Модуляционная рефрактометрия полупроводниковых гетероструктур Ga Al As и диэлектрических волноводов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

IJTABA I. Обзор литературы по существующим методам измерения профиля показателя преломления

1.1. Интерферометрия.

1.2. Методы отклонения луча.

1.3. Сканирование в ближнем поле

Г.4. Другие методы измерения профиля показателя преломления.

1.5. Выводы.

ГЛАВА 2. Метод пространственной модуляции коэффициента отражения.

2. Г. Отражение и преломление волн на поверхности

раздела двух сред.

2.2. Пространственная модуляция коэффициента отражения

2.3. Экспериментальная установка для измерения профиля показателя преломления.

2.4. Измерение профиля показателя преломления и линейных размеров волноводов

ГЛАВА 3. Теоретическое рассмотрение разрешающей способности метода.

3.1. Переход к безразмерным переменным

3.2. Случай прямых измерений

3.3. Модуляционный метод.

3.4. Применение к градиентным волокнам.

ГЛАВА 4. Исследование дисперсионных зависимостей показателя преломления в 6а

4.1. Введение.

4.2. Методика измерений

4.3. Описание установки

4.3.1. Блок схема.

4.3.2. Устройство осветителя

4.3.3. Питание лампы.

4.3.4. Стабилизация лампы по световому потоку

4.3.5. Установка для измерения состава

4.4. Определение состава и расчет вероятностей переходов зона-зона и примесь-зона

4.5. Дисперсионные зависимости показателя преломления для различных составов Ga

4.6. Теоретический анализ поведения дисперсионных зависимостей

4.7. Зависимости показателя преломления от со става .!.

За прошедшее двадцатилетие были выполнены многочисленные исследования фундаментального и прикладного характера в различных областях физики и техники, которые привели к возникновению новых разделов оптики, таких, как интегральная оптика, оптическая обработка информации, голография и другие, составивших основу нового и весьма перспективного научно-технического направления, нацеленного на существенное повышение информационной пропускной способности и надежности систем связи и на увеличение быстродействия устройств обработки изображений. Эти исследования завершились разработкой теоретических основ оптических методов передачи и обработки информации и созданием в основном элементной базы, а также позволили более верно и объективно оценить место этих методов среди других, лучше понять их возможности и свойственные им ограничения. Это дает основание утверждать о переходе; рассматриваемых методов из области фундаментальных исследований в сферу практических приложений.

Наибольшие практические успехи были достигнуты в области создания волоконно-оптических систем связи (ВОЛС). Освоение промышленностью выпуска оптических волокон с предельно низкими потерями, разработка светодиодов и полупроводниковых лазеров, а также высокочувствительных фотоприемников - все это позволило создать первые волоконно-оптические системы передачи информации. В настоящее время во многих странах мира, как и в нашей стране, проходят опытную эксплуатацию ВОЛС, используемые для передачи телефонных разговоров и телевизионных программ.

Центральное место как в интегральной оптике, так и в ВОЛС занимают оптические волноводы. В ВОЛС - это оптические волокна, как правило с осевой симметрией, а в интегральной оптике, где все элементы планарные, волноводом может служить один из слоев гетеро-структуры. Расчет и стыковка как элементов ВОЛС, так и интегрально-оптических схем, а также необходимость контроля технологического процесса их изготовления органически связаны с измерением профиля показателя преломления (приращения показателя преломления в зависимости от координаты вдоль поперечного сечения волновода или структуры) и геометрических характеристик волоконных и планарных волноводов и слоев. Характерные толщины волноводов лежат в пределах I -г ГО мкм, а перепады показателя преломления составляют —т —ч

ГО - ГО , что крайне затрудняет экспериментальное определение этих величин. В самостоятельную проблему превращается также контроль состава в выращиваемых многослойных полупроводниковых структурах. Установки рентгеновского микроанализа, хотя и обладают большой универсальностью и позволяют измерять профили состава, но на них трудно получить разрешение лучше Г * 2 мкм. Тем более, что такие установки вряд ли можно отнести к разряду простых и общедоступных.

В настоящее время задачи как измерения приращения показателя преломления Д I? по сечению неоднородной оптической системы (многослойная гетероструктура, диэлектрический волновод и т.д.), так и определения характерных размеров областей с различными показателями преломления (толщина активной области, диаметр сердцевины световода и т.п.) решены далеко не полностью. Известные методы измерения в большинстве своем не отвечают предъявляемым требованиям по чувствительности, точности и, главное., не обеспечивают достаточного пространственного разрешения.

Таким образом, актуальность диссертационной работы обусловлена необходимостью создания нового универсального метода, позволяющего для широкого круга материалов производить измерения профиля показателя преломления на уровне современных требований, а также необходимостью (в целях контроля состава) получения связи между показателем преломления и составом А? при энергии квантов света, превышающих ширину запрещенной зоны материала.

Основной целью работы являлось: а) разработка, теоретическое и экспериментальное обоснование модуляционного метода, позволяющего производить измерение профиля показателя преломления и геометрических параметров диэлектрических и полупроводниковых волноводов и слоев на уровне современных требований, предъявляемых в оптоэлектронике, интегральной и волоконной оптике, лазерной и полупроводниковой технике; б) теоретическое и экспериментальное исследование дисперсионных зависимостей показателя преломления для различных составов твердых растворов и создание на этой основе метода пересчета профилей показателя преломления многослойных гетерострук-тур ва АШ в профили состава и ширины запрещенной зоны.

Диссертационная работа состоит из четырех глав.

Первая глава диссертации содержит обзор работ по существующим методам исследования профиля показателя преломления. Детально разобраны следующие группы исследовательских методов: интерферомет-рические, методы отклонения луча, сканирования в ближнем поле, исследования модового состава и прочие.

Показано, что ни один из рассмотренных методов не обладает достаточной информативностью в применении к многослойным полупроводниковым гетероструктурам, тем более не позволяет исследовать те слои, которые не являются волноводными.

Пространственное разрешение рассмотренных методов составляет в лучшем случае Г * 2 мкм и, следовательно, во многом этим же значением определяется абсолютная погрешность определения таких характерных линейных размеров волновода, как диаметр или толщина.

На основании обзора существующих методов делается вывод о необходимости изыскания такого способа измерения профиля показателя преломления, который при требуемых уровнях чувствительности, точности и пространственного разрешения позволял бы исследовать как волоконные, так и планарные волноводы, как одно-, так и многомодо-вые, как с симметричным, так и с произвольным профилем.

В главе 2 обсуждено влияние коэффициента экстинкции Э£ на адекватность восстановления профиля показателя преломления по профилю коэффициента отражения.

Изложен метод пространственной модуляции отражения, основанный на регистрации отраженного от поверхности исследуемого образца остросфокусированного и промодулированного по координате (за счет малых колебаний образца в плоскости, перпендикулярной оптической оси объектива) пучка света и выделении из регистрируемого сигнала переменной составляющей, которая пропорциональна производной от профиля показателя преломления по координате в данной точке поверхности.' Показано, что по сравнению с измерениями без модуляции, порог чувствительности может быть уменьшен на два порядка, а абсолютная погрешность измерений толщин слоев с различными показателями преломления по дифференциальной кривой может быть значительно меньше значения, определяемого разрешающей способностью оптической системы. Даны описание экспериментальной установки и ее параметры. Приведены результаты исследований профилей показателя преломления (Д = 633 нм) в волоконном световоде и в различных многослойных гетероструктурах на основе во, АШ .

В главе 3 теоретически исследованы вопросы, связанные о проблемой предельной разрешающей способности метода и адекватности восстановления реального профиля показателя преломления диэлектрических волноводов и полупроводниковых гетероструктур. Рассмотрены случаи как с модуляцией, так и без модуляции отражения в применении к однослойным и многослойным структурам и диэлектрическому волноводу типа "селфок". Показано, что разрешающая способность метода цри фокусировке в дифракционный предел несколько превышает разрешающую способность микроскопа, определяемую критерием Рэлея.

Показано, что при малых амплитудах модуляции (много меньше диаметра светового зонда), форма пика производной, соответствующая скачкообразному изменению профиля показателя преломления, совпадает с формой распределения интенсивности сфокусированного на поверхности света." Показано, что при ширине слоя больше разрешающей способности, экстремумы дифференциальной кривой, при малых амплитудах модуляции, совпадают с краями полосы, а цри полосе уже минимально разрешаемого расстояния происходит отделение пиков производной от границ слоев, и расстояние между ними перестает зависеть от ширины слоя. Приведены рассчитанные на ЭВМ зависимости поведения дифференциальных кривых при различных амплитудах модуляции для разных толщин слоев и расстояний между ними.

В главе 4 исследованы дисперсионные зависимости показателя преломления Get hi № для составов с молярной долей М № 10, 15, 19, 23, 27, 30, 34, 40, 41, 44, 48 %, а также дош Л? в диапазоне длин волн 500 v 760 нм. Изложен метод измерений, основанный на сравнении спектральных зависимостей отражения от исследуемых образцов со спектральной зависимостью света, отраженного от образца с известным коэффициентом отражения в данном диапазоне длин волн. Описан способ стабилизации освещенности в исследуемой локальной области поверхности образца, основанный на создании обратной связи по световому потоку.

Состав в исследуемой области образца определялся по пику фотолюминесценции, возбуждаемой излучением гелий-кадмиевого лазера на длине волны 441.6 нм. На основе расчетов вероятностей переходов зона-зона, примесь-зона и анализа литературных данных показано, что в GaA(A$ при комнатной температуре и концентрациях донорных примесей менее I*10^ см 3, положение максшлума пика фотолюминесценции практически соответствует ширине прямого энергетического зазора.

Приведены соответствующие зависимости Г? СД) для исследовавшихся составов. Па основе анализа соотношения Крамерса-Кронига показано, что в области края фундаментального поглощения поведение должно в большей степени определяться формой края, которая в свою очередь зависит от уровня легирования. По литературным данным апроксимированы аналитическими функциями края поглощения для GaAU? высокой чистоты и с концентрациями донорных примесеи 5.9.Ю17, 2*1018, З.З.ГО18, 6.7.I018 см"3: По этим моделям, с использованием соотношения Крамерса-Кронига, построены соответствующие зависимости nfy) для Gdi-yi с X = 0.3. Получено хорошее совпадение с экпериментальной кривой для GctMft? высокой чистоты. Показано, что уровень легирования существенно влияет на особенность поведения fi(A) в области края поглощения.

По полученным экспериментальным зависимостям н(Х) для разных составов построены зависимости П(х) для трех длин волн: 550, 600 и 633 нм. Показано, что для каждой длины волны, в области составов с небольшим содержанием AfAS , поведение f?(X) практически не зависит от уровня легирования и описывается линейной функцией, а по мере приближения к составам, у которых ширина прямого энергетического зазора соответствует данной длине волны, начинает зависеть от концентрации легирующей примеси и отклоняется от линейной зависимости. Чем выше уровень легирования, тем при меньших значениях / происходит это отклонение. Для областей составов, где концентрация примесей не сказывается на поведении , получены соответствующие аналитические зависимости и указаны области их применения как по составам, так и по уровням легирования. Показано, как по этим зависимостям пересчитывать профили показателя преломления в профили состава и ширины запрещенной зоны.

Приведен экспериментальный профиль показателя преломления ДГС лазера на основе Gq ftffi $ , измеренный на длине волны 633 нм, и соответствующие ему профили состава и ширины запрещенной зоны.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Разработанные, экспериментально и теоретически обоснованные: а) метод исследования профиля показателя преломления на основе пространственной модуляции отражения света; б) метод измерения геометрических параметров полупроводниковых и диэлектрических волноводов и слоев с различными показателями преломления с погрешностью, значительно меньшей значения, определяемого пространственным разрешением оптической системы.

2. Результаты экспериментального исследования гетероструктур на основе и диэлектрического волновода.

3. Результаты экспериментального исследования дисперсионных зависимостей показателя преломления для различных составов твердых растворов Gq№I\2 "в области края полосы фундаментального поглощения.

4. Результаты теоретического исследования влияния уровня легирования на характер дисперсионных зависимостей вблизи края поглощения.

5. Разработанный метод стабилизации освещенности в локальной области поверхности, освещаемой через оптическую систему от неоднородного источника света, характеризующегося пространственно-временной нестабильностью.

Основные результаты диссертационной работы опубликованы в работах [73, 78, 82, 9Г, 9б] , а также докладывались на следующих конференциях:

- 1Г

Г. 1У Республиканский коллоквиум по модуляционной спектроскопии полупроводников и диэлектриков (Сухуми, 1981г.).

2. Ш Всесоюзная конференция "Физические процессы в полупроводниковых гетероструктурах" (Одесса, 1982г.).

3. 1У Всесоюзная конференция "Оптика лазеров" (Ленинград, 1984г.).

4. Конференция МФТИ (Долгопродный, 1980, 1981, 1983 г.г.).

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. На основе пространственной модуляции отражения света разработан простой и универсальный дифференциальный метод измерения профиля показателя преломления, обеспечивающий высокую чувствительность и хорошую разрешающую способность.

2. Создана и внедрена в опытное промышленное производство экспериментальная установка для измерения профиля показателя преломления, реализующая метод пространственной модуляции отражения света.

3. Теоретически и экспериментально исследованы возможности метода. Показано, что при разрешающей способности^ 0.4 мкм достигается абсолютная погрешность измерений толщин слоев с различными показателями преломления ^0.05 мкм (при толщине слоя более 0.4 мкм).

4. При помощи дифференциального метода исследованы профили показателя преломления в различных гетероструктурах на основе и в диэлектрическом волноводе.

5. Разработан метод стабилизации освещенности в локальной области поверхности, освещаемой через оптическую систему от неоднородного источника света, характеризующегося пространственно-временной нестабильностью.

6. Экспериментально и теоретически исследованы дисперсионные зависимости показателя преломления для различных составов 6аА1А$ в диапазоне длин волн 500 -г 760 нм. Показано, что в области края фундаментального поглощения поведение дисперсионных зависимостей определяется уровнем легирования.

7. Получены зависимости показателя преломления ft[x) от состава ба^МхАе для трех длин волн: 550, 600 и 633 нм. Показано, что для каждой длины волны в области составов, у которых ширина прямого энергетического зазора соответствует данной длине волны, поведение 17(/) существенно зависит от концентрации легирующей примеси, что не позволяет использовать в данной области составов эти соотношения для пересчета профилей показателя преломления в профили состава. В области составов с меньшим содержанием поведение .описывается линейной функцией и практически не зависит от уровня легирования.

8. Получены расчетные соотношения и указаны области их применения для адекватного соответствия профилей показателя преломления (на 550, 600 и 633 нм) гетероструктур на основе профилям состава и профилям ширины запрещенной зоны.

Разработанный метод измерения профиля показателя преломления обладает следующими достоинствами: может быть применен и к плоским, и к волоконным волноводам, не требует аксиальной симметрии оптических свойств волновода, не требует помещения объекта исследования в иммерсионную среду, применим не только к однослойным, но и к многослойным полупроводниковым структурам, не требует особых условий ввода излучения в образец. Подобной универсальностью не обладает ни один из известных методов измерения профиля показателя преломления.

Установки, реализующие данный метод могут применяться для контроля технологических процессов изготовления различных материалов и элементов интегральной оптики и ВОЛС, как то: волоконных световодов с произвольным распределением показателя преломления, различных полупроводниковых светодиодных и лазерных гетероструктур, планарных и канальных диэлектрических волноводов.

В случае эпитаксиальных гетероструктур на основе

6»Ш в полученные соотношения /7 fX^ позволяют получать сразу профили состава и ширины запрещенной зоны, а также переходить от профиля показателя преломления на одной длине волны к профилю на другой.

Следует подчеркнуть, что рассмотренный метод не ограничивается полупроводниковыми соединениями и волноводами, исследованными в данной работе, а может быть распространен и на болеез широкий класс полупроводниковых материалов и диэлектрические волноводы различных типов.

В заключение автор выражает благодарность руководителям Олегу Владимировичу Богданкевичу и Павлу Андреевичу Тодуа за предоставление интересной темы работы, обсуждение результатов и ряд ценных советов. Автор искренне благодарен всем сотрудникам отдела 23 ВНИЦПВ, в том числе: С.А.Дарзнеку, М.М.Звереву, В.Б.Митюх-ляеву, В.А.Ушахину, С.А.Беляеву, В.Ф.Певцову, Л.Н.Невзоровой и другим за помощь при выполнении данной работы, ценные практические и организационные советы, а также за благожелательное отношение и интерес к работе, способствовавших ее успешному завершению.

1.Martin V/.E. Refractive 1.dex Profile Measurements of Diffused Optical Waveguides.- Applied Optics, 1974, vol.13, p.2112-2116.

2. Burrus C.A.,Standley R.D. Viewing Refractive-Index Profiles and Small-Scale Inhomogeneties in Glass Optical Fibers: Some Techniques.- Applied Optics, 1974, vol.13, p.2365-2369.

3. V/onsiewiz B.C.,French W.G.,Lasay P.D.,Simpson J.R, Automatic Analysis of Interferograms: Optical Waveguide Refractive Index Profiles.- Applied Optics, 1976, vol.15, p.1047-1052.

4. Presby H.M,,Marcuse D.,Astle H.W. Automatic Refractive-Index Profiling of Optical Fibers.- Applied Optics, 1978, vol,17, p.2209-2214.

5. Шарма Б.Л., Пурохит P.K. Полупроводниковые гетеропереходы.-М.: Сов. радио, 1979,- 227с.

6. Marhic М.Е.,Но P.S.,Epstein М. Nondestructive Refractive Index Profile Measurements of Clad Optical Fibers.- Applied Physics Letters. 1975, vol.26, p.574-575*

7. H.Tatekura K. Determination of the Index Profile of Optical Fibers from Transverse Interferograms Using Fourier Theory.-Applied Optics, 1983, vol.22, p.460-463.

8. Chu P.L. Nondestructive Method of Index Profile of an Optical-Fibre Preform.- Electronics Letters, 1977, vol.13, p.736-738.

9. Watkins L.S. Laser Beam Refraction Transversely through a Graded-Index Prefoira to Deteimine Refractive Index Ratio and Gradient Profile.- Applied Optics, 1979, vol.18, p.2214-2222.

10. Chu P.L.,Whitbread T. Measurement of Refractive-Index Profile of Optical-Fibre Preform.-Electronics Letters,1979, vol.15, p.295-296.

11. Barrell K.F.,Pask C. Nondestructive Index Profile Measurement of ITon-Circular Optical Fibre Prefoira.- Optics Communication,1978, vol.27, p.230-234.

12. Chu P.L. Nondestructive Refractive-Index Profile Measurement . of Elliptical Optical Fibre or Preform.- Electronics Letters,1979, vol.15, p.357-358.

13. Marcuse D. Refractive Index Determination by the Focusing Method.- Applied Optics,1979, vol.18, p.9-13.

14. Marcuse D.,Presby H.M. Focusing Method For Nondestructive Measurement of Optical Fiber Index Profiles.- Applied Optics, 1979,volo18, p.14-22.

15. Presby H.M.,Marcuse D. Immersionless Single-Mode Preform Index Profiling.- Applied Optics, 1982, vol.21, p.4253-4259.

16. Saekeang C.,Chu P.L.,Whitbread T.W. Nondestructive Measurement of Refractive-Index Profile and Cross-Sectional Geometry of Optical Fiber Preforms.-Applied Optics,1980,vol.19,p.2025-2030.

17. Chu P.L.,Saekeang C. Nondestructive Determination of Refractive-Index Profile and Cross-Sectional Geometry of the Optical-Fibre Prefoira.- Electronics Letters, 1979, vol.15, p.635-637.

18. Sasaki I.,Payne D.N.,Adams M.J. Measurement of Refractive-Index

19. Glode P.,Marcatili E.A.J. Multimode Theory of Graded-Core Fibers.-Bell System Technical Journal,1973,vol.52,p.1563-1578.

20. Payne D.N.,Sladen F.M.E.,Adams M.J. Index Profile Determination in Graded Index Fibers.-Proceedings,First Conference on Optical Fibre Communication.IEE Conf.Publ.,London,1975,N132,p.43-45.

21. Payne D.N.,Sladen F.M.E.,Adams M.J. Deteiraination of Optical Fiber Refractive Index Profiles by a Near-Field Scanning Technique.» Applied Physics Letters, 1976, vol.28, p.255-258.

22. Snyder A.W. Leaky-Ray Theory of Optical Y/aveguides of Circular Cross Section.- Applied Physics, 1974, vol.4, p.273-278.

23. Snyder A,W,,Mitchell D.J.Leaky Rays on Circular Optical Fibers.-Journal of Optical Society of America,1974,vol.64,p.615-621.

24. Adams M.J.,Payne D.N.,Sladen F.M.E.Correction Factors for the Determination of Optical-Fibre Refractive-Index Profiles by the Near-Field Scanning Technique.- Electronics Letters, 1976, vol.12,p.281-283.

25. Adams M.J.,Payne D«N.,Sladen F.M.E. Length-Dependent Effects Due to Leaky Modes on Multimode Graded-Index Optical Fibers.-Optics Communications, 1976, vol.17,p.204-209.

26. Arnaua J.A,,Derosier R.M. Novel Technique for Measuring the Index Profile of Optical Fibers.- Bell System Technical Journal, 1976, vol.55,p.1489-1508.

27. Simmer G.T. A New Technique for Refractive Index Profile Measurement in Multimode Optical Fibers.- Optical and Quantum Electronics, 1977, vol.9, p.79-82.

28. Peteiraann K.Uncertainties of the Leaky Mode Correction for Near-Square-Law Optical Fibers.-Electronics Letters,1977,v.13,p.513-517.

29. Facq P.,Arnaud J. Transmission Technique for Planar Film Index Profile Measurements.- Optical and Quantum Electronics, 1980, vol.12, p.84-86.

30. Stewart W.J. A New Technique for Measuring the Refractive Index Profiles of Graded Optical Fibers.- Technical Digest, I00C (IECE, Tokyo, 1977), p.395-398.

31. Young M.Linearity and Resolution of Refracted Near-Field Scanning Technique.-Technical Digest,Symposium on Optical Fiber Measurement, NBS US,Special Publications, 1980,11597, p.37-40.

32. Young M. Optical Fiber Index Profiles by the Refracted-Ray Method (Refracted Near-Field Scanning).- Applied Optics, 1981, vol.20, p.3415-3422.

33. White К.I.Practical Application of the Refracted Near-Field Technique for the Measurement of Optical Fibre Refractive Index Profiles.-Optical and Quantum Electronics, 1979,v.11,p.185-196.

34. Young M.Calibration Technique for Pefracted Near-Field Scanning of Optical Fibers.-Applied Optics,1980,vol.19,p.2479-2480.

35. Saunders M.J. Optical Fibre Profiles Using the Refracted Near-Field Technique: a Comparision with Other Methods.- Applied Optics, 1981, vol.20, p. 1645-1649.

36. Young M. Refracted-Ray Scanning (Refracted Fear-Field Scanning) for Measuring Index Profiles of Optical Fibers.- NBS US, Technical Note, 1981, N 1038, -67p.

37. Stewart W.J. Detail Resolution in Optical Fibre Index Profiling

38. Methods.-A GARD Conference Proceedings, 1977,N219, session 28-1.

39. Peid D.C.J.,Stewart W.J. Ultrahigh Resolution Refractive Neaa>-Field Profiling.- Technical Digest, Third International Conference of Integrated Optics and Optical Fibre Communication. OSA/IEEE, San-Francisco, California, 1981, p.TUG6.

40. Sasaki I.,Payne D.N.,Mansfield R.J.Endface Index Profiling of Optical Fiber Prefoiras.-Applied Optics,1982,v.21,p.4246-4252.

41. Tatekura K. Index Profile Deteimination of Single-Mode Fiber by the Phase Contrast Method; a Proposed Technique,- Applied Optics, 1982, vol.21, p.4260-4263.

42. Интегральная оптика. Под ред. Т.Тамира.- М.: Мир, 1978, -344с.

43. Золотов Е.М.,Кисилев В.А.,Пелехатый В.М. Определение характеристик оптических диффузных волноводов,- Квантовая электроника, 1978, т.5, с.2376-2382.

44. Дикаев Ю.М.,Копылов Ю.Л. ,Котелянский И.М. Простой метод определения профилей диффузных волноводов.- Квантовая электроника, 1981, т.8, с.378-381.

45. Колосовский Е.А.,Петров Д.В.,Царев А.В. Численный метод восстановления профиля показаткля преломления диффузных волноводов.- Квантовая электроника, 198I, т.8, с.2557-2568.

46. Сычугов В.А.,Тищенко А.В.Исследование диффузионных полосковых волноводов в стекле.-Квантовая электроника,198I,т.8,с.779-784.

47. Ангелов А.К.,Золотов Е.М.,Прохоров A.M.,Черных В.А. Определение параметров оптических диффузных Ag-i Li волноводов.-Письма в ОТ, 1982,т.8, с.1345-1349.

48. Stewart G. Planar Optical Waveguides Formed by Silve-Ion Migration in Glass.- I EEE Journal of Quantum Electronics, 1977, vol. QE-13, p.192-200.

49. Stewart G. Ion Exchange Waveguides with Lot/ Index Change.

50. Интегральная оптика, волоконная оптика и голография. Материалы 2-ой Международной школы по когерентной оптике и голографии. Варна, 198I, с.216-245.

51. Агеев А.Н.,Мокрушина Е.В.,Трифонов А.С. К вопросу об измерении параметров тонких пленок методом призменного ввода света.-Журнал технической физики, 1982, т.52, с.2044-2046.

52. Кораблев Е.М.,Проклов В.В. Акустооптический метод измерения эффективных приращений показателей преломления волноводных мод в шганарных световодах.- Журнал технической физики,1983, т.54, с.755-756.

53. Johansen Е.,Sabine P.V.H.Structural Caracteristics of Optical Fibers.-Australian Telecommunication Research, 1978,v.12,p.25-39.

54. Burrus С.А.,Standley R.D. Viewing Refractive-Index Profiles and Small-Scale Inhomogeneties in Glass Optical Fibers: Some Techniques.- Applied Optics, 1974, vol.13, p.2365-2369.

55. Чернов С.М.,Жилик К.К.,Петровский Г.Н. Определение параметров круглых оптических волокон со ступенчатым профилем показателя преломления.- Журнал прикладной спектроскопии, 1982, т.37, с.137-142.

56. Presby H.M. Refractive Index and Diameter Measurements of Unclad Optical Fibers.- Journal of Optical Society of America, 1974, vol.64, p.280-284.

57. Marcuse D. Light Scattering from Unclad Fibers: Ray Theory.-Applied Optics, 1975, vol.14, p.1528-1532.

58. Ландау Л.Д.,Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред.- М.: Наука, 1982, -624с.

59. Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках.- М.: Мир, 1973, -456с.

60. Eickhoff W.,Weidel Е, Measuring Method for the Refractive Index Profile of Optical Glass Fibers,- Optical and Quantum Electronics, 1975, vol.7, p.109-113.

61. Cusano D.A. Analysis of GaAs with Electron Beam excited Radiative Recombination.- Solid State Communication, 1964, vol.2, p.353-357.

62. Ландсберг Г.С. Оптика.- M.s Наука, 1976, -928с.

63. Casay Н.С.,Kaiser R.H. Analysis of n-type GaAs with Electron Beam Excited Radiative Recombination.- Journal Electrochem Society, 1967, vol.114, p.149-153.

64. Беляев С.А.,Дюков В.Г.,Кудеяров Ю.А. Особенности формирования изображений в растровом оптическом микроскопе.- Известия ВУЗов, Приборостроение, 1983, №8, с.77-82.

65. Богданкевич О.В.,Георгобиани А.Н.,Солин В.Г.,Тодуа П.А. Исследование профиля показателя преломления в многослойных лазерных гетероструктурах на основе 6а №№ .- Квантовая Электроника, 1983, т.10, с.426-427.

66. Борн.М.,Вольф Э. Основы Оптики.- M.s Наука, 1970, -856с.

67. Справочник по специальным функциям.- М.: Наука,1979, -832с.

68. Sheppard С.G.R.,Wilson Т. Image Formation in Scanning Microscope with Partially Coherent Source and Detector.- Optica Acta, 1978, vol.25, p.315-325.

69. Богданкевич О.В.,Железникова Е.А.,Солин В.Г., Тодуа П.А. Измерение профиля показателя преломления в оптических волноводах.» 1У Всесоюзная конференция "Оптика лазеров" ( январь) 1984 г.

70. Тез. докл. Госуд. оптич. ин-т им. С.И.Вавилова,-Л.: ГОИ, 1984, -405с.

71. Summers С.J.,Dingle R.,Hill D.E. Far-Infrared Donor Absorption and Photoconductivity in Epitaxial n-Type GaAs.- Physical Review, 1970, vol.Bf, p.1603-1606.

72. Casey H.C.,Sell D.D., Panish M.B. Refractive Index of Al^Ga^As Between 1,2 and 1.8 ev.- Applied Physics Letters, 1974, vol.24, p. 63-65.

73. Кейси X., Паниш M. Лазеры на гетероструктурах.- М.: Мир, 1981, т.1, -299с.; т.2, -364с.

74. Кругер М.Я.,Панов В.А., Кулагин В.В., Погарев В.В.,Кругер Я.М., Левинзон A.M.Справочник конструктора оптико-механических приборов. -Ленинград: Машиностроение, 1968, -760с.

75. Шишловский А. А. Прикладная физическая оптика.- М.: Гос.издат. физ.-мат.литературы, 1961, -822с.

76. Spring Thorpe A.J.,King F.D.,Becke А. Те and Ge Doping Studies in Ga- .Al As.- Journal of Electronic Materials, 1975, 1 -x xvol.4, p.101-118.

77. Casey H.C.,Jr.,Dingl R.,Logan R.A.,Bell Labs,Lifshitz N.,Columbia U. Donor Ionization Energy in A1 Ga. As.- Bull, of the1. X I

78. American Physical Society, 1977, vol.22, p.317.

79. Емельяненко 0.В.,Лагунова Т.С.,Последов Д.Н.,Талакин Г.Н. Образование и свойства примесной зоны в Физика твердого тела, 1965, т.7, с.1315-1323.

80. Vrehen Q.H.F. Interband Magnetо-Optical Absorption in Gallium Arsenide.- Journ. Phys. Chem. Solids, 1968, vol.29, p.129-141.

81. Stukel D.J.,Euwema R.IT. Energy-Band Structure of Aluminum Arsenide.- Physical Review, 1969, vol.188, p.1193-1196.

82. Мосс Т.,Баррел Г., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроника.- М.: Мир, 1976, -430. 95.Strzalkowski I.,Joshi S.,Crowell C.R. Dielectric constant and its Temperature Dependence for GaAs, CdTe and ZnSe.- Applied Physics Letters, 1976, vol.28, p.350-352.

83. Богданкевич О.В.,Георгобиани А.Н.,Дарзнек С.А.,Железникова Е.А., Солин В.Г.,Тодуа П.А. Измерение профиля показателя преломленияв многослойных полупроводниковых гетероструктурах и оптических волноводах. Краткие сообщения по физике,1984,№9, с.14-18.

84. Mott W.P.,Twose W.D. The Theory of Impurity Conduction.- Advan. Phys., 1961, v. 10, p. 107-163.

85. Результаты диссертационной работы Ь.Г.болина в части разраоотки метода и установки дли модуляционного измерения профиля показателя преломления и линейных размерив гетерослоев, а также диэлектрических волноводов внедрены ъ 1уШ "Врлна".

86. Настояли акт не является основанием для взаимных финансовых расчетов.0,^33 мкм 0,'i мкм-г и.^Ь мкм1. Нач. №10-3 к.т.н.1. Нач. сектора к.ф.м.н.1. Яковлев М.Я.ылнцырев Б.Л,