О природе структурных и фазовых превращений, индуцированных ионной бомбардировкой в тонких пленках переходных металлов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Введение.

Глава 1. Обзор литературы.

1.1. Изучение явления ионно-индуцированных структурных превращений в тонких металлических пленках.

1.2. Изучение природы фазовых превращений в тонких пленках металлов, вызванных облучением.

1.3. Предполагаемый механизм структурно-фазовых превращений.

1.4. Анализ экспериментальных условий и возможных погрешностей исследований.

1.5. Выводы и задачи исследования.

Глава 2. Экспериментальное оборудование и методики исследований

2.1. Конструкция и технические характеристики напылитель-ного стенда.

2.2. Технологические особенности и режимы получения поли-и монокристаллических пленок никеля, железа и хрома

2.3. Анализ чистоты пленок и контроль исходной структуры

2.4. Характеристики использовавшихся облучательных устройств и режимов облучения.

2.4.1. Экспериментальная установка «Скиф».

2.4.2. Электростатический ускоритель ЭСУ-2 МэВ.

2.4.3. Ускорительная установка на энергию 200 кэВ.

2.5. Аппаратура для электронографичееких и электронномик-роскопических исследований исходных и облученных образцов.

Глава 3. Исследование структурных изменений в моно- и поликристаллических пленках никеля при облучении ионами инертных и химически активных газов (N+, 0+)

3.1. Изучение структурных изменений в монокристаллических пленках Ni при облучении ионами Не+, N4" и 0+.

3.1.1. Облучение ионами Не+ различных энергий.

3.1.2. Облучение ионами Не+ с энергией 20,100 и 150 кэВ

3.1.3. Не сепарированный пучок ионов. Облучение ионами Не+ с энергией 150 кэВ

3.1.4. Облучение монокристаллических пленок [001] Ni ионами NT* и 0+ с энергией 20 кэВ

3.2. Структурные изменения в поликристаллических пленках никеля при облучении ионами Не+, Ne+, Ar+, Kr+, Хе+ и ионами N~\ 0+

3.2.1. Облучение поликристаллических пленок никеля ионами гелия с энергией 100 кэВ.

3.2.2. Облучение поликристаллических пленок никеля ионами гелия с энергией 20 кэВ.

3.2.3. Облучение поликристаллических пленок никеля ионами тяжелых инертных газов.

3.2.4. Облучение поликристаллических пленок никеля химически активными ионами N+hO+.

Выводы.

Глава 4. Структурные изменения в поликристаллических пленках Fe и Сг при облучении ионами инертных и химически активных газов.

4.1. Влияние бомбардировки ионами инертных газов Не+, Ne+, Ar+, Kr+, Хе+ на структуру поликристаллических пленок

Fen Сг.

4.1.1 Влияние облучения ионами гелия с энергией 100 и

20 кэВ на структуру пленок железа и хрома

4.1.2. Влияние бомбардировки ионами тяжелых инертных газов на структуру пленок Fe и Сг.

4.2. Влияние облучения ионами 1ST1", 0+ на структурные изменения в пленках железа и хрома

4.2.1. Облучение пленок Fe ионами 1ST и О

4.2.2. Облучение пленок Сг ионами и О

Выводы

Глава 5. Изменение микроструктуры пленок никеля при облучении ионами Не+ различных энергий.

5.1. Влияние облучения Не+ с энергией 20 и 100 кэВ на микроструктуру поликристаллических пленок никеля.

5.1.1. Изменение микроструктуры в пленках никеля после бомбардировки ионами гелия с энергией 20 кэВ

5.1.2. Влияние облучения ионами Не+ с энергией 100 кэВ на микроструктуру поликристаллических пленок никеля.

5.2. Изменение микроструктуры моно- и поликристаллических пленок никеля при бомбардировке ионами Не+. Возникновение и развитие гелиевой пористости в пленках.

5.2.1. Изменение микроструктуры и морфологии поверхности монокристаллических пленок никеля после бомбардировки ионами Не+.

5.2.2. Изменение микроструктуры и морфологии поликристаллических пленок никеля при бомбардировке ионами гелия.—.

Выводы.

Тонкие металлические пленки занимают особое положение в физике твердого тела. Прикладной и научный интерес к тонким пленкам, которые нашли особенно широкое применение в микрооэлектронике и других направлениях новой техники обусловлен не только специфическими особенностями их физических свойств, но и возможностью изменения физических свойств в широких пределах путем вариации ионного облучения.

Облучение тонких пленок переходных металлов ионными пучками с энергиями ~ 10.102 кэВ приводит к изменению их кристаллической структуры [1-8].

Это явление, получившее название ионно-индуцированных фазовых переходов, лежит в основе интенсивно развиваемых в настоящее время ион-но-имплантационных технологий для модификации свойств металлов [9, 10]. По своей природе оно тесно связано с эффектами радиационно-индуцированного зарождения и распада выделений вторых фаз в сплавах [11], изучение которых играет важную роль в решении проблемы радиационной стойкости конструкционных материалов [12]. В фундаментальном аспекте изучение этого явления представляет значительный интерес, так как позволяет пролить свет на некоторые еще недостаточно изученные свойства кристаллической решетки металлов, поэтому ионно-индуцированные фазовые превращения служат объектом интенсивных исследований в течение более четырех десятилетий.

Начало исследованиям этого явления было положено в 1956 г. сообщением Дж. Триллата (J. Trillat) и др.-[2], которые наблюдали изменение структуры пленки Ni в процессе облучения несепарированным пучком ионов воздуха и трактовали этот эффект как фазовый переход кубического никеля в гексагональный. В дальнейшем было показано, что фазовые превращения под действием ионной бомбардировки характерны для переходных металлов.

Природа этого явления в течение почти сорока лет считалась твердо установленной: фазовые превращения при ионной бомбардировке представляют собой разновидность полиморфных фазовых переходов (термодинамических переходов первого рода), отличающихся от последних тем, что они вызваны не изменением Р, Т- параметров, а радиационным воздействием на решетку металла.

Однако в начале 1980-х возникли серьезные основания для того, чтобы усомниться в правильности такой концепции. В литературе появились данные, свидетельствующие о том, что металлические пленки, полученные в традиционных вакуумных условиях (масляная откачка, P~10-2.10'4 Па, могут быть сильно загрязнены примесями химически активных элементов (С, N, О), и эти примеси могут служить причиной структурных превращений, наблюдаемых при ионной бомбардировке. Проведенный нами анализ условий приготовления пленок показал, что большинство авторов использовали пленки, которые могли содержать большое количество примесей. В связи с этим под сомнением оказалось абсолютное большинство результатов исследований и, в первую очередь, их трактовка. Это означало, что сложившиеся представления о природе структурных превращений при ионной бомбардировке, по-видимому, являются ошибочными.

Учитывая научную и практическую значимость явления, не трудно прийти к выводу, что решение вопроса об его природе является очень актуальной задачей.

В связи с этим цель настоящей диссертационной работы была сформулирована как изучение природы структурных превращений в тонких пленках переходных металлов при ионной бомбардировке.

Для решения поставленной задачи необходимо было провести исследования на пленках высокой чистоты, облученных в условиях, предотвращающих возможность их загрязнения.

Научная новизна работы состоит в том, что впервые установлены принципиальные различия структурных изменений в высокочистых и загрязненных примесями тонких пленках переходных металлов, подвергнутых облучению ионами инертных и химически активных газов, и установлен механизм структурных и фазовых превращений в пленках переходных металлов, обусловленный химическим взаимодействием имплантированных ионов с материалом пленки, приводящий к образованию нового химического вещества с характерной для этого вещества кристаллической структурой.

Практическая и научная значимость работы определяется тем, что правильное представление о природе структурных и фазовых изменений, вызываемых ионной бомбардировкой в металлах, играет важную роль в разработке научных основ интенсивно развиваемых в настоящее время ионно-лучевых технологий, целью которых является целенаправленный поиск и создание новых материалов с заданными поверхностными свойствами, например: прочностью, коррозионной стойкостью, износостойкостью и др.

Вторым важным для практики моментом работы является формирование представления о механизмах зарождения и поведения вторичных фаз, возникающих в конструкционных материалах, работающих в условиях интенсивных ядерных излучений. Знание механизмов этих явлений позволяет вести научно-обоснованные разработки путей их подавления. В фундаментальном аспекте правильные представления о поведении чистых металлов под облучением способствует более глубокому пониманию их свойств и характеристик.

Автор защищает следующие научные результаты и положения:

1. Результаты изучения явления радиационно-индуцированных структурных превращений на чистых моно- и поликристаллических пленках никеля, позволившие впервые экспериментально установить принципиальные различия в характере структурных изменений в чистых и загрязненных примесями пленках и сделать вывод о несостоятельности взглядов на природу этих изменений как на фазовые переходы первого рода.

2. Результаты исследований вышеназванного явления на чистых пленках Fe и Сг как типичных представителях переходных металлов, подтвердившие данные, полученные на никеле, и позволившие распространить вышеупомянутое заключение и вывод о действительной природе явления на весь ряд переходных металлов.

3. Экспериментальное доказательство причины структурных превращений в пленках при ионной бомбардировке как проявление чисто химических процессов взаимодействия химически активного имплантанта с матрицей металла, приводящих к образованию нитридов, карбидов или окислов металлов и, как следствие, - к изменению кристаллической структуры самого металла.

4. Результаты изучения влияния ионной бомбардировки на микроструктуру тонких металлических пленок (в том числе выяснение особенностей дробления зеренной структуры металла и связи этого эффекта с уширением дифракционных линий электронограмм) вносят определенный вклад в развитие методик структурных исследований.

5. Разработку и создание аппаратуры и методик, впервые позволивших получить пленки переходных металлов Fe, Ni, Сг высокой чистоты, провести их облучение и структурные исследования в строго контролируемых условиях, исключающих возможность заметного загрязнения примесями.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы, представленные на конкурс в Координационный Научно-Технический Совет по физике радиационной повреждаемости твердого тела, приказом по Министерству среднего машиностроения от 15.04.1986 г. № 174 были оценены присуждением второй премии и диплома лауреата отраслевой премии. Основные материалы докладывались и обсуждались на научно-технических конференциях и совещаниях: Превращения в материалах под действием импульсных воздействий и пучков частиц (Дрезден, ГДР, 7-11 сентября 1987 г.); Межотраслевом совещании по физике радиационных повреждений, ионно-лучевым и радиационным технологическим процессам (г. Харьков, 1988 г.); Международных школах по физике радиационных повреждений твердого тела (г. Алушта, 1989, 1991 гг.); Радиационная повреждаемость и работоспособность конструкционных материалов: VII конференция стран СНГ, Белгород, 9-12 сентября 1997 г.; 2-й Международной конференции «ВОМ», Донецк, 2-4 июня 1998 г.; Международной конференции по атомным столкновениям в твердом теле ICACS-19, Париж, Франция, 29 июля - 3 августа 2001 г.

Основное содержание диссертации изложено в 10 работах и журналах Radiation Effects and Defects in Solids - 2, ВАНТ, Научные ведомости и др.

10. Выводы в общем плане, впервые в данной диссертационной работе, полученные экспериментальные результаты исследования привели к пересмотру традиционных представлений о природе фазовых превращений в тонких пленках переходных металлов, индуцированные ионным облучением при температурах вблизи Т«300 К: в чистых от примесей пленках никеля, железа и хрома облучение

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Thomson G. P. Nature 1929. V. 123. № 3111. 912.

2. Trillat J., Tertian L. Sur la tarnsformation du nickel cubique en hexagonal //Compt. Rend. 1956. Vol. 243. № 7. P. 666-667.

3. Быков В. H., Здоровцева Г. Г., Троян В. А., Хаймович В. С. Фазовые переходы в тонких пленках железа и никеля при бомбардировке ионами гелия // Кристаллография. 1971. Т. 16. Вып. 4. - С. 810-812.

4. Павлов П. В., Тетельбаум Д. И., Павлов А. В., Зорин Е. И. Структурные превращения при бомбардировке железа и молибдена ионами Ar+, NT". РАН СССР. Сер.: Математика. Физика. 1974. 217. 330.

5. Follstaed D. М. Vetastble phase formation in ion-implanted metals //Nuch. Instv. and Meth. Phys. Res. 1985. Vol. В 7/8. P. 11-19.

6. Павлов П. В., Тетельбаум Д. И., Павлов А. В., Зорин Е. И. Структурные превращения при бомбардировке железа, никеля и молибдена ионами Ar+, N*" и С //РАН СССР. Сер.: Математика, Физика. 1974. Т. 217. Вып. 2. -С. 330-332.

7. Павлов П. В., Сидоров В. А., Тетельбаум Д. И. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1984. N 10, 128.

8. Teodorescu I. and Glodeany A. G. Phys. Rev. Leyyers, 1960, 4, 231.

9. Павлов П. В., Тетельбаум Д. И., Курильчик Е. В. и др. // Труды XII Всесоюзной конф. по физике взаимодействия атомных частиц с кристаллами. М.: Изд-во МГУ, 1982. - С. 114.

10. Павлов П. В., Тетельбаум Д. П., Курильчик Е. В. и др. О природе структурных превращений в пленках переходных металлов при ионной бом-бардироке //ФХОМ. 1987. № 4. С. 16-19.

11. Bykov V. N., Troyan V. A., Zdorovtseva G. G., Khaimovich V. S. Phase transformations at bombardment of thin films with ions //Phys. Stat. Sol. (a). 1975. Vol. 32. P. 53-61.

12. Быков В. Н., Здоровцева Г. Г. и др. Кристаллография, 1974. Вып. 4, 19. 896.

13. Хмелевская В. С., Быков В. Н., Здоровцева Г. Г. и др. // Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 1983. Вып. 5 (28). С. 22-26.

14. Кузнецов Г. Р. Металловедение и термическая обработка металлов.1982.-№ 11,21.

15. Johnson Е., Wohlenberg Т., Grant W. A. Phase Transtions, 1974. Vol. 1. P. 23-24.

16. Гольцев В. П., Даргай А. М., Комаров Ф. Ф. и др. Фазовые превращения в тонких пленках никеля и хрома при облучении ионами аргона // Изв. АН БССР, Сер.: Физ. -энерг. наук. 1982. - № 2. - С. 25-28.

17. Павлов П. В., Сидоров В. А., Тетельбаум Д. И. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1984. № 10. 128.

18. Al-Tamimi Z. Y., Grant W. A., Grundy P. J. Metallic glass formation by ion implantation into nickel //Vacuum. 1984. Vol. 34.

19. Павлов П. В., Сидоров В. А., Тетельбаум Д. И. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1987. № 4. 16.

20. Pavlov P. V. Nuclear Instrum and Methods, 1983, 209/210, 791.

21. Бакай А. С., Зеленский В. Ф., Неклюдов И. М. и др. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 1983. Вып. 5 (28). С. 3-11.

22. Бакай А. С., Кирюхин Н. М. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение.1983. Вып. 5 (28). -С. 89.

23. Бакай А. С., Квачантирадзе Г. Г. Журнал техн. физ. 1987. Т. 57. Вып. 11,2255.

24. Хирт Дж., Лоте И. Теория дислокаций. М.: Атомиздат, 1972. -С. 600.

25. Jesser W. A., Kuhlmann-Wildsdorf D. // Phys. Stat. Sol. 1967. V. 19. P. 95-105.

26. Girifalso L. A., Weiser V. G. // Phys. Rev. 1959. V. 114. P. 687-690.

27. Dunayevsky S. M., Nikulin Y. K. J. Phys. F: Met. Phys., 1982, v. 12, p. L 123-L 127.

28. Афанасьев Г. В., Гвердцители И. Г. и др. Кристаллография, 1977. -Т. 22. Вып. 4, 841.

29. Belii I. М., Komarov F. F., Tishkov М., Yankovskii V. М. // Phys. stat. sol. 1978. 45 a. 343.

30. Новожилов В. H. В кн.: Взаимодействия атомных частиц с твердым телом. Минск, 1978. - Ч. 1. - С. 195-197. (Труды V Всесоюзной конференции).

31. Ионная имплантация /Ред. Хирвонен Дж. К. М.: Металлургия,1985.

32. Liu В. X, Wand J., Fand Z. Z. J. Appl. Phys. 1991, V. 69(10), 7342.

33. Liu В. X., Zhou X. and Li H. D. Phys. Stat. Sol. (a). 1989, ПЗ, 11.

34. Андриевский P. А., Уманский Я. С. Фазы внедрения. М.: Наука,1977.

35. Васильев Д. М. Кн. Физическая кристаллография. М.: Металлургия, 1972.

36. Terao N., Berghezan A. Transformation des reseaux metalliques sous l'influence des elements d'insertion: transformation du nickel sous I'influence de I'Azote //J. Phys. Soc. Japan. 1959. Vol. 14. № 2. P. 139-148.

37. Terao N.: J. Phys. Soc. Japan. 1960. Vol. № 2. P. 227-230.

38. Баранова P. В., Ходырев Ю. H., Семилетов С. А. Кристаллография. 1982. Т. 27. Вып. 5. - С. 923-927.

39. Park R. L., Farnsworth Н. Е. J. Chem. Phys. 1964, 40, 2354.

40. Park R. L., Farnsworth H. E. J. Chem. Phys. 1965, 43, 2351.

41. Germer L. H., Hartman C. D. J. Appl. Phys. 1960, 31, 2085.

42. Germer L. H., Mac Rae A. U. J. Appl. Phys. 1962, 33, 2923.

43. Germer L. H., Mac Rae A. U. J. Chem. Phys. 1962, 37, 1382.

44. Lander J. J., Morrison J. J. App. Phys. 1963, 34, 1403.

45. Muller R.: Z. Naturforsch. 1965, 20a, 153.

46. Mur L. E., Inman M. C.: Phys. Mag. 1966, 14, 135.

47. Селла К., Трийа К.: Сб. Монокристаллические пленки. М.: Мир,1966.

48. Bethge Н.: Phys. Stat. Sol. 1962, 2, 775.

49. Дистлер Г. И., Кобзарева С. А.: ФТТ, 1965, 7, № 8.

50. Yno S., Watanabe P., Ogawa P.: J. Phys. Soc. Japan, 1962, 17, 1074; 1964, 19, 881.

51. Mattews J. M., GrunbaumE.: Phil. Mag. 1965, 11, 1233.

52. Adam R. W.: Z. fur Naturforsch. 1966, 21a, 497.

53. Haradorf M.: Z. Naturforsch. 1968, 23a, 1059.

54. Mihata K.: J. Vac. Soc. Technol. 1969, 6,480.

55. Graham W. R., Hutchinson F. J. Appl. Phys. 1969, 40, 3931.

56. Wolker G. A., Goldsmith С. C. J. Vac. Sci. Technol. 1970, 7, 569.

57. Григорович В. E. Электронное строение и термодинамика сплавов железа. М.: Наука, 1970.

58. Dheer R. К. Proc. 20th Electron. Compan. Conf., 1970, New York, 1970,76.

59. Adamsky R. F., Behrndt К. H., Brogen W. T. Vac. Sci. Technol. 1969, 6, 524.

60. Juchem W., Stranle Vak. Techn, 1971, 20, 110.

61. Paul M. C., Hanson M. M. J. Appl. Phys. 1966, 37, 3742.

62. Goto M. J. Appl. Phys. 1966, 5, 976.

63. Белый И. M., Комаров Ф. Ф., Тишков В. С., Янковский В. М. // ФХОМ, 1979, № 1.-С.48.

64. Коган В. С. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум. Вып. 1. Харьков: ФТИ АН УССР, 1971.-С. 117-124.

65. Гришин С. Ф. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум. Вып. 1. Харьков: ФТИ АН УССР, 1971,3.

66. Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. М.: Изд-во «Сов. радио», 1977. - Т. 1.

67. Дешман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964. -С. 454.

68. Федорова М. Ф. Исследование физической абсорбции и ее практическое применение. Препринт. Харьков: ФТИ АН УССР, 1966. - 40 с.

69. Коган В. С., Серюгтн А. Л. ФММ, 1969, 28, 623.

70. Палатник Л. С., Фукс М. Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972. - 289 с.

71. Зеленский В. Ф., Рыбалко В. Ф. и др. Эксперименты по холодному ядерному синтезу в Pd и Ti, насыщенных дейтерием методом ионной имплантации. Препринт. Харьков, ХФТИ АН УССР, 1989. - 25 с.

72. Юферов В. Б. Сб. Вопросы атомной науки и техники, сер.: Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум. Препринт. Харьков, ХФТИ АН УССР, 1971.-С. 125.

73. Лазарев Б. Г., Макаров В. И. и др. ВАН СССР, 1971, Ш, 321.

74. Калинкин И. П., Алесковский В. Б., Симашкевич А. В. Кн. Эпитак-сиальные пленки соединений А В. Ленинград, 1978, 310.

75. Катлинский В. М. Неорганические материалы. 1978. - Т. 14, 1667.

76. Тихинский Г. Ф., Ажажа В. М., Ковтун Г. П. Получение сверхчистых металлов. М.: Металлургия, 1986. - 160 с.

77. Блинов В. А., Панфилов С. А. и др. Физика и химия обработки материалов, 1986. № 3. - С. 48-51.

78. Комаров Ф. Ф., Кумахов М. А., Ташлыков И. С. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск: Изд-во Белорус, ун-та, 1987. - 256 с.

79. Неклюдов И. М., Толстолуцкая Г. Р. и др. Методические аспекты исследования процессов взаимодействия точечных дефектов с имплантированными примесными атомами методом каналирования: Препринт ХФТИ 97-8. Харьков ХФТИ, 1997.

80. Гусев В. М., Бушаров Н. П. и др. Ионный ускоритель ИЛУ на 100 кэВ с сепарацией ионов по массе // ПТЭ. 1969. № 4, 19.

81. Быстров Ю. А., Иванов С. А. Ускорительная техника и рентгеновские приборы. М.: Высшая школа, 1983.

82. Лебедев А. Н., Шальнов А. В. Основы физики и техники ускорителей. -М.: Энергоатомиздат, 1991.

83. Грибанов Ю. А., Рыбалко В. Ф. и др. Газовый источник ионов с холодным катодом для чистых вакуумных систем. ВАНТ. Сер.: ФРП и РМ. 1982. Вып. 1(20), 80.

84. Рыбалко В. Ф., Ружицкий В. В., Хазан С. М. Многопозиционный узел с нагреваемыми ленточными мишенями // ПТЭ. 1984. №1,215.

85. Ванштейн Б. К. Структурная электронография. М.: Изд-во АН СССР, 1956.

86. Пугачев А. Т., Чуракова Н. П. Заводская лаборатория, 1980. Т. 46. № 8, 737.

87. Серых В. П. Структурный анализ порошка в программах и алгоритмах. Сборник программ, ХФТИ 80-16. Харьков, 1980. - 112 с.

88. Серых В. П. Порошок. Комплекс программ для структурного анализа поликристаллов: Препринт ХФТИ 85-5. М.: ЦНИИ атоминформ, 1985. -29 с.

89. Хирш П., Хови А., Никольсон Р., Пэшли Р. и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов. — М.: Мир, 1968.

90. Панчех П. А., Бойко Б. Т. Заводская лаборатория, 1972. № 5, 552.

91. Дезенсковский В. Г., Мартынов И. С. и др. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 1987. Вып. 3(41), 1-76.

92. Кумахов М. А. Пространственное перераспределение потока заряженных частиц в кристаллической решетке. УФН, 1975, т. 115, № 4, 427.

93. Буренков А. Ф., Комаров Ф. Ф., Кумахов М. А., Темкин М. М. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Минск: Изд-во БГУ, 1980.

94. Pashley D. W. et al., Phil Mag., 1964, 10, 127.

95. Фельдман JI., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок.-М.: Мир, 1989.

96. Андриевский Р., Уманский Я. Фазы внедрения. М.: Изд-во «Наука», 1977.

97. Пирсон У. Кристаллохимия и физика металлов и сплавов. М.: "Мир", 1977, т 1, 2.

98. Гусев В. А., Мартынов И. С., Серюгин А. Л. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение, 1976, вып 1 (3), 29.

99. Hasegawa Y. Fujimoto Y., Okuyama F. Surf. Sci. 1985, vol. 163. P. L781-L787.

100. Joyce C. Liu and Mayer J. M. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 1987, Vol. В 19/20, P. 538-542.

101. Хмелевская В. С., Быков В. Н. и др. Вопросы атомной науки и техник. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение, 1983, Вып 5 (28), с. 22-26.

102. Палатник Л. С., Козьма А. А., Черемской П. Г. и др. Докл.

103. АН СССР, 1984, т. 278, № 6, 1363.

104. Cost J. R, Johnson D. L. J. Nucl. Mates. 1970, v. 36, № 2, 230.

105. Дамаск А., Дине Дж. Точечные дефекты в металлах. М.: Мир,1966.

106. Голанд А. Современное изучение точечных дефектов в металлах. В кн.: Точечные дефекты в твердых телах. М., 1979, с. 351-366.

107. Перегон Т. И., Тишенко Л. П., Коваль А. Г., Мартынов И. Е. Поверхность, 1990, № 9, с. 114.

108. Вятскин А. Я, Макаров К. А., Алексеев В. В. // Техн. физики, 1969. Т. 39, вып. 3, стр. 543.

109. Вятскин А. Я, Макаров К. А., Алексеев В. В. // Техн. физики, 1969. Т. 39, вып. 3, стр. 549.

110. Оеп О. S, Robinson М. Т. Nucl. Inst. Meth. 1976, vol. 132, p. 647.

111. Zelenskij V. F., Neklyudov I. M. el. At. J. Nucl. Mater, 1987, vol. 157,22.

112. Ранюк А. И, Рыбалко В. Ф. Гелий в решетке металлов: Обзор. -М.: ЦНИИ атоминформ, 1986, с. 64.

113. Гусев В. А, Мартынов И. С, Серюгин А. Л. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика и техника высокого вакуума, 1976. Вып. 2 (6). С. 48.

114. Камышанченко Н. В., Мартынов И. С. и др. Научные ведомости. Сер.: Физика. Вып. 2000, № 1 (10). С. 120-129.

115. Бендиков В. И, Неклюдов И. М. и др. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение, 1987, вып 1 (39), 1-109.

116. Fenake G, Das S. К, Kaminsky М, Miley G. H. J. Nucl. Mater. 1978. 76/77, 247.

117. Johnson R. B, Mazey D. J. Harwell Rpt. 1978. R-920.

118. Johnoso%. B, Mazey D. J. Nucl. Mater. 1980. 93/94, 721.

119. Келли Б. Радиационные повреждения твердых тел. М.: Атомиз-дат, 1970.

120. Бериша Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 2,- М.: Мир, 1986.

121. Кана Р. Физическое металловедение. Вып. 3. М.: Мир, 1968.

122. Миркин Л. И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов. М.: Гос. изд. физ. -мат. литер., 1961.

123. ASTM card No 3-0925, No. 35-803, No 19-629.

124. Горелик С. С., Расторгуев Л. Н., Скаков Ю. А. Рентгенографический и электронографический анализ металлов (приложения). М.: Металл, изд., 1963.

125. Maziasz P. J. Nucl. Mater. 1993. vol. 205, 118/

126. Melius С. F., Wilson W. D., Bisson C. L. Formation and migration properties of rare gases He, Ar, Kr, Xe in nickel // Rad. Eff. 1980. V. 53, p. 111-120.i