Метод зондирования оптических поверхностей и субмикронный анализ децентровки линз в прецизионных объективах тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.01 ВАК РФ

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

на правах рукописи

УДК 681.78:681.322

КЛИМЧИНСКИЙ Игорь Леонидович

МЕТОД ЗОНДИРОВАНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И СУБШРОШШИ АНАЛИЗ ДЕЦЕНТРИРОВКИ ЛИНЗ В ПРЕЦИЗИОННЫХ ОБЪЕКТИВАХ .

Специальность 01.04.01

- Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических яссяедоаатгай

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-иатеиатяческих наук

МИНСК - 1994

1'абота выполнена на кафедре интеллектуальных етстем Белорусского государственного университета

НчучяыЯ руководитель - кандидат технических наук, старший

научный сотрудник ИЕСТАКОВ К. М.

Официальные оппоненты: член- корр. АНБ, доктор технических

Ведущая организация : ЦКБ "Пеленг". г.Минск

Завдта состоится " 9 " сентября 1994 г. в 14 часов на заседании специализированного совета Д.056.03.09 при Белорусском государственном университете по адресу : 220050, Минск, пр. Ф. Скоршш, 4.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Белорусского государственного университета

Автореферат разослан " ¿//-0/-/сЯг_ 1994 г.

Ученый секретарь специализированного совета

наук, профессор ШИРОКОВ A.M. кандидат фиэико- математических наук ЯРМОЛИЦКИИ В. Ф.

доктор фаз.-мат, наук,профессор

оешая характеристика работы

Актуальность работы. Современные прецизионные объектны;. являются сложной высокоточной оптической системой. Создание их и анализ процессов, протекающих при эксплуатации, не возможны без проведения физических экспериментов по изучению влияния различных факторов на качество изображения. Одним из важнейших ЬараметроЕ, определяющих разрешающую способность, является отклонение (децентрировка) центров кривизны отдельных оптических поверхностей от оптической оси объектива. Как показывает теория и практика создания таких систем, величина децентрировкк не должна превышать десятых и сотых долей микрометра.

Существующие методы и технические средства не решают в полной мере задачу измерения децентрировки каждой поверхности линз в объективах.

В связи с этим разработка метода и системы измерения с субмикронной точностью децентрировки поверхностей линз в объективах является актуальной научно- технической задачей.

Цель диссертационной работы - разработка и исследование высокоточного метода зондирования оптических поверхностей, создание на базе разработанного метода экспериментальной установки, позволяющей измерять с субмикронной точностью децентрировку каждой отдельной оптической поверхности объектива в процессе сборки или после нее.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи.

1. Разработать высокоточный метод зондирования оптических поверхностей линз в объективах, инвариантный к влиянию поверхностей с близкими автоколлимационными точками, и исследовать его эффективность на математических моделях.

3

2. Разработать структуру экспериментальной установки для измерения с субмикронной точностью децентрировки линз в объективах методом зондирования оптических поверхностей.

3. Разработать алгоритмы формирования и обработки массивов измерительной информации, позволяющие локализовать положение изображения зонда с субпиксельной точностью и измерять децентрировку с субмикронной точностью.

4. Разработать алгоритмы оптимизации работы экспериментальной установки при зондировании каждой отдельной поверхности линз в объективе.

5. Реализовать разработанные метод, алгоритмы в установке для измерения децентрировки поверхностей линз в объективах и провести их экспериментальное исследование.

Методика выполнения исследований. В работе использовались теоретические и экспериментальные методы исследований. Теоретические исследования основывались на использовании методов вычислительной математики, теории случайных процессов, теории обнаружения, теории цифровой фильтрации с статистического анализа. Для исследования эффективности разработанных методов, алгоритмов и структуры использовалос! компьютерное моделирование и физические эксперименты н; созданной установке, внедренной в опытно- промышленну] эксплуатацию.

Научная новизна работы заключается в следующем.

1.Разработан, теоретически обоснован и экспериментальн исследован высокоточный метод зондирования оптических пс верхностей линз в объективах, заключающийся в последователь ной генерации светящихся линий с пространственной частоте повторения выше граничной частоты оптической систем! регистрации функции рассеивания каждой линии и получении,

4

результате преобразования пространства анализируемых сигналов , отклика контролируемой поверхности на периодическое тестовое воздействие с пространственной частотой, близкой к максимальной разрешаемой оптической системой, (а.с. на способ и устройство 1668863).

2. Для повышения точности измерения децентрировки линз в объективах в 2-3 раза и расширения класса контролируемых поверхностей выделяются сегменты изображения рабочих откликов, суммируются отклики в выбранных сегментах с периодом оптимального тестового воздействия, определяется положение профильтрованного отклика с учетом субпиксельной добавки от положения опорного отклика; обеспечивается дополнительный выигрыш в отношении сигнал/шум путем подавления возникающего при каждом зондирующем импульсе случайного поля когерентных помех с широким спектром пространственных частот и энергии,превосходящей энергию рабочего отклика на порядок.

3. Получены расчетные формулы выбора оптимальных параметров генерируемого тестового воздействия при изменении конфигурации итоговой оптической системы, формирующей изображение отклика контролируемой поверхности линзы в объективе.

4. Разработан метод разделения откликов на тестовое воздействие от поверхностей с близкими автоколлимационными точками путем введения углового и линейного смещения тестового воздействия, преобразования линейного смещения откликов в дополнительное угловое смещение на криволинейной поверхности второго порядка. Последующая пространственная селекция позволяет разделить отклики поверхностей о близкими автоколлимационными точками.

Практическая ценность работы. Создана установка для

5

контроля в процессе сборки и после нее децентрировки линз ь «реакционных объективах, содеряапшх до 27 и оол-че компонентов, разработанный метод измерения децентрировки линз в объективах и устройство защищены авторский свидетельством.

Результаты диссертационных исследований использовались при выполнении госбюджетной темы N 367/17 и НИР N $68-273, заказчиком которой является Фонд фундаментальных исследований Республики Беларусь.

Результаты исследований, разработок и рекомендации, приведенные в диссертационной работе, можно использовать при создании измерительных систем высокого разрешения.

Практическая ценность работы подтверждена актом приемки- сдачи НИР 17835, которая выполнялась для НПО "Планар".

Автор э очи чает:

1. Высокоточный метод зондирования оптических поверхностей линз в объективах, заключавшийся в последовательно! генерации светящихся линий с пространственной частото; повторения выше граничной частоты оптической системы регистрации функции рассеивания каждой линии и получении, результате преобразования пространства анализируемых сигна лов, отклика контролируемой поверхности на периодическс тестовое воздействие с пространственной частотой, близкой максимальной разрешаемой оптической системой.

2. Повышение точности измерения децентрировки линз объективах в 2- 3 раза и расширение класса контролируем! поверхностей достигается при выделении сегментов изображен: рабочих откликов, суммировании откликов в выбранных сегме тах с периодом оптимального тестового воздействия, определ яии положения профильтрованного отклика с учетом субпиксел ной добавки от положения опорного отклика, обеспечен

6

ополнительного выигрыша в отношении скгнал/ыу* путем юдавления возникающего прц каждом зондирующем импульсе случайного поля когерентных помех с широким спектрок пространственных частот и энергией превосходящей энергию рабочего отклика на порядок.

3. Расчетные формулы выбора оптимальных параметров генерируемЬго поэлементно тестового воздействия при изменении конфигурации оптической системы, формирующей изображение отклика контролируемой поверхности линзы в объективе.

4. Метод разделения откликов на тестовое воздействие от поверхностей с близкими автоколлимационными точками путей введения углового и линейного смещения тестового воздействия, преобразования линейного смещения откликов в дополнительное угловое смещение на криволинейной поверхности второго порядка. Последующая пространственная селекция позволяет разделить отклики поверхностей е близкими автоколлимационными точками.

5. Алгоритмы цифровой обработки измерительной информации и управления процессом измерения с субмикрошюй точностью децентрировки линз в объективах методом зондирования оптических поверхностей.

6. Принцип построения, структуру установки для контроля децентрировки линз в объективах, результаты математического моделирования и экспериментальных исследований точности.

Реализация работы. Разработка методов и экспериментальной установки для измерения децентрировки поверхностей я^нэ в прецизионных объективах выполнялась по НИР 17835.

Апробация работы. Результаты работы докладывались на Всесоюзной конференции "Оптико- электронные измерительные устройства и системы", Томск, 1989г., IV Всесоюзной

7

конференции "Применение лазеров в технологии н системах n-эредачи и обработки информации", Каев, 1991г., I Всесоганой конференции "Распознавание образов и анализ изображений: новые информационные технологии", Минск, 1991г., XXVII Всесоюзной научной студенческой конференции, Новосибирск, 1989г., конференции "Быстродействующие элементы и устройства волоконно-оптических и лазерных информационных систем", Севастополь, 1990г., семинаре "Теория и практика создания еастем технического зрения", Москва, 1990г.

Основные научные и практические результаты опубликованы автором в международной. Союзной и республиканской печати, а также в депонированных научно-технических отчетах о НИР.

публикации. Основное содержание работы опубликовано в 4 статьях, 1 авторском свидетельстве на способ и устройство, ?. отчетах о НИР и 4 тезисах докладов.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, изложенных нг 102 страницах машинописного текста, иллюстрированного рисунками, схемами, графиками, таблицимм на 32 страницах, библиографии из 127 наименований и приложения на 3 страницах. ОбаиЯ объем диссертации 120 страниц.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

В первой глазе диссертации проведен аналитический обзо методов и средств измерения децентрировки поверхностей линз Существующие методы измерения децентрировки клас сяфицнровани по базовым физическим принципам и по схема реализации. По базовым физическим принципам они разделены { механический, коллимационный, автоколлимационнкй и инте!

8

.■еренционныЯ. Первые три метода можно реализовать по дифференциальной и интегральной схемам, когда величина де-1ентрировки определяется, соответственно, по наклону локаль-шх участков поверхности линз или как интегральный параметр юверхности. Известны реализации интерференционного метода то схемам интерферометра Майкельсона, колец Ньютона, с ^пользованием дифракционной решетки и бипризмы Френеля.

Методы измерения децентрировки сравниваются по точности .случайной к методической погрешности), области применения и юзможиости контролировать линзовые пакеты. Максимальной тувствительностыз обладает интерференционный метод по схеме (терферометра Майкельсона , но из-за наличия интерференционных помех низка точность регистрации интерференционных юлос. Затем следует автоколлимационный метод измерения тецентрировки по смещения изображения тест- объекта, сраженного контролируемой поверхностьв. При реализация «етода по дифференциальной схеме, когда изображение тест->бьекта строится близко к контролируемой поверхности, достигается низкая чувствительность метода к откликам ^контролируемых поверхностей,, однако возрастает чувстви-гельность к локальным дефектам контролируемой оптической юверхности. Все остальные методы имеют меньшу» чувствительность приблизительно в 2 или в 4 раза к не позволяют >пределять децентрироьку каадой поверхности отдельно положение центра кривизны). Показано, что для гифференциальных методов характерно наличке кетодическоЗ Еогрешнсстп. Сравнительный акалкэ показывает, что каилучкгм /бразо;.; для измерения децентрировки поверхностей в объептквэ юдхсдит гвтоколлкиацксниыЯ метод, реализованный ко штегральноЯ схеме. В этой случае величина децентркровкп

9

определяется по смещению отраженного изображения тест-объекта, построенного в плоскость автоколлимационной точки контролируемой поверхности.

На основании анализа существующих методов и средств определены задачи, которые необходимо решить для измерения децентрировки каждой поверхности линзы в прецизионных объективах.

Во второй главе разработаны оригинальные принципь построения сверхразрешающих систем для измерения с субмикронной точностью децентрировки поверхностей линз I объективах. В качестве зондирующего воздействия (тест-объекта) активной оптической измерительной систем! выбирается светящаяся линия (или точка). В плоскости анализ; регистрируется множество откликов при смещении тест объекта с шагом существенно меньшим ширины функци рассеивания линии. Еаг смещения выбирают адаптивно к ширин функция рассеивания линии. По изменению структуры отклика н тест- объект - функции рассеивания линии судят о микро объектах, веоднородностях и аберрациях итоговой оптическо системы, включающей оптическую систему прибора и объек исследования. Последующее преобразование пространств регистрируемых в плоскости анализа сигналов, адаптивное ширине функции рассеивания линии и осуществляемое комльютс ром, выделяет информационные признаки структуры функщ рассеивания линии, и компенсирует искажение структуры, вы; ванное неоднородностями и аберрациями итоговой оптическ< системы.

Разработан метод измерения децентрировки поверхност* линз в объективах, в котором используется фильтрующее сво ство оптической системы при передаче изображения период

10

ческой структуры с пространственной частотой выше разрешаемой данной оптической системой. Изображение в плоскости анализа образуется как совокупность изображений периодической структуры, отраженных различными компонентами объектива. Каждое из изображений строится отдельной оптической системой и характеризуется, как правило, высоким уровнем аберраций. Уровень аберраций итоговой оптической системы, формирующей изображение периодической структуры, отраженное от контролируемой поверхности, минимален кз-эа наилучших условий фокусировки, т.к. плоскость изображения периодической структуры в оптической системе прибора совмещена с плоскостью автоколлимационой точки контролируемой поверхности. Выбирая пространственную частоту периодической структуры близкой к граничной, разрешаемой итоговой оптической системой, адаптивно к ширине функции расселения линии системы, можно снизить ошибку измерений иэ-фц коррелированных помех, обусловленных изображениями периявической структуры, которые формируются неконтролируемая! .а данный момент поверхностями.

Дальнейшее увеличение коэффициента выделения изображения отклика контролируемой поверхности достигается при поэлементной генерации периодической структуры в сочетании с преобразованием пространства анализируемых сигналов, в кото-, ром восстанавливается итоговое изображение периодической структуры. Элемент периодической структуры - светящаяся линия смещается дискретно с шагом И существенно меньшим ширины функции рассеивания линии итоговой оптичесхой системы, и изображение в плоскости анализа регистрируется чногоэлементным фотоприемником в каждом из I положений элемента периодической структуры. В результате получим I

11

изображений, состоянии из п пикселов, которые могло представить в виде L векторов S^ размерность» п, определяемой числом элементов фотоприемника.

Предложено преобразование пространства анализируемых сигналов, которое выполняется в три этапа. На первом этапе регистрируемые оптические сигналы - вектора S^ преобразуются в вектора меньшей размерности г < п

Y.= (U]J S J j

с матрицами преобразования размером г * п

= [«¡J = [ toJ :сwi :(D]J ].

Здесь г = Зга. где а - период периодической структуры, [С]-* , [D5J - нулевые подматрицы размером г к q и г * р, соответственно ,q=Jh,p = n- q- r,tW}*[ v¡} ] -диагональная матрица размером г х г, элементы которой woo,

w.....wr_t г_ имеют смысл весовых коэффициентов "окна", а

рассмотренная выше операция - взвешивания "Сегущш окном". Ка второй этапе векторы Y^ суммируются в вектор

L-I

j=o

кмеюзщй с1шсл усредненной по полю анализа функции рассеиьа-кия линии итоговой оптической системы, аберрационная характеристика которой равна среднему по полю анализа значении аберрационной характеристики реальной системы.

Результат преобразования - вектор V размерности и -является одним периодов отклика на тестовое Еоэдействиэ

V * CAÍ Z,

где матрица Е АЗ размером и ж г имеет спя

12

[Д] = [с кз : г ез : ш],

а подматрица (Е) - единичная матрица размером га х а .

Предложено определять положение в плоскости анализа отклика V на тестовое воздействие циклической квазиоптимальной цифровой фильтрацией с линейной аппроксимацией точки перехода через "ноль".

По координатам xJ С^ = 0,1,..N-1) отклика V, измеренным Н раз при углах поворота контролируемого объектива

вокруг оптической оси, осуществляется вычисление проекций жд я ус вектора децентрировки в системе координат объектива:

N-1

с = ТГ , . . „

х- = ~Т7~ ^ с05

гь г^

гь ^ г^

ус =" ТГ ^ -р

J =0

где Ь = <1/28 - множитель, учитывающий увеличение (в 2 раза) метода зондирования и оптической системы экспериментальной установки С/3), а такяе шаг А многоэлементного фотоприемника.

Разработан алгоритм выбора оптимального периода тестового воздействия по критерию минимума коррелированных помех при заданной точности измерения децентрировки, в котором вариацией периода тестового воздействия добиваются значения функционала контраста близкого к оптимальному Еор1. Функционал контраста предложено вычислять как сумму модулей первого и второго коэффициентов разложения отклика V на тестовое воздействие в ряд по функциям Уолаа.

Предложен метод разделения откликов на тестовое воздействие для поверхностей с близкими азтоколлиыацмоинкж точками, в котором используется зависимость точки построения

4 ч

хо

изображения отклика на тестовое воздействие от радиуса контролируемой поверхности при наличии углового и линейного смещения тестового воздействия. Получено аналитическое выражение для этой зависимости. Метод исследован на модели концентрических сферических поверхностей.

Б третьей главе теоретически анализируется разработанный метод. На математических моделях доказывается возможность существенного ослабления пространственных аддитивных и мультипликативных помех.

Для предложенного метода выводится формула расчета случайной составляющей погрешности измерения децентрнроикк:

б/и"4 1 >/г с0= - + —)

. 2а/?уЖ 12

где М - период квазиоптимальной циклической цифровой фильтрации, I - число шагов сканирования, Н - число измерений положения отклика на тестовое воздействия при вращении объектива, а - шаг многоэлементного фотоприемника, о^ - дисперсия аддитивных шумов, а - контраст отклика, р -увеличение оптической системы экспериментальной установки.

На основе выбранного критерия оптимальности - минимума коррелированных помех при заданной погрешности измерен«* децентрировки осуществляется адаптация тестового воадействш к контролируемой поверхности линзы в объективе. Расчет оптимального контраста Еор1 отклика на тестовое воздействие осуществляется по формуле:

*/* „ 1 .V»

е2Р1=-(с£ ♦ —:>

12

где обозначения те же, что и в предыдущей формуле.

14

Ьнработаны рекомендации по выс5ору параметров (диапазона ¡1 числа шагов сканирования) генерируемого поэлементно тестового воздействия при измерении децентрировки поверхностей линз в объективах.

В четвертой главе предлагается принципы и схема реализации метода зондирования оптических поверхностей, на основании которых разрабатываются структура экспериментальной установки для измерения децентрировки поверхностей линэ в объективах и ее составных частей. Разработаны алгоритмы автоматической регулировки установки и управления процессом проведения измерений. Теоретические выводы подтверждены результатами испытаний установки НМ-241 для контроля децентрировки линз в проекционных абъективах.

В приложении приводится акт приемки- сдачи НИР 17835.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Предложены принципы построения сверхразрешающих оптических систем для измерения с субмикронной точностью децентрировки поверхностей линз в объективах.

Разработан, теоретически обоснован и экспериментально исследован высокоточный метод зондирования оптических поверхностей линэ в объективах, заключающийся в последовательной генерации светящихся линий с пространственной частотой повторения выше граничной частоты оптической системы, регистрации функции рассеивания каждой линии и получении, в результате преобразования пространства анализируемых сигналов, отклика контролируемой поверхности на периодическое тестовое воздействие с пространственной частотой, близкой к максимальной разрешаемой оптической системой.

15

Метод существенно (в 2-3 раза) повышает точность намерения децентрировки поверхностей линз в объективах, позволяет контролировать поверхности с близкими автокол-лимационнымн точками.

Метод защищен авторским свидетельством на способ и устройство N 1668863.

2. Предложено компьютерное преобразование пространства анализируемых сигналов, на основе выделения сегментов изображения рабочих откликов, суммирования откликов в выбранных сегментах с периодом оптимального тестового воздействия, определении положения профильтрованного отклика с учетом субпиксельной добавки от положения опорного отклика, тем самым повышается отношение сигнал/шум путем подавления возникающего при каждом зондирующем импульсе случайного поля когерентных помех с широким спектром пространственных частот и энергией превосходящей энергиг рабочего отклика на порядок.

3. Разработан метод разделения откликов на тестовое воздействие от поверхностей с близкими автоколлимационныш точками путем введения углового и линейного смещениг тестового воздействия, преобразования линейного смещенш откликов в дополнительное угловое смещение на криволинейно! поверхности второго порядка. Последующая пpocтpaнcтвeннaJ селекция позволяет разделить отклики поверхностей с близким] автоколлимационными точками.

4. Разработаны алгоритмы формирования и обработк массивов измерительной информации, позволяющие локализоват положение изображения зонда с субпиксельной точностью измерять децентрировку с субмикронной точностью. Разработа алгоритм оптимизации параметров тестового воздействия пр

16

контроле каажой отдельной поверхности линз в объективах.

5 Проведен анализ точности предложенного метода. Предложен критерий оптимальности - минимума коррелированных помех при заданной погрешности измерения децентрировки. Получены расчетные формулы выбора оптимальных параметров генерируемого поэлементно тестового воздействия при изменении конфигурации итоговой оптической системы, формирующей изображение отклика контролируемой поверхности линзы в объективе.

6. Предложены принципы и схема реализации метода зондирования оптических поверхностей. Разработана сруктура экспериментальной установки для измерения децентрировки линз в прецизионных объективах.

7. Разработаны алгоритмы автоматического регулирования установки и управления процессом проведения измерений децентрировки линз в объективах.

8. Разработанные методы и алгоритмы реализованы в установке для контроля децентрировки линз в проекционных объективах.

9. Проведены экспериментальные исследования установки, которые показали, что случайная погрешность измеренния децентрировки при 98*4 доверительном интервале не превышает

0.01.мкм.

Основное содержание дисертации опубликовано в следуюиях

работах:

1. A.c. 1668863 СССР, MKJf G01 М11/00. Способ контроля децентрировки линз и устройство для его осуиествления ✓ И. Л. Климчинский.В.С. Садов, А.Ф. Чернявский, K.M. Шбстахов

// В. И 1991. N 29.

2. КлимчинскийИ. JI., Шестаков K. M. Расширение возможностей

17

оитико- электронных систем контроля центрироыа; muks >v Олтико- электроные измерительные устройства л смсгьмы. Тез. докл. Всесоюзной конференции. - Томск: Радио и с»яз1. 1989. - С. 15-16.

3. Климчннский И.Л., Шестаков К.М. Снижение влияния коррелированных помах путем поэлементной генерации тестового изображения// Теория и практика создания систем технического зрения: Материалы семинара.-М., 1990.- С.45-46

4. Klimchinsky I., Shestakov К. New principles of adaptive optical systems for optical superresolution: application to control of lens surfaces decentration in precision objective lens// Patern Recognition and Image Analysis.- V.2.- No.3-1992.- P. 359-361.

5. Разработка и внедрение фотоэлектрической системы контроля децентрировки линз проекционных объективов: Отчет о НИР (заключительный) / БГУ; Рук. работы Шестаков К.М. - Н ГР 01890060972; Инв. Н 02920011820. : Минск, 1992,- 60 с.

6. Климчинский И. Л. , Шестаков К. М. Преобразование пространства распознаваемых сигналов, компенсирующее аберрации // Распознавание образов и анализ изображений: новы< информационные технологии :Тез. докл. 1 Всесоюз. конф. Минск, 1991.- Ч. 2.- С. 84- 86.

7. Климчинский И.Л., Шестаков К.М. Комплекс адаптивно обработки сигналов многозлементных фотоприемников в лазерны сканирующих системах // Быстродействующие элементы и устрой ства волоконно- оптических и лазерных информационных систем Тезисы докладов конференции. - Севастополь, 1990. - С. 58.

8. Климчинский И.Л. Адаптивный контроль высокоразрешающ» объективов // Материалы XXVII Всесоюзной научнс студенческой конференции.- Новосибирск, 1989.- С. 45-49.

18

<». И?гИМ'!й!?СЬЯЙ И. .'., "9СТЯК0Я К. М. "0;ШеИС;'.Щ!Л абьррзциЛ и (ччщнпр^лхоочой оптической оитг^' л з назернич йзшфятелытх системах// Применение лазеров в технологии и системах передачи и обработки информация : Теэвсм докладоз IV ВсэсеязноЗ конференции.- Киев, 1991,- С. 59.

10 Климчинский И. Л. Анализ погрешности оятн;со- зяектрокэтоЗ системы контроля децентрировки с адаптивна« формярезаняау тестового воздействия // Радиофизика и электроника: Сбсрнтлс научных трудов.Вып.1.-Ми. :Белгосуииверситет,1993. -С. Ш-101, 11. Разработка высокопроизводительных оптико- электронна: систем с паралелышм синхронным принципом обработки даняых, обеспечивающих пропускную способность свыше 100 Мтгаксей/с: Отчет с НИР / БГУ; Рук. работы Чернявский А. Ф. .Садов В. С. -Н ГР 01900058312; Инв. N 02930003138. - Минск, 1992.- 112 й.

Нодгшспно. к печати "20" июня 1994 г. Формат 60x84/16 Объгч I пл.-Тира« 100 экз. Заявка W Бесплатно. iTiin-nтвио на ротапринте ВГУ: йшск,уя.Бобруйская,7.