Процессы хемоионизации при парных столкновениях возбужденных атомов в бестоковой плазме инертных газов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.05 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ. . ;.

Глава I. ЭЛЕМЕНТАРНЫЕ ПРОЦЕССЫ С УЧАСТИЕМ МЕТАСТАБИЛЬШХ АТОМОВ И МОЛЕКУЛЯРНЫХ ИОНОВ В ПЛАЗМЕ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ. Обзор литературы.

§ Iii. Элементарные процессы образования и гибели заряженных частиц в бестоковой плазме инертных газов.

§ I,2i Методы и результаты исследования процессов хемо-ионизации при парных столкновениях метастабильных частиц инертных газов.

Глава 2. ОПТИЧЕСКИЕ И 30НД0ШЕ ИССЛЕДОВАНИЯ УСЛОВИЙ ОБРАЗОВАНИЯ БЕСТОКОВОЙ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В ИНЕРТНЫХ ГАЗАХ;

§ 2,1^ Оптические исследования заселенности нижних возбужденных состояний атомов инертных газов в плазме импульсного высокочастотного разряда.

§ 2.2. Контроль за образованием и уничтожением заряженных частиц в бестоковой плазме импульсного нано-секундного ВЧ разряда по свечению спектральных линий атомов инертных газов.

§ 2i3. Определение концентрации заряженных частиц и температуры электронов в бестоковой плазме инертных газов.

Глава 3. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ИОННОГО СОСТАВА ПЛАЗМЫ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИ

ЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В ИНЕРТНЫХ ГАЗАХ.

§ 3.1. Основные принципы масс-спектрометрической диагностики плазмы по массам заряженных частиц. • ••••••

§ 3.2. Определение ионного состава плазмы методом масс-спектрометрического анализа потока ионов на стенку разрядной трубки;

§3.3. Экспериментальная установка для масс-спектрометрической диагностики плазмы.

Глава 4. МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНОГО РАЗРЯДА ЧЕРЕЗ ИНЕРТНЫЕ ГАЗЫ.

§ 4.1. Ионный состав плазмы импульсного униполярного и

СВЧ разряда в гелии.

§ 4.2. Ионный состав плазмы импульсного высокочастотного разряда в инертных газах.

§ 4.3. Ионный состав плазмы импульсного наносекундного высокочастотного разряда в инертных газах.

§ 4.4, Исследование энергетического распределения ионов, попадающих на стенку разрядной трубки в бестоковой плазме импульсного наносекундного разряда через инертные газы.

Глава 5. ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОНСТАНТ СКОРОСТИ АССОЦИАТИВНОЙ И ПЕННИНГОВСКОЙ ИОНИЗАЦИИ ПРИ ПАРНЫХ СТОЛКНОВЕНИЯХ ВОЗБУЖДЕННЫХ АТОМОВ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ НА ОСНОВЕ КОМПЛЕКСНОГО АНАЛИЗА БЕСТОКОВОЙ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНОГО ВЧ РАЗРЯДА.

§ 5Л. Анализ кинетики развития и распада бестоковой плазмы импульсного наносекундного разряда через инертные газы.

§ 5.2. Определение коэффициентов ветвления реакции хемо-ионизации при парных столкновениях метастабильных атомов гелия, неона и аргона.

Реакции с участием возбужденных атомов и молекулярных ионов инертных газов в плазме газового разряда привлекают внимание исследователей в силу их существенного влияния на характеристики плазмы. Они во многом определяют энергетический баланс плазмы и скорости электрокинетических и химических процессов в ней. Многие практические приложения низкотемпературной плазмы инертных газов основаны на использовании процессов с участием возбужденных атомов. К ним, в первую очередь, следует отнести процессы, приводящие к созданию инверсной заселенности в лазерах на основе чистых инертных газов и газовых смесей [ I] .

Особый интерес представляют процессы с участием атомов инертных газов, находящихся в нижних возбужденных состояниях. Часть уровней нижних возбужденных состояний атомов инертных газов является метастабильными, а излучающие уровни в плазме, как правило, ведут себя как метастабильные, что связано с пленением резонансного излучения в плазме и эффективным перемешиванием уровней нижних возбужденных состояний электронами.

Одним из основных каналов разрушения метастабильных атомов являются процессы хемоионизации при парных столкновениях с их участием. Протекание таких процессов может приводить к немонотонному временному ходу спада концентрации заряженных частиц после окончания активной стадии импульсного разряда в инертных газах. Учитывая высокую эффективность процессов образования заряженных частиц при хемоионизации в определенных условиях, необходимо рассматривать не просто распад плазмы импульсного разряда в инертных газах, а образование и распад бестоковой плазмы после окончания импульса возбуждения в газе. Бестоковая плазма импульсного разряда через инертные газы находит все большее применение в различных областях науки и техники, что и определяет актуальность темы диссертации.

Проведение всесторонних исследований реакций хемоионизации при парных столкновениях возбужденных атомов инертных газов усложняется тем, что они приводят к образованию различных по своей природе ионов. Процесс ионизации с образованием атомного иона инертного газа принято называть ионизацией Пеннинга:

X* + X* —- + X

ПИ)

Такая схема протекания процесса была предложена в [з] .

Наряду с этим в[~2] обсуждалась ассоциативная ионизация при парных столкновениях возбужденных атомов инертных газов:

X* + X*-- XI + е (АИ)

Конечным продуктом этого элементарного процесса являются молекулярный ион и электрон.

Следовательно, реакция хемоионизации при парных столкновениях возбужденных атомов инертных газов имеет два выходных канала с образованием атомного или молекулярного иона. В литературе принято указывать не отдельные константы скорости этого процесса для двух его реализаций, а коэффициент ветвления реакции - ^ , который соответствует относительной скорости пеннинговской ионизации. Скорость ассоциативной ионизации определяется величиной где р - общая константа скорости хемоионизации. Поскольку относительное количество молекулярных ионов, образуюшихся при хемоионизации зависит от энергии, типа и состояния взаимодействующих возбужденных атомов, то от этих параметров должен зависеть и коэффициент ветвления реакции.

Одним из основных способов исследования процессов хемоионизации в плазме инертных газов являются оптические измерения концентрации возбужденных атомов в различные моменты времени после окончания импульса возбуждения в разрядной трубке. Если при этом удается корректно выделить разные каналы гибели метаста-бильных атомов в распадающейся плазме, то можно вычислить и константу скорости хемоионизации при парных столкновениях метаста-бильных атомов. Вместе с этим использование только оптических измерений позволяет, в лучшем случае, получить общую константу скорости процесса хемоионизации. Это связано с тем, что до сих пор не существует надежного оптического метода измерения концентрации молекулярных ионов в плазме. Единственным прямым способом регистрации молекулярных ионов в настоящее время является масс-спектрометрический анализ ионов различного сорта на стенку разрядной трубки. Таким образом, для выяснения относительного вклада ассоциативной и пеннинговской ионизации существует необходимость в проведении масс-спектрометрического анализа ионного состава плазмы.

Методика и техника масс-спектрометрической диагностики плазмы к настоящему времени разработаны достаточно хорошо. Накоплен большой экспериментальный материал о ионном составе плазмы инертных газов, которая образуется в активной стадии непрерывного и импульсного разряда или в позднем послесвечении плазмы импульсного разряда в инертных газах. Методика исследования ионного состава плазмы в ближнем послесвечении практически не разработана. Это связано с быстрым изменением электрокинетических параметров плазмы, что требует постоянной перестройки входной ионно-оптической части масс-спектрометра.

Масс-спектрометрический анализ токов ионов различного сорта на стенку разрядной трубки, в принципе, позволяет также определять общую абсолютную концентрацию заряженных частиц в объеме, но эти методы еще недостаточно хорошо отработаны и применимы в ограниченной области условий. По этой причине для проведения всестороннего исследования условий образования бестоковой плазмы инертных газов и эффективности процессов хемоионизации с участием возбужденных атомов инертных газов в работе использовалась и зондовая диагностика плазмы.

Такое комплексное применение различных экспериментальных методов дает возможность в целом исследовать электрокинетические характеристики и химические реакции в условиях плазмы инертных газов.

Целью данной работы являлось:

1. Развитие комплексной оптической, масс-спектрометрической и зондовой методики исследования плазмы импульсного разряда.

2. Изучение особенностей образования и распада бестоковой плазмы инертных газов при различных параметрах и способах возбуждения импульсного разряда в гелии, неоне и аргоне. Определение таких условий возбуждения импульсного разряда в инертных газах, при которых процессы хемоионизации приводят к существенному относительному увеличению концентрации заряженных частиц в бестоковой плазме после окончания импульса возбуждения.

3. Определение эффективности ассоциативной и пеннинговской ионизации при парных столкновениях атомов гелия, неона и аргона, находящихся в нижних возбужденных состояниях.

Диссертация состоит из введения, пяти глав и заключения.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В работе получены следующие основные результаты:

1. Впервые определены величины коэффициентов ветвления реакций хемоионизации при парных столкновениях атомов неона и аргона, находящихся в нижних возбужденных состояниях. е (2р53<;)]= (0.93±0.02) / [^{Зр5^)] = 0.95±0.01)

2. Получена величина коэффициента ветвления реакции хемоионизации при парных столкновениях метастабильных атомов гелия. Не = (0.6±0Л)

3. Определены величины общих констант скорости реакции хемоионизации при парных столкновениях атомов гелия, неона и аргона, находящихся в нижних возбужденных состояниях. уЗ [ Не (¿$2$) ] = а^О^'Ю^см3^1 /3 [Не (2р*3*)] = (1.4^0.4) * 10"^см3с~^ [6 [ = (1Л±0.4)-Ю"9см3с-1

4. Разработана методика проведения масс-спектрометрического анализа ионного состава плазмы импульсного разряда во всем временном интервале от начала импульса возбуждения до поздних стадий распада плазмы. Выполнена абсолютная градуировка чувствительности масс-спектрометрической системы и временная градуировка, которая позволила добиться разрешения по времени до одной микросекунды.

5. Проведены оптические, масс-спектрометрические и зондовые исследования условий образования бестоковой плазмы после окончания импульса возбуждения через инертные газы. Наибольшее влияние процессы хемоионизации оказывают на кинетику бестоковой плазмы импульсного наносекундного разряда малой мощности при давлении газа в разрядной трубке выше нескольких мм рт.ст.

6. Исследован ионный состав плазмы импульсного разряда через инертные газы в широком диапазоне условий и при различных способах возбуждения последнего. В результате получено, что ионный состав бестоковой плазмы, образующейся после окончания активной стадии импульсного разряда наносекундной длительности и малой мощности контролируется процессами хемоионизации и может быть определен через полученные в работе коэффициенты ветвления реакций хемоионизации при парных столкновениях возбужденных атомов инертных газов.

7. Разработана методика и проведены исследования функции распределения по энергии ионов, попадающих на стенку разрядной трубки в плазме инертных газов. Обнаружен рост потенциала слоя объемного заряда у стенки разрядной трубки в определенные моменты времени после окончания наносекундного импульса возбуждения в гелии. Это увеличение потенциала пристеночного слоя связано с влиянием быстрых электронов, образующихся в результате хемоионизации при парных столкновениях метастабильных атомов.

Автор выражает глубокую благодарность своему научному руководителю доценту Валентину Семеновичу Егорову за постоянную помощь при выполнении диссертационной работы. + + +

Автор благодарит Заведующего кафедрой оптики, профессора Николая Петровича Пенкина за внимание к работе и ценные замечания, которые он сделал при обсуждении результатов исследований.

1. Плазма в лазерах: Пер. с англ. (Под ред.Дж.Бекефи.) - М.: Энергоиздат, 1982, 416 с.

2. Myers Н. lonisation processes in decaying plasmas 1« Helium.-Phys. Rev., 1963, v.130, N 5, p. I639-I6I4.3.

3. Blondy M.A. Diffusion, de-exitaticn, ionization cross-section for metastable atom. Phys. Rev», 1952, v.88, N 3, P.660-665«

4. Phelps A.V* Absorption studies of helium metastable atoms and molecules.- Phys. Rev., 1955* v.99, Nif, p.I307-I3I3.

5. Wellenstein H.P.,Robertson W.W. Collisional relaxation processes for the n-3 states of helium. Associative ionizationin a recombining plasma. J. Chem. Phys. 1972, v.5>6, N 3, p. 1077-2191.

6. Gerber R.A. »Santer G.F.,0skam H.Y* Studies of decaying helium plasmas. Physica, 1966, v. 32, NIl/12 p. 2173 -2191.

7. Фуголь И.Я., Григоращенко O.H., Мышкис Д.А. Экспериментальное исследование разрушения метастабильных атомов гелия в плазме при низких температурах. %рн.эксперим.и теорет. физ., 1971, т.60, вып.1, с.432-440.

8. Мак-Даниель И., Процессы столкновений в ионизованных газах. М.: Мир, 1967, 832 с.

9. Смирнов Б.М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. М.: Атомиздат, 1974, 456 с.

10. Deloche R. е.a. High- pressure helium afterglow at room temperature. Phys. Rev. A., 1976, v. 13, N 3, p. III4.0-1176.

11. Lambert S.,Ahrweller M.,Cheret M., Simultaneons determination of atomic and molecular ion and metastable densities in a helium afterglou between I-ЮО torr. Inter. J • of Mass spectr. and ion phys. 1976, v.22, p. 381-397.

12. Благоев А.Б. и др. Исследование функции распределения электронов по энергиям в плазме послесвечения. Журн.техн.физ., 1977, т.47, вып.10, с.2108-2111.

13. Демидов В.Н., Колоколов Н.Б. Исследование функции распределения электронов по энергии в плазме послесвечения. Журн. техн.физ., 1980, т.50, вып.З, с.564-571.

14. Самоваров В.Н. Особенности деионизации криогенной гелиевой плазмы. В кн. Химия плазмы. Вып.8 (Под ред.Смирнова Б.М. )-М.: Энергоиздат, 1981, с.38-90.

15. Самоваров В.Н., Фуголь И.Я. Рекомбинационный распад криогенной гелиевой плазмы. Журн.экспер.и теор.физ., 1978, т.75, вып.9, с.877-891.

16. Благоев А.Б. и др. Исследование функции распределения электронов по энергиям в плазме послесвечения. 1,П. Журн.физ., 1974, т.44, вып.2, с.333-347.

17. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме. М.: Атомиздат, 1968, 363 с.

18. Елецкий А.В., Смирнов Б.М. Диссоциативная рекомбинация электрона и молекулярного иона. Усп.физ.наук, 1982, т.136, вып.1, с.25-59.

19. Shin Y.G. ,Biondy М.А. Dissociative recombination in argon: Dependence of the total rate coefficient and excited state production on electron temperature. Phys. Rev. A., 1978, v. 17, N 3, p.868-877.

20. Иванов B.A., Сухомлинов B.P. Особенности заселения уровней неона конфигурации 2.ps 4 р при диссоциативной рекомбинации

21. Ne-t . Журн.техн.физ., 1982, т.52, вып.7, с.1313-1317.

22. Cohen Y. Diabatic states representation for He( n 3) He collision.- Phys.Rev. A., 1976, v.13, N1, p. 86-98,

23. Stevefeld J. Thee-body capture autoionization: A mechanism for vibrational deexcitation of moleculer ions in a plasma.-Phys. Rev. A., 1973, v.8, N5, p. 2507-2513.

24. Егоров B.C. и др. Наблюдение диссоциативной рекомбинации молекулярного иона гелия в раннем послесвечении разряда. -Опт.и спектр., 1974, т.37, вып.5, с.987-988.

25. Иванов В.А. Исследование процесса диссоциативной рекомбинации молекулярных ионов инертных газов. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Вып.2, Л.: ЛГУ, 1980, с.81-102.

26. Berlade J.M. Pressure and electron density dependence of the electron-ion recombination coefficient in helium,- Phys.

27. Rev., 1970, v.IA, N3, p. 887-896.

28. Иванов B.A., Пенкин Н.П. Спектроскопическое исследование процессов рекомбинации в слабоионизованной распадающейся плазме инертных газов. Журн.прикл.спектр., 1984, т.40, вып.1, с.5-32.

29. Толмачев Ю.А. Возбуждение ионов металлов второй группы при неупругих столкновениях с метастабильными атомами и ионами инертных газов при тепловых энергиях. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Вып.2, Л.: ЛГУ, 1980, с.183-209.

30. Куприянов С.Е., Кабанов С.П, Электронная спектроскопия ионизации Пеннинга. В кн.: Химия плазмы. Вып.З (Под ред.Смирнова Б.М.) -М.: Атомиздат, 1976, с.189-293.

31. Девдариани А.З. и др. Образование молекулярных ионов при парных столкновениях возбужденных атомов инертных газов. -Письма в Журн.техн.физ., 1982, т.8, вып.13, с.772-775.

32. Демидов В.И., Колоколов Н.Б. Взаимодействие между возбужденными атомами в плазме послесвечения неона. Журн.техн. физ., 1978, Т.48, вып.9, с.1832-1835.

33. Демидов В.И., Колоколов Н.Б., Торонов O.P. Исследование электронных спектров процессов хемоионизации в плазме послесвечения. Вестн.Ленингр.Ун-та, 1983, вып.З, № 16, с.87-91.

34. Phelps A.V.»Brown S.С. Positive ions in the afterglow of the low pressure helium discharge.- Phys. Rev., 1952, v. 86,1. N I, p.102-105.

35. Егоров Н.П., Комаров В.И., Куприянов C.E. Масс-спектрометри-ческое исследование элементарных процессов в плазме газового разряда. В кн.Химия плазмы. Вып.1 (Под ред.Смирнова Б.М.)-М.: Атомиздат, 1974, с.203-233.

36. Егоров B.C., Пастор A.A., Плехоткин Г.А. Установка с квадру-польным масс-спектрометром для диагностики плазмы по массам заряженных частиц. Вестн.Ленингр.ун-та, 1982, вып.6, № 3, с.69-74.

37. Gusinow M.A.,Gerber R.A., Gerardo J.B. He* and He*in 300 К helium plasmas. Phys. Rev. Lett., 1970, v. 25, N 18,p. I2I4.8 1250.

38. De Vries-C.P., Oskam H.J. Mass-spectrometric of helium He* , Hef , ions.- Phys.Lett.,1969, v.29A, p. 299-300.

39. Корчевой Ю.П., Лукашенко П.И., Хилько А.И. Ассоциативная ионизация в разрядной цезиевой плазме. %рн.Техн.физ., 1976, т.46, с.2302-2309.

40. Волченок В.И. и др. Химический состав плазмы Co-tco- и hfoгазоразрядных лазеров непрерывного действия. В кн.: Химия плазмы: Вып.7 (Под ред.Смирнова Б.М.) - М.: Атомиздат, 1980, с.145-187.

41. Егоров B.C., Пастор А.А., Фарес М.Э. Ионный состав плазмы импульсного разряда в неоне и аргоне в узких трубках. Опт. и спектр., 1979, т.46, вып.б, с.1105-1111.

42. Егоров B.C., Пастор А.А. Влияние реакций с участием молекулярных ионов на характер послесвечения разряда в инертных газах. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Вып.1, Л.: ЛГУ, 1976, с.80-105.

43. Егоров B.C. Молекулярные ионы инертных газов в плазме импульсного разряда. В кн.: Химия плазмы. Вып.7 (Под ред. Смирнова Б.М.) - М.: Атомиздат, 1980, с.187-218.

44. Егоров B.C. Исследование реакций с участием метастабильных атомов и молекулярных ионов инертных газов в плазме импульсного разряда. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы, вып.2. - Л.: ЛГУ, 1980, с.53-80.

45. Neynaber R.H.,Magnuson G.D.,Tang S.Y. Chemi-ionization in collision of metastable helium with metastable helium.-J. Chem. Phys., 1978, v.68, N II, p. 5112-5117•

46. Manus C. Collisions of excited states and ionized media.-Physica, 1976, V.82C, p.l65-l81|.50# Phelps A.V.,Molnar Y.P. Lifetimes of metastable states of noble gases. Phys. Rev. , 1953, v. 89, N 6, p. 1202 -1208.

47. Johnson A.W.»Gerardo Y.P. Ionizing collisions of two3metastable helium atoms ( 2 S ). Phys. Rev., 1973» v.7A, N3, p.(92S-928.

48. Волкова Л.М. и др. Применение метода регуляризации при зон-довых исследованиях энергетических спектров электронов в плазме. Журн.техн.физ., 1983, т.53, вып.5, с.913-914.

49. Pitchford L.S.,Taylor К. W.,Collins С.В. Exited state chemistry of the low-pressure helium afterglow. J. Phys. B,1975, v.8, N1, p.Il|2-l55.

50. Картазаев B.A., Пиотровский Ю.А., Толмачев Ю.А. Рекомбинаци-онные процессы в послесвечении тлеющего разряда низкого давления в гелии и гелий-неоновой смеси. Опт.и спектр., 1977, т.42, вып.6. с.1048-1051.

51. Jordino И, Lambert S.,Deloche R. Notes des members et correspondants et notes presentees on transmises par leurs soins. Сотр. Rend., 197^-, V.27B, N26, p. Ю87-Ю89.

52. Герасимов Н.Г., Старцев Г.П., Фриш M.C. Разрушение состоянияв послесвечении гелия. Опт.и спектр., 1972, т.32, вып.5, с.1032-1033.

53. Фуголь И.Я., Григоращенко О.Н., Мышкис А.Д. Кинетика парных столкновений метастабильных атомов гелия 2- Ъ£ при низких температурах. Докл.АН СССР, 1971, т.199, вып.2, с.303-305.

54. Смирнов Б.М. Возбужденные атомы. М.: Энергоиздат, 1982,232с.

55. Miller Р.А.,Verdeyen J.Т.Sherrington В.Е. Behavior of Не metastable atoms in weakly ionized helium plasmas. -Phys. Rev., 1971» v. ЦA, N 2, p.692-700.

56. Баранов И.Ю., Демидов В.И. Исследование взаимодействия мета-стабильных атомов в плазме послесвечения аргона. В кн.: Тез.докл.12 научно-техн.конф.молод.спец.ГОИ, Л.: ГОИ, 1978, с.51.

57. Blagoev А.В.,Popov Т.К. Investigation of the electron energy distribution function in a neon afterglow plasma.-Phys. Letters.A, 1978, v.66, N3, p.210-212.

58. Blagoev А.В.,Popov Т.К. Investigation of the electron energy distribution function in an argon afterglow plasma.-Phys. Letters.A, 1979, v.70, N5,6, p.l|j6-lg:8.

59. Delpech Y. Low temperature helium plasmas. II-th Int. conf. on phenom. in ioniz. gases. Prague, 1973, v.2, p. 103-130.

60. Фриш С.Э., Бочкова О.П. Методы определения вероятностей переходов и заселенностей уровней по реабсорбции излучения. -ВестнЛенингр.ун-та, 1961, вып.З, № 16, с.40-58.

61. Фриш С.Э. Определение концентраций нормальных и возбужденных атомов и сил осцилляторов методами испускания и поглощения света. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Л.: ЛГУ, 1970, с.7-67.

62. Бочкова О.П., Шрейдер Е.Я. Спектральный анализ газовых смесей. М.: Изд.физ.-мат.литер., 1963, 307 с.

63. Фриш С.Э. Оптические спектры атомов. М.-Л.: Изд.физ.мат. литер., 1963, 640 с.

64. Чен Ф. Электрические зонды: В кн.: Диагностика плазмы. Пер.с англ. (Под ред.Хаддлстейна Р., Леонарда С.) М.: Мир, 1967, с.94-165.

65. Шотт Л. Электрические зонды: В кн.: Методы исследования плазмы. Пер. с англ. (Под ред.Лохте-Хольтгревена В.) - М.: Мир, 1971, с.459-506.

66. Каган Ю.М., Перель В.И. Зондовые методы исследования плазмы. Усп.физ.наук, 1963, т.81, вып.З, с.409-452.

67. Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: 1969, 343 с.

68. Акопян М.Е., Ермоленко А.И., Сергеев Ю.Л. Перераспределение энергии возбуждения многоатомных молекулярных ионов по внутренним степеням свободы. В кн.: Фотопроцессы в газовой фазе. (Успехи фотоники. Вып.8) - Л.: ЛГУ, 1983, с.146-180.

69. Сысоев А.А., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрию. -М.: Атомиздат, 1977, с.304.

70. Adams N.A. ,Bohme D.K. е.a. Flowing afterglow studies of the reactlon of the rare-gas moléculas ions He, Ne, Ar, with molecules and rare gas atoms, J. Chem. Phys., 1970,v. 52, N 10, p.509i.--5l0I.

71. Королев Б.И. и др. Конструирование вакуумных систем. М.: Энергия, 1975, 416 с.

72. Айцензон А.Е. К масс-спектрометрическому исследованию газоразрядной плазмы. Журн.техн.физ., 1978, т.48, вып.II,с.2331-2333.

73. Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров И.Е. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1977, 384 с.

74. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972, 304 с.

75. Pahm М., Zindinger W. ,Howorna Р. Massen spectrometrie am negativen Ciinnitient einer zylindrischen Hohlfcathode.-Z. Naturforsch., 1972, 27A, Nij., p.678-692.

76. Пожаров С.Л. 0 корректности масс-спектрометрической диагностики низкотемпературной плазмы. Журн.техн.физ., 1982, т.52, вып.II, с.2156-2162.

77. Слободенюк Г.И. Квадрупольные масс-спектрометры. М.: Атомиздат, 1974, 272 с.

78. Smith D.,Plumb I.С. An apparisal of the mass spectrometer diagnostic technique in the study of afterglow plasmas.-j.Phys. D; Appl.Phys., 1973, v.6, p.Il|.3I-ll|.35,

79. Лысов Г.В. Сверхвысокочастотные генераторы низкотемпературной плазмы. В кн.: Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме. (Под ред. Полака A.C.) - М.: Наука, 1974, с.247-270.

80. Мак-Дональд А. Сверхвысокочастотный пробой в газах: Пер. с англ. М.: Мир, 1969, 212 с.

81. Биберман Л.М., Воробьев B.C., Якубов Н.Т., Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982, 376 с.

82. Gaur J.P.,Chainin L.M. Rate coefficient for X + +2X +X in neon and argon. Phys. Rev., 1967, N1, p I67-I7I.

83. Ионов Н.И. Исследование газоразрядной и космической плазмы с помощью многоэлектродных зондов. йурн.техн.физ., 1964, т.39, вып.5, с.769-787.

84. Молоковский С.И., Сушков А.Д. Интенсивные электронные и ионные пучки. Л.: Энергия, 1972, 271 с.

85. Моргулис Н.Д., Корчевой Ю.П., Пржонский А.М. Получение цези-евой плазмы методом облучения резонансной радиацией и некоторые ее физические свойства. йурн.экспер. и теор.физ., 1967, т.53, с.417-422.

86. Костенко В.А., Толмачев Ю.А. Неупругие столкновения метаста-бильных атомов гелия с электронами в стационарной гелиевой плазме. Опт.и спектр., 1975, т.39, вып.4, с.791-792.

87. Fhelps A.V. Diffusion, de-excitation and three-body collision coefficient for excited neon atoms.- Phys. Rev., 1959, v.IIt|A, Щ, p. 1011-1025.

88. Бочкова О.П., Сукиасян Э.А. Заселение резонансных уровней аргона при неупругих столкновениях метастабильных атомов с медленными электронами. Журн.приклад.спектр., 1975, т.23, вып.4, с.601-608.

89. Ашурбеков Н.А., Егоров B.C., Борисов В.Б. Исследование процессов релаксации в мощном наносекундном импульсном разряде в неоне. Тез.докл.на Ш конф.молод.ученых НИИФ ЛГУ, Л.: Деп.ВИНИТИ, 14/ХП.1983 г., № 6764-83.

90. Очкур В.Н. О классическом расчете вероятности возбуждения и ионизации атомов электронным ударом. Опт. и спектр., 1963, т.14, вып.4, с.457-464.

91. Пенкин Н.П., Редько Т.П. Диффузия возбужденных атомов в собственном газе и.примесях. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Вып.1, Л.: ЛГУ, 1976, с.51-80.

92. Pills Е.,Twiddy N.D. Time-resolved optical absorption measurement of excitation concentrations in the argon afterglow. J. Phys. В.,1969, v.2, N12, p.1366-1377.

93. Палкина Л.А., Смирнов Б.М., Чибисов М.И. Диффузия метаста-бильных атомов в собственном газе. Журн.экспер.и теор.физ., 1969, т.56, вып.2, с.340-345.

94. Жилинский А.П., Ливенкова И.Ф., Цендин Л.Д. Баланс энергии электронного газа в низкотемпературной слабоионизованной плазме. Журн.техн.физ., 1977, т.47,вып.2, с.305-312.

95. Фриш'"С.Эи др. Эффективные сечения прямого и ступенчатого возбуждения атомов неона. Опт. и Спектр., 1963, т.15, вып.6, с.726-733.

96. Borsh W.L. Excitation of metastabil argon and helium by electron impact. Phys. Rev. A, 197^, v. 9, N 3,p. 1195-1200.

97. Чепмен С., Каулинг Т. Математическая теория неоднородныхгазов: Пер. с англ. М.: I960, 510 с.

98. Stepham К,,Stamasovic A.,Mark T.D. Unimolecular andcollision-indeced dissociation of A^ prodused by eleotron ionization of A^z. • Phys, Rev. A, 1983, v.28, N 5, P. ЗЮ5 - ЗЮ8.