Особенности дифракции рентгеновских волн на кристаллах, промодулированных низкочастотным ультразвуком

Благов, Александр Евгеньевич

Особенности дифракции рентгеновских волн на кристаллах, промодулированных низкочастотным ультразвуком тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Благов, Александр Евгеньевич АВТОР

кандидата физико-математических наук УЧЕНАЯ СТЕПЕНЬ

Москва МЕСТО ЗАЩИТЫ

2006 ГОД ЗАЩИТЫ

01.04.07 КОД ВАК РФ

Диссертация по физике на тему «Особенности дифракции рентгеновских волн на кристаллах, промодулированных низкочастотным ультразвуком»

Автореферат диссертации на тему "Особенности дифракции рентгеновских волн на кристаллах, промодулированных низкочастотным ультразвуком"

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК ИНСТИТУТ КРИСТАЛЛОГРАФИИ имени А.В. ШУБНИКОВА

На правах рукописи

БЛАГОВ АЛЕКСАНДР ЕВГЕНЬЕВИЧ

ОСОБЕННОСТИ ДИФРАКЦИИ РЕНТГЕНОВСКИХ ВОЛН НА КРИСТАЛЛАХ, ПРОМОДУЛИРОВАННЫХ НИЗКОЧАСТОТНЫМ УЛЬТРАЗВУКОМ

Специальность 01.04.07 - «Физика конденсированного состояния»

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Москва 2006

Работа выполнена в Институте кристаллографии имени A.B. Шубникова

Российской академии наук

Научные руководители:

Официальные оппоненты:

Ведущая организация:

член-корреспондент РАН Ковальчук Михаил Валентинович доктор физико-математических наук Писаревский Юрий Владимирович

доктор физико-математических наук, профессор Альшиц Владимир Иосифович доктор физико-математических наук, профессор Бублик Владимир Тимофеевич

Институт физики твёрдого тела РАН, Черноголовка

Защита состоится к 2006 г. в

на заседании диссертационного совета Д 002.114.01 в Институте кристаллографии имени A.B. Шубникова РАН по адресу: 119333, Москва, Ленинский проспект 59.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института кристаллографии имени A.B. Шубникова РАН

Автореферат разослан «■ 2006 г.

Ученый секретарь

диссертационного совета Д 002.114.01 кандидат физико-математических на

В.М. Каневский

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ Актуальность работы. Исследование дифракции рентгеновских лучей на кристаллах, в которых распространяется упругая волна, составляет заметную область исследований конденсированных сред рентгенодифракционными методами [1-6].

Возможность сравнительно легко возбуждать ультразвуковые колебания в кристаллах и варьировать в широчайших переделах их параметры, создает условия управления временной и пространственной структурой дифрагированного излучения.

Уникальные свойства рентгеновского излучения, такие как высокая чувствительность к искажениям кристаллической решетки, являются основой многих эффективных методов изучения распространения упругих волн в твердых телах.

При этом до настоящей работы основное внимание уделялось взаимодействию рентгеновских лучей с коротковолновым ультразвуком. В тоже время длинноволновый ультразвук, длина волны которого сопоставима с размерами образца, позволяет создавать медленно меняющуюся в пространстве и времени деформацию кристаллической решетки. Это может быть как переменная во времени квазипостоянная деформация, так и деформация с постоянным или квадратичным градиентом. Аналогичные по природе деформации кристаллической решетки создаются в градиентных или изогнутых кристаллах, используемых в качестве элементов рентгеновской оптики. В отличие от статических деформаций, ультразвуковая деформация изменяется во времени, что позволяет выделить временные участки с различными по амплитуде и знаку деформациями. Это может быть использовано для пространственно-временной модуляции' рентгеновского излучения. Поэтому исследование физики взаимодействия рентгеновских лучей с длинноволновым ультразвуком и разработка на этой основе возможностей управления параметрами рентгеновского пучка представляется вполне актуальной.

Цель работы и основные задачи. Основной целью работы являлось изучение особенностей взаимодействия рентгеновских и упругих волн в условиях дифракции рентгеновской волны на кристаллических решетках при возбуждении в них длинноволновых ультразвуковых колебаний, с длиной волны, сопоставимой с размерами образца и многократно превышающей ширину области засветки рентгеновским пучком. Такие колебания создают квазиоднородную или неоднородную, но регулярную деформацию по ширине области засветки.

Задачи диссертации: 1. Разработка экспериментальных методик исследования особенностей взаимодействия рентгеновских и длинноволновых упругих волн. В том числе разработка методик стробоскопической регистрации дифрагированного рентгеновского пучка в момент определенной фазы колебаний кристалла.

2. Создание экспериментальной установки по исследованию дифракции рентгеновских лучей в кристаллах, промодулированных длинноволновым ультразвуком на основе трёхкристального рентгеновского спектрометра ТРС-1. Создание системы возбуждения и контроля ультразвуковых колебаний в кристаллах. Создание системы стробоскопической регистрации дифрагированного рентгеновского пучка, сопряженной с системой возбуждения ультразвука и позволяющей регистрировать дифрагированный пучок только при определенном значении фазы колебаний кристалла.

3. Разработка и исследование электроизмерительными методами специальных рентгеноакустических элементов, состоящих из пластины исследуемого кристалла (кремния или германия) и пластины пьезопреобразователя (кристалла лангасита, кварца или ниобата лития) и обеспечивающих возбуждение высокодобротных продольных колебаний растяжения-сжатия. Изучение влияния облучения на электромеханические свойства лангасита.

4. Проведение экспериментальных исследований и разработка методик, позволяющих изучать распределение амплитуды ультразвуковой деформации по длине исследуемого кристалла с разрешением равным ширине области засветки кристалла рентгеновским пучком, в частности, для локализации участков с требуемым распределением амплитуды деформации при позиционировании пучка в экспериментах.

5. Проведение времяразрешающих исследований по изучению особенностей Лауэ-дифракции рентгеновских лучей на участках кристалла, где распределение ультразвуковой деформации в пределах ширины области засветки кристалла рентгеновским пучком носит однородный или градиентный характер.

6. Расчет профилей деформации по ширине области засветки образца рентгеновским пучком для различных фаз колебаний и пространственного положения пучка.

Научная новизна полученных в диссертационной работе результатов:

1. Впервые предложена классификация рентгеноакустических взаимодействий в зависимости от соотношения между длиной ультразвуковой волны и шириной рентгеновского пучка. Отмечены особенности взаимодействия для каждой из трех выделенных областей

2. Исследованы особенности длинноволновых колебаний рентгенооптических элементов.

3. Изучено влияние облучения на электромеханические характеристики лангасита. В результате проводимых исследований была установлена стабильность электромеханических характеристик лангасита под воздействием жестких излучений.

4. Разработана методика, позволяющая с помощью рентгенодифракционных методов оперативно исследовать распределение амплитуды деформации, созданной продольной ультразвуковой волной, по длине кристалла, с пространственным разрешением, не превышающим ширину щели. Досто-

инством разработанной методики является оперативность получения данных при невысоких интенсивностях рентгеновских пучков. Это, в частности, позволило выявить участки кристалла, где деформация имеет однородный либо градиентный характер.

5. Впервые экспериментально показана возможность как однородной, так и градиентной периодической во времени модуляции параметра кристаллической решетки длинноволновым ультразвуком, что, в свою очередь, дает возможность электронного управления угловым положением и пространственной структурой рентгеновского пучка.

6. На основе стробоскопических измерений кривых дифракционного отражения (КДО) и расчетов на основе модели Кона по дифракции рентгеновских лучей на регулярно искаженных кристаллических решетках разработана методика изучения распределения деформации внутри области засветки кристалла рентгеновским пучком.

7. Обнаружен и исследован эффект суперпозиции статической деформации, образовавшейся в кристалле в результате склейки, и динамической ультразвуковой деформации.

Практическая ценность работы:

1. Разработанная методика по изучению распределения ультразвуковой деформации позволяет на источниках с небольшой интенсивностью оперативно визуализировать распределение интенсивности деформационного поля, созданного длинноволновым ультразвуком в кристаллах, и количественно анализировать амплитуду деформации на различных участках кристалла. Такая информация важна как для физической акустики, так и для определения параметров и контроля качества разнообразных устройств пьезотехники и акустоэлектроники.

2. Экспериментально реализованные угловые смещения брэттовского пика и изменения формы КДО могут быть использованы для разработки схем отклонения рентгеновского пучка, изменения его структуры и управления длиной волны. В таких рентгенооптических схемах для управления угловым положением рентгеновского пучка может быть использована область кристалла с однородным распределением ультразвуковой деформации, а для управления пространственными характеристиками рентгеновских пучков может быть использована область кристалла, где распределение деформации имеет градиентный характер.

3. По максимальному угловому смещению брэгговского пика кривых КДО, измеренных в фазе максимального растяжения и максимального сжатия кристалла, при прохождении рентгеновского пучка сквозь область кристалла с однородной деформацией, можно рассчитать фактическую деформацию кристаллической решетки с точностью до сотых ангстрема.

4. Разработанная методика определения распределения деформации внутри области засветки кристалла рентгеновским пучком может быть использована для получения профиля деформации с высоким разрешением.

5. Данные о стабильности электромеханических свойств лангасита при облучении могут быть использованы для пьезодатчиков, работающих в условиях облучения.

Основные положения, выносимые на защиту!

1. Классификация рентгеноакустических взаимодействий в кристаллах в зависимости от соотношения между длиной ультразвуковой волны и размером рентгеновского пучка на образце.

2. Подробное описание взаимодействия рентгеновского излучения с длинноволновым ультразвуком.

3. Методика получения распределения деформации, создаваемой ультразвуковой волной в кристаллах посредством интегрального во времени измерения КДО в условиях возбуждения ультразвуковой волны в кристаллах.

4. Экспериментальная реализация квазиоднородной по ширине рентгеновского пучка, переменной во времени деформации, с помощью которой можно управлять угловым положением и длиной волны рентгеновского пучка.

5. Экспериментальная реализация переменной во времени деформации, распределение которой в пределах ширины рентгеновского пучка имеет градиентный характер, описываемый линейным законом. С помощью такой деформации можно управлять пространственными характеристиками рентгеновского пучка.

6. Обнаружение эффекта суперпозиции статической и динамической деформации.

7. Методика определения распределения деформации внутри области засветки кристалла рентгеновским пучком.

8. Влияние облучения на электромеханические характеристики лангасита.

Личный вклад.

Автором разработана экспериментальная техника и методики проведения экспериментов по изучению рентгеноакустических взаимодействий в кристаллах в области длинноволнового ультразвука. Разработаны объекты исследований — составные резонаторы на основе кристаллов кремния, германия, кварца и лангасита. Исследованы особенности дифракции рентгеновских лучей в кристаллах кремния и германия при возбуждении в них длинноволновых ультразвуковых колебаний. Проведен анализ полученных результатов и сравнение с литературными данными.

Апробация работы: Результаты работы докладывались:

— на молодёжном конкурсе научных работ ИКР АН в 2005 году (работа удостоена 1-й премии);

- на 2-й Всероссийской молодежной научной школе «Микро- и нано-технологии и их применение», 2005, ИПТМ РАН, Черноголовка (работа удостоена 1-го места).

На международных и национальных конференциях:

1. IV Национальная конференция по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. 17-22 ноября 2003, Москва.

2. 2004 ШЕЕ International Frequency Control Symposium and Exposition, Montreal, Canada.

3. V Национальная конференция по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования наноматериалов и наносистем. 14-19 ноября, 2005, Москва.

4. 23rd European Crystallographic Meeting. August 6 to 11, 2006, Leaven, Belgium.

Публикации, По материалам диссертации опубликовано 7 научных работ.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, шести глав,

заключения и списка литературы из 85 наименований. Объем диссертации

составляет 136 страниц машинописного текста, включая 61 рисунок.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении дана общая характеристика работы, включая актуальность темы, цель, научную новизну, практическую значимость работы, и приведены основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе содержится обзор литературных данных по изучению рентгеноакустических взаимодействий.

При обзоре литературных данных введена классификация рентгеноакустических взаимодействий по соотношению между длиной упругой волны — X и шириной области засветки кристалла рентгеновским пучком - d. Выделены три характерные области взаимодействия: коротковолновая (высокочастотная) область, где d » X; промежуточная область (область средних частот), где d - X и длинноволновая (низкочастотная) область, где d « X.

Рассмотрены и описаны методы, применяемые для визуализации распространения акустических волн на поверхности и в объеме твердых тел, а также методы управления рентгеновскими пучками с помощью деформированных ультразвуком кристаллов.

Показано, что наибольшее внимание в рассматриваемых работах уделялось высокочастотной (коротковолновой) и промежуточной области, а область длинноволнового ультразвука осталась практически неисследованной. Несмотря на это, случай низкочастотного ультразвука представляет не меньший интерес с точки зрения развития рентгеновской оптики т.к. деформации, создаваемые ультразвуковой волной, близки к деформациям, создаваемым в упруго изогнутых и градиентных кристаллах.

На основе проведенного анализа литературных данных обоснованно сформулированы основные задачи исследований, выполненных в диссертационной работе.

Вторая глава посвящена описанию особенностей экспериментальной техники для проведения экспериментов по изучению рентгеноакустических взаимодействий в области длинноволнового ультразвука, описанию разработанных методик проведения экспериментов и методик по калибровке используемых средств измерений.

Рассмотрены свойства пьезоэлектрических кристаллов и описаны способы и методы создания регулярных деформаций кристаллической решетки с помощью ультразвуковых колебаний.

Представлено описание экспериментальной установки (рис. 1) по изучению рентгеноакустических взаимодействий в области длинноволнового ультразвука, созданной на базе трёхкрнстального рентгеновского спектрометра ТРС-1. Установка включала в себя акустический тракт — систему возбуждения и контроля ультразвуковых колебаний в кристаллах и систему регистрации дифрагированного рентгеновского пучка. В экспериментах использовалась двухкристальная бездисперсионная схема дифракции рентгеновских лучей спектральной линии МоК^. В качестве монохроматора применялся кристалл бездислокационного германия с ориентацией поверхности (110). Монохрома-тор находился в положении брэгтовской дифракции, а образец в положении дифракции по Лауэ.

Образец или Се (220)

^т

Детектор Ыа!

Монохроматор Се(220)

]ГмоКсЛ)

Компьютер

Рис. 1. Схема экспериментальной установки.

Акустический тракт состоял из кристалла, установленного в специальный кристаллодержатель, позволяющий жестко крепить кристалл без потерь в мощности ультразвуковых колебаний, генератора синусоидальных сигналов, подающего переменный электрический сигнал на боковые грани кристалла, и

милливольтметра, позволяющего контролировать мощность ультразвуковых колебаний посредством измерения падения напряжения на нагрузочном резисторе (рис. 2).

Рис.2. Система возбуждения и контроля ультразвука в кристаллах.

Система регистрации дифрагированного сигнала состояла из сцинтилляци-онного счетчика рентгеновских квантов, усилителя, дискриминатора и схемы совпадения. Такая схема позволяла вести счет дифрагированных рентгеновских квантов, как непрерывно по времени, так и стробоскопически - только для определенного колебательного состояния кристалла (определенной фазы колебаний кристалла). Для этого сигнал с синусоидального генератора, возбуждающий колебания в кристалле, подавался и на генератор импульсов, который формировал импульсы той же частоты, но с регулируемой задержкой по фазе. Эти импульсы разрешали схеме совпадения включать счет рентгеновских квантов, зарегистрированных детектором. Время счета составляло двадцатую часть от периода колебаний кристаллов (1-5 мкс).

Представлена методика измерения КДО стробоскопическим способом для проведения времяразрешающих экспериментов. Разработанная методика позволяла с высокой точностью настраиваться на определенное значение фазы колебаний резонатора и позиционировать измеренные кривые на единую координатную угловую шкалу.

В заключение главы представлены результаты калибровки механической системы спектрометра ТРС-1, показавшие высокую точность установки угла при повороте 1фисталла (ошибка не превышала 1,6%).

Третья глава посвящена описанию методов и принципов эффективного возбуждения колебаний растяжения-сжатия по длине исследуемого кристалла (ИК). Представлены расчеты и описан процесс разработки объектов исследования — специальных составных резонаторов, состоящих из ИК и пьезоэлектрического кристалла-преобразователя (КП).

ИК изготавливались в виде пластины монокристаллического кремния или германия с ориентацией поверхности (111) и длиной вдоль [ПО]. Такая геометрия при условии возбуждения колебаний растяжения-сжатия позволяет добиться модуляции параметра кристаллической решетки в направлении [110].

Длина ИК выбиралась исходя из многократного превышения ширины рентгеновского пучка на образце, и составляла от 15 до 33 мм. Колебания в ИК возбуждались с помощью пьезокристаплических пластин кварца или лангаси-та. Срез пластин выбирался исходя из проведенных расчетов направления фазовой и групповой скорости ультразвуковой волны в кристалле. Для обеспечения чистой моды колебаний выбиралась такая ориентация кристалла, при которой направления фазовой и групповой скоростей совпадают. В соответствии с расчетами для кварца был выбран срез (ХУ(уЛ - 18.57070°) а для лангасита срез (ХУ1мЛ - 227070°).

При изготовлении кристаллов соблюдались высокий уровень плоскопарал-лельности граней и условие равенства их собственных частот. Кристаллы склеивались торцевой частью. При этом собственная частота полученного составного резонатора должна быть равна собственным частотам ИК и КП, и в нем можно возбуждать высокодобротные резонансные колебания растяжения-сжатия. При возбуждении колебаний в резонаторе возникает продольная стоячая волна, и по длине каждого кристалла укладывается половина её длины. Деформация достигает своего максимального значения в центре кристалла, а узел деформации приходится на границу раздела, что позволяет сохранить высокую добротность колебательной системы (рис. 3).

Представлены результаты измерения амплитудно-частотных характеристик (АЧХ) кристаллов и составных резонаторов электроизмерительным методом (рис. 4). Измерения АЧХ проводились для контроля качества и добротности полученных резонаторов. АЧХ измерялись до и после склейки пьезопреобра-зователя с исследуемым кристаллом. По изменению резонансной частоты до и после склейки можно определять добротность резонатора и чистоту моды колебаний. Изготовленные в процессе выполнения работы составные резонаторы обладали высокой добротностью, что подтверждало наличие чистой моды колебаний в ИК.

В заключение главы представлены результаты исследования влияния облучения на упругие и пьезоэлектрические свойства кристаллов лангасита, применяемого в работе в качестве кристалла пьезопреобразователя. Проведенные исследования показали стабильность электромеханических характеристик лангасита под воздействием жестких излучений.

деформация

4 см

Рис. 3. Схема составного резонатора, пространственное и временное распределение амплитуды деформации в ИК и КП.

<1В -40

-50

-60

-70

-80

1 и

„11 _____

/ч:

- ^ *————— Л \ 1 .

■ с — ~ л ^^ *

210 212 214 216

— — — До склейки

' После склейки

Рис. 4. АЧХкристалла пъезопреобразователя -лангасита до склейки (пунктирная линия) и после склейки (сплошная линия) с кристаллом кремния.

8 кГц

Четвертая глава посвящена экспериментальному исследованию рентге-ноакустических взаимодействий с усреднением по периоду колебаний. В главе описывается разработанная методика измерения распределения амплитуды деформации, созданной ультразвуковой волной по длине исследуемых кристаллов.

Эксперименты проводились интегрально по времени — регистрировался усредненный по периоду колебаний дифрагированный рентгеновский пучок. На рис. 5 представлены КДО в зависимости от мощности ультразвука в ИК.

16000

Е а 12000

X 8000

и я

4000

30 Угл. положение,"

Рис. 5. КДО кристалла германия е зависимости от мощности ультразвука.

Анализ показал, что полуширина КДО растет пропорционально амплитуде ультразвуковой волны. Смещения атомов кристаллической решетки вдоль вектора дифракции приводят к изменениям условий дифракции рентгеновских лучей, что приводит к уширению кривой качания. Полуширина КДО является мерой ультразвуковой деформации на данном участке кристалла, а эволюция КДО при сканировании положения рентгеновского пучка по образцу от свободного края до места склейки с КП несет информацию о фактическом распределении деформации по длине кристалла.

Зависимость полуширины КДО от координаты рентгеновского пучка на образце для различных резонаторов представлены на рис. 6.

я) X К £и

О 5 10 15 20 Положение пучка на кристалле, мм

0 10 20 30

Положение пучка на кристалле, мм

я к си

20 ---э

•

_____ ^Чо

¿—1- -Ч— -1—н

0 5 10 15

Положение пучка на кристалле, мм

0 5 10 15 20 25 Положение пучка на кристалле, мм

Рис. 6. Зависимость полуширины КДО различных составных резонаторов от координаты рентгеновского пучка на образце.

Из рисунков видно, что в кристалле германия на чистую моду деформации наложилась коротковолновая модуляция. Это указывает на возбуждение паразитных колебаний. Но такая коротковолновая модуляция создала сильные градиенты деформации кристаллической решетки. Распределения ультразвуковой деформации в кристалле кремния, склеенного с кварцем, имело более однородный характер, близкий к чистой моде, а в резонаторе кремний + лангасит удалось возбудить чистую моду колебаний.

Полученные распределения ультразвуковой деформации позволили проанализировать создавшееся поле деформаций в кристалле и выявить участки с однородным и градиентным распределением деформации.

Пятая глава посвящена времяразрешающему исследованию рентгеноаку-стических взаимодействий.

Кратко описана модель дифракции рентгеновских лучей на кристаллических решетках с медленно меняющейся деформацией, разработанная В.Г Коном при выполнении совместных работ по интерпретации экспериментальных результатов. Приведены результаты расчетов и сравнение эксперимен-

тальных и теоретических кривых в случае идеального кристалла без деформации.

На рис. 7,8 представлены КДО кристаллов германия и кремния, измеренные стробоскопическим методом, для трёх значений фазы колебаний: фазы максимального сжатия кристалла (-л/2), фазы отсутствия ультразвуковой деформации (<р=0), и фазы максимального растяжения кристалла (+71/2).

8000

6000

Л £

§ 4000

£ 2000 К

л Я —•—Ф=—тс/2 -Ф=0 —«—((>=+71/2

11 / \ у \

1 1 / \ Т ч

-30

-15 0 15

Угловое положение,"

Рис. 7. КДО кристалла кремния, измеренные для различных фаз колебания кристалла на участке с однородной деформацией.

3000

| 2000

Й о

X §

° 1000

я 1

» <р=-я/2 -Ф=0 —0—ф=+я/2

1 / 1 V

-45 -30 -15 0 15 Угловое положение,"

Рис. 8. КДО кристалла германия, измеренные для различных фаз колебания кристалла на участке с однородной деформацией.

КДО при <р~0 практически совпадают с кривой, измеренной в непрерывном режиме при выключенном ультразвуке. Близость ширин КДО (рис. 7) при слабой и максимальной динамической деформации свидетельствует о высокой степени однородности деформации по области засветки кристалла рентгеновским пучком. В кристалле германия на участке максимальной деформации существует квадратичная неоднородность по ширине области засветки, что приводит к уширению КДО при максимумах динамической деформации рис, 8.

Сдвиги максимумов КДО, измеренных в фазах (р = —л/2 п <р = + я/2* позволяют оценить величины деформаций, созданных ультразвуковой волной. Используя формулу Брэгга, можно вычислить значения параметра кристаллической решетки в момент растяжения и сжатия. Для кристалла кремния абсолютное изменение параметра кристаллической решетки М составило -2x103 А, а относительное М/й ~ 1x103. Для кристалла германия абсолютное изменение параметра кристаллической решетки АЛ составило - ЗхЮ'3А, а относительное А1/<1~ 1,5x1 а3.

Использование результатов исследования рентгеноакустических взаимодействий в случае однородной деформации возможно при создании систем управления угловым положением дифрагированного пучка.

Особый интерес представляют измерения КДО при позиционировании пучка на участок 1фисталла, где распределение деформации имело градиентный характер. На рис. 9 приведены КДО на градиентном участке кристалла кремния, измеренные стробоскопическим методом, для фазы -71/2 (фаза максимального сжатия кристалла), фазы О (фаза отсутствия ультразвуковой деформации) и фазы +я/2(фаза максимального растяжения кристалла).

I 4000

£ й>

£ 2000

6000

8000

ф=-я/2

ф=0

(р=л/2

-30

-15

Угловое положение,

Рис. 9. КДО кристалла кремния, измеренные для различных фаз колебания кристалла на участке с градиентной деформацией.

Как было отмечено в четвертой главе, в кристаллах кремния ввиду отсутствия паразитной модуляции градиенты деформации были относительно слабы. КДО, измеренные для фаз <р = —71/2 и <р= + 71/2 хорошо соответствуют КДО, измеренной при отсутствии ультразвуковых деформаций. Несмотря на это, прослеживается некоторая асимметрия этих КДО в противоположных направлениях. Интегральные интенсивности кривых, измеренных в фазах -л/2, 0, +71/2, равны соответственно 4,3x10*, 5,35x104 и 6,2x10* имп. Различная интегральная интенсивность КДО показывает, что в отличие от случая с однородным распределением деформации, акустическое поле деформаций в кристалле при максимальном расширении и сжатии меняет не только угол дифракции, но и структуру пучка. Это также следует из пиковых интенсивностей этих кривых.

В кристаллах германия наличие «паразитной» высокочастотной модуляции позволило получить сильные градиенты ультразвуковой деформации. Форма КДО, измеренной в момент отсутствия ультразвуковой деформации (фаза <р=0), хорошо согласуется с КДО невозбужденного кристалла германия Небольшое уширение КДО, измеренной в фазе <р=0, связано со временем регистрации. Формы КДО, измеренных для фаз максимального сжатия н растяжения ((р = —71/2 и <р= + 71/2), сильно отличаются от кривой измеренной при отсутствии ультразвуковой деформации (рис. 10).

Рис. 10. КДО кристалла германия, измеренные для различных фаз колебаний кристалла на участке с градиентной деформацией.

Полуширина возросла до 100", а пиковая интенсивность упала более чем в 10 раз. При этом КДО имеют ярко выраженную ассиметричную форму и

противоположное направление асимметрии. В кристалле германия, как и в кристалле кремния, КДО, измеренные в фазе максимального растяжения, отсутствия ультразвуковой деформации и сжатия, имеют различную интегральную интенсивность. Интегральные интенсивности КДО, измеренных в фазах -71/2,0 и л/2, равны соответственно 2,4x10*, 4,2x10* и 5,3x104 имп.

Суперпозиция статической и динамической деформаций. При использовании быстрозастывающих клеев в исследуемом кристалле возникала неоднородная статическая деформация. КДО, измеренная при выключенном ультразвуке на участке кристалла вблизи склейки с пьезокристаллом, имела треугольную или трапециидальную форму с большой полушириной 50" -80"). При включении ультразвука кривая качания из асимметричной треугольной формы сузилась почти до гауссовой кривой с полушириной 15" (рис. 11).

Более детальную картину суперпозиции статической и динамической

12000

.о

| 8000

е §

а 4000 1

-50 -25 0 25 50 Угловое положение,"

Рис. 11. Усредненные по периоду колебаний КДО, измеренные на статически напряженном участке кристалла при включенном и

выключенном ультразвуке. ультразвуковой деформации дают стробоскопические КДО (рис. 12). Кривая, измеренная в фазе <р=0 — фазе отсутствия ультразвуковой деформации имеет сложный двугорбый вид с провалом в центре и с максимумами, отстоящими друг от друга на 100". КДО, измеренная в фазе максимального сжатия, имеет схожую с ней форму, но расстояния между максимумами увеличилось до 140". В этом случае знаки статической и динамической деформации совпадали, и динамическая деформация усилила статическую. В фазе максимального

растяжения пиковая интенсивность КДО возросла почти на порядок, а меньший максимум стал почти незаметным. Расстояние между максимумами сократилось до 60". В этом случае статическая и динамическая деформации имели разные знаки, и динамическая деформация практически компенсировала статическую.

Угловое положение,"

Рис. 12. КДО кристалла германия, измеренные для случая суперпозиции статической и динамической деформации.

Полученные экспериментальные результаты демонстрируют возможности управления пространственной структурой рентгеновского пучка с помощью неоднородной ультразвуковой деформации кристаллической решетки.

Шестая глава посвящена расчетам по восстановлению профилей ультразвуковой деформации по ширине рентгеновского пучка по данным стробоскопических КДО.

Представлено решение обратной задачи по определению профиля деформации, соответствующего экспериментальной кривой. По экспериментальным данным рассчитаны профили ультразвуковой деформации по ширине рентгеновского пучка для кристаллов германия для случая неоднородной ультразвуковой деформации и для случая суперпозиции статической деформации, вызванной склейкой, и динамической деформации, вызванной ультразвуковыми колебаниями. При этом показано, что постоянной деформации соответствует пик при угле, сдвинутом из начала координат, а кривые, измеренные при градиенте деформации, должны иметь вид прямоугольника, что соответствует эксперименту.

На рис. 13 представлены профили деформации, восстановленные из экспериментальных данных, полученных на участке кристалла германия, где наблюдалась суперпозиция статической и ультразвуковой деформации с помощью стробоскопической методики. Кривые наглядно демонстрируют случай усиления и случай компенсации статической деформации.

Рис. 13. Профили деформации по ширине рентгеновского пучка на образце, рассчитанные из экспериментальных данных.

В заключении представлены основные результаты и выводы:

1. Представлена классификация рентгеноакустических взаимодействий в кристаллах в зависимости от соотношения длины ультразвуковой волны и размера рентгеновского пучка на образце. Выделены и отмечены особенности рентгеноакустического взаимодействия для трех характерных областей: область высоких частот, когда длина упругой волны много меньше ширины рентгеновского пучка на образце; область средних частот, когда длина упругой волны сопоставима с размерами рентгеновского пучка; низкочастотная область, когда длина волны многократно превышает ширину рентгеновского пучка на образце.

2. Реализовано эффективное возбуждение интенсивных колебаний растяжения-сжатия по длине кристаллов кремния и германия в системе специальных составных резонаторов. Изучены особенности возбуждения ультразвука в таких системах с учетом влияния упругой анизотропии. Изучено влияние облучения на упругие и пьезоэлектрические свойства одного из применяемых для возбуждения кристаллов - лангасита.

3. На основе трехкристального спектрометра ТРС-1 разработана установка для проведения экспериментальных работ по изучению рентгеноакустиче-

ских взаимодействий в кристаллах, про модулированных длинноволновым ультразвуком. При этом разработана система возбуждения и контроля ультразвуковых колебаний в кристаллах и система стробоскопической регистрации дифрагированного рентгеновского пучка.

4. Разработана методика, позволяющая рентгенодифракционными методами, посредством измерения полуширины кривой дифракционного отражения, количественно изучать амплитуду и распределение деформации по длине исследуемого кристалла, созданной длинноволновым ультразвуком в кристаллах. С помощью разработанной методики проведены исследования распределения амплитуды ультразвуковой деформации в различных составных резонаторах, которые показали наличие высокочастотной модуляции на фоне основной моды колебаний кристаллов, и показана возможность как однородной, так и градиентной периодической во времени модуляции параметра кристаллической решетки длинноволновым ультразвуком,

5. Проведены экспериментальные исследования рентгеноакустических взаимодействий в условиях однородной по ширине рентгеновского пучка и переменной во времени ультразвуковой деформации кристаллической решетки. Показано, что с помощью однородной в пределах ширины рентгеновского пучка и переменной во времени деформации, можно управлять угловым положением рентгеновского пучка.

6. Проведены экспериментальные исследования рентгеноакустических взаимодействий в условиях градиентной по ширине рентгеновского пучка и переменной во времени ультразвуковой деформации кристаллической решетки. Показано, что с помощью периодической по времени деформации, распределение которой в пределах ширины рентгеновского пучка имеет градиентный характер, описываемый линейным законом, можно управлять пространственными характеристиками рентгеновского пучка.

7. Экспериментально исследована суперпозиция статической деформации кристаллической решетки с динамической ультразвуковой деформацией. Выявлена возможность, как усиления результирующей деформации, так и компенсации статической деформации ультразвуковой деформацией при определенных фазах ультразвуковых колебаний.

8. Для случая с неоднородной деформацией решена обратная задача определения профиля деформации соответствующего экспериментальной кривой. По экспериментальным данным для кристаллов германия рассчитаны профили ультразвуковой деформации по ширине рентгеновского пучка, как для случая неоднородной ультразвуковой деформации, так и для случая суперпозиции статической деформации, вызванной склейкой, и динамической деформации, вызванной ультразвуковыми колебаниями.

СПИСОК ЦИТИРУЕМЫХ РАБОТ

[1] И.Р. Энтин, Э.В. Суворов, Н.П. Кобелев, Я.М. Сопфер. Рентгеноакустиче-ский резонанс в совершенном кристалле кремния // ФТТ. 20, №5, 1978, р. 1311-1315.

[2] R. Tucoulou, D. V. Roshchupkin, О. Mathon, I. A. Schelokov, М. Brunei, Е. Ziegler and С. Morawe. High-Frequency X-ray Beam Chopper Based on Diffraction by Surface Acoustic Waves // J. Synchrotron Rad. 5, 1998, p. 13571362.

[3] B. Shilo, E.Zolotoyabko Visualization of short surface acoustic waves by stroboscopic x-ray topography: analysis of contrast //J. Phys. D: Appl. Phys. 36, 2003, pp. A122-A127.

[4] I.A. Smirnova, E.V. Shulakov, E.V. Suvorov, O.P. Aleshko-Ozhevskii Dynamic contrast of section topographs under excitation of transversal acoustic waves in the crystal bulk. // Surface investigation. 16,2002, p. 153.

[5] B.JI. Носик, M.B. Ковальчук Рентгеновские элементы, основанные на колеблющихся кристаллах. //Поверхность. 1,2000, с. 91-98.

[6] J. Detaint, J. Schwattzel, A. Zarka, В. Capelle, J.P. Denis, E. Philippot. Bulk wave propagation and energy trapping in the new thermally compensated materials with trigonal symmetry // IEEE International frequency control symposium,' 1994, p58-71.

Основные результаты работы отражены в следующих публикациях:

1. М.В. Ковальчук, А.Н, Благов, В.В. Лидер, Ю.В. Писаревский. Рентге-ноакустические взаимодействия в кристаллах с использованием длинноволнового ультразвука. // Тезисы IV национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. 2003. с. 440.

2. А.Е. Благов, М.В.Ковальчук, В.Г. Кон, В.В. Лидер, Ю.В. Писаревский. Исследование возможностей управления рентгеновским пучком с помощью кристалла, подвергнутого длинноволновым ультразвуковым колебаниям. // Тезисы V национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования наноматериалов и наносистем. 2005. с. 431.

3. А.Е. Благов, М.В.Ковальчук, В.Г. Кон, В.В. Лидер, Ю.В. Писаревский. Исследование возможностей управления рентгеновским пучком с помощью кристалла, подвергнутого длинноволновым ультразвуковым колебаниям. // ЖЭТФ» 128, вып. 5(11), 2005, с. 893-903.

4. А.Е. Благов, М. В. Ковальчук , В. Г. Кон , Ю. В. Писаревский. Динамическое изменение параметра решетки кристалла с помощью ультразвука в рентгенодифракционных экспериментах. // Кристаллография, 51, вып. 5, 2006, с. 1.

5. А.Е. Blagov, G.D. Mansfield, B.V. Mill, Y.V. Pisarevsky, V.A. Skuratov and Y.L. Vorochovsky. Influence of Electron and y-Irradiation on Piezoelectric and Elastic Properties of Langasite Crystals. // Proc 2004 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition, P2FC-F-2.

6. A.E. Благов, М.В. Ковальчук, В.Г. Кон, В.В. Лидер, Ю.В.Писаревский Исследование возможностей управления рентгеновским пучком с помощью кристалла, подвергнутого длинноволновым ультразвуковым колебаниям. // Тезисы II Всероссийской молодежной научной школы «Микро-, нанотехнологии и их применение» ИПТМ РАН Черноголовка, 2005 г. с. 21.

7. А.Е. Blagov. Possibilities of Controlling an X-ray Beam with a Crystal Subjected to Ultrasonic Vibrations. // Proc ECM23, Leaven, Belgium, 2006, p. 92.

Подписано в печать ^ О 3 2006 г. Формат 60x84/16. Заказ № ^О . Тираж 40тзэкэ. П.л. А

Отпечатано в РИИС ФИАН с оригинала-макета заказчика. 119991 Москва. Ленинский проспект. 53. Тел. 132 51 28

Содержание диссертации автор исследовательской работы: кандидата физико-математических наук, Благов, Александр Евгеньевич

Введение.

Глава 1. Рентгеноакустические взаимодействия в кристаллах.

Состояние проблемы.

1.1 Введение.

1.1.1 Изучение акустических волн и колебаний рентгенодифракционными методами.

1.1.2. Изучение рассеяния рентгеновских лучей на искаженных ультразвуком кристаллических решетках.

1.2. Особенности рентгеноакустических взаимодействий.

1.3. Рентгеноакустические исследования в области высоких частот ультразвука.

1.4. Рентгеноакустический резонанс.

1.5. Рентгеноакустические исследования в области низких и средних частот ультразвука.

1.6. Выводы к главе 1.

Глава 2. Особенности экспериментальной техники для проведения рентгеноакустических экспериментов в области длинноволнового ультразвука.

2.1. Свойства пьезоэлектрических кристаллов и возбуждение колебаний в кристаллах.

2.1.1. Способы создания регулярных деформаций в кристаллах.

2.1.2. Резонаторы изгибных колебаний.

2.1.3. Резонаторы продольных колебаний.

2.4. Экспериментальная установка для измерения характеристик пьезокристаллов электроизмерительным методом.

2.5. Двухкристальная рентгеновская дифрактометрия.

2.6. Экспериментальная установка для изучения рентгеноакустических взаимодействий в кристаллах.

2.7. Калибровка рентгеновского спектрометра ТРС-1.

2.8. Методика стробоскопической регистрации КДО.

2.9. Выводы к главе 2.

Глава 3. Исследование рентгеноакустических элементов электроизмерительными методами.

3.1. Особенности возбуждения продольных колебаний по длине в стержнях тригональной сингонии.

3.2 Влияние облучения на электромеханические свойства кристаллов лангасита (1X58).

3.3. Возбуждение продольных длинноволновых ультразвуковых колебаний в кристаллах-монохроматорах из кремния и германия.

3.3. Выводы к главе 3.

Глава 4. Изучение рентгеноакустических взаимодействий с усреднением по периоду ультразвуковых колебаний. интегральные во времени измерения).

4.1. Зависимость полуширины, интегральной интенсивности и формы КДО от мощности ультразвуковой волны.

4.2. Анализ распределения амплитуды деформации по длине кристалла.

4.3. Суперпозиция статической и динамической (ультразвуковой) деформации.

4.4. Выводы к главе 4.

Глава 5. Исследования рентгеноакустических взаимодействий с разрешением по времени.

5.1. Модель дифракции рентгеновских лучей на кристаллических решетках с медленно меняющейся деформацией по ширине рентгеновского пучка.

5.2. Сравнение экспериментальных кривых с теоретическими в случае идеального кристалла без деформации.

5.3. Исследования ренттеноакустических взаимодействий в условиях однородной ультразвуковой деформации.

5.3.1. Экспериментальные КДО кристалла кремния для различных фаз ультразвуковых колебаний.

5.3.2. Экспериментальные КДО кристалла германия для различных фаз ультразвуковых колебаний.

5.3.3. Сопоставление экспериментальных и расчетных кривых при постоянной деформации.

5.3.4. Расчет изменения параметра кристаллической решетки под воздействием деформации создаваемой ультразвуковой волной в кристаллах кремния и германия.

5.4. Исследования рентгеноакустических взаимодействий в условиях градиентной ультразвуковой деформации.

5.4.1. Особенности дифракции рентгеновских лучей на градиентных кристаллах.

5.4.2. Экспериментальные КДО кристалла кремния в условиях градиентной ультразвуковой деформации.

5.4.3. Экспериментальные КДО кристалла германия в условиях градиентной ультразвуковой деформации.

5.4.4. Экспериментальное исследование суперпозиции статической и динамической ультразвуковой деформации в кристалле германия.

5.4.5. Сравнение экспериментальных и расчетных кривых при градиенте деформации.

5.5. Выводы к главе 5.

Глава 6. Восстановление профилей ультразвуковой деформации по ширине рентгеновского пучка из стробоскопических кривых дифракционного отражения.

6.1. Анализ экспериментальных кривых.

6.1.1. Постоянная деформация.

6.1.2. Постоянный градиент деформации.

6.2. Неизвестный профиль деформации.

6.3. Численное симулирование.

6.4. Выводы к главе 6.

Введение диссертация по физике, на тему "Особенности дифракции рентгеновских волн на кристаллах, промодулированных низкочастотным ультразвуком"

Исследование дифракции рентгеновских лучей на кристаллах, в которых распространяется упругая волна, составляет заметную область исследований конденсированных сред рентгенодифракционными методами. Это объясняется следующими причинами:

Во-первых, важнейшей задачей рентгеновской оптики является изучение дифракции рентгеновского излучения на искаженных кристаллических решетках. Регулярные искажения кристаллической решетки, создаваемые упругой волной, облегчают анализ задачи при сохранении характерных особенностей дифракции рентгеновских лучей. Существенной является возможность варьирования в широчайших пределах параметров ультразвуковой волны (амплитуда колебаний, длина волны), что позволяет рассматривать промодулированный ультразвуком кристалл, как модель для изучения рассеяния рентгеновских лучей на деформированных кристаллических решетках;

Во-вторых, имеется ряд особенностей рентгеноакустического взаимодействия, таких, например, как рентгеноакустический резонанс, имеющие самостоятельный интерес с точки зрения фундаментальной физики;

В-третьих, одной из основных задач акустоэлектроники является поиск новых методов исследования распространения упругих волн в твердых телах - методов, позволяющих визуализировать распространение упругих волн и количественно оценить упругую деформацию созданную ультразвуком. Такая информация необходима для анализа и контроля разнообразных устройств пьезотехники и акустоэлектроники. Широко применяемые в настоящее время методы исследования распространения упругих волн имеют ряд существенных ограничений. Оптический дифракционный метод также позволяет получить реальное изображение акустических объектов с реальным распределением поля упругой волны в них, однако пространственное разрешение такого метода не может быть лучше половины длины волны оптического излучения. Другой, электроизмерительный метод позволяет произвести сравнительный анализ входных и выходных характеристик в схеме возбуждения ультразвука, на основе которого можно сделать выводы об интенсивности, чистоте спектра и добротности ультразвуковых колебаний, но не дает практически никакой информации о распределении упругого волнового поля в кристалле. Рентгеновский дифракционный метод позволяет получить ценнейшую информацию о распространении и структуре упругих волн и колебаний (длина упругой волны, распределение амплитуды деформации ультразвуковой волны, структура колебательных мод пьезорезонаторов) с очень высоким пространственным разрешением;

И, наконец, управляемая во времени и пространстве деформация может служить для решения практических задач рентгеновской оптики. Важнейшие приложения связаны с возможностью управления параметрами рентгеновского излучения с помощью упругих деформаций, Промодулированный ультразвуковыми колебаниями кристалл можно использовать как немеханически перестраиваемый элемент рентгенооптической схемы.

Длинноволновые ультразвуковые колебания, длина волны которых сопоставима с размерами образца, способны создавать регулярную деформацию кристаллической решетки по ширине рентгеновского пучка. В зависимости от положения рентгеновского пучка на кристалле это может быть как однородная переменная во времени деформация, так и деформация, изменяющаяся по линейному или квадратичному закону (постоянный или квадратичный градиент деформации). Аналогичные деформации кристаллической решетки создаются в градиентных или изогнутых кристаллах, широко используемых в качестве элементов рентгеновской оптики. В отличие от статических деформаций, ультразвуковая деформация кристаллической решетки изменяется во времени, что позволяет выделить временные участки с различными по амплитуде и знаку деформациями. Это, в свою очередь, может быть использовано для пространственно-временной модуляции рентгеновского излучения.

Принимая во внимание вышесказанное, тема диссертации по изучению особенности дифракции рентгеновских волн на кристаллах, промодулиро-ванных низкочастотным ультразвуком представляется весьма актуальной.

Цель работы и основные задачи.

Основной целью работы являлось изучение особенностей взаимодействия рентгеновских и упругих волн в условиях дифракции рентгеновской волны на кристаллических решетках, при возбуждении в них длинноволновых ультразвуковых колебаний, с длиной волны сопоставимой с размерами образца и многократно превышающей ширину области засветки рентгеновским пучком. Такие колебания создают квазиоднородную или неоднородную, но регулярную деформацию по ширине области засветки.

Задачи диссертации:

1. Разработка экспериментальных методик исследования особенностей взаимодействия рентгеновских и длинноволновых упругих волн.

2. Создание экспериментальной установки по исследованию дифракции рентгеновских лучей в кристаллах, промодулированных длинноволновым ультразвуком на основе трёхкристального рентгеновского спектрометра. Создание системы возбуждения и контроля ультразвуковых колебаний в кристаллах. Создание системы стробоскопической регистрации дифрагированного рентгеновского пучка, сопряженной с системой возбуждения ультразвука в образцах и позволяющей регистрировать дифрагированный пучок только при определенном значении фазы колебаний рентгеноакустического резонатора.

3. Разработка методик стробоскопической регистрации дифрагированного рентгеновского пучка в момент определенной фазы колебаний кристалла.

4. Разработка и исследование специальных рентгеноакустических резонаторов, состоящих из пластины исследуемого кристалла (монокристаллического кремния или германия) и пластины пьезопреобразователя (кристалла лангасита, кварца или ниобата лития определенной ориентации) и обеспечивающих возбуждение высокодобротных продольных колебаний растяжения-сжатия по длине исследуемого кристалла.

5. Проведение экспериментальных исследований и разработка методик, позволяющих исследовать распределение амплитуды ультразвуковой деформации по длине исследуемого кристалла с разрешением равным ширине рентгеновского пучка, в частности, для локализации участков с требуемым распределением амплитуды деформации при позиционировании пучка в экспериментах.

6. Проведение времяразрешающих исследований по изучению особенностей Лауэ-дифракции рентгеновских лучей на участке кристалла, где распределение ультразвуковой деформации в пределах ширины области засветки кристалла рентгеновским пучком носит однородный или градиентный характер.

7. Расчет профилей деформации по ширине области засветки образца рентгеновским пучком для различных фаз колебаний и пространственного положения пучка.

Научная новизна полученных в диссертационной работе результатов:

2. Исследованы особенности длинноволновых колебаний рентгеноопти-ческих элементов.

3. Изучено влияние облучения на электромеханические характеристики лангасита. В результате проводимых экспериментов была установлена стабильность электромеханических характеристик лангасита под воздействием жестких излучений.

4. Разработана методика, позволяющая с помощью рентгенодифракци-онных методов оперативно исследовать распределение амплитуды деформации, созданной продольной ультразвуковой волной по длине кристалла, с пространственным разрешением, не превышающим ширину пучка. Достоинством разработанной методики является оперативность получения данных при невысоких интенсивностях рентгеновских пучков. Что, в частности, позволило выявить участки кристалла, где деформация имеет однородный либо градиентный характер.

6. По данным стробоскопически измеренных кривых дифракционного отражения (КДО) на основе модели дифракции рентгеновских лучей на регулярно искаженных кристаллических решетках разработана методика расчета профиля деформации внутри области засветки кристалла рентгеновским пучком.

7. Обнаружен и исследован эффект суперпозиции статической деформации, образовавшейся в кристалле в результате склейки и динамической ультразвуковой деформации.

Практическая ценность работы:

2. Экспериментально реализованные угловые смещения брэгговского пика и изменения формы КДО могут быть использованы для разработки схем отклонения рентгеновского пучка, изменения его структуры и управления длиной волны. В таких рентгенооптических схемах для управления угловым положением и длиной волны рентгеновского пучка может быть использована область кристалла с однородным распределением ультразвуковой деформации, а для управления пространственными характеристиками рентгеновских пучков может быть использована область кристалла, где распределение деформации имеет градиентный характер.

3. По максимальному угловому смещению брэгговского пика кривых дифракционного отражения, измеренных в фазе максимального растяжения и максимального сжатия кристалла, при прохождении рентгеновского пучка сквозь область кристалла с однородной деформацией можно рассчитать фактическую деформацию кристаллической решетки с точностью до сотых ангстрема.

5. Данные о стабильности электромеханических свойств лангасита при облучении могут быть полезны для пьезодатчиков, работающих в условиях облучения.

Основные положения, выносимые на защиту:

2. Подробное описание взаимодействия рентгеновского излучения с длинноволновым ультразвуком.

3. Методика, получения распределения деформации, создаваемой ультразвуковой волной в кристаллах, посредством интегрального во времени измерения КДО в условиях возбуждения ультразвуковой волны в кристаллах.

4. Экспериментальная реализация квазиоднородной в пределах ширины рентгеновского пучка и переменной во времени деформации, с помощью которой можно управлять угловым положением рентгеновского пучка.

6. Обнаружение эффекта суперпозиции статической и динамической деформации.

7. Методика определения распределения деформации внутри области засветки кристалла рентгеновским пучком

8. Влияние облучения на электромеханические характеристики кристаллов лангасита.

Апробация работы.

Результаты работы докладывались

- на молодёжном конкурсе научных работ ИКР АН в 2005 году (работа удостоена 1-й премии);

- на 2-й Всероссийской молодежной научной школе «Микро- и нанотехнологии и их применение», 2005, ИПТМ РАН, Черноголовка (работа удостоена 1-го места).

На международных и национальных конференциях:

1. IV Национальная конференция по применению рентгеновского, син-хротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. 17-22 ноября 2003 г. Москва.

2. V Национальная конференция по применению рентгеновского, син-хротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования наноматериалов и наносистем. 2005 г. Москва.

3. 2004 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition, Montreal, Canada.

4. 23rd European Crystallographic Meeting. August 6 to 11, 2006, Leaven, Belgium.

Основные результаты работы отражены в следующих публикациях:

1) М.В. Ковальчук, А.Е. Благов, В.В. Лидер, Ю.В. Писаревский. Рентге-ноакустические взаимодействия в кристаллах с использованием длинноволнового ультразвука. // Тезисы IV национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. ИКРАН, Москва, 2003. С. 440.

2) А.Е. Благов, М.В.Ковальчук, В.Г. Кон, В.В. Лидер, Ю.В. Писаревский. Исследование возможностей управления рентгеновским пучком с помощью кристалла, подвергнутого длинноволновым ультразвуковым колебаниям. // Тезисы V национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования наноматериалов и наносистем. ИКРАН, Москва, 2005. С. 431.

3) А.Е. Благов, М.В.Ковальчук, В.Г. Кон, В.В. Лидер, Ю.В. Писаревский. Исследование возможностей управления рентгеновским пучком с помощью кристалла, подвергнутого длинноволновым ультразвуковым колебаниям. IIЖЭТФ, 128, вып. 5(11), 2005, с. 893-903.

4) А.Е. Благов, М. В. Ковальчук, В. Г. Кон, Ю. В. Писаревский. Динамическое изменение параметра решетки кристалла с помощью ультразвука в рентгенодифракционных экспериментах. // Кристаллография, 51, вып. 5,2006, с. 1-6.

5) А.Е. Blagov, G.D. Mansfeld, B.V. Mill, Y.V. Pisarevsky, V.A. Skuratov and Y.L. Vorochovsky. Influence of Electron and y-Irradiation on Piezoelectric and Elastic Properties of Langasite Crystals. // Proc 2004 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition, P2FC-F-2.

6) А.Е. Благов, M.B. Ковальчук, В.Г. Кон, B.B. Лидер, Ю.В.Писаревский Исследование возможностей управления рентгеновским пучком с помощью кристалла, подвергнутого длинноволновым ультразвуковым колебаниям. // Тезисы II Всероссийской молодежной научной школы «Микро-, нанотехнологии и их применение», ИПТМ РАН, Черноголовка, 2005 г. стр. 21.

7) А.Е. Blagov. «Possibilities of Controlling an X-ray Beam with a Crystal Subjected To Ultrasonic Vibrations» Proc ECM23, Leaven, Belgium, 2006.

Заключение диссертации по теме "Физика конденсированного состояния"

Основные результаты и выводы:

1. Представлена классификация рентгеноакустических взаимодействий в кристаллах в зависимости от соотношения длины ультразвуковой волны и размера рентгеновского пучка на образце. Выделены и отмечены особенности рентгеноакустического взаимодействия для трех характерных областей: 1) область высоких частот, когда длина упругой волны много меньше ширины рентгеновского пучка на образце; 2) область средних частот, когда длина упругой волны сопоставима с размерами рентгеновского пучка; 3) низкочастотная область, когда длина упругой волны многократно превышает ширину рентгеновского пучка на образце.

3. На основе трехкристального спектрометра ТРС-1 разработана установка для проведения экспериментальных работ по изучению рентгеноакустических взаимодействий в кристаллах, промодулированных длинноволновым ультразвуком. При этом разработана система возбуждения и контроля ультразвуковых колебаний в кристаллах и система стробоскопической регистрации дифрагированного рентгеновского пучка.

4. Разработана методика, позволяющая рентгенодифракционными методами, посредством измерения полуширины кривой дифракционного отражения, количественно изучать амплитуду и распределение деформации по длине исследуемого кристалла, созданной длинноволновым ультразвуком в кристаллах. С помощью разработанной методики проведены исследования распределения амплитуды ультразвуковой деформации в различных составных резонаторах, которые показали наличие высокочастотной модуляции на фоне основной моды колебаний кристаллов. Продемонстрирована возможность как однородной, так и градиентной периодической во времени модуляции параметра кристаллической решетки длинноволновым ультразвуком.

5. Проведены экспериментальные исследования рентгеноакустических взаимодействий в условиях однородной по ширине рентгеновского пучка и переменной во времени ультразвуковой деформации кристаллической решетки. Экспериментально показано, что с помощью однородной в пределах ширины рентгеновского пучка и переменной во времени деформации можно управлять угловым положением рентгеновского пучка.

6. Проведены экспериментальные исследования рентгеноакустических взаимодействий в условиях градиентной по ширине рентгеновского пучка и переменной во времени ультразвуковой деформации кристаллической решетки. Экспериментально показано, что с помощью периодической по времени деформации, распределение которой в пределах ширины рентгеновского пучка имеет градиентный характер, описываемый линейным законом, можно управлять пространственными характеристиками рентгеновского пучка.

7. Экспериментально исследована суперпозиция статической деформации кристаллической решетки с динамической ультразвуковой деформации. Выявлена возможность, как усиления результирующей деформации, так и компенсации статической деформации ультразвуковой деформацией при определенных фазах ультразвуковых колебаний.

8. Для случая с неоднородной деформацией решена обратная задача определения профиля деформации соответствующего экспериментальной кривой. По экспериментальным данным рассчитаны профили ультразвуковой деформации по ширине рентгеновского пучка для кристаллов германия для случая неоднородной ультразвуковой деформации и для случая суперпозиции статической деформации, вызванной склейкой, и динамической деформации, вызванной ультразвуковыми колебаниями.

В заключение считаю своим приятным долгом выразить глубокую благодарность моим научным руководителям, члену-корреспонденту РАН, профессору М.В. Ковальчуку и доктору физико-математических наук Ю.В. Писаревскому за предложенную тему работы, постоянное внимание, всестороннюю помощь и полезные советы при обсуждении.

Особую благодарность выражаю кандидату физико-математических наук В.В. Лидеру за постоянный интерес к работе и плодотворные дискуссии.

Я глубоко признателен доктору физико-математических наук В.Г. Кону за важные замечания и советы, разработку теоретической модели и помощь в проведении теоретических расчетов.

Во многом я обязан атмосфере творчества и доброжелательности, созданной сотрудниками лаборатории рентгеновской оптики и синхротронного излучения, а также лаборатории акустооптики и акустоэлектроники и благодарю научный коллектив лабораторий за творческую атмосферу и помощь в проведении работы.

Автор ценит помощь и интерес к работе доктора физико-математических наук A.A. Ломова и доктора физико-математических наук Э.Х. Мухамеджанова и выражает им искренние благодарности.

Заключение.

Список источников диссертации и автореферата по физике, кандидата физико-математических наук, Благов, Александр Евгеньевич, Москва

1. О.П. Алешко-Ожевский. Диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. Москва 1992г.

2. Алешко-Ожевский О.П., Погосян А.С, Чуховский Ф.Н., Штейнбах Б.В.,

3. Калашникова И.И., Хазанов А.А. Исследование рентгенотопографиче-ского дифракционного контраста в циркулярных кварцевых резонаторах. // Кристаллография Том 36, Вып. 1, (1991) стр. 159-169.

4. J. Detaint, J. Schwattzel, A. Zarka, В. Capelle, J.P. Denis, E. Philippot. Bulkwave propagation and energy trapping in the new thermally compensated materials with trigonal symmetry. // IEEE International frequency control symposium, 1994, p. 58-71.

5. B. Shilo, E. Zolotoyabko. Visualization of short surface acoustic waves bystroboscopic x-ray topography: analysis of contrast. //J. Phys. D: Appl. Phys. 36 (2003) A122-A127.

6. B. Shilo, E. Lankin, E. Zolotoyabko, J. Hartwing, J. Baruchel. Visualizationof Acoustic wave front in crystals by Stroboscopic X-ray Topography. // Synchrotron radiation news, Vol. 15, No 2,2002.

7. E. Zolotoyabko, D. Shilo, E. Lakin. X-ray imaging of acoustic wave interaction with dislocations. // Materials Science and Engineering A 309/310, 23 (2001).

8. И.Р. Энтин. Эффект резонансного подавления ультразвуком аномального прохождения рентгеновских лучей. // Письма в ЖЭТФ, 26, вып. 5, 392-395. 1977

9. И.Р. Энтин, Э.В. Суворов, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер. Рентгеноакустический резонанс в совершенном кристалле кремния. // ФТТ. 20, №5, 1311-1315,1978

10. Entin I.R. Theoretical and experimental study of X-Ray acoustic resonance inperfect silicon crystal. // Phis, status solidi. B, 1978, 90, N 2, p. 575-584

11. И.Р. Энтин, И.А. Пучкова. Осциллирующая зависимость интенсивности рентгеновского рефлекса от амплитуды возбужденного в кристалле ультразвука. // ФТТ, Том 26, в.11 (1984) стр.3320-3324

12. I.R Entin, I.A. Smirnova. The effect of X-Ray intensity oscillations as a function of the amplitude of ultrasound excited in crystal. //Phis. stat. sol. (a) 106, 339 (1988) p339-350

13. И.А Смирнова, Э.В. Суворов, E.B. Шулаков, О.П Олежко-Ожевский. Формирование топографического контраста совершенного кристалла в условиях акустического возбуждения. // Материалы рабочего совещания Рентгеновская оптика 99. Нижний Новгород 99 стр. 216-223

14. I.A. Smirnova, E.V. Shulakov, E.V. Suvorov, O.P. Aleshko-Ozhevskii. Dynamic contrast of section topographs under excitation of transversal acoustic waves in the crystal bulk. // Surface investigation, 2001, Vol. 16, pp. 153-162.

15. И.А. Смирнова, E.B. Шулаков, Э.В. Суворов. Распределение рентгеновского волнового поля в объёме кристалла в условиях акустического возбуждения. // Тезисы докладов РСНЕ 99, Москва 99 стр. 160

16. Мкртчан А.Р., Навасардян М.А., Мирзоян В.К. // Письма в ЖТФ. 1982, Т. 8. С. 677.

17. Тихонова Е.А. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей кристаллами, находящимися в поле ультразвуковой волны. // Металлофизика, 1981, том 3,№ 4 стр. 18-27.

18. M.V. Kovalchuk, E.V. Suvorov, O.P. Aleshko-Ozhevskii, Yu.V. Pisarevskii, V.L. Nosik, L.A. Smirnova, M.A. Solomko. Investigation of Elastic Deformation in Vibrating Crystal. //Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 405, (1998), 449-453.

19. Zolotoyabko E., Quintana J. P. Control of synchrotron x-ray diffraction by means of standing acoustic waves. // Rev. Sci. Instrum. 2004. V. 75. P. 699

20. A. Schelokov, Dmitry V. Roshchupkin, Dmitry V. Irzhak and Remi Tucou-lou. Dynamical theory for calculations of X-ray spectra from crystals modulated by surface acoustic waves. //J. Appl. Cryst. (2004). 37, 52-61.

21. R. Tucoulou, О. Mathon, С. Ferrero, V. Mocella, D. V. Roshchupkin, R. E. Kumon. Investigation of surface acoustic wave fields in silicon crystals by x-ray diffraction: A dynamical theory approach. // J. Appl. Phys. 97 (2005).

22. D.V. Roshchupkin, I.A. Schelokov, R. Tucoulou, M. Brunei. X-Ray diffraction on multiplayer mirror modulated by surface acoustic wave. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 129 (1997) p. 441-418.

23. D.V. Roshchupkin, R. Tucoulou, A. Masclet, M. Brunei, I.A. Schelokov, A.S. Kondakov. X-ray diffraction by standing surface acoustic waves // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 142 (1998) p. 432436.

24. D.V. Roshchupkin, I.A. Schelokov, R. Tucoulou, A.S. Kondakov, M. Brunei. X-ray focusing by a ID-grazing incidence Fresnel zone plate modulated by a surface acoustic wave. // Optics Communications 146 (1998) pp.25-30.

25. D. V. Roshchupkin, R. Tucoulou, M. Brunei. X-ray standing waves effects for a multilayer mirror modulated by surface acoustic waves. // App. Phis. Lett. V 75, N5 (1999) p. 639-640.

26. R. Tucoulou, 0. Mathon, D. Roshchupkin. X-ray Bragg diffraction of LiNb03 crystals excited by surface acoustic waves. // Physical Review B, Volume 64, (2001).

27. Д.В. Рощупкин, Д.В. Иржак, Р. Тукулу, О. Матон. Стробоскопическая рентгеновская топография бегущих поверхностных акустических волн в кристалле Si(lll). // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2003, № 2, с. 25-27.

28. К.П.Ассур, И.Р.Энтин. Влияние ультразвуковых колебаний на динамическую дифракцию рентгеновских лучей в геометрии Брэгга.// ФТТ,24, в7, 2122-2129,1982.

29. D.G. Carlson, A. Segmuller, Е. Mosekilde et al. X-Ray Diffraction from Piezoelectically Amplified Sear Waves in the 50 GHz Range. // Appl. Phis. Lett. 1971, vol. 18. №8. p. 330-332.

30. G.O. Müller, H.Peibst, E. Schnürer, H. Thiel. The influence of High phonon flux densities on the X-Ray Reflectivity of nearly Ideal CdS Crystals. // Phis. Stat. Sol., 1967, vol. 20, No. 2, p. K173-K175.

31. W. Möhling, G.O. Müller, H.Peibst, E. Schnürer. X-Ray diffraction analysis of acoustoelectric phonons. // Phis. Stat. Sol. (a), 1970, vol. 2, No. 2, p. 725730.

32. R. Köhler, W. Möhling, H. Peibst. Intensity relations in laue case reflections of perfect crystals containing nearly monochromatic lattice vibrations. // Phis. Stat. Sol., 1970, vol. 41, No. 1, p. 75-80.

33. R. Köhler, W. Möhling, H. Peibst. Evaluation of acoustoelectric wave vectors and amplitudes from X-Ray diffraction experiments. // Phis. Stat. Sol.(b), 1974 vol. 6, No. 2, p. 439-447.

34. S.D. LeRoux, R. Colella, R. Bray. X-Ray Diffraction Studies of Acousto-electrically Amplified Phonon Beams. // Phys. Rev. Lett. 35, N4, 230 234 (1975).

35. S.D. LeRoux, R. Colella, R. Bray. Effect of Acoustoelectric Phonons on Anomalous Transmission of X-Rays. // Phis. Rev. Lett. 1976, vol 37, № 16, p. 1056-1059

36. R. Colella. Multiple Diffraction of X-Rays. // Z. Naturforsch., 1982, В. 37a, H.5, p. 437-447.

37. L.D. Chapman, R. Colella, R. Bray. X-RayDiffraction Studies of Acousto-electrically Amplified Phonon Beams. // Phys. Rev. B, 1983, vol. 27, № 4, p. 2264-2277.

38. S. Kikuta, Т. Takahashi, S. Nakatani. High Frequency Time Modulation of X-Ray beam Diffracted from a LiNB03 Crystal by Surface Acoustic Waves. // Japanese J. Of Appl. Phys., 1984, vol. 23, № 4, p. L193-L196.

39. I. Fujimoto. Direct Detection of Electric-Field-Induced Microscopic Structural Changes in LiNb03 by Modulation X-Ray Diffraction. // Phys. Rev. Lett., 1987, vol. 40, №14, p.941-941.

40. R. Tucoulou, D. V. Roshchupkin, 0. Mathon, I. A. Schelokov, M. Brunei, E. Ziegler and C. Morawe. High-Frequency X-ray Beam Chopper Based on Diffraction by Surface Acoustic Waves. // J. Synchrotron Rad. (1998). 5, pp. 1357-1362.

41. Д.В. Рощупкин, И.А. Щелоков, B.B. Аристов, Р. Тукулу, М. Брюнель. Дифракция рентгеновского излучения на многослойных зеркалах, про-модулированных ПАВ. // Материалы совещания «Рентгеновская оптика», Нижний Новгород. Стр. 83-92 (1999).

42. И.Р. Энтин. Эффект резонансного подавления ультразвуком аномального прохождения рентгеновских лучей. // Письма в ЖЭТФ, 26, вып. 5, 392-395.1977

43. И.Р. Энтин, Э.В. Суворов, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер. Рентгеноакусти-ческий резонанс в совершенном кристалле кремния // ФТТ. 20, №5, 1311-1315,1978.

44. И.Р. Энтин. Динамическая и кинематическая дифракция рентгеновских лучей на кристаллах сильно искаженных ультразвуком. // Препринт. Черноголовка, 1986.

45. Fox G.W., Carr Н.Р. The effect of piezoelectric oscillation on intensity of x-ray reflections from quartz.// Physical review, vol 37, June 15,1931

46. Кэди У., Пьезоэлектричество и его практическое применение, пер. с англ., М., 1949.

47. J.E. White. X-Ray Diffraction by elastically deformed crystals, // J. Appl. Physics Vol. 21, September 1950, 855-859.

48. A.R. Lang. The projection topograph: a new method in X-ray diffraction microradiography. //Acta Cryst. (1959). 12,249-250.

49. W. J. Spencer. X-ray diffraction study of acoustic mode patterns in crystalline quartz //Applied Physics Letters, April 1, 1963, Volume 2, Issue 7, pp. 133-135.

50. Спенсер У. Исследование резонансных колебаний и нарушений структуры в монокристаллах методом рентгеновской дифракционной топографии. // В кн.: Физическая акустика под ред. Мезона У., пер. с англ. М.: Мир, 1973. T.Y.-C.134-191.

51. К. Haruta. Intensity of X Rays Diffracted from an Elastically Vibrating Single-Crystal Plate // Journal of Applied Physics, July 1967, Vol. 38, Issue 8, pp. 3312-3316.

52. Yong R.A., Wagner C.E. Intensity Contrast in Diffraction from Nearly Perfect Crystals // Brit. J. Appl. Phys., 1966, Vol. 17.

53. Mason W.P. Piezoelectric Crystals and Their applications to ultrasonics.// Priston, New Jersey, 1950, p. 1-377.

54. Mindlin R. D. High frequency vibrations of crystal plates Quart. // Appl. Math. 19 51-61,(1961).

55. Mindlin R.D. Spenser W.J. Anharmonik thickness twist obertons of thickness-shear and flexural vibrations of rectangular at-cut quartz plates. // J. Acoust. Soc. Am., 1967, vol. 42, p. 1268-1277.

56. Spenser W.J., Pearman G.T. X-Ray Diffraction from Vibrating Quartz Plates. // Advances in X-Ray Analysis. N.Y. Plenum press, 1970, vol. 13, p. 507-525.

57. A.Zarka, B. Capelle, J.Detaint, D. Cochet-muchy. // Pros, of European meeting on piezoelectric materials 1996.

58. Навасардян M.A., Назарян Ю. P. Мирзоян В. К. Модуляция дифрагированного рентгеновского излучения в низкочастотном диапазоне с целью передачи сигналов. // Изв. АН Арм. ССР, Физика, 1979, т 14, в. 6, с. 425-428.

59. M.A.Navasardyan. // Journ. Appl. Cryst. 34, 763-766,2001.

60. В.JI. Носик, M.B. Ковальчук. Рентгеновские элементы, основанные на колеблющихся кристаллах. //Поверхность., №1, 91-98 (2000).

61. В.Г. Андросова, Е.Г. Бронникова, А. М. Васильев, Я. Л. Вороховский. Пьезоэлектрические резонаторы. Под ред. П.Е Кандыбы и П.Г. Позднякова. // М.: Радио и связь, 1992.

62. D. V. Roshchupkin, H. D. Roshchupkina, D.V. Irzhak. Analysis of the SAW Propagation in Langasite Crystal by X-ray Topography. // 2004 IEEE International Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint 50th Anniversary Conference pp. 1227-1230.

63. У. Кэди. Пьезоэлектричество и его практическое применение. Пер. с анг. Под ред. A.B. Шубникова. // М.: Изд. ИЛ, 1948, 718 стр.

64. C.G. Darwin. //Phil.Mag, 27, 315, 675 (1914).

65. Р.Р. Ewald. // Ann.Phys, 49,117 (1916).

66. W.H. Zachariasen. Theory of X-ray diffraction in crystals. // New York, 1945.

67. M.V. Laue. Röntgen strahl Interferenzen. // Frankfurt/M., 1960.

68. R.W. James. // Sol. Stat. Phis., 15, 3383,1963.

69. В.И. Иверова, Г.П. Ревкевич. Теория рассеяния рентгеновских лучей. // М, Издат. МГУ, 1972.

70. З.Г. Пинскер. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в идеальных кристаллах. //М., «Наука», 1974.

71. M.V. Laue. //Z.Phys, 150, 314,1950.

72. J.W. Du Mond. // Phis. Rev. 52, 872,1937

73. M. Renninger. // Z. Naturforch., 16a, 1110,1961

74. K. Köhra. // Intern. Summer school on X-ray dynamical theory and topography, august 18-26,1975 Limoges, France.

75. З.Г. Пинскер, Э.К. Ковьев, A.B. Миренский, A.C. Фокин, M.B. Коваль-чук, Ю.Н. Шилин. Авторское свидетельство №46 3045.

76. Э.К. Ковьев, М.В. Ковальчук, З.Г. Пинскер. // Кристаллография, 19, 1062,1974.

77. М.В. Ковальчук Э.К. Ковьев, A.B. Миренский, Ю.Н. Шилин. // Приборы и техника эксперимента, №4, 203,197.

78. Травление полупроводников. Перевод с английского С.Н. Горина. // М. «Сов. Радио», 1968.

79. V.G. Kohn, I. Snigireva, A. Snigirev. // Phys. Stat. Sol. В 222,407 (2000).

80. В. Г. Кон. // ЖЭТФ 124, 224, (2003).

81. М.А. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник.// М. "Наука", 1982 г.

82. В.Г. Кон. // ФТТ, т. 13, в. 10, с.2974-2981 (1971).

83. Abrosimov N.V., Rossolenko S.N., Alex V. et al. // J.Cryst.Growth. 166, 657 1996.

84. Шулаков Е.В.ДЛехтман В.Ш., Хасанов C.C. и др. // Поверхность. №1. 92,1999.