

56. А.А. Плютто. Ускорение положительных ионов в расширяющейся плазме вакуумных искр. ЖЭТФ, т. 39, № 6(12), стр. 1589-1592.п

57. Ю.А. Быковский, В.Г. Дегтярев, Н.Н. Дегтяренко, В.Ф. Елесин, И.Д. Лаптев, В.Н. Неволин. Кинетические энергии ионов лазерной плазмы. ЖТФ, 1972, т. 42, № 3, стр. 658-661.

58. R.L. Morse, C.W. Nielson. Occurrence of high-energy electrons and surface expansion in laser-heated target plasmas. Phys. Fluids, 1973, Vol. 16, No. 6, pp. 909-920.

59. D.B. Geohegan, A.A. Puretzky. Laser ablation plume thermalization dynamics in background gases: Combined imaging, optical absorption and emission spectroscopy, and ion probe measurements. Appl. Surf. Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 131-138.

60. S. Metev, M. Ozegowski, G. Sepold, S. Burmester. Plasma parameters in pulsed ^ laser-plasma deposition of thin films. Appl. Surf. Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 122125.

61. J. Brcka, M. Alunovic, A. Voss, E.W. Kreutz. Investigation of plasma expansion in the PLD process by means of an electric probe. Plasma Sources Sci. Technol., 1994, Vol. 3, pp. 129-133.

62. X.D. Wu, A. Inam, T. Venkatesan, C.C. Chang, E.W. Chase, P. Barboux, J.M.

63. Tarascon, B. Wilkens. Low-temperature preparation of high Tc superconducting thin films. Appl. Phys. Lett., 1988, Vol. 52, No. 9, pp. 754-756.

64. J.J. Cuomo, D.L. Pappas, J. Bruley, J.P. Doyle, K.L. Saenger. Vapor depositionлprocesses for amorphous carbon films with sp fractions approaching diamond. m J. Appl. Phys., 1991, Vol. 70, No.3, pp. 1706-1711.

65. R. Jordan, D. Cole, J.G. Lunney, D. Givord, K. Mackay. Pulsed laser ablation of copper. Appl. Surf. Sci., 1995, Vol. 86, pp. 24-28.

66. N.M. Bulgakova, A.V. Bulgakov, O.F. Bobrenok. Double layer effects in laser-ablation plasma. Phys. Rev. E, 2000, Vol. 62, pp. 5624-5635.

67. D. Sibold, H.M. Urbassek. Effect of gas-phase collisions in pulsed-laser deposition: A three-dimensional Monte Carlo simulation study. J. Appl. Phys., 1993, Vol. 73, pp. 8544-8551.

68. Т.Е. Itina, W. Marine, M. Autric. Nonstationary effects in pulsed laser ablation. J. Appl. Phys., 1999, Vol. 85, pp. 7905-7908

69. H.M. Булгакова. Разлет плазменного сгустка в атмосферу. В кн.: Неравновесные процессы в одно- и двухфазных системах. Новосибирск: ИТФ СО АН СССР, с. 87-93.

70. D.B. Geohegan. Fast intensified-CCD photography of УВа2Сиз07.х laser ablation in vacuum and ambient oxygen. Appl. Phys. Lett., 1992, Vol. 60, pp. 2732-2734.

71. M.R. Predtechensky, A.P. Mayorov. Expansion of laser plasma in oxygen at laser deposition of HTSC films: Theoretical model. Appl. Superconductivity, 1993, Vol. l,pp. 2011-2017.

72. M. Aden, E.W. Kreutz, A. Voss. Laser-induced plasma formation during pulsed laser deposition. J. Phys. D: Appl. Phys., 1993, Vol. 26, pp. 1545-1553.

73. А.В. Булгаков, А.П. Майоров, М.Р, Предтеченский, А.В. Рощин. Масс-спектрометрическое наблюдение пульсирующего разлета лазерного факела во внешний газ. Письма вЖТФ, 1994, том 20, вып. 18, с. 1-6.

74. W.K.A. Kumuduni, Y. Nakayama, У. Nakata, Т. Okada, М. Maeda. Transport of YO molecules produced by ArF laser ablation of YBa2Cu307^ in ambient oxygen. J. Appl. Phys., 1993, Vol. 74, pp. 7510-7516.

75. A.V. Bulgakov and N.M. Bulgakova. Gas-dynamic effects of the interaction between a pulsed laser-ablation plume and the ambient gas: Analogy with an underexpanded jet. J. Phys. D: Appl. Phys., 1998, Vol. 31, pp. 693-703.

76. A.A. Puretzky, D.B. Geohegan, X. Fan, S.J. Pennycook. Dynamics of single-wall carbon nanotube synthesis by laser vaporization. Appl. Phys. A, 2000, Vol. 70, No.2, pp. 153-160

77. F. Garrelie, C. Champeaux, A. Catherinot. Study by a Monte Carlo simulation of the influence of a background gas on the expansion dynamics of a laser-induced plasma plume. Appl. Phys. A, 1999, Vol. 69, pp. 45-50.

78. N. Arnold, J. Gruber, J. Heitz. Spherical expansion of the vapor plume into ambient gas: An analitical model. Appl Phys. A, 1999, Vol. 69, pp. S87-S93.

79. B.N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tunnermann. Femtosecond, picosecond and nanosecond laser ablation of solids. Appl Phys. A, 1996, Vol. 63, pp. 109-115.

80. S.-S. Welleshoff, J. Hohlf'eld, J. Gudde, E. Matthias. The role of electron-phonon coupling in femtosecond laser damage of metals. Appl. Phys. A, 1999, Vol.69, pp. S99-S107.

81. F. Quere, S. Guizard, Ph. Martin, G. Petite, et al. Hot-electron relaxation in quartz using high-order harmonics. Phys. Rev. B, 2000, Vol. 61, No. 15, pp. 9883-9886.

82. М.И. Каганов, И.М. Лифшиц, Л.В. Танатаров. Релаксация между электронами и решеткой. ЖЭТФ, 1956, т. 31, № 2(8), стр. 232-237.

83. К. Sokolowski-Tinten, J. Bialkowski, A. Cavalleri, D. von der Linde, A. Oparin, J. Meyer-ter-Vehn, S.I. Anisimov. Transient states of matter during short pulse laser ablation. Phys. Rev. Lett., 1998, Vol. 81, No. 1, pp. 224-227.

84. H.A. Иногамов, A.M. Опарин, Ю.В. Петров, H.B. Шапошников, С.И. Анисимов, Д. фон дер Линде, Ю. Майер-тер-Фен. Разлет вещества, нагретого ультракоротким лазерным импульсом. Письма в ЖЭТФ, 1999, т. 69, № 4, стр. 284-289.

85. S.I. Anisimov, N.A. Inogamov, A.M. Oparin, В. Rethfeld, Т. Yabe, M. Ogava, V.E. Fortov. Pulsed laser evaporation: Equation-of-state effects. Appl Phys. A, 1999, Vol. 69, pp. 617-620.

86. A. Cavalleri, K. Sokolowski-Tinten, J. Bialkowski, M. Schreiner, D. von der Linde. Femtosecond melting and ablation of semiconductors studied with time of flight mass spectroscopy. J. Appl. Phys., 1999, Vol. 85, No. 6, pp. 3301-3309.

87. N.M. Bulgakova. Possibility of rarefaction shock wave under short laser ablation of solids. Phys. Rev. E, 1999, Vol. 60, No. 4, pp. R3498-3500.

88. F. Vidal, S. Laville, T.W. Johnston, et al. Numerical simulations of ultrashort laser pulse ablation and plasma expansion in ambient air. Specrochem. Acta В ~ Atomic Spectr., 2001, Vol. 56, No. 6, pp. 973-986.

89. F. Vidal, T.W. Johnston, S. Lauville, et al. Critical-point phase separation in laser ablation of conductors. Phys. Rev. Lett., 2001, Vol. 86, No. 12, pp. 25732576.

90. R. Stoian, D. Ashkenasi, A. Rosenfeld, M. Wittmann, R. Kelly, E.E.B. Campbell. The dynamics of ion expulsion in ultrashort pulse laser sputtering of A1203. Nucl. Instr. andMeth. B, 2000, Vol. 166-167, pp. 682-690.

91. A. Rousse, C. Rischel, S. Fourmaux, et al. Non-thermal melting in semiconductors measured at femtosecond resolution. Nature, 2001, Vol. 410, pp. 65-67.

92. R. Stoian, D. Ashkenasi, A. Rosenfeld, E.E.B. Campbell. Coulomb explosion in ultrashort pulsed laser ablation of A1203. Phys. Rev. B, 2000, Vol. 62, No. 19, pp. 13167-13173.

93. T. Ditmire, J.W.G. Tisch, E. Springate, M. B. Mason, N. Hay, R.A. Smith, J. Marangos, M.H.R. Hutchinson. High-energy ions produced in explosions of superheated atomic clusters. Nature, 1997, Vol. 386, pp. 54-56.

94. S.A. Buzza, E.M. Snyder, D.A. Card, D.E. Folmer, A.W. Castleman, Jr. Femtosecond excitation dynamics of acetone. Dissociation, ionization and theevolution of multiply charged elemental species. ./. Chem. Phys., 1996, Vol. 105, pp. 7425-7431.

95. R. Stoian, A. Rosenfeld, D. Ashkenasi, I.V. Hertel, N.M. Bulgakova, E.E.B. Campbell. Surface charging and impulsive ion ejection during ultrashort pulsed laser ablation. Phys. Rev. Lett., 2002, Vol. 88, No. 9, Paper 097603.

96. V. Schmidt, W. Husisky, G. Betz. Dynamics of laser desorption and ablation of metals at the threshold on the femtosecond time scale. Phys. Rev. Lett., 2000, Vol. 85, No. 16, pp. 3516-3519.

97. H.K. Tonshoff, F. von Alvensleben, A. Ostendorf, G. Kamlage, S. Nolte. Micromashining of metals using ultrashort laser pulses. Int. J. Elect. Mashining, 1999, Vol. 4, pp. 1-5.

98. S. Nolte, G. Kamlage, F. Korte, T. Bauer, T. Wagner, A. Ostendorf, C. Fallnich, H. Welling. Microstructuring with femtosecond lasers. Adv. Eng. Mater., 2000, Vol. 2, No. 1-2, pp. 23-27.

99. J. Kriiger, W. Kautek. Femtosecond pulse visible laser processing of fibre composite materials. Appl. Surf. Set, 1996, Vol. 106, pp. 383-389.

100. S.C. Chen, C.P. Grigoropoulos. Noncontact nanosecond-time-resolution temperature measurement in excimer laser heating of Ni-P disk substrates. Appl. Phys. Lett., 1997, Vol. 71, No. 22, pp. 3191-3193.

101. F. Beinhorn, J. Ihlemann, P. Simon, et al. Sub-micron grating formation in Ta205-waveguides by femtosecond UV-laser ablation. Appl. Surf. Sci., 1999, Vol. 139, pp. 107-110.

102. Th. von Woedtke, P. Abel, J. Kriiger, W. Kautek. Subpicosecond-pulse laser microstructuring for enhanced reproducibility of biosensors. Sensors Actuators B, Vol.42, pp. 151-156.

103. J. Kriiger, W. Kautek. Femtosecond pulse visible laser processing of fibre composite materials. Appl. Surf. Sci., 1996, Vol. 106, pp. 383-389.

104. J. Kriiger, W. Kautek, H. Newesely. Femtosecond-pulse laser ablation of dental hydroxyapatite and single-crystalline fluoroapatite. Appl. Phys. A, 1999, Vol. 69, pp. S403-S407.

105. B.K.A. Ngoi, K. Venkatakrishnan, B. Tan, N.R. Sivakumar. The effect of Rowland Ghost on sub-micronmachining using femtosecond pulsed laser. Optics Express, 2001, Vol. 8, No. 9, pp. 492-496.

106. K. Venkatakrishnan, B. Tan, B.K.A. Ngoi. Submicron holes in copper thin film directly ablated using femtosecond pulsed laser. Opt. Eng., 2001, Vol. 40, No. 12, pp. 2892-2893.

107. N.M. Bulgakova, A.V. Bulgakov, I.M. Bourakov, N.A. Bulgakova. Pulsed laser ablation of solids and critical phenomena. Appl. Surf. Sci., 2002, Vol. 197-198C, pp. 89-92.

108. N.M. Bulgakova, I.M. Bourakov. Phase explosion under ultrashort laser ablation: modeling with analysis of metastable state of melt. Appl. Surf Sci., 2002, Vol. 197-198C, pp. 44-47.

109. N. Sakudo. Microwave ion sources for material processing (invited). Rev. Sci. Instrum., 1998, Vol. 69, No. 2, pp. 825-830.

110. M. Lcnzner, F. Krausz, J. Kruger, W. Kautek. Photoablation with sub-10 fs laser pulses. Appl. Surf. Sci., 2000, Vol. 154, pp. 11-16.

111. Y. Silberberg. Laser science Physics at the attosecond frontier. Nature, 2001, Vol. 414 (6863), pp. 494-495.

112. M. Kuwata, B. Luk'Yanchuk, T. Yabe. Nanocluster formation within the vapor plume, produced by nanosecond-laser ablation: Effect of initial density and pressure distributions. Jpn. J. Appl. Phys., 2001, Part 1, Vol. 40, pp. 42624268.

113. S.S. Mao, X.-L. Mao, R. Grief, R.E. Russo. Simulation of infrared picosecond laser-induced electron emission from semiconductors. Appl. Surf. Sci., 1998, Vol. 127-129, pp. 206-211.

114. A. Kaiser, B. Rethfeld, M. Vicanek, G. Simon. Microscopic processes in dielectrics under irradiation by subpicosecond pulses. Phys. Rev. B, 2000, Vol. 61, No. 17, pp. 11437-11450.

115. J. Jasapara, A.V.V. Nampoothiri, W. Rudolph, D. Ristau, K. Starke. Femtosecond laser pulse breakdown in dielectric thin films. Phys. Rev. B, 2001, Vol. 63, Paper 045117.

116. K. Sokolowski-Tinten, D. von der Linde. Generation of dense electron-hole plasma in silicon. Phys. Rev. B, 2000, Vol. 61, No. 4, pp. 2643-2650.

117. H. Ashkenas, F.S. Sherman. The structure and utilization of supersonic free jets in low density wind tunnels. In: Rarefied Gas Dynamics (Fourth Symposium), Vol. II, Academic Press, New York, 1966, pp. 84-105.

118. В.Г. Дулов, Г.А. Лукьянов. Газодинамика процессов истечения. Новосибирск: Наука, 1984.

119. O.N. Krokhin. Generation of high-temperature vapors and plasmas by laser radiation. In: Laser Handbook, Vol. II, Elsevier, New York, 1972, pp. 13711407.

120. A.N. Pirri. Analitic solution for laser-supported combustion wave ignition above surfaces. AIAA Journal, Vol. 15, Jan. 1977, pp. 83-91.

121. Ю.А. Березин, B.M. Ковеня, H.H. Яненко. Об одной неявной схеме расчета течения вязкого теплопроводного газа. Численные Методы Механики Сплошной Среды, 1972, т. 3, № 4, стр. 3-18.

122. Ю.А. Березин, В.М. Ковеня, Н.Н. Яненко. Разностный метод решения задач обтекания в "естественных" координатах. В кн.: Аэромеханика, М.: Наука, 1976.

123. В.М. Ковеня, Г.А. Тарнавский, С.Г. Черный. Применение метода расщепления в задачах аэродинамики. Новосибирск: Наука, 1990.

124. А.В. Белошицкий, Е.Н. Бондарев, Истечение вязкого газа из цилиндрического канала в вакуум. Изв. АН СССР. МЖГ, 1981, № 1, стр. 122-128.

125. Б.Д. Ковалев, В.И. Мышенков. Расчет вязкой сверхзвуковой струи, истекающей в затопленное пространство. Ученые записки ЦАГИ, 1978, т. 9, № 2, стр. 9-18.

126. Б .Д. Ковалев, В.И. Мышснков. Расчет вязкой сверхзвуковой струи, истекающей в спутный поток. Ученые записки ЦАГИ, 1978, т. 9, № 3, стр. 125-130.

127. Н.М. Булгакова. Численное моделирование процесса струйной эжекции. Вычислительные технологии (ИВТ СО РАН), 1993, т. 2, № 5, стр. 44-51.

128. N.M. Bulgakova, G.A. Khramov, О.А. Nerushev, А.К. Rebrov. Study of a diffusion pump ejector. Vacuum, 1993, Vol. 44, No. 5-7, pp. 749-752.

129. Дж. Гиршфельдер, Ч. Кертис, Р. Берд. Молекулярная теория газов и жидкостей. М.: ИЛ, 1961.

130. М. Н. Коган. Динамика разреженного газа. Кинетическая теория. М.: Наука, 1967.

131. В.А. Белавин, В.В. Голуб, И.М. Набоко. Структура импульсных струй газов, истекающих через сверхзвуковые сопла. ПМТФ, 1979, № 1, стр. 5665.

132. I.M. Naboko, V.V. Golub, A.V. Eremin, A.V. Kochnev, and A.A. Kulikovsky. Wave structure and density distribution in nonstationary gas jet. Archives of Mechanics, 1977, Vol. 29, № 1, pp. 69-80.

133. Методические рекомендации по использованию графической системы ^ СИГАМ. Новосибирск: СНИИГГиМС, 1988.

134. R. Walther und J. Algermissen. Numerische Integration der instationaren Stromungsgleichungen am Beispiel eines ebenen Uberschallfreistrahls. Forsch. Ing.-Wes., 1983, Vol. 49, No. 3, pp. 85-94.

135. F. Garrelie, C. Champeaux, A. Catherinot. Expansion dynamics of the plasma ^ plume created by laser ablation in a background gas. Appl. Phys. A, 1999, Vol.69, pp. S55-S58.

136. M.C. Cline, R.G. Wilmoth. Computation of the Space Shuttle solid rocket booster nozzle start-up transient flow. AIAA Paper, No. 84-0462, 1984.

137. B.B. Голуб, И.М. Набоко. Анализ достоверности прогнозирования ^ структуры и параметров импульсной газовой струи при активномвоздействии фоновой среды. Отчет ИВТРАН, Москва, 1993.

138. С.Б. Базаров, И.М. Набоко. Труды семинара "Физические методы исследования прозрачных неоднородностей", МДНТП, Москва, 1990.

139. С.Ф. Чекмарев, Н.В. Станкус. Газодинамическая модель и соотношения подобия для запуска сверхзвуковых сопел и струй. ЖТФ, 1984, том 54, № 8, стр. 1576-1583.

140. С.Б. Леонов, Г.А. Лукьянов. О структуре струй плазмы импульсного эрозионного источника. ПМТФ, 1994, № 5, стр. 13-18.

141. A.D. Sappey, Т.К. Gamble. Planar laser-induced fluorescence imaging of Cu atom and Cu2 in a condensing laser-ablated copper plasma plume. J. Appl. Phys., 1992, Vol. 72, No. 11, pp. 5095-5107.

142. L.L. Smarr, M.L. Norman, and K.-H.A. Winkler. Shocks, interfaces, and patterns in supersonic jets. Physica 12 D, 1984, Vol. 12, No. 1, pp. 83-106.

143. А.К Rebrov, M.Yu. Plotnikov, N.M. Bulgakova. Relaxation processes in the transonic zone of radial sources. Proc. 20th Int. Symp. on RGD, Edited by Ching Shen, Peking University Press, Beijing, China, 1997, pp. 543-548.

144. Н.М.Булгакова, М.Ю.Плотников, А.К.Ребров. Моделирование стационарного расширения газа с поверхности сферы в вакуум. Изв. АН: МЖГ, 1997, No. 6, с. 152-158.

145. А.К. Rebrov, M.Yu. Plotnikov, N.M. Bulgakova. Formation of supersonic flow from a cylindrical source. Russ. J. Eng. Thermophys., 1997, Vol. 7, No. 12, P. 81-97.

146. C. Cercignani. "Strong evaporation of a polyatomic gas", in Rarefied Gas Dynamics-1980, edited by S. S. Fisher, 12th International Symposiun Proceedings, AIAA, New York, 1981, Vol. 74, pp. 305-320.

147. R. Kelly. On the dual role of the Knudsen layer and unsteady, adiabatic expansion in pulse sputtering phenomena. J. Chem. Phys., 1990, Vol. 92, No. 8, pp. 5047-5056.

148. B.M. Жиряков, Н.И. Попов, А.А. Самохин. Влияние плазмы на взаимодействие лазерного излучения с металлом. ЖЭТФ, 1978, том 75, № 2, стр. 494-503.

149. Л.И. Кузнецов. Осцилляции давления на мишени при импульсном лазерном облучении. ЖТФ, 1990, том 60, № 8, стр. 190-192.

150. В.А. Батанов, Ф.В. Бункин, A.M. Прохороз, В.Б. Федоров. Самофокусировка света в плазме и сверхзвуковая волна ионизации в луче лазера. Письма в ЖЭТФ, 1972, том 16, № 7, стр. 378-382.

151. R.L. Stegman, J.T. Schriempt, L.R. Hettche. Experimental studies of laser-supported absorption waves with 5-ms pulses of 10.6 mc radiation. J. Appl. Phys., 1973, Vol. 44, pp. 3675-3681.

152. J.K. Gibson. Laser ablation synthesis of lanthanide oxide cluster ions incorporating a heterovalent metal. J. Phys. Chem., 1996, Vol. 100, pp.507-511.

153. A.A, Puretzky, D.B. Geohegan, X. Fan, S.J. Pennycook. In situ imaging and spectroscopy of single-wall carbon nanotube synthesis by laser vaporization. Appl Phys. Lett., 2000, Vol. 76, No. 2, pp. 182-184.

154. A. Gupta. Gas-phase oxidation chemistry during pulsed laser deposition of YBa2Cu307.5 films. J. Appl. Phys., 1993, Vol. 73, pp. 7877-7886.

155. P.E. Dyer, Л. Issa. Р.Н. Key. Dynamics of cxcimer laser ablation of superconductors in an oxygen environment. Appl. Phys. Lett., 1990, Vol. 57, pp. 186-188.

156. Я.Б. Зельдович, Ю.П. Райзер. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений. М.: Наука, 1966.

157. J.N. Leboeuf, K.R. Chen, J.M. Donato, D.B. Geohegan, C.L. Liu, A.A. Puretzky, R.F. Wood. Modeling of dynamical processes in laser ablation. Appl. Surf. Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 14-23.

158. H.C. Le, J. Vuillon, D. Zeitoun, W. Marine, M. Sentis, R.W. Dreyfus. 2D modeling of laser-induced plume expansion near the plasma ignition threshold. Appl. Surf. Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 76-81.

159. R.K. Singh, J. Narayan. Pulsed-laser evaporation technique for deposition of thin films: Physics and theoretical model. Phys. Rev. B, 1990, Vol. 41, pp. 88438859.

160. P.E. Dyer, R.D. Greenough, A. Issa, P.H. Key. Spectroscopic and ion probe measurements of KrF laser ablated Y-Ba-Cu-0 bulk samples. Appl. Phys. Lett., 1988, Vol. 53, pp. 534-536.

161. C.W. Ong, X.-A. Zhao, J.T. Cheung, S.K. Lam, P.W. Chan, C.L. Choy. Parametric dependence of the properties of pulsed-laser-deposited diamond-like carbon films. Appl. Phys. A, 1996, Vol. 63, pp. 287-292.

162. S.H. Jeong, R.Greif, R.E. Russo. Numerical modeling of pulsed laser evaporation of aluminum targets. Appl. Surf. Sci., 1998, Vol. 127-129, pp. 177183.

163. K.R. Chen, T.C. King, J.H. Hes, J.N. Leboeuf, D.B. Geohegan, R.F. Wood, A.A. Puretzky, J.M. Donato. Theory and numerical modeling of the accelerated expansion of laser ablated materials near a solid surface. Phys. Rev. В, 1999, Vol. 60, pp. 8373-8382.

164. A.V. Bulgakov, N.M. Bulgakova. Modeling of laser-induced plume expansion into ambient gas for thin film deposition. SPIE Proc. Laser-Induced Thin Film Processing, 1995, Vol. 2403, pp. 95-104. c

165. H.C. Le, D.E. Zeitoun, J.D. Parisse, M. Sentis, W. Marine. Modeling of gas dynamics for a laser-generated plasma: Propagation into low-pressure gases, Phys. Rev. E, 2000, Vol. 62, pp. 4152-4161.

166. M. Aden> E. Beyer, G. Herziger, H. Kunze. Laser-induced vaporization of a metal surface. J. Phys. D: Appl. Phys., 1992, Vol. 25, pp. 57-65.

167. A.A. Самарский, Ю.П. Попов. Разностные методы решения задач газовой динамики. М.: Наука, 1980.

168. В.В. Мареев, Э.В. Прозорова. К вопросу о газодинамическом разлете цилиндрического "облака". ЖТФ, 1978, том 48, № 11, с. 2425-2427.

169. Н.М. Булгакова. Физико-химическое взаимодействие молекулярных газов с газом верхней атмосферы. Диссертация на соискание ученой степени к.ф.-м.н., Новосибирск, Институт теплофизики СО РАН, 1985.

170. L. Lynds, B.R. Weinberger, D.M. Potrepka, G.G. Peterson, M.P. Lindsay. High Temperature Superconducting Thin Films : The Physics of Pulsed Laser Ablation. Physica C, 1989, Vol.159, pp. 61-68.

171. A.C. Фонарев, С.Ю. Чернявский. Расчет ударных волн при взрыве сферических разрядов взрывчатых веществ в воздухе. Изв. АН СССР. МЖГ, 1968, № 5, стр. 169-174.

172. G.A. Simons. The large time behavior of a steady spherical source expanding into an ambient gas. AIAA Paper No. 70-232.

173. R. Kelly, R.W. Dreyfus. Reconsidering the mechanisms of laser sputtering with Knudsen-layer formation taken into account. Nucl. Instr. and Meth. B, 1988, Vol. 32, pp. 341-348.

174. K. Scott, J.M. Huntly, W.A. Phillips, J. Clarke, J.E. Field. Influence of oxygen pressure on laser ablation of YBa2Cu307^. Appl. Phys. Lett., 1990, Vol. 57, pp. 922-924.

175. F. Kokai, K. Takahashi, M. Yudasaka, S. Iijima. Growth dynamics of carbon-metal particles and nanotubes synthesized by C02 laser vaporization. Appl. Phys. A, 1999, Vol. 69, No. 7, pp. S229-S234.

176. D.J. Lichtenwalner, О. Auciello, R. Dat, A.I. Kingon. Investigation of the ablated flux characteristics during pulsed laser ablation deposition of multicomponent oxides. J. Appl. Phys., 1993, Vol. 74, No. 12, pp. 7497-7505.

177. D. Fried, T. Kushida, G. P. Reck, and E. W. Rothe. The yttrium oxide chemiluminescence from the 308 nm excimer laser ablation of YBa2Cu307-x, Y203, and YC13. J. Appl. Phys., 1993, Vol. 73, No. 11, pp. 7810-7817.

178. K.I. Saenger. On the origin of spatial nonuniformities in the composition of pulsed-laser-deposited films. J. Appl. Phys., 1991, Vol. 70, pp. 5629-5635.

179. I. Weaver and C.L.S. Lewis. Polar distribution of ablated atomic material during the pulsed laser deposition of Cu in vacuum: Dependence on focused laser spot size and power density. J. Appl. Phys., 1996, Vol. 79, No. 9, pp. 72167222.

180. B.C. Авдуевский, A.B. Иванов, И.М. Карпман, В.Д. Трасковский, М.Я. Юделович. Течение в сверхзвуковой вязкой недорасширенной струе. Изв. АН СССР, МЖГ, 1972, № 3, стр. 63-69.

181. S.I. Anisimov, B.S. Luk'yanchuk, A. Luches. An analytical model for three-dimensional laser plume expansion into vacuum in hydrodynamic regime. Appl, Surf. Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 24-32.

182. H.C. Кокошинская, Б.М. Павлов, B.M. Пасконов. Численное исследование сверхзвукового обтекания тел вязким газом. М.: Изд-во Моск. ун-та, 1980.

183. G. Hairapetian, R.L. Stenzel. Particle dynamics and current-free double layers in an expanding, collisionless, two-electron-population plasma. Phys. Fluids B, 1991, Vol. 3, No. 4, pp. 899-914.

184. K. Dick, H. Pepin, J. Martineau, K. Parbhakar, A. Thibaudeau. Plasma creation from thin aluminium targets by a TEA-C02 laser. J. Appl. Phys., 1973, Vol. 44, No. 7, pp. 3284-3293.

185. P.E. Dyer, S.A. Ramsden, J.A. Sayers, and M.A. Skipper The interaction of C02 laser radiation with various solid targets. J. Phys. D: Appl. Phys., 1973, Vol. 9, No. 3, pp. 373-382.

186. J.S. Pearlman, J J. Thomson and C.E. Max. Polarization-dependent absorption of laser radiation incident on dense-plasma planar targets. Phys. Rev. Lett. 1977, Vol. 38, No. 24, pp. 1397-1400.

187. R.J. von Gutfeld, R.W. Dreyfus. Electronic probe measurements of pulsed copper ablation at 248 nm. Appl. Phys. Lett., 1989, Vol. 54, No.13, pp. 12121214.

188. R.F. Wood., T.N. Lehoeuf. D.B. ОеоЬо^л. д.д Purefzkv. К.:' ■:". Dynamics of plume propagation and splitting during pulsed-laser ablation in Si in He and Ar. Phys. Rev. B, 1998, Vol. 58, No. 3, pp. 1533-1343.

189. G. Ulmer, B. Hasselberger, H.-G. Busmann and E.E.B. Campbell. Excimer laser ablation of polyimide. Appl. Surf. Sci., 1990, Vol. 46, pp. 272-278.

190. K. Fukushima, Y. Капке, M. Badaye, T. Morishita. Velocity distributions of ions in the ablation plume of a YiBa2Cu3Ox target. J. Appl. Phys., 1995, Vol. 77, No. 10, pp. 5406-5410.

191. J. Diaz, S. Ferrer, F. Comin. Role of the plasma in the growth of amorphous carbon films by pulsed laser deposition. J. Appl. Phys., 1998, Vol. 84, No.l, pp. 572-576.

192. M. Tanaka, Y. Fujisawa, T. Nakajima, Y. Tasaka, K. Ota. Space- and time-resolved optical spectroscopy of plumes generated by laser ablation of NiO in a vacuum. J. Appl. Phys., 1998, Vol. 83, No.6, pp. 3379-3385.

193. A.J. Peurrung, J.P. Cowin, G. Teeter, S.E. Barlow, and T.M. Orlando. Space-charge-induced acceleration of ions emitted by laser-irradiated surfaces. J. Appl. Phys., 1995, Vol. 78, No.l, pp. 481-488.

194. M. Widner, I. Alexeff, W.D. Jones. Plasma expansion into a vacuum. Phys. Fluids, 1971, Vol. 14, No. 4, pp. 795-796.

195. A.B. Гуревич, B.P. Мещеркин. Ускорение ионов в расширяющейся плазме. ЖЭТФ, 1981, т. 80, №5, стр. 1810-1826.

196. В. Bez;v; д.к-.s. D.F. Forslung, li.L. Lindman. Existence of ran;Action shocks in a laser-plasma corona. Phys. Fluids, 1978, Vol. 21, No. 12, pp. 2179-2185.

197. L.M. Wickens, J.E. Allen, P.T. Rumsby. Ion emission from laser-produced plasma with two electron temperature. Phys. Rev. Lett., 1978, Vol. 41, No. 4, pp. 243-246.

198. L.M. Wickens, J.E. Allen. Ion emission from laser-produced, multi-ion species, two-electron temperature plasmas. Phys. Fluids, 1981, Vol. 24, No. 10, pp. 1894-1899.

199. J. Denavit. Collisionless plasma expansion into a vacuum. Phys. Fluids, 1979, Vol. 22, No. 7, pp. 1384-1392.

200. G. Seifert, S. Becker, H.-J. Dietze. Carbon cluster ions in laser-induced plasma. Int. J. of Mass Spectrometry and Ion Processes, 1988, Vol. 84, pp. 121133.

201. J.J. Gaumet, A. Wakisaka, Y. Shimizu, Y. Tamori. Energetics for carbon clusters produced directly by laser vaporization of graphite: Dependence on laser power and wavelength. J. Chem. Soc. Faraday Trans., 1993, Vol. 89, No. 11, pp. 1667-1670.

202. D.J. Krajnovich. Laser sputtering of highly oriented pyrolytic graphite at 248 nm. J. Chem. Phys., 1995, Vol. 102, No. 2, pp. 726-743.

203. P. Langer, G. Tonon, F. Floux, A. Ducauze. Laser induced emission of electrons, ions, and X rays from solid targets. Quantum Electronics, 1966, Vol. 2, No. 9, pp. 499-506.

204. C.D. David, H. Weichel. Temperature of a laser-heated carbon plasma. J. Appl. Phys., 1969, Vol. 40, No. 9, pp. 3674-3679.

205. Л.И. Седов. Методы подобия и размерности в механике. М.: Наука, 1987.

206. М. Kimura, М. Inokuti, М.А. Dillon. Electron degradation in molecular substances Adv. Chem. Phys., 1993, Vol. 84, pp. 193-217.

207. K. Mann, K. Rohr. Differential measurements of the absolute ion yield from laser-produced С plasmas/ Laser Part. Beams, 1992, Vol. 10, pp. 435-441.

208. F. Korte, S. Nolte, B.N. Chichkov, T. Bauer, G. Kamlage, T. Wagner, C. Fallnich, H. Welling. Far-field and near-field material processing with femtosecond laser pulses. Appl. Phys. A, 1999, Vol. 69, pp. S7-S11.

209. С.И. Анисимов, Б. Ретфельд. К теории взаимодействия сверхкороткого лазерного импульса с металлами. Изв. АН: сер. физическая, 1997, т. 61, № 2, стр. 1642-1655.

210. J. Hohlfeld, S.-S. Wellershoff, J. Giidde, U. Conrad, V. Jahnke, E. Matthias. Electron and lattice dynamics following optical excitation of metals. Chem. Phys., 2000, Vol. 251, pp. 237-258.

211. В.М. Золотарев, B.H. Морозов, E.B. Смирнова. Оптические постоянные природных и технических сред. Л.: Химия, 1984.

212. С.И. Анисимов, A.M. Бонч-Бруевич, М.А. Ельяшевич, Я.А. Имас, Н.А. Павленко, Г.С. Романов. Действие мощных световых потоков на мишень. ЖТФ, 1966, т. 36, № 7, стр. 1273-1284.

213. J.P. Gin-dcau-Monlmil. C. Girardeau-Montaut. Theory of ultrashort nonlinear multiphoton photoelectric emission from metals. Phys. Rev. В, 1995, Vol. 51, No. 19, pp. 13560-13567.

214. С.И. Анисимов, Б.JI. Капелович, Т.Л. Перельман. Электронная эмиссия с поверхности металлов под действием ультракоротких лазерных импульсов. ЖЭТФ, 1974, т. 66, № 2, стр. 776-781.

215. Л.В. Келдыш. Ионизация в поле сильной электромагнитной волны. ЖЭТФ, 1964, т. 47, № 5, стр. 1946-1957.

216. D. Arnold, Е. Carrier. Theory of laser-induced free-electron heating and impact ionization in wide-band-gap solids. Phys. Rev. B, 1992, Vol. 46, pp. 15102-15115.

217. M. Lenzner, J. Kriiger, S. Sartania, Z. Cheng, Ch. Spielmann, G. Mourou, W. Kautek, F. Krausz. Femtosecond optical breakdown in dielectrics. Phys. Rev. Lett., 1998, Vol. 80, No. 18, pp. 4076-4079.

218. B.C. Stuart, M.D. Feit, S. Herman, A.M. Rubenchik, B.W. Shore, M.D. Perry. Nanosecond-to-femtosecond laser-induced breakdown in dielectrics. Phys. Rev. B, 1996, Vol. 53, No. 4, pp. 1749-1761.

219. M. Li, S. Menon, J.P. Nibarger, G.N. Gibson. Ultrafast electron dynamics in femtosecond optical breakdown of dielectrics. Phys. Rev. Lett., 1999, Vol. 82, No. 11, pp. 2394-2397.

220. P. Martin, S. Guizard, Ph. Daguzan, G. Petite, P. D'Oliveira, P. Meynadier, M Perdrix. Subpicosecond study of carrier trapping dynamics in wide-band-gap crystals. Phys. Rev. B, 1997, Vol. 55, pp. 5799-5810.

221. T. Apostolova, Y. Hahn. Modeling of laser-induced breakdown in dielectrics with subpicosecond pulses. J. Appl. Phys., 2000, Vol. 88, No. 2, pp. 1024-1034.

222. H.M. van Driel. Kinetics of high-density plasmas generated in Si by 1.06- and 5.3-p.m picosecond laser pulses. Phys. Rev. B, 1987, Vol. 35, No. 15, pp. 81668176.

223. A. Gambirasio, M. Bernasconi, L. Colombo. Laser-induced melting of silicon: A tight-binding molecular dynamics simulation. Phys. Rev. B, 2000, Vol. 61, No. 12, pp. 8233-8237.

224. M. Takeshima. Auger recombination in a quasi-one-dimensional-structure semiconductor. Phys. Rev. B, 1985, Vol. 31, No. 2, pp. 992-999.

225. A. Hangleiter, R. Hacker. Enhancement of band-to-band Auger recombination by electron-hole correlations. Phys. Rev. Lett., 1990, Vol. 65, No, 2, pp. 215218.

226. B. Kochman, K. Yeom, J. Singh. Laser induced impact ionization in semiconductors: a Monte Carlo study for silicon. Appl. Phys. Lett., 1996, Vol. 68, No. 14, pp. 1936-1938.

227. H.M. van Driel, L.A. Lompre, N.V. van Driel. Picosecond time-resolved reflectivity and transmission at 1.9 and 2.8 |xm of laser-generated plasmas in silicon and germanium. Appl. Phys. Lett., 1984, Vol. 44, No. 3, pp. 285-287.

228. К. Sokolovski-Tinten, J. Bialkowski. D. von dcr Linde. Ultrafast laser-induced order-disorder transitions in semiconductors. Phys. Rev. B, 1995, Vol. 51, No. 20, pp. 14186-14198.

229. A.M. Malvezzi, H. Kurz, N. Bloembergen. Nonlinear photoemission from picosecond irradiated silicon. Appl. Phys. A, 1985, Vol. 36, pp. 143-146.

230. M.M. Bialkowski, G.S. Hurst, J.E. Parks, D.H. Lowndes, G.E. Jellison, Jr. Charge emission from silicon and germanium surfaces irradiated with KrF excimer laser pulses. J. Appl. Phys., 1990, Vol. 68, No. 9, pp. 4795-4801.

231. S.S. Мао, X. Mao, J.H. Yoo, R. Grief, R.E. Russo. Thermionic electron emission from narrow band-gap semiconductors under picosecond laser excitation. J. Appl. Phys., 1998, Vol. 83, pp. 4462-4465.

232. H. Held, T. Kuhn, G. Mahler. Transport of an optically generated electron-hole plasma in a semiconductor slab: Approach to stationarity. Phys. Rev. B, 1990, Vol. 41, No. 8, pp. 5144-5151.

233. H. Held, T. Kuhn, G. Mahler. Model study of electron-hole plasma transport in a semiconductor slab: Probing internal time scales by multiple laser pulses. Phys. Rev. B, 1990, Vol. 42, No. 18, pp. 11934-11937.

234. Т. Dekorsy, Т. Pfeifer, W. Kiitt, H. Kurz. Subpicosecond carrier transport in GaAs surface-space-charge field. Phys. Rev. В, 1993, Vol. 47, No. 7, pp. 38423849.

235. R. Stoian, H. Varel, A. Rosenfeld, D. Ashkenasi, R. Kelly, E.E.B. Campbell. Ion time-of-flight analysis of ultrashort pulsed laser induced processing of A\203. Appl. Surf. Sci., 2000, Vol. 165, pp. 44-55.

236. J. Siegel, K. Ettrich, E. Welsch, E. Matthias. UV-laser ablation of ductile and brittle metal films. Appl. Phys. A, 1997, Vol. 64, pp. 213-218.

237. S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B.N. Chichkov, B. Wellegehausen, H. Welling. Ablation of metals by ultrashort laser pulses. J. Opt Soc. Am. B, 1997, Vol. 14, pp. 2716-2723.

238. D. Ashkenasi, A. Rosenfeld, H. Varel, M. Warmer, E.E.B. Campbell. Laser processing of sapphire with picosecond and subpicosecond pulses. Appl. Surf. Sci., 1997, Vol. 120, pp. 65-80.

239. A.M. Komashko, M.D. Feit, A.M. Rubenchik, M.D. Perry, P.S. Banks. Simulation of material removal efficiency with ultrashort laser pulses. Appl. Phys. A, Vol. 69, pp. S95-S98.

240. K. Sokolowski-Tinten, J. Bialkowski, A. Cavalleri, D. von der Linde. Observation of a transient insulating phase of metals and semiconductors during short-pulse laser ablation. Appl Surf Sci., 1998, Vol. 127-129, pp. 755-760.

241. D. von der Linde, K. Sokolowski-Tinten. The physical mechanisms of short-pulse laser ablation. Appl. Surf. Sci., 2000, Vol. 154-155, pp. 1-10.

242. A. McPherson, B.D. Thompson, А.В. Borisov, K. Boyer, C.K. Rhodes. 4-5keV Xc(L) multiphoton-induccd X-ray emission from multiply core-excited Xc atoms. Nature, 1994, Vol. 370, pp. 637-639.

243. L. Poth, A.W. Castleman, Jr. Molecular dynamics simulation of coulomb explosion process. J. Phys. Chem., 1998, Vol. 102, pp. 4075-4081.

244. J. Lavancier, D. Normand, C. Comaggia, J. Morellec, H.X. Liu. Laser-intensity dependence of the multielectron ionization of CO at 305 and 610 nm. Phys. Rev. A, 1991, Vol. 43, pp. 1461-1469.

245. E.M. Logothetis, P. Hartman. Laser-Induced Electron Emission from Solids: Many-Photon Photoelectric Effects and Thermionic Emission. Phys. Rev., 1969, Vol. 187, pp. 460-474.

246. S. Amoruso, M. Armenante, R. Bruzzese, N. Spinelli, R. Velotta, X. Wang. Emission of prompt electrons during excimer laser ablation of aluminum targets. Appl. Phys. Lett., 1999, Vol. 75, No. 1, pp. 7-9.

247. E.J. Yoffa. Dynamics of dense laser-induced plasma. Phys. Rev., 1980, Vol. 21, No. 6, pp. 2415-2425.

248. J.F. Young, Н.М. van Driel. Ambipolar diffusion of high-density electrons and holes in Ge, Si, and GaAs: Many-body effects. Phys. Rev. В, 1982, Vol. 26, No. 4, pp. 2147-2157.

249. T. Held, T. Kuhn, G. Mahler. Influence of internal electric fields and surface charges on the transport of an optically generated electron-hole plasma. Phys. Rev. B, 1991, Vol. 44, No. 23, pp. 12873-12879.

250. A. Melchinger, S. Hofmann. Dynamic double layer model: Description of time-dependent charging phenomena in insulators under electron beam irradiation. J. Appl. Phys., 1995, Vol. 78, No. 10, pp. 6224-6232.

251. A. Miotello, M. Dapor. Slow electrons impinging on dielectric solids. II. Implantation profiles, electron mobility, and recombination processes. Phys. Rev. B, 1997, Vol. 56, No. 4, pp. 2241-2247.

252. R. Mendes Ribeiro, M.M.D. Ramos, A.M. Soneham, J.M. Correia Pires. Modelling of surface evaporation by laser ablation. Appl. Surf. Sci., 1997, Vol. 109-110, pp. 158-161.

253. P. Мендес Рибейро, М.М.Д. Рамос, A.M. Стоунхем. Мезоскопическое моделирование лазерной абляции. Теплофизика и Аэромеханика, 1998, т. 5, № 2, стр. 247-258.

254. D. Ashkenasi, R. Stoian, A. Rosenfeld. Single and multiple ultrashort laser pulse ablation threshold of A1203 (corundum) at different etch phases. Appl. Surf. Sci., 2000, Vol. 154-155, pp. 40-46.

255. R. Sloian. Investigations of the dynamics of material removal in ultrashort laser ablation of dielectrics. PhD Thesis, Free University, Berlin, 2000.

256. F. Quere, S. Guizard. P. Martin, G. Petite, O. Gobert, P. Meynadier, M. Perdrix. Ultrafast carrier dynamics in laser-excited materials: subpicosecond optical studies. Appl. Phys. B, 1999, Vol. 68, No. 3, pp. 459-463.

257. S. C. Jones, A. H. Fischer, P. Braunlich, P. Kelly. Prebreakdown energy absorption from intense laser pulses at 532 nm in NaCl. Phys. Rev. B, 1988, Vol. 37, pp. 755-770.

258. R. C. Hughes. Generation, transport, and trapping of excess charge carriers in Czochralski-grown sapphire. Phys. Rev. B, 1979, Vol. 19, pp. 5318-5328.

259. E. Cartier, M.V. Faschetti, E.A. Eklund, F.R. McFeely. Impact ionization in silicon. Appl. Phys. Lett., 1993, Vol. 62, No. 25, pp. 3339-3341.

260. P.P. Pronko, P.A. VanRompay, C. Horvath, F. Loesel, T. Juhasz, X. Liu, G. Mourou. Avalanche ionization and dielectric breakdown in silicon with ultrafast laser pulses. Phys. Rev. В, 1998, Vol. 58, No. 5, pp. 2387-2390.

261. R. E. Hummel. Electronic Properties of Materials. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 1993.

262. J.H. Bechtel, W. Lee Smith, N. Bloembergen. Two-photon photoemission from metals induced by picosecond laser pulses. Phys. Rev. B, 1977, Vol. 15, No. 10, pp. 4557-4563.

263. D. von der Linde. Generation of high order optical harmonics from solid surfaces. Appl. Phys. B, 1999, Vol. 68, pp. 315-319.

264. Физико-химические свойства элементов. Под редакцией Г.В. Самсоног,а. Киев: Наукова Думка, 1965.

265. Физические величины. Справочник. Под редакцией И.С. Григорьева и Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991.

266. R.L. Fleischer, Р.В. Price, R.M. Walker. Ion explosion spike mechanism for formation of charged-particle tracks in solids. J. Appl. Phys., 1965, Vol. 36, No. 11, pp. 3645-3652.

267. П.В. Павлов, А.Ф. Хохлов. Физика твердого тела. М.: Высш. шк., 2000.

268. P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J.C. Gauthier, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, A. Antonetti. Space-time observation of an electron gas in Si02. Phys. Rev. Lett., 1994, Vol. 73, No. 14, pp. 1990-1993.

269. W. Marine. Персональная информация.

270. H.A. Иногамов. Персональная информация.

271. В.В. Жаховский, К. Нишихара, С.И. Анисимов, Н.А. Иногамов. Молекулярно-динамическое моделирование волн разрежения в средах с фазовыми переходами. Письма в ЖЭТФ, 2000, т. 71, № 4, стр. 241-248.

272. Я. Зельдович. О возможности ударных волн разрежения. ЖЭТФ, 1946, т. 16, № 4, стр. 363-364.

273. Р.А. Thompson, К.С. Lambrakis. Negative shock waves. J. Fluid Mech., 1973, Vol. 60, Part 1, pp. 187-208.

274. Ал. А. Борисов, А.А. Борисов, С.С. Кутатсладзе, В.Е. Накоряков. Эволюция ударных волн разрежения вблизи термодинамической критической точки. Письма в ЖЭТФ, 1980, т. 31, № 11, стр. 619-622.

275. A.A. Borisov, Al.A. Borisov, S.S. Kutateladze, V.E. Nakoryakov. Rarefaction shock wave near the critical liquid-vapour point. J. Fluid Mech., 1983, Vol. 126, No. l,pp. 59-73.

276. A.A. Борисов, Ал.А. Борисов. Ударная волна разрежения вблизи критической точки жидкость пар. 1980, Ин-т теплофизики СО РАН, Новосибирск, Препринт № 59-80.

277. Борисов А.А. Экспериментальное исследование динамики волн разрежения вблизи термодинамической критической точки. Диссертация на соискание ученой степени к.ф.-м.н., Новосибирск, Ин-т теплофизики СО РАН, 1981 -124 с.

278. М.А. Анисимов. Критические явления в жидкостях и жидких кристаллах. М.: Наука, 1987.

279. Я.Б. Зельдович. Восстановление вандерваальсовской критической точки в быстрых процессах. ЖЭТФ, 1981, т. 80, № 5, стр. 2111-2112.

280. Critical Phenomena, Proceedings of the International School of Physics "Enrico Fermi", Course LI, 1970, edited by M.S. Green, New York: Academic Press, 1971.

281. A.A. Борисов, Г.А. Хабахпашев. Структура волн сжатия и разрежения в газе Ван-дер-Ваальса с постоянной теплоемкостью. ПМТФ, 1982, № 1, стр. 123-128.

282. В.Е. Фортов, А.Н. Дремин, А.А. Леонтьев. Оценка параметров критической точки. ТВТ, 1975, т. 13, № 5, стр. 1072-1079.

283. R. Bobkowsky, R. Fedosejevs. Particle emission debris from KrF laser-plasma x-ray source. J. Vac. Sci. Technol. A, 1996, Vol. 14, No. 4, pp. 19731980.

284. W.R. Creasy, J.T. Brenna. Large carbon cluster ion formation by laser ablation of polyimide and graphite. Chem. Phys., 1988, Vol. 126, pp. 435-468.

285. T. Lippert, S.C. Langford, A. Wokaun, S. Georgiou, J.T. Dickinson. Analysis of neutral fragments from UV laser irradiation of a photolabile triazanepolymer. J. Appl. Phys., 1999, Vol. 86, pp. 7116-7122.

286. Л. Аллер. Астрофизика: Ядерные реакции, внутреннее строение звезд и туманности. М.: Изд-во иностр. лит-ры, 1957.

287. И.С. Шкловский. Звезды: Их рождение, жизнь и смерть. М.: Наука, 1975.

288. М.А. Anisimov, Е.Е. Gorodetskii, V.D. Kulikov, J.V. Sengers. A joint description of vapor-liquid and consolute critical phenomena. Письма в ЖЭТФ, 1994, том 60, № 7, стр. 522-526.

289. В.П. Скрипов. Метастабильная жидкость. М.: Наука, 1972.

290. И.И. Новиков. О существовании ударных волн разрежения. ДАН СССР, 1948, том 59, № 9, стр. 1545-1546.

291. О.Л. Исаев, П.А. Павлов. Вскипание жидкости в большом объеме при быстром сбросе давления. ТВТ, 1980, том 18, № 4, стр. 812-818.

292. W.F. Drummond Multiple shock production. J. Appl. Phys., 1957, Vol. 28, No. 9, pp. 998-1001.

293. M.I. Tribelsky, S.I. Anisimov. Hydrodynamic waves in regions with smooth loss of convexity of isentropes: General phenomenological theory. Phys. Rev. Lett., 2001, Vol. 86, No. 18, pp. 4037-4040.

294. D.Kh. Morozov, M. Pekker. Decompression (cooling rarefaction) shock in optically thin radiative plasma. Phys. Rev. E, 2001, Vol. 64, Paper 016416.

295. D. Diebold, N. Hershkovitz, S. Eliezer. Rarefaction shock in the near wake. Phys. Fluids, 1987, Vol. 30, No. 10, pp. 3308-3311.

296. P.A. Глатман. Термомагнитные ударные волны в плазме. ЖТФ, 1975, том 20, № 11, стр. 2444-2448.

297. М.Б. Исиченко, К.В. Чукбар. Ударная волна разрежения в системе с обращенным магнитным полем. Письма в ЖЭТФ, 1984, том. 39, № 5, стр. 191-192.

298. Е.Я. Коган, Н.Е. Молевич. Ударные волны разрежения в неравновесном колебательно-возбужденном газе. Акустический Журнал, 1993, том. 39, № 5, стр. 951-954.

299. М.М. Мартынюк. Обобщенное уравнение Ван-дер-Ваальса. ЖФХ, 1991, т. 65, №6, стр. 1716-1717.

300. М.М. Мартынюк. Оценка критической точки металлов на основе обобщенного уравнения Ван-дер-Ваальса. ЖФХ, 1998, т. 72, № 1, стр. 19-22.

301. A. Miotello, R. Kelly. Critical assessment of thermal models for laser sputtering at high fluences. Appl. Phys. Lett., 1995, Vol. 67, No. 24, pp. 35353537.

302. A.C. Басов, H.B. Змитренко, С.П. Курдюмов, A.A. Самарский. Проблемы лазерного термоядерного синтеза. М.: Атомиздат, 1976.

303. D.B. Geohegan. Imaging and blackbody emission spectra of particulates generated in the KrF-laser ablation of BN and YBa2Cu307^. Appl. Phys. Lett., 1993, Vol. 62, No. 13, pp. 1463-1465.

304. L.V. Zhigilei, B.J. Garrison. Computer simulation study of damage and ablation of submicron particles from short-pulse laser irradiation. Appl. Surf. Sci., 1998, Vol. 129, pp. 142-150.

305. R. Kelly, A. Miotello. Comments on explosive mechanisms of laser sputtering. Appl. Surf. Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 205-215.

306. T. Gotz, M. Bergt, W. Hoheisel, F. Trager, M. Stuke. Laser ablation of metals: The transition from non-thermal processes to thermal evaporation. Appl. Surf. Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 280-286.

307. S. Fahler, H.-U. Krebs. Calculations and experiments of material removal and kinetic energy during pulsed laser ablation of metals. Appl. Surf Sci., 1996, Vol. 96-98, pp. 61-65.

308. V.N. Tokarev, J.G. Lunney, W. Marine, M. Santis. Analytical thermal model of ultraviolet laser ablation with single-photon absorption in the plume. J. Appl. Phys., 1995, Vol. 78, No. 2, pp. 1241-1246.

309. Н.Г. Басов, B.A. Бойко, O.H. Крохин, О.Г. Семенов, Г.В. Склизков. Уменьшение коэффициента отражения мощного лазерного излучения от поверхности твердого вещества. ЖТФ, 1968, т. 38, № 11, стр. 1973-1975.

310. A.M. Malvezzi, N. Bloembergen, C.Y. Huang. Time-resolved picosecond optical measurements of laser-excited graphite. Phys. Rev. Lett., 1986, Vol. 57, No. l,pp. 146-149.

311. A.C. Охотин, Р.П. Боровикова, T.B. Нечаева, А.С. Пушкарский. Теплопроводность твердых тел. Справочник. М.: Энергоатомиздат, 1984.

312. D. Battacharya, R.K. Singh, Р.Н. Holloway. Laser-target interactions during pulsed laser deposition of superconducting thin films. J. Appl. Phys., 1991, Vol. 70, No. 10, pp. 5433-5439.

313. A. Bjerneklett, A. Borg, O. Hunderi. Optical properties of superconducting Y-Ba-Cu-O. Physica A, 1989, Vol. 157, pp. 164-169.

314. D.E. Aspnes, M.K. Kelly. Optical properties of high-Tc superconductors. IEEE Quantum Electron., 1989, Vol. 25, pp. 2378-2387.

315. J. Heremans, D.T. Morelli, G.W. Smith, S.C. Strite III. Thermal and electronic properties of rare-earth Ва2СизОх superconduktors. Phys. Rev. B, 1988, Vol. 37, No. 4, pp. 1604-1610.

316. V.E. Lusternik, V.E. Peletski ,V.S. Bakunov, A.V. Bolotnikov. Specific heat of YBa2Cu3Ox in the range 300-800 °C. Superconductivity (USA), 1990, Vol. 3, No.9, pp. 1485-1489.

317. Yu.A. Kirichenko, K.V. Rusanov, E.G. Tyurina. Thermal conductivity of high Tc superconductors (review of experimental data). Superconductivity (USA), 1990, Vol. 3, No. 7, pp. 1075-1098.

318. С.И. Анисимов, Я.А. Имас, Г.С. Романов, Ю.В. Ходыко. Действие излучения большой мощности на металлы. М.: Наука, 1970.

319. JI.B. Гурвич, И.Б. Вейте и др. Термодинамические свойства индивидуальных веществ: Справочное издание. Часть 1. М.: Наука, 1974.

320. А.А. Самохин, А.Б. Успенский. Влияние спинодальных особенностей на процесс испарения перегретой жидкости. ЖЭТФ, 1977, т. 73, № 3(9), стр. 1025-1031.

321. V. Craciun, D. Craciun, М.С. Bunescu. Subsurface boiling during pulsed laser ablation of Ge. Phys. Rev. В, 1998, Vol. 58, No. 11, pp. 6787-6790.

322. V. Craciun, D. Craciun. Does the subsurface superheating effect really exist? Mat. Res. Soc. Proc., 1998, Vol. 526, pp. 15-20.

323. V. Craciun, N. Bassim, R.K. Singh, D. Craciun, J. Hermann, C. Boulmer-Leborgne. Laser-induced explosive boiling during nanosecond laser ablation of silicon. Appl. Surf. Sci., 2002, Vol. 186, pp. 288-292.

324. A.J. Pedraza, S. Cao, D.H. Lowndes, and L.F. Allard. Laser encapsulation of metallic films in Si02. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 1995, Vol. 285, pp. 209215.

325. C.M. Guldberg. Z. Phys. Chem., 1890, Bd. 5, S. 374.

326. P.K. Рид, Т.К. Шервуд. Свойства газов и жидкостей (Определение и корреляция). Перевод с англ. Б.И. Соколова и Е.И. Нортмана. Под ред. В.Б. Когана. Изд. 2-е. Л.: Химия, 1971.

327. И.Б. Сладков. Расчет критической температуры с помощью обобщенного правила Гульдберга. ЖФХ, 1984, т. 58, стр. 2057-2059.

328. А.А. Likalter. Equation of state of metallic fluids near the critical point of phase transition. Phys. Rev, B, 1996, Vol. 53, No. 8, pp. 4386-4392.

329. C. Korner, R. Mayerhofer, M. Hartmann, H.W. Bergmann. Physical and material aspects in using visible laser pulses of nanosecond duration for ablation. Appl Phys. A, 1996, Vol. 63, No. 2, pp. 123-132.

330. C.C. Кутателадзе. Основы теории теплообмена. М.: Атомиздат, 1979.

331. R. Kelly, A. Miotello. Contribution of vaporization and boiling to thermal-spike sputtering by ions or laser pulses. Phys. Rev. E, 1999, Vol. 60, No. 3, pp. 2616-2625.

332. K. Furusawa , K. Takahashi , H. Kumagai , K. Midorikawa , M. Obara. Ablation characteristics of Au, Ag, and Cu metals using a femtosecond Ti:sapphire laser. Appl. Phys. A, Vol. 69, No. 7, pp. S359-S366.