ОЖЕ-спектроскопия высокого энергетического разрешения соединений азота тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИИ И ТОНКАЯ СТРУКТУРА КУУ ОЖЕ-СПЕКТРОВ (Литературный обзор).II

§ I.I. Физические основы метода оже-спектроскопии.II

§ 1.2. Тонкая структура КУУ оже-спектров азота и других легких элементов

§ 1.3. Интерпретация спектров валентных ожепереходов . . . *.

§ 1.4. Постановка задачи исследования

ГЛАВА П. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ.

§ 2.1. Измерение оже-спектров твердых тел.

§ 2.2. Обработка экспериментальных оже-спектров

ГЛАВА Ш. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СИММЕТРИИ Iой КООРДИНАЦИОННОЙ СФЕРЫ И ПРИРОДЫ ЛИГАНДОВ ОКРУЖЕНИЯ АЗОТА НА ОЖЕ-СПЕКТР.

§ 3.1. Оже-спектры линейных частиц -X = N

§ 3.2. Оже-спектры тригональных частиц

§ 3.3. Оже-спектры тетраэдрических частиц

§ 3.4. Оже-спектры азота поликристаллических H3NCH3CI, H3NOHCI и (NH2)2CS

§ 3.5. Влияние природы лигандов 2ой КС на оже-спектр азота

§ 3.6. Обсуждение результатов главы Ш

ГЛАВА 1У. ИНТЕРПРЕТАЦИЯ N (КУУ) ОЖЕ-СПЕКТРОВ.

§ 4.1. Формализм расчета оже-энергий и вероят ностей оже-переходов

§ 4.2. Расчет оже-спектра азота NH^CI.

§ 4.3. Расчет оже-спектра азота KNOg.

§ 4.4. Расчет оже-спектра азота HCN.

Среди методов анализа поверхности твердых тел, используемых в настоящее время для решения задач физики металлов и полупроводников, физической электроники, химической технологии, катализа важную роль играет оже-спектроскопия. Достоинствами этого метода являются: высокое пространственное разрешение (~100 нм), возможность проведения элементного анализа, хорошая "поверхностная" чувствительность (~ 1-3 нм) [1-4]. В последнее время получило развитие новое направление этого метода, основанное на эффекте Оже с участием валентных электронов, - оже-спек-троскопия высокого энергетического разрешения. Тонкая структура спектров валентных оже-переходов содержит информацию об электронном строении вещества, которая в некотором смысле аналогична получаемой из ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии, но в то же время, поскольку в валентных оже-переходах участвуют также и электроны внутренних уровней, содержит элементную характеристичность, свойственную рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Участие внутренних атомных электронов в оже-переходах определяет некоторую пространственную локализованность оже-процесса, что отражается, например, в большей чувствительности оже-спектра к строению и природе окружения атома, претерпевающего оже-распад.

Однако при интерпретации оже-спектров, в частности, КУУ оже-спектров ооединений легких элементов, используется ряд приближений, которые можно разделить как относящиеся к описанию оже-процесса, так и к описанию электронной структуры вещества, атомы которого участвуют в оже-распаде. Теорию оже-процесса с участием валентных электронов для многоатомных систем нельзя считать завершенной, поскольку предсказать в каждом конкретном случае связь тонкой структуры оже-спектра с электронным строением вещества, в частности, с потенциалами ионизации, электронной плотностью состояний, в настоящее время невозможно. В этой связи использование экспериментальных методов исследования тонкой структуры оже-спектров для решения задач изучения электронного строения веществ является особо важным. В теоретическом плане остаются невыясненными границы применимости одноэлектронного, одноцен-трового приближения описания континуальной волновой функции оже-электрона, приближения "замороженных" орбиталей, в то же время использование этих приближений в ряде случаев дало хорошее согласие расчетных и экспериментальных оже-спектров [5-8]. Однако р необходимо учитывать то, что согласно "кореляционной" модели [10-15] оже-спектр проявляет атомноподобные черты и не связан с электронной плотностью состояний в тех случаях, когда энергия взаимодействия вакансий в конечном состоянии системы, после оже-процесса больше резонансного интеграла.

В настоящее время широкое применение находят азотсодержащие покрытия и пленки, обладающие рядом важных физико-химических свойств. Возникают вопросы целенаправленной их разработки. Это требует изучение структуры покрытий, в том числе и электронной. Как следствие этого необходимо привлечение экспериментальных методов с хорошей "чувствительностью" к электронному строению поверхности. Оже-спектроскопия высокого энергетического разрешения обладает такими возможностями. Однако исследования оже-спек-тров высокого энергетического разрешения стали проводиться сравнительно недавно, а объем полученных данных в настоящее время явно недостаточен для понимания закономерностей формирования тонкой структуры КУУ оже-спектров многоатомных систем. Так, например, работы по определению параметров (интегральная интенсивность, энергия, полуширина) компонент тонкой структуры N (КУУ) оже-спектров твердых тел к началу выполнения диссертационной работы практически отсутствовали. Поэтому измерение оже-спектров азота высокого энергетического разрешения и изучения связи параметров их тонкой структурыуэлектронным строением твердых тел является, несомненно, актуальным.

Цель работы состояла в установлении связи электронной плотности состояний с экспериментально определяемыми параметрами тонкой структуры N(КУУ) оже-спектров твердых тел. Для этого: I) разработаны методы определения параметров компонент тонкой структуры оже-спектров; 2) проведены измерения N(КУУ) оже-спе-ктров высокого энергетического разрешения широкого класса азотсодержащих соединений известного строения и выяснено влияние строения и природы окружения азота на его оже-спектр; 3) проведена интерпретация тонкой структуры измеренных спектров с помощью квантово-механических расчетных методов, а также с помощью данных, полученных другими спектральными методами; 4) определены и интерпретированы распределения атомных парциальных зарядов в нитридах, имеющих важное научное и прикладное значение.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, двух приложений и списка литературы.

ВЫВОДЫ

1. Установлено, что N(КУУ) оже-спектры значительно трансформируют свою форму и структуру при изменении ближайшего окружения азота, соответствующего линейной, тригональной, тетраэдрической и октаэдрической координации, а факторами наиболее влияющими на оже--спектр являются симметрия ближайшего окружения азота, природа ли-гандов, образующих химическую связь с азотом, и количество участвующих в химической связи с ним электронов.

2. Из сопоставления расчетных и экспериментальных N(КУУ) оже-спектров NH^CI, KN03, K^EetCN)^ показано, что одноэлектроное, одноцентровое приближения и приближение замороженных орбиталей, примененных в квантовомеханическом расчете оже-спектров, являются для этих систем достаточно точными.

3. Сопоставление экспериментальных оже-спектров азота поликристаллических NH^X, где X = CI, В г, 2 SO4, ВЕ4, с расчетными спектрами кластеров NН^*, NН4, NH^" и NH^CI показало, что минимальный модельный кластер, правильно описывающий тонкую структуру спектра, является стехиометрическим и определяется требованием наиболее точного описания электронной локальной плотности азота.

4. Установлено, что параметры тонкой структуры КУУ оже-спект-ра бора и азота BNp и BN^, азота )(н£азы Ce^N коррелируют с электронными плотностями состояний валентных зон, а определенные из оже-спектров атомные парциальные заряды численно характеризуют химическое взаимодействие между атомами этих соединений.

5. Показано, что электронные состояния азота в У'--фазе Се^М и имплантированного в £е являются близкими к друг другу и что в ряду соединений азота с £е, Со, N i и Си, полученных имплантацией азота в металлы, происходит относительное увеличение азотного атомного парциального заряда зоны проводимости. Это коррелирует с уменьшением химической устойчивости этих соединений.

6. На основе решения кинетического уравнения Больцмана в приближении тонкого слоя изучено влияние неупругого рассеяния оже-электрона и показано, что возможно приближенное определение иистинной" формы спектра из экспериментальных данных.

Основной материал диссертации изложен в следующих работах;

1. Михайлов Г.М., Бородько Ю.Г. Исследование формы (КУУ)-оже-линий азота в некоторых азотсодержащих соединениях. - Поверхность. Физика, химия, механика. 1982, № б, 85-90.

2. Михайлов Г.М., Бородько Ю.Г. Идентификация состояния азота по форме оже-линии. - Всесоюзная шкала по физике, химии и механике поверхности. Нальчик 1981 г. с. 141.

3. Михайлов Г.М., Бородько Ю.Г. Влияние химических эффектов на параметры оже-спектров. - 1У семинар специалистов социалистических стран по электронной спектроскопии. Москва, 1982 г., с. 39.

4. Mikhailov G.M»,Gutsev G.L«,Borodko Yu.G. An application of SCP DV-X, method to calculation of energies and oL intensities for NH^Cl Auger spectra.

Chem,Pliys,Lett.1985» pp.70-76,

5. Михайлов Г.М., Влияние рассеяния электронов на форму оже-и РФ-спектров. - Восьмая всесоюзная конференция по локальным рен-тгено-спектральным исследованиям и их применению. Черноголовка, 1982 г., с. 72-74.

6. Михайлов Г.М., Гуцев Г.Л., Бородько Ю.Г. - Оже-спектры высокого разрешения N(КУУ) и их расчет дискретно-вариационным Х^ -методом. - Ж.химич.физика 1984, т. 3, № 5, с. 672-679.

АЧ2

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Результаты проведенных исследований, изложенные в диссертацией, позволили установить связь структуры оже-спектров азота с его электронной локальной плотностью состояний.

Обнаруженные закономерности изменения формы спектров могут быть использованы для характеристики его химических связей, а также для классификации электронного состояния. Анализ факторов, определяющих форму спектра, показал, что преобладающее влияние оказывает природа лигандов ближайшего окружения и в меньшей степени - второй координационной сферы. Кроме этого влияние на форму оже-спектра оказывает количество электронов, участвующих в химической связи с азотом, и природа лигаццов его окружения. Вопрос о влиянии окружения азота на его оже-спектр оказался близок по сути к вопросу о выборе минимального кластера, наиболее полно описывающего электронную локальную плотность азота.

Исследование ионных азотсодержащих соединений, соответствующих sp» sp*" и sp3 гибридизации азота, позволило выявить качественную связь N(КУУ) оже-спектров с электронным строением этих соединений. Для установления количественной связи необходимо было провести прямое сопоставление экспериментальных данных с оже-спе-ктрами, рассчитанными в одноэлектронном, одно центровом приближении, и в приближении «замороженныхи орбиталей, либо с локальной плотностью состояний азота, полученной, например, из рентгено--эмиссионных данных. Это сопоставление показало, что для поликристаллических NH^CI, KN03 и для ^«фазы Pe^N, а также для тех классов соединений, которые имеют подобные им оже-спектры, использованные приближения оказались достаточно точными. В связи с этим были использованы расчетные формулы вероятности оже-переходов для решения обратной задачи по определению коэффициентов МО ЛКАО, а формулы энергий оже-переходов - для связи с потенциалами ионизации. Тем самым удалось получить количественную информацию из экспериментальнфпределенных параметров тонкой структуры оже-спектров.

В то же время обнаружено, что высокоэнергетические оже-пики цианидов, в противоположность низкоэнергетическим, не могут быть объяснены, исходя из локальной электронной плотности азота в основном состоянии. Их происхождение связано либо с релаксационными, либо с многочастичными эффектами.

Последнее обстоятельство показывает, что необходимо с определенной осторожностью подходить к использованию тонкой структуры оже-спектра для характеристики электронного состояния. В этой связи целесообразно проводить классификацию оже-спектров по их форме, применяя свойство подобия и используя имеющееся отнесение тонкой структуры оже-спектра для данного класса соединений.

В целом, проведенные исследования позволяют утверждать, что параметры тонкой структуры N(КУУ) оже-линий широкого класса азотсодержащих соединений могут быть использованы для получения количественной информации о локальной электронной плотности состояний.

1. Карлсон Т.А, Фотоэлектронная и оже-спектроскопия./Пер .Бры-това И.А. и др./Л. Машиностроение, 1981.

2. Парилис Э.С. Эффект Оже.-Ташкент:ФАН,1969, Зс.

3. Матвеев В.И.,Парилис Э.С. Встряска при электронных переходах в атомах.-Успехи физических наук 1982 т.138,вЛ,с.573-602.

4. Ed.Czanderna A.W. Methods of surface analysis. Amsterdam, 1974, 51 p.

5. Agren H. On the interpretation of molecular valence Auger spectra.- J.Chem.Phys. 1981, v.75,n.3,p.p.1267-1 283.

6. Ortenburger I.B.,Bagus P.S. The oretical analysis of Auger spectrum of CH^.-Phys.Rev. A 1975,v.11,n.5,pp.1501-1503

7. Jennison D.R. The calculated of molecular and cluster Auger spectra.-Chem.Phys.Lett.1980,v.69,n.3,pp.435-440.

8. Jennison D.R. Auger line shape analysis of molecules and solids. -J.Vac.Scien.Technol. 1980,v.17,n.1,pp. 172-175.

9. Mikhailov G.M.,Gutsev G.L.,Borodko Yu.G. An application of SCP DV-X^method to calculation of energies and intensities for NH^CL Auger spectra.-Chem.Phys.Lett.1983,v.93,n.1,pp. 70-76.

10. Cini M. Two hole resonances in the XW Auger spectra of solids.- Solid Stat.Commun. 1977,v.24,pp.681-684.

11. Sawatzky G.A. Quasiatomic Auger spectra in narrow-Band metals. Phys.Rev.Lett.1977,v.39,n.8,pp.504-507.

12. Sawatzky G.A.,Lenselink A. Auger line shape in narrow-band metals.-Phys.Rev.В 1980,v.21,n.5,pp.1790-1796.

13. Jennison D.R.,Kelber J.A.,Rye R.R. Summary abstract: Localized Auger final states in covalent systems.-J.Vac.Science. Technol. 1981,v.18,n.2,pp.466-467.- 149

14. Bunlap В.I.,Houston E.L.,Ramaker D.E. Auger line shapes of solid surfaces atomic,bandlike,or something else?-Vac.J. Science Technol.1981,v.18,n.2,pp.556-560.

15. Thomas T.D.,Weightman P. Localized states in molecular Auger spectra.-Chem.Phys.Lett.1981,v.81,n.2,pp.325-329.

16. Auger P.Sur Ledutde Experimentale des Directions D*Emission des Photo-Electrons.-Сотр.Rend.Acad.Scien.1925,v.180,p.1939-1941.

17. Электронная спектроскопия./Зигман К.,Нордлинг К.,Фальман А. и др./- М.:Мир,1971, 78 с.

18. Трейси Д.К*,Баркстред Д»М. Новое в исследовании поверхности твердых тел.-М.:Мир, 1977,в.2,стр.83-103»

19. Tarn M.L.,Wehner G.K. Escape length of Auger electrons.-J. Appl.Phys.1973,v.44,n.4,pp.1534-1540.

20. Ершова Т.П.,Кораблев B.B., Морозов Ю.А. Зависимость глубины выхода упругоотраженных электронов от энергии.-Физика твердого Тела, 1980,т.22,в.7,стр.2199-2201•

21. Madden Н.Н.,Houston J.E. KW Auger spectrum of oxidized lit-hium.-J.Vac.Science Technol.1977,v.14,n.1,pp.412-415.

22. Ramaker D.E.,Murday J.S.,Turner U.H. Extracting Auger line shapes from experimental data.-J.Electron.Spectr.Rel.Phenom. 1979,v.17,pp.45-65.

23. Sichafus E.N.,Kukla C. Linearized secondary electron cascades from the surface of metals.III.Line-shape synthesis.-Phys.Rev.B 1979,v.19,n.8,pp.4056-4068.

24. Matthev J.A.D.,Underfill P.R. The use of electron loss data as unit impulse response function in deconvolution of electron spectra.-J.Electron.Spectr.Rel.Phenom.1978,v. 1 4,pp.371-377.- 150

25. Восьмая всесоюзная конференция по локальным рентгеноспект-ральным исследованиям и их применению./1982г./. Влияние рассеяния электронов на форму оже- и РФ-спектров./ Михайлов Г.М.-Черноголовка: ОИХФ АН СССР, стр.72./

26. Meyer F.,Vrakking J.J. Quntitave aspects of Auger electron spectroscopy.-Surface Sci.1972,v.33,n.2,pp.271-294.

27. Palmberg P. Quantitative Auger electron spectroscopy using elemental sensetivity factors.-J.Vac.Science Technol.1976, v.13,n.1,pp.214-218.

28. Chang C.C. General formalism for quatitative Auger analysis.-Surface Sci.1975,v.48,n.1,pp.9-21.

29. Davis L.E.,Mac-Donald N.C.,Palmberg P.W.,Riach G.E.,Weber R.E.Handbook of Auger electron spectroscopy. Minnesota,Physical Electronics Industries Inc. 1976,252р.

30. Hall P.M.,Morawito J.M.,Gonley D.K. Relative sensetivity factors for quantitative Auger amalysis of binary alloys.-Surface Sci.1977,v.62,n.1,pp.1-20.

31. Holloway P.H. Quantitative Auger electron analysis of homogeneous binary alloys: Cromium in Gold.-Surface.Sci.1977, v.66,n.2,pp.479-494.

32. Hall P.M.,Morabito J.M.,Quantitative Auger analysis of Gold-Copper-Oxygen and Gold-Nickel-Oxygen Surfaces using relative sensetivity factors.-Surface Sci.1977,v.67,n.2,pp.373-392.

33. Горелик В.А.,Протопопов О.Д. Количественная оже-спектроско-пия гомогенных систем.Обзоры по электронной технике,сер.7, в.18, М.:Электроника, 1978, с.594j

34. Барбаров М Ю.,Горелик В.А.,Протопопов О.Д. Метод матричных поправок в количественной оже-спектроскопии. Тез.док.Всесоюзного симпозиума "Применение электронной микроскопиив электронной технике",М.: 1978, 31с.

35. Горелик В.А.,Кудинова Л.Б.,Ногаллер В.А.,Протопопов 0;Д. Количественная оже-спектроекопия на базе системы спектрометр-ЭВМ. Тез.док.ХУП Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике.-Л.:ЛПИ,ЛФТИ,1978,с.306.

36. Jablonsky A. Estimation of backscattering factor for low atomic number elements and their alloys.-Surface Sci.1978, v.74,n.3,pp.621-635.

37. Горелик B.A. Формализация метода количественной электронной оже- спектроскопии.-Электронная промышленность,1979,II,с.47-52.

38. Барбашов М.Ю.,Горелик В.А.,Протопопов О.Д. Фактор обратного рассеяния в количественном оже-спектроскопии.-Изв.АН СССР, сер.физ.1981,т.45,№7, с.1349-1352.

39. Кораблев В.В. Электронная оже-спектроскопия.-Л.:ЛПИ,1973.

40. Гомоюнова М.В. Вторично-эмиссионная сппктроскопия поверхности твердого тела.-Ж.технической физики, 1976,т.46,в.6, с.1137-1170.

41. Емельяненко Д.Г.,Запороженко В.И.,Канцель В.В. Электронная оже-спектроскопия как метод исследования поверхности полупроводников и металлов. В сб.Микроэлектроника и полупрс» водниковые приборы.-М.Советское радио, 1978,в.3,с.264-279.

42. Kowalczyk S.P.,Pollak R.A.McFeely F.R.,Ley L.,Shirley D.A. L23M45M45 Au&er spectra of metallic Copper and Zink: Theory and Experiment.-Phys.Rev.В 1973,v.8,n. , pp.2381-2391.- 152

43. Kowalczyk S.P.,Pollak P.A.,McFeely P.R.,Ley L.,Shirley D.A.-Relative effects of extra-atomic relaxation on Auger and binding energy shifts in transition metals and salts .-Phys. Rev.В 1974,v.9,n.2,pp.381-391.

44. Kim K.S.,Gaarstroom S.W. ,Winograd N. L^Mg^Mg-^ Auger energies of metallic Ni,Cu,and Zn:Influence of 3d-4s admixed screening on calculating relaxation energies.-Phys.Rev.В 1976,v.14,n.6,pp.2281-2286.

45. Okland M.T.,Paegry K.,Manne R. Calculated Auger emission spectrum of ammonia.-Chem.Phys.Lett. 1976,v.40,n.1,pp.185-189.

46. Siegbahn H.,Asplund L.,Kelfve P. The Auger electron spectrum of water vapour.-Chem.Phys.Lett.1975,v.35,n.3,pp.330-335.47» Paegri K.,Kelly H.P. Calculated Auger transition rates for HP.-Phys.Rev.A 1979,v.19,n.4,pp.1649-1655.

47. Thomas T.D. Extra-atomic relaxation energies and the Auger parameter.-J.Elec tron.Spec tr.Rel.Phenom. 1980,v.20,pp.117-125.

48. Lang N.D.,Williams A.R. Theory of Auger relaxation energy in metal.-Phys.Rev. В 1979,v.20,n.4,pp.1369-1376.

49. Wagner C.D. A new approach to indentifying chemical states, Comprising combined use of Auger and photoelectron lines.-J.Electron.Spectr.Rel.Phenom. 1977,v.10,pp.305-316.

50. Wagner C.D.,Gale L.M.,Raymond R.H. Two-dimentional chemical state plots: A standardized data set for use in identifying chemical states by X-ray photoelectron spectroscopy,-Anal.Chem.1979,v.51,n.1,pp.466-482.- 153

51. Bahl M.К.,Watson R.L. ,lrgolic K.J. M^^U Auger spectra of tellurium and some of its compounds.-J. Chem.Phys.1978,v.68, n.7,pp.3273-3278.

52. Aitken E.J., Bahl M.K.,Bomben K.D. Gimzewsky J.K.,Nolan G,S. Thomas T.D. Electron spectroscopic investigations of the influence of initial and final state effects on electro-nega-tivitу.-J. Amer.Chem.Soc.1980,v.102,n.4,pp.4873-4879.

53. Banbynek W.,Graseman B.,Pink R.W. Freund H.U.,Mark H.,Swift C.D.,Price R.E.,Rao P.V. X-ray fluorescence yields, Auger, and Coster-Kronig transition probabilities.-Rev.Modern Phys. 1972,v.44,n.4,pp.716-813.

54. Moddeman W.E.,Carlson T.A.,Crause M.0.,Pullen B.P.,Bull W.E. Schweitzer G.K. Determination of the K-LL Auger spectra of N2,02,C0,M),H20 and C02.-J.Chem.Phys 1971,v.55,n.5,pp.2317-2336.

55. Umbach E. ,Kulkarni S.,Feulner P. ,Menzel D. A toultimethod study of the adsorbtion of NO on Ru (001).I.XPS,UPS and XAES measurments.- Surface Sci. 1979,v.88,n.1,pp.65-94.

56. Fuggle J.C.,Umbach E.,Kakoshke R.,Menzel D. High-resolution Auger spectra of adsorbates.-J.Electron Spectr.Rel.Phenom. 1982,v.26,pp.111-132.

57. Kawai T.,Kunimory K.,Kondow T.,0nishi T.,Tamaru K. High resolution measurments of the nitrogen K-LL Auger transitions of chemisorbed Ammonia on a Molebdenum surface.-Phys.Rev. Lett.1974,v.33,n.9,pp.533-536.

58. Tamaru K. Developments in Ammonia sinthesis and decomposition on metals. In: New trends in the chemistry of Nitrogen , fixation. Acad.Press,London,1980,pp.15-70.- 154

59. Cambell С.Т.,Rogers J.W., Hance R.L.,White J.M. Auger Spectra of Ammonia and oxidized aluminium.-Chem.Phys.Lett.1980, v.69,n.3,pp.430-434.

60. Kunimori K.,Kawai Т., Kondow T.,0nishi Т., Tamaru K. Chemical effects of the Nitrogen K-LL Auger spectra of chemisor-bed N2 on Fe ^^ Mo surfaces.-Surface Sci. 1976,v.54,n.2, pp. 525-536.

61. Sickafus E.N. ,Steinrisser i1. Auger line shape comparison of. N and s in two different enviroment.-Vac.Science Thecnol. 1973,v.10,n.1,pp.43-46.

62. Tibbetts G.G., Burkstrand J.M.,Tracy J.C. Electronic properties of adsorbed layers of Nitrogen, Oxvgen, and Sulfur on Copper (100).-Phys.Rev.B 1977,v.15,n.8,pp.3652-3660.

63. Roman E.,Riwan R. Ionic implantation of N^ in Ni (100) at 300K. Surface Sci. 1982,v.118,n.2,pp.682.696.

64. Salmeron M.,Baro A.M. Interatomic Auger processes in some adsorbates on transition metals.-Surface Sci. 1975,v.49,n.1, pp.356-362.

65. Tibbetts G.G.,Barkstraund J.M. Electronics properties of adsorbed layers of Nitrigen,Oxygen, and Sulfur on Silver (111). -Phys.Rev.В 1977,v.16,n.4,pp.1536-1541.

66. Larkins P.P.,Lubenfeld A. The Auger spectrum of solid Ammonia.-J.Electron Spectr. Rel.Phenom. 1979,v.15,pp.137-144.

67. White J.M.,Rye R.R.,Houston J.E. Experimental Auger spectrum of Ammonia.-Chem.Phys.Lett.1977,v.46,n.1,pp.146-150.

68. Rye R.R.,Houston J.E. Auger spectra of Methyl Cyanide and compounds.-J.Chem.Phys. 1981,v.75,n.5,pp.2085-2090.j- 155

69. Hutson P.L.,Ramaker D.E.,Dunlap B.I.,Gargei J.D.,Murday J.S. Interpretation of the Nitrogen KW Auger line shape from alkali metal nitrates.-J.Chem.Phys. 1982,v.76,n.5,pp.2181-2190.

70. Михайлов Г.М.,Бородько Ю.Г. Исследование формы КУУ оже-линии азота в некоторых азотсодержащих соединениях.-!.Поверхность, физика,химия,механика,1982,№6,с.85-90.

71. Puggle J.C. Electron spectroscopy,theory,techniques and applications: IV,Academic Press,New York,1981,85p. /.Ed.Brund-le C.R., Baker A.D./

72. Pepper S.V. Electron spectroscopy of the diamond surface.-Appl.Phys.Lett.1981,v.38,n.5,pp.344-346.

73. Smith Ш.А.,Levenson L.L. Pinal State effects in carbon Auger spectra of transitional metal carbides.-Phys.Rev.В 1977 v.16,n.4,PP.1365-1369.

74. Мацкевич Т.JI.,Казанцев А.П. Электронный оже-спектр карбида цирк ония.-физ.тве рдого те ла,1978,т.20.tell,с.3365-33 70.

75. Холин Н.А. Исследование закономерностей роста и свойств углеродной пленки на иридии методом электронной оже-спектрос-к опии.-Авт.реф.к.ф.м.н.,Ленинград, 1981г.

76. Murdey J.S.,Dunlap B.I.,Hutson F.L.,Oelhafen P Carbon KW Auger line shape of graphite and stage-one Cesium and Lithium .„tercalated graphite.-Phys.Rev. В 1981,v.24,n.8, pp. 4764-4770.

77. Plummer E.W.,Salaneck W.R.,Miller J.S. Photoelectron Carbo-nyl complexes:comparison with the spectra of adsorbed CO.-Phys.Rev.B 1978,v.l8,n.4,pp.1673-1701.

78. Jennison D.R.,Stucky G.D.,Rye R.R.,Kelber J.A. Analysis of transitional-metal Carbonil Auger line shape.-Phys.Rev.Lett. 1981,v.46,n.14,pp.911-914.

79. Koel B.E.,White J.M.,Loubriel G.M. C(KVV) Auger line shape of chemisorbed CO.-J.Chem.Phys.1982,v.77,n.5,pp.2665-2669.

80. Rye R.R.,Jennison D.R.,Houston J.E. Auger spectra of alkans. -J.Chem.Phys. 1980,v.73,n.10,pp.4867-4874.

81. Maden H.H.,Houston J.E. KW Auger spectrum of oxidized Li-thium.-J.Vac.Science Technol. 1977,v.14,n.2,pp.412- 157

82. Всесоюзная школа по физике,химии и механике поверхности /1981/. /Тез.док.Идентификация состояния азота по форме оже-линии.Михайлов Г.М.,Бородьк оЮ.Г.-Нальчик, Д1У, с. Ш. /

83. Rye R.R.,Houston J.E.,Jennison D.R.,Madey Т.Е.,Holloway P.H. Chemical information in Auger Spectroscopy.-Ind.Eng.Prod.Res. Dev.1979,v.18,n.1,pp.1-7.

84. Weissman R.,Muller R. Auger electron spectroscopy-a local probe for solid surfaces.-Surface Sci.Rep. 1981,v.105, pp. 251-309.

85. Гомоюнова М.В. Электронная спектроскопия поверхности твердых те л.-Успехи физ.наук,1982, т. 136, в. I, с.105-148.

86. Madden H.H. Auger line shape analysis.-Surface Sci. 1983,v. 126,n.n.1-3,pp.80-100.

87. Jennison D.R. Copper M-jW Auger line shape.-Phy3.Rev. В 1978, v.18,n.12,pp.6996-6998.t

88. Jeimison D.R.,Kelber J.A.,Rye R.R. Localized Auger final states in covalent systems.-Phys.Rev.В 1983,v.25,n.2,pp.1384-1387.

89. Weightman P.,Thomas T.D.,Jennison D.R. KW Auger spectrum of F2.-J.Chem.Phys.1983,v.78,n.4,PP.l652-l662.e101 .Lander J.J. Auger peaks in the eriirgy spectrum of secondary electrons from various materials.-Phys.Rev. 1953,v.91,n.6, pp.1382-1387.

90. Feibelman P.J.,McGuire E.J.,Pandey K.C. Theory of valence-band Auger line shapesjldeal Si(111),(100).-Phys.Rev.B 1977, v.13,n.4,PP.2202-2216.

91. Ramaker D.E.,Murday J.S.,Turner N.H.,Moore G.,Lagally M.G. Calculated and measured Auger line shape in SiO2.-Phys.Rev. В 1977,v.19,n.10,pp.5375-5387.

92. Ramaker D.E. Final-state rule for Auger line shapes.-Phys. Rev.В 1982,v.25,n.12,pp.7341-7351.

93. Михайлов Г.М.,Гуцев Г.Л.,Бородько Ю.Г. Оже-спектры высокого разрешения (КУУ) и их расчет дискретно-вариационным Х^-мето-дом.-Ж.химическая физика,1984,т.3,№ 5,с.672-679.

94. Jennison D.R.,Maden Н.Н. Initial screening effects in metal Auger spectra: Be.-Phys.Rev.В 1980,v.21,n.2,pp.430-435.- 159

95. Jennison D.R. Initial-state relaxation effects in molecular Auger spectra.-Phys.Rev.A 1981,v.23,n.3,pp.1215-1222.

96. Dunlap B.I.,Ramaker D.E.,Murday J.S. Effects of screening on the Carbon KVV Auger line shape of alkali-metal-intercalated graphite.-Phys.Rev.В 1982,v.25,n.10,pp.6439-6446.

97. Kvalheim O.M.,Eagri K. Correlation effects in the Auger spectra of hydrogen fluoride and neon.-Chem.Phys.Lett.1979 v.67,n.1,pp.127-133.

98. Agren Ha.Siegbahn H. Semiinternal correlation in the Auger electron spectrum of H20.-Chem.Phys.Lett.1980,v.69,n.3,pp. 424-429.

99. Agren H.,Siegbahn H. Many-electron contributions in the Auger spectrum of CO.-Chem.Phys.Lett.1980,v.72,n.3,pp.498-503.

100. Kelber J.A.,Jennison D.R.,Rye.R.R. Analysis of the Auger spectra of CO and C02.-J.Chem.Phys.1981,v.75,n.2,pp.652-662.

101. Bennet Р.А.,Fuggle J.C.,Hillebrecht F.U.,Lenselik A., Sawatzky G.A. Electronic structure of Ni and Pb alloys. III.Correlation effects in the Auger spectra of Ni alloys. -Phys.Rev.В 1983,v.27,n.4,pp.2194-2209.

102. Vos M.,Marel D.v.d.,Savatzky G.A. Auger line shape in alloys. -Phys. Re v. В 1984,v.29,n.6,pp.3073-3084. j119в Нефедов В.И., Содовский А.П., Мазалов-Л.Н., Салынь Я.В.,

103. Кравцова Э.А., Байер Л.,Сергушин Н.П. Электронное строениецианидов Cn~, Pe(cw)g~ u Pe(CN)|bno рентгеноэлектронным ирентгеноспектральным данным.-Ж.Координационной химии,1975, т.1, № 7,с.950-955.

104. Prins R.jBiloen P. Valence band photoelectron spectra of transition-metal Cyanides.-Chem.Phys.Lett.1975,v.30,n.3, pp.340-343.

105. Kaplunov M.G.,Shulga Yu.M.,Pokhodnya K.I.,Borodko yu.G. X-ray photoelectron spectra of quasi-one-dimentional conductors. -Phys. Stat. Solid. (b) 1976,v.73,n.1,pp.335-339.

106. Borodko U.G.,Kaplunov M.G.,Moravskaya T.M.,Pokhodnya.X-ray photoelectron spectra of single crystals of Tetracya-noquinodimethane and its salts.-Phys.Stat.Solid.(b) 1977, v.83,n.1,pp.K141-144.

107. McLean A.D. Structure of Ground State of HCN.-J.Chem.Phys. 1962,v.37,n.3,pp.627-630.

108. Wyatt J.F.,Hillier I.M.,Saunders V.R.,Connor J.A. On the electronic structur of some Nitrogen-containing molecules as studied by Ab Initio SCF MO calculations and high-energy electron spectroscopy.-J.Chem.Phys. 1971,v.54,n.12,pp. 5311-5315.

109. Kosuch N.,Tegeler E.,¥iech G.,faessler A.X-ray spectroscopic studies of the electronic structure of the oxyanions NOg,

110. N0" and CO^'.-J.Electron Spectr.Rel.Phenom.1978,v.13,PP. 263-272.

111. Долин С.П.,Дяткина M.E. Электронное строение окислов и ок-сианидов непереходных элементов.-Ж.Структурной химии,1972, т.13,с.966-967.

112. Siegbahn К.,Nordling O.K.,Gohansson G. and et.al. ESCA applied to free molecules. 1969,Amsterdam:North Holland,p.128.

113. Ландау Л.Д. О потерях энергий быстрыми частицами на ионизацию.-В км:Собрание трудов.т.I.-М.:Наука,1969, 482с.

114. Козлов И.Г. Современные проблемы электронной спектроскопии. -М.-Атомизд.,1978,97с.

115. Ramaker D.E.,Mumer N.H.,Turner N.H.,Moore G.,Legally M.G., Houston J. Calculated and measured Auger line shapes in Si02.-Phys.Rev.B 1979,v.19,n.10,pp.5375-5387.

116. Дункен Х.,Лыгин В. Квантовая химия адсорбции на поверхности твердых тел.-М.:Мир.1980,93с.

117. Займан Дж.Принципы теории твердого тела./Ред.пер.Бонч-Бруе-вич В.Л.-М.:Мир,1974, е./

118. Гуцев Г.Л.,Левин А.А. Исследование электронной структуры молекул самосогласованным дискретно-вариационным X -методом в базисе численных хартрн-фоковских функций.1.Общее описание процедуры.- Структурной химии, 1978, т.19, № 6, с. 976981.

119. Слэтер Дж. Методы самосогласованного поля для молекул и тверда тел.-М.:Мир. 1978, 79 с.

120. Ziegler 0?. ,Rauk A. ,Baerends Е. On the calculation of mul-tiplet energies by Hartree-Fock-Slater.method.-J.Iheor. Chim.Acta (Berl.) 1977,v.43,n.3,pp.261-271.

121. McGuire E.G. K-shell Auger transition rates and fluoren-cence yields for elements Be-Ar.-Phys.Rev. 1969,v.185,n.1 p.1

122. Structure Reports 1956,v.20,pp.236- 162

123. Poetti С.,Clementi E. Simple basis sets for molecular wave functions containing atoms from Z-2 to Z=54.-J.Chem.Phys.1974,v.60,n.12,pp.4725-4729.

124. Gutsev G.L.,Shulga Yu.M. ,Borodko Yu.G. The Discrete Variational X^-Method Interpretation of the С KW and Ti1. 3M2 ^V Auger Spectra of TiC.-Phys.Stat.Sol.(b) 1984,,v. 121,pp.595-601.

125. Франкевич И.Н. Дураковский E.A. Дурдшов А.В., Василенко H. Н. Экспериментальное исследование энергетического спектраи тонкого кристаллического строения вюрцитоподобной модификации нитрида бора. Докл.АН СССР, 1972, т. 203, № I, с.87-90.

126. Фомичев В.А. Исследование энергетической структуры бинарных соединений легких элементов методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии.-Авт.реф.к.ф.м.н. Л.:1968.

127. Фомичев В.А. Рентгеновские спектры и энэргетические схемы ВеО и В .-Физ.Твердого тела 1971,т.З,с.907-909.

128. Tegeler E.,Kosuch N.,Wiech G.,Faessler A.On the electronic structure of hexagonal Boron Nitride.-Phys.Stat.Solid, (b) 1979,v.21,pp.223-231.

129. Joyner D.R.,Hercules D.M. Chemical bonding and electronic structure of BgO^fH^BO^ and BN: Ад ESCA,Auger,SXS study.-J.Chem.Phys. 1980,v.72,n.2,pp.Ю95-1108.

130. Нахмансон M.С.,Смирнов В.П. Расчет зонной структуры гексого-нального нитрида бора методом ортогонолизированных плоских волн.-Физика твердого тела, 1971,т.З, с.905-906.- iea

131. Zunger A. A molecular calculation of electronic properties of layered crystal. I Trancated crystal approach to hexagonal Boron Nitride.-J.Phys.C.: Sol.Stat.Phys. 1974,v.7, pp.76-95.

132. Zunger A.,Katzir A.,Halperin A. Optical properties of hexagonal Boron Nitride.-Phys.Rev.В 1976,v.13,n.12,pp.5560-5573.

133. Алешин В.Г.,Смирнов В.П. Расчет эмиссионных рентгеновских спектров кубического В методом ОПВ./В сб.: Рентгеновские спектры и электронная структура вещества, Киев, 1969 с.314-328.

134. Майзель А.Деонхард Г.,Сарган Р. Рентгеновские спектры и химическая связь./ Ред.пер. Немошкаленко В.В., Киев: Наук. Думка,1981/.

135. Жураковский Е.А. Электронная структура тугоплавких соединений.-Киев: Изд. Наук.Думка,1976.

136. Нефедов В.И. Электронное строение свободных молекул и изолированных группировок в кристаллах по рентгено-спектраль-ным давлениям.- Ж. Структурной химии, 1972, т.13, Jfc 2, с. 352-372.

137. Нефедов В.И. Электронное строение некоторых газообразных веществ по рентгеноспектральным данным.-Ж.Структурной химии 1972,т.12, № 2, с.303-309.

138. Silver А.Н.,Bray P.J. NMR study of bonding in some solid Boron сompounds.-J.Chem.Phys. 1960,v.32,n.1,pp.288-294.

139. Mulliken R.S. Electronic population analysis on LCAO-MO molecular wave function.I.-J.Chem.Phys. 1955,v.23,pp. 1833-1840.j- 164

140. Лахтин Ю.М.,Коган Я.Д. Азотирование стали.—М.:Мапшнострое— ние, 1976,с.Ю.

141. Schwarz К.,Ripplinger Н.,Nevkel A Energy band structur and X-ray emission spectra of ZrC and ZrN.-Z.Phys.B-Condens Matt.1982,v.48,pp.79-87.

142. Калашников Н.П. ,Ремизович В.С.,Рязанов М.И. Столкновение быстрых заряженных частиц в твердых телах.М.: Атомизд., 1980,79с.

143. Щульман А.П.,Фридрихов С.А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела.М.:Наука,1977,II гл.

144. Resmukh P.C.,Hayes R.G. MS X calculations on the valence Auger spectrum of CO.-Chem.Phys.Lett.1982,v.88,n.4,pp.384-387.

145. Tse J.S. Calculation of multiplet structures in shake up by the X methods.-J.Chem.Phys. 1980,v.73,n.11,pp.5734-5738.

146. Higashi M. ,Hiroike E. ,lTakajima T. Calculations of the Auger transition rates in molecules.I.Effects of nonspherical potential: Application CH^.-Chem.Phys.1982,v.68,n.3,p.377-382.

147. Dunlap В.I.,Mills P.A.,Ramaker D.E. A semiempirical X^ -calculation of the KW Auger line shape of 02«-J.Chem.Phys. 1981,v.75,n.1,pp.300-307.

148. Higashi M.,Hiroike E.,Nakajima T. Calculations of the Auger transition rates in CH^,II.Effect of the exchange interacti1.on.-Chem.Phys.1984,v.85,n.1,pp.133-137.