Масс-спектрометр высокого разрешения с лазерно-плазменным источником ионов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.01 ВАК РФ

Введение.

Глава I. Опыт создания и применения масс-спектрометров с лазерно-плазменным источником ионов

§ -I.I. Аналитические возможности применения лазерных источников ионов в масс-спектрометрии

§ 1.2. Параметры плазмы, определяющие характеристики масс-спектрометра с лазерно-плазменным источником ионов.

§ 1.3. Выбор ионно-оптической схемы масс-спектрометра с лазерно-плазменным источником ионов

§ 1.4. Выводы

Глава П. Расчет и выбор параметров элементов ионно-оптической схемы масс-спектрографа с лазерно-плазменным источником ионов

§ 2.1. Параметры ионно-оптической схемы масс-спектрографа с двойной фокусировкой

§ 2.2. Выбор параметров электростатического анализатора

§ 2.4, Расчет формирующей системы источника ионов

§ 2.5. Аналитическая система масс-спектрографа.

§2.6. Выводы

Глава Ш Исследование процессов,влияющих на аналитические характеристики масс-спектрографа с двойной фокусировкой и лазерно-плазменным источником ионов.,

§3,1. Влияние преломления ионного пучка на границе электрического поля электростатического анализатора.

§ 3.2. Особенности юстировки масс-спектрографа с двойной фокусировкой и лазерно-плазменным источником ионов

§ 3.3. Оценка влияния объемного заряда ионного пучка в аналитической части масс-спектрографа.

§ 3.4. Влияние остаточного давления газа на аналитические характеристики масс-спектрографа с двойной фокусировкой

§ 3.5. Экранирующее действие кратера цри локальном и послойном анализе. цз

§ З.б. Выводы.

Глава 1У. Аналитические возможности лазерного энергомасс-анализатора ЭМАЛ-2 цри исследовании твердых веществ.

§4.1. Аппаратурные возможности прибора

§ 4.2. Аналитические характеристики энергомасс-анализатора

§ 4.3. Исследование сегрегации примесей в сварных швах '

§4.4. О возможности безэталонного количественного анализа многокомпонентной пробы

§ 4.5. Пути улучшения аналитических возможностей массспектрографа с двойной фокусировкой и лазерно-плазменным источником ионов

Последние годы характеризуются повышенным интересом к анализу твердой фазы,Совершенствование методов и средств аналитического контроля является непременным условием развития новейших направлении материаловедения, физики твердого тела,, микроэлектроники, биологии, медицины, геологии, охраны окружающей среды и др. Среди методов элементного анализа веществ с различными физико-техническими свойствами масс-спектрометшя в сочетании с лазерно-плазменными источниками ионов является самым молодым методом и имеет несомненные достоинства из-за своей универсальности и превосходных аналитических характеристик. В этой связи совершенствованию масс-спектрометрической методики исследования ионной компоненты лазерной плазмы с точки зрения повышения точности метода и его возможностей придается большое значение. Вопросам разработки аппаратуры для физических исследований и изучению процессов, определяющих её аналитические характеристики посвящена настоящая работа, которая состоит из 4 глав, введения и заключения. .

В первой главе рассмотрены аналитические возможности применения лазерных источников ионов в масс-спектрометрии, проанализированы свойства плазмы, инициируемой сфокусированным лазерным излучением. Дан обзор работ, рассматривающих как аналитические применения лазерных источников ионов в масс-спектрометрии,-так и.совершенствование аппаратурной части физического эксперимента. Проанализированы возможности сочетания лазерно-плазменных источников ионов с различными ионно-оптическими схемами масс-спектрометров, проведен выбор ионно-оптической схемы масс-спектрометра высокого разрешения для исследования твердой фазы по ионному составу образующейся лазерной плазмы.

Во второй главе рассматриваются вопросы расчета параметров ионно-оптической схемы масс-спектрографа с лазерно-плазменным источником ионов.» Определены основные параметры ионно-оптической схемы,- На основе оцределённых характеристик схемы проведен выбор элементов, входящих в неё, и расчет их параметров.* Выявлены требования, предъявляемые к электронным блокам.Рассчк-тана основная часть лазерно-длазменного источника ионов - формирующая и фокусирующая система, рассмотрены особенности конструкции макета масс-спектрографа, его составных частей.'

В третьей главе показано, что объёмный заряд пучка ионов в масс-спектрографе оказывает влияние на форму масс-ллиний в фокальной плоскости масс-анализатора. Оценка этого влияния должна цроводиться исходя из величины плотности ионного тока пучка в импульсе»1 Установлено, что величина тока в импульсе на единицу высоты ионного пучка не должна превышать значения (2*4)*10"^А/мм, что соответствует плотности ионного тока пучка в импульсе (2+4) •Ю"^ A/Wv Рассмотрены вопросы влияния преломления ионного пучка на границе электрического поля. На основе математической модели осуществлён анализ и оценка этогю влияния. Экспериментально показано, что изменение потенциала точки ввода ионного пучка в электрическое поле приводит к нарушению фокусировки первого порядка.1 Выявлено, что максимум однозарядных ионов на фотодетекторе при изменении потенциала точки ввода ионного пучка совпадает с максимумом разрешающей способности прибора, а доля многозарядных ионов при этом снижена.' На основе результатов анализа преломления ионного пучка на границе электрического поля разработаны методы юстировки масс-спектрографа с двойной фокусировкой, основанные как на механическом перемещении взаимного положения элементов ионно-оптической схемы, так и на способе уменьшения аберрации путём изменения потенциала в точке ввода пучка в электрическое поле.'

Проведено исследование влияния остаточного давления газа в аналитической части масс-спектрографа на величину фона рассея-ных и перезарядившихся ионов. Обсуждаются результаты исследования по изучению влияния экранирующего действия формы кратеров при локальном и послойном анализе.

В четвёртой главе приведены некоторые результаты исследо4 ваний на созданном приборе.' Проведено определение максимального разрешения прибора, которое составляет величину 9000.Приводятся результаты анализа различных образцов с известным элементным и концентрационным составом.' Рассматриваются результаты работы по локальному анализу распределения примесных и легирующих элементов в сварных швах. Определены аналитические характеристики прибора^ Проведен анализ аэрозолей металлов, образующихся в воздухе при технологической обработке металлов (резании, сверловке и др.) с помощью лазерного луча. Показано, что при сравнительно простой методике анализа на приборе ЭМАЛ-2 возможен контроль вредных аэрозольных металлических распылений в воздухе. Приведены результаты без эталонного анализа сложных геологических образований и биологических объектов. Обсуждаются пути улучшения аналитических возможностей масс-спектрографа с двойной фокусировкой и лазерно-плазменным источником ионов.

§ З.б Выводы

I. При разработке масс-спектрографа с двойной фокусировкой необходимо учитывать влияние эффекта преломления ионного пучка на границах электрического поля энергоанализатора. В этом случае изменение потенциала точки ввода ионного пучка в электрическое поле приводит к смещению масс-линий в фокальной плоскости магнитного анализатора по закону, близкому к линейному. Одновременно наблюдается значительное ( в 2-3 раза) падение разрешающей способности масс-спектрографа. Такое уширение масс-линий может быть объяснено нарешением условия фокусировки первого порядка за счет изменения угла входа ионного пучка в магнитное поле масс-анализатора и входного плеча электростатического анализатора. С увеличением ускоряющего напряжения в 2 раза максимальное уширение масс-линий уменьшается в 1,5 раза, что хорошо согласуется с математической моделью t 43 Л

2. Изменение потенциала в точке ввода ионного пучка электри -ческим методом значительно упрощает процесс оптимизации параметров масс-спектрографа. При этом наблюдаются два положительных эффекта: максимум однозарядных ионов совпадает с максимумом разрешающей способности прибора, а доля многозарядных ионов значительно снижена. Это упрощает масс-спектр при анализе многокомпонентной пробы.

3. В масс-спектрографе с двойной фокусировкой и лазерно-плазмен-ным источником ионов , в котором осуществляется экстракция пробы в импульсном режиме, необходимо оценивать допустимую величину тока пучка ионов в импульсе.Для рассматриваемого в работе примера установлено , что эта величина не должна превышать значения 2,9 Л О"9 А/мм.

4. Для повышения производительности источника ионов и прибора в целом необходимо применять оптический квантовый генератор с повышенной частотой до I03 Гц, что позволит увеличить скорость набора заряда ионного пучка на щели монитора в 20 раз по сравнению с лазером типа ЛТИ-5.

5. Для регулирования плотности ионного тока в пучке необходимо применять диафрагму , которая должна располагаться в бесполевом пространстве между точкой образования квазинейтральной плазмы и границей электрического поля формирующей системы, при этом, более предпочтительна щелевая диафрагма по сравнению с круглой ,т.к.она позволяет снизить плотность тока в радиальном направлении,практически сохранив скорость набора заряда на щели монитора.

6. Масс-спектрометрическое исследование фона рассеянных ионов на молекулах остаточного газа и фона от перезарядки ионов типа

МР при п > р позволило оценить влияние давления в процессах , связанных с рассеянием и перезарядкой.

7. За границу верхнего порога давления в камерах магнитного и электростатического анализатора масс-спектрографа с ионно-оптической схемой Маттауха - Герцога может быть принято давление порядка 10~ Па. При этом величина фона , создаваемого рассеянием ионов на молекулах остаточного газа» будет ограничивать порог об

1СИ1 .2+ л ? наружения от 10 % до 10" % ат. в зависимости от величины

А Мл, а доля перезарядившихся ионов типа М —> будет составлять 10"^ от основы.

8. Экспериментальное исследование процессов, связанных с рассеянием ионов на молекулах остаточного газа и их перезарядкой , позволило определить требования к остаточному давлению газов в аналитической части прибора и прогнозировать чувствительность прибора при проведении анализов.

9. Процессы перезарядки ионов при давлении ниже чем 10" Па хорошо описываются математической моделью С 67 J . Величины

S тг7п и V?/ являются параметрами масс-спектрографа, позволяющими расчитывать различные виды перезарядившихся ионов.

10. При взаимодействии сфокусированного излучения ОКГ,работающего в режиме модулированной добротности, материалы с различными физическими свойствами имеют различную линейность зависимости заряда на щели монитора масс-спектрографа от количества им -пульсов лазера в одной точке анализа, что необходимо учитывать цри проведении локального и послойного анализа.

11. Нарушение линейности заряда на щели монитора и постоянства отношения для различных материалов обусловлено различием формы кратера и экранирующим действием его стенок на пространственный разлет плазменного сгустка . Наилучшую линейность заряда на щели монитора имеет олово, что позволяет рекомендовать его для колибровки фотопластинок при проведении анализов.

Г-.Л ABA 1У .

АНАЛИТИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ЛАЗЕРНОГО ШЕРГШАСС-АНАЛИЗАТОРА

ЭМАЛ-2 ПРИ 1ШЩОВАНИИ ТВЕРДЫХ ВЕЩЕСТВ

Конструкция макета прибора, его кинематика, вакуумная система , способ получения и регистрации ионов, характеристики ОКГ, как источника локального нагрева исследуемого материала и экстракции цробы, предопределяют аппаратурные возможности прибора [58 , 80] , кото -рые кратко рассматриваются в настоящей главе.

§ 4.1. Аппаратурные возможности прибора

Цршенение лазерно-плазменного источника ионов для целей масс -спектрального анализа твердой фазы имеет ряд преимуществ. Одно из них - универсальность.

Нет необходимости специально готовить образцы и заботиться о чистоте их поверхности, так как перед анализом всегда имеется возмож -ность очистить поверхность образца путем предварительной эрозии поверхности в строчном режиме. На рис. 41 показана поверхность меди, подвергнутая такой обработке. Фотографии сделаны на растровом электронном микроскопе.

Наличие в источнике ионов вакуумного манипулятора образца , управляемого по заданной программе, позволяет автоматически переме -щать объект анализа к заданной точке взаимодействия, которая посто -янно находится на ионно-оптшеской оси прибора. Независимое пере -мещение столика образца в двух взаимно перпендикулярных направлениях дает возможность выбирать для анализа любой заданный участок образ -ца. Наблюдение за точкой взаимодействия и фокус 1^овка излучения ОКГ на поверхность образца осуществляется через совмещенную оптическую систему с увеличением 15х. Форма кратеров цри раз -личном количестве импульсов ОКГ имеет вид овала , а их раз -мер , как видно на рис. 40 и , составляет величину порядка а) б)

Рис.41

Поверхность образца меди , подвергнутая воздействию сфокусированного луча ОКГ а) Увеличение б) -увеличение - 1000х .

30-60 мкм. Продукты выноса конденсированной фазы из кратера распыляются в зоне 60-100 мкм вокруг него. Это приводит к ошибкам в определении примесей и легирующих элементов при локальном анализе непосредственно в зоне распыления цродуктов выноса,т.е. пространственное' разрешение при локальном анализе будет определяться величиной порядка 60-100 мкм. Всё вышеизложенное предопределяет аппаратурные возможности прибора и позволяет реализовать следующие режимы анализа:

1. Осуществлять локальный анализ металлов,сплавов и неметаллических материалов в заданной точке ф 30-60 мкм ( с интегрированием по глубине) или в полосе сканирования шириной 30-60 мкм длиной 0-30 мм ( с интегрированием вдоль поверхности).

2. Осуществлять послойный (глубинный) локально - строчный анализ на глубину от 2 до 100 мкм с одновременным интегрированием в полосе анализа шириной 30-60 мкм с разрешением по слоям 1-100 мкм в зависимости от материала и необходимой концентрационной чувствительности.

3. Исследовать распределение примесных и легирующих эле -ментов в отдельных, заранее выбранных,участках образца на площадке 30x30 мм как в режиме точечного , так и линейно-пространственного анализа.

4. Определять микроцримеси в гомогенном образце путем сканирования точки анализа по поверхности образца размером 30x30 мм.

5. Изучать влияние различных технологических параметров обработки материалов ( сварка , выплавка, термообработка , ковка , химико-термическая обработка и др.) на изменение содержания и распределения примесей и легирующих элементов.

6. Исследовать диффузию примесей как в направлении потока массопереноса, так и нормального к нему с пространственным разрешением 60-150 мкм.

7. Изучать газовую коррозию металлов.

8. Исследовать сегрегацию примесей в материалах,поверхность которых имеет переменную степень черноты (зоны окисления,коррозии и др.).

9. Определять следы элементов , встречающихся в практике судебной медицины и судебной экспертизы.

10. Исследовать состав загрязнений в воздухе в виде аэрозолей различных металлов , образующихся при технологической обработке материалов лучом оптического квантового генератора. Отмеченные здесь возможности масс-анализатора не являются исчерпывающими. По мере проведения исследовательских работ на данном приборе и расширения объектов исследования , будут выявляться всё новые и новые его приборные возможности.

§ 4.2. Аналитические характеристики энергомассанализатора

Аналитические характеристики любого прибора предназначенного для анализа твердых веществ и содержащихся в них примесных и легирующих элементов, определяются с одной стороны возможностями системы отбора пробы и её подготовки для исследования, а с другой-возможностями используемого метода определения состава пробы , качества его аппаратурной реализации и возможностями системы регистрации полученного аналитического сигнала. К числу аналитических параметров масс-спектрографа относятся разрешающая способность, чувствительность детектирования, эффективность ионизации и регистрации ионов, точность микроанализа примесей.

Как и в большинстве масс-спектрографов , в энергомассанализа-торе регистрация масс-спектров предусматривается на фотопластинки типа <92. 9 UV -2 и им подобные. Однако,в виду острой дефицитности указанных фотопластинок , в приборе была изучена и предусмотрена возможность применения специальной фотопленки

УФ-4, разработанной Госниихимфотопроектом. Испытания в аналитической системе прибора показали, что данная пленка обладает слабым газовыделением и её применение позволяет реализовать давление в фотокамере и аналитической части прибора 10" Па и 5.10" Па соответственно. Однако, фотопленка УФ-4 имеет плохую цроводимость фотослоя и в области масс-линий большой концентрации возникает накопление заряда. Это приводит к разряду по её поверхности и дополнительной засветке фотопленки в районе линий большой концентрации , что снижает концентрационную чувствительность в районе основы или линии с большой концентрацией . Характер засветки фотопленки УФ-4 показан на рис.42. Предельная величина экспозиции, цри которой еще отсутствует пробой по поверхности пленки составляет величину порядка ^ 1нКл >что достаточно для реализации концентрационной чувствительности И.Ю~4%в районе основы . Для характеристики чувствительности детектирования обычно применяют следующие параметры: чувствительность по концентрации (концентрационная чувствительность) на лазерный импульс, величина полного ионного заряда, накапливаемого в фокальной плоскости масс-анализатора за время одного лазерного импульса, или концентрационная чувствительность , достигаемая при определенной экспозиции, набираемой за определенной период времени. Как уже отмечалось в § 3.5 , была исследована для различных материалов зависимость заряда ионного пучка на щели монитора прибора ( рис.37,38 ).

Как видно из рисунков , при единичном импульсе оптического квантового генератора при главной щели ^ 50 мкм регистрируется за

-13 -13 ряд на щели монитора порядка 10 -2.10 Кд. Заряд на фотопластинке имеет ту же величину за один импульс ОКГ, что и на щели монитора. Применение в энергомассанализаторе сферического энергоанализатора позволило получить такую же , как в Г12] .величину полного ионного заряда, накапливаемого на фотопластинке

H2So*+ escu г огнь* тsas+ ?m*+ f24Sn бнКл

UKa

Рис.42

Характер засветки фотопленки УФ-4 в районе интенсивных масс-линий при экспозиции выше I нКл за один импульс ОКГ. Для проверки точности при определении микропримесей на приборе был проведен анализ стандартных образцов олова и меди с известным элементным составом. Все концентрации определялись без учета поправок на массу путем сравнения интенсивности пиков примеси с интенсивностью изотопа $п 115 для образца из олова и Си 63 для меди .

Расчет концентраций осуществлялся по формуле: с — ' г гл о т\

Lnp------ . С осн , (4.2.1)

J ОСН. Г осн. Qnp где: С цр, С осн - концентрация примеси и основы соответственно в % ) , пр, ^/осн - интенсивность изотопа примеси и основы соответственно определенная при фотометри-ровании ( в условных единицах) t пр,^осн - естественная распространенность изотопа примеси и основы, по которым рассчитывается концентрация примеси ( в % ) f Qnp , QotH - экспозиция для изотопов примеси и основы соответственно ( в нКл). Результаты анализа приведены в таблице 6. Как видно из таблицы, точность анализа для большинства элементов не хуже 30

Следует подчеркнуть, что повышение точности анализа для всех элементов потребует в дальнейшем более детальной разработки методики определения микропримесей. В этой связи необходимо указать на цикл работ Гб,9-11,60-61 J , в которых разработана почти в окончательном виде методика определения микропримесей на масс-спектрографе -01 и б . При оценке эффективности регистрации ионов и чувствительности микроанализа необходимо учитывать , что эти параметры являются компромиссом относительно разрешающей способности прибора. Поэтому более правильно оценивать эти характеристики при определенной величине разреша

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертации проведен анализ экспериментальных и теоретических работ по взаимодействию сфокусированного излучения ОКГ с твердой мишенью и вопросов масс-спектрального анализа ионов лазерной плазмы.

Показано, что:

- невысокие параметры метода масс-спектрометрии в сочетании лазерного источника ионов и времяпролетного анализатора обусловлены несоответствием типа масс-анализатора свойствам лазерной плазмы , характеризующейся большим энергетическим разбросом ионов;

- использование лазерной плазмы в качестве источника ионов для масс-спектрометра с двойной фокусировкой требует применения специальной системы , формирующей из плазмы пучки ускоренных до 30 кэВ ионов ;

- улучшение аналитических возможностей масс-спектрального анализа ми1фопримесей в твердой фазе возможно при ^применении для разделения ионов лазерной плазмы статического масс-спектрографа с двойной фокусировкой и интегральной регистрацией массового спектра в широком диапазоне масс одновременно.

В качестве масс-спектрографа с двойной фокусировкой предложено применить ионно-оптическую схему Маттауха-Герцога ,в которой необходимо использовать конденсатор со сферическими полезадающими электродами, а регистрацию масс-спектра' осуществлять в широком диапазоне масс на фотопластинку. Проведен расчет параметров ионно-оптической схемы масс-спектрографа и её элементов. Разработана конструкция и изготовлен опытный образец масс-спектрографа с двойной фокусировкой и лазерно-плазменным источником ионов. С помощью этого образца прибора изучены физические процессы влияющие на аналитические характеристики масс-спектрографа. Были проведены исследования ряда образцов материала с целью изучения аппаратурных и аналитических возможностей масс-спектрографа с двойной фокусировкой и лазерно-плазменным источником ионов.

Основные научные результаты работы сводятся к следующему:

1. Экспериментально исследовано влияние преломления ионного пучка на границах электрического поля электростатического анализатора и показано хорошее совпадение результатов исследования с теоретической моделью.

2. Разработаны способы юстировки масс-спектрографа с лазерно-плазменным источником ионов, основанных как на взаимном механическом перемещении элементов ионно-оптической схемы масс-спектрографа ,так и на точном выборе потенциала в точке ввода ионного пучка в электрическом поле.

3. Исследовано влияние .объемного заряда ионного пучка на его параметры. Предложено применять для регулировки плотности ионного тока на объектной щели прямоугольную диафрагму располагаемую в бесполевом пространстве между точкой ионообразова-ния и передней границей поля фокусирующей системы. Для повышения производительности масс-спектрографа рекомендовано использовать лазер с большей тактовой чистотой работы.

4. Проведены исследования по оценке влияния остаточного давления газа в аналитической части масс-спектрографа на его аналитические характеристики. Предложена методика учета фона от рассеянных и перезарядившихся ионов.

5. Дано качественное объяснение влиянию формы кратеров при многократной эрозии одной и той же точки образца на результаты локального и послойного анализов.

Результаты анализа нашли применение на црактике. На Сумском заводе электронных микроскопов разработан и серийно выпускается в настоящее время масс-спектрограф типа ЭМАЛ-2 с лазерно-плаз-менным источником ионов. Планируется также разработка совместно с фирмой Лейбольд-Хереус (ФРГ) масс-спектрографа с пространственно-чувствительным электрическим детектором и обработкой результатов анализа на ЭВМ.

В заключении автор выражает благодарность научному руководителю работы, доктору физико-математических наук, профессору тов. Быковскому Ю.А. за интересную постановку задачи, кандидату технических наук, начальнику отдела СКБ т. Брюханову А.С. за организацию работы.

- 176

1. Шковский Ю.А., Басова Т.А., Горшков В.В., Дегтярев В.Г., Лап -тев И.Д., Неволин В.Н., Артышев С.А., Горкнов А.В. Исследование аналитических возможностей метода лазерной масс-спектрометрии. Отчет МШИ, М., per. 7302025 инв.59420 , 1974 223 с.

2. Conzemius E.J., Capellen J.M. A review of the applications to solids of the laser ion source in mass spectrometry. Int. J. Mass'Spectrom.Ion Phys., 1980, V 54, p.197 271.

3. Неволш B.H. Масс-спектрометрическое исследование характеристик лазерной плазмы цри плотностях потока излучения 10% Ю^т/см2. Дис. канд. физ.-мат.наук. Москва, 1973 - 139 с.

4. Дегтярев В.Г. Лазерный источник ионов для масс-спектрометра с двойной фокусировкой.Дис. канд. физ.-мат.наук.-Москва,I976-I2I с.

5. Басова Т.А. Исследование ионных пучков из лазерной плазмы. Дис. канд.физ.-мат.наук. Москва, 1978 - 121 с.

6. Быковский Ю.А.,Дымович В.И.,Козырев Ю.П.,Неволин В.Н.,Сильнов С.М. Разрешающая способность и измерение распространенностей на время-пролетном масс-спектрометре с лазерным источником ионов. ЖГФ,1970 т.40,в.II. С 2401 2404.

7. Быковский Ю.А.,Журавлев Г.И.,Белоусов В.И.,Гладской В.М.,Дегтя . рев В.Г.,Неволин В.Н. Лазерный масс-спектрометрический метод без- 180 эталонного определения элементного состава твердых веществ. Заводская лаборатория ,1978, № 6, с.701 705.

8. Белоусов В.И., Гладской В.М. Лазерно-плазменная масс-спектромет-рия высокого разрешения. Электронная промышленность, 1980, вып. 11/95/ 12 /96/, с. 27 - 30.

9. Conzemius R.J.,Svec H.J. Scanning Laser Mass Spectrometer Mil— liprobe. Anal.Chem., 1978, V 50, N0.13, p. 1854 1860.

10. Bingham R.A., Salter P.L. Analysis of Solid Materials Ъу La -ser- Probe Mass Spectrometry. Anal.Chem.1976, V 48,p.1735-1740.

11. Bingham R.A., Salter P.L. Materials Analysis by Laser probe Mass Spectrometry. Int.J.Mass Spectrom.Ion Phys., 1976, V 21 , p. 133-134.

12. Hillenkamp F., Unsold R., Kaufmann R., Nitsche R. Laser Micro-probe Mass Analysis of Organic Materials. Nature /London / , 1975» V 256, p. 119 121.

13. Hillenkamp F., Unsold R., Kaufmaun R.,Nitsche R. A High Sensitivity Laser Microprobe Mass Analyser. Appl.Phys.,1975, V 8 , p. 341 348 .

14. Kaufmann R.,Hillenkamp F., Nitsche R.,Schuermann M.,Unsold E. Biomedica Application of Laser Microprobe Analysis. J .Micro sc. Biol. Cell., 1975, V 22, p. 389 405 •

15. Kaufmann R., Hillenkamp F., Nitsche R.,Schuermann M., Wech -sung R. The Laser Microprobe Mass Analyser / LAMMA /: Biomedical Applications.Micros.Acta.Suppl.,1978, V 2, p.297 306 .

16. Unsold E. Laser Microprobe Mass Analysis of Biological Tissues. Eur. J.Physiol., 1977» V 358, S 2649 - 2719.

17. Wechsung R. Die Laser-Mikrosonden-Massen-Analyse ein neues Verfahren fttr die biologische Forschung.Leybold-Heraeus,Ebln , Chimia, 1978, V 32, S 444 - 444 .

18. Nitsche R., Kaufmann R., Hillenkamp F., Unsold E., Vogt H.,- 181

19. Wechsung R. Mass Spectrometric Analysis of Laser Induced Mic-roplasmas from Organic Samples» Isr.J.Chem., 1978,V 17,p.181-184.

20. Ferner N.C.,Daly N.R. An Instrument for Mass Analysis using a Laser. J.Mater.Sci., 1968, p.259 261.

21. Брюханов А.С.,Борискин А.И.,Гриб B.H.,Голубь В.Н.,Чеканов А.Г. Приборы "Лупа времени ЛВ-01 * ЛВ-04". ЛГЭ,1967, № 3,с.214 215.

22. А.С.300122 /СССР/ Прибор для скоростной фотографии /А.С.Брюха -нов, А.И. Борискин, В.Н.Голубь, В.Н. Гриб /.

23. А.С. 240867 /СССР/ Электронно-оптическая лупа времени.

24. А.С.Брюханов, А.И.Борискин, В.Н.Гриб, В.Н.Голубь,А.Г.Чеканов / -Опубл. в Б.И., 1969, № 13.

25. Брюханов А.С.,Борискин А.И.,Голубь В.Н.,Гриб В.Н.,Чеканов А.Г. Высокоскоростные электронно-оптические фоторегистраторы. Приборы и системы управления, 1973, I™ I, с. 51 53.

26. Брюханов А.С.,Борискин А.И.,Гриб В.Н.,Еременко В.М.,Лирар И.Н., Москаленко A.M. Многократный регистратор спектров МРС I. Приборы и системы управления, 1975, IIй- 6, с. 43 - 44.

27. Быковский Ю.А.,Дегтяренко Н.Н.,Елесш В. Ф., Кондратов В.Е.,Ловецкий Е.Е. Ускорение ионов при разлете плазменного сгустка. ЗЕК? , 1973, т.43, в.12, с. 2540 2546 .

28. Быковский Ю.А.,Дегтярев В.Г.,Дегтяренко Н.Н.,Елесш В.Ф., Лаптев И.Д., Неволш В.Н. Кинетические энергии ионов лазерной плазмы. ШГШ, 1972 , т.42,в.З, с.658 661.

29. Алямовский И.В. Электронные пучки и электронные пушки М.: Советское радио, 1956 453 с.

30. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов.М.: Атомиздат, 1972 362 с.

31. Гладской В.М., Неволш В.Н.,Шпак Л.П.,Белоусов В.И. Энергетическое распределение ионов жяфовой плазмы.ЖГФ, 1978, т.48, в.7,с. 1394 1398.

32. Быковский Ю.А.,Журавлев Г.И.,Белоусов В.И.,Гладской В.М.Дегтярев В.Г.,Колосов Ю.Н., Неволш В.Н. Относительный выход ионов химических элементов из лазерной плазмы. Физика плазмы,1978,т.4, в.2, с.323 331.

33. Брюханов А.С.,Борискш А.И.,Голубь В.Н.,Шапиро Ю.А. О зависимости разрешения: эмиссионных импульсных электроныо-оптшеских систем от напряжения на сеточном затворе. СМИ, 1974,Р 6,с. 15 18.

34. Кирштейн П.Т.,Кайно Г.С.,Уотерс У.Е. Формирование электронных пучков.М.: Мир, 1970 594 с.

35. Krishnan М. ,Hirshfield J.L. Fast High-Resolution Ion Energy and Momentum Spectrometer. Rev.Sci.Instrum., 1980, V.51 »1. Wo. 7, p. 911 917 •

36. Держиев В.И. ,Рамендик Г.И. Масс-спектрометрическое исследованиеплазмы искрового разряда. ЖТФ,1978,т.48,в.2,с.312 -317.

37. Быковский! Ю.А., Журавлев Г.И.,Гладской В.М.,Дегтярев В.Г. Неволш В.Н. Элементный анализ геологических и космических объектовметодом лазерной масс-спектрометрии. ШФ, 1978,т.48,в.2,с.382 -385.

38. Саченко В.Д. ,Фрццлянскш Г.В. Масс-спектрометр высокого разре -шения с коррекцией горизонтальных и вертикальных аберраций. ЖГФ, 1980, т.50,в.9,с.1974 1981 .

39. Сысоев А.А.,Самсонов Г.А. Влияние преломления на границах масс-спектрометрических анализаторов на траектории ионов. ЖГФ,1970 , т.40, в.9, с. 1986 1993.

40. Александров M.JI.,Галь Л.Н.,Саченко В.И. О расчете и выборе идано-оптических систем масс-спектрометров. Научные цриборы, 1976,№12, с. 26 33.

41. Александров М.Л.,Галь Л.Н.,Саченко В.И. К выбору целевой функции при оптимизации ионно-оптической системы масс-спектрометра.Науч-ные цриборы, 1976, Р 12, с.23 25.

42. Тасман. Коррекция аберраций второго порядка в масс-спектрометрах с неоднородными магнитными секторными полями. В сб.Успехи масс -спектрометрии.М.: И.Л., 1963, с. 43 53 .

43. Хинтенбергер, Кениг. Масс-спектрометры и масс-спектрографы с коррекцией аберраций изображения. В сб.Успехи масс-спектрометрии.1. М.:И.Л., 1963, с. 26 45.

44. Сысоев А.А., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрш. М.: Атомиздат, 1977 302 с.

45. Сысоев А.А.,Самсонов Г.А. Теория и расчет статических масс-анализаторов, часть I.M.: изд-во МШИ, 1972 172 с.- 184

46. Сысоев А.А.,Самсонов Г.А. Теория и расчет статических масс-анализаторов, часть II. М.: изд-во МШИ, 1972 109 с.

47. Кельман В.М.,Явор С.Я. Электронная оптика. М.-Л.:изд-во Акаде -мииНаук СССР, 1953 362 с.

48. Дыбов П.Т., Дымович В.И. Сферическая аберрация аксиально-сим -метричных вложенных секторных электрических и магнитных полей. В сб. Физическая электроника. М.: Атомиздат, 1965, вып.2,с.41-46.

49. Дымович В.И., Сысоев А.А. Расчет поля электростатической фокусирующей системы и моделирование на электролитической ваше. В сб. Физическая электроника. М.: Атомиздат, 1965, вып.2,с.27 40.

50. Дымовш В.И.,Сысоев А.А. Расчет и некоторые ионно-оптические характеристики электростатшеской фокусвдющей системы. В сб. Физическая электроника. М.: Атомиздат, 1955, в.2,с.15 26.

51. Боровский Й.Б.,Водовитов Ф.Ф.,Жуков А.А. Черепин В.Т. Локальные методы анализа материалов. М.: Металлургия, 1973 245 с.

52. Борискин А.И.,Брюханов А.С.,Быковский Ю.А. Васильев В.К.,Еременко В.М. Масс-спектрометр с двойной фокус ловкой и лазерным ис -точником ионов. Научные приЗоры, 1981, № 24, с. 28 36.

53. А.С. 5II752 / СССР/. Лазерно-плазменный источник ионов./Т.А.Басова, Ю.А.Быковский, В.В.Горшков, В.Г. Дегтярев,И Д.Лаптев, В.Н. Неволин/.

54. А.С. 398144 / СССР/. Способ количественного анализа./Ю.А.Быков-ский, Н.М.Васильев, Н.Н.Дэгтяренко, И.Д.Лаптев, В.Н.Неволш/.

55. Kovalev I.D. Maksimov G.A.,Suchov A.I.,Lavin U.V. Analytical Capabilities of Laser-Probe Mass Spectrometry. Int.J.Mass Spectrom.Ion Plays., 1978,V.27,p.101 137.

56. Fenner N.C.,Daly N.R. Laser Used for Mass Analyses.Rev.Sci. Instr., 1966, V.37, p.1068 1070.

57. Сб. Кинетическая масс-спектрометрия и ее аналитические примене -ния. М. : изд-во Ш АН СССР, 1979 333 с.

58. Шеховцов Н.А. Магнитные масс-спектрометры. М.: Атомиздат, 1971 -232 с.

59. Захаров В.П. ,Протас И.М. Модификация искрового масс-спектрометра с двойной фокустфовкой для исследования взаимодействия оптического квантового генератора с твердым веществом. ПГЭ, 1973, Р 3,с. 162 165.

60. Stefani R. Evidence d1 un Lieu Privilegil de Transfert de

61. Charge daus un Spectrographic de Masse de Type Mattauch-Herzog. Int.J.Mass Spectrom.Ion Phys.,1980, V.34,p.317 323

62. Todd j.e.j. ,Waldren R.M., Mather R.E. The Quadrupole Ion Store Partix. Space-Charge and Ion Stability.Int.J.Mass Spectrom. Ion Phys., 1980, V.34,p.325 34-9.

63. Elliot R.M. Single Focusing Magnetic Deflection Mass Spectrometers.In Mass Spectrometry.London,Butterworths,1968,p.3-14.- 186

64. Борискин А.И.,Брюханов А.С.,Быковский Ю.А.,Еременко В.М.,Иван -ченко В.М.,Лаптев И.Д. Влияние преломления ионного луча на границе электрического поля в масс-спектрографе с лазерным источ -нгасом ионов. №,1983,т.53,в.2,с.351 354.

65. Борискин А.И.,Брюханов А.С.,Быковский Ю.А.,Еременко В.М. ,Лап -тев И.Д, Оценка влияния объемного заряда ионного пучка в масс -спектрографе с двойной фокусировкой и лазерно-плазменным источником ионов. 0МГ1,1983,№-6,с.

66. Борискин А.И.,Брюханов А.С.,Быковский Ю.А.,Еременко В.М.,Лап -тев И.Д. Влияние остаточного давления газа на аналитические характеристики масс-спектрографа с двойной фокусировкой.Научные приборы,1982, Р 26 , с. 25 32.

67. Борискин А.И.,Брюханов А.С.,Быковский Ю.А.,Еременко В.М.,Лап -тев И.Д. Экранирующее действие кратера при локальном и послой -ном анализе в масс-спектрографе с лазерно-плазменным источником ионов. Квантовая электроника, в печати.

68. Под ред. Волрата К. и Томера Г. Шизика быстропротекающих процессов. М.: Мир, 1971 526 с.

69. Электронно-оптические преобразователи и их применение в науке и технике.Приборы экспериментальной физики. М.:изд-во ВНШОФИ , 1972, серия В, выпуск I 226 с.

70. Дистанционные измерения и регистрация однократных быстропроте -кающих процессов. Приборы экспериментальной физики.М.: изд-во ВНММ, 1973, серия В, вып.2 254 с.

71. Брюханов А.С.,Борискин А.И.,Гриб В.Н.,Голубь В.Н.,Чеканов А.Г. Генераторы развертки изображения для электронно-оптшеских преобразователей. ЦГЭ, 1970, !i°4,c. 131 135.

72. Брюханов А.С.,Борискин А.И.,Гриб В.Н.,Еременко В.М.,Лирар И.Н., Москаленко A.M. Наносекундами формхфователь прямоугольных им- 187 пульсов. 11ГЭ, 1946, lis 2, с. 72 74.

73. Крейг, Иррок. Устройство и работа масс-спектрометра с двойной фокусировкой для аналитических целей. В сб.Успехи масс-спектро -метрии.М.: ИЛ, 1953 , с. 76 94.

74. Борискш А.И.,Брюханов А.С.,Быковский Ю.А.,Еременко В.М., Ляль -ко И.С., Смиян О.Д. Аналитические и аппаратурные характеристики прибора ЗМАЛ 2. ПСУ, 1983, № I, с.26 - 29.

75. Золотой Н.Б.,Карпов Г.В. ,Тальрозе В.Л.Скурат В.Е.,Ратлендик Г.И., Васюта Ю.В. Масс-спектрография полевого испарения ионов из жидких растворов в глицерине. ЖАХ, 1980, т.35,в.8,с. 1461 1468.

76. Золотой Н.Б.,Карпов Г.В.,Тальрозе В.Л.,Скурат В.Е.,Рамендик Г.И., Васюта Ю.В. Масс-спектрография полевого испарения ионов из водыи водных растворов. Водные растворы иодита натрия и сахарозы. SAX, 1980, т.35, в.9, с. 1781 1792.

77. Герасимов В.А. Исследование, оптимизация и стабилизация основных параметров источника иснов для искрового масс-спектрального анализа. Дис.канд.техн.наук Москва, 1982 - 160 с.

78. Menat М. ,Prieder G. Scattering phenomena in double-direction focusing electromagnetic mass separators. Can.J.Phys., 1965» V.4-3,p.1525 1542.

79. Menat M. A quantitative Study of Scattering Phenomena in an electromagnetic Separator. Can.J.Phys.,1964,V.42,p.164-192.

80. Floy J.F. Analyses chimiques semiquantitatives par spectrographic de masse a ionisation par bombardement photonique /Laser a rubis/.Int.J.Mass Spectrom.Ion Phys.,1971,V.6,p.101 115»- 188

81. Dietze H,J.,Zalni H. Eine Ionenquelle zur massen-spektrographi-schen Laser-mikroanalyse an FestkBrpern.Mit dem Laser-mikro -spektral-Analysator LMA -1.Exp.Tech.Phys.,1972,No.20,S.389-400,

82. Scott R.H.,Strasheim A.,Jackson P.F.S. Application of Laser Source Mass Spectroscopy to Analysis of biological Material. Nature / London/, 1971, V 232, p.623 624.

83. Honig R»E., Woolston J.R. Laser-induced emission of electrons, ions and neutral atoms from solid surfaces.Appl.Phys.Lett., 1963, V.2,p. 138 139.

84. Вехсунг P. Масс-анализатор с лазерным микрозондом JIAMMA. Принцип и описание нового анализатора.Лейбольд Хереус,ГМБХ, Кёльн ,ШРГ,1982 30 с.

85. Бал V.S., Knox В.Е. Vaporization of Antimony and Tellurium in the Vicinity of the Critical Point.J.Chem.Phys.,1969,V.51,p. 524 527.

86. Эвальд,Зауэрман,Либль. Новый масс-спектрограф со стигматической фокусировкой.Устройство,характеристики и коррекция аберраций изображения. В сб. Успехи масс-спектрометрии. М.: ИЛ, 1963,с.20 25.

87. Мамырин Б.А. Исследование в области разделения масс ионов по времени пролета. Дис.докт.физ.-мат.наук.-Ленинград, 1966 320 с.

88. А.З. 3331444/21 I23II9 /СССР/ Способ юст^овки масс-спектрометра с двойной фокусировкой / А.И.Борискин, А.С.Брюханов,Ю.А.Быковский, В.М.Еременко,И.Д.Лалтев/ /положительное решение от II/I1983 г. /.

89. А.З. 3230684/21 001529 /СССР/ Детектор ионов масс-спектрометра /А.И.Борискин,А.С.Брюханов,В.К.Васильев, В.М.Еременко/

90. Басов Н.Г.,Бойко В.А.,Дементьев В.А.,КРохин О.Н.,Склизков Г.В. Нагревание и разлет плазмы, образующейся цри воздействии сфокусированного гигантского импульса лазера на твердую мишень.ЖГФ,1966, т.51,в.4,с.989 1000 .

91. Басов Н.Г.,Грибков В.А.,КРохин О.Н.,Склизков Г.В. Исследование высокотемпературных явлений, происходящих при фокусировании мощного излучения лазера на твердую мишень. ЖТз>, 1968,т.54,в. 4,с. 1073 1087 .

92. Басов Н.Г.,Бойко В.А,Войнов Ю.Д.,Кононов Э.Я.,Мандельштам С.А., Склизков Г.В. Получение спектров шогозарядных ионов при фокусировке излучения лазера на твердую мипень. Письма ЖЭТЗ?, 1967 ,т.5, в.6, с. 177 179.

93. Арефьев И.М.,Борискш А.И.,Брюханов А.С.,Быковский Ю.А.,Комле -ва А.А., Лаптев И.Д., Утямышев Р.И. Определение элементного состава пятен Брови на металле методом лазерной масс-спектрометрии. Судебно-медицшская экспертиза, 1982,т.25, с. 35 36.

94. Арефьев И.М.,Борискш А.И.,Брюханов А.С.,Комлева А.А.,Утямы -гаев Р.И., Чистов Е.Д. Определение элементного состава промыш -ленных аэрозолей методом лазерной масс-спектрометрии. Гигиена труда и профессиональные заболевания, 1983 , № 6 с. 54-56.

95. Briukhanov A.S.,Boriskin A.I,,Bykovskii Yu.A.,Yariomenko V.M., Eriomenko V.M. EMAL -2 Laser ion source mass spectrograph and its analytical capabilities. (9-th International Mass Spectrometry Conference. 30 August- 3 September 1982,Vienna,p.6/12.

96. Briukhanov A.S. ,Boriskin A.I.,Bykovskii Yu.A.,Eriomenko V.M., Yariomenko V.M. EMAL 2 Laser Ion Source Mass Spectrograph and its analytical capabilities. Int.J.Mass Spectrom.and Ion Phys. 1983,V.47, p.35 - 38 .