Кинетические процессы в плазме тлеющего разряда в азоте тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

Введение.стр.

Глава I. Экспериментальное исследование тлеющего разряда.

§ 1.1 Описание экспериментальной установки.

1.1.1 Разрядная трубка.

1.1.2 Блок питания разряда.'.

1.1.3 Вакуумная сис тема.

1.1.4 Система регистрации излучения.

1.1.5 Система калориметрирования разряда.

1.1.6 Система зондовых измерений.

§1.2 Методика и результаты измерений.

1.2.1 Электрические параметры разряда.

1.2.2 Напряженность электрического поля.

1.2.3 Относительная и абсолютная интенсивности излучения 2+-системы/\/2.

1.2.4 Определение мощности, рассеиваемой в разряде.

Выводы.

Глава 2. Определение основных параметров плазмы.

§ 2.1 Параметры тяжелых частиц.

2.1.1 Вращательная температура состояний С5!! и Х^Л/

2Д.2 Газовая температура.

2.1.3 Концентрация частиц.

§ 2.2 Приведенная напряженность электрического поля.

§ 2.3 Параметры электронного компонента плазмы.

2.3.1 Средняя энергия и функция распределения электронов по энергиям.

2.3.2 Концентрация заряженных частиц.стр.

Выводы.

Глава 3. Оптический метод определения колебательной температуры основного состояния.

§3.1 Функция возбуждения электронным ударом состояния

G ЭП.

ЗДД Анализ литературных данных.

3.1.2 Аппроксимация экспериментальной функции возбуждения.

§3.2 Усредненное сечение возбуждения электронным ударом состояния С^.

3.3 Связь функций распределения молекул по колебательным уровням состояний X 2 и С3!!.

§3.4 Критерий применения оптического метода определения колебательной температуры основного состояния/Ур.

3.4.1 Колебательная релаксация в азоте.

3.4.2 Диффузия молекул.

3.4.3 Возбуждение колебаний электронным ударом.

3.4.4 Формулировка критерия.

§3.5 Результаты определения колебательной температуры состояния

Выводы.

Глава 4. Исследование процессов, приводящих к радиальной неоднородности плазмы.

§ 4.1 Оптический метод определения параметров электронного компонента плазмы.

4.2 Обсуждение причин сжатия разряда.

4.3 Механизм нагревания молекулярного газа.стр.

4.3.1 Оценка количества энергии, необходимой для нагревания газа.

4.3.2 В зашло действие ионов с молекулами.

4.3.3 Взашлодействие электронов с молекулами азота.

4.3.4 Взаимодействие молекул азота.

Выводы.

Актуальность теш. В развивающейся новой области физической кинетике - кинетике существенно неравновесных систем - особый интерес вызывают молекулярные системы, в которых газ, оставаясь при низких газовой и вращательной температурах, колебательно перевозбужден. Указанными особенностями обладает и плазма тлеющего разрдда в азоте и его смесях с другими газами Д7, 28, 44, 75, 80, 104, 109, 141/.

В научном отношении плазма тлеющего разряда в азоте является удобной моделью для исследования особенностей кинетических процессов в неравновесной молекулярной плазме. В том числе для выяснения связи между электронным и молекулярным компонентами плазмы, для исследования механизма нагревания молекулярного газа, для изучения явления контракции разряда. Рамки этой модели значительно расширяются при использовании азота: в качестве примеси к другим газам, особенно к таким молекулярным газам, обмен колебательной энергией с которыми происходит эффективно. Результаты, полученные при исследовании чистого азота, могут быть использованы такие в схемах раздельного возбуждения молекул с последующим смешением компонентов.

Кроме научного интереса, исследование низкотемпературной плазмы в азоте представляет значительный практический интерес. Он вызван бурным развитием газовых лазеров Д19, 141, 150, 175, 186, 192, 197/, использующих как чистый азот, так и азот в качестве примеси к другим газам. На особую роль колебательно возбужденных молекул азота в процессах возбуждения генерации на углекислом газе и окиси углерода было указано уже в первых работах по исследованию газоразрядных лазеров Д04, 109/. В настоящее время трудно перечислить все работы, подтверждающие эту идею. Укажем только некоторые из них /44, 16, 107, 161/. Аналогичный эффект отмечают авторы работ /174, 176/, получивших генерацию на молекулах XeF, Н^. Bfcg с примесью азота.

Создание плазменных реакторов поставило задачу изучения влияния колебательно-возбужденных молекул азота на процесс получения азотистых соединений /20, 66, 96, 118, 120, 191/. Использование в промышленности плазмы, содержащей азот, для улучшения свойств веществ азотированием Д17, 156, 172, 185/, травлением /171, 173/, нанесением пленок окислов азота и нитридов ДЗО, 143, 158, 164, 171, 189, 195/ на поверхности металлов требует исследования свойств такой плазмы.

Подробный анализ литературных данных по оптимизации режимов работы указанных плазменных систем проведен в ряде работ /2, 29, 45, 80, 100/. Особо отметим влияние газовой и колебательной температур на оптимизацию режима работы неравновесной плазменной системы. Важность правильного определения указанных параметров следует из того, что в газовых лазерах колебательная степень свободы молекул азота служит тем резервуаром энергии, из которого она успешно преобразуется в лазерное излучение /104, 109, 28/. В среде с большим запасом колебательно-возбужденных молекул химические реакции проходят с большей скоростью Д00, 20/. В то же время повышение температуры газа приводит к уменьшению мощности генерации лазеров /44/, ухудшению условий "закалки" продуктов химических реакций /66, 100/. Однако, как показал проведенный нами анализ, различия в результатах определения газовой и колебательной температур в иных работах Д7, 36, 75, 97/ выходят за пределы экспериментальных ошибок.

Сложности в определении и газовой, и колебательной температур основного состояния молекулярного азота вызваны особенностями молекулы азота. Молекула азота неполярна, поэтому дипольное излучение при переходах между колебательными уровнями одного электронного состояния запрещено /19/. В связи с этим наиболее удобным, оптическим методом, не вызывающим возмущения плазмы, заселенность квантовых уровней основного электронного состояния определять нельзя. Метод комбинационного рассеяния удалось использовать /34/ только при высоком давлении газа и большом токе разряда. При низких давлениях газа метод не используется из-за слабой интенсивности излучения. Метод поглощения при исследовании газоразрядной плазмы не применяется в связи с большими экспериментальными трудностями, связанными с необходимостью работы в области вакуумного ультрафиолета.

Б связи с этим в начале 70-х годов рядом авторов /125, 75, . 17/ был предложен косвенный метод определения колебательной температуры основного состояния молекулярного азота по излучению его второй положительной (2+) системы (переход С^П -В^П). Метод о основан на предположении, что возбуждение состояния С°П происходит прямым электронным ударом, а дезактивация - излучением.

На первых порах анализ связи функций распределения молекул по колебательным уровням основного и возбужденного С3]! электронных состояний проведен в предположении больцмановского /125, 75, 17/ позднее - триноровского /78/ распределений. Теоретические исследования процессов релаксации ангармонического осциллятора /28/ предсказывают возможность существования в неравновесной плазме иной функции распределения молекул по колебательным уровням. Как изменится при этом вид функции распределения молекул по колебательным уровням состояния С3!!, не установлено. Необходимо отметить также, что влияние пороговой энергии функции возбуждения при указанном выше анализе учитывалось на основе ряда теоретических предположений /70, 72/, точность которых трудно оценить.

Кроме того, положенные в основу метода предположения, очевидно, накладывают ограничения на область параметров плазмы, для исследования которой его можно использовать. Однако, критерий применимости метода не сформулирован.

Благодаря простоте получения экспериментальных данных, метод определения колебательной температуры основного состояния молекулярного азота по излучению его 2+-системы получил широкое распространение. В связи со сказанным в данной работе проводится тщательный анализ как предпосылок, положенных в основу метода, так и условий его применения к исследованию неравновесной плазмы.

Несмотря на то, что нагревание газа приводит к существенному снижению эффективности указанных выше плазменных систем, в начале 70-х годов, когда была начата данная работа, единого мнения о механизме нагревания молекулярного газа в разряде не существовало. Теоретическое решение этой задачи представляется сложным не только из-за необходимости описания большого числа элементарных актов. Сказывается ограниченность сведений о сечениях отдельных процессов и невозможность определения скоростей всех реакций, протекающих в молекулярной неравновесной плазме. Поэтому автором данной работы была предпринята попытка выяснения механизма нагревания газа в плазме тлеющего разряда в азоте.

Для повышения выходной мощности оптических квантовых генераторов, плазмо-химических реакторов и других устройств, в основе которых лежит использование низкотемпературной плазмы, увеличивают ток разряда и давление газа. Однако, энерговклад в разряд ограничен его контракцией. Но в настоящее время нет теории контракции разряда и очень мало экспериментальных данных для проверки модельных представлений об изменении параметров по сечению разряда в молекулярном газе. В большинстве из указанных выше работ измерения параметров плазмы проведены только в центре разряда. Исследовать изменение параметров плазмы тлеющего разряда в азоте по его поперечному сечению - одна из важных задач.

В газоразрядной низкотемпературной плазме энергия электрического поля непосредственно вводится в. электронный компонент плазмы и лишь в процессе столкновений передается от электронов молекулам. /4, 71/. В более ранних работах одни авторы проводили только оптические измерения и получали сведения о -параметрах тяжелых частиц, другие - на основе зондовых измерений - параметры электронов. Мы поставили задачу провести разностороннее исследование тлеющего разряда с использованием электрического, оптического, зондового и калориметрического методов. Такое исследование позволит получить более полное представление о взаимосвязи параметров в неравновесной плазме и облегчит анализ кинетических процессов, протекающих в низкотемпературной молекулярной плазме.

Использование чистого азота вместо смеси газов значительно сокращает число процессов, протекающих в молекулярной плазме. Это приводит к более яркому проявлению связи как между отдельными компонентами неравновесной плазмы, так и между их параметрами. Кроме того, отсутствие примесей уменьшает число каналов, по которым рассейвается колебательная энергия молекул азота. Исключается, в частности, процесс релаксации колебательной энергии через столкновение с молекулами примеси. Это дает возможность выявить наиболее характерные процессы, вызывающие нагревание неравновесной низкотемпературной плазмы в молекулярных газах.

Облегчается также решение методической задачи, поставленной в работе, тшс как из-за разнообразия экспериментальных условий удается сравнить результаты различных авторов только для чистого азота.

На основании вышесказанного цель предлагаемой работы можно сформулировать следующим образом.

Используя плазму тлеющего разряда в азоте, установить особенности неравновесной низкотемпературной молекулярной плазмы, .выяснить связь между ее основными параметрами. Провести анализ оптического метода определения одного из параметров неравновесной плазмы, содержащей молекулярный азот, - колебательной температуры его основного состояния; установить критерий применения этого метода .для исследования плазмы. Выявить механизм нагревания молекулярного газа в неравновесной плазме, запас колебательной энергии в которой значительно превосходит его равновесную величину.

Для достижения этой цели была создана экспериментальная установка, которая позволила провести разностороннее исследование самостоятельного тлеющего разряда постоянного тока в азоте особой чистоты. Проведены электрические, оптические, зондовые, калориметрические исследования разряда в интервале давлений газа от 0.4 до 8.0 Тор при токе разряда от 10 до 125 мк.

Предложенная конструкция разрядной трубки дает возможность калориметрическим методом определять раздельно мощность, выделшощуюся из области положительного столба разряда и из каждой его приэлектродной области.

Использование различных методик обработки зондовых характеристик позволило в широком интервале изменения приведенной напряженности электрического поля (от 13.6-1СР^ до 4-1сН-% см^) определить величины средней энергии (от 4.2 до 2.2 эВ) и концентрации электронов (в центре разряда - от I-10^ до 8» 10^ см~^). Установлена осесимметричность разряда. Прослежен процесс контракции разряда.

В процессе анализа оптического метода определения колебательной температуры основного состояния молекулярного азота найдены по литературным данным наиболее достоверные значения функций возбуждения электронным ударом колебательных уровней состояния Предложены аналитические выражения, аппроксшжругощие экспериментальные функции возбуждения. Это позволило получить без каких-либо дополнительных предположений аналитические выражения уровневых коэффициентов реакций (усредненных сечений возбуждения уровней ггсС% по функции распределения электронов). На этой основе установлена связь функций распределения молекул по колебательным уровням возбужденного электронным ударом состояния С% и основного Х"^/^ в широком интервале (700-10000 К) колебательных температур.

Сформулирован критерий применения оптического метода определения колебательной температуры основного состояния молекулярного азота для исследования низкотемпературной неравновесной плазмы.

Установлено, что колебательная температура повышается как с ростом тока, так и с ростом давления газа. В исследуемых режимах в центре разряда эта температура менялась от 10э до 6*103 К.

Сравнением оптических измерений с зондовыми показано, что в приосевой области разряда функция распределения электронов по энергиям отличается отмаксвелловской для соответствующей средней энергии электронов большим количеством высокоэнергетических (более 12 эВ) электронов.

При обсуждении причин установленного экспериментально процесса сжатия разряда с ростом приведенного радиуса разрядной трубки показано, что этот процесс описывается моделью ионизацион-но-перегревной неустойчивости.

Предложен метод исследования механизма нагревания молекулярного газа в условиях неравновесной низкотемпературной плазмы на основе баланса энергии. Установлено, что прежние представления о нагревании газа в разряде неприменимы к молекулярным газам. Показано, что в среде с запасом колебательной энергии, превосходящим его равновесное значение, существует неизвестный ранее механизм передачи колебательной энергии молекул азота на нагревание газа.

В работе защищаются

1. Экспериментальные результаты исследования основных параметров неравновесной молекулярной плазмы самостоятельного нормального тлеющего разряда в азоте в диффузионном режиме.

2. Гипотеза о существовании в неравновесной низкотемпературной молекулярной плазме неизвестного ранее механизма передачи энергии из колебательной степени свободы молекул в поступательно-вращательную в условиях, когда запас колебательной энергии значительно превосходит его равновесную величину.

3. Критерий применения метода определения колебательной температуры основного состояния молекулярного азота в неравновесной низкотемпературной плазме по излучению 2+-системы.Л^>.

4. Целесообразность введения аналитического выражения, ап~ проксшлирующего экспериментальную функцию возбуждения уровня, для анализа процессов возбуждения.

В связи с разнообразием исследовании подробный анализ литературных данных, используемых в работе методов и результатов других авторов приводится в соответствующих главах работы по мере необходимости.

Выводы.

X. В центре тлеющего разряда в азоте функция распределения электронов по энергиям отличается от максвелловской для той же средней энергии большим количеством высокоэнергетических электронов. С удалением от центра разряда указанное различие уменьшается.

2. Основной причиной, вызывающей контракцию в плазме тлеющего разряда в азоте, является уменьшение частоты ионизации с удалением от центра разряда. Это изменение вызвано неравномерным нагреванием газа по поперечному сечению разряда.

3. В плазме тлеющего разряда в молекулярном азоте нагревание газа осуществляется неизвестным ранее механизмом - передачей колебательной энергии на поступательно-вращательные степени свободы молекул.

ЗА1Ш0ЧЕНИЕ

В процессе решения поставленных в начале работы задач, связанных с исследованием кинетических процессов в низкотемпературной неравновесной молекулярной плазме, проведено систематическое исследование основных параметров плазмы тлеющего разряда в азоте - приведенной напряженности электрического поля, концентраций и функций распределения отдельных компонентов тяжелых частиц и электронов.

Благодаря особенностям экспериментальной установки, позволившей провести измерение этих параметров по сечению разряда, установлено, что распределение концентрации заряженных частиц по сечению разряда не описывается теорией Шоттки. При приведенном

ТА С радиусе разрядной трубки выше 10 .см наблюдается контракция тлеющего разряда в азоте. Показано, что распределение заряженных частиц по сечению разрядной трубки описывается моделью иониза-ционно-перегревной неустойчивости.

Функция распределения электронов по энергиям в центре тлеющего разряда в азоте отличается от максвелловской для той же средней энергии большим количеством высокоэнергетических электронов. С удалением от центра разряда указанное различив уменьшается.

Предложенная конструкция трубки позволяет калориметрическим методом раздельно определять мощность, выделяющуюся как из области положительного столба разряда, так и из каждой его приэлек-тродной области. Показана возможность определения приэлектродно-го падения напряжения калориметрическим методом.

В процессе анализа литературных данных установлены наиболее достоверные функции возбуждения электронным ударом колебательных

- 160 уровней электронного состояния С3П из основного состояния Х/Ги величины сечений в их максимумах. Предложенная аппроксимация экспериментальной энергетической зависимости функций возбуждения дала возможность учесть влияние пороговой энергии функции возбуждения на величину усредненного сечения без каких-либо упрощающих предположений. Показано, что распределение молекул азота по колебательным уровням возбужденного С3П состояния является функцией двух переменных - колебательной температуры основного состояния молекул азота и средней энергии электронов. Связь функций распределения молекул по колебательным уровням основного и возбужденного С3П состояний можно считать однозначной только при средней энергии электронов не ниже 3 эВ. Эта связь представлена в виде номограмм для широкого интервала температур (700 * 10000 К) при различных значениях средней энергии электронов (не ниже I эВ).

Впервые сформулирован критерий применимости оптического метода определения колебательной температуры основного состояния молекулярного азота к исследованию неравновесной низкотемпературной плазмы.

Экспериментально установлено, что в плазме тлеющего разряда в азоте не только с ростом тока, но и с ростом приведенного радиуса разрядной трубки происходит сближение колебательной температуры основного состояния молекулярного азота с температурой свободных электронов.

Проведенные оценки эффективности нагревания газа электронами, ионами, возбужденными молекулами (в приближении гармонического осциллятора) показали, что совокупность этих процессов не объясняет нагревания газа до полученных в экспериментах значений температур.

Впервые установлено, что в неравновесной низкотемпературной плазме молекулярного газа с запасом колебательной энергии, значительно превосходящим его равновесную величину, нагревание газа осуществляется неизвестным механизмом передачи энергии колебаний в поступательно-вращательную степень свободы молекул.

Практическая ценность работы. Сформулированный в работе критерий позволяет по трем легко определяемым параметрам плазмы установить возможность использования оптического метода определения колебательной температуры основного состояния молекулярного азота в условиях неравновесной низкотемпературной плазмы.

Представленные в работе номограммы удобны для их практического использования с целью определения колебательной температуры основного состояния по относительной заселенности колебательных уровней возбужденного состояния С3П, с которого возможно излучение.

Предложенный в работе способ определения мощности, выделяющейся в отдельных частях разряда, дает возможность определять при-электродное падение напряжения калориметрическим методом, не вызывая возмущения плазмы.

Полученные в работе экспериментальные результаты могут быть использованы в развитии теории физической кинетики существенно неравновесных систем, теории контракции разряда, в расчетах режимов работы лазеров, использующих молекулярный азот, в поисках оптимальных условий получения азотистых соединений в плазмо-химиче-ских реакторах.

Автор выражает благодарность А.Н.Варгану, А.И.Луковникову, И.К.Фетисову за помощь в работе и ценные критические замечания в процессе обсуждения статей и при работе над рукописью.

1. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C., Лебедев Ф.В. Проблемы созда-ния промышленных технологических лазеров мощностью 1-10 кВт. Известия АН СССР. Сер. физическая, 1983, т.47, № 8, с.1497-1506.

2. Абильсиитов Г.А., Голубев B.C., Дробязко C.B., Егоров Ю.А.,

3. Калшдуб A.B., Лебедев Ф.В., Макрецов С.И., Портнова Г.В., Сенаторов Ю.М., Сумерин В.В. Мощный газовый технологический электроразрядный лазер, работающий на смеси воздух -С02. Известия АН СССР. Сер. физическая, 1983, т.47, Лз 8, с.1513-1518.

4. Акишев Ю.С., Напартович А.П., Пашкин C.B., Пономаренко В.В.,

5. Соколов H.A., Трушкин Н.И. Влияние секционирования электродов на контракцию объемного тлеющего разряда в азоте. Журнал технической физики, 1983, т.53, $ 12, с.2351-2357.

6. Александров Н.Л., Кончаков A.M., Сон Э.Е. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы. Физика плазмы, 1978, т.4, $ I, с. 169-176, c.II82-II86.

7. Бакшт Ф.Г., Мишин Г.й. Влияние колебательной релаксации напараметры ударных волн в плазме молекулярных газов. -Журнал технической физики, 1983, т.53, вып.5, с.854-857.

8. Баранов В.Ю., Низьев В.Г., Пигульский C.B. О скорости передачи энергии в поступательную степень свободы после импульсного разряда в азоте. Физика плазмы, 1977, т.З, Jê 6, с. 1380-1382.

9. Баранов В.Ю., Бевов Р.К., Лопанцева Г.Б., Старостин А.Н.,

10. Стрельцов А.П., Хоменко C.B. Измерение коэффициента диссоциативной рекомбинации в колебательно-возбужденном азоте. Физика плазмы, 1981, т.7, tè 5, с.1169-1171.

11. Баранов В.Ю., Высикайло Ф.Й., Налартович А.П., Низьев В.Г.,

12. Пигульский C.B., Старостин А.Н. Контракция распадающейся плазмы разряда в азоте. Физика плазмы, 1978, т.4, гё 2, с.358-363.

13. Берд Р., Гиршфельдер Дж., Кертисс Ч. Молекулярная теориягазов и жидкостей. М.: И.Л., 1961. - 422 е., ил.

14. Бесшапошников A.A., Блохин В.И., Воронин В.Б., Мыслин В.А.,

15. Пашкин C.B., Петрова А.Д., Симонова Н.В., Соколов H.A. Об особенностях образования озона в тлеющем разряде в поперечном потоке CMeon/l/g+Og. Теплофизика высоких температур, 1983, т.21, № 2, с.383-397.

16. Биберман Л.М., Мнацаканян А.Х. Об обмене энергией мевдуэлектронным и молекулярным газом. Теплофизика высоких температур, 1966, т.4, В 4, с.491-493.

17. Брусиловская 1.М., Новгородов М.З., Свиридов А.Г., Соболев H.H. Энергетическое распределение электронов в разрядах, применяемых для ОКГ на COg. M., 1969. - 17 с. (Препринт/ФИАН СССР: № 32).

18. Бушмин A.C., Дмитриев Л.М. Исследование распределения энергетических потерь электронов в газоразрядной плазме. -Теплофизика высоких температур, 1976, т.14, të 2, с.266-269.

19. Варгин А.Н., Пасынкова Л.М., Трехов Е.С. Экспериментальноеопределение сил электронных переходов для молекул/^ -и J\l- В кн. : Физика газоразрядной плазмы. М. : Атомиздат, 1969, вып.2, с.77-86.

20. Веденов A.A., Витшас А.Ф., Герц В.Е., Наумов В.Г. К вопросуо балансе энергии электронов в плазме тлеющего разряда. Теплофизика высоких температур, 1976, т.14, $ 3, с.441-449.

21. Великанов А.Г., Горшунов Н.М., Кунин Ю.А., Нещименко Ю.П.

22. Оптимизация коэффициента усиления света в сверхзвуковом потоке при перемешивании колебательно-возбужденногоAg с COg-He. Квантовая электроника, М., 1980, т. 7, JS 9, с.1869-1875.

23. Герл И.Р. Связь между колебательной температурой молекул итемпературой свободных электронов в плазме. В кн.: Низкотемпературная плазма. -М.: Наука, 1967, с. 168-178.

24. Герцберг Г. Спектры и строение двухатомных молекул. М.:1. И.Л., 1949. 404 с.

25. Гершензон I0.M., Никитин Е.Е., Розенштейн В.Б., Уманский С.Я.

26. Взаимодействие колебательно-возбужденных молекул с химически активными атомами. В кн.: Химия плазмы. М.: Атом-издат, 1978, вып.5, с.3-65.

27. Голубовский Ю.В., Лягущенко Р.И., Флорко A.B. Исследованиехарактеристик положительного столба разряда в азоте присредних давлениях. I. Колебательная температура состояния xV- Л., 1977. 19 с. - Рукопись представлена Яг

28. Ленинград, ун-том. Деп. в ВИНИТИ 26 янв. 1977, В 496-77.

29. Голубовский Ю.Б., Ржевский В.Н., Флорко A.B. Температурагаза в положительном столбе разряда в азоте. Теплофизика высоких температур, 1978, т.16, № I, с.13-19.

30. Голубовский Ю.Б., Тележко В.М. Возбуждение молекулярных ионов в положительном столбе разряда в азоте при средних давлениях. Журнал прикладной спектроскопии, 1980, т.32, ß 2, с.220-226.

31. Голубовский Ю.Б., Тележко В.М. Измерение концентрации электронов слабоионизованной плазмы тлеющего разряда в азоте при средних давлениях. Оптика и спектроскопия, 1983, т.54, В I, с.60-67.

32. Голубовский Ю.Б., Тележко В.М., Тележко H.A. Контракцияимпульсного разряда в азоте при средних давлениях. -Теплофизика высоких температур, 1983, т.21, J£ 2, с.229-233.

33. Голубовский Ю.Б., Флорко A.B. 0 роли гг-Г- и IT- Т процессов в механизме нагревания газа в положительном столбе разряда в азоте. Теплофизика высоких температур, 1980, т.18, 4, с.870-873.

34. Голубовский Ю.Б., Флорко A.B. Расчет параметров разряда вазоте при средних давлениях. Журнал прикладной спектроскопии, 1978, т.29, В 2, с.213-219.

35. Гордиец Б.Ф., Осипов А.И., Шелепин Л.А. Кинетические процессы в газах и молекулярные лазеры. М.: Наука, 1980. -512 с.

36. Горячкин Д.А., Иртуганов В.М., Калинин В.П., Мазуренко Ю.Т.,

37. Рубинов Ю.А. СС^-лазеры атмосферного и сверхатмосферного давлений с самостоятельным разрядом. Известия АН СССР. Серия физическая, 1982, т. 46, 10: Материалы конф.: Оптика лазеров, Ленинград, янв., 1982, с.1877-1885.

38. Грановский В.Л. Электрический ток в газе. М.Л., 1952.354 с., ил.

39. Грановский В.Л. Электрический ток в газе. Установившийсяток. -М.: Наука, 1971. 543 е., ил.

40. Гребер Г., Эрк С., Григуль У. Основы учения о теплообмене.

41. М.: И.Л., 1958. 342 е., ил.

42. Губанов A.M., Иванов Ю.А., Овсянников A.A., Полак Л.С. Экспериментальное исследование положительного столба тлеющего разряда в азоте и его смесях с кислородом. Журнал прикладной спектроскопии, 1970, т.12, № 6, с.976-978.

43. Денисов В.Н., Подобедов В.Б., Пындык A.M., Стерин Х.Е. Кинетические исследования функции распределения в возбужденном азоте методом КРС. Письма в НЭТ$, 1978, т.27, J6 12, с.681-684.

44. Елецкий A.B., Палкина Л.А., Смирнов Б.М. Явления переноса вслабоионизованном газе. М.: Атомиздат, 1975. - 432 е., ил.

45. Елизарьева В.Н. Определение температуры по вращательнойструктуре полос /Vg, СО, С//в тлеющем разряде. Оптика и спектроскопия, 1957, т.З, Jfc I, с.61-67.

46. Ельяшевич М.А. Атомная и молекулярная спектроскопия. М.:

47. Физматгиз, 1962. 892 е., ил.

48. Ерыбашева Л.Ф. Спектроскопическое определение температурынейтрального газа в разряде^ и СО~ Оптика и спектроскопия, 1971, т.ЗО, Ш 2, с.373-374.

49. Ерыбашева Л.Ф., Иванов В.Н. Определение температуры по вращательной структуре 0,0 полосы азота. - Оптика и спектроскопия, 1971, т.ЗО, J£ 4, с.612-615.

50. Зельдович Я.Б., Райзер Ю.П. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений. М.: Наука, 1966. - 686 е., ил.

51. Иванов Ю.А., Карабашев И.Н., Овсянников A.A., Полак Л.С.,

52. Словецкий Д.И. Концентрация, частота столкновений и энергетическое распределение электронов в положительном столбе тлеющего разряда в азоте. Теплофизика высоких температур, 1976, т. 13, 13, с.465-472.

53. Иванов Ю.А., Полак Л. С. Энергетическое распределение электронов в низкотемпературной плазме: В кн.: Химия плазмы, -М.: Атомиздат, вып.2, 1975, с.161-195.

54. Карлов Н.В., Конев Ю.Б., Кузьмин Г.П. Об энергетическиххарактерно тиках газоразрядных ^-лазеров. В кн.: Краткие сообщения по физике. М.: ФИАН СССР, 1971, I 8, с.17-25.

55. Катулин В.А. Работы ФИАНа в области создания и применениятехнологических лазеров. Известия АН СССР. Сер. физическая, 1983, т.47, № 8, с.1507-1512.

56. Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат,1969. 290 с., ил.

57. Косоручкина А.Д. Анализ оптического метода определения колебательной температуры состояния Х^Л"*/^. М., 1982. -26 с. - Рукопись представлена Моск. инж.-физ. ин-том. Деп. в ВИНИТИ 12 апр. 1982, № 1744-82.

58. Косоручкина А.Д. Определение мощности, выделяющейся в отдельных частях разряда в азоте. М., 1982. - 18 с. -Рукопись представлена Моск. инж.-физ. ин-том. Деп. в ВИНИТИ 12 апр. 1982, й 1743.

59. Косоручкина А.Д. Сечения возбуждения состояния С^П^ электронным ударом. М., 1980. - 14 с. - Рукопись представлена Моск. инж.-физ. ин-том. Деп. в ВИНИТИ 24 нояб. 1980, Я 4922-80.

60. Косоручкина А.Д., Трехов Е.С. Распределение электронов посечению тлеющего разряда в азоте. Журнал технической физики, 1980, т.50, й 7, с.1530-1532.

61. Косоручкина А.Д. Энергия, излучаемая второй положительнойсистемой азота. В кн.: Сб. тезисов докл. 60-й юбилейной научн. сессии Астраханского медицинского института. Астрахань, 1978, с.121.

62. Косоручкина А.Д. О механизме нагревания газа в тлеющем разряде в азоте. Журнал технической физики, 1975, т.45, № 5, с.1077-1081.

63. Косоручкина А.Д., Трехов Е.С. О методе определения колебательной температуры состояния * молекулы азота. -Журнал технической физики, 1975, т.45, $ 5, с.1082-1085.

64. Косоручкина А.Д., Трехов Е.С. Определение частоты столкноовений, приводящих к заселению состояния О П^Л^ электронным ударом. Журнал технической физики, 1975, т.45, J6 5, с.1086-1090.

65. Косоручкина А.Д., Трехов Е.С. О функции возбуждения состояния С^Л^ электронным ударом. Оптика и спектроскопия, 1978, т.44, с.615-617.

66. Косоручкина А.Д., Трехов E.G. Критерий применимости оптического метода определения колебательной температуры основного состояния молекул азота. Оптика и спектроскопия, 1980, т.49, В I, с.50-52.

67. Косоручкина А.Д., Трехов Е.С. Исследование радиального распределения концентрации электронов в разряде азота низкого давления оптическим методом. Оптика и спектроскопия, 1981, т.51, ß 2, с.233-236.

68. Кузнецова A.A., Кузьменко Н.Е., Кузяков Ю.Я., Пластинин Ю.А.

69. Вероятности оптических переходов двухатомных молекул. -М.: Наука, 1980. 432 с.

70. Кэй Дж., Лэби Т. Таблицы физических и химических постоянных.- М.: Физматгиз, 1962. 247 с.

71. Лавров Б.П., Оторбаев Д.К. 0 соотношении вращательной и газовой температур молекулярной плазмы низкого давления. -Письма в Журнал технической физики, 1978, т.4, 23, с.1419-1423.

72. Латыпова P.A., Луков ников А.И., Фетисов Е.П. Функция распределения свободных электронов в плазме молекулярного азота. Журнал технической физики, 1972, т.42, № I, c.II5-II7.- IVO

73. Jleö I. Основные процессы электрических разрядов в газах.

74. М.Л.: Госиздат, 1950. 672 с.

75. Лосев С.А., Шаталов О.П., Яловик М.С. О влиянии ангармоничности на время релаксации при адиабатическом возбуждении и дезактивации колебаний молекул. Докл. АН СССР, 1970, т.195, В 3, с.585-588.

76. Луковников А.И., Новгородов М.З. Об искажении функции распределения электронов по энергиям, измеряемой цилиндрическим зондом. Б кн.: Краткие сообщения по физике. -М.: ФИАН СССР, 1971, с.27-34.

77. Мак-Даниель И. Процессы столкновений в ионизованных газах.-М.: Мир, 1967. 832 е., ил.

78. Мачерет С.О., Русанов В.Д., Фридман A.A., Шолин Г.В. Неравновесный плазмохимический процесс синтеза окислов азота. Журнал технической физики, 1980, т.50, Je 4, с.705-715.

79. МессиТ., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения.1. М.: И.Л., 1958. 324 с.

80. Микаберидзе A.A., Очкин В.Н. Колебательные температуры влазерах на двуокиси углерода. В кн.: Квантовая электроника. М.: ФИАН СССР, 1971, I 3, с.96-99.

81. Михайлов A.A., Пивовар В.А. Модельный расчет констант скорости ступенчатого возбуждения колебательных уровней азота электронным ударом. Журнал технической физики, 1975, т.45, JЬ 5, с.1063-1067.

82. Мнацаканян АД. Усреднение сечений поглощения и возбуждениядвухатомных молекул по колебательной структуре. Оптика и спектроскопия, 1971, т.30, $ 6, с.1015-1018.

83. Мнацаканян АД., Найдис Г.В. Зависимость распределенияэлектронов по энергиям в молекулярном азоте от колебательной температуры и степени ионизации. Физика плазмы, 1976, т.2, JS.I, с.152-162.

84. Мнацаканян АД., Подлубный Л.И. Изменение колебательного распределения при переходах между электронными состояниями двухатомных молекул в столкновениях с электронами. -Журнал технической физики, 1971, т.41, № 10, с.2121-2125.

85. Нагибина И.М., Прокофьев В.К. Спектральные приборы и техника спектроскопии. Л.: Машиностроение, 1967. - 323 е., ил.

86. Новгородов М.З. Экспериментальное исследование электрическихи оптических характеристик положительного столба разряда в молекулярных газах. Тр. ФИАН СССР. - М.: ФИАН СССР, 1974, т.78, с.60-116.

87. Новгородов М.З., Очкин В.Н., Соболев H.H. Измерения колебательных температур в ОКГ на СО2. М., 1969. - 24 с. (Препринт/ФИАН СССР: В 172).

88. Оксюк Ю.Д. Возбуждение вращательных уровней двухатомных молекул при электронном ударе в адиабатическом приближении. Журнал экспериментальной и теоретической физики, 1965, т.49, вып.4(10), с.1261-1273.

89. Островская Г.В. К вопросу о расчете радиальных распределений параметров осесимметричной плазмы .методом Пирса. -Журнал технической физики, 1976, т.46, Jb 12, с.2529-2534.

90. Очкин В.Н. К вопросу о взаимосвязи колебательных распределений молекул в состояниях и 0%. М., 1972. j к23 с. (Препринт/ФИАН СССР: В 102).

91. Очкин В.Н., Савинов С.Ю., Соболев H.H. Неравновесное распределение молекулпо вращательным уровням в газовом разряде. Журнал экспериментальной и теоретической физики, 1978, т.75, вып.2(8), с.463-472.

92. Очкин В.Н. Исследования плазмы активных сред непрерывныхэлектроразрядных молекулярных инфракрасных лазеров. -Дис. . д-ра физ.-мат. наук;. -М., 1980. 241 с.

93. Ошерович АД., Горшков В.Н. Измерение радиационных времен1. О г о .жизни возбужденных состояний С П молекулы/ь?, В молекулы/^"'" методом сдвига фаз и задержанных совпадений. Оптика и спектроскопия, 1976, т.41, $ I, с.158-160.

94. Пеннер С.С. Количественная молекулярная спектроскопия и излучательная способность газов. М.: И.Л., 1963. - 494 с.

95. Пивовар В.А. Явление небольцмановского распределения заселенностей колебательных уровней азота при импульсном возбуждении их электронами. Письма в Журнал технической физики, 1976, т.2, 8, с.379-384.

96. Пивовар В.А. Уточнение модели колебательной температуры дляописания генерационных характеристик короткоимпульоного С02-Л/2~^8 лазера. Курнал технической физики, 1981, т.51, гё 9, с.1876-1884.

97. Пирс Р. Расчет распределения по радиусу фотонных излучателей в симметричных источниках. В кн.: Получение и исследование высокотемпературной плазмы. М., 1962, с.221-248.

98. Пирс Р., Гейдон А. Отождествление молекулярных спектров. -М.: И.Л., 1949. 212 с.

99. Полак Л.С., Сергеев П.А., Словецкий Д.И. Влияние обмена колебательными квантами на нагрев газа в условиях колебательно-поступательной неравновесности. Сб.: Химические реакции в низкотемпературной плазме ДШС АН СССР, М., 1977, с.122-138.

100. Полак Л.С., Сергеев П.А., Словецкий Д.И. Механизм ионизацииазота в тлеющем разряде. Теплофизика высоких температур, 1977, т.15, lb I, с.15-23.

101. Полак Л.С., Словецкий Д.И., Урбас А.Д., Федосеева Т.В. Релаксационные измерения и механизмы возбуждения электронно-колебательных уровней молекул в тлеющем разряде в азоте. В кн.: Химия плазмы. -М.: Атомиздат, 1978, вып.5, с.221-241.

102. Пржонский A.M. Ионный состав разрядной азотной плазмы.

103. Украинский физический журнал, 1974, т.19, J£ II, с.1892-1896.

104. Пржонский A.M. Масс-спектрометрическое измерение ионногосостава разрядной азотной плазмы. Украинский физический журнал, 1977, т.22, В 12, с.2009-2012.

105. Пржонский A.M., Черняк В.Я. Масс-спектрометрическое измерение состава нейтральных компонентов в разрядной азотной плазме. Украинский физический журнал, 1979, т.24, Л 9, с.1389-1392.

106. Раводина О.В., Попова Т.Н. Определение концентрации электронов в тлеющем разряде по заселенности состояния

107. Известия ВУЗов. Физика, 1974, В 3, с.147-149.

108. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. М.: Наука, Физ.-мат.лит., 1980. - 383 с.

109. Рубин П.Л. Факторы интенсивности линий в электронных спектрах двухатомных молекул. Оптика и спектроскопия, 1966,т.20, вып.4, с.576-581.

110. Русанов В.Д., Фридман A.A. 0 реакциях колебательно-возбужденных молекул азота в неравновесных плазмохимических системах. Докл. АН СССР, М., 1976, т.231, с.1109-1110.

111. Свиридов А.Г., Соболев H.H., Целиков Г.Г. Определение газовой температуры плазмы тлеющего разряда оптическим методом. Письма в.Журнал экспериментальной и теоретической физики, 1967, т.6, с.542-545.

112. Семенов JT.Ií., Юрьев М.С. Расчет спектроскопических характеристик молекул Vg и в приближении случайных фаз. Динамическая поляризуемость и сечения неупрутих потерь быстрых электронов. Оптика и спектроскопия, 1982, т.52, вып.2, с.237-241.

113. Скубенич В.В. Экспериментальное исследование эффективныхсечений возбуждения молекул азота, кислорода и окиси углерода медленными электронами: Автореф. Дне. . канд. физ.-мат. наук. Ужгород. 1969. - 18 с.

114. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М.: Наука, 1980. - 310 с.

115. Словецкий Д.И., Урбас А.Д., Федосеева Т.В. Релаксационныеизмерения и механизмы возбуждения электронно-колебательных уровней молекул в тлеющем разряде в азоте. В кн.: Химия плазмы. - М.: Атомиздат, 1978, вып. 5, с.242-279.

116. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессыв плазме. М.: Атомиздат, 1968. - 363 с.

117. Смирнов Б.М. Физика слабоионизованного газа. М.: Наука,1978. 416 с.

118. Соболев H.H., Соковиков В.В. Оптические квантовые генераторы на COg. Успехи физических наук, М.: Наука, 1967, т.91, Ш 3, с.425-454.

119. Соболев H.H., Соковиков В.В., Стрелец В.Н. Заселение колебательных уровней молекул СО в газовом разряде. В кн.: Краткие сообщения по физике. М.: ФИАН СССР, 1971, $ 9, с.13-19.

120. Ступоченко Е.В., Лосев С.А., Осипов А.И. Релаксационныепроцессы в ударных волнах. М.: Наука, 1965. - 484 с.

121. Таращук В.П., Василец П.А., Кирсей В.И., Порашнский И.А.,

122. Свиргун A.A. Электроразрядный технологический С02~лазер непрерывного действия. Квантовая электроника, 1982, т.9, № 10, с.2028-2035.

123. Теплопроводность твердых тел: Справочник / Под ред. A.C.

124. Охотина. М.: Энергоатомиздат, 1984. 320 с.

125. Тычинский В.П. Мощные газовые лазеры. Успехи физическихнаук, М.: Наука, 1967, т.91, Л 3, с.389-424.

126. Фабрикант В.А. Механизм излучения газового разряда. Тр.

127. Всес. энергетического института. М., 1940, вып.41, с. 23.6-243.

128. Фриш С.Э. Оптические спектры атомов. М.Л.: Физматгиз,1963. 640 с.

129. Фриш С.Э. Свечение газоразрядной плазмы низкого давления.- В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. I.: Наука, 1970, с.244-273.

130. Хастед Да. Физика атомных столкновений. М.: Мир, 1965.710 с.

131. Чернетский A.B. Введение в физику плазмы. М.: Атомиздат,1969. 303 с.

132. Эягель А. Ионизованные газы: Пер. с англ. -М.: Физматгиз,1959. 332 с.

133. Aarts J.P.M.,DeHeer P.J. Emission cross sections of the second positive group of Nitrogen produced by electron impact .-Chemical Physics Lctters,1969,v.4,n.3»P.1l6~118.

134. Akashi К. ,Taniguclii Y.,Cakada p. Nit riding of silicon in RPinduced nitrogen plasma.-ISPC-5: 5 Int.Symp.Plasma Chem., Edinburgh 10-14 Aug.,1931, Symp.Proc.v.1,Edinburgh,1981, 376-379;380a,38Ob,381.

135. Alekseev A.M.,Koval V.V.,Petrischev V.A. ,Khernelevoi P.S. Plasmochemical synthesis in continuous electro-bean ¿.sustained discharge.-IPSC-5 5 Int.Symp.Plasma Chem.,Edinburgh,10-14 Ang.,1981,Symp.Proc.v.2,Edinburgh,1981,p.893-897.

136. Armandillo E,,Rearsley A. Highpower introgen laser.-J.Appl.

137. Phys.Lett.,1982,v.41,n.7,p.6H-6l3.

138. Bajorek R.,Resske E.,Parosa R.,Czernichowski A. Nitric oxideproduction in an atmospheric pressure microwava air plasma.-ISPC-5: 5 Int.Symp.Plasma Chem.,Edinburgh,10-14 Ang., 1981,Symp.Proc.n.2,Edinburgh,1981,p.761-764.

139. Behnke J.F.,Grigull P. Radial distribution of vibration temperature Tv(x^g+) in the positive column of a Ng low pressure dc discharge.-Proc.1 3-th Int.Conf.Phenomena Ionized Gases, 1977.Berlin,1977.Contr.Rap.Part.1.Leipzig,1977, p.245-246.

140. Benesch W,,Vanderslice J.T.,Tileord S.G,,Wilkinson P.G.

141. Franck-Condon factors for.permitted transitions in Ng.-Astrophys.J.,1966,v.143,p.236-252;v.144,P.408-418.123« Berend G.C.,Benson S.W. Vibration-Vibration Energy Transfer between Diatomic Molecules.-J.Chem.Phys.,1969,v.51, p.1480-1492.

142. Black G.jY/ise H.,Schechter S.,Scharpless R.L» Measurementsof vibrationally excited molecules by Raman scattering.II. Surfice deactivation of vibrationally excited l^.-J.of Chemical Physics,1974,v.60,n.9,p*3526~3536.

143. Bleekrodo R. A Study of the Spontaneous Emission from

144. COg-Hg-He-I-^ Laser Discharges Emission Bandsof N2.-IEEE J.of Quantum Electronics.196?,n.2(QE~5), p.57-60.

145. Bockasten K. Transformation of Observed Radiances into Radial

146. Distribution of the Emission of a Plasma.- J.of the Optical Society of America.1961,v.51,n.9,p.943-947.

147. Budo A. Über die Triplett-Bandentermiormel für den allgemeinen intermediären Pall und Anwendung derselben auf die B^F-C-yT-Terme des Ug-Moleküls.-Zeitschrift für Physik, 1935, Bd. 96,113-4, S. 219-229.

148. Burns D.J.,Simpson F.R.,McConkey J.W. Absolute cross sections for electron excitation of the second positive bands of nitrogen.-J.Phys.B (Atom.Molec.Phys.),1969,ser.2,v.2, p.52-64.

149. Cartwright D.O. Rate coefficients and inelastic momentumtransfer cross sections for electronic excitation of H2 by electrons.-J.Appl.Phys.,1978,v.49,n.7,p.3855-3862.

150. Chang R.P.H.,Barack S. Plasma-enhanced beam deposition ofthin dielectric films.-J.Vac.Sei.and Technol.,1983,AI, n.2,PtI:Proc.29 Nat.Symp.Amer.Vac.Sco,,Baltimore,Md, 16-19 Nov., 1982,p.717-758.

151. Christophorou L.G.,Carter J.G. Energy Lost by slow electrons in collisions with Molecules.-Chemical Letters,1968, v.2,n.8,p.607-609.

152. Crompton R.W.,Suttond.J. Experimental investigation of thediffusion of slow electrons in nytrogen and hydrogen.-Proc. Roy.So c.(London),1952,v.A215,p.4 67-480.

153. De Vos J.C. Evaluation of the quantity of a blackbody.-Physical 954,v.20,n.10,p.689-690.

154. Dieke G.H.,Heath D.F. The First and Second positive Bands of1.2»-(Unclassfied.Johus Hopkins spectroscopic report,n.17. The Johus Hopkins University Department of Physics).Baltimore »Maryland,1959,-24Op.

155. Druyvesteyn M.J. Der Hiedervoltbosen.-Zeitschrift für Physik,1930,Bö.64,N.11-12,S.781-798.

156. Engelhardt A.G.,Phelps A.V.,Risk C.G. Determination of Momentum Transfer and Inelastic Collision Cross Sections for Electrons in Nitrogen Using Transport Coefficients.-Physical Review,1964,v.135,n.6A,p.1566-1574.

157. Ehrhardt G.,Willmann K. Die V/inkelahhängigkeit der Resomansstrenung niederenergetischer Elektronen an ^«-Zeitschrift für Physik,1967,Bd.204,S.462-477.

158. Freund R.S. Molecular Beam Measurements of the Emission Spectrum and Radioactive Lifetime of Ng in the Metastable E3£g+ State.-J.of Chemical Physics,1969,v.50,n.9,p.3734-3740.

159. Frost L.S.,Phelps A.V. Rotational Excitation and Momentum

160. Transfer Cross Sections for Electrons in H2 and I\T2 from Transport Coefficients.-Physical Review, 1 962,v.1 27,n.5, p.1621-1633.

161. Gerjuoy E.,Stein S. Rotational excitation by slow electrons.

162. Phys.Rev.,1955,v.97,n.6,p.l671-1679.

163. Girardeau-Montant J~P.,Roumy M.,Haraelin J.,Avan L. Lasen pulsea azote molelulaire emettant dans 1'ultraviolet.-C.R.Acad. Sc.Serie B.Paris,1971,t.273,s.725-728.

164. Golden D.E.,Burns D.J.,Sutcliffe V.C. Role of resonances inthe eletron-impact excitation functions of the and

165. E3£+ g states of li2.-Physical Review A.,1974,v.10,n.6, p.21 23-2130.

166. Haridoss S.,Perlman M.M.,Carlone C. Vibrationally exciteddiatomic molecules as charge injectors during corona charging of polymer films,-J.Appl.Phys., 1 982,v.53,n.9,p.6106-6114.

167. Herzfeld K.,Litovtz T. Absorption and Dispersion of Ultrasonic Waves.-Acad,Press.,N.Y.,1959.

168. Howorth J.R. The excitation mechanism for the Cstate ofnitrogen in a slow discharge.-J.Phys.B:AtomJ.:olec.Phys., 1972,v.5,p.402-407.

169. Hill G.L.,Winter T.G. High-Temperature Ultrasonic Measurements of Rotational Relaxation in Hydroge,Deuterium,Nitrogen and Oxigen.-J.Acoust.Soc.Amer.,1967,v.42,p,848-858.

170. Imami M.,Borst W.L. Electron excitation of the (0,0) secondpositive band of nitrogen from threshold to 1000 cV.~ J. of Chemic.Physic. 1 974, v. 61,n.3, P• 11 5-1117.

171. Ivanov Yu.A.,Lebedev Yu.A .,Pclalc L.S. Energy transfer from

172. DC and UHP-fields to plasma electrons.-Proc.1?-th Int. Oonf.Phenomena Ionised Gas 1977,Berlin,1977.Confr.Pap. Part I.Leipzig,1977,p.33i -332.

173. Kosoruchkina A.D. Mean electron energy effects in determination of X'Z + Np~state vibrational temperature by the optica c~cal method.-In:Phenomena in ionized gases,Part IIMinsk, 193'i,p.727-728.

174. Krysmanski K.H.,Walter W. Interferometrische Bestimmung der

175. Gastemperatur in der Stickstoffniederdruckentladung.-Beitrage aus der Plasmaphysik, 1 978,bd. 18,11.6,S,367-369.

176. Kurzweg L.,Egbert G.T.,Burns D.J, Contribution of the Meta3 + 3stable EYg state to the Population of the C ^ state ofthe Following Electron-Impact Excitation,-Physic.Review

177. A., 1973, v.7,n. 6, p.1966-1971 .

178. Langmuir I.,Mott-Smith H. Studies of electric discharges ingases at low pressures.Part I.-General Electric Review, 1924,v.27,n,7,p.449-455.

179. Lashka L.,Kodymova Y. To the kinetics and mechanism of magnesium nitriaation in a dc discharge.-Czechosl.J.Phys.,1977, Bd.27,n.II,p,1 219-1231.

180. Lofthus A. A determination of the electronegativity parametrein molecules cantacting nitrogen.-J.Phys.Chem.Ref.Data, 1977,v.I,n,6,113-119.

181. Matsumoto Osamu,Hayami Eiji,Konuma Mitsuharu,Kanzaki Yasushi,

182. Nitriding of titanium with two types of plasmas.-Proc.7Int. Conf.Vac.Met,,Tокуо,Nov.26-30, 198 2>Spec.Melt.and Met.Coat. (v.I).Tokyo,1982,p.576-583«

183. Mentzoni M.H.,Row R.V. Rotational Excitation and Electron Relaxation in Nitrogen.-Phys.Rev.,1963,v.130,n.6,p.2312-2316.

184. Moseley J.T.,Snuggs R.M.,Martin D.V/.,McDaniel E.W, Mobilities,

185. Diffusion Coefficients,and Reaction Rates of Mass-Identified Hitrogen Ions in Nitrogen.-Phys.Review,1969,v.178,n.I, p.240-248.

186. Nath A.K., Chatterj'ee U.K., Bhawalkar D.D. Multiline TEA C02 laser.-Indian J.Phys.,1980,v.54,n.1-2,p.112-120.

187. Nicholls R.W. Franck-Condon factors and r-centroids of vibrational quantum numbers for bands of the second positive system of -Canad.J.Chem.,1969,v.47,n.10,p.1847-1856.

188. Nighan V/.L. Electron energy distributions and collision ratesin electrically excited NgjCO and COg.-Phys .Rev/., 1970, v.A2, n.5,P.1989-2000.

189. Norton P.R.,Tapping R.L.,Broida Ii.P.,Gdazuk J.W.,Waclawski B.J.

190. High resolution photoemission study of condensed layers of nitrogen and carbonmonoxide.-"Chem.Phys.Lett,",1978,v«53, n.3,p.465-470.

191. Ono S.,Teii S. Vibrational temperature in a weakly ionisedsteady-state nitrogen discharge plasma.-J.Phys.D:Appl.Phys. Printed in Great Britain.1983,n.16,p.163-170.

192. Ornstein L.C.,Brinkmann H. Der termische Mechanismus in der

193. Polak L.S.,Slovetsky D.I.,Urbas A.D. A study of the ionization and excitation processes in the glow discharge through the mix'tures*~;E>roc*1 3-th Int.conf.Phenomena Ionized

194. Gases.1977,Conf.Pap.Part I,Leipzig,1977,P.259-260.

195. Porter R,A.,Harshbarger R.A. Gas rotational temperature in an

196. HP plasma.-J.Electrochem.Soc.,1979,v.126,n.3,p.460-464.

197. Sauerbrey Rolana.Tittel Franc K.,Wilson William L.,Yr.,

198. Kighan William L.Effect of Nitrogen on XeF (C-A) and

199. XegCl laser performance.-IEEE J.Quantum Electron., 1982, v.18,n.9,p.1336-1340.

200. Schinca D .,Scaffardi L.,Gallardo Li. Espectroscopia laser ennitrogeno molecular Opt.pura y api.,1983,v.16,n.I,p. 27-45.

201. Schinitschek E.J.,Celto J.E. The effect of nitrogen on theextraction efficiency of a H Br2 dissociation laser.-Top.o

202. Meet.Exam.Las e r.Dig.T e chn.Pap•Charle st on,S.C.,197 9,New York,1979,ThB 3/I-ThB 3/4.

203. Schlumbohm H. StoBionisierungkoeffizient ,mittlere Elektronenenergien und die Beiveglichkeit von Elektronen in Gasen.-Zeitschrift fur Physik,1965,v.184,S.492-505.

204. Schottky V/. Theorie der strahlungsdiffusionsbedingten Entlandungssaule.-Phys.Zs.,19 24,Bd.25,S.342-349,S.625-631 ; 1925,Bd.31,S.163-172. 179« Schulz G.J. Vibrational Excitation of Nitrogen by Electron Impact.-Physical Review.1962,v.125,n.1,p.229-232.

205. Setser D.N.,Stedman D.H. Energy Pooling by Triplet Nitrogen

206. A3r+u) Molecules.-J.Chem.Phys.,1969,v.50,p.2256-2259.

207. Shemansky D.E.,Broadfoot A.L. Excitation of Ng and lit, systems by electrons.-I Absolute transition probabilities»-¿F, Quant.Spectrosc.Radiat.Transfer.1971,v.II,p.1385-1437.

208. Stoian P.,Mehlman A.,Donghel IT. The nitriding of steelsthrough ionic bombardment.-An,Sti.Univ,Iasi,1978,Sec.Ib, v.24,p.101-104.

209. Subhash IT., Kart ha Sudha C., Sathianandan K« ITew vibrationalbands in nitrogen laser emission spectra.-Appl.Opt1983» v.22,n.22,p.3612-3617.

210. Suchard S.IT.,Sutton D.G.,Heidner R.F. III.Behavior of Firstand Second-positive Emission in ITg SFg Laser.-IEEE J. Quant.Electron,1975,QE-11,n.11,p.908-916.

211. Treanor C.E.,Rich J.Yi.,Rehm R.G. Vibrational Relaxation of

212. Unharmonic Oscillators with Exchange-Dominated Collisions.-The Journal of Chemical Physics.1968,v.48,n.4,p.1798-1807.

213. Troitski V.IT.,Berstenko V,I.,Gurov S. V., Domashnev I.A. Physico-chemical problems of the nitride synthesis in a SHP-discharge plasma.-ISPC-5: 5 Int.Symp.Plasma Chein.,Edinburgh, 10-14 Aug.,1981,Symp.Proc.v.2,Edinburgh,1981,p.855-860.

214. Varney R.1T. Drift Velocity of Ions in Oxygen,Nitrogen and

215. Carbon Monoxide.-Physical Review,1953,v.89,n.4,p.708-711.

216. Venugupalan M.,Botchway G.X.,Suda R.F. Effect of a platinumcatalyst in the spatial afterglow on the plasma synthesis of ammonia.-ISPC-5: 5 Int.Svmp,Plasma Chem.,Edinburgh,10-14 Aug.,1981,Symp.Proc.,v,2,Edinburgh,1981,p.694-699.

217. Von Ross W,,Inner J.»Seliger K. Untersuchung der Laseremissionin der 0-0-,0-1 -und 1-0 Bande des zweite positiven Systems von Stukstoff.-Experimentelle Technik der Physik,1975, Bd.23,IT.6,S.593-598.

218. Wong S.P.,Dube L. Rotational excitation of N2 by electronimpact: 1-4 eV.-Physical Review A.1978,v.17,n.2,p.570-576.

219. Williams A.J.,Doering J.P. An experimental survey of the lowenergy electron scattering spectrum of Iiitrogen.-Plant Space Sei.,1969,v.17,p.1527-1537.

220. Yoshida Toyonobu,Tacata Ryo,Akashi Kazuo. iJitriding of silicon in an RP induced nitrogen plasma.-Proc.7 Int.Gonf.Vac. Met.,Tokyo,Nov.26-30,1982,Spec.Melt.and Met.Cvat.,/v.1/, Tokyo,1982,p.568-575.

221. Zare R. I'T., Lars son E.0.,I3erg R.A. Pranclc-Condon Factors for

222. Electronic Band Systems of Molecular ITitrogen.-J.of Molecular Spectroscopy,1965,v.1 5,p.117-139.

223. Zheng Yongwu, Chen Shaohui. Study of the small-size IT2 laserwith cecamic capacitor as energy source.-Zsihuan,Laser J., 1982,n.6(9),p.381-384.

224. Zipf E.C.,Jr.Measurement of the Diffusion Coefficient and Ra3 -fdiative Lifetime of Nitrogen Molecules in the A zt Sta te.-J.Chemical Physics,1963,v.38,n.8,p.2034-2035.

225. УТВЕРЖДАЮ" Заместитель декана физического факультета1. МГУ шчпрочее ,с ордерг: !носоваг.1. СССс

226. Зав. кафедрой электроники профессор1. Профессор, д.ф-м.н.1. Доцент, к.ф.-м.н.1. Мл.научн.сотр., к.ф.-м.н.

227. Г.В.Спивак/ /А.А.Кузовников/ /А.М.Девятов/ /В.М.Шибков/

228. Ут верждаю " с&Директора Института ^фйики АН БССРкедёмик АН БССР/ГУ.п1. Л * ' 1984 г.1. АКТоб использовании результатов диссертационной работы А.Д.Косоручкиной на тему "Кинетические процессы в плазме тлеющего разряда"

229. Зам.зав.лабораторией Мл. научный сотрудник1. Ст. научный сотрудник .1. JB.E.Плюта1. В. Ажаронок . С.В.Нечаев1. УТВЕРЖДАЮ"не1. Зам. директора

230. Всесоюзного электротехнического им. В. И.Ленина Козлов В* Б.1. Ш4 г.м.п.1. Актоб использовании результатов диссертаиионной работы А.Д.Косоручкиной на тему:"Кинетические процессы в плазме тлеющего разряда в азоте".

231. Начальник отдела \лх/у/ /Ульянов К. Н./

232. Ст. научный сотрудник /Новикова К. П./

233. Ст. научней сотрудник/^-^г'^Чулков В.В./