Исследование высоковольтного разряда с осциллирующими электронами при низких давлениях и его некоторые применения тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

- ,ч ^ '

r¡ О v/.-i

U Ъ'ЗПгР'дШ'ЪЪЬП- 11ЯУ№Ъ аШУОЦУ'И Vi II ¡b¡i^¡plpvjp ''ppinniufpuij :;>pnp;k:fííbpp pfimnptnri

' ¿«ЛЛиЛ/гсф Sbp'^hisprt¡al¡

"Ourjpjjrjnihr t¿ b!¡xnpr,SSbp"'J p\npdpv;:hvL :n njmpitjií '(i ¡ттаГГтпфртр^а'Лр gmóp 5¡¡¿ind'íi¡:pp upujifiuíluhpmif hi íipш nprp ijppwnmpjni r

(ОШМ- 'Щ v.i cj "sjp Qfajifjie) StfHjljlfiQ-iTiupbifimnfiljivijiuil Q/nfinipjniß , :.id:np

ijp;.'i:v!jnifj ::¡:n:¡p:;¡tTÍ/p ¡ , <jp

ü&qifwc,pp

orù'i&b' 1996

H АД И О КАЛ Ъ î LA Я АКАДЕМИЯ НАУК РА Институт П|)нюг;ухз?ъь\ Проблем Физики I I АН РА

Эмма Ивановна Тср-Гесоркяп

"Иселсдованкс гксотсопожтного разряда с осщьшщуузощими электронллш при шюхзек дябдсшшх и'его нокоторьи; пртипюншг' (01.04.08 - Фитка плазмы) Авгорефсшгт дисеертащш на ссшскашю ученой стелют кандидата физ^ско-матсма'птчссюгч. изук

ЕРЕВАН - 1996

ll^/oiuintußl'p ¡yiuviptauurJbi l йрЬпиГф ЩЬиии^тВ

lаищширйир pjlrthiu(r,i'.p ¡¡ффрщр ппГррпйппГ_ __

%l:iüiй\1йП})Щ1фу' Шк фа. А % SJäßL^jtüU

/п f l ~ /> ' f ' ' »'•* ' • '1 I ' )'■____ _ -......."'_____'

7

vrspxx'iutiip-Japiripuivpjniuibp ippq-siivp. qpm. nnijmnp

t и. Чяця»}ш8

fbhq-ifivp. (rhin. pkhliiudjsi

Iii tu i

II. ß. U.piuifjiuil Umufiinmvp (jwtj;f;v{jhpirjnip-jn(i' ¿.¿. fttä 3)fiqfsi[iuffiu{i

hl ui in q в in в ipj n l ßßhpj.i h ßu ¡fijh .vs i in

Я¡¿¿¡"i41üiipjлi ßp ¡jtu]uiu;;n t "Jtty .' /__1996p.

diu Up а а II ¿i ш/iqfibiyp ^¡piiiiuuijiüfi ¡ypnp[liFiIbpp

pßuvifunniuih 021 lFrü-jüivqpui:vn;iu?& fonphpqh ßpiunnui,

ЬшидЬi?375014, ЦрЬш&К ¿р. bhpufiujmGф.'25, U Ш& &MI> li.inbßiupinumpjvjßp ¡¡iuph[p £ dmßapwßiu[ AA 9 Uli, ß)!! 'Vi' ЧрщгяркВпиГ

öBqtfib-фр isnmfijm&t W' . //__1996p.

iruiuStuqjumuljiuu fiuphpqp . &pq-iiwp.(flim. рЫ/Ишдт. p p; а; и Ii;;; f: fiv.p inn i r, iup W. Й- Urjpaujiuß

Работа выполнена на кафедре Общей физики Ереванского Государственного Узспперсзггста. Н«учный руководитель докгор фкз-мат паук?

Р.П. Баберцян Официальные оппоненты: доктор физ-мат. П. С. Погости

#канд. физ -мат. А. Р. Арамян Ведущая организация: Инсппуг физических

жхлецовшнгн КАП РА^

Защита состоится: " 1996г. в /£>__часов на

Заседании Спсхззиии вдрешштого Совета 021

при Институте прикладных проблем физики HAH РА

по адресу:-375014, Ереван-14, ул. Гр. Иврсисяна, 25

ИППФР1ЛИРА ■ С диссертацией можно ошакомшея в библиотеке Института прикладных проблем физики HAH РА

Авторефератразослан "Л// - /У__19:/6г.

Ученый секретарь СпсциашгзироБашюго Совета кандидат физ-мат. наук Хм.А.Саркисян

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность проблемы_. Источники энергичных потоков заряженных частиц нашш широкое практическое применение во многих областях науки и техники, технологии, медицины и т.д. В связи с этим представляют большом интерес вопросы физических и технических основ их работы.

Одной из важнейших, задач при разработке источников заряженных частиц является конструирование простых электродных систем нормирования пучков. Б числе таких систем - высоковольтный разряд с осциллирующими электронами ( 03 ) во внешнем стационарном магнитном поле С разряд Пеннинга ), применяемый для многих практических целей ( магниторазряцные манометры, магнитораз-рядные высо ко вакуумные насосы, ионные и электронные источники, ионные двигатели, устройства для получения одно- и многокомпонентных тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков и т.д. ).

Толчком к новому этапу интенсивного изучения разряда явился и интерес к термоядерным исследованиям С 1960 г. ).Это было связано с тем, что интенсивный газовый разряд является возможным источником высоких температур. Большое число работ в этот период посвящено изучении формирования и поведения плазмы в разряде, исследованию осцилляции и природы нестабильностей.что помогает лучше понять сложный механизм разряда, а также открывает новые возможности для его технического применения. Широкий спектр применения высоковольтного разряда с 0Э обусловлен рядом его достоинств: возможностью управления параметрами выходящих пучков, генерацией и ускорением заряженных частиц, универсальностью по газу, отсутствием накаленных элементов, что значительно увеличивает время жизни источника и др.

В настоящий момент усилия исследователей направлены на поиск существенного улучшения энергетических и технических характеристик указанных устройств ( снижение потенциала зажигания разрядного промежутка, интенсификация ионизационных процессов, понижение цены получения иона, упрощение конструкции электродной системы разрядного промежутка и др.).

Во многих исследованиях эти вопросы оставались либо вне поля зрения, либо решались частично путем подбора физических пара-

метров ( анодного напряжения, индукции магнитного поля, давле ния газа, материала катодов ), не уделяя достаточного внимани геометрическим, варьированием которых можно существенно влият на режим горения разряда, т.е. на основные физические процесс в разряде.

Крайне актуально определение оптимального целенаправленного сочетания физических и геометрических параметров при реш нии вышеперечисленных задач. Актуальность проблемы требовала тщательного изучения различных сторон механизма горения разря что необходимо для разработок методов оптимизации основных на раметров вышеуказанных современных электровакуумных устройств л создание но вы а элективных источников заряженных частиц.

делью_работы являлось исследование разряда с ОЭ при низк. давлениях в различных режимах его работы для выяснения мехаки ма его горения и управления родом потоков заряженных частиц, зажигания и перехода разряда от режима с отрицательным прост; ственным зарядом к режиму квазиплазменному в зависимости от ф1 зических и геометрических параметров промежутка и на основе 1 лученных' данных разработка эффективного источника заряженных частиц.

Ддя решения поставленной задачи разработаны:

1. Метод ,. подвижного катода ", позволяющий осуществлять прерывное изменение компонентов напряженности электрического г ля по радиусу £с и по оси в горящем разряде и выясни их влияние на сризичесике процессы, протекающие в объеме разря; ного промежутка.

2. Метод усиления токов заряженных частиц, извлекаемых из осевого отверстия в катоде.

3. Способ формирования различного рода потоков заряженных частиц и их параметров внутри одной и той же ячейки.

_ Научная новизна. ^

I» Введен новый геометрический параметр » где Д

длина,разрядного промежутка ячейки, - диаметр анода, и по

зано,"что он,наряду с физическими,является важным параметром разряда. С его изменением можно весьма эффективно Еоздействова на распределение компонентов напряженности электрического поля Найден предел отношений средних значений электрических полей 1и оси и по радиусу, определяющий работу ячейки Пеннинга в качест:

- 5 -

источника различного рода заряженных частиц.

2. Введен новый параметр - .. критическая длина зажигания " и определена критическая длина разрядного промежутка, меньше которой разряд не зажигается ни при каких значениях физических параметров.

3. Впервые установлена зависимость минимума потенциала зажигания от геометрического параметра разрядного промежутка при данных условиях.

4. Впервые показано, что выход высокоэнергичных электронов из отверстия в центре катода связан с ВЧ полями поверхностных волн плотности пространственного заряда прианодного азимутально дрейфующего электронного слоя ( АДЭС ), активность которого усиливается в состоянии неустойчивого горения разряда, перерастая

в даокотронную неустойчивость, определена зависимость частоты диокотронных колебаний от геометрического параметра разрядного промежутка"^ при данных условиях и впервые установлена

возможность стимулирования ВЧ колебаний диокотронного типа лишь его изменением. На основе полученных результатов создан электронный источник о холодными катодами.

5. Найдена возможность усиления и фокусировки пучков заряженных частиц внутри источника, что позволило оптимизировать основные параметры ионного и электронного источника, ионного двигателя, магниторазрядного насоса.

6. Предложен универсальный источник заряженных частиц на основе разряда с 03.

Научная новизна и практическая_эначимость полученных экспериментальных результатов состоит в том, что они позволяют определить условия, при которых разряд с ОЭ может быть использован в качестве источника ионов, электронов или компенсированных пучков. В работе представлены экспериментальные данные, позволяющие получить новые сведения о механизме горения разряда, что позволяет решать такие важные задачи, как расчет разрядного тока в разряде с ОЭ, скорость откачки магниторазрядного насоса, коэффициента катодного распыления при нанесении многокомпонентных пленок и преобразователей солнечной энергии в электрическую и т.д.

Разработанный " метод подвижного катода " является удобны?.? способом оптимизации основных параметров ионного источника, магниторазрядного насоса и источника электронов, позволяет получить узкоколлимированные пучки заряженных частиц с заданными парамет-

- <? -

рами не прибегая к использованию каких-либо дополнительных вытягивающих систем и снизить энергетические затраты на создание ионов и электронов в разрядном промежутке, оптимизировать режим зажигания разряда, выбрать целенаправленный режим горения разряда.

Полученные результаты реализованы при создании малогабаритных ионного и электронного источников, универсального ионно -электронного источника и указывают на новые возможности разряда с 03 - эффективное совмещение двух функций: генерацию и ускорение электронов в сторону катодов.

Разработан электронный инжектор с холодными катодами, который в электронно-лучевой трубке в некоторых случаях может заменить термокатода.

Основные_положения3ивыносрше_на защиту__

I. Экспериментально установленное весьма существенное влияние на механизм горения высоковольтного разряда с ОЭ геометрического параметра Вот. , который при данных условиях играет такую же определяющую роль в физических процессах, как и физические параметры - анодное напряжение На , индукция магнитного поля В, давление Р.

2. Установление функциональной зависимости потенциала

1>а и распределения потенциала в горящем разряде от геометрического параметра при данных условиях.

3. Экспериментальное исследование зависимости потенциала зажигания высоковольтного разряда с ОЭ от длины разрядного промежутка при данном неизменном диаметре анода, определение оптимального значения длины разрядного промежутка, на которую при данных условиях приходится минимум потенциала зажигания разряда

( ^¿.тт. ), а также области значений длин зажигания ( лЕ ь ), в которой может существовать самостоятельный разряд.

4. Выяснение влияния геометрического параметра на возможность управления родом потоков заряженных частиц, извлекаемых из отверстия в центре неподвижного катода ячейки и оптимизации их 0( ноеных характеристик: величины и плотности тока, эффективности извлечения, фокусировки, снижение цены получения иона,экономичности источника.

5. Предложен метод „ подвижного катода ", позволивший осущесз

вить непрерывное изменение компонентов напряженности электрического поля по радиусу £г и по оси в горящем разряде, существенно влияющих на физические процессы горения разряда.

6. Установление характера изменения разрядного тока, тока ионного и электронного пучка, их осевых компонентов и плотности в зависимости от геометрического параметра разрядного промежутка.

7. Исследование действия ячейки Пеннинга в режиме диокот-ронной неустойчивости.Установлено, что выход электронов возникает при наличии ВЧ колебаний в разрядном токе и в электронном пучке.

8. Впервые экспериментально выявленная возможность возбуждения ВЧ колебаний диокотронного типа изменением лишь геометрического параметра разрядного промежутка при неизменных физических.

9. Экспериментальное определение энергетического спектра аксиальных электронов и обнаружение выхода высокоэнергичных электронов из осевого отверстия катода при наличии ВЧ колебаний.

10. Предложение способов усиления токов заряженных частиц двумя путями:

а) совмещением соосных ионного и электронного источников, имеющих общий катод с отверстием;

б) использованием ячейки с подвижным катодом. Получено существенное усиление электронного тока ( в 10 и более раз ).

11. Исследование возможности использования ячейки с переменным геометрическим параметром в качестве источника аксиальных потоков электронов, ионов или скомпенсированных по току заряженных частиц и выяснение условий их усиления и фокусировки.

12. На основе исследований, указанных выше, сконструирован ионно - электронный источник, разработан способ получения электронных и ионных пучков, разработан электронный источник для электронно - лучевой трубки.

_Апробация_работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались 1га 2 -ом, 4 -ом, 5 -ом, 8 -ом, 9 -ом Всесоюзных семинарах по физике и технике интенсивных источников ионов и ионных пучков ( г. Киев 1379, 1981, 1982, 1984, 1985, 1987 г. ) на 2- ом Всесоюзном семинаре по элементарным процессам в плазме электроотрицательных газов С г. Ереван, 1984 г. ),на Всесоюзной конференции по физике космической плазмы ( г. Ереван, 1989 г.),

на научных сессиях профессорско-преподавательского состава физического факультета ЕГУ.

_Публшсации._ Основные результаты опубликованы в 24 работах, ( из них 4 авторских свидетельства ). Список приведен в конце автореферата.

_С трукту^_и_объем_рабогы. _

Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения кратких выводов и библиографического списка.

диссертация содержит 194 страницы машинописного текста, 50 рисунков, 4 таблиц, список литературы включает 137 наименовании.

_ С офертами е_работы._

Во введении обоснована актуальность теш, сформулированы ее'цель, общее состояние проблемы, научная новизна и практическая ценность полученных результатов, приведены основные защищаемые положения и кратко описано содержание работы.

_В_первоЁ главе дан обзор литературы, в котором проанализированы Условия горения разряда Пеннинга в стационарном, переходном и втором режимах в зависимости от физических параметров, рассмотрена кинетика электронов и ионов, проанализирован механизм возникновения неустойчивоотей диокотронного типа.

_Во второй_главе проведено исследование электрических характеристик пеннинговского разряда с холодными катодами с меняющимися э горящем разряде длиной разрядного промежутка и его диаметра. Изменение длины разрядного промежутка осуществлялось магнитным устройством, с помощью которого один из катодов в вакууме в процессе эксперимента можно было перемешать внутри анодного цилиндра относительно неподвижного катода. При этом длину разрядного промежутка можно было менять с точностью до 0,1 см в интервале от 0,5 + II см. Этот метод был назван >. методом подвижного катода ". Использование его в ячейке с постоянным диаметром позволило определить распределение потенциала центра ц, , вдоль оси разрядного промежутка, а следовательно, и изменение компонент напряженности электрического поля ( Ег и £я). Исследования показали, что с помощью этого метода можно оптимизировать не только потенциал зажигания, но и ряд других основ' ных физических параметров ионных и электронных источников.Разработанный ч метод подвижного катода " является самым эвдектив-

ным средством для определения оптимальных параметров указанных электровакуумных приборов.

1. Исследовано распределение электрических полей по оси м по радиусу ячейки и выяснено его влияние на режим горения разряда. «Методом подвижного катода " установлено, что при изменении геометрического параметра потенциал центра ¿/„ меняется нелинейно. Аналогичные измерения проведены в электролитической ванне.

2. Изучено влияние геометрии разрядного промежутка на зажигание разряда с 03 и получены новые сведения о его пробойных характеристиках. Разработанным методом подвижного катода исследована зависимость потенциала зажигания от геометрического параметра разрядного промежутка ячейки Пеннинга и найдены условия его минимизации при давлениях 4 »1+ 1»ПГ® Тор в широком интервале значений магнитного поля. Определено оптимальное значение дллны разрядного промежутка, при которой возникает самостоятельный разряд и область длин, в которой он может существовать, что может быть использовано для выбора экономически выгодных режимов работы ячейки и ее конструкции. Экспериментально измерена зависимость потенциала зажигания от индукции магнитного поля В, анодного напряжения Ua . давления Р в ячейке Пеннинга с переменной длиной. Выяснено, что кривые зажигания U3 ( £отн#) Для всех значений магнитной индукции и давления содержат минимум

Иобласти коротких разрядных промежутков и две ветви, растущие влево и вправо от него в зависимости от геометрического параметра.

Появление левой вегви объясняется тем, что с уменьшением расстояния между катодами, как показывает эксперимент, потенциал центра разрядного промежутка сильно понижается, что приводит к ослаблению осевого компонента напряженности электрического поля ( Ez ) и увеличению радиального - . С другой стороны, при этих условиях, уменьшаются области, из которых ионы попадают в центр катода. Обе эти причины приводят к тому, что вторичная электронная эмиссия из центральной части катода, играющей важную роль для зажигания понижается. Поэтому для усиления ионизационных процессов требуется увеличение анодного напряжения ( потенциал зажигания резко увеличивается ).

Правая ветвь кривой зажигания объясняется тем, что с увеличением длины разрядного промежутка ( расстояние между катодами )

потенциал центра увеличивается, что приводит к увеличению и к уменьшению - . Если зачищиками электронных лавин являются первичные электроны из катода и вторичные осевые электрс ны, то для развития электронных лавин решающую роль играет пол ;£;г . Величина Ег , обеспечивающая зажигание в данных уело виях достигается увеличением анодного напряжения.

Исследованы зависимости потенциала зажигания от давления для разрядных промежутков различной длины. Установлено уменьшение абсолютных значений потенциала зажигания II3 ( £ отн>) при увеличении давления.

Зависимости потенциала зажигания от индукции магнитного п ля показывает, что с увеличением индукции магнитного поля крив зажигания поднимается вверх, т.е. потенциал зажигания увеличивается. Известно, что с ростом индукции магнитного поля умен шается радиус циклоиды электрона { при В0 ? В0 крйТ>) и двигая по ней электрон не набирает достаточной энергии для'ионизации. Поэтому необходимо увеличение анодного напряжения, чтобы на эт малой дуге траекторий создать условия, благоприятные для иониз, ции. В этих, условиях потенциал зажигания увеличивается.

Впервые экспериментально показано, что при заданных значениях анодного напряжения, давления и магнитного поля существуе1 определенная длина разрядного промежутка, при которой зажигается разряд. Эта длина определялась следупцим образом. Подвижный катод плавно продвигался в сторону неподвижного катода до определенной длины, при которой зажигается разряд. Эта максимальная длина разрядного промежутка названа длиной зажигания ( Её величина зависит от индукции магнитного поля и растет с его увеличением. Этот важный параметр необходимо учитывать особенш при конструировании анодной ячейки магниторазрядных насосов ио; ных источников и т.д.

Приведенные экспериментальные данные представляют среднее значение от нескольких измерений. Ошибка измерения не превышала 12 %%

Проведено экспериментальное исследование характеристик ра: рядного тока Зр , полного тока пучка из осевого отверстие неподвижного катода и определена эффективность выхода пучка^ в зависимости от геометрических параметров разрядного прс межутка при данных физических параметрах. Показано, что даже не

значительное изменение геометрических параметров ( порядка I -- 2 мм ) существенно отражается на режим горения разряда, значительно изменяя как величину токов, так и их ход. Установлено, что экспериментальные зависимости Dp С Ротн,), С отн<) имеют сложный характер и свидетельствуют об изменении режимов горения разряда с изменением геометрического параметра разрядного промежутка.

_В_третьей_главе_ экспериментально исследованы вопросы генерации и ускорения аксиальных потоков электронов и предлагается объяснение механизма их извлечения вдоль магнитного поля.Ранее выход электронов был обнаружен в ряде работ, но в отличие от них, в настоящей работе основное внимание уделено выяснению влияния геометрического фактора на механизм генерации и ускорения аксиальных электронов в сторону катода. Исследование ячеек различных диаметров и неизменной длины выявило наиболее эффективный выход электронов для ячейки с диаметром анода с^ = = 20 мм с постоянной длиной 30 мм. По сравнении с другими ячейками она имеет самый низкий потенциал центра и была использована в качестве электронного источника ( ИЭ ). Экспериментально обнаружен выход высокоэнергичных аксиальных электронов.

Впервые дано объяснение этому аномальному явлению. Опыты показали, что появление электронов в пучке сопровождается ВЧ колебаниями в праанодном азимутально дрейфующем электронном слое С АДЭС ), с которым связаны высокочастотные поля, появляющиеся в разрядном промежутке, в частности, в приосевой области. Доказано, что эти колебания своими характеристиками совпадают с аномальными колебаниями, возникшими в магнетронах. Они были названы неустойчивостью диокотронного типа. Физическая картина имеет следующий характер. При критической концентрации электронов в АДЭС, на обеих поверхностях возникают волны плотности пространственного заряда, которые взаимодействуют между собой при определенной толщине АДЭС.

В результате взаимодействия на обоих поверхностях образуются электронные „спицы", из которых электроны выбрасываются как в приосевую область, так и на анод. После чего АДЭС переходит в устойчивое состояние. Так как в разряде ионизация продолжается, то картина неустойчивости с определенной частотой повторяется. Период повторения порядка 10~^с.

- 12 -

Дано качественное объяснение механизма ускорения электроне в сторону катода. Оно происходит за счет передачи энергии переменным самосогласованным полем на оси, связанным с неустойчивостью пространственного заряда в азимутально дрейфующем элек тронном слое. Экспериментально определены частоты и амплитуды ВЧ колебаний, установлен их характер ( диокотронный тип ).

Методом подвижного катода при данных физических параметрах удалось стимулировать возникновение режиманеустойчивого горения разряда и указать на возможность генерации потоков высокоэнергичных электронов и их эффективного выхода. Энергия выходящих электронов измерялась методом тормозящего потенциала и в условиях эксперимента оказалась в пределах 60 - 350 эВ. Экспериментально установлена протяженность ускорительного интервала разрядного промежутка в данных условиях и подтвержден диокотронный характер, возникающих в нем колебаний. Измерены зависимости ^ С £-отн>) и В ), ход зависимостей ( £0Т1и) аналогичен зависимости В ). Выявлено уменьшение частоты ВЧ колебаний с ¡юстом длины разрядного промежутка, что подтверждает исследованное во второй главе распределение напряженностей электрического поля. Измерена зависимость частоты ВЧ колебаний от давления \)( Р ). Ход экспериментальных кривых совпадает с данными работы Шурмана. Определена длина разрядного промежутка, при котором неустойчивость диокотроиного типа отсутствует. В зависимости от геометрического параметра она обнаружена в интервале от 2,7 - 5 отн. ед., выше которой в условиях эксперимента колебания диокотронного типа не обнаружены. Показано, что высокоэнергичные электроны появляются за осевым отверстием в катоде в условиях, когдавращающийся электронный слой пространственного заряда становится неустойчивым.

Серьёзное место при изучении разряда с 0Э занимают вопросы исследования процессов, развивающихся на электродах, что важно для уточнения откачного действя разряда, использования его при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Проведено качественное исследование влияния геометрии разрядного промежутка и неустойчивости горения разряда на картину катодного распыления. Распыление в разряде с 0Э происходит в особых условиях. Катоды подвергаются действию потоков высокоэнергичных ионов и вызывают сложное взаимодействие с поверхностью Поверхности катодов, работавших в разрядном промежутке с посто-

янной длиной и различными радиусами были напылены •> кольцами различной толщины Поверхности же катодов работающих в разрядных промежутках с плавно меняющейся в горящем разряде длиной, не имели напыленных колец, а были чистыми. Картины распыления катода можно связать с режимом горения разряда, изменяющим в зависимости от параметров положения областей ионизации.

Показано, что методом подвижного катода в горящем разряде возможно создание узкого естественно коллимированного пучка ионов, достаточно большой энергии ( порядка 300 эВ и более ), способных »пробить" ( распылить полностью ) осевое отверстие в катоде. Этот результат получен в ходе эксперимента диаметр отверстия составил 0,8 мм. Приведены фотографии катодов, дается качественное объяснение наблюдаемых картин распыления поверхностей катодов.

_В_четвертой_главе_исследованы возможности использования разряда с 03 для формирования, фокусировки и усиления естествен-ю коллимированных в разрядном промежутке и извлекаемых через зсевое отверстие в неподвижном катоде аксиальных потоков заря-кенных частиц без дополнительных вытягивающих устройств, измере-ш их электрические характеристики, определена эффективность вы-:ода для широкого интервала параметров, предложены направления IX практического применения в качестве электронного, ионного и юнно-злектроиного источников.

При решении поставленных задач основное внимание было уде-ено выяснению влияния геометрии разрядного промежутка в данных словиях на электрические характеристики потоков извлекаемых астиц.

Ионный лучок в закатодном пространстве является расходящимся угол расходимости зависит от параметров разряда. Лля определе-ия степени расходимости пучка были применены дополнительные сети, помещенные в коллекторе. Методика измерения описана в главе . Измерялись зависимости осевого компонента ионного и электро-

шность его извлечения ,%/Ур)-

Измерения аксиального ионного тока на первом этапе прово-шось в ячейках диаметром 13 мм и постоянной длиной 30 мм, а [ектронного - в ячейке диаметром 20 мм и длиной 30 и 50 мм. бор ячеек был обоснован предыдущими измерениями, которые пока-

тока

сетки ^'^[Яогн,}, полного то-

зали, что при изменении диаметра ячейки при всех значениях магнитного поля осевой компонент ионного тока достигает максимального значения для ячейки диаметром 13 мм.

Исследовалась зависимость тока пучка от индукции магнитного поля. Выяснено, что более эффективными являются источники с диаметром от 13 до 15 мм. Установлено, что эти ячейки при данных условиях работают в стационарном режиме, при котором имеете; однородное распределение электронного облака внутри разрядного промежутка и отсутствуют неустойчивости. Осевой компонент ионного тока пучка душ ячеек ¿d = 13 мм составляет 50 % от полного ионного тока.

Исследования показали, что геометрический параметр разрядного промежутка играет существенную роль в формировании областей интенсивной ионизации и, следовательно, влияет на коллимацию выходящего пучка. Дается объяснение закономерностям, наблюдаемым в ходе экспериментальных кривых.

Исследовании позволила предложить новый метод коллимации извлекаемых пучков ионов ( электронов ), а также определить оптимальные параметры ионного С электронного ) источника. Установлено, что в ячейке с постоянным диаметром лишь изменение ее длины позволяет усилить ток пучка на порядок по сравнению с тем, который получали в тех же условиях при изменении диаметра анода. Измерен энергетический спектр ионов. Исследованы условия, обеспечивающие выход максимального электронного тока вдоль силовых линий магнитного поля для случая соосно укрепляемых ячеек Пеннинга, обеспечивающих извлечение синтезированного пучка.

Подсчитаны коэффициенты усиления токов. Для всех случаев соединений ячеек проведены измерения энергии ионов для различных значений индукции магнитного поля В, анодных напряжений U и давления Р. Установлено, что при совместном действии ячеек наблюдается уменьшение энергии извлекаемых ионов, по сравнению с энергией их в ячейке ИИ - 13. Энергия электронов в этом случае достигала 250 В, в то время как энергия аномальных электронов при одной действующей ячейке ИЭ - 20 равнялась 105 В. Установлено, что при соответствующем подборе параметров можно получить компенсированный по току пучок. Расходимость пучка не превышала 3 градуса.

Методом подвижного катода были изучены электрические характеристики аксиальных электронных и ионных потоков в зависимости

от длины разрядного промежутка для различных значений анодного напряжения, индукции магнитного поля, давления, а также определена возможность повышения эффективности их выхода. Эксперимент проводился в ячейках с постоянным диаметром 13 мм и 20 мм. Длина анода ИЭ - 20 и ИИ - 13 первоначально была равной 30 мм, затем 50 мм и, наконец, 110мм. В процессе эксперимента длина разрядного промежутка каждой исследуемой ячейки плавно менялась в горящем разряде с точностью до I мм. Проведено измерение энергетического спектра электронов, в зависимости от геометрического параметра при данных условиях. ,

Экспериментальные зависимости осевого тока Ло тока пучка = и на сетки не линейны. Как правило,

они содержат два интервала дайн разрядного промежутка, на которые приходятся максимумы измеряемых токов. Величина второго максимума для давления Ю_4Тор и различных значений индукции магнитного поля и анодного напряжения значительно превышала величину первого. Ход экспериментальных кривых показал дискретность и зависимость положения областей интенсивной ионизации в данных условиях от геометрического параметра разрядного промежутка,что в свою очередь оказывает первостепенное влияние на степень расходимости выходящего пучка заряженных частиц и его плотность. При этом, как следовало из теории ( см. гл.1 ), для получения коллимированных пучков большой плотности надо создать условия для интенсивной ионизации в приосевой области, что обычно обеспечивалось увеличением Уч и В. Настоящие исследования показали, что это не всегда возможно, да и связано с большими энергетическими затратами. Выяснено, что увеличение интенсивности приосевой ионизации требует роста осевого компонента напряженности электрического поля £г по сравнению с радиальным £г , что повышает вероятность ионизации. Исследования показали, что все эти требования одновременно выполняются при данных условиях путем изменения лишь геометрического параметра разрядного промежутка . Экспериментальные зависимости определены

при различных значениях 1/„, В, Р. При этом в их ходе обнаруживаются определенные закономерности:

1. Ход кривых 7„ и аналогичен ходу зависимости разрядного тока от геометрического параметра разрядного промежутка.

2. Для всех максимумов выполняется условие 400 В/см

( при В = 980 Го } и В/ея = 166 Гс/см (На = 3 кВ ) при Р = = 4.10~4Тор.

3. Максимальные значения З*-» и Зон соответствуют одним и тем же интервалам промежутка.

4. Рост анодного напряжения и индукции магнитного поля

( ) приводят к определенному смещению положения мак-

симумов и изменению их величины.

5. Ход экспериментальных зависимостей иллюстрирует возможность коллимации извлекаемых аксимальных пучков заряженных частиц без применения дополнительных вытягивающих систем.

Исследования показали, что изменение давления на порядок ( Р = Ю~^Тор ) в тех же ячейках при тех же значениях анодного напряжения и индукции магнитного поля приводит к перестройке режима горения разряда. Об этом свидетельствует ход экспериментальных зависимостей Э^^ы»), }[Есг«-) . которые содержат лишь один ярко выраженный максимум для всех проведенных исследований, вторые максимумы незначительны по величине, либо почти отсутствуют. Максимальные значения всех измеренных токов для коротких разрядных промежутков ( 1,5-2 отн. ед.) приходятся на одну и ту же относительную длину, эта закономерность отсутствует для длинных разрядных промежутков, в которых обнаруживаются слабые вторые максимумы ( от 5,5 до 7,5отн. ед.).

Установлено, что плотность осевого тока растет с ростом

разрядного промежутка и при Р = 4'Ю-4 Тор, В = 1500 Гс и Ич = 3 кВ достигает 32 мА/ см . Рост анодного напряжения привог дат к росту плотности осевой компоненты ионного тока, наблюдается смещение её максимальных значений в сторону длинных разрядных промежутков. В этих условиях выход осевого ионного тока составил 70 % полного ионного тока из отверстия для вторых максимумов и 25 % - для первых. Определены оптимальные параметры ионного пучка в зависимости от геометрического параметра в данных условиях.

Методом подвижного катода установлена возможность использования неустойчивого состояния горения высоковольтного разряда с ОЭ в целях получения электронных потоков.

Показано, что изменением геометрического параметра возможно стимулирование условий появления ВЧ колебаний диокотронного типа и ускорение электронов в сторону катода вдоль магнитного

поля, определены параметры электронного пучка, выходящего из эмиссионного осевого отверстия. Определены условия, при которых ячейка Пеннинга работает в оптимальном режиме в качестве источника электронов. Максимальный осевой электронный ток для исследованных условий составил 340 мкА. Приведены экспериментальные кривые, отражающие возможность фокусировки электронного пучка изменением лишь геометрического параметра разрядного промежутка. Максимумы электронных токов приходятся на короткие разрядные промежутки - 0,9 отн.ед. и их координаты испытывают незначительные ( порядка 2 - 3 мм ) смещения.

Области неустойчивого состояния горения разряда обнаружены только в коротких разрядных промежутках ( от 0,5 до 4,5 отн. ед.), построены их диаграммы, отражающие влияние физических и геометрических параметров на их величину и положение,Приводится интерпретация наблюдаемых закономерностей.

Таким образом впервые проиллюстрирована возможность использования одной и той же ячейки для получения различного рода заряженных частиц, компенсированных по току потоков, управления параметрами электронных и ионных потоков, что позволяет повысить к.п.д. источника заряженных частиц.

В заключении сформулированы основные результаты, полученные в диссертации, приведен список публикаций по теме диссертации.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Приведенные экспериментальные исследования высоковольтного разряда с осциллирующими электронами привели к следующим результатам.

I. Впервые экспериментально доказано, что геометрический параметр ( относительная длина разрядного промежутка - С- отн ] как и физические параметры - анодное напряжение На , индукция магнитного поля В, давление газа Р, оказывает существенное влияние на механизм горения разряда.

Установлено, что его изменение приводит к перераспределению компонент напряженности электрического поля по оси и радиусу [ Вь и Вг ), что весьма ощутимо отражается на элементарные процессы в разряде. Найдены пределы отношений средних значений напряженностей электрических полей по оси и радиусу,определявшие режим горения разряда.

, ,, 2. Установлена зависимость потенциала центра ¡Лр от геометрического параметра. Показано, что в стационарном режиме горения с ростом ¿отн разрядного промежутка ( при <.0пЬЬ) 1/, нелинейно растет.

3. Впервые экспериментально исследована зависимость потенциала зажигания в разрядном промежутке переменной длины и установлена его существенная зависимость от

' С1Л •

, В частности найдено, что: . : а) минимум потенциала зажигания лежит в области коротких разрядных промежутков и его положение практически не зависит от величины магнитной индукции. Исследовано влияние магнитной индукции и давления на зажигание разряда. . ,. б) Установлена область значений длины зажигания ( ), начиная с которой может существовать самостоятельный разряд.

4. Предложен метод подвижного катода, позволивший при данных Чо, В и Р непосредственно в процессе эксперимента, без нарушения вакуума плавным изменением лишь геометрического параметра ( 6от-) оптимизировать, основные электрические характеристики источника - плотность тока пучка, эффективность и экономичность источника, цену получения иона и фокусировку пучка, однородность извлекаемых потоков заряженных частиц.

5. Экспериментально установлено, что с изменением длины разрядного промежутка при давлении порядка 1СГ4Тор, разрядный ток, полный ток ионного пучка, осевой компонент ионного тока пучка имеют два максимума - один в области коротких разрядных промежутков, другой - длинных. Экспериментальные кривые тех же электрических характеристик при давлении порядка 1СГ^Тор содержали лишь один ярко выраженный максимум в области коротких разрядных промежутков ( £ отн 2 4 отн. ед.) и второй максимум значительно меньший в области длинных. Установлено, что с увеличением анодного напряжения На абсолютная величина максимумов растет, с ростом же индукции магнитного поля В она падает, но в обоих случаях наблюдается смещение их в сторону больших длин разрядного промежутка.

6. Установлена возможность непрерывного перераспределения напряженности электрического поля, приводящего к увеличению интенсивности ионизационных процессов в приосевой области и обеспечению выхода интенсивного коллимироваяного пучка ионов диаметром до 0,8 мм. Отношение ионного тока к разрядному ( эф-

- 19 -

фективность источника ) составляет 27 %, отношение осевого компонента ионного тока к полному ионному току из отверстия С показатель фокусировки пучка внутри источника ) - 70 %, а максимум плотности осевого компонента ионного тока меняется от 3 + 32 мА/ см2.

7. Экспериментально установлено, что геометрией разрядного промежутка обуславливается состояние горения разряда. В условиях неустойчивого состояния горения разряд можно использовать в качестве источника электронов с холодными катодами. Пучок электронов формируется внутри источника и выходит через аксиальное отверстие в катоде без внешних вытягивающих электрических полей в продольном магнитном поле.

Показано, что в данных условиях величина электронного тока пучка и энергия электронов зависят от геометрического параметра , меняя который можно оптимизировать параметр! электронного пучка. В условиях эксперимента методом подвижного катода получен пучок с током 350 мкА и энергией электронов от 10 до 250 эВ.

8. Установлена возможность стимулирования режима неустойчивого горения изменением лишь длины разрядного промежутка. Наблюдаемый при этом выход аксиальных электронов сопровождался наличием ВЧ колебаний в разрядном токе и в электронном пучке. Установлено, что частота этих колебаний обратно пропорциональна индукции магнитного поля, что присуще неустойчивостям дио-котронного типа. Найдена зависимость ВЧ колебаний от геометрического параметра ( = У^сг* ) • Обнаружен выход электронов с аномально . большой энергией и дано объяснение механизма их ускорения в сторону катодов.

9. Разработаны а реализованы способы усиления токов заряженных частиц путем соосного совмещения ионного и электронного источников с постоянной длиной, либо использованием ячейки Пен-никга с неременной длиной разрядного промежутка, благодаря чему ( в отличие от ячейки с ) удалось достичь усиления электронного тока в 10 раз.

10. На базе проведенных экспериментальных исследований механизма высоковольтного разряда с ОЭ предложены:

1 ) ионно - электронный источник;

2 ) способ получения ионо* ;

3 ) способ получения электронов ;

4 ) электронный инжектор с холодными катодами для электрон-

но-лучевой трубки. Предложенные источники обладают рядом достоинств ( простота конструкции, высокая однородность выходящих пучков заряженных частиц, отсутствие вытягивающих и фокусирующих электронно-оптических систем и др, ), благодаря которым они с успехом могут быть использованы в ионно-плазменной технологии, а также в качестве электронных инжекторов и ионных источников.

- Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах:

,1. Еаберцян Р.П..Бадалян Э.С.,Тер-Геворкян Э.И. Дгасарян В.Ю. Исследование ионного источника с холодными катодами. ЫТФ,1975, т.45,в.5, с. 1059 - 1062. ,2. Баберцян Р.П..Бадалян Э.С.,Тер-Геворкян Э.И. I Ионные токи ионного источника с осциллирующими электронами. ЖТя, 1979, Т.49.В.7, с. 1445 - 1449.

3. Баберцян Р.П.,Бадалян Э.С.,Тер-Геворкян Э.И. Определение потенциала центра разряда с осциллирующими электронами

в зависимости от диаметра анода. ЖТФ, 1980, т.50, в.7, с. 1565 - 1567.

4. Баберцян Р.П.,Бадалян Э.С.,Тер-Геворкян Э.И. Метод усиления токов заряженных частиц, попадающих в центр катода в разряде с осциллирующими электронами. 1ГО?,1983, Т.53.В.4, с. 665 - 669.

5. Баберцян Р.П.»Бадалян Э.С..Тер-Геворкян Э.И. Экспериментальное исследование зависимости электронного тока, из, влекаемого из отверстия в центре катода от параметров разряда. Уч. записки ЕГУ, 1983, № I, с. 60 - 64.

6. Баберцян Р.П..Бадалян Э.С., Тер-Геворкян Э.И..Егиазар-ян Г.А.. Об аномальных электронах в разряде с осциллирующими электронами. ЖТФ, 1984, т.54, в.12,с.2382~2383.

7. Баберцян Р.П.,Бадалян Э.С.,Тер-Геворкян Э.И.,Егиазар-ян Г.А. Ш колебания и аномальные электроны в разряде с осциллирующими электронами. Уч. записки ЕГУ, 1984, № I, с. 87 - 90.

8. Баберцян Р.П..Бадалян Э.С.,Егиазарян Г.А.,Тер-Геворкян Э.И. .Ыайдесян В.П.Чобанян А.К. Об ускорении продольных

электронов в разряде Пеннинга, Тезисы докладов П Всесоюзного семинара по элементарным процессам в плазме элетроотрицатель-газов. Ереван, 2984, с. 124 - 126.

9. Баберцян Р.П..Бадалян Э.С..Егиазарян Г.А. ,Тер-Геворкян Э.И. О роли ВЧ колебаний в разряде с осциллирующими электронами. Н\|>, 1985, т.55, в.1, с. 73 - 78.

10. Баберцян Р.П. .Бадаляк Э.С. ,Тер-Геворкян Э.И. О зависимости электронного и ионного тока от длины анода газоразрядного источника. Уч. записки ЕГУ.1986, №2, с. 86 - 89.

11. Баберцян Р.П..Бадалян Э.С..Егиазарян Г.А.,Тер-Геворкян Э.И. Некоторые новые сведения о пробойных характеристиках пеннин-говского разряда с холодными катодами. ЖТФ,1987,т.57, в.10, с. 1992 - 1994.

12. Баберцян Р.П. ,Бадалян Э.С. .Егиазарян Г.А. Дер-Геворкян Э.И. Фокусирующее действие пеннинговского разряда в зависимости от физических и геометрических параметров. ШФ, 1987, т.57, в. 10, с. 2039 - 2040.

13. Баберцян Р.П.,Тер-Геворкян Э.И..Арутюнян С.А. О роли распределения электрических полей в разряде Пеннинга. Уч. записки ЕГУ, 1988, Ш, с. 70 -75.

14. Баберцян Р.П. .Бадалян Э.С. Дер-Геворкян Э.И.,Егиазарян Г.А. Электрические характеристики разряда Пеннинга в зависимости от длины анода. Межвуз. сборник,Физика, № 5,Ереван, 1985,

с. 34 - 41.

15. Баберцян Р.П. .Бадалян Э.С.,Егиазарян Г.А.,Тер-Геворкян Э.И. Изучение зажигания в ячейке Пеннинга в зависимости от длины разрядного промежутка. Тематический сборник научных трудов ЕГПИ им. X. Абовяна.Физика.Ереван, 1967, с. 3 - II.

16. Баберцян Р.П.,Тер-Геворкян Э.И..Арутюнян С.А..Майтесян В.П., Чобанян А.К. Об ускорении электронов в пеннинговском разряде. Тезисы докладов Всесоюз. конференции по физике Космической плазмы. Ереван, 1989, с. 124 - 125.

17. Баберцян Р.П. .Бадалян Э.С. .Егиазарян Г.А.,Тер-Геворкян Э.И. О стимулировании ВЧ колебаний в пеннинговском разряде переменной длины. ДАН Арм. ССР, т. 89, № 4, с. 187 - 192.

18. Баберцян Р.П..Бадалян Э.С.,Егиазарян Г.А.,Тер-Геворкян Э.И. Генерация ВЧ колебаний в разрядном промежутке Пеннинга переменной длины. ЖТФД989, т.59, в.10, с. 43 - 46.

19. Баберцян P.iL.Бадалян Э.С.Дер-Геворкян Э.И. Ионно-электрон-ный источник. Авт. св. СССР, !i 99I87I, кл. H0I 27 / 04, 1982.

20. Баберцян Р.П.,Бадалян Э.С. Дер-Геворкян Э.И. Способ получения ионов. Ав.св'. СССР, J* 1324515, кл. H0I 27 / 04,1987.

21. Баберцян Р. П. .Бадалян Э.С.Дер-Геворкян Э.И. Способ получения электронов. Авт. св. СССР, 1324516, кл.Н01 27 / 04, 1987.

22. Баберцян Р.П.,Бадалян Э.С. .Егиазарян Г.А.,Тер-Геворкян Э.И. Майтесян В.П., Чобанян А.К. Электронный инжектор для электронно - лучевой трубки. Авт. св. СССР, ft 102445, кл H0I 1/30, 29/48, 1991.

23. Баберцян Р.П., Егиазарян Г.А., Тер-Геворкян Э.И. Диаграммы неустойчивости пеннинговского разряда с холодными катодами при низких давлениях. т.64,в.Ю, с. 202 - 207, 1994.

24. Баберцян Р.П. Дер-Геворкян Э.И. .Егиазарян Г.А.,Гарибян В.Х. Влияние геометрического параметра трубки Пеннинга на устойчивость горения разряда с осциллирующими электронами.

Изв. НАН Армении, т.30, в.2,с. 82-86, 1995.

UlTi»n»ll<Mir

UmbljujfununLf) jriL^p lii|[ip i|iab t oug[iLJugi|m^ tLbljuipnlrtibpni( ршрарш1|пцл [Ыцпрш^шЪ щшрщсГиЛ гиипиП|ши(1рп1[1 juj\jq guibp 0Ъ2 n iiTlibpji щшзгЛЛЪЬрпиГ

ощш^ш^ miupiuJbuipbpniJ odinijuib LhЭВР «ГинЛф^Ьр^ шцр j п Lplibp[i utnbqb-шЪЪ ni Ч Ьшш^пичГшЪц :

Unui£uirçpilmb [u"liqp[i [riLÖiTuilj 'iuiU'ujp if2Uiln{mö ЬЪ bpl{ni Ъпр фпр duipuipui-uAi brimliiiili'Uhp* l.jmpdmliuili liiuuinq[i bqiulíuil{[i, 2.uinuj\igguijgujj[i^ Ll'gpuilllip uiu^Jililibpfi 'inußbpji nLrfЬцшдЛшЪ bquiliiul{[i:

£bmiuqnwi(iub t; щшрщ^шЪ pnli^i/iuli mninbljg[iiu|_|i Ципцр щшрицТиЛ ui[ipnLjß[i miupuii/binpfi / - npinbq uilinqji ЬрЦшрпlPjnL^tj t, [it'll,

btiqfi uipiuJuiqlibp/, ifuiqliJuiuil^uAi quijuifi fi^i^ni.L{g[iuij [i b. qiuq[i O^iTiuíi Ibin: mjg t mpijuib, np prúj^ifiulj ujninbljgfiuiLfi ({прЬрц 1{ш[и1|шЬ Ьр1[ри^шфш1(иЛ u¡iu-uiifbinp|ig пиЪЬЪ \ii{ujqujqnljli tupdbg iT[imjTj щшрицГиЛ L[uipQ in[)pnujp-

bpnuT II npfi uimuUgpui j|i\j linnpr^biump ¿¡i blißiupltijn liT liui|ui{uib rnuip-

bp Фfiq[íljuitiиЛ щшрииГЬшрЬр^д :

ПтпиГЪши[1р1(шЬ t i^iuputiTuilj u¡pngbunLj 11ЫцлршЦиЛ qui2in(i iuipi{iubni.ß juAi nuiligguij [ill ü. i umuiijqui j [iti piunuiqp[i¿libpli Jfi^Jili uiprfbgljbp[i impmpbptiLp jm^ niJintunLpjnL^jQ: BriLjg t mpijiub, np щшрирЛи!! uinuig[inïiuip пЬсЦиГр ЦшрЬ|_fi t;

qinuiqnpbb^ iTiuulmiJnp qbmpnLiT, прщЬи (iпЪшjwupjm.p: ЛюпиЛши|1р1|шЬ t n\iuij(ili uiqpjnt.p|i ЬьЫцпршЦшЪ plitiL¡3iuqp bpp : 1Г2ш1(1|шЬ t- ЬцшЪшЦ, npp ^liui-uuJnpnLßjnuli t inui^u [1 пЪшj(ili ({rtj^bpfi <¡Uuii|npnulp [тршЦшЪшд'иЬ^ uiqpjnLpJi bpuniif II umuiliuiL (ili¿tnbu uiuippbp upiuilujqbfi qnLquilbri, uijliu(bu tl kull^luJu'~ urti t|mi(i!ibgnt( [ínliuijfjlj ф1|£Ьр:

ibmuiqnmiluib t иририцГшЬ n¿ uuiuigfinliuip u^luiumuiliguijf'i'ÍJ rifarf(iifp : 8nt j g

wpijuib j np uiju mmj^libpnuT iTbp dulmrpuj [ill uiqJiiTn luiuij[i\i bj(¡[.ЬЦт-nljuij|ili 2bpmCi bpl[puj¿uii(mil{iuli щшрш1/Ьшр() шрàbgljbpji npr>2Uil{[i m|>priL j^nti!, "Uglinni t urtiltuijriltj i(|iOuili[i /qlinl{nuip лЪш^Ъ uililpuj n lIiiilp j null/: Ршдш^шjm-шЬ t» "p r\|inl(nuipnUuij[ilj шЪ1{ш1|п1.'ипipjurtj puipdp SuiOuilun lp juiU i{mitin[uiTiuli p[iliiu£tu({iniß jriL^jp Цш[ш|шЬ ЬрЦрш^шфшЦиЛ щшрииГЬшр^д р^ршЪпиГ t ^ш^ш-^шр<3 '¡miTbiJ'itmiujliuiljni.pjiij'ii opb"ügni}: Ujr\ opb\jpni( t ti^puiliniiT IjuL '¡шбш^т-juIj l{m(ui(mbnLp j n m [i {ilir\ri П iunLin»j]ij[ipi|uib t

iujIi. rç(inl{nuipnliuij[ill ЯшЧш[ип1.р.)шъ ^lnuhl^g[lп'bшl ^шищ liupnlj[ig II

;uiq(i 0\i2nLiT[ig:

Onpdliml{mli ашЪшщшр ini{ шщшдт д1(шЬ t; np i^|inl[nuipn'Umj[i'ii шЫ^ш j nttjn и-jmli пЬсЦиГп 11Г шrtшllgËШJ[lll t L Ь1цпр n\i4ibpQ wpuiquAin liT b\i Цштп^Ьр [i тгр^пс-jwtfp: Uju ^шркпр raprijnLlig[i ^[иГшЪ ijpm 1Г2шЦЦ1иЬ t b. íbinmqnmi(iub t ^""p ilinLjP[) qшqшu^llJpll{nLlГшJ[l\^ 11 blpnpnlimjfili iuqpjntp[i t L Ы{ипрш!{шЪ p'llnlPшqpbp[) :