Магнитооптическое исследование микрораспределения магнитного поля и намагниченности ферромагнетиков в широком диапазоне частот тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.11 ВАК РФ

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА, ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ И ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ имени М.В.ЛОМОНОСОВА

ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ

На правах рукописи УДК 538.61

МАЦКЕВИЧ Светлана Ивановна

МАГНИТООПТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОРАСПРЕДЕЛЕНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ И НАМАГНИЧЕННОСТИ ФЕРРОМАГНЕТИКОВ В ШИРОКОМ ДИАПАЗОНЕ ЧАСТОТ

01.04.11 - физика магнитных явлений

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Москва -1994

Работа выполнена на кафедре магнетизма физического факультета МГУ им. М.В.Ломоносова, г.Москва

Научный руководитель: доктор физико-математических наук,

старший научный сотрудник В.Е.Зубов. Официальные оппоненты Доктор технических наук

П.П.Олиференко,

кандидат физико-математических наук, доцент А.А.Костюрин. Ведущая организация: Институт энергетических проблем

химической физики РАН.

Защита диссертации состоится " & " 1994 ГОда

в & часов 30 минут на заседании специализированного совета №3 ОФТТ (К.053.05.77) в МГУ им.М.В.Ломоносова по адресу: 119899, Москва, Воробьевы горы, МГУ, физический факультет, аудитория

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке физического факультета МГУ им.М.В.Ломоносова.

Автореферат разослан " \ 994 года

Ученый секретарь специализированного совета №3 ОФТТ в МГУ им.М.В.Ломоносова, "■} ■

кандидат физико-математических наук 1 ; , ■ " -

Т.М.Козлова

р;

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ.

Актуальность темы. Задачи микромагнетизма являются одними из наиболее актуальных задач современной физики магнитных явлений. Первые теоретические работы по микромагнетизму появились в начале века и были посвящены расчету доменной структуры в различных кристаллах. Далее появились работы по структуре доменной границы (ДГ) в бесконечных массивных материалах [1]. Вблизи поверхности реализуется распределение намагниченности, способствующее уменьшению магнитостатической энергии и, следовательно, уменьшению полей рассеяния над поверхностью ферромагнетиков. В частности, как было показано Хубертом, в 180° ДГ Блоха это приводит к асимметричному загибу границы вблизи поверхности. Однако, как показывают экспериментальные исследования, использующие порошковую технику и цр., поля рассеяния даже над такими структурами с замкнутым магнитным ютоком отличны от нуля. Развитие вычислительной техники позволило не только рассчитать точное распредление намагниченности в асимметричной 180° ДГ [2], но и ставить задачи по расчету структуры низкоразмерных эбъктов, таких, как блоховские линии (БЛ) и точечные магнитные :ингулярности. Экспериментально микромагнитные исследования доводятся с использованием магнитооптических методов и методов электронной микроскопии, позволяющих восстанавливать распределение намагниченности. Дополнительную информацию о микромагнитных :убструктурных элементах в ферромагнетиках можно получить на основании измерений полей рассеяния над этими элементами. Решение »той задачи требует применения методов измерения магнитного поля, сарактеризующихся субмикронным разрешением, высокой

¡увствительностью и широкими функциональными возможностями, гапример, возможностью одновременно измерять три компоненты лагнитного поля.

С другой стороны, прямое измерение магнитного поля является ¡ажной практической задачей при разработке и контроле устройств лагнитной микроэлектроники таких, например, как магнитные головки. Тенденция к миниатюризации и увеличению быстродействия устройств лагнитной микроэлектроники требует улучшения пространственного >азрешения и расширения частотного диапазона методов их контроля.

Существующие на сегодняшний день методы измерения яагнитных полей в микрообъемах, использующие магниторезистивные, шдукционные датчики, датчики Холла и другие, характеризуются либо ^достаточным пространственным разрешением, либо недостаточными функциональными возможностями, в частности, позволяют измерять только щну компоненту магнитного' поля. Эффективным методом исследования лагнитных полей в микрообъемах является метод

электронно-лучевой томографии. Однако измерения полей этим методом требуют проведения сложного и дорогостоящего эксперимента и математической обработки. Кроме того, измерения проводятся на высоте не менее 0.4-0.5 мкм над исследуемой поверхностью.

Другой важной практической задачей является изучение микрораспределения магнитных свойств в тонких магнитных пленках. В процессе магнитной записи рабочий слой носителя информации промагничивается неоднородно по толщине. Это делает актуальным изучение распределения магнитных свойств носителей по толщине и создание магнитных пленок с заданным распределением этих свойств с целью повышения эффективности процесса записи - воспроизведения.

В связи со сказанным разработка и совершенствование методов измерения магнитного поля в микрообъемах в широком диапазоне частот и проведение измерений микрораспределения намагниченности в тонких магнитных пленках (в том числе по толщине пленок) является актуальной задачей.

Наиболее эффективной при решении этой задачи является магнитооптическая методика, основанная на использовании магнитооптических эффектов в отраженном свете. Она характеризуется широким частотным диапазоном и высоким пространственным разрешением.

Целью работы являлось следующее:

Разработка и научное обоснование метода измерения пространственного распределения магнитного поля с субмикронным разрешением в широком диапазоне частот и исследование статического и высокочастотного микрораспределения магнитного поля и намагниченности различных ферромагнитных образцов.

Научная новизна и практическая ценность.

1) Разработан магнитооптический метод измерения пространственного распределения трех компонент магнитного поля в микрообъемах с линейным разрешением 0.15 мкм в диапазоне частот не менее, чем до 100 МГц. Метод является одним из наиболее совершенных методов измерения полей в микрообъемах и может быть использован для изучения полей рассеяния доменной структуры и ее субструктурных элементов, таких, как ДГ, Б Л и БТ, а также для исследования и контроля устройств магнитной микроэлектроники, в частности, магнитных головок, и для обнаружения скрытых магнитных дефектов субмикронных размеров.

2) Обнаружено наряду с одноосной магнитной анизотропией наличие анизотропии оптических и магнитооптических свойств Со-№ пленок, приготовленных вакуумным напылением под углом. Наличие анизотропии связано со столбчатой структурой этих пленок.

3) Обнаружено неоднородное распределение магнитных свойств по толщине Со-№ пленок, приготовленных вакуумным напылением под углом на движущуюся подложку. Наибольшей коэрцитивностью обладают глои, сформированные при большем угле напыления. Неоднородность связана с изгибанием в процессе напыления кристаллитов, формирующих пленку.

4) Впервые измерено микрораспределение фазы магнитного поля.

5) Обнаружено, что высокочастотные поля в зазорах сендастовых магнитопроводов характеризуются неоднородным распределением фазы и эллиптичностью.

6) В работе предложен способ определения оптического эазрешения по изображению идеального края. В качестве идеального края используется край нитевидного монокристалла железа квадратного сечения : естественными гранями типа (100). В отличие от используемых для эпределения разрешения микроскопов мир, минимальные размеры которых вставляют 0.22 мкм, характерные размеры неоднородностей на краю

о

монокристалла железа не превышают 30 А, благодаря чему предложенный :пособ позволяет определять и более высокое разрешение.

Положения, выносимые на защиту:

1) Разработан и научно обоснован магнитооптический метод «мерения пространственного распределения трех компонент магнитного юля с предельным разрешением 0.15 мкм в диапазоне частот не менее, чем ;о 100 МГц.

2) Со-№ металлизированные ленты, приготовленные вакуумным опылением под углом, характеризуются анизотропией магнитных, оптических и магнитооптических свойств, связанной со столбчатой :труктурой Со-№ пленок.

3) Со-№ металлизированные ленты, приготовленные вакуумным 1апылением под углом, характеризуются неоднородным распределением лагнитных свойств по толщине, что связано с формой кристаллитов, формирующих пленки.

4) Высокочастотные магнитные поля сендастовых магнитных ■оловок характеризуются неоднородным распределением фазы и »ллиптической поляризацией, что является следствием скин-эффекта.

Апробация работы.

Результаты диссертационной работы докладывались на международной конференции ШТЕШУШГЭЗ (Стокгольм, 1993), Зсесоюзных школах-семинарах "Новые магнитные материалы микроэлектроники" (Новгород, 1990; г.Астрахань, 1992), IV Межрегиональной научно-технической конференции "Совершенствование

технической базы, организации и планирования телевидения и радиовещания" (г.Москва, 1992), Семинаре, посвященном памяти В.Г.Королькова "Проблемы магнитной записи" (г.Москва, 1993), IV семинаре "Физика магнитных явлений" (г.Донецк, 1993), Всесоюзной научно-технической школе "Запоминающие устройства ЭВМ и информационных систем" (г.Астрахань, 1993).

Публикации

По теме диссертации опубликовано 14 печатных работ, получен патент РФ на изобретение [96-110].

Объем и структура диссертации.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов и списка цитируемой литературы, содержащего 117 названий. Диссертация изложена на 107 страницах и содержит 30 рисунков.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ.

Во введении обоснована актуальность темы, сформулированы цель работы и основные положения, выносимые на защиту.

Глава I содержит три параграфа и представляет собой обзор литературы.

В §1.1 описаны современные методы измерения магнитных полей в микрообъемах. Особое внимание уделено методам, позволяющим проводить измерения поля с микронным и субмикронным разрешением. К ним относятся методы использующие магниторезистивные, индукционные датчики, датчики Холла, методы магнитной силовой и электронной микроскопии, магнитооптический метод. Все указанные методы, кроме электронно-лучевой микроскопии и магнитооптического метода, позволяют измерять какую-либо одну компоненту магнитного поля и требуют перемещения датчика в исследуемом поле. Даны характеристики методов, включающие предельное пространственное разрешение, частотный и динамический диапазон при измерении магнитных полей. Наиболее высоким разрешением (~0.1 мкм) обладает метод электронно-лучевой томографии. Однако, проведение измерений этим методом требует дорогостоящего эксперимента и сложной математической обработки. Все описанные в литературе измерения полей методом электронно-лучевой томографии проводились на высоте над поверхностью образца не меньшей 0.4-ь0.5 мкм, что связано, по-видимому, с принципиальными ограничениями метода.

Показано, что наиболее эффективной при изучении полей с субмикронным разрешением в широком диапазоне частот является магнитооптическая методика, основанная на использовании магнито-

штических эффектов в отраженном свете, что делает целесообразным ее [альнейшее развитие.

В §1.2 описаны современные представления о структуре и :войствах тонких магнитных пленок, приготовленных вакуумным [апылением под углом. Особое внимание уделено Со-№ пленкам. Опыление под углом приводит к одноосной магнитной анизотропии, :оторая является следствием столбчатой структуры пленок. Направление >си легкого намагничивания (ОЛН) (которая может быть как параллельна, ак и перпендикулярна плоскости напыления) и величина константы низотропии и поля коэрцитивности определяются составом р условиями [апыления пленок. Структура пленок с ОЛН параллельной плоскости [апыления формируется при больших углах напыления путем независимого оста кристаллитов. Затенение кристаллитов при малых углах напыления риводит к формированию цепочек кристаллитов, перпендикулярных лоскости напыления, и анизотропии другого знака. В пермаллоевых ленках наблюдалась также анизотропия электросопротивления и оэффициента поглощения света, связанная со структурой этих пленок. )днако, остается не изученным вопрос о распределении магнитных свойств о толщине пленок. Интерес представляет также комплексное изучение ¡агнитных, оптических и других свойств пленок.

§1.3 посвящен современной теории магнитной записи и, в астности, анализу распределения полей рассеяния магнитных головок. 1ервое аналитическое решение задачи о распределении поля идеальной агнитной головки было предложено Порто в 1952г [3]. Последующие аботы были посвящены анализу полей рассеяния магнитных головок с четом реальной геометрии (закругление носиков, конечность полюсов и .п.) и реальных магнитных характеристик (конечная индукция магнитного оля, конечная магнитная проницаемость, зависящая от поля, и т.п.). )тмечено, что распределение магнитного поля реальных магнитных головок сегда шире, чем идеальных, что подтверждается рядом экспериментальных абот. Высокочастотные поля магнитных головок существенно отличаются т статических вследствие комплексности магнитной проницаемости и аличия (в проводящих магнитопроводах) скин-эффекта. Однако, наиболее олная и точная информация о полях рассеяния может быть получена на сновании их экспериментального исследования в широком диапазоне астот. Особый интерес представляет исследование полей рассеяния эловок с субмикронными зазорами, т.е. с зазорами, размеры которых равнимы с минимальными размерами магнитных неоднородностей в атериале (например, с шириной доменной границы).

Глава II, содержащая 3 параграфа, посвящена методическил вопросам.

В §2.1 описана используемая в работе экспериментальная установка - высокочастотный магнитооптический микромагнетометр • (В1-МОММ). ВЧ МОММ позволяет измерять различные магнитооптически« эффекты, состоящие в изменении интенсивности или состояния поляризации отраженного от намагниченного образца света. Использование линейных по намагниченности экваториального, меридианального \ полярного эффектов Керра позволяет измерять распределение тре; компонент намагниченности на поверхности исследуемого образца ил! датчика поля. В ВЧ МОММ используется модуляционная методика благодаря чему чувствительность магнетометра при измеренм относительного изменения света, отраженного от участка поверхност! размером ~1 мкм2 , составляет 10" . Установка позволяет проводит! измерения амплитуды и фазы намагниченности в диапазоне частот до 3( МГц.

Вопрос о пространственном разрешении МОММ обсуждается в ^ 2.2, в котором описан предложенный в работе способ определения разрешения микроскопа по изображению дифракционной картины от идеального края. В качестве идеального края используется кра£ нитевидного монокристалла Ее квадратного сечения с естественным!^ гранями типа (100). В МОММ в качестве источника света используется дуговая ксеноновая газоразрядная лампа, регистрация сигнале осуществляется с помощью фотоприемника ФЭУ-39А, предназначенногс для работы в ультрафиолетовой области спектра, благодаря чему мaкcимy^ спектральной характеристики МОММ соответствует длине волны света ~ 0.4 мкм. Оптическое разрешение микроскопа, соответствующее абсолютному критерию разрешения, измеренное с помощью предложенной метода, составляет 0.15 мкм. Отмечено, что при использованш ультрафиолетового микроскопа можно добиться разрешения, сравнимого с разрешением электронного микроскопа, т.е. ~0.1 мкм.

§2.3 посвящен описанию исследованных в работе образцов Пленки состава Со-20%а1:.№, приготовленные в НИИ Химфотопроект вакуумным напылением под углом на подложку из полиэтилентерефталата

о

имели толщины й от 300 до 3300 А и индукцию насыщения #.=12.8 кГс Образцы №1-9 приготавливались при изменении угла напыления о: большего к меньшему, №10-12 - от меньшего к большему. В работе также исследовались видеоголовки из горячепрессованного феррита (с зазорам! от 0.8 до 2.3 мкм), из сендаста

(с зазорами 0.7 и 2.3 мкм) и комбинированная головка типа "металл-в-зазоре" с зазором 0.3 мкм, изготовленные во ВНИИ телевидения и радиовещания.

В Главе III дано научное обоснование магнитооптического метода измерения трех компонент магнитного поля в микрообъемах в широком диапазоне частот.

В §3.1 изложена суть метода, которая состоит в измерении с помощью ВЧ МОММ распределения трех компонент намагниченности высококоэрцитивного пленочного магнитооптического датчика, помещенного в исследуемое поле. Распределение намагниченности датчика однозначно определяется распределением поля.

В §3.2 обсуждаются характеристики магнитооптического датчика необходимые для обеспечения удобства позиционирования и обеспечения требуемого диапазона измеряемых полей. Отмечено, что использование полупрозрачного датчика позволяет измерять высоту над исследуемой поверхностью по интерференционным полосам равной толщины. Измерение распределения поля в зависимости от координат в плоскости пленки осуществляется путем сканирования по поверхности датчика без перемещения его в исследуемом поле. Это возможно благодаря тому, что вследствие высокой коэрцитивности фактически каждая точка поверхности пленки сама является датчиком. Диапазон измеряемых полей при измерении горизонтальных компонент поля определяется полем анизотропии Ид и полем коэрцитивности Нс и для использованного в работе датчика составляет~4 кЭ и индукцией насыщения при измерении нормальной компоненты поля (~13 кЭ). Для измерения малых полей рекомендуется использовать датчики с малыми значениями Нс и Bs. Указано, что частотный диапазон датчика составляет не менее, чем 100 МГц.

В §3.3 определено разрешение магнитооптического датчика при измерении всех трех компонент поля. На основании этого показано, что разрешение метода ограничено оптическим разрешением МОММ, т.е. составляет 0.15 мкм. Обсуждается вопрос об искажении исследуемого поля датчиком вследствие шунтирования поля и саморазмагничивания датчика. Указано, что первый фактор при малой толщине датчика (d / h <0.2, где h -высота над поверхностью исследуемого образца) не существенней. В работе оценен вклад поля размагничивания в измеряемое поле в зависимости от величины градиента магнитного поля и параметров датчика. Для измерений, выполненных в диссертационной работе, он не превышал 15%.

В конце главы даны выводы.

В Главе IV, содержащей 4 параграфа, представлены результаты исследования Со-№ пленок, приготовленных вакуумным напылением под углом.

В §4.1 предложен метод определения коэрцитивности тонких ферромагнитных слоев по полевым зависимостям фазы (ср) намагниченности при перемагничивании образцов магнитным полем (Я) низкой частоты. Поскольку перемагничивание пленок в направлении ОЛН осуществляется преимущественно путем движения доменных границ, фаза намагниченности описывается той же зависимостью, что и движение уединенной доменной границы в совершенном монокристалле [4].

- Нс

Ф = агсБШ —-,

У Н

где Нс - величина поля коэрцитивности. Результаты эксперимента с высокой точностью описываются указанной зависимостью. Полученные значения коэрцитивности соответствуют значениям коэрцитивности образцов, измеренным с помощью вибрационного магнетометра, с точностью не хуже 3%.

В §4.2 обсуждается анизотропия свойств Со-№ пленок. Обнаружено, что Со-№ пленки, приготовленные вакуумным напылением под углом, характеризуются наряду с магнитной одноосной анизотропией анизотропией оптических и магнитооптических свойств. ОЛН пленок может быть как перпендикулярна (пленки №1 и 2) так и параллельна (пленки №3-12) плоскости напыления, при этом коэффициент отражения света (Я) и магнитооптический эффект в насыщении больше в том случае, когда проекция электрического вектора световой волны на плоскость пленки параллельна ОЛН (см.рис.1). Анизотропия связана, по-видимому, со структурой пленок, которая для пленок с ОЛН перпендикулярной плоскости напыления представляет собой цепочки кристаллитов, параллельные ОЛН (аналогично струкутре пермаллоевых пленок [5]). В пленках с ОЛН параллельной плоскости напыления анизотропия определяется удлиннением кристаллитов в этом направлении [6].

Другой интересный результат исследования Со-№ металлизированных лент обсуждается в §4.3. Во всех исследованных пленках обе поверхности по своим магнитным свойствам отличаются друг от друга, а также от объема, что свидетельствует о неоднородном распределении свойств по толщине (см.рис.2). Причем, в пленках, приготовленных при изменении угла напыления от большего к меньшему, магнитная анизотропия сильнее выражена на поверхности, прилегающей

с подложке, Н">Н°св. Анизотропия оптических и магнитооптических

:войств, например, в пленках №4-6 на свободной поверхности не 1аблюдалась, в то время как на поверхности, прилегающей к подложке, она :ущественна. В пленках, приготовленных при изменении угла напыления от меньшего к большему, наоборот, Н£в>Н", оптические и магнитные

:войства изотропны на поверхности, прилегающей к подложке, и щизотропны на свободной поверхности. Причиной такой неоднородности :войств в пленках, напыленных как первым, так и вторым способом, может [вляться изгибание кристаллитов в процессе роста по мере изменения угла гапыления. Заметим, что во всех случаях наибольшей коэрцитивностью >бладает слой, который формируется при большем угле напыления. 1редставляет интерес сравнение свойств пленок, приготовленных в >динаковых условиях (№4-6). Магнитные свойства (величины Нс и кривые [амагничивания) поверхности, прилегающей к подложке, для всех трех [ленок практически одинаковы, в то время как характеристики свободной юверхности пленок и объема заметно отличаются. Слои, прилегающий к юдложке, для всех трех пленок является наиболее коэрцитивным. Поэтому 'средненная по объему коэрцитивность пленки тем больше, чем меньше ее олщина.

В §4.4 обсуждается вопрос об использовании исследованных СоЛ пленок в качестве датчиков в разработанном магнитооптическом методе [змерения поля в микрообъемах.

В главе V, состоящей из двух параграфов, приведены результаты [змерения микрораспределений магнитного поля (на примере полей 'ассеяния видеоголовок с субмикронными зазорами) в диапазоне частот до О МГц с использованием разработанного магнитооптического метода.

В §5.1 представлены результаты исследования магнитных полей ендастовых видеоголовок (СВГ) с зазорами 0.7 и 2.3 мкм и омбинированной магнитной головки типа "металл-в-зазоре" с шириной абочего зазора 0.3 мкм. Показано, что более быстрое спадание магнитного :оля с частотой над головкой с меньшим зазором, наблюдаемое в ксперименте, является следствием скин-эффекта. Другой интересной собенностью полей СВГ, связанной со скин-эффектом, является еоднородное распределение фазы магнитного поля по отношению к амагничивающему току (см.рис.З). Кроме того, распределения фазы оризонтальной и нормальной компонент поля отличны друг от друга, следствие чего высокочастотное магнитное поле над микрозазорами СВГ казывается эллиптически поляризованным. На рис.4 представлено аспределение магнитного поля над головкой типа

"металл-в-зазоре". Можно видеть, что над местом соединения сендаста и феррита величина магнитного поля сравнима с величиной поля над рабочим зазором, в то время как геометрический зазор в месте соединения отсутствует. Этот результат демонстрирует возможности разработанного магнитооптического метода измерения поля при обнаружении скрытых магнитных дефектов субмикронных размеров.

В §5.2 представлены результаты исследования магнитных полей ферритовых видеоголовок (ФВГ) с шириной рабочего зазора от 0.8 до 2.3 мкм. Проанализировано влияние частичного насыщения магнитопровода в области носиков на распределение магнитного поля. Наблюдаемое в эксперименте уширение распределения поля может быть описано либо через эффективный радиус закругления носиков, либо через эффективное увеличение зазора (наличие "мертвого" в магнитном смысле слоя в глубине зазора) или высоты h (наличие "мертвого" слоя на поверхности). На основании результатов эксперимента приведены оценки эквивалентных "мертвых" слоев и эквивалентного эффективного закругления носиков в зависимости от величины намагничивающего тока.

Список цитируемой литературы.

1. Хуберт А. Теория доменных стенок в упорядоченных средах. - М.: Мир. 1977. - 308 с.

2. Scheinfein M.R., Unguris G., Blue J.L., Coakley K.J., Pierce D.T., Celotta R.G., Ryan P.J. Micromagnetics of domain walls in surface. Phys.Rev. 1991. V.43. N 4. P.3395-3422.

3. Порто Д.Н. Статические магнитные поля тороидальных записывающих головок. Радиотехника. 1952.Т.7. N 2. С.9-21.

4. Зубов В.Е., Кринчик Г.С., Кудаков А.Д. Струкутра доменных границ в приповерхностной области монокристаллов железа. ЖЭТФ. 1988. Т.94. N 12. С.243-250.

5. Smith D.O. Anizotropy in permalloy films. J.Appl.Phys. 1959. V.30. N 4. Suppl. P.264S.

6. Cohen M.S. Anizotropy in permalloy films evaporated at grazing incidence. J.Appl.Phys. 1961. V.32.Suppl. N 3. P.87S-88S.

Основные результаты диссертации изложены в следующих работах:

1) Зубов В.Е., Кринчик Г.С., Кузьменко С.Н., Мацкевич С.И, Исследование пространственного распределения магнитного поля с помощью тонкопленочного магнитооптического датчика. - Письма е ЖТФ. 1990. Т. 16. В.21. С.53-56.

2) Зубов В.Е., Кудаков А.Д., Маслов А.И., Мацкевич С.И. Топограф! магнитного поля в микрозазорах магнитопроводов в диапазоне частот 1-30 МГц. - Письма в ЖТФ. 1992. Т.18. В.19. С.1-5.

i) Зеленина Л.И., Зубов В.Е., Мацкевич С.И., Субботин С.С. Исследование распределения магнитных свойств Co-Ni пленок по толщине. - ЖТФ. 1994. Т.64. № 5.

О Зубов В.Е., Кринчик Г.С., Кузьменко С.Н., Мацкевич С.И. Якштас A.A. Устройство для определения пространственного распределения магнитного поля. Патент России № 1818602 - опубл в БИ. 1993. № 20; приоритет от 3.07.90 г.

5) Zubov V.E., Kudakov A.D., Maslov A.I., Matzkevitch S.I. Magnetooptical Investigation of Spatial Distribution of Magnetization and Magnetic Field of Sendast Heads in the Range of 100 Hz - 30 MHz. - Digests of the INTERMAG'93 Conf.,P.GP-03, Stockholm, April 1993.

>) Зубов B.E., Кринчик Г.С., Кузьменко С.H., Мацкевич С.И. Восстановление пространственного распределения магнитных полей магнитооптическим методом. - Тезисы докладов XII Всесоюзной школы-семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники", г. Новгород, 1990, Часть II, С.21-22.

0 Зубов В.Е., Кулаков А.Д., Маслов А.И., Мацкевич С.И. Измерение магнитного поля над видеоголовками в рабочем диапазоне частот магнитооптическим методом. - Тезисы докладов XIII Всесоюзной школы-семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники", г. Астрахань, 1992, Часть II, С.93-94.

0 Зеленина Л.И., Зубов В.Е., Мацкевич С.И., Субботин С.С. Объемные и поверхностные характеристики магнитных носителей на основе Co-Ni пленок. - Тезисы докладов XIII Всесоюзной школы-семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники", г. Астрахань, 1992, Часть II, С.74-75.

)) Зубов В.Е., Кудаков А.Д., Маслов А.И., Мацкевич С.И. Исследование магнитных головок для высокоплотной записи магнитооптическим методом в частотном диапазоне 1-30 МГц. - Тезисы докладов IV Межрегиональной научно-технической конференции

"Совершенствование технической базы, организации и планирования телевидения и радиовещания". Москва, 1992, С.53.

10) Зубов В.Е., Кудаков А.Д., Маслов А.И., Мацкевич С.И. Исследование полей рассеяния магнитных головок методами высокого разрешения. -Тезисы докладов Семинара, посвященного памяти В.Г.Королькова "Проблемы магнитной записи", Москва, 1993, С.5.

11) Зеленина Л.И., Зубов В.Е., Мацкевич С.И., Субботин С.С Неоднородность магнитных свойств металлизированных носителе} магнитной записи по толщине. - Тезисы докладов Семинара посвященного памяти В.Г.Королькова "Проблемы магнитной записи" Москва, 1993, С.21.

12) Зубов В.Е., Кудаков А.Д., Маслов А.И., Мацкевич С.И. Измерение магнитных полей в микрообъемах магнитооптическим методом е широком диапазоне частот. - Тезисы докладов IV семинара "Физика магнитных явлений", г.Донецк, 1993, С.14.

13) Зеленина Л.И., Зубов В.Е., Мацкевич С.И., Субботин С.С. Исследование механизмов перемагничивания металлизированных Со-№ пленок. - Тезисы докладов IV семинара "Физика магнитных явлений", г.Донецк, 1993, С.56.

14) Зубов В.Е., Кудаков А.Д., Маслов А.И., Мацкевич С.И. Магнитооптическое исследование полей рассеяния магнитной головки типа "металл в зазоре". - Тезисы докладов Всероссийской научно-технической школы "Запоминающие устройства ЭВМ и информационных систем", г.Астрахань, 1993, С.28.

15) Зеленина Л.И., Зубов В.Е., Мацкевич С.И., Субботин С.С. Магнитооптический способ определения коэрцитивности тонких поверхностных слоев ферромагнетиков. - Тезисы докладов Всероссийской научно-технической школы "Запоминающие устройства ЭВМ и информационных систем", г.Астрахань, 1993, С.27.

'ис.1. Зависимости коэффициента отражения от угла между электрическим ;ектором световой волны и направлением движения подложки в процессе [апыления для пленок №1 (кривая 1), №4 (2) и №12 (3).

Нх,кЭ

1 Нх,кЭ 0 1

$ б) 5ис.2. Кривые намагничивания поверхности, прилегающей к подложке сплошные линии), и свободной поверхности (пунктирные линии) пленок (а) и №12 (б).

«X <р

10

ГХ / - 100 кГц

ь!

Г = 1 МГц

Ю х, мкм

б)

Рис.3. Распределение фазы горизонтальной (срх) и нормальной (фг) компонент магнитного поля над СВГ с зазором 2.3 мкм (а), а также поляризация магнитного поля в точках х=0, -2.5 мкм, -5 мкм (б), измеренные при различных частотах.

03 мкм м™ /

а)

10 х, мкм

б)

Рис.4. Головка типа "металл-в-зазоре" (а) и распределение горизонтальной компоненты магнитного поля, создаваемого этой головкой (б).