Образование микроскопических конусов на поверхности металлов и сплавов под действием ионного облучения при повышенных температурах тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.08 ВАК РФ

ргб од

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНЖЕНЕРНО-ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

На правах рукописи УДК 621.039.531

ЗАХАРОВ Андрей Михайлович

ОБРАЗОВАНИЕ МИКРОСКОПИЧЕСКИХ КОНУСОВ НА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ИОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ ПРИ ПОВЫШЕННЫХ ТЕМПЕРАТУРАХ

0i.04.0S • физика и химия плазмы 01.04.07 - физика твердого тела

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Автор:

Москва - 1996

Работа выполнена в Московском Государственном инженерно-физическом институте (Техническом университете). Научный руководитель : доктор физико-математических наук, доцент

Беграмбеков Л. Б. Официальные оппоненты - доктор физико-математических наук,

профессор Троян В.И. кандидат технических наук, доцент Шкарбан И.И. Ведущая организация: Московский Государственный авиационный технологический университет им. К.Э. Циолковского.

Защита состоится 1996 г. в ' час. на

заседании диссертационного совета К-053.03.08 в Московском Государственном инженерно-физическом институте по адресу: 115409, Москва, Каширское шоссе, д. 31. Тел. 324-84-98, 323-91-67.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МИФИ.

Просим принять участие в работе совета или прислать отзыв в одном экземпляре, заверенный печатью организации.

Автореферат диссертации разослан -/Л* «юе/^-ъ 1996 г.

Ученый секретарь диссертационного совета к.ф.-м.п.

С.Т. Корнилов

-3-

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Поверхность твердого тела, её физико-химические параметры играют важную, в ряде случаев определяющую роль в работе широкого круга рациационно-фшпческих приборов, установок и технологий. Ионно-плазменное воздействие при определённых условиях приводит к значительным изменениям рельефа, за счет развития на облучаемой поверхности структур конусов, вискеров, пирамид. Подобное развитие рельефа вызывает изменение самых разнообразных свойств поверхности. Меняются оптические свойства, автоэмиссионные параметры, коэффициенты распыления, отражения ионов, вторичной электронной эмиссии и т.п. В силу этого изучение процессов, приводящих к трансформации поверхностного рельефа, и разработка иоино-плазменных методов направленной трансформации свойств поверхности представляются чрезвычайно актуальными. Эти исследования позволят получить важные сведения о физических основах ионно-стимулированной трансформации поверхности, а также будут способствовать повышению эффективности существующих и развитию целого ряда новых приборов и технологий на основе использования поверхностей с модифицированными свойствами.

Несмотря на научную и практическую значимость проблемы, к началу работы над диссертацией имелись лишь фрагментарные сведения о процессах, приводящих к трансформации рельефа и структуры поверхностей металлов и сплавов при ионном облучении, особенно в условиях повышенных температур. Физика этих процессов в большинстве случаев была не выявлена. -

Всё вышесказанное определило актуальность исследований процессов эрозии и трансформации поверхности при ионно-плазменном

воздействии и влияния условий воздействия на изменение поверхностных свойств, что и составило содержание диссертации.

Цель и ззлачн работы Целью работь1 было исследование основных закономерностей и разработка моделей процессов, приводящих к изменению рельефа, структуры и состава поверхности металлов и сплавов при ионном облучении. Создание на этой основе поверхностей с заданными физическими свойствами.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи :

1. Изучение закономерностей развития на бомбардируемой ионами поверхности металлов выступов, конусов и пирамид и анализ свойств развивающегося рельефа.

2. Исследование эрозии, формирования рельефа, модификации состава на поверхности различных типов сплавов при ионном облучении.

3. Анализ ионно-стямулированных процессов, приводящих к развитию упомянутых выше явлений.

4. Разработка механизмов изучаемых явлений.

5. Создание образцов поверхностей с модифицированными свойствами, методом ионно-плазменного воздействия.

Научная новизна работы состоит в том, что в ней :

1. Выявлены условия образования и закономерности развития конусов на облучаемой поверхности. Разработана модель, объясняющая с единых позиций конусообразование во всех известных по литературе случаях.

2. Выявлены закономерности распыления одно и двухфазных двухкошгонентных сплавов при высоких температурах, обнаружено явление снижения скорости распыления сплавов при Т > (0,3-0,4)ТШ, .

3. Созданы образцы поверхностей с модифицированными эмиссионными и оптическими свойствами, в частности :

•: -5 -

поверхности с селективными оптическим!! свойствами для эффективного поглощения видимого (например солнечного) излучения; - поверхности с высокими автоэмиссионныин параметрами.

Практическая ценность_работы определяется важностью

полученных результатов для оптимизации условий эксплуатации широкого круга ионно-плазменных приборов и установок и для создания материалов, стойких к ионно-плазменному воздействию. Проведённые исследования создают физическую основу для разработки ионно-плазменных методов направленной модификации поверхностных свойств.

Обнаружение и обоснование аномально низкого коэффициента распыления при высоких температурах сплавов, дает возможность увеличить ресурс работы различных деталей термоядерных установок, например диверторных пластпн, экранов и других элементов первой стенки. Это также позволит уменьшить загрязнение плазмы продуктами их распыления.

С использованием поверхностей с селективными оптическими свойствами созданы и прошли испытания в следующих организациях: НПО "Солнце" (Ашхабад), Молдэнерго (Кишинев), ТОО "Рутения" (Благовещенск) - высокотемпературные коллекторы солнечного излучения, предназначенные для использования в гелиотермнческих установках.

На основе поверхностей с высокими автоэмиссионными параметрами созданы для использования в ФИАЭ им. И.В. Курчатова (г. Троицк, Моск. обл.) образцы матричных автоэлектронных эмиттеров большой площади.

Основные положения выносимые на защиту :

1. Экспериментальные закономерности развития конусов на облучаемых ионами поверхностях металлов.

- 62. Модель роста конусов.

3. Обнаружение явления аномального уменьшения скорости распыления одно и двухфазных двухкомпонентных сплавов при высоких температурах.

4. Модель явления аномального уменьшения высокотемпературного распыления двухкомпонентных сплавов.

5. Обоснование и физические основы ионно-плазменных методов направленного изменения свойств поверхности

Апробаиня работы Основные результаты работы докладывались и обсуждались на : VIII, XI Всесоюзных конференциях "Взаимодействие атомных частиц с твердым телом" (Москва - 1987, 1993); VII Всесоюзной конференции по физике низкотемпературной плазмы (Ташкент - 1987); Всесоюзной конференции "Ионно-лучевая модификация материалов" (Каунас - 1989); Всесоюзном совещании-семинаре ."Диагностика' поверхности ионными пучками" (Одесса - 1990); 14 и 16 Международных конференциях "Atomic Collisions in Solids" (Салфорд, Великобритания -1991; Линц, Австрия - 1995).

Публикации По теме диссертации опубликовано 10 печатных работ.

Структура писсертаиии Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы. Полный обьем 118 стр., включая 29 рис., 5 табл. Список литературы содержит 87 работ.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

В диссертации описаны исследования явлений, определяющих распыление и трансформацию рельефа, структуры, состава поверхности

при нонпо-плазменном облучении, а также приведены разработки по практическому использованию полученных результатов.

Во введении обоснована актуальность темы диссертации, формулируются цель и основные задачи работы, показаны научная новизна результатов л их практическая значимость, а также представлены основные положения, выносимые на защиту.

В литературном обзоре работ по теме диссертации отражено состояние проблемы во время работы, над диссертацией, на основании чего осуществлена постановка задачи диссертационной работы.

В диссертации проведено экспериментальное изучение образования и развития конусов при ионном облучении как на одноэлементной металлической поверхности, так и в присутствии на облучаемой поверхности примесных атомов. Описано экспериментальное оборудовайие и методика экспериментов.

Эксперименты проводились. в установке, в которой, благодаря использованию трехэлектродной системы и накаливаемого вольфрамового катода, удавалось получить устойчивый и хорошо регулируемый разряд в аргоне [1,2]. Разряд зажигался при давлении аргона 10"1 Па. Давление остаточных газов составляло (1-2)10"4 Па. Плотность плазмы составляла приблизительно Ю10 см*3. Температура электронов в разряде -10 эВ. Конструкция катодного блока предотвращала попадание распыленных п испаренных атомов вольфрама с поверхности катода на поверхность исследуемого образца. Температура образца в процессе облучения могла поддерживаться в пределах от 100°С до 1Ю0°С. Энергия ионов аргона в экспериментах изменялась от 100 до 1000 эВ. Плотность ионного тока достигала значения ¿=10 тА/см2 и могла быть снижена при уменьшении мощности разряда. Имелась возможность создания на поверхность исследуемого образца в процессе ионного облучения, контролируемого

потока примесных атомов с расположенного в области разряда электрода, также подвергавшегося распылению.

Для определения элементного состава поверхности образцов до и после облучения проводился вторично-ионный масс-спектрометрический анализ и элементный рентгеновский анализ. Рельеф поверхности образцов анализировался в оптическом и растровом электронном микроскопах.

Изучение конусообразованля на одноэлементной металлической поверхности проводилось на вольфрамовых образцах. В экспериментах использовались образцы из листового вольфра.ма и из вольфрамовой проволоки, представляющей собой материал с сильно деформированной структурой. Было показано [1, 2, 3], что в результате ионного облучения конусы появлялись только в связи с предшествующим появлением на поверхности выступов, часто имеющих форму цилиндров или пластин и выраженные кристаллические очертания. Конусы формировались в "тени" выступов, предотвращающих от распыления расположенные под ними участки поверхности. Размеры конусов увеличивались в течение всего времени существования выступов в их вершинах и достигали 50 и более микрон высоты. После исчезновения выступов конусы начинали разрушаться, при этом угол при вершине конуса постепенно увеличивался, приближаясь к значению 01ПЗХ=к-2(р,шх , гае ф„ш- угол максимального распыления. Выступы, и соответственно конусы, появлялись на проволочных образцах и на поверхности плоских образцов в местах с дефектами структуры (крупные царапины, края отверстий и надрезов).

В присутствии атомов примеси, более тугоплавкой, чем материал образца, конусы появлялись в результате ионного облучения на всей поверхности плоских образцов, если температура образца в процессе

облучения была выше Т£(0,3 - 0,4)ТШ1

, тое Т,и - температура плавления материала образца. Причем образование новых конусов продолжалось в течение всего времени облучения. Изучались образцы из А1, Си, №, Ре. В качестве примеси использовались атомы N1, Ие, Мо, W.

Экспериментальное изучение основных этапов образования, роста и разрушения конусов и кольцевых углублений вокруг них на облучаемой ионами поверхности позволило выявить процессы, играющие основную роль на каждом этапе их развития [3, б].

Показано, что образование на распыляемой поверхности фигур типа "шарик-на-ножке" из первоначальных выступов и появление конической формы обеспечивается ионным распылением, силами поверхностного натяжения и диффузионным потоком, направляющимся в выступ под действием - нонно-сгнмулированных напряжений в приповерхйостном слое окружающих участков мишени. На бомбардируемых склонах формирующихся конусов возникают напряжения. Инициируемые ими диффузионные потоки в вершины компенсируют распыление и обеспечпвают тем самым рост конусов и сохранение их формы.

Для. оценки критического угла падения <рц> при превышении которого не будут образовываться напряжения на склонах конусов, бомбардируемых ионами с низкой энергией, записано выражение:

' V Е|' Ъ М'Мг

Здесь Е;п - энергия,' которую должен получить в столкновении с ионом массой М|, и энергией Е; поверхностный атом массой Мг , чтобы внедриться в твердое тело. Ещ~Е<| , ще Е,) - энергия смещения. Получено экспериментальное подтверждение существования длительного

периода сохранения стабильной формы и скорости роста конуса при поддержании неизменных условий облучения. Выведен критерий стабилизации формы и скорости роста:

jD=js(<PB)-js(<Pc) (2)

где jo - поток диффузии в вершину конуса, <рв и фс — углы наклона вершины и склонов конуса соответственно, a Js(9b) и js(<Pc) > соответственно, потоки распыления вершины и склонов конуса. Выражение (2) можно записать как:

Здесь: D - коэффициент самодиффузии, д(<р) - средняя величина ионно-, индуцированных напряжений в приповерхностном слое, L - толщина слоя напряжений, к - постоянная Больцмана, Т - температура, jj - плотность ионного тока, S(<pb) и S((?c) - коэффициенты распыления вершины и склонов конуса, S((pB)^S(<pmaX) , 9max - угол максимального распьшения (рис. 1).

Если условия (2), (3) выполняются при углах <pcxpimx таких, что S(<pc)<S(0), где S(0) - скорость распыления плоской поверхности, то конус будет расти относительно поверхности со скоростью:

h=jia3[S(0)-S(ipc)] (4)

ще а3 - средний объем, приходящийся на один атом материала образца.

Выражения (1)-(4) в совокупности дозволяют определить возможность и условия появления конусов на поверхности определенного типа в конкретных условиях ионной бомбардировки (вид и энергия ионов, температурный диапазон)."

Подобный подход позволяет объяснить также и то, что период стабильного развития конусов характеризуется постоянными формой и .

скоростью роста кольцевых углублений вокруг них. В течении этого периода углубления имеют в сечении треугольную форму. Напряжения, возникающие на бомбардируемых иоиами склонах углублений, инициируют потоки атомов, обеспечивающие удаление материала со дна и вынос его к верхним краям углублений, тем самым способствую стабилизации их формы. На рисунке 1 приведена схема возникновения и роста конуса и указаны осковные этапы его развития. '

Рис. 1. Схема развития конуса. А - первоначальный выступ. Б - "шарик-ш-ножке" В-Г - период стабилизации формы конуса и скорости его роста. Д - разрушение вершины и увеличение угла наклона склонов конуса.

Е - распыление и исчезновение конуса.

Атомы тугоплавкой поверхностной примеси способствуют повышению уровня ионно-стнмулированных напряжений и развитию конусов. В их отсутствии ионно-стимулйрованные напряжения и диффузия достигают величин, достаточных для роста конусов, только в течение ограниченного времени и только на участках с развитым рельефом или с высоким уровнем структурных дефектов.

Предложенная модель позволила с единых позиций объяснить весь комплекс приводимых в литературе закономерностей конусообразования в различных случаях, в частности, в отсутствии тугоплавкой примеси на поверхности (так называемые "собственные конусы").

- 12 - -

В диссертации также проводилось изучение распыления и

модификация нонами и плазмой поверхности двухкомпонентных соединений на примере однофазных (Си-М) и двухфазных (Си-Ре) металлических сплавов [9, 10].

На поверхности сплавов (Си-М), облучаемых при высоких температурах [Т>(0,3 - 0,4)Тга] ионами аргона [Е^ =(100-600) зВ] газоразрядной плазмы, было Обнаружено развитие рельефа, состоящего из теснорасположенных остроконечных выступов, имеющих коническую или близкую к цилиндрической форму. Рельеф на сплавах был сходен с тем, что отмечался на одноэлементных поверхностях в присутствии на них атомов тугоплавкой примеси. Роль примеси, способствующей поддержанию высокого уровня ионно-стнмулнровапных поверхностных напряжений и росту конусов, в этом случае выполняй тугоплавкий компонент сплава. По мере образования рельефа уменьшался общий коэффициент распыления сплава, изменялась селективность распыления и глубина модифицированного слоя. Максимальное развитие рельефа и, соответственно, мшшмальные значения коэффициентов распыления в системе Си-№ наблюдались при концентрациях N1 (5-20 ат.%). В случае облучения нонами аргона с энергией 600 эВ величина коэффициента распыления для сплава Си-№(20 ат.%) составляла 8=0,9 ат/ион при Т=500°С по сравнению со значением 8=2,1 ат/ион при Т=50°С. Зависимости коэффициентов распыления сплавов от концентрации компонентов приведены на рисунке 2.

Развитие рельефа и снижение скорости распыления проявлялись в диапазоне температур от 200°С до ~900°С (рис. 3).

Рис. 2. Зависимость коэффициента распыления различных сплавов от концентрации компонентов. Однофазный сплав Си-№ : 1 - Е;=600 эВ, Т=500°С. 2 - 250 эВ, 500°С.' 3 - 600 эВ, 100°С. 4 - 250 эВ, 100°С. 5 - Двухфазный сплав Си-Ре : 600 эВ, 500°С.

Рис. 3. Зависимость коэффициента распыления сплавов Си-№(20 ат%) (1) и Си-Ре(20 ят%) (2) от температуры.

При облучении в подобных условиях развитие рельефа на -двухфазных сплавах Cu-Fe происходило по разному на поверхности каждой из фаз, однако зависимость изменения скорости распыления образца в целом от условий облучения и концентрации компонент в общих чертах повторяли аналогичные зависимости дня Cu-Ni сплавов (рис. 2, 3). Рельеф, образующийся на поверхности медной фазы, практически не отличался &г рельефа на сплаве Cu-Ni, с одинаковой концентрацией меди. В тоже время рельеф на поверхности зерен железа в сильной степени зависел от температуры и концентрации компонент сплава. На них также образовывались теснорасположенные выступы, но их форма изменялась от конической до полусферической.

Проводилось изучение изменения состава потока распыленных атомов с поверхности изучаемых сплавов, а также изменение состава поверхности в результате ионного облучения. Показано, что увеличение в распыленном потоке концентрации атомов менее' тугоплавкого компонента, т.е. меди и в тоже время повышение концентрации более' тугоплавкого компонента (соответственна . никеля или железа) на облучаемой поверхности сплавов объясняется развитием рельефа.

Предложенная модель распыления двухкомпонейтных сплавов при повышенных температурах позволила объяснять полученные экспериментальные данные о характере развитая рельефа на облучаемой поверхности сплавов, зависимости коэффициентов распыления от параметров облучения, а также измеренные и имеющиеся в литературе данные об изменении поверхностных и объемных концентраций компонентов изучаемых сплавов.

В заключительной главе диссертации на основании результатов проведенных исследований обосновгшы и разработаны методы ыонно-

плазменного воздействия, позволяющие направленно модифицировать оптические и эмиссионные свойства поверхности.

Для тепловых гелиоэнергетических установок, расчитанных для работы при температурах в несколько сотен градусов, созданы поверхности с селективными оптическими свойствами. Селективные слои получены облучением в плазме газового разряда на поверхностях металлов (Al, Си, Ni, нержавеющей стали) и диэлектриков (плавленный кварц, стекло С-49-1). Селективные свойства поверхностей находятся на уровне лучших образцов, полученных другими способами. Коэффициент поглощения солнечного излучения а=(0,85 - 0,95) при интегральном коэффициенте собственного излучения £=(0,10 - 0,25) [8].

Преимуществом плазменного . метода является возможность получения селективных слоев практически на любых материалах, способность поверхностей работать при повышенных температурах (до 700°С для медных поверхностен и 300°С для стеклянных), отсутствие деградации свойств со временем эксплуатации. На основе селективных поверхностей, полученных. плазменным методом, созданы трубчатые высокотемпературные вакуумированные коллекторы (ТВВК) длиной до 150 см. Коллекторы представляют собой две коаксиальные цилиндрические трубки, полость между которыми вакуумирована. По внутренней трубке (стеклянной ТВВК-С или металлической ТВВК-М), на внешней поверхности которой создан селективный оптический слой, протекает теплоноситель. Коллекторы ТВВК-С сохраняют работоспособность до ЗОО0С, ТВВК-М при еще более высоких температурах [7].

Разработан плазменный метод получения поверхностей с высокими автоэмиссионными параметрами. Метод позволяет создавать не деградирующие при длительной эксплуатации автоэмисснонные эмиттеры

практическя любой формы,, размеров и на любых материалах [4, 5]. Изготовлены матричные автоэлектронные эмиттеры с эмитирующей поверхностью более 6 см2. Формы и размеры острий, расстояния между ними могут меняться путем подбора соответствующего режима обработки. . Матричный а сто катод с эмитирующей площадью 1 см2 позволял получать ток 16,3 мА в стационарном режиме при напряженности поля 195 кВ/см.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

Основные результаты работы могут быть сформулированы следующим образом: • ' .

1. Экспериментально изучены основные этапы появления, роста и разрушения конусов и кольцевых углублений вокруг них на бомбардируемой ионами поверхности при повышенных температурах. . Установлено существование периода стабильной формы и постоянной скорости роста конусов и углублений. Найдены условия возникновения и роста конусов на одноэлементной поверхности и в присутствии на ней атомов примесей. ;

2. Выявлены стимулируемые ионным облучением процессы на поверхности, развитие которых обеспечивает конусообразование. Разработан механизм явления. На его основе получены оценки формы (угла наклона склонов) и скорости роста конусов в зависимости от энергии и типа бомбардирующих ионов и свойств поверхности. Сформулированы критерии, определяющие возможность и условия появления конусов . на поверхности, подвергаемой ионной бомбардировке. Развитые представления позволили . объяснить

закономерности конусообразования во всех известных по литературе случаях.

3. Обнаружено, что ионная бомбардировка двухкомпонентных, одно и двухфазных металлических сплавов при повышенных температурах [Т>(0,3-0,4)ТШ] стимулирует развитие микрорельефа, сходного с тем, что наблюдался на поверхности металлов в присутствии на ней атомов тугоплавкой примеси. Установлены экспериментальное закономерности развития рельефа на одно (Cu-Ni) и двухфазных (Cu-Fe) сплавах в зависимости от концентрации компонент, температуры поверхности,

' энергии и плотности потока бомбардирующих ионов. Объяснены особенности развития конусной структуры на сплавах.

4. Обнаружен эффект уменьшения коэффициента ионного распыления сплавов при высоких температурах. Изучена зависимость обнаруженного эффекта от дозы облучения, температуры поверхности, энергии ионов. Установлена связь между развитием рельефа и уменьшением коэффициента распыления. Показано, что снижение коэффициента распыления достигает минимума при концентрации компонентов, соответствующей максимальному развитию рельефа. Величина S в минимуме оказывается меньше, чем коэффициенты распыления образующих сплав компонентов. Объяснены закономерности явления.

5. Используя результаты проведенного исследования обоснованы и разработаны методы ионно-плазменпого воздействия, позволяющие направленно модифицировать эмиссионные и оптические свойства поверхности. В частности получены :

-поверхности с высокими автоэмиссионными параметрами. Достигнуто значение плотности автоэмнсснонного тока j= 16,3 мА/см2 при напряженности электрического поля Е= 195 кВ/см.

-поверхности с селективными оптическими свойствами, сохраняющие работоспособность при высоких температурах (до 700°С для медных и до 300°С для стеклянных поверхностен).

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах :

1. Бефамбеков Л.Б., Захаров A.M., Тельковский В.Г. и др. - Развитие микрорельефа на металлических поверхностях с дефектной структурой под действием облучения в плазме газового разряда - В кн. "Взаимодействие ионов и плазмы с поверхностью твердого тела" - М.: Энергоатомиздат, 1986, с. 87-97.

2. Бефамбеков Л.Б., Захаров A.M., Пустобаев A.A., Тельковский В.Г. -

Рост кристаллов на поверхности металлов при ионной бомбардировке - Препринт МИФИ, N» 011-86, М.: МИФИ, 1986.

3. Бефамбеков Л.Б.,. Захаров A.M., Пустобаев A.A. - Образование кристаллов и конусов при взаимодействии ионов плазмы с поверхностью - В кн. "Седьмая Всес. ' конф. по физике низкотемпературной плазмы" - Ташкент, "ФАН", 1987, ч. I, с. 125126.

4. Бефамбеков Л.Б., Захаров A.M., Пустобаев A.A. и др. - Формирование

матричных автоэмиссионных структур облучением в плазме газового разряда - В кн. "Импульсные электромагнитные системы" - М.: Энергоатомиздат, 1987, с. 8-13.

5. Бефамбеков Л.Б., Захаров A.M., Пустобаев A.A. - Многоострийный автоэмиссионный катод - В кн. "Мощные физико-энергетические системы" - М.: Энергоатомиздат, 1988, с. 41-48. ч

-196. Беграмбеков Л.Б., Захаров A.M., Пустобаев А.А. н др. - Развитие

внскеров и конусов на бомбардируемой ионами поверхности -

ФнзХОМ., 1989, № 5, с. 26-33.

7. Беграмбеков Л.Б., Захаров A.M., Пустобаев А.А. - Трубчатые высокотемпературные вакуумнрованные коллекторы солнечного излучения - Гелиотехника, 1990, № 1, с. 71-72.

8. Беграмбеков Л.Б., Захаров A.M., Пустобаев А.А. и др. - Селективная поверхность для высокотемпературных солнечных коллекторов -Гелиотехника, 1990, № 3, с. 70-72.

9. Беграмбеков Л.Б., Захаров A.M. - Поверхностная эрозня металлических сплавов при высокотемпературной ионной бомбардировке - Изв. Рос. АН, серия физическая, 1992, 56, № 6, с. 30-37.

10. Begrambekov L.B., Zakharov A.M. - Sputtering of metal alloys at elevated temperatures - Nucl. Instr. Meth., 1994, В 90, p. 477-481.

Подписано к печати ' C'-r^aказ %л I ■/ Тпрак Ы--^/

■ ..... 1 1 " 1 ' в

Типография М®И, Кащрское шоссе,31