Исследование процессов абляции и осаждения при лазерном облучении границы раздела твердого тела с жидкостью тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.21 ВАК РФ

Введение

Глава 1. Исследование абляции поликристаллического карбида кремния при импульсном лазерном облучении границы раздела прозрачная жидкость/ поглощающее твёрдое тело»

1.1. Обзор литературы. Постановка задачи

1.2.Техника эксперимента 16 1.3.Экспериментальные результаты по абляции керамики в жидкостях и в воздухе излучением лазера на парах меди

1.4. Анализ поверхности БЮ керамики после лазерного воздействия

1.5. Металлизация поверхности БЮ керамики после лазерного воздействия

1 .б.Обсуждение экспериментальных результатов

1.7.Выводы к главе

Глава 2. Исследование абляции сапфира при импульсном лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость»

2.1.Постановка задачи. Обзор литературы

2.2.Техника эксперимента 43 2.3.Экспериментальные результаты по абляции сапфира при облучении границы раздела «сапфир/поглощающая жидкость» излучением лазера на парах меди

2.4. Обсуждение экспериментальных результатов. Механизм абляции твёрдого тела при облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/ поглощающая жидкость» импульсным лазерным излучением

2.5.Выводы к главе

Глава 3. Осаждение оксидных плёнок при импульсном лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость»

3.1 .Введение. Постановка задачи

3.2.Техника эксперимента

3.3.Осаждение оксидных плёнок при облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» излучением лазера на парах меди. Анализ кристаллической структуры оксидных плёнок

3.3.1. Осаждение плёнок Сг

3.3.2. Осаждение плёнок Рег

3.3.3. Осаждение плёнок Мп

3.4. Обсуждение экспериментальных результатов. Механизм осаждения оксидных плёнок при импульсном лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость»

3.5. Выводы к главе

Основные идеи и актуальность исследований.

Одним из актуальных направлений исследований взаимодействия лазерного излучения с веществом является исследование абляции различных материалов и изучение её механизмов. Под термином «лазерная абляция» понимается широкий класс процессов, результатом которых является удаление вещества твёрдого тела, таких как лазерное испарение, лазерное распыление и т.п. [1]. Исследование абляционных процессов превратилось в самостоятельный раздел физики взаимодействия лазерного излучения с веществом [1-5]. Наиболее полно к настоящему времени исследована абляция твёрдых тел в газах и в вакууме. Абляция твёрдых тел в жидкостях исследована в значительно меньшей степени. Можно ожидать, что процессы, протекающие в жидкости при лазерном воздействии на границу её раздела с твёрдым телом, будут оказывать влияние как на скорости, так и на механизм абляции. В диссертации исследуется абляция твёрдого тела при лазерном облучении его границы раздела с жидкостью.

При воздействии на границу раздела «жидкость/твёрдое тело» лазерное излучение может поглощаться как твёрдым телом, так и жидкостью. Выбором сред с подходящими коэффициентами поглощения оказывается возможным реализовать два предельных случая. Первый случай - облучение поверхности поглощающего лазерное излучение твёрдого тела сквозь прозрачную жидкость, второй случай -лазерное облучение поглощающей жидкости сквозь прозрачное твёрдое тело. В обоих случаях при воздействии на границу раздела сред происходит нагрев, а также может происходить испарение слоя жидкости, находящегося вблизи поверхности твёрдого тела. Если при облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» нагрев и испарение жидкости происходит непосредственно за счёт поглощения в ней энергии лазерного излучения, то при облучении границы раздела «прозрачная жидкость/поглощающее твёрдое тело» нагрев и испарение жидкости осуществляются за счёт процессов переноса тепла от нагретого лазерным излучением твёрдого тела к жидкости.

Воздействие лазерного излучения на поглощающую жидкость или на твёрдое тело в жидкости вызывает тепловые и гидродинамические возмущения равновесного состояния, сопровождающиеся генерацией в жидкости звука [6,7]. В зависимости от плотности поглощённой энергии основными механизмами возбуждения звука в жидкости являются её тепловое расширение, а также поверхностное и объёмное испарение [8]. При плотностях поглощённой энергии, не превышающих скрытую теплоту испарения жидкости, основной вклад в процесс генерации звука даёт тепловое расширение [9,10].

Более сложная картина наблюдается при плотностях поглощённой энергии, превышающих скрытую теплоту испарения жидкости. Лазерное излучение практически полностью поглощается в тонком приповерхностном слое жидкости толщиной порядка а1, где а [см"1] - коэффициент поглощения излучения. Поглощение излучения сопровождается нагревом жидкости до температуры кипения и парообразованием. В результате быстрого расширения парогазовой полости (пузырька) под действием давления паров происходит генерация импульса давления в жидкости. В отличие от теплового механизма генерации звука, при котором коэффициент преобразования энергии лазерного излучения в акустическую энергию составляет сотые доли процента, при испарительном механизме генерации коэффициент преобразования энергии в сотни раз выше и достигает нескольких процентов [11]. Экспериментальные данные подтверждают вывод о том, что испарительный механизм отвечает за эффективную генерацию звука в жидкости при поглощении в ней интенсивного лазерного излучения [12].

Воздействие лазерным излучением на границу раздела «прозрачная жидкость/поглогцающее твёрдое тело» также приводит к нагреву жидкости и может вызывать её испарение и образование в ней пузырьков. При такой схеме лазерного воздействия происходит нагрев и взрывное испарение слоя жидкости, находящегося вблизи от поверхности твёрдого тела, нагреваемой лазерным облучением до высоких температур. При таких условиях нагрева, как и при непосредственном воздействии лазерного излучения на поглощающую жидкость, также наблюдается генерация в жидкости звука [13].

Амплитуда импульсов давления, возникающих в жидкости при импульсном лазерном облучении её границы раздела с твёрдым телом, может достигать единиц килобар и более [14,15]. Амплитуда импульса давления определяется параметрами лазерного излучения, оптическими и теплофизическими свойствами жидкости и твёрдого тела. В обоих случаях генерация импульса давления происходит в жидкости в непосредственной близости от поверхности твёрдого тела. Можно ожидать, что импульс давления с большой амплитудой будет оказывать механическое воздействие на поверхность твёрдого тела, вплоть до её разрушения.

Лазерное воздействие на поверхность твёрдого тела с достаточно высокой плотностью энергии при облучении границы раздела «прозрачная жидкость/поглощающее твёрдое тело» может вызывать абляцию твёрдого тела [1623]. Воздействие импульсов давления, возникающих при лазерном облучении границы раздела жидкости с твёрдым телом, на поверхность твёрдого тела может оказывать существенное влияние на процесс абляции. Исследование влияния жидкости на процесс абляции в диссертации изучается на примере абляции поликристаллического карбида кремния импульсным лазерным излучением наносекундной длительности. Выбор поликристаллического карбида кремния в качестве объекта исследований был связан с тем, что его механические свойства, в отличие от монокристаллов, изотропны.

Воздействие лазерного излучения на границу раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» рассматривается на примере импульсного лазерного облучения границы раздела «сапфир/поглощающая жидкость». В экспериментах использовались сильнопоглощающие жидкости с коэффициентами поглощения на длине волны лазерного излучения а ~ 200-500 см"1. Как показано в диссертации, воздействие импульсного лазерного излучения наносекундной длительности на границу раздела «сапфир/поглощающая жидкость» может приводить к абляции поверхности сапфира. Причиной разрушения является воздействие на поверхность сапфира импульсов давления, возникающих при поглощении в жидкости лазерного излучения. В диссертации для объяснения процессов абляции, происходящих при лазерном облучении границ раздела «прозрачная жидкость/поглощающее твёрдое тело» и «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость», привлекаются результаты исследований по оптическому возбуждению звуковых волн в жидкости.

Абляция прозрачных твёрдых тел при лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» ранее не исследовалась.

В диссертации показано, что импульсное лазерное облучение границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» при использовании в качестве поглощающих жидкостей водных растворов СгОз, РеС1з и КМ11О4 может приводить не к абляции твёрдого тела, а к осаждению на его поверхности плёнок. Эффект осаждения плёнок на поверхности прозрачного твёрдого тела при лазерном облучении его границы с поглощающей жидкостью является новым, не исследованным ранее эффектом. В работе определяются условия роста плёнок, а также исследуются механизм роста и кристаллическая структура плёнок. Актуальность изучения эффекта осаждения обусловлена не только общефизическим интересом к этому новому явлению, но и возможностью его применения в процессах роста плёнок с использованием лазерного излучения, активно исследуемых в последние годы.

Целью диссертационной работы являлось исследование абляции твёрдого тела, происходящей при воздействии импульсного лазерного излучения наносекундной длительности на границы раздела «прозрачная жидкость/поглощающее твёрдое тело» и «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость», а также исследование осаждения плёнок на поверхности твёрдого тела при воздействии лазерного излучения на границу раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость».

Для достижения этой цели решались следующие задачи:

1. Сопоставлялись скорости абляции поликристаллического карбида кремния в воздухе и в жидкостях, а также исследовалось изменение химического состава поверхности после импульсного лазерного воздействия на поликристаллический карбид кремния в воздухе и в жидкостях.

2. Измерялась скорость абляции сапфира при лазерном облучении границы раздела «сапфир/поглощающая жидкость» и исследовалась её зависимость от параметров лазерного излучения.

3. Определялись условия осаждения оксидных плёнок на поверхность твёрдого тела (сапфир, стекло) при лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость».

4. Исследовались кристаллическая структура и морфология оксидных плёнок, осаждённых на поверхности кристаллического и аморфного твёрдых тел лазерным облучением границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость».

5. Производилось математическое моделирование нагрева импульсным лазерным излучением наносекундной длительности границы раздела двух сред, находящихся в тепловом контакте.

Научная новизна работы. В основу диссертации легли исследования автора, выполненные за последние четыре года. К числу приоритетных результатов автор относит следующие:

1. Впервые обнаружен эффект абляции твёрдого тела при импульсном лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» и определён его механизм.

2. Установлено, что в результате абляции БЮ керамики в химически нейтральных жидкостях химический состав её поверхности остаётся идентичным исходному.

3. Обнаружено образование кремниевых частиц нанометровых размеров при импульсном лазерном воздействии на поликристаллический карбид кремния в воздухе.

4. Впервые обнаружен эффект эпитаксиального осаждения плёнок на поверхности твёрдого тела при импульсном лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость».

Защищаемые положения.

1. В результате лазерной абляции твёрдого тела в химически нейтральной жидкости химический состав его поверхности идентичен исходному.

2. Лазерное облучение границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» в зависимости от плотности энергии в импульсе позволяет осуществить как абляцию твёрдого тела, так и осаждение плёнок на его поверхности.

3. При облучении импульсным лазерным излучением границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающий водный раствор» возможен эпитаксиальный рост плёнок на поверхности твёрдого тела.

4. При лазерном облучении границы раздела «прозрачное твёрдое тело/поглощающая жидкость» в процессах абляции и осаждения плёнок твёрдое тело практически не нагревается.

Практическая ценность работы. Результаты работы представляют практическую ценность для разработки технологических процессов размерной обработки поверхности твёрдых материалов и материалов, прозрачных для лазерного излучения. Абляция импульсным лазерным излучением твёрдых материалов в жидкости является методом создания микроструктур с характерными размерами порядка диаметра лазерного пучка. Абляция, происходящая при импульсном лазерном облучении границы раздела «сапфир/поглощающая жидкость», является методом получения отверстий микронных размеров с высоким аспектным отношением в сапфировых подложках. Лазерное облучение границы раздела «сапфир/поглощающая жидкость» позволяет реализовать локальное эпитаксиальное осаждение оксидных плёнок на поверхности сапфира с пространственным разрешением порядка диаметра лазерного пучка. Отжиг в воздухе сапфировой подложки с осаждёнными на её поверхности микроструктурами из оксида хрома (Сг203), полученными локальным лазерным осаждением, приводит к формированию микроструктур из рубина на поверхности сапфировой подложки. Таким образом, результаты по локальному легированию сапфира представляют интерес для технологий тонкоплёночной оптоэлектроники.

Апробация работы. Научные результаты, полученные в диссертации, докладывались на международных симпозиумах Европейского общества материаловедения (European Material Research Society) «Лазерное воздействие на поверхность и тонкие плёнки» E-MRS'96 (Страсбург, 1996), E-MRS'97 (Страсбург, 1997), E-MRS'98 (Страсбург, 1998), на 2-ом российском симпозиуме «Процессы тепломассопереноса и рост монокристаллов и тонкоплёночных структур»

12

Обнинск, 1997), на Международной конференции по росту и физике кристаллов (Москва, 1998), а также на научных семинарах ИОФАН.

Публикации. Основные результаты диссертации изложены в 10 статьях, опубликованных в 1996-1999 г. в отечественных и зарубежных журналах.

Личный вклад автора. Цель работы и методы исследований были сформулированы Г.А.Шафеевым. Математическое моделирование процессов проводилось совместно с Н.А.Кириченко. Личный вклад автора состоял в проведении экспериментов и анализе результатов. Все вошедшие в диссертацию научные результаты получены лично автором или при его непосредственном участии.

3.5. Выводы к главе 3

1. При воздействии импульсным лазерным излучением наносекундной длительности на границу раздела «сапфир/поглощающий водный раствор» реализуется эпитаксиальный рост оксидных плёнок на сапфире. Из водных растворов Сг03, БеСЬ и КМп04 на поверхности сапфира осаждаются эпитаксиальные плёнки оксидов Сг203, Ре203 и Мп02, соответственно.

2. В области максимума температуры в жидкости образуются оксидные наночастицы, которые конденсируются на холодной подложке в процессе расширения парогазового пузырька.

Заключение. Основные результаты диссертации

1. После абляции импульсным лазерным излучением поликристаллического карбида кремния в химически нейтральной жидкости химический состав его поверхности идентичен исходному.

2. При воздействии на поликристаллический карбид кремния излучением лазера на парах меди в воздухе изменяется его химический состав. На поверхности образуется слой продуктов абляции, состоящий из окислов кремния и элементарного кремния.

3. Частицы элементарного имеют характерные размеры около 30 нм. Эти частицы являются центрами каталитического осаждения Си и N1 из растворов для химической металлизации.

4. При облучении границы раздела сапфира с поглощающей жидкостью излучением лазера на парах меди происходит абляция поверхности сапфира.

5. Абляция поверхности сапфира при облучении границы раздела сапфира с поглощающей жидкостью начинается после временной задержки.

6. Механизмом абляции прозрачного твёрдого тела при импульсном лазерном облучении его границы с поглощающей жидкостью является воздействие на поверхность твёрдого тела импульсов давления, которые возникают в жидкости при поглощении в ней лазерного излучения.

7. При воздействии импульсным лазерным излучением наносекундной длительности на границу раздела «сапфир/поглощающий водный раствор» реализуется эпитаксиальный рост оксидных плёнок на сапфире. Из водных растворов

Сг03, РеС13 и КМп04 на поверхности сапфира осаждаются эпитаксиальные плёнки оксидов Сг20з, Ре203 и Мп02, соответственно.

8. Прозрачное твёрдое тело при лазерном облучении импульсами наносекундной длительности границы раздела «твёрдое тело/поглощающая жидкость» в процессах абляции и осаждения во время действия лазерного импульса и после его окончания практически не нагревается.

9. В области максимума температуры в жидкости образуются оксидные наночастицы, которые конденсируются на холодной подложке в процессе расширения парогазового пузырька.

В заключение хочу выразить глубокую благодарность моим научным руководителям Г.А.Шафееву и Н.А.Кириченко, определившим направление выполненных в диссертации исследований, А.В.Симакину и А.А.Лялину - за ценные советы и помощь в экспериментальной работе, В.В.Воронову - за проведение рентгеноструктурного анализа образцов и обсуждение полученных результатов, а также С.В.Лавршцеву, Е.Н.Лубнину, А.И.Мунчаеву и Е.Д.Образцовой, предоставившим возможности для экспериментального исследования образцов при помощи различных методик.

1. Springer Series in Material Science, Vol.28, Laser Ablation, Editor: J.C. Miller, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 1994.

2. Bauerle D., Laser Processing and Chemistry, 2nd edn., Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 1996.

3. Interfaces Under Laser Irradiation, Eds. L.D. Laude, D. Bauerle, M. Wautelet, Martinus Nijhott Publishers, Boston, Lancaster, 1987.

4. Laser Microfabrication, Thin Film Processes and Lithography, Eds. D.J. Ehrlich, J. Y. Tsao, Academic Press, Boston, New York, London, Tokyo, 1989.

5. Excimer Lasers: The Tools, Fundamentals of Interaction with Matter, Applications, Ed. L.D. Laude, NATO ASI Series, Kluwer Academic Publishers, 1993.

6. Аскарьян Г.А., Прохоров A.M., Чантурия Г.Ф., Шипуло Г.П., Луч оптического квантового генератора в жидкости, ЖЭТФ, 1963, т.44, № 6, с. 2180-2182.

7. Бункин Ф.В., Карлов Н.В., Комиссаров В.М., Кузьмин Г.П., Возбуждение звука при поглощении лазерного импульса поверхностным слоем жидкости, Письма в ЖЭТФ, 1971, т. 13, с.479-483.

8. Бункин Ф.В., Комиссаров В.М., Оптическое возбуждение звуковых волн, Акуст. ж., 1973, т. 19, № 3, с.305-320.

9. Лямшев Л.М., Седов Л.В., Оптическая генерация звука в жидкости. Тепловой механизм. (Обзор), Акуст. ж., 1981, т.27, № 5, с.5-29.

10. Лямшев Л.М., Наугольных К.А., Оптическая генерация звука. Нелинейные эффекты. (Обзор), Акуст.ж., 1981, т.27, № 5, с.641-668.

11. Feiock F.D., Goodwin L.K., Calculation of laser-induced stresses in water, J.Appl.Phys., 1972, vol.43, № 12, p.5061-5064.

12. Коротченко А.И., Самохин A.A., Сидорин A.B., Поведение давления в жидкости при поглощении интенсивного ИК излучения, Крат. сооб. ФИАН СССР, 1979, №3, с.35-39.

13. Park Н., Kim D., Grigoropoulos С., Tam A., Pressure generation and measurement in the rapid vaporization of water on a pulsed-laser-heated surface, J.Appl.Phys., 1996, vol.80, №7, p.4072-4081.

14. Kim D., Ye M., Grigoropoulos C., Pulsed laser-induced ablation of absorbing liquids and acoustic-transient generation, Appl.Phys.A, 1998, vol.67, p. 169-181.

15. Витшас А.Ф., Григорьев В.В., Корнеев В.В., Сенцов Ю.И., Терентьев А.П., Возбуждение импульса давления в воде при взрывном испарении приповерхностного слоя, Письма в ЖТФ, 1983, т.9, вып.23, с. 1442-1445.

16. Geiger М., Becker W., Rebhan Т., Hutfless J., Lutz N., Increase of efficiency for the XeCl eximer laser ablation of ceramics, Appl.Surf.Sci., 1996, vol.96-98, p.309-315.

17. Morita N., Ishida S., Fujimori Y., Ishikawa K., Pulsed laser processing of ceramics in water, Appl.Phys.Lett., 1988, vol.52, №23, p. 1965-1966.

18. Brook M.R., Shafeev G.A., Laser-assisted engraving of HgCdTe under a liquid layer, Appl.Surf.Sci., 1992, vol.54, p.336-440.

19. Simakin A.V., Shafeev G.A., Laser-assisted etching-like damage of Si, Appl. Surf Sci., 1995, vol.86, p.422-427.

20. Simakin A.V., Shafeev G.A., Laser-assisted etching-like damage of Si, Laser Physics, 1994, №3, p.610-614.

21. Simakin A.V., Shafeev G.A., Spatially confined laser-induced damage of Si under a liquid layer, Appl. Phys. A, 1992, vol.54, р.311-316.

22. Shafeev G.A., Obraztsova E.D., Pimenov S.M., Laser-assisted etching of diamonds in air and in liquid media, Appl. Phys. A, 1997, vol.65, p.29-32.

23. Shafeev G.A., Laser-assisted etching of diamonds in air and in liquid media, Proc. ofSPIE, 1998, vol. 3484, p. 149-157.

24. Ogata K., Miyanagi N., Suzuki K., Shimomura Y., Ceramics cutting with pulsed Nd:YAG laser, Proc.oflCALEO, 1990, p.261-270.

25. Hibi Y., Enomoto Y., Kikuchi K., Shikata N., Ogiso H., Eximer laser assisted chemical machining of SiC ceramics, Appl. Phys.Lett., 1995, vol.66, №7, p.817-818.

26. Воронов В.В., Долгаев С.И., Лялин А.А., Шафеев Г.А., Лазерное травление поверхности поликристаллического карбида кремния излучением лазера на парах меди, Квантовая Электроника, 1996, т.23, №7, с.637-641.

27. Dolgaev S.I., Lyalin А.А., Shafeev G.A., Voronov V.V., Fast etching and metallization of SiC ceramics with copper-vapor-laser radiation, Appl. Phys. A, 1996, vol.63, p.75-79.

28. Dolgaev S.I., Voronov V.V., Shafeev G.A., Fauquet-Ben Ammar C., Themlin J.-M., Cros A., Marine W., Laser-induced fast etching and metallization of SiC ceramics, Appl. Surf. Set, 1997, vol. 109/110, p.559-562.

29. Sanchez-Lavega A., Salazar A., Ocariz A., Pottier L., Gomez E., Villar L.M., Macho E., Thermal cUffusivity measurements in porous ceramics by photothermal methods, Appl.Phys.A, 1997, vol.65, p. 15-22.

30. Свойства органических соединений. Справочник, под ред. А.А.Потехина, Л., Химия, 1984, 520 с.

31. Шафеев Г.А., Лазерная активация и металлизация диэлектриков, Квантовая Электроника, 1997, т.24, №12, с. 1137-1144.

32. Shafeev G.A., Laser-assisted activation of dielectrics for electroless metal plating, Appl.Phys.A, 1998, vol.67, p.303-311.

33. Godbole M.J., Lowndes D.H., Pedraza A.J., Eximer laser ablation and activation of SiOx and SiOx-ceramic couples for electroless copper plating, Appl.Phys.Lett., 1993, vol.63, №25, p.3449-3451.

34. Pimenov S.M., Shafeev G.A., Smolin A.A., Laptev V.A., Loubnin E.N., Laserassisted selective area metallization of diamond surface by electroless nickel plating, Appl.Phys.Lett, 1994, vol. 64, p.1935-1939.

35. Вансовская K.M., Металлические покрытия, нанесённые химическим способом, Л., Машиностроение, 1987, 104 с.

36. Иверонова В.И., Ривкевич Г.П., Теория рассеяния рентгеновских лучей, М., Изд-во МГУ, 1978, 277 с.

37. Stauter С., Gérard P., Fontaine J., Engel T., Laser ablation acoustical monitoring, Appl. Surf. Sci., 1997, vol. 109/110, p. 174-178.

38. Кржижановский P.E., Штерн З.Ю., Теплофизические свойства неметаллических материалов (карбиды), Л., Энергия, 1977.

39. Dahotre N., МсСау Т., МсСау М., Laser induced reaction bonding of high temperature structural ceramics, Proc. oflCALEO, 1994, p. 105-115.

40. Зайдель А.Н.,Шрейдер Е.Я., Спектроскопия вакуумного ультрафиолета, М., Наука, 1967, 472 с.

41. Технологические лазеры!Справочник, в 2 т., под.ред. Г.А.Абильсиитова, Т.2, М., Машиностроение, 1991, 544 с.

42. Рубин и сапфир, под. ред. Классен-Неклюдовой М.В. и Багдасарова Х.С., М., Наука, 1974, 236 с.

43. Долгаев С.И., Лялин А.А., Симакин А.В., Шафеев Г.А., Лазерно-стимулированное травление сапфира излучением лазера на парах меди, Квантовая Электроника, 1996, т.23, №1, с.67-70.

44. Dolgaev S.I., Lyalin А.А., Simakin A.V., Shafeev G.A., Fast etching of sapphire by a visible range quasi-cw laser radiation, Appl. Surf. Sci., 1996, vol.96-98, p.491-465.

45. Dolgaev S.I., Lyalin A.A., Simakin A.V., Shafeev G.A., Voronov V.V., Fast etching and metallization of via-holes in sapphire with a help of radiation by a copper vapor laser, Appl. Surf. Sci., 1997, vol. 109/110, p.201-205.

46. Dreyfus R.W., McDonald F.A., von Gutfeld R.J., Energy deposition at insulator surfaces below the ultraviolet photoablation threshold, J.Vac.Sci.Technol.B, 1987, vol.5, №5, p. 1521-1527.

47. Jones S.C., Braunlich P., Casper R.T., Shen X., Kelly P., Recent progress on laser-induced modifications and intrinsic bulk damage of wide-gap materials, Optical Engineering, 1989, vol.28, №10, p. 1039-1067.

48. Tarn A.C., Brand J.L., Cheng D.C., Zapka W., Picosecond laser sputtering of sapphire, Appl. Phys. Lett., 1989, vol.55, p.2045-2047.

49. Shafeev G.A., Laser activation and metallization of oxide ceramics, Advanced materials for optics and electronics, 1993, vol.2, p. 183-189.

50. Dreyfus R.W., McDonald F.A., von Gutfeld R.J., Surface deformation measurements following eximer laser irradiation of insulators, Appl. Phys.Lett,, 1986, vol. 49, №17, p. 1059-1061.

51. Dreyfus R.W., McDonald F.A., von Gutfeld R.J., Laser energy deposition at sapphire surfaces studied by pulsed photothermal deformation, Appl.Phys.Lett., 1987, vol.50, №21, p. 1491-1493.

52. Pini R., Salimbeni R., Toci G., Vannini M., Imroved drilling of crystals and other optical materials by a diffraction limited copper vapor laser, Proc. of Int. Conf. on LASER'93, 1994, STS Press, p.37-41.

53. Земсков К.И., Исаев A.A., Казарян M.A., Петраш Г.Г., Лазерный проекционный микроскоп, Квантовая электроника, 1974, №1, с. 14-15.

54. Shafeev G.A., Simakin A.V., Lyalin А.А., Obraztsova E.D., Frolov V.D., Laser writing of glassy carbon features on Si from liquid toluene, Appl. Surf. Sci., 1999, vol. 138139, p.461-464.

55. Carley V.P., Liquid-Vapor Phase-Change Phenomena, Hemisphere, Washington, 1992.

56. Blake J.R., Gibson D.C., Growrh and collapse of a vapour cavity near free surface, J.FluidMech, 1981, vol.111, p.123-140.

57. Зельдович Я.Б., Райзер Ю.П., Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений, М., Наука, 1966, 686 с.

58. Tomita Y., Shima S., Mechanisms of impulsive pressure generation and damage pit formation by bubble collapse, J.FluidMech., 1986, vol.169, p.535-564.

59. Benjamin T.B., Ellis A.T., The collapse of cavitation bubbles and the pressures thereby produced against solid boundaries, Phil.Trans.R.Soc.Lond. A, 1966, vol.260, p.221-240.

60. Vyas В., Preese C.M., Stress produced in a solid by cavitation, J.Appl.Phys., 1976, vol.47, p.5133-5138.

61. Blake J.R., Taib B.B., Doherty G., Transient cavities near boundaries. Part 1. Rigid boundary, J.FluidMech., 1986, vol.170, p.479-497.

62. Vogel A., Lauterborn W., Timm R., Optical and acoustic investigations of the dynamics of laser produced cavitation bubbles near solid boundary, J. Fluid Mech, 1989, vol.206, p.299-338.

63. Воронов B.B., Долгаев С.И., Шафеев Г.А., Эпитаксиальное лазеро-стимулированное осаждение оксида хрома (III) на поверхности сапфира, Краткие сообщения по физике ФИАН, 1996, №5-6, с.39-43.

64. Воронов В.В., Долгаев С.И., Шафеев Г.А., Гетероэпитаксиальный рост пленок при лазерном облучении границы раздела «сапфир/поглощающая жидкость», Доклады Академии Наук, 1998, т.358, №4, с.465-469.

65. Dolgaev S.I., Voronov V.V., Shafeev G.A., Heteroepitaxial growth of oxides on sapphire induced by laser radiation in the solid-liquid interface, Appl. Phys.A, 1998, vol.66, p.87-92.

66. Миркин Л.И., Справочник no рентгеноструктурному анализу поликристаллов, ГИФМЛ, М., 1961, 863с.

67. Dolgaev S.I., Kirichenko N.A., Shafeev G.A., Deposition of nanostructured Сг20з on amorphous substrates under laser irradiation of the solid-liquid interface, Appl. Surf. Set, 1999, vol. 138/139, p.449-454.

68. Кржижановский P.E., Штерн З.Ю., Теплофизические свойства неметаллических материалов (окислы), Л., Энергия, 1976, 293 с.

69. Физические величины: Справочник, Под. ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова, М., Энергоатомиздат, 1991, 1232 с.

70. Карлов Н.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С., Лазерная термохимия, 2-е изд., М., ЦентрКом, 1994, 368 с.

71. Karlov N.V., Laser-induced chemical reactions, Appl. Optics, 1974, vol.13, p.301-309.

72. Bunkin F.V., Kirichenko N.A., Luk'yanchuk B.S., Thermochemical action of laser radiation, So v. Phys. Uspekhi, 1982, vol.25, p.662-687.

73. Бункин Ф.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С., Термохимическое действие лазерного излучения: фундаментальные проблемы, кинетика, технология, Изв.АН СССР, Сер. физ., 1987, т.51, с.1116-1132.

74. Bunkin N.F., Dmitriev А.К., Luk'yanchuk B.S., Shafeev G.A., Szorenyi Т., Thermodiffusional instability induced by laser heating of absorbing electrolytes, Appl.Phys. A, 1986, vol.40, p. 159-163.

75. Bunkin N.F., Luk'yanchuk B.S., Shafeev G.A., Thermal diffusion instability and formation of structures as a result of laser heating of absorbing liquids, So v. J. Quantum Electronics (USA), 1986, vol.15, p. 1581-1584.

76. Bunkin N.F., Luk'yanchuk B.S., Shafeev G.A., Thermoelectrochemical instability in the laser heating of absorbing electrolyte solutions, Bull.Ac.Sci. USSR, Phys.Ser. (USA), 1987, vol.50, p. 127-131.

77. Ахметов H.C., Неорганическая химия, M., Высшая школа, 1969, с.640.

78. Глинка Н.Л., Общая химия, 23 изд., Л., Химия, 1984, 704 с.

79. Goldstein A.N., The melting of silicon nanocrystals: Submicron thin-film structures derived from nanocrystal precursors, Appl.Phys. A ,1996, vol.62, p.32-37.

80. Химическая экциклопедия, гл. ред. И.Л. Кнуньянц, т. 2, М., Изд. «Сов. энциклопедия», 1990, с. 254-255.