Исследование нанокомпозитных металлополимерных слоев, синтезированных высокодозной имплантацией ионов 3d-элементов

Хабибуллина, Наиля Рашидовна

Исследование нанокомпозитных металлополимерных слоев, синтезированных высокодозной имплантацией ионов 3d-элементов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.10 ВАК РФ

Хабибуллина, Наиля Рашидовна АВТОР

кандидата физико-математических наук УЧЕНАЯ СТЕПЕНЬ

Казань МЕСТО ЗАЩИТЫ

2005 ГОД ЗАЩИТЫ

01.04.10 КОД ВАК РФ

Диссертация по физике на тему «Исследование нанокомпозитных металлополимерных слоев, синтезированных высокодозной имплантацией ионов 3d-элементов»

Автореферат диссертации на тему "Исследование нанокомпозитных металлополимерных слоев, синтезированных высокодозной имплантацией ионов 3d-элементов"

На правах рукописи

ХАБИБУЛЛИНА НАИЛЯ РАШИДОВНА

ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ МЕТАЛЛОПОЛИМЕРНЫХ СЛОЕВ, СИНТЕЗИРОВАННЫХ ВЫСОКОДОЗНОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ 3<1 -ЭЛЕМЕНТОВ

01.04.10 - физика полупроводников

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Казань 2005

Работа выполнена в Казанском физико-техническом институте имеии Е.К. Завойскшо КазПЦ РАН

доктор физико-математических наук, старший научный сотрудник Петухов В.Ю. доктор физико-математических наук, член-корреспондент РАН Хайбуллин И.Б. доктор физико-математических наук, профессор Голенищев-Кугузов A.B. доктор физико-математических наук, старший научный сотрудник Таланов Ю.И. Казанский государственный университет им. В.И.Ульянова

Научный руководитель: Научный копсультап г Официальные оппоненты-

Ведущая opi анизация:

Защита состоится 2 декабря 2005 г. в 14 часов 30 мин. на заседании диссертационного совета Д 212.082.01 при Казанском государственном энергетическом университете по адресу: 420066, Казань, ул. Красносельская, 51.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Казанского государственного энергетического универси гета.

Автореферат разослан

2005г.

Ученый секретарь диссертационного совета, к.ф.-н., доцент

Батанова Н.Л.

¿¿г/м

ШШ1

Общая характерист ика работы

Актуальность проблемы. Во многих областях традиционных полупроводниковых технологий на сегодняшний день уже достигнуты пределы микроминиатюризации отдельных элементов. Поэтому задача поиска альтернативных технологий и новых материалов с функциональными параметрами, определяемыми процессами, протекающими на атомном или молекулярном уровнях в ультратонких слоях и нанообъёмах, становится весьма актуальной. К таким материалам относятся гетероструктуры, островковые пленки, нанокомпозиты и т.п., т.е. материалы, содержащие систему частиц нанометрового размера [1]. Исторически меташтополимерные нанокомпозиты разрабатывались как проводящие и выпрямительные элементы для молекулярной электроники, поэтому такие материалы иногда называют органическими полупроводниками [1-3]. Перспективным считается также использование магнитных металлополимерных структур в устройствах считывания информации, в датчиках магнитного поля и в качестве материалов для записи и хранения информации. Использование нанокомпозитных материалов в качестве сред для хранения информации предполагает равномерное распределение наночастиц одного размера в тонком приповерхностном слое. Кроме того, в этом случае в нанокомпозите магнитные наночастицы, разделённые полимером, должны, во-первых, находиться в однодоменном состоянии, а во-вторых, не влиять на положение вектора намагниченности соседних частиц. Получение таких материалов является достаточно сложной задачей.

В литературе описано довольно много способов получения наноструиурированных металлополимерных материалов, однако задача формирования воспроизводимых структур с узким распределением металлических наночастиц по размерам до сих пор не решена

Одним из современных методов формирования наноструктур является ионно-лучевой синтез (ИЛС). Хотя метод ИЛС в полимерах используется уже достаточно давно, например, для создания проводящих слоев, однако, он до сих пор мало изучен. В частности, нет теории о механизмах формирования металлополимерных наноструктур методом ИЛС, не изучены зависимости структурных, морфологических характеристик и физических свойств нанокомпозитов от режимов ионной имплантации (ИИ) (энергии ионов, плотности ионного тока, дозы имплантации).

Наряду с общими закономерностями, установленными для ИЛС в диэлектриках [3], при синтезе железосодержащих наноструктур в ПММА был обнаружен ряд особенностей [4,5]. В том числе было обнаружено, что при формировании наноразмерных частиц железа, электропроводность синтезированного слоя начинает расти. При этом проводимость меняется от значения, характерного для слаболегированных полупроводников, к проводимости сильнолегированных полупроводников и затем становится полуметаллической. Чтобы установить общие закономерности зарождения и роста ионно-синтезированных металлополимерных нанокомпозитов для целенаправленного получения таких структур с заданными свойствами, необходимо было расширить круг синтезируемых соединений. Для этого были проделаны эксперименты, представленные в данной диссертационной работе.

В связи с этим, целью настоящей работы является исследование металлополимерных композитных пленок, синтезированных путем высокодозной имплантации ионов Зс)-элементов Со+ и Си4) в полиметилметакрилат,

фосфорсодержащий полимер на основе метилметакрилата и полиэтилентерефталат, а также установление механизмов формирования металлополимерных нанокомпозитов при ИЛС.

Для достижения указанной цели были поставлены и решены следующие задачи:

1. Разработать метод ИЛС нанокомпозитных металлополимерных пленок в полимерных матрицах различного типа (полиметилметакрилате (ПММА), химически модифицированном фосфорсодержащем ПММА (ФПММА) и полиэтилентерефталате (ПЭТФ)).

2. Исследовать морфологию, фазовый состав, магнитные и электрические свойства полученных структур и установить влияние на эти характеристики следующих факторов:

• типа имплантированных ионов металла (ферромагнитный или диамагнитный);

• типа исходной полимерной матрицы матрицы (степени ее кристалличности, наличия функциональных групп);

• режимов ИЛС.

3. Установить механизм зарождения и роста металлических наночастиц в полимерах при ИЛС.

Научная новизна работы состоит в следующем: Обнаружено влияние структуры исходной полимерной матрицы на плотность, размер и форму частиц при ИЛС металлополимеров - установлено влияние типа имплантируемого иона и дозы ИЛС на состояние поверхности исследуемых полимеров, морфологию и фазовый состав заглубленных ионно-синтезированных гранулярных слоев, а также на магнитные и электрические свойства полученных материалов.

Обнаружено влияние магнитного диполь-дипольного взаимодействия формирующихся магнитных наночастиц на морфологию ионно-синтезированных ферромагнитных тонких металлополимерных пленок (ТМПП). Установлено, что учет порогового характера зарождения ферромагнитных фаз и магнитного диполь-дипольного взаимодействия формирующихся наночастиц позволяет адекватно объяснить экспериментально обнаруженные различия в морфологии ТМПП, синтезированных в разных полимерах при имплантации различного типа ионов. Практическая значимость.

Разработан метод ИЛС, позволяющий воспроизводимо получать высококачественные мегаллополимерные пленки на основе Зс1-переходных металлов в ФПММА и в ПЭТФ.

Установлены режимы ИЛС, при которых происходит синтез гранулярных металлополимерных пленок в различных полимерах при имплантации ионов железа, кобальта и меди.

Установлена зависимость между дозой ИИ и состоянием поверхности имплантируемой полимерной подложки, которая позволяет корректно выбирать оптимальные режимы ИЛС заглубленных слоев.

Получены зависимости между режимами ИЛС, типом имплантируемого иона, состоянием исходной полимерной матрицы и электрическими, а также магнитными свойствами ионно-синтезированных структур, что позволяет воспроизводимо получать материалы с заданными параметрами. На защиту выносятся следующие основные положения: Метод ионно-лучевого синтеза в полимерных матрицах различного типа, позволяющий получать гранулярные мегаллополимерные пленки в приповерхностном слое полимерной подложки.

- Результаты сравнительного анализа морфологии и фазового состава, а также дозовых зависимостей намагниченности гранулярных мегаллополимерных пленок в зависимости от типа полимерной матрицы.

- Результаты сравнительного анализа дозовых зависимостей намагниченности, слоевого электрического сопротивления, а также температурных зависимостей слоевого электрического сопротивления композитных мегаллополимерных пленок, синтезированных имплантацией ионов Ре+и Со+.

- Модель сверхструктурного упорядочения и бимодального распределения наночастиц, синтезированных при имплантации ионов Ре+ в ПММА, ФПММА и ПЭТФ, основанная на магнитном диполь-дипольном взаимодействии между отдельными ферромагнитными наночастицами.

Апробация работы. Основные результаты диссертации докладывались и обсуждались на X Международном симпозиуме «Тонкие пленки в электронике» (Ярославль, 1999), Международной конференции «Эффект Мессбауэра: магнетизм, материаловедение, гамма-оптика» (Казань, 2000); VII Российско-Японском международном симпозиуме по взаимодействию быстрых заряженных частиц с твердыми телами (Нижний Новгород, 2000), Всероссийском семинаре «Наночастицы и нанохимия» (Черноголовка, 2000), П Евроазиатской конференции по ядерной физике и ее применениям (Алма-Ата, 2002), VI Российской молодежной научной школе «Актуальные проблемы магнитного резонанса и его приложения» (Казань, 2003), IX конференции студентов, аспирантов и молодых ученых по физике полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалов (Владивосток, 2005).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 17 печатных работ, включая 2 статьи в реферируемых журналах, 4 статьи в сборниках и трудах конференций.

Диссертация состоит из введения, 5 глав, выводов и списка цитируемой литературы. Диссертация изложена на 130 страницах машинописного текста, содержит 5 таблиц и 32 рисунка. Библиография насчитывает 130 ссылок.

Основное содержание работы

Во введении к диссертационной работе обосновывается актуальность проведенных исследований, формулируются цель и задачи диссертации, раскрывается структура диссертации.

Первая глава - обзорная. В начале главы кратко рассматриваются и обсуждаются основные методы получения и свойства мегаллополимерных нанокомпозитов. Вторая

часть главы посвящена обзору работ по ИИ в полимерные материалы. Отмечается, что в последние годы были достигнуты значительные успехи в понимании природы процессов, протекающих в полимерах под действием высокоэнергетичных ионных пучков. Однако, к моменту начала работы над данной диссертацией, большинство работ, по ионной имплантации в полимеры, было посвящено исследованиям электропроводности, связанной с образованием нанокластеров углеродной фазы, являющейся продуктом терморадиационной деструкции полимерных материалов. Было установлено, что электропроводность имплантированных полимеров в зависимости от дозы ИИ возрастает на 5-10 (а в некоторых случаях до 15) порядков и носит полупроводниковый характер. При этом процессы карбонизации и связанная с ними электропроводность выходят на насыщение при дозах ~ 1015 - 1016 см"2. Поэтому диапазон доз, превышающий указанные, исследовался мало. Особое внимание в третьей части первой главы уделяется работам по ИЛС в полиметилметакрилате [4,5], а также по высокодозной имплантации в вязкотекучие среды.

Вторая глава посвящена технике и методике экспериментов. В начале главы изложено:

- описание структуры исходных полимерных материалов и методика синтеза ФПММА;

- описание способов подготовки полимерных образцов к ионной имплантации;

- описание методик препарирования имплантированных образцов для ПЭМ- и АСМ-исследований заглубленных слоев.

В данной главе также описываются техника и методики исследования микрорельефа поверхности, морфологии заглубленных металлополимерных слоев, их фазового состава, а также электрических и магнитных свойств исследуемых образцов.

В конце второй главы приведены методики обработки спектров ФМР. Экспериментально полученные ФМР спектры анализировались с использованием формулы Кителя в предположении, что сигнал поглощения есть суперпозиция линий от индивидуальных однодоменных наночастиц в форме сплюснутых эллипсоидов вращения, связанных между собой слабым магнитным диполь-дипольным взаимодействием:

(^^тффр)1 = [НоХахКе-вн) - Н ффХСО820]х[НоХСО5(е-ен) - НэффХСО^в], где Но - напряженность внешнего статического магнитного поля; Цфф -эффективное поле анизотропии, -резонансная частота (9,5 ГГц), 0 и 0н - углы между вектором

намагниченности или вектором внешнего магнитного поля и нормалью к поверхности, соответственно.

Третья глава посвящена исследованию тонких гранулярных пленок, полученных высокодозной имплантацией ионов Ре+, Со+ и Си+ в ФПММА и ПММА. Было установлено, что наночастицы вторичной фазы зарождаются при различных дозах имплантации в зависимости от типа полимерной матрицы. Средний размер, форма и плотность распределения наноразмерных частиц (НРЧ) по размерам зависят от матрицы и типа внедряемого иона. В более рыхлом по структуре ФПММА синтезированные металлические частицы крупнее, чем в ПММА. Частицы, синтезированные в результате имплантации ионов Си+ , круглые по форме в плоскости пленки и имеют средний размер, значительно меньший, чем железосодержащие и кобальтсодержащие частицы, синтезированные в тех же условиях (Рис.1). При высоких дозах ИИ (более ЗхЮ17 при )=4 мкА/см2) синтезируются железосодержащие НРЧ, представляющие собой конгломераты отдельных частиц, что не наблюдается при имплантации ионов Со+ и Си+. Отмеченные выше отличия в морфологии структур, синтезированных на основе НРЧ, содержащих атомы кобальта и меди с одной стороны и НРЧ, содержащих атомы железа с другой стороны, объясняются заметным вкладом магнитного диполь-дипольного взаимодействия между отдельными НРЧ железа в механизм коагуляции наночастиц.

Рис. 1. Образцы ФПММА (а-в) и ПММА (г-е), имплантированные ионами Ре+ ((а), (г)); Со* ((б), (д)); Си+ ((в), (д)) с дозой Зх 1017 см2

Фазовый состав ионно-синтезированных ТМГТП также зависит от полимерной матрицы: в ФПММА наряду с основной металлической фазой формируется оксидная фаза: Fe304 - в случае имплантации ионов железа, Cu20 - при имплантации ионов меди. В работе установлено, что при имплантации ионов кобальта кристаллическая металлическая фаза кобальта не образуется ни в ПММА, ни в ФПММА. Основной фазой в ФПММА в этом случае является оксид СоО.

При имплантации ионов железа в ФПММА, также как в ПММА, формируются ферромагнитные структуры. Вид угловой зависимости спектров ФМР указывает на формирование тонкой ферромагнитной пленки, либо ансамбля плоских частиц. При этом формирование ферромагнитной фазы носит пороговый характер по дозе и наблюдается в ФПММА при D>4xl016 FeVcM2, в то время как для ПММА - при D> 1017 FeVcM2.

При имплантации Fe+ в ПММА с дозой ЗхЮ'^е^Усм2 при j = 4 мкА/см2 была получена периодическая наноструктура. Распределение частиц в полученной структуре бимодально: ансамбль наночастиц состоит из мелких (с диаметром 10-20 нм) и крупных частиц (с диаметром 80-100 нм), среднее расстояние между крупными частицами ~ 250 нм. При этом в расположении крупных частиц четко прослеживается периодичность распределения в плоскости: крупные частицы образуют плоскую плотноупакованную гексагональную сверхрешетку.

В четвертой главе приведены результаты исследований магнитных и электрических свойств ПЭТФ, имплантированного ионами Fe+ и Со+. Было установлено, что формирование ферромагнитной фазы при имплантации ионов Fe+ начинается при дозе -2x1016 FeVcM2, а при имплантации ионов Со+ - при дозе ~l,8xlО17 CoVcm2. При этом с ростом дозы ИИ магнитные свойства меняются немонотонно. Наблюдаемая немотонностъ хорошо объясняется изменением фазового состава слоев, которая, как было установлено, зависит от дозы имплантации.

В зависимости от дозы ИИ фазовый состав синтезируемых слоев претерпевает существенные изменения: при дозах, не превышающих 0,6х1017 FeVcM2 и 1,5х1017 CoW, синтезируемые слои рентгеноаморфны (Рис.2а и За).

В случае имплантации Fe+ отчетливый, но сравнительно широкий дифракционный пик, соответствующий плоскости (110) объемного a-Fe (Рис.2б) наблюдается у образца, имплантированного с дозой UxlO^eW. Для образцов, имплантированных Со+, кристаллическая фаза fcc-Co появляется лишь при дозах D> 1,8x1017 CoVcm2 (Рис.Зб). С

ростом дозы ИИ до 2, 1х1017Со+/см2 интенсивности пиков, соответствующих указанной фазе, несколько возрастают (Рис.Зв).

При определенных дозах (~3х1017 Ре^см2 и ~2х1017 Со^см2) на дифрактограммах появляются пики, соответствующие оксидным фазам (Рис.2в и Рис.Зв), что объясняется выходом синтезируемого слоя на поверхность в результате ее распыления, благодаря чему происходит окисление металлических наночастиц атмосферным кислородом.

30 40 50 60 70 26

Рис.2. Рентгеновские спектры образцов ПЭТФ, имплантированных Fe+ с дозами: (а)-0,6х1017 FeVcM2; (б> UxlO17 FcVcm2; (вУ 2,4х1017 FeW; (г)- 3,6x10" FeVcM2

30 40 50 60 70 80

Рис.3. Рентгеновские спектры образцов ПЭТФ, имплантированных Со+ с дозами: (а> 1,5х1017 CoW; (б)- l^xlt^'CoW; (в> 2,1х1017 CoW; (г)- 3,6х1017 CoVcm2

Намагниченность образцов при этом падает. В образцах, имплантированных ионами железа с дозой 3,6x1017 FeVcM2, основной синтезированной фазой является РезО/); в этих образцах коэрцитивная сила максимальна и составляет ~ 180 Э. При имплантации ионов кобальта максимальная коэрцитивная сила (-300 Э) обнаружена в структурах, синтезированных при дозе гЛхЮ^/см2, и обусловлена наноструктурированной гранулярной пленкой металлического кобальта. Полного окисления кобальта в таких образцах не происходит: даже при дозах 3,6x10" CoVcm2 и выше наряду с оксидом СоО присутствует также металлический кобальт.

Электрические свойства ионно-синтезированных слоев практически не зависят от типа имплантированного иона и определяются лишь режимами ИИ. Полученные температурные зависимости электросопротивления показывают (Рис.4,5), что с ростом дозы имплантации электропроводность имплантированного слоя значительно возрастает

(до восьми порядков) и приобретает полупроводниковый характер, а затем, при дальнейшем увеличении дозы имплантации, становится полуметаллической.

Так, образцы, имплантированные с дозами в интервалах ЗхЮ16 - 7,2х1016 Ре+/см2 и Зх1016-1017 Со^см2 имеют температурные зависимости, соответствующие прыжковому механизму проводимости с переменной длиной прыжка: К=К0ехр(Т(/г/, где величина р=1/2, что соответствует данному механизму проводимости в гранулярных металлических системах. Уменьшение наклона кривых свидетельствует об уменьшении параметра Т0 с ростом дозы имплантации. Это связано с уменьшением ширины туннельного барьера между металлическими наночастицами из-за увеличения их размеров по мере роста дозы имплантации. При больших дозах ИИ наблюдается температурная зависимость сопротивления с показателем р=1, т.е. проводимость приобретает полупроводниковый характер, хотя механизм проводимости остается в целом прыжковым. При дозах имплантации, превышающих Ю17 см"2, температурная зависимость слоевого сопротивления имеет вид: Я-Т^, где Р~1 и слабо зависит от температуры, что характерно для полуметаллов.

16 14 □ 12 О 10

S 6

3 2* 10 Fe/cm

6.140" Fe'/cm;

7 2*10 Fe /cm

— •I I • 1.2ЧЙ17FeVcm1 4414 2.4*1017 Fe+/cm3

10 15 20 25 30 35 40 45

3,1*10 Co/cm

tU ! *

2,4*10 Co /cm'

3,6* Jo" Co2/cm3 «

5,4*^017 CoVcm' 7Д*10П CoW

10 15 20 25 30 35 40 45 100/Тш, КГИ

Рис.4. Температурная зависимость слоевого Рис.5. Температурная зависимость сопротивления образцов ПЭТФ, слоевого сопротивления образцов ПЭТФ, имплантированных Ре* с разными дозами имплантированных Со* с разными дозами

В пятой главе на основании сравнительного анализа результатов, полученных в третьей и четвертой главах, рассматриваются основные стадии формирования ТМ1111 в

исследованных полимерных матрицах (Рис.6), а также обсуждаются механизмы зарождения и роста ионно-сингезированных магнитных меташюполимерных пленок.

Показано, что на ИЛС в полимерных материалах оказывают влияние не только условия и режимы ИИ, тип имплантируемых ионов, но также структура исходной полимерной матрицы. Причем влияние матрицы является определяющим на стадии зарождения наночастиц вторичной фазы.

Зарождение новой фазы происходит по гетерогенному механизму, причем центрами зародышеобразования могут быть как естественные неоднородности полимерной мишени, так и радиационные дефекты. Особенность ИЛС в полимерных материалах состоит в том, что в размягченном до температуры плавления полимере могут двигаться отдельные НРЧ. И при достаточно высоких дозах ИИ рост частиц новой фазы происходит не только за счет внедряемых атомов, но также в результате диффузии и последующей коагуляции сформировавшихся НРЧ.

Доза имплантации, см 2

Рис. 6. Трансформация поверхности и изменение структуры синтезируемого слоя при ИЛС ТМПП:

- неимплангированный полимер;

1. - полимер, имплантированный с дозами ¿10" см"2; - стадия раствора;

2. - стадия пересыщения и зарождения НРЧ вторичной фазы;

3.- образование лабиринтной структуры; - стадия роста НРЧ;

4.- образование островковой пленки; - стадия роста НРЧ;

5.- стадия укрупнения за счет диффузии отдельных НРЧ, приводящая к коагуляции, коалесценции, образованию квазисплошного слоя

Основные результаты и выводы

1. Высокодозная имплантация ионов Зё-элементов приводит к формированию в приповерхностном слое полимеров тонкой гранулярной пленки, состоящей из нанодисперсных частиц металла в полимерной матрице. Установлено, что характер распределения, форма и фазовый состав синтезированных частиц в слое, а также магнитные свойства полученных структур определяются:

- структурой исходного полимера (степенью кристалличности и наличия определенных функциональных групп);

- типом бомбардирующих ионов;

- режимами ионно-лучевого синтеза

2. Установлено, что формирование ферромагнитной фазы при ИЛС в полимерах носит пороговый характер по дозе ионной имплантации и определяется концентрацией центров зародышеобразования, зависящей от типа полимерной матрицы. Минимальная доза, при которой детектируется появление ферромагнитной фазы, в различных полимерах при фиксированном режиме ионной имплантации составляет: в ПЭТФ -2x1016 Ре+/см2; в ФПММА - 4х1016 Ре+/см2; в ПММА -1017 Ре+/см2.

3. Установлено, что основной вклад в анизотропию магнитных свойств синтезированных структур вносит анизотропия формы отдельных наночастиц.

4. Электрические свойства ионно-синтезированных слоев практически не зависят от типа имплантированного Зс1-иона и определяются режимами ИИ. При этом с ростом дозы характер проводимости типичного полимерного изолятора становится полупроводниковым, а затем и полуметаллическим.

5. Изучены механизмы роста новой фазы при ионно-лучевом синтезе металлополимерных пленок. Установлено, что рост частиц происходит по диффузионно-коагуляционному механизму. В случае формирования ферромагнитных частиц заметный вклад в движущую силу дает магнитное диполь-дипольное взаимодействие магнитных моментов отдельных наночастиц. Магнитное диполь-дипольное взаимодействие является также причиной формирования плотноупакованной гексагональной сверхрешетки и бимодального распределения наночастиц.

однодоменных наночастиц. Если это время больше времени миграции частиц, то

частицы могут коагулировать.

Основное содержание диссертации изложено в следующих работах:

1. Магнитные свойства и структура поверхностных слоев, полученных в ПММА имплантацией ионов Fe /В.Ю.Петухов, ВЛ.Жихарев, Н.Р.Хабибуллина, И.Б.Хайбуллин //Высокочистые вещества.- 1993.- №3.- С.45-48.

2. Formation of thin ferromagnetic films in cobalt implanted polymers /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina et. al. //Abstr of 11th Int Conf IBMM-98, Aug.31-Sept.4 1998. -P.89.

3. Ion beam synthesis of thin ferromagnetic films in phosphorus containing PMMA /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina et al //Abstr. of 10th Int.Conf. on Radiation EfFectsin Insulators.- Jena, Germany,1999.- P.236.

4. Ионно-лучевой синтез тонких металлополимерных пленок /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р. Хабибуллина и др. //Труды X Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике».- Ярославль, 1999. - С.54-59.

5. Мессбауэровское исследование нанодисперсных металлополимерных пленок, полученных методом ионно-лучевого синтеза / В.Ю.Петухов, Ф.Г.Вагизов, Н.Р.Хабибуллина и др. //Тезисы докл. Международной конф. «Эффект Мессбауэра: магнетизм, материаловедение, гамма-01ггика».-казань, 1999,- С. 155.

6. Ионно-лучевой синтез металлических наночастиц в полимерах /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина, С.В.Шулындин //Тезисы докл. Всероссийского семинара «Наночастицы и нанохимия».-Черноголовка, 2000.- С.28.

7. Ферромагнитный резонанс в ионносинтезированных металлополимерных плёнках /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина и др //Тезисы докл. V Всероссийского семинара «Физические и физико-химические основы ионной имплантации».-Нижний Новгород, 2000.- С.28.

8. Petukhov V.Yu. Ion beam synthesis of metal-polymer composites /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina//Abstr. of 7* Russian-Japanse Int.Symp. on Interaction of fast charget Particles with solids.- Nizhnii Novgorod, Russia, 2000.-P.60-61.

9. Влияние структуры полимерной матрицы на ионно-лучевой синтез тонких металлополимерных плёнок /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина и др. //Высокомолекулярные соединения. Серия А. - 2001.-Т.49, № 11. - С.1973-1983.

10 Investigation of self-organized magnetic nanostructures formed by Fe+ implantation into polymethylmethacrylate /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina ct. al. //Abstract book of Workshop on NMMA-2001.- Gebze Inst. Of Technology, 2001 - P.7

11. Investigation of ion-synthesised magnetic metal-polymer nanostructures by scanning probe microscopy. /М.1 Ibragimova, V.Yu.Petukhov, N.R.Khabibullina et. al. //Abstract book of Workshop on NMMA-2001.- Gebze Inst. Of Technology, 2001. - P.8.

12 Phase composion and structure of metal nanoparticles formed in polymers during ion implantation /V Yu Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina ct. al. //Abstract book of Workshop on NMMA-2001.- Gebze Inst. Of Technology, 2001. - P.10.

13. Петухов ' В.Ю. Ионно-лучевой синтез метаплополимерных наноструктур /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина //Сборник Казанского физико-технического института им.Е.К.Завойского. Ежегодник. - Казань: ФизтехПресс,

2001,- С.53-57.

14. Magnetic properties of thin films obtained by Ion Implantation 3d Metals in polyethyleneterephtalate /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina et. al. //Abstracts of II Eurasian Conference on Nuclear Science and its Application. - Almaty,

2002.- P.248-250.

15. Исследование магнитных и электрических свойств тонких метаплополимерных пленок, полученных имплантацией ионов железа и кобальта в полиэтилентерефталат /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина и др. //Тезисы докладов VI Всероссийского семинара «Физические и физико-химические основы ионной имплантации.- К.Новгород, 2002. - С. 106-107.

16. Исследование ферромагнитных нанокомпозитных слоев, полученных высокодозной имплантацией ионов Fe+ в ПЭТФ. /В.Ю.Петухов, Н.Р.Хабибуллина, М.И.Ибрагимова и др. //Сборник Казанского физико-технического института им.Е.К.Завойского. Ежегодник. - Казань: ФизтехПресс, 2003,- С.80-83.

17. Хабибуллина Н.Р. Магнитные свойства композитных метаплополимерных слоев, синтезированных высокодозной имплантацией ионов железа в ПЭТФ /Н.Р.Хабибуллина, В.Ю.Петухов, Д.А.Бизяев //Труды IX конференции студентов, аспирантов и молодых ученых по физике полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалов. - Владивосток: Изд-во ИАПУ ДВО РАН, 2005. - С.307-312.

»23374

Список цитированной литературы

1. Помогайло А.Д. Наночастицы металлов Розенберг, И.Е. Уфлянд - М.: Химия, 2000. - 6

2. Влияние света и адсорбции газов на электра полимерных материалов /Г.Н.Герасимов, //Химическая физика. -1998. - Т. 17, №6. - С. 1 (

3. Попок В.И. Модификация поверхностных сл Попок //Поверхность. Рентгеновские, синхра 1998,- ЛЬ 6.- С. 103-118.

4. Структура и фазовый состав тонких пленок, полученных имплантацией ионов железа в полиметилметакрилат /В.Ю.Петухов, В.А.Жихарев, В.Ф.Маковский и др. //Поверхность. Физика, химия, механика.- 1995.- №4.- С.27-33.

5. Ion synthesis of thin granular ferromagnetic films in polymethylmethacrylate /V.Petukhov, V.Zhikharcv, Mlbragimova et. al. //Solid State Communication.-19%.- V.97, N5,- P.361-364.

РНБ Русский фонд

2006-4 25148

Изд.лиц. №00743 от 28.08.2000 г.

Подписано к печати 26.10.2005 г. Формат 60x84/16

Гарнитура «Тайме» Вид печати РОМ Бумага офсетная

Физ.печ.л.1.0 Усл. печ. л. 0.94 Уч.-изд. л. 1.0

Тираж 100 экз. Заказ № 2558

Типография КГЭУ 420066, Казань, Красносельская, 51

Содержание диссертации автор исследовательской работы: кандидата физико-математических наук, Хабибуллина, Наиля Рашидовна

СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. Литературный обзор

1.1. Металлополимерные нанокомпозиты

1.2. Модификация поверхностных слоев полимеров ионной имплантацией

1.2.1. Химические изменения

1.2.1.1. Термические эффекты

1.2.1.2. Радиационные эффекты

1.2.2. Распределение примесей

1.2.3. Свойства ионно-имплантированных полимерных слоев

1.2.3.1. Электрические свойства

1.2.3.2. Магнитные свойства

1.3. Ионно-лучевой синтез в полимерах

1.3.1. Ионно-лучевой синтез в ПММА

1.3.2. Ионно-лучевой синтез в вязких средах

ГЛАВА 2. Техника и методика эксперимента

2.1. Подготовкаобразцов

2.1.1. Исходные образцы '

2.1.2. Ионная имплантация

2.1.3. Ионное травление

2.2. Исследование рельефа поверхности

Атомно-силовая микроскопия

2.3. Исследование морфологии заглубленных слоев Электронная микроскопия

2.4. Исследование фазового состава Дифракционные структурные методы

2.4.1. Рентгеновский структурный анализ

2.4.2. Электронная микродифракция

2.5. Исследование магнитных свойств

2.5.1. Радиоспектроскопия

2.5.2. Мессбауэровская спектроскопия

2.5.3. Вибромагнитометрия (VSM)

2.5.4. Магнито-силовая микроскопия

2.6. Электрические измерения

ГЛАВА 3. Исследование нанокомпозитных слоев, полученных имплантацией ионов 3d - элементов в ФПММА и ПММА

3.1. Имплантация Fe+

3.1.1. Изменение рельефа поверхности полимеров в результате ионной имплантации

3.1.2. Исследование морфологии и фазового состава ионно-синтезированных заглубленных слоев

3.1.3. Образование ферромагнитного слоя 66 3.1.3.1. Ферромагнитный резонанс 66 3.1.3.1. Мессбауэровская спектроскопия конверсионных электронов

3.1.4. Формирование самоорганизованной периодической структуры в ПММА при имплантации ионов Fe+

3.2. Имплантация Со+ 79 Исследование морфологии и фазового состава

3.3. Имплантация Си+ 81 Исследование морфологии и фазового состава

Выводы по ГЛАВЕ

ГЛАВА 4. Исследование нанокомпозитных слоев, полученных имплантацией Fe+ и Со+ в полиэтилентерефталат 85 4.1. Имплантация Fe+

4.1.1. Изменение рельефа поверхности в результате ионной имплантации

4.1.1.1. Атомно-силовая микроскопия

4.1Л .2. Магнито-силовая микроскопия

4.1.2. Образование ферромагнитного слоя

4.1.2.1. Ферромагнитный резонанс

4.1.2.2. Исследование статических магнитных характеристик. Вибромагнитометрия.

4.1.3. Исследование фазового состава

Рентгеновский структурный анализ

4.2. Имплантация Со+

4.2.1. Изменение рельефа поверхности в результате ионной имплантации. Атомно-силовая микроскопия

4.2.2. Образование ферромагнитного слоя

4.2.2.1. Ферромагнитный резонанс

4.2.2.2. Исследование статических магнитных характеристик. Вибромагнитометрия.

4.2.3. Исследование фазового состава.

Рентгеновский структурный анализ

4.3. Исследование электрических свойств

4.4. Особенности металлополимерных наноструктур, синтезированных вПЭТФ

Выводы по ГЛАВЕ

ГЛАВА 5. О Механизмах формирования металлополимерных нанокомпозитных пленок при ИЛС

ВЫВОДЫ

Введение диссертация по физике, на тему "Исследование нанокомпозитных металлополимерных слоев, синтезированных высокодозной имплантацией ионов 3d-элементов"

Во многих областях традиционных полупроводниковых технологий на сегодняшний день уже достигнуты пределы миниатюризации отдельных элементов (например, по плотности расположения элементов на поверхности кристаллов в микроэлектронике), поэтому весьма актуальной становится задача поиска альтернативных технологий и новых материалов. Функциональные параметры таких принципиально новых конструкционных материалов должны определяться свойствами формирующихся нужным образом микрообластей, а также процессами, протекающими на атомном или молекулярном уровнях в ультратонких слоях и нанообъёмах [1]. Развитие физики наноструктур традиционно принято ассоциировать с успехами полупроводниковой технологии. Так, основными объектами изучения в области физики наноструктур являются системы квантовых точек, сверхрешетки, материалы с уникальными физико-химическими свойствами («smart» и «very smart»). К таким материалам относятся гетероструктуры, островковые пленки, нанокомпозиты и т.п., т.е. материалы, содержащие систему частиц нанометрового размера.

Малый размер структурных элементов таких материалов приводит к изменениям в решетке и появлению целого ряда уникальных характеристик, отличных от свойств соответствующих массивных материалов. Например, уменьшение размеров ферромагнитных частиц сопровождается перестройкой их магнитной структуры: коэрцитивная сила возрастает и достигает максимума при размере, соответствующем размеру одного магнитного домена, а намагниченность насыщения при этом падает. Однодоменная частица сохраняет однородную намагниченность, однако, вследствие тепловых флуктуаций, возрастает вероятность хаотического вращения векторов магнитного момента в ансамбле ферромагнитных однодоменных частиц, и реализуется явление суперпарамагнетизма. В результате система ферромагнитных частиц ведет себя подобно парамагнетику с аномально большим (в 105 раз) магнитным моментом [2].

С точки зрения приложений эти объекты интересны, если их состоянием удается воспроизводимым образом управлять.

Чрезвычайно высокая химическая активность металлических наноразмерных частиц, наряду со способностью самопроизвольно объединяться с потерей нанокристаллических свойств, делают актуальной задачу стабилизации таких наночастиц; наиболее удобными для этих целей считаются полимерные матрицы различного типа. Материалы, содержащие нанометровые частицы металла в полимерных матрицах различного типа, называются металлополимерными нанокомпозитами [3]. Первоначально металлополимерные нанокомпозиты разрабатывались как проводящие и выпрямительные элементы для молекулярной электроники [4-6]. В настоящее время эти материалы считаются перспективными для использования в качестве эффективных катализаторов для тонкого химического синтеза, селективных мембран, высокочувствительных газовых датчиков, в датчиках магнитного поля и в качестве материалов для записи, считывания и хранения информации [7]. Использование нанокомпозитных материалов в качестве сред для хранения информации предполагает равномерное распределение наночастиц одного размера в тонком приповерхностном слое. Кроме того, в этом случае в нанокомпозите магнитные наночастицы, разделённые полимером, должны, во-первых, находиться в однодоменном состоянии, а во-вторых, не влиять на положение вектора намагниченности соседних частиц. А это значит, что каждая такая металлическая наночастица может служить одним элементом информации. Получение таких материалов является достаточно сложной задачей.

В литературе описано достаточно много способов получения металлополимеров, среди них: электрохимическое восстановление металлов из растворов в присутствии поверхностноактивных веществ; термический метод, основанный на том, что соли органических кислот и некоторые металлоорганические соединения при нагревании легко разлагаются до металлов, а термопластичные полимеры используются в качестве органической среды; криохимический метод и другие [1, 3, 4]. Каждый из методов имеет свои особенности, однако проблема создания стабильных, воспроизводимых наноструктур с контролируемыми параметрами до сих пор не решена. Одним из современных методов синтеза наноструктур является высокодозная ионная имплантация.

Ионная имплантация (ИИ) (ионная бомбардировка, ионное внедрение, ионное легирование) - метод, основанный на внедрении в твердое тело ускоренных в электростатическом поле ионизированных атомов, молекул, g кластеров с энергией от нескольких килоэлектронвольт до нескольких мегаэлектронвольт. Для модификации поверхностных свойств используются дозы ИИ ~1014 ион/см2. При этом модифицированные ИИ фазы формируются в тонком приповерхностном слое (<1мк) в аморфном или кристаллическом состоянии непосредственно в процессе имплантации [8]. При высоких дозах ИИ (~10 -10 ион/см ), когда локальная концентрация атомов примеси становится сравнимой с концентрацией атомов в веществе, возможен синтез различных химических соединений — ионно-лучевой синтез (ИЛС) [8].

ИЛС — достаточно дорогостоящий метод, однако он получил достаточно широкое применение в технологии благодаря ряду существенных преимуществ по сравнению с другими методами синтеза тонких пленок.

Среди них [8,9]:

• возможность точного контроля количества внедренных атомов примеси простым интегрированием ионного тока;

• чистота технологии из-за применения масс-сепарации примесей в ускорителе;

• возможность создания строго локализованных легированных областей в кристалле, в том числе с субмикронныим размерами и трехмерной локализацией; Щ

• низкая температура мишени, что позволяет создавать резкие границы и тонкие слои;

• возможность проведения имплантации в широком интервале температур;

• возможность легирования через тонкие пассивирующие слои;

• возможность получения заглубленных слоев;

• возможность создания пересыщенных, по сравнению с равновесными, твердых растворов.

ИИ в полупроводниках, металлах, неорганических диэлектриках на сегодняшний день хорошо изучена и широко применяется для ионного легирования полупроводников активными атомами, для получения полупроводников с различным типом проводимости, формирования активных и пассивных элементов в приборах микроэлектроники, проводящих дорожек и контактных площадок в производстве БИС и СБИС. В режиме ИЛС ИИ также широко применяется для синтеза тонких магнитных пленок [10], силицидов [11], ВТСП-материалов [12], получения алмазоподобных покрытий [13] и т.д.

В настоящее время ИИ применяется также для модификации приповерхностных свойств различных полимерных мишеней. Интерес к полимерам, модифицированным ИИ, обусловлен, прежде всего, возможностью их использования в качестве нового класса электронных материалов в молекулярной электронике. Наличие у имплантированных полимеров электрических свойств, аналогичных свойствам полупроводников, а также возможность регулирования поверхностной проводимости полимеров за счет ИИ, открывает перспективы создания новых полимерных электронных устройств, таких как полимерные резисторы, электроды, диоды, различные электронные устройства с полевым управлением на базе имплантированных полимеров. Перспективным считается применение имплантированных полимерных материалов в различных оптических устройствах. Кроме того, ИИ позволяет эффективно управлять реологическими и адсорбционными свойствами полимеров, а также их биосовместимостью [14]. В последние годы были достигнуты значительные результаты в вопросах понимания природы процессов, протекающих в полимерах под действием ионно-лучевого воздействия на полимерные мишени. Большинство работ, посвященных ионной имплантации полимеров, на сегодняшний день касается исследования электропроводности, связанной с образованием нанокластеров углеродной фазы, являющейся продуктом термо-радиационной деструкции полимерных мишеней. В частности, отмечается увеличение проводимости ионно-имплантированных полимеров за счет карбонизации поверхностного слоя [14,15]. При этом проводимость типичных полимерных диэлектриков может возрастать на 15 порядков, вплоть до полупроводниковой и полуметаллической. Чаще всего дозы, применяемые при ИИ полимеров, не превышают 10 см" . Это обусловлено, вероятно, тем, что при дозах ИИ см"2 проводимость, обусловленная карбонизированной фазой, выходит на насыщение [16]. Кроме того, большое количество полимерных материалов очень интенсивно разрушается под действием пучка ускоренных ионов средних и больших масс. Возможно, поэтому, вплоть до начала 90-х годов, работ по ИЛС в полимерных материалах было мало, и данный вопрос систематически не изучался.

В 90-е годы в Казанском физико-техническом институте были проведены работы по ИЛС поликристаллических металлополимерных пленок при ИИ ионов железа в полиметилметакрилат (ПММА) [17-19]. Наряду с общими закономерностями, установленными для ИЛС в диэлектриках [9], при синтезе железосодержащих наноструктур в ПММА был обнаружен ряд особенностей. В том числе было обнаружено, что при формировании наноразмерных частиц железа, электропроводность синтезированного слоя начинает расти. При этом проводимость меняется от значения, характерной для слаболегированных полупроводников к проводимости сильнолегированных полупроводников и затем становится полуметаллической. Чтобы установить общие закономерности зарождения и роста ионно-синтезированных металлополимерных нанокомпозитов для целенаправленного получения таких структур с заданными свойствами, необходимо было расширить круг синтезируемых соединений.

В связи с этим, целью настоящей работы является исследование металлополимерных композитных пленок, синтезированных с помощью высокодозной имплантации ионов Зс1-элементов (Fe+, Со+ и Си+) в полиметилметакрилат, фосфорсодержащий полимер на основе метилметакрилата и полиэтилентерефталат. А также установление механизмов формирования металлополимерных нанокомпозитов при ИЛС.

Для достижения указанной цели были поставлены и решены следующие задачи:

• типа имплантированных ионов металла;

• типа исходной полимерной матрицы матрицы (степени ее кристалличности, наличия функциональных групп);

• режимов ИЛС.

3. Установить механизм зарождения и роста металлических наночастиц в полимерах при ИЛС.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения и выводов, списка литературы.

Заключение диссертации по теме "Физика полупроводников"

ВЫВОДЫ

В результате проведенных в данной диссертационной работе комплексных исследований процессов, происходящих при высокодозной имплантации ионов переходных Зс1-элементов (Fe+, Со+, Си+) в полимеры с различной степенью кристалличности и включающих дополнительные функциональные группы, было установлено их влияние на основные закономерности ИЛС магнитных металлополимеров, исследованы структурные и фазовые превращения в процессе формирования таких структур, а также изучены их магнитные и электрические свойства.

Наиболее существенные результаты работы сводятся к следующему:

1. Высокодозная имплантация ионов Зс1-элементов приводит к формированию в приповерхностном слое полимеров тонкой гранулярной пленки, состоящей из нанодисперсных частиц металла в полимерной матрице. Установлено, что характер распределения, форма и фазовый состав синтезированных частиц в слое, а также магнитные свойства. полученных структур определяются:

- структурой исходного полимера (степенью кристалличности и наличия определенных функциональных групп);

- типом бомбардирующих ионов;

- режимами ионно-лучевого синтеза.

2. Установлено, что формирование ферромагнитной фазы при ИЛС в полимерах носит пороговый характер по дозе ионной имплантации и определяется концентрацией центров зародышеобразования, зависящей от типа полимерной матрицы. Минимальная доза, при которой детектируется появление ферромагнитной фазы, в различных полимерах при фиксированном режиме ионной имплантации составляет: в ПЭТФ - 2х1016 Fe+/cM2; в ФПММА - 4х1016 Fe+/cM2; в ПММА - 1017 Fe+/cM2.

6. Характерные размеры наночастиц в их бимодальном распределении по размерам (малые частицы до 20 нм и большие - свыше 80-100 нм) определяются временем суперпарамагнитной релаксации магнитных моментов отдельных сформировавшихся однодоменных наночастиц. Если это время больше времени миграции частиц, то частицы могут коагулировать.

Список источников диссертации и автореферата по физике, кандидата физико-математических наук, Хабибуллина, Наиля Рашидовна, Казань

1. Гусев А.И. Нанокристаллические материалы /А.И.Гусев, А.А.Ремпель. -М.: Физматлит, 2000.- 222 с.

2. Петров Ю.И. Физика малых частиц ЛО.И.Петров.- М.: Наука, 1982.-360 с.

3. Помогайло А.Д. Наночастицы металлов в полимерах /А.Д.Помогайло, А.С.Розенберг, И.Е.Уфлянд.- М.: Химия, 2000. 672 с.

4. Губин С.П. Металлические кластеры в полимерных матрицах /С.П.Губин, И.Д.Кособудский //Успехи химии. 1983. - T.LII, Вып.8. - С. 1350-1364.

5. Шевченко В.Г. Процессы переноса в электропроводящих дисперсно-наполненных полимерных композитах /В.Г.Шевченко, А.Т.Пономаренко //Успехи химии. 1983. - T.LII, Вып.8. - С.1336-1349.

6. Влияние света и адсорбции газов на электропроводность наногетерогенных металл-полимерных материалов /Г.Н.Герасимов, Е.И.Григорьев, А.Е.Григорьев и др. //Химическая физика.- 1998. Т. 17, №6. — С.168-173.

7. McHenry М.Е. Nano-scale materials development for future applications /M.E.McHenry, D.E.Laughlin //Acta mater. 2000. - V.48. - P.223-238.

8. Майер Дж. Ионное легирование полупроводников /Дж.Майер, А.Эриксон, Дж.Дэвис. М.: Мир, 1973.- 296с.

9. Петухов В.Ю. Ионно-лучевой синтез в неметаллах. Дисс. на соиск. уч. степ. докт. физ.-мат. наук /В.ЮЛетухов; Казанск. физ.-тех.ин-т.- Казань, 998. — 285с.

10. Петухов В.Ю. Образование ферромагнитного слоя при ионной имплантации больших доз железа в кремний / В.Ю.Петухов, И.Б.Хайбуллин //Труды XI Совещ. по физике взаимод. заряж. частиц с кристаллами. М.: Изд-во Моск. ун-та, 1982.- С. 1461 -465.

11. Зарипов М.М. Применение ионной имплантации для синтеза тонких пленок силицидов /М.М.Зарипов, В.Ю.Петухов, И.Б.Хайбуллин //Электронная промышленность.- 1985.- Вып. 2 (140).- С.37-39.

12. Bazarov V.V. Formation of thin superconducting YBaCuO layers by oxygen implantation /V.V.Bazarov, V.Yu.Petukhov, V.A.Shustov et.al. //Physica C. 1997.-V.282-287. - P.589-560.

13. Попок B.H. Модификация поверхностных слоев полимеров ионнами пучками /В.Н.Попок //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. -1998.- № 6.- С.103-118.

14. Venkatesan Т. High energy ion beam modification of polymer films /Т. Venkatesan//Nucl.Instr.and Meth.inPhys.Res.B.- 1985.- V.7-8, pt.2.-P.461-467.

15. Venkatesan T. Ion-beam -induced conductivity in polymer films /т:Venkatesan, S.R.Forrest, M.L. Kaplan et.al. //J.Appl.Phys. 1983. - V.54, № 6. -P.3150-3153. .

16. Вагизов Ф.Г. Исследование состояния железа в полиметилметакрилате методом МСКЭ /Ф.Г.Вагизов, Р.А.Манапов, В.Ю.Петухов, И.Б.Хайбуллин //Тезисы докл. Всес. конф. по прикладной мессбауэровской спектроскопии.-Казань, 1990.- С.88.

17. Петухов В.Ю. Структура и фазовый состав тонких пленок, полученных имплантацией ионов железа в полиметилметакрилат /В.Ю.Петухов, В.А.Жихарев, В.Ф.Маковский, Ю.Н.Осин и др. //Поверхность. Физика, химия, механика.- 1995.- №4.- С.27-33.

18. Petukhov V. Ion synthesis of thin granular ferromagnetic films in polymethylmethacrylate /V.Yu.Petukhov, V.A.Zhikharev, M.I.Ibragimova et.al. //Solid State Communication.- 1996.- V.97, N5.- P.361-364.

19. Чвалун C.H. Полимерные нанокомпозиты /С.Н.Чвалун //Природа.- 2000.-№7. C.l-13.

20. Сумм Б.Д. Коллоидно-химические аспекты нанохимии от Фарадея до Пригожина /Б.Д.Сумм, Н.И.Иванова //Вестн.Моск ун-та. Сер.2.Химия. - 2001.-Т.42, №5. - С.300-305.

21. Ходаков Г.С. Физика измельчения /Г.С.Ходаков.- М.: Наука, 1972.- 230 с.

22. Marietta G. Correlation between the modification of the chemical structure and the electrical properties of Ar-ion bombarded polyimide /G.Marletta, S.Pignataro //Nucl. Instr. And Meth. B. 1989. - V.B39, № 1-4. -P.792-795.

23. Kallweit R. SIMS investigation of ion implanted PMMA /RKallweit, M.Baur, P.Eichinger, H.Strack //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1991. - V.59-60, Part 2.-P.1288-1291.

24. Chapiro A. Chemical modifications in irradiated polymers /A.Chapiro //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1988. V.B32, № 1-2. - P.l 11-114.

25. Svorcik V. Modification of Polyethyleneterephtalate by Implantation of Nitrogen Ions /V.Svorcik, R.Endrst, V.Rybka et.al. //J. Of the Electrochemical Society. 1998. -V. 141, № 2.- C.582-585.

26. Marietta G. Chemical reaction and physical property modifications induced by keV ion beams in polymers /G.Marletta //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). -1990.- V.46, Issues 1-4. P.295-305.

27. Оджаев В.Б. Ионная имплантация полимеров /В.Б.Оджаев, И.П.Козлов, В.Н.Попок, Д.В.Свиридов.- Минск: Изд. Белорусского гос. ун-т. 1998. - 196с.

28. Venkatesan Т. Comparison of conductivity produced in polymers and carbon films by pyrolysis and high energy ion implantation /Т.Venkatesan, RC.Dynes, B.Wilkens et.al. //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1984. - V.l. - P. 599-604.

29. Koon N.C. Magnetic properties of iron implanted polymers and graphite /N.C.Koon, D.Weber, P.Pehrsson, A.I.Shinder //Ion implantation beam processing. — 1984.-V.27.-P. 445-448.

30. Pehrsson P.E. Chemical and physical interactions in covalent polymers implanted with transition metals /P.E.Pehrsson, D.C.Weber, N.C.Koon et.al. //Mat.Res.Symp.Proc. 1984. - V.27. - P.429-434.

31. Гутман Ф. Органические полупроводники /Ф.Гутман, Л.Лайонис. М.: Мир, 1970.-606с.

32. Marietta G. Correlation between the modification of the chemical structure and the electrical properties of Ar-ion bombarded polyimide /G.Marletta, S.Pignataro //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1989. - V.B39, № 1-4. - P.792-795.

33. Davenas J. Relation between structure and electronic properties of ion irradiated polymers /J.Davenas, X.L.Xu, G.Boiteux, D.Sage //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1989. - V.B39, № 4. - P.754-763.

34. Calcagno L. Ion irradiation of polymers /Calcagno L., Foti T. //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1990. - V.B59/60, № 2. - P.l 153-1158.

35. Brinkmalm G. Formation of fullerenes in MeV-ion sputtering from organic solids /G.Brinkmalm, P.Demirev, D.Fengoe et.al. //Phys.Rev.B. 1993. - V.47. -P.927-933.

36. Lee E.H. Effects of electronic and recoil processes in polymers during ion implantation /E.H.Lee, M.B.Lewis, PJ.Blau, L.K.Mansur //J.Mater.Res. 1993. -V.8.-P.927-933.

37. Майер Дж. Ионное легирование полупроводников /Дж.Майер, А.Эриксон, Дж.Дэвис. М.: Мир, 1973.- 296с.

38. Behar М. Low temperature diffusion study of Xe implanted into a photoresist film /M.Behar, L.Amaral, J.R.Kaschny, F.C.Zawislak //Phys. Lett. A. 1990. -V.148, № 1-2.-P. 104-106.

39. Davenas J. Relation between structure and electronic properties of ion irradiated polymers / J.Davenas, X.L.Xu, G.Boiteux, D.Sage // Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1989. - V.B39, № 4. - P.754-763.

40. Marietta G. Chemical reactions and physical property modifications induced by keV ion beams in polymers /G.Marletta //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). -1990. V. 46, № 3. - P.295-305.

41. Lee Eal H. Ion-beam modification of polymeric materials fundamental principles and applications /Eal H. Lee //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). — 2001.—V.151, № 1.-P.29-41.

42. Iwaki M. Ion surface treatment on organic materials /M.Iwaki //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 2001. - V.175-177, № 5. - P.368-374.

43. De Bonis A. Structural modifications of and electrical properties in ion-implanted polyimide /A.De Bonis, A.Bearzotti, G.Marletta //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1999. - V. 151. - P. 101 -108.

44. Rizzatti M.R. Bulk and surface modifications of insulating poly (paraphenylene sulphide) films by ion bombardment /M.R.Rizzatti, M.A.de Araujo, R.P. Livi // Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1994. - V.91, № 1-2. - P.450-454.

45. Bridwell L.B. Electrical conductivity enhancement of polyethersulfone (PES) by ion implantation /L.B.Bridwell, R.E.Giedd, Wang Yongqiang etal. //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1991. - V.B59/60, № 4. - P. 1240-1244.

46. Fink D. Chemical modification of PMMA by MeV and GeV, light and heavy ion irradiation /D.Fink, L.T.Chadderton, S.A.Crus, H.Omichi //Radiation Effects and Defects in Solids. 1994. -.V.132.- p.81-85.

47. Track size and track structure in polymer irradiated by heavy ions /P.Apel, A.Schulz, R.Spohr, C.Trautmann, V.Vutsadakis //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res .(B).- 1998.-V.146. -P.468-474.

48. Licciardello A. Single track regime in ion implanted polystyrene /A.Licciardello, O.Puglisi, L.Calcagno, G.Foti //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1988. — V.32. —P.131-135.

49. Zeigler J.R. The Stopping and Range of Ions in Solids /J.R.Zeigler, J.P.Biersack, U.Littmark. New York: Pergamon Press, 1985. - 321p.

50. Biersack J.P. A Monte Carlo computer program for the transport of energetic ions in amorphous targets /J.P.Biersack, L.G. Haggmark //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1980. V.174, № 1-2. -P.257-269.

51. Gibbons J. Projected Range Statistics, Semiconductors and Related Materials / J.Gibbons, W.Johnson, S.Mylorie. -Halsted Press, 1975. -421p.

52. Reiss S. Computer simulation of mechanisms of the SIMOX process /S.Reiss, K.-H.Heinig //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1995.- V.102.- P.256-260.

53. Fink D. Chemical modification of PMMA by MeV and GeV, light and heavy ion irradiation /D.Fink, L.T. Chadderton, S.A.Crus, H.Omichi //Radiation Effects and Defects in Solids. 1994.-.V.132.- P.81-85.

54. Implanted boron depth profilesvin the AZ111 photoresist /R.B.Guimaraes, L.Amaral, M.Behar et.al. //J.Appl.Phys. 1988.- V.63, N 6. -P.2083-2086.

55. Mass and energy dependence of implanted ion profiles in the AZIII photoresist /R.B.Guimaraes, M.Behar, R.P.Livi et.al. //J.Appl.Phys. 1986.- V.60, N 4.- P. 13221326.

56. Dose and energy dependence of implanted ion profiles (9<Zi<83) in the AZ111 photoresist /R.B.Guimaraes, M.Behar, R.P.Livi et.al. //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1987. V.B 19/20, № 1-2. - P.882-885.

57. Behar M. Low temperature diffusion study of Xe implanted into photoresist film /M.Behar, L.Amaral, J.R.Kaschny, F.C.Zawislak //Phys.Lett.A. 1990.- V. 148, № 10.-P.104-106.

58. Diode characteristics and degradation mechanism of ion implanted polyacetylene films /W.M.Wang, H.H.Wan, T.W.Rong, J.R.Bao, S.H.Lin //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1991. V.B61, № 3. - P.466-471.

59. Lyhn S.H.Electrical conductivity enhancement of polyethersulphone (PES) by II /S.H.Lyhn, K.L.Sheng, T.W.Rong //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1990. -V.B59/60.-P. 1240-1244.

60. Thermal stability and diffusion studies in the Au and Be implanted AZ1350 photoresist /M.Behar, L.Amaral, F.C.Zawislak, D.Fink //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B).- 1990.- V.B46, № 1-2.-P.l 13-115.

61. Thermal stability study of Xe and cs implanted into polymer film /J.R. Kaschny, L.Amaral, D.Fink, M.Behar //Radiation Effects and Defects in Solids. — 1993.-V. 125.- P.289-292.

62. SIMS investigation of ion implanted PMMA /R.Kallweit, M.Baur, P.Eichinger, H.Strack //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1991. - V.59-60, Part 2. - P.1288-1291.

63. Электрофизические свойства пленок полиимида (ПМ), подвергнутых ионой бомбардировке /А.Н.Алешин, А.В.Грибанов, А.В.Добродумов и др. //ФТТ. 1989.- Т.31, №1. - С. 12-17.

64. Electronic properties of ion-implanted polymer films /Y.Q.Wang, R.E.Giedd, M.G.Moss, J Kaufmann //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). 1997. -V.127/128. -P.710-715.

65. Simple, very low dark current planar long-wavelength avalanche by ionizedcluster beam /S.R.Forrest, M.L.Kaplan, P.H.Schmidt et.al. //Appl. Phys. Lett. -1988.- V.41.-P.708-710.

66. Dresselhaus M.S. Ion implantation of polymers /M.S.Dresselhaus, B.Wasserman, G.E.Wnek //Ion implantation beam processing. 1984. -V.27. -P.413-422.

67. Implantation induced conductivity of polymers /B.Wasserman, G.Braunstein, M.S.Vesselhans, G.E.Wnek //Nucl. Inst, and Meth. in Phys. Res.(B). -1984. -V. -P.422-428.

68. Wasserman B. Fractal nature of electrical conductivity in ion-implanted polymers /B.Wasserman //Phys.Rev.B. 1986. - V.34, № 3. - P.l926-1931.

69. Андо Т. Электронные свойства двумерных систем /Т.Андо, А.Фаулер, Ф.Стерн. -М.: Мир, 1985.-415с.

70. Magnetic properties of iron implanted high orientated pyrolitic graphite /N.C.Koon, D.Weber, P.Pehrsson, A.I.Shinder //Appl. Phys. 1984. - V.55, Issue 6. -P.2497-2499.

71. Picraux S.T. Implantation metallurgy /S.T.Picraux //Inst.Phys.Conf.- 1976. -Ser.№28.-P. 183-195.

72. Ferromagnetic thin films in polymethylmethacrylate implanted iron /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, E.P.Zheglov, I.B.Khaibullin //Abstr. of X Inter. Conf. IBMM'96. Albuguerque, USA, 1996. - P. F 43.

73. Phase composition of thin ferromagnetic films obtained by ion implantation in PMMA /V.Petukhov, V.Zhikharev, V.Makovskii et.al. //Proc. of 14-th Inter. Colloqium on Magnetic Films and Surfaces. Dusseldorf, Germany, 1994.- P.363-364.

74. Проводимость ПММА, имплантированного ионами железа /В.В.Базаров, В.А.Жихарев, В.Ю.Петухов и др //Тезисы докл. Российской конф. «Микроэлектроника 94». - М., 1994. - 4.1. - С.149-150.

75. Conductivity of the granular metal films obtained by high dose ion implantation into PMMA /V.V.Bazarov, V.Yu.Petukhov, V.A.Zhikharev, I.B.Khaibullin //Proc.Mater.Res.Soc. 1995. - P.417-421.

76. Ионная имплантация в вязкие среды /Р.И.Хайбуллин, С.Н.Абдуллин, А.Л.Степанов и др. //Письма в ЖТФ. 1996. - Т.22, Вып.З. - С.48-53.

77. О механизмах формирования тонкой металлической пленки в эпоксидном композите, имплантированном ионами кобальта /С.Н.Абдуллин, А.Л.Степанов, РЛХайбуллин и др. //ФТТ.-1996.- Т.38, Вып.8. С.2574-2581.

78. Винокурова Г.М. Синтез бифункциональных фосфорорганических соединений. III. Аллильные производные третичных фосфинов

79. Г.М.Винокурова, С.Г.Фаггахов //Журн. общ. химии. 1966. - Т.36.№ 1. - С.67-69.

80. Berlin K.D. Mechanism of Charge Migration througrh DNA: Molecular Wire Behavior /K.D.Berlin, Y.B.Butler //J.Am.Chem.Soc. 1960. - V.82. №11. - P.2712-2717.

81. Миркин Л.И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов /Л.И.Миркин. М.: Физматгиз, 1961.- 864 с.

82. Kittel С. On the theory of ferromagnetic resonance absorption /C.Kittel //Phys.Rev. 1948. - V65. - P. 155-162.

83. Former S. The vibrating sample magnetometr: Experiences of volunteer (invited) /S.Fonner //J.Appl.Phys. V.79, № g. - P.4740-4745.

84. Schonenberger C. Understanding Magnetic Force Microscopy /C.Schonenberger, S.F.Alvarado //Z.Phys.B. 1990. - V.80. - P.373-383.

85. Magnetic Force Microscopy: General Principles and Application to Longitudinal Recording Media /D.Rugar, H.J.Mamin, P.Guethner et.al. //J.Appl.Phys. 1990. - V.68, №.3. - P.l 169-1183.

86. Хабибуллина H.P. Исследование магнитных свойств и структуры тонких пленок, полученных имплантацией ионов железа в полиметилметакрилат /Н.Р.Хабибуллина, В.Ю.Петухов //Материалы конференции молодых ученых КФТИ-90. Препринт. Казань.- 1990.- С.27-31.

87. Ion Synthesis of thin Ferromagnetic Films in PMMA /V.Yu.Petukhov, V.A.Zhikharev, I.B.Khaibullin, N.RKhabibullina //3rd IUMRS Int. Conf. on Advanced Materials, Japan, Tokyo, 1993. P.791.

88. Ion Synthesis of thin Magnetic Films in Polymethilmethacrylate /V.A.Zhikharev, V.Yu.Petukhov^ N.RKhabibullina, I.B.Khaibullin //Abstracts of Int. Symp. on Theor. Physics "Kourovka-94", Ekaterinburg, 1994.- P.70.

89. Магнитные свойства и структура поверхностных слоев, полученных в ПММА имплантацией ионов Fe /В.Ю.Петухов, В.А.Жихарев, Н.Р.Хабибуллина, И.Б.Хайбуллин //Высокочистые вещества.- 1993.- №3,- С.45-48.

90. Formation of thin ferromagnetic films in cobalt implanted polymers /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina et. al. //Abstr of 11th Int Conf IBMM-98,1998. -P.89.

91. Ion beam synthesis of thin ferromagnetic films in phosphorus containing PMMA /V.Yu.Petukhov, MJ.Ibragimova, N.R.Khabibullina et al //Abstr. of 10th Int.Conf. on Radiation Effectsin Insulators.- Jena, Germany, 1999.- P.236.

92. Ионно-лучевой синтез тонких металлополимерных пленок /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р. Хабибуллина и др. //Труды X Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике».- Ярославль, 1999. — С.54-59.

93. Ионно-лучевой синтез металлических наночастиц в полимерах /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина, С.В.Шулындин //Тезисы докл. Всероссийского семинара «Наночастицы и нанохимия».-Черноголовка, 2000.-С.28.

94. Petukhov V.Yu. Ion beam synthesis of metal-polymer composites /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina //Abstr. of 7th Russian-Japanse Int.Symp. on Interaction of fast charget Particles with solids.- Nizhnii Novgorod, Russia, 2000.-P.60-61.

95. Влияние структуры полимерной матрицы на ионно-лучевой синтез тонких металлополимерных плёнок /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина и др. //Высокомолекулярные соединения. Серия А. 2001,- Т.49, №11.- С. 1973-1983.

96. Investigation of self-organized magnetic nanostructures formed by Fe+ implantation into polymethylmethacrylate /V.Yu.Petukhov, M.I.Ibragimova, N.R.Khabibullina et. al. //Abstract book of Workshop on NMMA-2001.- Gebze Inst. Of Technology, 2001.-P.7.

97. Investigation of ion-synthesised magnetic metal-polymer nanostructures by scanning probe microscopy. /MJ.Ibragimova, V.Yu.Petukhov, N.R.Khabibullina et. al. //Abstract book of Workshop on NMMA-2001.- Gebze Inst. Of Technology, 2001. P.8.

98. Phase composion and structure of metal nanoparticles formed in polymers during ion implantation /V.Yu.Petukhov, M.LIbragimova, N.R.Khabibullina et. al. //Abstract book of Workshop on NMMA-2001Gebze Inst. Of Technology, 2001. P. 10.

99. Петухов В.Ю. Ионно-лучевой синтез металлополимерных наноструктур /В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина //Сборник Казанского физико-технического института им.Е.К.Завойского. Ежегодник. — Казань: ФизтехПресс, 2001.- С.53-57.

100. Периодические наноструктуры, полученные имплантацией ионов железа в ПММА / В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, Н.Р.Хабибуллина и др. //Тезисы докл. Всероссийской научно-технической конф. «Микро- и наноэлектроника-98».-Липки, 1999.- С.3-9.

101. Исследование периодических наноструктур, полученных имплантацией ионов железа в ПММА. / В.Ю.Петухов, М.И.Ибрагимова, А.А.Бухараев, Н.Р. Хабибуллина //Тезисы докл. Всероссийского семинара «Наночастицы и нанохимия».-Черноголовка, 2000.- С.76.

102. McCracen G.M. The behaviour of surface under ion bombardment /G.M.McCracen //Rep. On Progr. In Phys.-1975.-V.38, №2.-P.241-327.

103. Ориентированный рост и субструктурная неравновесность тонкопленосных лазерных конденсатов золота /А.Г.Багмут, В.М.Косевич, Г.П.Николайчук, В.Д.Сарана //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1999. -№2. - С.54-59.

104. О у-углероде /Палатник Л.С., Гусева М.Б., Бабаев В.Г. и др. //Журн. эксп. итеорет. физики. 1984. - Т.87, Вып.3(9). - С.914-916.

105. Osborn J.A. Demagnetizing Factors of the General Ellipsoid /J.A.Osborn //Phys.Rev. -1945. -V.67. -P.351-357.

106. Кондорский Е.И. Микромагнетазм и перемагничивание квазиоднодоменных частиц /Е.И.Кондорский //Изв.АН СССР. Сер. физ. 1978. - Т.42, № 8. - С.1638-1645.

107. Вонсовский С.В. Магнетизм /С.В.Вонсовский. М.: Наука, 1971. - 1032 с.

108. Амулявичус А.П. Исследование суперпарамагнитных свойств ультрамалых частиц железа с помощью мессбауэровской спектроскопии /А.П.Амулявичус, И.П.Суздалев //Журн. эксперим. и техн. физики. -1973. -Т.64, № 5. С. 1702-1706.

109. Morrish А.Н. The Physical Principles of Magnetism. New York; London; Sidney: John Wiley and Sons Ltd., 1965. 137p.

110. Morup S. Superparamagnetic relaxation of weakly interacting particles /S. Morup, E.Trons //Phys. Rev.Lett. 1994. - V.72. - C.3278-3281.

111. Schloman E. Ferromagnetic resonance in polycrystalline ferrites with long anisotropy. 1.General theory and application to cubic materials with a negative anisotropy constant /E.Schloman //J.Phys.Chem.Solids. 1958. - V.6, №2/3. - P.242-248.

112. Gengnagel H. Temperature dependence of the magnetocrystalline energy constants Ki, K2 and K3 of iron /H.Gengnagel, U.Hofmann //Physica Status Solidy. -1968. V.29, №2. -P.91-97.

113. Surface properties of polyethylene terephtalate implanted with N4", F+ and Ar+ ions / V.Svorcik, I.Micek, V.Rubka, V.Hnatowitcz // Mater.Lett. 1995. - V.23, № 1-3.-P.167-171.

114. Investigation of micromagnetism and magnetic reversal of Ni nanoparticles using a magnetic force microscope /A.A.Bukharaev, D.V.Ovchinnikov, N.I.Nurgazizov et.al. //Physics of the Solid State.- 1998.- V. 40, № 7. P. 1163-1168.

115. Magnetic study of M-type doper barium ferrite nanocrystalline powders /XJBattle, M.Garcia del Muro, J.Tejada et.al. //J.Appl.Phys. 1993. - V 74, № 5. -P.3333-3340.

116. Попок B.H. Влияние высоких доз имплантации и плотности ионного тока на свойства пленок полиимида /В.Н.Попок, И.И.Азарко, Р.И.Хайбуллин //ЖТФ. 2002. - Т.72, вып.4. - С.88-93.

117. Wasseman В. Implantation-induced conductivity of polymers /B.Wasseman, G.Braunstein, M.S.Dresselhaus //Mat.Res.Soc.Symp.Proc. 1984. - V.27.- P.423-428.

118. Abeles B. Strutural and electrical properties of granular metal films /B.Abeles, Ping Sheng, M.D.Coutts //Advance in Physics. 1975. - V.24, № 3. -P.407-461.

119. Adkins C.J. Microscopic aspects of conduction in discontinuous metal systems /C.J.Adkins //J.Phys.C:Solid State Phys. 1982. - V.l5, № 35. - P.7143-7155.

120. Ping Sheng. Fabrication of optical wavequiding layer in LiTaCb by Cu diffusion /Ping Sheng, J.KIafter //Phys.Rev.B. 1983. - V.27, № 4. - P.2583-2586.

121. Анисимов М,П. Нуклеация: теория и эксперимент /М.П.Анисимов //УХН. -2003.-Т.72, №7.- С.664-705.

122. Данилов А.Б. Модель гетерогенного фазообразования в процессах создания слоистых структурметодом ионной имплантации /А.Б.Данилов //Поверхность. Физика, химия, механика. 1989. - № 5. - С.132-136.